JP2888074B2 - 磁気抵抗素子 - Google Patents
磁気抵抗素子Info
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- JP2888074B2 JP2888074B2 JP5009980A JP998093A JP2888074B2 JP 2888074 B2 JP2888074 B2 JP 2888074B2 JP 5009980 A JP5009980 A JP 5009980A JP 998093 A JP998093 A JP 998093A JP 2888074 B2 JP2888074 B2 JP 2888074B2
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、直線変位検出装置,
回転角度検出装置などに使用する磁気抵抗素子に関する
ものである。
回転角度検出装置などに使用する磁気抵抗素子に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来の磁気抵抗素子を、例えば図2に示
す4素子の磁気抵抗素子について説明する。図におい
て、1a〜1dは磁気抵抗素子の蛇行パターンであり、
1a,1dの蛇行パターンは同一の感磁方向を有し、1
b,1cの蛇行パターンは蛇行パターン1a,1dに垂
直な感磁方向を有している。このような構成の磁気抵抗
素子の蛇行パターン1a〜1dに、それぞれに対して長
手方向に対して角度をもって磁界を印加すると、その角
度に応じて各蛇行パターン1a〜1dの抵抗値を小さく
することができる。
す4素子の磁気抵抗素子について説明する。図におい
て、1a〜1dは磁気抵抗素子の蛇行パターンであり、
1a,1dの蛇行パターンは同一の感磁方向を有し、1
b,1cの蛇行パターンは蛇行パターン1a,1dに垂
直な感磁方向を有している。このような構成の磁気抵抗
素子の蛇行パターン1a〜1dに、それぞれに対して長
手方向に対して角度をもって磁界を印加すると、その角
度に応じて各蛇行パターン1a〜1dの抵抗値を小さく
することができる。
【0003】図2に示す磁気抵抗素子を用いた磁気式回
転角度検出装置を、図3の回路図により説明する。図に
おいて、1は図2の磁気抵抗素子、2a〜2hはオペア
ンプ、3は抵抗体、4はコンデンサ、5はLTR、6は
マグネット、7はこれら(2〜6)を含めた主回路、8
は主回路7と同様の構成をもつ補助回路である。このよ
うな構成の磁気式回転角度検出装置において、マグネッ
ト6の部分が回転すると、磁気抵抗素子1の位置に印加
される磁界の角度が変化する。蛇行パターン1a,1d
と蛇行パターン1b,1cとは互いに垂直でそれらが取
る抵抗値は異なるため、Vs1とVs2,Vs3とVs
4の間に、マグネット6の回転角度に応じた電位差が生
じる。この電位差をオペアンプ2b〜2dによって増幅
し、マグネット6の回転角度として主回路7,補助回路
8よりそれぞれ検出する。
転角度検出装置を、図3の回路図により説明する。図に
おいて、1は図2の磁気抵抗素子、2a〜2hはオペア
ンプ、3は抵抗体、4はコンデンサ、5はLTR、6は
マグネット、7はこれら(2〜6)を含めた主回路、8
は主回路7と同様の構成をもつ補助回路である。このよ
うな構成の磁気式回転角度検出装置において、マグネッ
ト6の部分が回転すると、磁気抵抗素子1の位置に印加
される磁界の角度が変化する。蛇行パターン1a,1d
と蛇行パターン1b,1cとは互いに垂直でそれらが取
る抵抗値は異なるため、Vs1とVs2,Vs3とVs
4の間に、マグネット6の回転角度に応じた電位差が生
じる。この電位差をオペアンプ2b〜2dによって増幅
し、マグネット6の回転角度として主回路7,補助回路
8よりそれぞれ検出する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の磁気抵抗素子は
図2に示すように各蛇行パターン1a〜1dが構成され
ているので、磁気抵抗素子の周囲温度に片寄りのある場
合、離れた位置にある蛇行パターン1a〜1dの間にわ
ずかな温度差を生じる。蛇行パターン(磁気抵抗素子)
1a〜1dは温度特性を持っているために抵抗値に変化
を生じるし、また周囲磁界も均一とは限らず局部的に磁
界方向に差を生じることもあるので、この場合にも磁気
抵抗素子の各蛇行パターン1a〜1dの抵抗値に差を生
じる。そのために図3の検出回路を用いて検出した場
合、各蛇行パターン1a〜1dの間での周囲環境が均一
の状態であれば、主回路7と補助回路8の出力は同様の
ものとなるが、上記のような要因で蛇行パターン1aと
1d,蛇行パターン1bと1cの抵抗値に差が生じる
と、主回路7と補助回路8の出力は異なったものとな
り、このことにより誤検出を生じるという恐れがある。
図2に示すように各蛇行パターン1a〜1dが構成され
ているので、磁気抵抗素子の周囲温度に片寄りのある場
合、離れた位置にある蛇行パターン1a〜1dの間にわ
ずかな温度差を生じる。蛇行パターン(磁気抵抗素子)
1a〜1dは温度特性を持っているために抵抗値に変化
を生じるし、また周囲磁界も均一とは限らず局部的に磁
界方向に差を生じることもあるので、この場合にも磁気
抵抗素子の各蛇行パターン1a〜1dの抵抗値に差を生
じる。そのために図3の検出回路を用いて検出した場
合、各蛇行パターン1a〜1dの間での周囲環境が均一
の状態であれば、主回路7と補助回路8の出力は同様の
ものとなるが、上記のような要因で蛇行パターン1aと
1d,蛇行パターン1bと1cの抵抗値に差が生じる
と、主回路7と補助回路8の出力は異なったものとな
り、このことにより誤検出を生じるという恐れがある。
【0005】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、少なくとも同一の感磁方向をも
つ蛇行パターン(磁気抵抗素子)の周囲温度や磁界方向
をほぼ同じのものとすることにより誤検出を防止できる
信頼性の高い磁気抵抗素子を得ることを目的とする。
ためになされたもので、少なくとも同一の感磁方向をも
つ蛇行パターン(磁気抵抗素子)の周囲温度や磁界方向
をほぼ同じのものとすることにより誤検出を防止できる
信頼性の高い磁気抵抗素子を得ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明に係る磁気抵抗
素子は、互いに直角の感磁方向を有する二つの素子が左
右対称に蛇行パターンに配置され、この蛇行パターンに
入り組んだ別の蛇行パターンで別の二つの素子が左右対
称に配置されることによって、これらの位置的な差を小
さくしたものである。
素子は、互いに直角の感磁方向を有する二つの素子が左
右対称に蛇行パターンに配置され、この蛇行パターンに
入り組んだ別の蛇行パターンで別の二つの素子が左右対
称に配置されることによって、これらの位置的な差を小
さくしたものである。
【0007】
【作用】この発明においては、同一の感磁方向の入り組
んだ二つの蛇行パターンでは位置的な差が少ないため、
この同一感磁方向の二つの蛇行パターンでは温度,磁
界,歪などの外的要因を均一に受けることができる。
んだ二つの蛇行パターンでは位置的な差が少ないため、
この同一感磁方向の二つの蛇行パターンでは温度,磁
界,歪などの外的要因を均一に受けることができる。
【0008】
【実施例】この発明の一実施例を図1について説明す
る。図において、1A〜1Dは磁気抵抗素子の蛇行パタ
ーンであり、1A,1Dの蛇行パターンは同一の感磁方
向をもちかつ互いに入り組んだ構造をし、1B,1Cの
蛇行パターンは蛇行パターン1A,1Dに垂直な感磁方
向をもちかつ互いに入り組んだ構造をしている。
る。図において、1A〜1Dは磁気抵抗素子の蛇行パタ
ーンであり、1A,1Dの蛇行パターンは同一の感磁方
向をもちかつ互いに入り組んだ構造をし、1B,1Cの
蛇行パターンは蛇行パターン1A,1Dに垂直な感磁方
向をもちかつ互いに入り組んだ構造をしている。
【0009】従来と同様に図3の検出回路で用いた場
合、局所的に温度,磁界,歪などの外環境が異なったと
しても、蛇行パターン1Aと1D,1Bと1Cは基板の
同一区域に形成されているため、抵抗値変化は同レベル
であり、主回路7と補助回路8に同等の出力を得ること
ができる。
合、局所的に温度,磁界,歪などの外環境が異なったと
しても、蛇行パターン1Aと1D,1Bと1Cは基板の
同一区域に形成されているため、抵抗値変化は同レベル
であり、主回路7と補助回路8に同等の出力を得ること
ができる。
【0010】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば互いに
直角の感磁方向を有する二つの素子が左右対称に蛇行パ
ターンに配置され、この蛇行パターンに入り組んだ別の
蛇行パターンで別の二つの素子が左右対称に配置される
ように構成したので、局所的な外的要因があってもそれ
ぞれの蛇行パターンの受ける影響を同様のものに保て、
誤検出が防止できるという効果が得られる。
直角の感磁方向を有する二つの素子が左右対称に蛇行パ
ターンに配置され、この蛇行パターンに入り組んだ別の
蛇行パターンで別の二つの素子が左右対称に配置される
ように構成したので、局所的な外的要因があってもそれ
ぞれの蛇行パターンの受ける影響を同様のものに保て、
誤検出が防止できるという効果が得られる。
【図1】 この発明の一実施例を示す磁気抵抗素子の蛇
行パターン配列の図である。
行パターン配列の図である。
【図2】 従来の磁気抵抗素子の蛇行パターン配列を示
す図である。
す図である。
【図3】 図2の磁気抵抗素子を利用した回転角度検出
装置を示す回路図である。
装置を示す回路図である。
1A 磁気抵抗素子(蛇行パターン) 1B 磁気抵抗素子(蛇行パターン) 1C 磁気抵抗素子(蛇行パターン) 1D 磁気抵抗素子(蛇行パターン) 2a オペアンプ 2b オペアンプ 2c オペアンプ 2d オペアンプ 2e オペアンプ 2f オペアンプ 2g オペアンプ 2h オペアンプ 3 抵抗体 4 コンデンサ 5 LTR 6 マグネット 7 主回路 8 補助回路
Claims (1)
- 【請求項1】 互いに直角の感磁方向を有する二つの素
子が左右対称に蛇行パターンに配列され、前記蛇行パタ
ーンに入り組んだ別の蛇行パターンで別の素子が左右対
称に配置されていることを特徴とする磁気抵抗素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5009980A JP2888074B2 (ja) | 1993-01-25 | 1993-01-25 | 磁気抵抗素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5009980A JP2888074B2 (ja) | 1993-01-25 | 1993-01-25 | 磁気抵抗素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06224488A JPH06224488A (ja) | 1994-08-12 |
JP2888074B2 true JP2888074B2 (ja) | 1999-05-10 |
Family
ID=11735053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5009980A Expired - Fee Related JP2888074B2 (ja) | 1993-01-25 | 1993-01-25 | 磁気抵抗素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2888074B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1124271B8 (en) | 1998-08-07 | 2007-09-19 | Asahi Kasei EMD Corporation | Magnetic sensor and method for fabricating the same |
JP3506078B2 (ja) | 1999-11-25 | 2004-03-15 | 株式会社デンソー | 回転検出装置 |
WO2003032410A1 (fr) | 2001-10-01 | 2003-04-17 | Asahi Kasei Microsystems Co., Ltd. | Dispositif a effet hall et capteur magnetique |
US7388268B2 (en) | 2002-01-15 | 2008-06-17 | Asahi Kasei Electronics Co., Ltd. | Compound semiconductor multilayer structure, hall device, and hall device manufacturing method |
CN101331385B (zh) | 2005-12-16 | 2011-11-30 | 旭化成电子材料元件株式会社 | 位置检测装置 |
JP6127271B2 (ja) * | 2013-09-19 | 2017-05-17 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 巨大磁気抵抗素子 |
-
1993
- 1993-01-25 JP JP5009980A patent/JP2888074B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06224488A (ja) | 1994-08-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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