JP2882803B2 - 光断層像画像化装置 - Google Patents
光断層像画像化装置Info
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- JP2882803B2 JP2882803B2 JP63304691A JP30469188A JP2882803B2 JP 2882803 B2 JP2882803 B2 JP 2882803B2 JP 63304691 A JP63304691 A JP 63304691A JP 30469188 A JP30469188 A JP 30469188A JP 2882803 B2 JP2882803 B2 JP 2882803B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザ光と光ヘテロダイン検波とにより被測
定物の断層像を画像化する装置に関するものである。
定物の断層像を画像化する装置に関するものである。
物質内部をその物質を破壊することなく観察するため
に現在までに様々な物理的エネルギを利用した断層撮影
法が考案されている。
に現在までに様々な物理的エネルギを利用した断層撮影
法が考案されている。
その内でも代表的なものとしてＸ線CTがあげられよ
う。これにより被測定物の内部形態を非侵襲的に断層像
として観察できるようになった。また、Ｘ線被爆の危険
を伴わないMRIや超音波によるイメージング法が開発さ
れてきた。
う。これにより被測定物の内部形態を非侵襲的に断層像
として観察できるようになった。また、Ｘ線被爆の危険
を伴わないMRIや超音波によるイメージング法が開発さ
れてきた。
従来、光を用いたCT装置が実現されなかったのは、一
般に光の透過性（直進的透過性）のよい物質であれば、
外部より内部の観察が容易にできるので、いちいちCT化
を行うまでもなかったからである。また、光の直進的透
過性の悪い試料では光の散乱によって、Lamber−Beerの
法則が成立しないためCT化が困難であった。
般に光の透過性（直進的透過性）のよい物質であれば、
外部より内部の観察が容易にできるので、いちいちCT化
を行うまでもなかったからである。また、光の直進的透
過性の悪い試料では光の散乱によって、Lamber−Beerの
法則が成立しないためCT化が困難であった。
一方、生体系の生命活動に伴う生体内の各必須物質の
転換を生命活動を阻害することなく、計測することが近
年特に求められている。
転換を生命活動を阻害することなく、計測することが近
年特に求められている。
しかし、試料内部の物質転換による機能変化を観察し
ようとしたとき、Ｘ線CTでは形態情報のみしか得られな
いし、またMRIにおいてもプロトンの動態を見るにとど
まり、放射性同位元素をマーカーとしてポジトロンCTで
リンや炭素といった物質の動態が観察できるのみであっ
た。しかし、これらはいずれも被測定試料に対し、非侵
襲的に内部機能情報を取得することは全くできないのが
現状である。
ようとしたとき、Ｘ線CTでは形態情報のみしか得られな
いし、またMRIにおいてもプロトンの動態を見るにとど
まり、放射性同位元素をマーカーとしてポジトロンCTで
リンや炭素といった物質の動態が観察できるのみであっ
た。しかし、これらはいずれも被測定試料に対し、非侵
襲的に内部機能情報を取得することは全くできないのが
現状である。
本発明は上記課題を解決するためのもので、被測定物
にレーザ光を照射し、透過レーザ光のうちの直進成分の
みを光ヘテロダイン検波のもつ指向性を利用して分別検
出し、被測定物の光断層像を得ることが可能な光断層像
画像化装置を提供することを目的とする。
にレーザ光を照射し、透過レーザ光のうちの直進成分の
みを光ヘテロダイン検波のもつ指向性を利用して分別検
出し、被測定物の光断層像を得ることが可能な光断層像
画像化装置を提供することを目的とする。
そのために本発明の光断層像画像化装置は、レーザ装
置と、レーザ装置からのレーザビームを分割するレーザ
ビーム分割装置と、分割された一方のレーザ光を周波数
偏移させる周波数変換器と、周波数変換されたレーザ光
束を試料に照射する第１の光学系と、第１の光学系を通
して照射され、照射方向に試料を透過したレーザ光束
と、分割装置で分割され、前記試料を透過したレーザ光
束と同一スポット径の他方のレーザ光束とを光混合した
後、光電変換してビート成分を抽出する光ヘテロダイン
検波手段と、光ヘテロダイン検波出力と試料位置情報か
ら再生像を演算する演算手段とを備えたことを特徴とす
る。
置と、レーザ装置からのレーザビームを分割するレーザ
ビーム分割装置と、分割された一方のレーザ光を周波数
偏移させる周波数変換器と、周波数変換されたレーザ光
束を試料に照射する第１の光学系と、第１の光学系を通
して照射され、照射方向に試料を透過したレーザ光束
と、分割装置で分割され、前記試料を透過したレーザ光
束と同一スポット径の他方のレーザ光束とを光混合した
後、光電変換してビート成分を抽出する光ヘテロダイン
検波手段と、光ヘテロダイン検波出力と試料位置情報か
ら再生像を演算する演算手段とを備えたことを特徴とす
る。
また、レーザ装置と、レーザ装置からのレーザビーム
を分割するビームスプリッタと、ビームスプリッタで分
割された一方のレーザ光を周波数偏移させる周波数変換
器と、試料移動手段により移動回転すると共に、周波数
変換されたレーザ光が照射される試料台と、照射光軸と
同一光軸で試料を透過したレーザ光から平行光束を得る
ための第１光学系と、ビームスプリッタで分割された他
方のレーザ光を第１光学系の平行光束とスポット径の同
じ平行光束にするための第２光学系と、第１光学系、第
２光学系出力光を光混合し、ビート成分を抽出する光ヘ
テロダイン検波手段と、光ヘテロダイン検波出力と試料
移動手段からの試料位置情報が入力される演算手段とを
備え、光ヘテロダイン検波出力と試料位置情報とから試
料の断層像を得ることを特徴とする。
を分割するビームスプリッタと、ビームスプリッタで分
割された一方のレーザ光を周波数偏移させる周波数変換
器と、試料移動手段により移動回転すると共に、周波数
変換されたレーザ光が照射される試料台と、照射光軸と
同一光軸で試料を透過したレーザ光から平行光束を得る
ための第１光学系と、ビームスプリッタで分割された他
方のレーザ光を第１光学系の平行光束とスポット径の同
じ平行光束にするための第２光学系と、第１光学系、第
２光学系出力光を光混合し、ビート成分を抽出する光ヘ
テロダイン検波手段と、光ヘテロダイン検波出力と試料
移動手段からの試料位置情報が入力される演算手段とを
備え、光ヘテロダイン検波出力と試料位置情報とから試
料の断層像を得ることを特徴とする。
更に、レーザ装置と、レーザ装置からのレーザビーム
を分割するビームスプリッタと、ビームスプリッタで分
割された一方のレーザ光を周波数偏移させる周波数変換
器と、試料移動手段により移動回転する試料台と、周波
数変換されたレーザ光を拡大して試料に照射し、その透
過光から所定のスポット径の平行光束を得る拡大光学系
と、ビームスプリッタで分割された他方のレーザ光を拡
大光学系の光束内で走査する走査光学系と、拡大光学
系、走査光学系出力光を光混合し、ビート成分を抽出す
る光ヘテロダイン検波手段と、光ヘテロダイン検波出
力、試料移動手段からの試料位置情報、走査信号が入力
される演算手段とを備え、光ヘテロダイン検波出力、試
料位置情報、走査信号とから試料の断層像を得ることを
特徴とする。
を分割するビームスプリッタと、ビームスプリッタで分
割された一方のレーザ光を周波数偏移させる周波数変換
器と、試料移動手段により移動回転する試料台と、周波
数変換されたレーザ光を拡大して試料に照射し、その透
過光から所定のスポット径の平行光束を得る拡大光学系
と、ビームスプリッタで分割された他方のレーザ光を拡
大光学系の光束内で走査する走査光学系と、拡大光学
系、走査光学系出力光を光混合し、ビート成分を抽出す
る光ヘテロダイン検波手段と、光ヘテロダイン検波出
力、試料移動手段からの試料位置情報、走査信号が入力
される演算手段とを備え、光ヘテロダイン検波出力、試
料位置情報、走査信号とから試料の断層像を得ることを
特徴とする。
レーザ装置から射出されたレーザ光（波長λ、周波数
ω）は二分され、一方を周波数Δωだけ偏移させて試料
に照射し、透過散乱レーザ光はレンズによりその焦点位
置に置かれたアパーチャ上に集光される。アパーチャを
通過した光はアパーチャ径とアパーチャ後方に位置した
レンズ開口径できまる回折限界と等しい平行光束に、ア
パーチャ後方に位置したレンズにより変換され、この平
行光束と等しくコリメートされた前述の二分されたレー
ザ光の片方と光混合され、光電検波器により検出され
る。この走査をレーザ光光軸に垂直な方向への走査と共
に行い、次に試料をΔθ回転させ、同様の走査検出を回
転角０゜〜360゜に渡って行う。こうして得られた位置
信号と検出信号よりコンピュータにおいて投影データか
らの画像再生の計算を行い、モニタに再生画像を構成す
る。ここで、波長λを試料内の計測物質の吸収帯に合わ
せ、各種可変させることで試料内の特定物質分布の断層
像が得られる。
ω）は二分され、一方を周波数Δωだけ偏移させて試料
に照射し、透過散乱レーザ光はレンズによりその焦点位
置に置かれたアパーチャ上に集光される。アパーチャを
通過した光はアパーチャ径とアパーチャ後方に位置した
レンズ開口径できまる回折限界と等しい平行光束に、ア
パーチャ後方に位置したレンズにより変換され、この平
行光束と等しくコリメートされた前述の二分されたレー
ザ光の片方と光混合され、光電検波器により検出され
る。この走査をレーザ光光軸に垂直な方向への走査と共
に行い、次に試料をΔθ回転させ、同様の走査検出を回
転角０゜〜360゜に渡って行う。こうして得られた位置
信号と検出信号よりコンピュータにおいて投影データか
らの画像再生の計算を行い、モニタに再生画像を構成す
る。ここで、波長λを試料内の計測物質の吸収帯に合わ
せ、各種可変させることで試料内の特定物質分布の断層
像が得られる。
また、周波数偏移させたレーザ光を拡大して試料に照
射し、その透過光を平行光束とし、二分された他方のレ
ーザ光を試料を透過し、拡大した平行光束内で走査して
両者を光混合することにより、同様にして画像再生の計
算を行って、同様に試料内の特定物質分布の断層像が得
られる。
射し、その透過光を平行光束とし、二分された他方のレ
ーザ光を試料を透過し、拡大した平行光束内で走査して
両者を光混合することにより、同様にして画像再生の計
算を行って、同様に試料内の特定物質分布の断層像が得
られる。
以下、実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の光断層像画像化装置の一実施例を示
す図である。図中、１はレーザ装置、２はビームスプリ
ッタ、3,3′,9,10はミラー、４は周波数変換器、５は試
料、6,8,11,12はレンズ、７はアパーチャ、13はハーフ
ミラー、14は光電検出器、16は選択レベル測定器、17は
試料台、18は試料台制御装置、19はコンピュータ、20は
モニタである。
す図である。図中、１はレーザ装置、２はビームスプリ
ッタ、3,3′,9,10はミラー、４は周波数変換器、５は試
料、6,8,11,12はレンズ、７はアパーチャ、13はハーフ
ミラー、14は光電検出器、16は選択レベル測定器、17は
試料台、18は試料台制御装置、19はコンピュータ、20は
モニタである。
レーザ装置１から射出されたレーザ光はビームスプリ
ッタ２によりL1とL2に二分される。レーザ光L1はミラー
３により、例えば電気光学結晶等からなる周波数変換器
４へ導かれ、Δωだけ周波数偏移され、ミラー３′によ
り試料５に照射される。試料を透過した散乱レーザ光は
レンズ６によりその後側焦点位置に置かれたアパーチャ
７の上に集束される。アパーチャ７を通過した光は、ア
パーチャ位置を前側焦点位置とするレンズ８により平行
光束とされ、レンズ８の開口径とアパーチャ７の径によ
り決まる回折限界径の平行光束L3に変換される。これら
光学系により全方位に散乱する光軸から外れた散乱光は
カットされ、試料の光吸収情報を帯びた直進成分のみが
抽出される。
ッタ２によりL1とL2に二分される。レーザ光L1はミラー
３により、例えば電気光学結晶等からなる周波数変換器
４へ導かれ、Δωだけ周波数偏移され、ミラー３′によ
り試料５に照射される。試料を透過した散乱レーザ光は
レンズ６によりその後側焦点位置に置かれたアパーチャ
７の上に集束される。アパーチャ７を通過した光は、ア
パーチャ位置を前側焦点位置とするレンズ８により平行
光束とされ、レンズ８の開口径とアパーチャ７の径によ
り決まる回折限界径の平行光束L3に変換される。これら
光学系により全方位に散乱する光軸から外れた散乱光は
カットされ、試料の光吸収情報を帯びた直進成分のみが
抽出される。
一方参照用のレーザ光L2はミラー9,10を介し、レンズ
11で集光され、レンズ11の後側焦点位置を前側焦点位置
とするレンズ12によりレーザ光L3とスポット径が等しい
平行光束L4に変換され、ハーフミラー13によりL3と光混
合される。そして光電検出器14により検出され、増幅器
15、選択レベル測定器16によりビート周波数Δωの成分
のみ選択検出される。このヘテロダイン検波によりレー
ザ光L4と可干渉性のない散乱成分はカットされるので直
進成分のうち試料の光吸収情報を帯びた成分のみ検出す
ることができる。
11で集光され、レンズ11の後側焦点位置を前側焦点位置
とするレンズ12によりレーザ光L3とスポット径が等しい
平行光束L4に変換され、ハーフミラー13によりL3と光混
合される。そして光電検出器14により検出され、増幅器
15、選択レベル測定器16によりビート周波数Δωの成分
のみ選択検出される。このヘテロダイン検波によりレー
ザ光L4と可干渉性のない散乱成分はカットされるので直
進成分のうち試料の光吸収情報を帯びた成分のみ検出す
ることができる。
同様の検出を試料台17をレーザ光光軸と垂直なＸ方向
に走査しながら行う。次に試料台17をθの方向にΔθだ
け回転させ、上述と同様にＸ方向の走査と検出を行う。
に走査しながら行う。次に試料台17をθの方向にΔθだ
け回転させ、上述と同様にＸ方向の走査と検出を行う。
以上の走査をθの角度が０゜〜360゜にわたり行う。
試料台17のＸ線走査およびθ回転は試料台制御装置18に
より行われ、その位置信号は選択レベル測定器からの信
号と共にコンピュータ19に入力される。コンピュータ19
では上述の走査で得られた投影データから画像再生の計
算を行い、モニタ20上に再生像を構成する。
試料台17のＸ線走査およびθ回転は試料台制御装置18に
より行われ、その位置信号は選択レベル測定器からの信
号と共にコンピュータ19に入力される。コンピュータ19
では上述の走査で得られた投影データから画像再生の計
算を行い、モニタ20上に再生像を構成する。
なお、レーザ光の波長を試料内の各計測物質の吸収帯
に合わせ可変させることで、試料内の特定物質を選択し
てその分布の断層像が得られる。
に合わせ可変させることで、試料内の特定物質を選択し
てその分布の断層像が得られる。
第２図は本発明の他の実施例を示す図で、第１図と同
一番号は同一内容を示している。なお、21はレーザビー
ム移動制御装置、22,23,24はレンズである。
一番号は同一内容を示している。なお、21はレーザビー
ム移動制御装置、22,23,24はレンズである。
図において、レーザ装置１から射出されたレーザ光は
ビームスプリッタ２によりL1とL2に二分される。レーザ
光L1はミラー３により周波数変換器４へ導かれ、Δωだ
け周波数偏移され、ミラー３′によりレンズ22に導かれ
てその焦点位置Ａに集束され、その後広がって試料５全
体、或いは試料の観測したい部分に照射される。試料５
を透過した散乱レーザ光L3はレンズ23により点Ａと実像
関係の共役な位置に置かれたアパーチャ７の上に集光さ
れ、点Ａに集光した光だけがアパーチャを通過すること
になる。
ビームスプリッタ２によりL1とL2に二分される。レーザ
光L1はミラー３により周波数変換器４へ導かれ、Δωだ
け周波数偏移され、ミラー３′によりレンズ22に導かれ
てその焦点位置Ａに集束され、その後広がって試料５全
体、或いは試料の観測したい部分に照射される。試料５
を透過した散乱レーザ光L3はレンズ23により点Ａと実像
関係の共役な位置に置かれたアパーチャ７の上に集光さ
れ、点Ａに集光した光だけがアパーチャを通過すること
になる。
アパーチャ７を通過した光は、アパーチャ位置を前側
焦点位置とするレンズ24により平行光束とされ、レンズ
24の開口径とアパーチャ７の径により決まる回折限界径
の平行光束L3にレンズ24により変換される。ここで、平
行光束L3は参照光となるL2の径より十分大きい径に設定
される。
焦点位置とするレンズ24により平行光束とされ、レンズ
24の開口径とアパーチャ７の径により決まる回折限界径
の平行光束L3にレンズ24により変換される。ここで、平
行光束L3は参照光となるL2の径より十分大きい径に設定
される。
一方、ビームスプリッタ２で分けられた参照光L2は、
ミラー9,10によりハーフミラー13上で平行光束L2と光混
合され、光電検出器14により検出され、増幅器15、選択
レベル測定器16により周波数Δω成分のみが選択検出さ
れる。ここで参照光L2のビーム径は、光電検出器14まで
の伝搬距離で回折により大きく拡がらないような径にし
てある。このヘテロダイン検波により、第１図の実施例
の場合と同様にレーザ光L2と可干渉性のない散乱成分は
カットされるので直進成分のうち試料の光吸収情報を帯
びた成分のみ検出することができる。
ミラー9,10によりハーフミラー13上で平行光束L2と光混
合され、光電検出器14により検出され、増幅器15、選択
レベル測定器16により周波数Δω成分のみが選択検出さ
れる。ここで参照光L2のビーム径は、光電検出器14まで
の伝搬距離で回折により大きく拡がらないような径にし
てある。このヘテロダイン検波により、第１図の実施例
の場合と同様にレーザ光L2と可干渉性のない散乱成分は
カットされるので直進成分のうち試料の光吸収情報を帯
びた成分のみ検出することができる。
いま、レーザ光L2が第３図で示す平行光束L3のYY′方
向に平行光束L3を横切るようにミラー９、10および光電
検出器14をレーザビーム移動制御装置21により走査しな
がら前述した検出を行う。
向に平行光束L3を横切るようにミラー９、10および光電
検出器14をレーザビーム移動制御装置21により走査しな
がら前述した検出を行う。
次に試料台17の試料台制御装置18により角度Δθだけ
回転し、同様にレーザ光L2をYY′方向に走査をしながら
検出を行う。この操作と試料台回転角θについて０゜〜
360゜について各々行うことにより、試料台制御装置1
8、レーザビーム移動制御装置21および選択レベル測定
器からコンピュータ19に試料５の横断投影データが入力
され、これら投影データより画像再生の計算を行い、モ
ニタ20上に再生像を構成する。
回転し、同様にレーザ光L2をYY′方向に走査をしながら
検出を行う。この操作と試料台回転角θについて０゜〜
360゜について各々行うことにより、試料台制御装置1
8、レーザビーム移動制御装置21および選択レベル測定
器からコンピュータ19に試料５の横断投影データが入力
され、これら投影データより画像再生の計算を行い、モ
ニタ20上に再生像を構成する。
また、レーザ光L2の走査を、ミラー9,10、光電検出器
14、レーザビーム移動制御装置21により第３図XX′方向
に行い、試料５の回転を第２図の平面とは垂直な面で、
すなわち第２図中のθ′の方向に行いながら、投影デー
タの収集を行い画像再生を行えば、試料の縦断面画像が
得られる。また、レーザ光L2の平行光束L3を横切る方向
を外３図のYY′からXX′の間の任意方向に設定し、その
方向に対応した試料回転軸を中心に試料の回転を行え
ば、任意方向の断面像が得られる。そして、レーザ光の
波長を試料内の各計測物質の吸収帯に合わせ可変させる
ことで、試料内の特定物質分布の任意の方向の断層像が
得られる。
14、レーザビーム移動制御装置21により第３図XX′方向
に行い、試料５の回転を第２図の平面とは垂直な面で、
すなわち第２図中のθ′の方向に行いながら、投影デー
タの収集を行い画像再生を行えば、試料の縦断面画像が
得られる。また、レーザ光L2の平行光束L3を横切る方向
を外３図のYY′からXX′の間の任意方向に設定し、その
方向に対応した試料回転軸を中心に試料の回転を行え
ば、任意方向の断面像が得られる。そして、レーザ光の
波長を試料内の各計測物質の吸収帯に合わせ可変させる
ことで、試料内の特定物質分布の任意の方向の断層像が
得られる。
以上のように本発明によれば、試料中の計測物質の分
布を断層像として表すことが可能となり、従来全く評
価、分析法のなかった比較的容積の少ない試料中の各種
物質分布を非侵襲に解析する手法を提供することができ
るものである。
布を断層像として表すことが可能となり、従来全く評
価、分析法のなかった比較的容積の少ない試料中の各種
物質分布を非侵襲に解析する手法を提供することができ
るものである。
第１図は本発明の光断層像画像化装置の一実施例を示す
図、第２図は本発明の他の実施例を示す図、第３図は第
２図の平行光束L3のAA′の断面図である。 １……レーザ装置、２……ビームスプリッタ、3,3′,9,
10……ミラー、４……周波数変換器、５……試料、6,8,
11,12,22,23,24……レンズ、７……アパーチャ、13……
ハーフミラー、14……光電検出器、16……選択レベル測
定器、17……試料台、18……試料台制御装置、19……コ
ンピュータ、20……モニター、21……レーザビーム移動
制御装置。
図、第２図は本発明の他の実施例を示す図、第３図は第
２図の平行光束L3のAA′の断面図である。 １……レーザ装置、２……ビームスプリッタ、3,3′,9,
10……ミラー、４……周波数変換器、５……試料、6,8,
11,12,22,23,24……レンズ、７……アパーチャ、13……
ハーフミラー、14……光電検出器、16……選択レベル測
定器、17……試料台、18……試料台制御装置、19……コ
ンピュータ、20……モニター、21……レーザビーム移動
制御装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 市村 勉 宮城県仙台市向山１―１―20 第２グリ ーンハイツ瑞鳳301 (72)発明者 稲場 文男 宮城県仙台市八木山南１―13―１ (56)参考文献 特開 平２−110346（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−110345（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−72542（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−115548（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−127034（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−63944（ＪＰ，Ａ) 特公 昭44−24678（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 21/00 - 21/01 G01N 21/17 - 21/64 G01B 11/00 - 11/30 ＪＯＩＳ
Claims (5)
- 【請求項１】レーザ装置と、レーザ装置からのレーザビ
ームを分割するレーザビーム分割装置と、分割された一
方のレーザ光を周波数偏移させる周波数変換器と、周波
数変換されたレーザ光束を試料に照射する第１の光学系
と、第１の光学系を通して照射され、照射方向に試料を
透過したレーザ光束と、分割装置で分割され、前記試料
を透過したレーザ光束と同一スポット径の他方のレーザ
光束とを光混合した後、光電変換してビート成分を抽出
する光ヘテロダイン検波手段と、ヘテロダイン検波出力
と試料位置情報から再生像を演算する演算手段とを備え
た光断層像画像化装置。 - 【請求項２】レーザ装置と、レーザ装置からのレーザビ
ームを分割するビームスプリッタと、ビームスプリッタ
で分割された一方のレーザ光を周波数偏移させる周波数
変換器と、試料移動手段により移動回転すると共に、周
波数変換されたレーザ光が照射される試料台と、照射光
軸と同一光軸で試料を透過したレーザ光から平行光束を
得るための第１光学系と、ビームスプリッタで分割され
た他方のレーザ光を第１光学系の平行光束とスポット径
の同じ平行光束にするための第２光学系と、第１光学
系、第２光学系出力光を光混合し、ビート成分を抽出す
る光ヘテロダイン検波手段と、光ヘテロダイン検波出力
と試料移動手段からの試料位置情報が入力される演算手
段とを備え、光ヘテロダイン検波出力と試料位置情報と
から試料の断層像を得ることを特徴とする光断層像画像
化装置。 - 【請求項３】第１光学系は、試料透過光をアパーチャ上
に集光するレンズと、アパーチャ位置を前側焦点とする
レンズとからなる請求項２記載の光断層像画像化装置。 - 【請求項４】レーザ装置と、レーザ装置からのレーザビ
ームを分割するビームスプリッタと、ビームスプリッタ
で分割された一方のレーザ光を周波数偏移させる周波数
変換器と、試料移動手段により移動回転する試料台と、
周波数変換されたレーザ光を拡大して試料に照射し、そ
の透過光から所定のスポット径の平行光束を得る拡大光
学系と、ビームスプリッタで分割された他方のレーザ光
を拡大光学系の光束内で走査する走査光学系と、拡大光
学系、走査光学系出力光を光混合し、ビート成分を抽出
する光ヘテロダイン検波手段と、光ヘテロダイン検波出
力、試料移動手段からの試料位置情報、走査信号が入力
される演算手段とを備え、光ヘテロダイン検波出力、試
料位置情報、走査信号とから試料の断層像を得ることを
特徴とする光断層像画像化装置。 - 【請求項５】拡大光学系は、後側焦点位置が試料位置よ
り前方にあるレンズと、該レンズの後側焦点と共役な位
置に配置されたアパーチャ上に透過光を集光するレンズ
と、アパーチャ位置を前側焦点位置とするレンズとから
なる請求項４記載の光断層像画像化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63304691A JP2882803B2 (ja) | 1988-12-01 | 1988-12-01 | 光断層像画像化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63304691A JP2882803B2 (ja) | 1988-12-01 | 1988-12-01 | 光断層像画像化装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02150747A JPH02150747A (ja) | 1990-06-11 |
| JP2882803B2 true JP2882803B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=17936061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63304691A Expired - Fee Related JP2882803B2 (ja) | 1988-12-01 | 1988-12-01 | 光断層像画像化装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP2882803B2 (ja) |
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-
1988
- 1988-12-01 JP JP63304691A patent/JP2882803B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JPH02150747A (ja) | 1990-06-11 |
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