JP2891697B1 - 両面研磨装置 - Google Patents
両面研磨装置Info
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Abstract
をさせながら行え、研磨盤を任意自転させ得る両面研磨
装置を提供する。 【解決手段】 保持キャリア70に被加工物78をセッ
トしたのち、研磨盤15,25を接近離間手段30によ
り相対的に接近させ、被加工物78の両面に当接させ
る。偏心回転手段60により、偏心軸心14A,24A
を回転軸心10A,20Aの周りに変位回転でき、研磨
盤15,25を回転軸心10A,20Aの周りの小さな
円上で変位回転して、被加工物78に対する両面同時の
研磨を、両面全域で均一状にかつ研磨速度を一定状とし
て行える。研磨盤15,25は、加工による横方向荷重
を相殺できる。研磨盤15,25を、回転手段40によ
り偏心軸心14A,24Aの周りに回転(自転)させ
る。
Description
硝子板、金属板、半導体のシリコン基板、セラミックス
基板など各種の被加工物の両面を研磨するのに使用され
る両面研磨装置に関するものである。
たとえば特開平6−206159号公報に見られる研磨
装置が提供されている。この従来構成は、公転駆動装置
により上下の支持部材を互いに逆回転させることで各縦
軸を公転軸心の周りで公転させるとともに、自転駆動装
置により各縦軸を自転軸心の周りで自転させ、以て研磨
体群を公転させながら自転させる。さらに被研磨物を貫
装した保持キャリアを横移動させ、その横移動により変
位した軸心を中心として自転させる。したがって上下の
研磨体群を公転軸心に沿った方向に接近移動させて被研
磨物の両面に当接させることで所期の両面研磨を行え
る。
ち、上部支持部材を上昇離間させることで、保持キャリ
アの嵌合孔から研磨済みの被研磨物を取り出し、そして
新たな被研磨物を、嵌合孔への嵌め込みによりセットさ
せる。
いて、研磨体群は、大きな円運動で公転や自転を行うこ
とから、被研磨物の全面に亘っての研磨速度が一定にな
らず、したがって均一な研磨は充分に行えず、さらに
は、研磨体自体に片減りや凹凸が生じることになる。
は、研磨盤による研磨は、研磨盤を小さな円軌跡上で移
動(円運動)させながら行えるとともに、研磨盤は任意
に自転させ得る両面研磨装置を提供することを目的とし
たものである。
ために、本発明のうちで請求項1記載の両面研磨装置
は、保持キャリアで保持した被加工物の両面を挟む状態
で、一対の研磨盤を配置するとともに、これら研磨盤を
相対的に接近離間動させる接近離間手段を設け、両研磨
盤を、回転軸心の周りに回転可能な偏心軸心上に遊転可
能に設け、両偏心軸心を変位させた状態で、これら偏心
軸心を回転軸心の周りに回転させる偏心回転手段を設
け、両研磨盤を偏心軸心の周りに回転させ得る回転手段
を設けたことを特徴としたものである。
離間手段により両研磨盤を相対的に離間させた状態で、
保持キャリアに被加工物をセットさせる。この状態で接
近離間手段により両研磨盤を相対的に接近させることに
より、被加工物の両面に対して各研磨盤を当接し得る。
このような当接の前後において、偏心回転手段による回
転により、偏心軸心を回転軸心の周りに変位回転(公
転)させ得、これによって両研磨盤を、回転軸心の周り
の小さな円上で変位回転させ得、以て被加工物の両面に
対する研磨盤の当接は、両面全域で均一状にかつ研磨速
度を一定状として行える。その際に、両研磨盤は、両偏
心軸心を互いに変位させた状態で変位回転することか
ら、加工による横方向荷重を相殺し得る。そして、両研
磨盤の変位回転による研磨作業中において、これら研磨
盤を、回転手段によって偏心軸心の周りに回転(自転)
させ得る。
1〜図4に基づいて説明する。1はフレームで、下部空
間2を形成する箱枠状の下部フレーム3と、この下部フ
レーム3の一側上面から立設され上部空間4を形成する
箱枠状の上部フレーム5とから構成される。前記下部フ
レーム3は、上板の中央部に開口6が形成されるととも
に、その下部空間2は前記上部空間4に連通されてい
る。
10と下部回転軸20とが設けられ、これら回転軸1
0,20は、同一線上に位置される回転軸心10A,2
0Aの周りに回転自在に構成されている。すなわち、上
部回転軸10は、上部筒体11に軸受12を介して回転
自在に支持されており、そして上部筒体11は、上部フ
レーム5側からの上部支持体13の遊端に固定されてい
る。また下部回転軸20は、下部筒体21に軸受22を
介して回転自在に支持されており、そして下部筒体21
は、下部フレーム3から連設された下部支持体23の遊
端に固定されている。
れぞれ偏心軸14,24が一体に設けられ、これら偏心
軸14,24は前記回転軸心10A,20Aの周りに回
転可能に構成される。そして、上部偏心軸14には上部
研磨盤15が、軸受16を介して偏心軸心14A上に遊
転自在に支持されており、また、下部偏心軸24には下
部研磨盤25が、軸受26を介して偏心軸心24A上に
遊転自在に支持されている。
させる接近離間手段30が設けられる。この接近離間手
段30は、上部フレーム5の上端と上部支持体13の基
端との間に介在されるシリンダー装置31と、上部支持
体13の昇降を案内するガイドロッド(またはガイドレ
ール)32などにより、その一例が構成される。したが
って、シリンダー装置31を伸縮動させることで、下部
研磨盤25に対して上部研磨盤15が接近離間動され
る。なお、下部研磨盤25の下面側は、下部フレーム3
上に設けられたスライド受け台35に受け止められてい
る。
14A,24Aの周りで同方向に等速状で回転させ得る
回転手段40が設けられる。すなわち、下部空間2から
上部空間4に亘って回転駆動軸41が配設され、この回
転駆動軸41は、軸受42を介してフレーム1側に回転
自在に支持されている。そしてフレーム1側には回転駆
動装置(モータ)43が設けられ、その出力軸44と前
記回転駆動軸41とが巻き掛け連動装置45を介して連
動連結されている。
6aと伝動歯車部46bとを有する上部筒状体46が、
軸受47を介して回転自在に外嵌されており、この上部
筒状体46は、前記受動部46aを含めたタイミングベ
ルト形式などの巻き掛け連動装置48を介して、前記回
転駆動軸41に連動連結されている。
5の上面に一体化されたリング状の内歯歯車体49に噛
合されている。その際に、内歯歯車体49は伝動歯車部
46bに対して大径に形成され、そして、回転軸心10
A上に位置される伝動歯車部46bに対して、内歯歯車
体49は偏心軸心14A上に位置され、これにより伝動
歯車部46bの一部が内歯歯車体49に常に噛合される
ように構成されている。
aと伝動歯車部50bとを有する下部筒状体50が、軸
受51を介して回転自在に外嵌されており、この下部筒
状体50は、前記受動部50aを含めたタイミングベル
ト形式などの巻き掛け連動装置52を介して、前記回転
駆動軸41に連動連結されている。なお、下部筒状体5
0は前記開口6の部分に位置されている。
5の下面に一体化されたリング状の内歯歯車体53に噛
合されている。その際に、内歯歯車体53は伝動歯車部
50bに対して大径に形成され、そして、回転軸心20
A上に位置される伝動歯車部50bに対して、内歯歯車
体53は偏心軸心24A上に位置され、これにより伝動
歯車部50bの一部が内歯歯車体53に常に噛合される
ように構成されている。以上の41〜53などにより回
転手段40の一例が構成される。
10A,20Aに対して相対的に180度変位させた状
態で、これら偏心軸心14A,24Aを回転軸心10
A,20Aの周りで同方向に等速状で変位回転させる偏
心回転手段60が設けられる。
って回転駆動軸61が配設され、この回転駆動軸61
は、軸受62を介してフレーム1側に回転自在に支持さ
れている。そしてフレーム1側には回転駆動装置(モー
タ)63が設けられ、その出力軸64と前記回転駆動軸
61とが巻き掛け連動装置65を介して連動連結されて
いる。
軸61とがタイミングベルト形式などの巻き掛け連動装
置66を介して連動連結されている。また、前記下部回
転軸20の下部と前記回転駆動軸61とがタイミングベ
ルト形式などの巻き掛け連動装置67を介して連動連結
されている。以上の61〜67などにより、偏心回転手
段60の一例が構成される。
物)78を貫装自在な保持キャリア70が配設され、こ
の保持キャリア70は横方向に移動自在に構成されてい
る。すなわち保持キャリア70には、矩形状の嵌合孔7
1が形成され、この嵌合孔71に、矩形板状の被加工物
78を貫装自在としている。そして下部フレーム3上に
は、左右方向のガイドロッド77が前後一対に配設さ
れ、これらガイドロッド77に保持キャリア70が左右
方向に移動自在に支持案内される。
動手段72が設けられ、この左右動手段72は、前記下
部フレーム3に取付けられた移動用モータ73と、この
移動用モータ73の上向きの出力軸74に固定した円板
体75と、この円板体75の偏心位置と前記保持キャリ
ア70の遊端とを相対揺動自在に連結するリンク体76
などにより構成されている。
を説明する。接近離間手段30におけるシリンダー装置
31の収縮動で上部支持体13を上昇させ、下部研磨盤
25に対して上部研磨盤15を上昇離間させた状態で、
保持キャリア70の嵌合孔71に対して矩形の被加工物
78が嵌め込みによりセットされる。このとき被加工物
78は、下部研磨盤25に、その下面を介して当接され
る。
せ、上部支持体13を介して上部研磨盤15を下降させ
ることにより、被加工物78の上面に対して上部研磨盤
15を軽く当接し得る。このような当接の前後において
偏心回転手段60の回転駆動装置63が稼働され、両研
磨盤15,25を偏心回転させて所期の研磨を行う。
駆動装置63の回転は、巻き掛け連動装置65を介して
回転駆動軸61に伝達され、さらに回転駆動軸61の回
転は、巻き掛け連動装置66を介して上部回転軸10に
伝達されるとともに、巻き掛け連動装置67を介して下
部回転軸20に伝達される。
偏心軸心14A、すなわち上部偏心軸14を、回転軸心
10Aの周りの小さな円上で変位回転(公転)Aさせ
る。このとき、上部偏心軸14と上部研磨盤15との相
対回転は軸受16により許容される。また下部回転軸2
0の回転により、前記偏心軸心24A、すなわち下部偏
心軸24を、回転軸心20Aの周りの小さな円上で、前
記上部偏心軸14と同方向に等速状で変位回転Aさせ
る。このとき、下部偏心軸24と下部研磨盤25との相
対回転は軸受26により許容される。
75とリンク体76とからなるクランク機構によって、
このリンク体76の押し引き動に換えられ、以て保持キ
ャリア70を、ガイドロッド77の支持案内により左右
方向に往復移動Bさせる。
加工物78の両面が同時に研磨される。すなわち、上下
の研磨盤15,25は、互いに180度変位した状態で
同方向に等速状で変位回転Aし、そして被加工物78を
貫装した保持キャリア70は横に往復移動Bすることに
なる。
1の伸展により荷重を掛けることにより、研磨盤15,
25の小さな円上での公転Aと、被加工物78の往復移
動Bとの複合移動によって、被加工物78の両面に対す
る研磨盤15,25の当接は、両面全域で均一状にかつ
研磨速度を一定状として行え、以て研磨残りの生じない
均一な研磨加工を行える。
に180度変位した状態で同方向に等速状で変位回転A
されることで、加工による横方向荷重を相殺し得る。し
かも、被加工物78の両面を同時に研磨するので、板状
物の研磨の場合、歪んだ板状物を平面に研磨加工でき
る。
部研磨盤25の変位回転Aによる研磨作業中において、
これら研磨盤15,25を、回転手段40により偏心軸
心14A,24Aの周りに自動的にゆっくりと回転(自
転)Cさせ得る。
定状であったとき、研磨盤15,25の変位回転Aとと
もに一体に回転される内歯歯車体49,53が、筒状体
46,50と一体に固定状である伝動歯車部46b,5
0bに、常時一部が噛合されることになる。このとき、
内歯歯車体49,53と伝動歯車部46b,50bとは
歯数が異なっており、したがって、その歯数の差を吸収
するために、研磨盤15,25は変位回転Aの方向と同
方向に自動的にゆっくりと回転(自転)Cすることにな
る。
転Aによる研磨作用位置が回転Cの方向に次第に変化
し、以て研磨盤15,25自体の片減りや凹凸を防止し
得る。そして、このような研磨盤15,25の回転(自
転)Cならびに回転方向は、回転手段40を駆動に切り
換えることによりコントロールできる。すなわち、回転
手段40における回転駆動装置43の回転は、巻き掛け
連動装置45を介して回転駆動軸41に伝達され、さら
に回転駆動軸41の回転は、巻き掛け連動装置48,5
2を介して筒状体46,50に伝達される。
伝動歯車部46b,50bの回転は、この伝動歯車部4
6b,50bが一部噛合されている内歯歯車体49,5
3に伝達され、この内歯歯車体49,53と一体の研磨
盤15,25を、偏心軸心14A,24Aの周りで回転
させることになる。
方向が回転(自転)Cと同方向であれば、この回転Cは
増速されることになる。また回転付与方向が回転(自
転)Cに対して逆方向であれば、その回転数の制御によ
って、回転Cを減速させたり、回転Cと相殺して停止状
態としたり、あるいは逆回転し得る。さらには、正逆回
転を交互に行うことで、研磨盤15,25を往復回転し
得る。
とにより、研磨盤15,25の回転C、回転数、回転方
向を外部からコントロールできる。なお回転手段40
は、正逆の回転のほか、連続回転、間欠回転など、任意
な回転方式を採用できるものである。
15,25を往復回転させる場合に、研磨盤15,25
による研磨は、図3の仮想線に示されるように、上部研
磨盤15に接続された上部研磨材供給手段37や、下部
研磨盤25に接続された下部研磨材供給手段38から、
研磨材(水や油の研磨液など)を供給しながら(かけな
がら)行える。
図6に基づいて説明する。すなわち、円板状の保持キャ
リア80が使用され、この保持キャリア80には、周方
向の複数箇所に丸形の嵌合孔81が形成されている。そ
して保持キャリア80は、下部フレーム3側に設けられ
た複数のローラ82によって、前記回転軸心10A,2
0Aの周りに回転可能に支持されている。また下部フレ
ーム3側には、保持キャリア回転駆動装置83が設けら
れている。
盤15,25は、互いに180度変位した状態で同方向
に等速状で変位回転Aし、そして丸形板状の被加工物8
5群を貫装した保持キャリア80は、保持キャリア回転
駆動装置83により回転軸心10A,20Aの周りに回
転することになる。これにより被加工物85群の両面
を、均一に研磨する要素をより確実として、同時に研磨
し得る。なお、同時に研磨される被加工物85の数や大
小の形状は任意に設定されるものである。
加工物78や丸形板状の被加工物85の研磨を行ってい
るが、これは種々な形状の被加工物を取り扱えるもので
あり、それに応じて嵌合孔71,81の形状が決定され
る。
手段60における回転駆動装置63の回転速度、すなわ
ち両研磨盤15,25の回転数は、たとえば操作盤の操
作により任意に調整し得、これにより、被加工物78,
85に対する出来るだけ均一な滑り速度を得られる。
装置を複数台設置して、共通(1台)のロボットによ
り、被加工物78,85の供給や取出しなど、各種の作
業を行う形式であってもよい。
磨盤15,25は、互いに180度変位して配設されて
いるが、この180度は、最も好ましい角度であって、
この角度に限定されるものではない。
近離間手段により両研磨盤を相対的に離間させたのち、
保持キャリアに被加工物をセットした状態で、接近離間
手段により両研磨盤を相対的に接近させることにより、
被加工物の両面に対して各研磨盤を当接でき、このよう
な当接の前後において、偏心回転手段による回転によ
り、偏心軸心を回転軸心の周りに変位回転(公転)で
き、これによって両研磨盤を、回転軸心の周りの小さな
円上で変位回転できて、被加工物の両面に対する研磨盤
の当接を、両面全域で均一状にかつ研磨速度を一定状と
して行うことができ、以て研磨残りの生じない均一な研
磨加工を行うことができる。その際に加工による横方向
荷重は、両研磨盤の偏心軸心を互いに変位させた状態で
両研磨盤を変位回転させることで、容易にかつ好適に相
殺できる。そして、両研磨盤の変位回転による研磨作業
中において、これら研磨盤を、回転手段によって偏心軸
心の周りに回転(自転)させることができ、これによ
り、研磨盤自体の片減りや凹凸を防止できる。
部切り欠き側面図である。
ある。
置の要部の縦断側面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 保持キャリアで保持した被加工物の両面
を挟む状態で、一対の研磨盤を配置するとともに、これ
ら研磨盤を相対的に接近離間動させる接近離間手段を設
け、両研磨盤を、回転軸心の周りに回転可能な偏心軸心
上に遊転可能に設け、両偏心軸心を変位させた状態で、
これら偏心軸心を回転軸心の周りに回転させる偏心回転
手段を設け、両研磨盤を偏心軸心の周りに回転させ得る
回転手段を設けたことを特徴とする両面研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10117629A JP2891697B1 (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 両面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10117629A JP2891697B1 (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 両面研磨装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2891697B1 true JP2891697B1 (ja) | 1999-05-17 |
JPH11309670A JPH11309670A (ja) | 1999-11-09 |
Family
ID=14716461
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10117629A Expired - Fee Related JP2891697B1 (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 両面研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2891697B1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111230728A (zh) * | 2019-12-18 | 2020-06-05 | 昆山益延精密五金有限公司 | 一种双面研磨装置 |
CN115122169A (zh) * | 2022-08-01 | 2022-09-30 | 安徽忠盛新型装饰材料有限公司 | 一种板材加工用平面粗磨装置及其实施方法 |
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CN108284382A (zh) * | 2018-03-30 | 2018-07-17 | 无锡泰源机器制造有限公司 | 半自动小型涡流式研磨机 |
-
1998
- 1998-04-28 JP JP10117629A patent/JP2891697B1/ja not_active Expired - Fee Related
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CN115122169A (zh) * | 2022-08-01 | 2022-09-30 | 安徽忠盛新型装饰材料有限公司 | 一种板材加工用平面粗磨装置及其实施方法 |
CN115122169B (zh) * | 2022-08-01 | 2024-04-30 | 安徽忠盛新型装饰材料有限公司 | 一种板材加工用平面粗磨装置及其实施方法 |
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JPH11309670A (ja) | 1999-11-09 |
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