JP2874646B2 - Probe device - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、プローブ装置に係
り、特に、不要輻射雑音又は静電気放電による電磁界を
測定するためのプローブ装置に関する。The present invention relates to a probe device, and more particularly, to a probe device for measuring an electromagnetic field due to unnecessary radiation noise or electrostatic discharge.
【０００２】[0002]
【従来の技術】この種の従来例として、ＸＹ方向に移動
可能なキャリッジに測定用のプローブを取付け、該キャ
リッジを移動させることで被測定面の二次元の電磁界分
布を得るものがある。また、図２０に示すように、ルー
プ状のプローブ５１を二次元的に複数配設し、各プロー
ブから検出される電磁界の強さを統計して二次元的な電
磁界分布を得るものがある。2. Description of the Related Art As a conventional example of this kind, there is a method in which a probe for measurement is attached to a carriage movable in XY directions, and a two-dimensional electromagnetic field distribution on a surface to be measured is obtained by moving the carriage. Further, as shown in FIG. 20, a plurality of loop-shaped probes 51 are two-dimensionally arranged, and the strength of the electromagnetic field detected from each probe is statistically obtained to obtain a two-dimensional electromagnetic field distribution. is there.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例にあっては、被測定面が平面でなければならない等
の測定上の制約が多かった。また、ＸＹ方向に移動可能
なキャリッジや複数のループプローブを埋め込んだ測定
板を用いるので、被測定装置の内部のように狭い部分の
測定を行い２次元的測定結果を得ることは困難であっ
た。更に、今日ではケーブルに乗った定在波の分布を測
定したいという要請が強いが、上記従来例にあっては、
このようなケーブルに乗った定在波の分布を測定するに
は不向きであった。However, in the above-mentioned conventional example, there are many restrictions on measurement such that the surface to be measured must be flat. Further, since a carriage movable in the XY directions and a measurement plate in which a plurality of loop probes are embedded are used, it is difficult to obtain a two-dimensional measurement result by measuring a narrow portion such as the inside of the device to be measured. . Furthermore, there is a strong demand today to measure the distribution of standing waves on a cable, but in the above conventional example,
It is not suitable for measuring the distribution of a standing wave on such a cable.
【０００４】[0004]
【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、特に、被測定面が狭いところにあっても容易
に二次元乃至三次元の電磁界分布を測定できるプローブ
装置を提供すること、及び、ケーブルに乗った定在波の
分布を測定するに好適なプローブ装置を提供すること
を、その目的とする。An object of the present invention is to provide a probe apparatus which can solve the disadvantages of the prior art and, in particular, can easily measure a two-dimensional or three-dimensional electromagnetic field distribution even when the surface to be measured is narrow. It is another object of the present invention to provide a probe device suitable for measuring the distribution of standing waves on a cable.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明では、被測定面から放射される
電磁界を検出する電磁界検出手段をプローブ本体に備え
ている。また、プローブ本体に、被測定面に当接して回
転する回転体と、この回転体の回転量に基づいてプロー
ブ本体の被測定面に対する移動量を検出する移動量検出
手段とを備えた、という構成を採っている。In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, an electromagnetic field detecting means for detecting an electromagnetic field radiated from a surface to be measured is provided in a probe body. Further, the probe body includes a rotating body that rotates in contact with the surface to be measured, and a movement amount detecting unit that detects a movement amount of the probe body with respect to the surface to be measured based on the rotation amount of the rotating body. It has a configuration.
【０００６】本発明では、回転体を被測定面に当接させ
てプローブ本体を移動させると、回転体が移動に応じて
回転し、その移動量が移動量検出手段により検出され
る。これと同時に、各移動場所での電磁界の強さが電磁
界検出手段により連続的に検出される。これら移動量の
検出値と電磁界の検出値とを外部装置に入力して処理す
ることにより、被測定面の連続的な電磁界の分布の取得
が可能となる。In the present invention, when the rotating body is brought into contact with the surface to be measured and the probe body is moved, the rotating body is rotated according to the movement, and the amount of movement is detected by the movement amount detecting means. At the same time, the strength of the electromagnetic field at each moving location is continuously detected by the electromagnetic field detecting means. By inputting and processing the detected value of the movement amount and the detected value of the electromagnetic field to an external device, it is possible to obtain a continuous distribution of the electromagnetic field on the surface to be measured.
【０００７】請求項２記載の発明では、回転体は球体で
あって、移動量検出手段は球体に当接して当該球体の回
転量を検出するものである、という構成を採っている。
本発明では、プローブ本体を移動させると被測定面に当
接した球体が回転し、この球体の回転量が移動量検出手
段によりプローブ本体の移動量として検出される。According to the second aspect of the present invention, the rotating body is a sphere, and the moving amount detecting means contacts the sphere to detect the amount of rotation of the sphere.
In the present invention, when the probe body is moved, the sphere abutting on the surface to be measured is rotated, and the amount of rotation of the sphere is detected as the amount of movement of the probe body by the movement amount detecting means.
【０００８】請求項３記載の発明では、移動量検出手段
は、径方向に複数のスリット状無透過部が形成されると
共に球体に当接して設けられた透明円盤と、この透明円
盤の一方の面と他方の面に対応してそれぞれ一端が設け
られると共に他端がプローブ本体の外部に引き出された
一対の光ファイバと、この光ファイバを介して透明円盤
の一方の面に光を照射する発光素子と、透明円盤の他方
の面に透過した光を光ファイバを介して受光する受光素
子とを備えている、という構成を採っている。According to the third aspect of the present invention, the movement amount detecting means includes a transparent disk provided with a plurality of slit-shaped non-transmissive portions formed in the radial direction and provided in contact with the sphere, and one of the transparent disks. A pair of optical fibers, one end of which is provided corresponding to the surface and the other surface, and the other end of which is drawn out of the probe main body, and light emission for irradiating light to one surface of the transparent disk via the optical fibers. An element and a light receiving element that receives light transmitted through the other surface of the transparent disk via an optical fiber are provided.
【０００９】本発明では、プローブ本体が移動され球体
が回転すると、この球体に当接した透明円盤も一緒に回
転する。このとき、発光素子から照射された光が光ファ
イバを通じて透明円盤の一方の面に照射されると、この
光は、透明円盤の回転により該透明円盤の径方向に複数
形成されたスリット状無透過部に断続的に遮られなが
ら、透明円盤の他方の面に断続的に透過する。透過した
光は、光ファイバを通じて受光素子に受光される。この
受光素子で受光される光パルスを外部装置で計数するこ
とにより、プローブ本体の移動量の取得が可能となる。According to the present invention, when the probe body is moved and the sphere rotates, the transparent disk abutting on the sphere also rotates together. At this time, when the light emitted from the light emitting element is irradiated on one surface of the transparent disk through the optical fiber, the light is transmitted through a slit-shaped non-transparent slit formed in the radial direction of the transparent disk by rotation of the transparent disk. While being intermittently blocked by the part, it is intermittently transmitted to the other surface of the transparent disk. The transmitted light is received by the light receiving element through the optical fiber. The amount of movement of the probe main body can be obtained by counting the number of light pulses received by the light receiving element by an external device.
【００１０】請求項４記載の発明では、プローブ本体を
パイプ状部材の一端部に支持すると共に、このパイプ状
部材の他端部に握り部を設けた、という構成を採ってい
る。本発明では、握り部を手で持ち、プローブ本体の回
転体が被測定面と常時当接するように操作して、プロー
ブ本体を所定方向に移動させる。The invention according to claim 4 employs a configuration in which the probe main body is supported on one end of the pipe-shaped member and a grip is provided on the other end of the pipe-shaped member. In the present invention, the probe main body is moved in a predetermined direction by holding the grip portion by hand and operating the rotating body of the probe main body so as to always contact the surface to be measured.
【００１１】請求項５記載の発明では、パイプ状部材
が、変形自在なフレキシブルパイプである、という構成
を採っている。本発明では、握り部を持ったときにプロ
ーブ本体を被測定面に沿わせ易いようにフレキシブルパ
イプを変形させて使用する。The invention according to claim 5 employs a configuration in which the pipe-shaped member is a deformable flexible pipe. In the present invention, the flexible pipe is deformed and used so that the probe main body can easily follow the surface to be measured when holding the grip portion.
【００１２】請求項６記載の発明では、パイプ状部材の
内部に、プローブ本体から引き出される配線を収納し、
該配線を握り部から外部装置に接続可能とした、という
構成を採っている。本発明では、プローブ本体から握り
部までの間では配線が外部に剥き出しにならない。握り
部から配線を外部装置に接続して使用する。[0012] According to the present invention, the wiring drawn from the probe main body is housed inside the pipe-shaped member.
A configuration is adopted in which the wiring can be connected to an external device from the grip portion. In the present invention, the wiring is not exposed to the outside between the probe body and the grip. Connect the wiring from the grip to an external device for use.
【００１３】請求項７記載の発明では、電磁界検出手段
がドーナツ状の高周波カレントプローブであると共に、
回転体が滑車であって、移動量検出手段が滑車の回転量
を検出するものである、という構成を採っている。According to the present invention, the electromagnetic field detecting means is a donut-shaped high-frequency current probe.
The rotating body is a pulley, and the moving amount detecting means detects the rotation amount of the pulley.
【００１４】本発明では、ドーナツ状の高周波カレント
プローブの中心に被測定物となるケーブルを通し、この
ケーブルに滑車を引っかける。そして、プローブ本体を
移動させると、滑車が回転しプローブ本体の移動量が移
動量検出手段から検出される。これと同時に、高周波カ
レントプローブからはケーブルから放射される電磁界の
強さが連続的に検出される。これら移動量の検出値と電
磁界の検出値とを外部装置に入力して処理することによ
り、被測定面の連続的な電磁界の分布の取得が可能とな
る。In the present invention, a cable to be measured is passed through the center of a donut-shaped high-frequency current probe, and a pulley is hooked on the cable. Then, when the probe body is moved, the pulley rotates, and the movement amount of the probe body is detected by the movement amount detecting means. At the same time, the strength of the electromagnetic field radiated from the cable from the high-frequency current probe is continuously detected. By inputting and processing the detected value of the movement amount and the detected value of the electromagnetic field to an external device, it is possible to obtain a continuous distribution of the electromagnetic field on the surface to be measured.
【００１５】これらにより、前述した目的を達成しよう
とするものである。[0015] With the above, the above-mentioned object is achieved.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
乃至図１０に基づいて説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
This will be described with reference to FIGS.
【００１７】図１は、本実施形態の概念図である。本実
施形態のプローブ装置は、被測定面の電磁界の強さを検
出するプローブ本体１と、このプローブ本体１を操るた
めのグリップ部２（握り部）と、プローブ本体１とグリ
ップ部２とを物理的に接続して一体化するパイプ状の信
号伝達部５とから構成される。FIG. 1 is a conceptual diagram of the present embodiment. The probe device according to the present embodiment includes a probe main body 1 for detecting the intensity of an electromagnetic field on a surface to be measured, a grip portion 2 (grip portion) for manipulating the probe main body 1, a probe main body 1 and a grip portion 2. And a pipe-shaped signal transmission unit 5 which is physically connected and integrated.
【００１８】プローブ本体１は、電磁界を検出する電磁
界検出手段８と、プローブ本体１の移動量を検出する移
動量検出手段９とを、筐体内部に一体的に保持してい
る。プローブ本体１の筐体からは、電磁界検出手段８の
信号出力用の同軸ケーブル７と、移動量検出手段９の駆
動用及び出力用の配線としての光ファイバ３が引き出さ
れている。The probe body 1 integrally holds an electromagnetic field detecting means 8 for detecting an electromagnetic field and a moving amount detecting means 9 for detecting a moving amount of the probe body 1 in a housing. From the housing of the probe body 1, a coaxial cable 7 for signal output of the electromagnetic field detecting means 8 and an optical fiber 3 as wiring for driving and outputting the moving amount detecting means 9 are drawn out.
【００１９】また、信号伝達部５は、フレキシブルパイ
プ６で構成され、変形自在であり、かつ、変形後の状態
を止めておくことができるものである。このフレキシブ
ルパイプ６の内部には、プローブ本体１から引き出され
た同軸ケーブル７と光ファイバケーブル３が収納されて
いる。フレキシブルパイプ６の一端はプローブ本体１の
筐体の一部に固定され、他端はグリップ部２の筐体の一
部に固定されている。The signal transmission unit 5 is formed of a flexible pipe 6, is deformable, and can stop the state after the deformation. Inside the flexible pipe 6, a coaxial cable 7 and an optical fiber cable 3 pulled out from the probe main body 1 are housed. One end of the flexible pipe 6 is fixed to a part of the housing of the probe body 1, and the other end is fixed to a part of the housing of the grip part 2.
【００２０】グリップ部２は、プローブ本体１から引き
込まれた同軸ケーブル７の出力を外部装置と接続可能と
した電磁界検出用コネクタ４３ｂと、移動量検出手段９
に入射すべき光信号を出力すると共に移動量検出手段９
から出力された光信号を所定の電気信号に変換する信号
変換手段４と、移動量検出手段９から出力された移動量
信号を外部装置に出力するための移動量検出用コネクタ
４３ａとを備えている。The grip section 2 includes an electromagnetic field detecting connector 43b which enables the output of the coaxial cable 7 drawn from the probe main body 1 to be connected to an external device, and a moving amount detecting means 9
An optical signal to be incident on the optical disk and a moving amount detecting means 9
Signal conversion means 4 for converting an optical signal output from the optical signal into a predetermined electric signal, and a movement amount detection connector 43a for outputting the movement amount signal output from the movement amount detection means 9 to an external device. I have.
【００２１】以下、上述した概念的構成に基づいて本実
施形態の更に具体的な構成を明らかにする。Hereinafter, a more specific configuration of the present embodiment will be clarified based on the conceptual configuration described above.
【００２２】図２に、プローブ本体１の内部構成を示
す。プローブ本体１は、その筐体が絶縁材料で形成され
ていて、被測定面との対向面の中央にボール１０の一部
が覗き出す丸穴が形成されている。このように、ボール
１０は、球面の一部が丸穴から覗き出した状態で回転可
能に筐体の一部に保持されている。その構造は、例え
ば、コンピュータの入力装置として一般的なボール型マ
ウスと同様にすれば良い。また、このボール１０には、
当該ボール１０の回転に応じてプローブ本体１のＸ方向
への移動を検出するＸ方向移動検出センサ１３と、Ｙ方
向への移動を検出するＹ方向移動検出センサ１４とが当
接して設けられている。このＸ方向移動検出センサ１３
とＹ方向移動検出センサ１４は、ボール１０の中心と各
センサ１３，１４のなす間の角が直角となる位置で、ボ
ール１０の中心及び各センサ１３，１４を含む面が筐体
の被測定面との対向面と平行になるように、筐体の一部
に固定されている。このＸ方向移動検出センサ１３とＹ
方向移動検出センサ１４が、それぞれ上述した移動量検
出手段９として機能する。ここで、Ｘ方向移動検出セン
サ１３，Ｙ方向移動検出センサ１４には、それぞれ２本
ずつの光ファイバ１７が接続されている。FIG. 2 shows the internal structure of the probe main body 1. The probe main body 1 has a housing made of an insulating material, and has a round hole at the center of the surface facing the surface to be measured, through which a part of the ball 10 can be seen. In this manner, the ball 10 is rotatably held by a part of the housing in a state where a part of the spherical surface is seen through the round hole. The structure may be the same as a general ball-type mouse as an input device of a computer, for example. Also, this ball 10 has
An X-direction movement detection sensor 13 that detects the movement of the probe body 1 in the X direction according to the rotation of the ball 10 and a Y-direction movement detection sensor 14 that detects the movement in the Y direction are provided in contact with each other. I have. This X-direction movement detection sensor 13
And the Y-direction movement detection sensor 14 are located at a position where the angle between the center of the ball 10 and each of the sensors 13 and 14 is a right angle. It is fixed to a part of the housing so as to be parallel to the surface facing the surface. This X-direction movement detection sensor 13 and Y
The direction movement detection sensors 14 function as the movement amount detection means 9 described above. Here, two optical fibers 17 are connected to the X-direction movement detection sensor 13 and the Y-direction movement detection sensor 14, respectively.
【００２３】また、プローブ本体１の筐体内部には、同
軸ケーブル２５の心線及び外部導体の終端を結合して形
成したＸ軸ループプローブ１１とＹ軸ループプローブ１
２とが設けられている。即ち、一本の同軸ケーブル２５
につき一つのループプローブが形成されている。Ｘ軸ル
ーププローブ１１は、ループを含む面がＹ軸に沿うよう
に設けられている。一方、Ｙ軸ループプローブ１２は、
ループを含む面がＸ軸に沿うように設けられている。本
実施形態では、Ｘ軸ループプローブ１１よりもＹ軸ルー
ププローブ１２の径が幾分小さめに設定されており、Ｘ
軸ループプローブ１１の中心位置とＹ軸ループプローブ
１２の中心位置とが一致するように組み合わせて配設さ
れている。ここで、これらＸ軸ループプローブ１１とＹ
軸ループプローブ１２とは、互いに短絡しないように絶
縁されている必要があるが、各ループが絶縁被覆された
状態で筐体の一部に保持されていても良いし、各ループ
が筐体と一体となった絶縁材料のブロック内に埋め込ま
れた状態で保持されていても良い。これら各ループプロ
ーブ１１，１２が、図１に示した電磁界検出手段８とし
てそれぞれ機能する。An X-axis loop probe 11 and a Y-axis loop probe 1 formed by coupling the core of the coaxial cable 25 and the end of the external conductor are provided inside the housing of the probe body 1.
2 are provided. That is, one coaxial cable 25
One loop probe is formed for each. The X-axis loop probe 11 is provided such that a plane including the loop is along the Y-axis. On the other hand, the Y-axis loop probe 12
The plane including the loop is provided along the X axis. In the present embodiment, the diameter of the Y-axis loop probe 12 is set to be slightly smaller than that of the X-axis loop probe 11, and X
The center position of the axis loop probe 11 and the center position of the Y axis loop probe 12 are arranged in combination so as to match. Here, these X-axis loop probe 11 and Y
The shaft loop probe 12 needs to be insulated so as not to be short-circuited with each other. However, each loop may be held in a part of the housing in a state where the loop is insulated, or each loop may be connected to the housing. It may be held in a state of being embedded in a block of an integral insulating material. These loop probes 11 and 12 respectively function as the electromagnetic field detecting means 8 shown in FIG.
【００２４】そして、プローブ本体１を用いて電磁界の
測定を行う場合には、図４に示すように、ボール１０を
被測定面１６に当接させた状態でプローブ本体１を移動
させる。When measuring an electromagnetic field using the probe body 1, the probe body 1 is moved while the ball 10 is in contact with the surface 16 to be measured, as shown in FIG.
【００２５】続いて、上述したＸ方向移動検出センサ１
３，Ｙ方向移動検出センサ１４の詳細な構成を図５乃至
図７に基づいて説明する。ここで、Ｘ方向移動検出セン
サ１３とＹ方向移動検出センサ１４の構成は、全く同一
であるから、以下Ｘ方向移動検出センサ１３について説
明する。Subsequently, the X-direction movement detection sensor 1 described above
The detailed configuration of the 3, Y-direction movement detection sensor 14 will be described with reference to FIGS. Here, since the configuration of the X-direction movement detection sensor 13 and the configuration of the Y-direction movement detection sensor 14 are completely the same, the X-direction movement detection sensor 13 will be described below.
【００２６】図５は、Ｘ方向移動検出センサ１３の外観
斜視図である。筐体４４は、内部中空の箱状であり、内
部には、筐体４４の一部から覗き出た回転板１５が筐体
４４の側面間に軸支された回転軸１５ａと一体となって
回転可能に設けられている。筐体４４からは、２本の光
ファイバ１７が引き出されている。FIG. 5 is an external perspective view of the X-direction movement detection sensor 13. The housing 44 has a hollow box shape inside, and a rotating plate 15 peeped out from a part of the housing 44 is integrated with a rotating shaft 15 a pivotally supported between the side surfaces of the housing 44. It is provided rotatably. Two optical fibers 17 are drawn out of the housing 44.
【００２７】図６は、Ｘ方向移動検出センサ１３の縦断
面図である。上述した回転板１５は、透明部材で形成さ
れ、その表面に、径方向に沿った複数のスリット状無透
過部が放射状に形成されている。FIG. 6 is a longitudinal sectional view of the X-direction movement detection sensor 13. The above-mentioned rotating plate 15 is formed of a transparent member, and a plurality of slit-shaped non-transmissive portions along the radial direction are radially formed on the surface thereof.
【００２８】図７は、Ｘ方向移動検出センサ１３の横断
面図である。回転板１５の一方の面と他方の面には、そ
れぞれ対応する位置に光ファイバ１７の先端部が配置さ
れており、その各先端にはレンズ１８，１８が取り付け
られ、回転板１５への送光部４１と、回転板１５を透過
した光の受光部４２とが形成されている。そして、光フ
ァイバ１７を介し回転板１５に照射された光は、回転板
１５の回転と共に断続的に回転板１５の他方の面に透過
し、受光部４２に受光される。このように構成されたＸ
方向移動検出センサ１３は、筐体４４から突出した回転
板１５の一部が図２乃至図３に示すボール１０の表面に
当接するように配設する。Ｙ方向移動検出センサ１４に
ついても同様である。このため、ボール１０の回転に応
じて回転板１５が回転し、その回転量が光のパルス数と
して受光部４２から出力される。FIG. 7 is a cross-sectional view of the X-direction movement detection sensor 13. On one surface and the other surface of the rotating plate 15, distal ends of the optical fiber 17 are arranged at corresponding positions, and lenses 18 are attached to the respective distal ends. An optical section 41 and a light receiving section 42 for light transmitted through the rotating plate 15 are formed. The light radiated to the rotating plate 15 via the optical fiber 17 intermittently transmits to the other surface of the rotating plate 15 with the rotation of the rotating plate 15 and is received by the light receiving unit 42. X configured in this way
The direction movement detection sensor 13 is disposed such that a part of the rotating plate 15 protruding from the housing 44 contacts the surface of the ball 10 shown in FIGS. The same applies to the Y-direction movement detection sensor 14. Therefore, the rotating plate 15 rotates in accordance with the rotation of the ball 10, and the amount of rotation is output from the light receiving unit 42 as the number of light pulses.
【００２９】図８は、本実施形態にかかるプローブ装置
の外観図である。プローブ本体１から引き出された２本
の同軸ケーブル２５及び４本の光ファイバケーブル１７
は、フレキシブルパイプからなる信号伝達部５の内部を
挿通され、グリップ部２に至る。そして、このグリップ
部２から、外部装置である測定器２０やコンピュータ２
１に接続可能となっている。ここで、測定器２０は、例
えばスペクトラムアナライザやオシロスコープ等であ
る。FIG. 8 is an external view of the probe device according to the present embodiment. Two coaxial cables 25 and four optical fiber cables 17 drawn from the probe main body 1
Is inserted through the inside of the signal transmission unit 5 made of a flexible pipe and reaches the grip unit 2. Then, from the grip portion 2, the measuring device 20 and the computer 2 which are external devices are provided.
1 can be connected. Here, the measuring device 20 is, for example, a spectrum analyzer or an oscilloscope.
【００３０】図９は、グリップ部２の内部構成図であ
る。フレキシブルパイプ６から引き込まれた２本の同軸
ケーブル２５は、グリップ部２の筐体外部に取り付けら
れた電磁界検出用コネクタ４３ｂにそのまま接続されて
いる。また、グリップ部２の筐体には、プローブ本体１
の移動量検出用コネクタ４３ａが設けられている。この
移動量検出用コネクタ４３ａは、Ｘ方向移動量検出用と
Ｙ方向移動量検出用の２つのコネクタから構成され、各
コネクタが筐体内部のドライバレシーバ回路１９に接続
されている。このドライバレシーバ回路１９には、２つ
のＬＥＤ２４，２４と、２つのフォトトランジスタ２
３，２３がそれぞれ隣接しないように交互に配置されて
いる。そして、フレキシブルパイプ６から引き込まれた
４本の光ファイバ１７の先端部がそれぞれ２つのＬＥＤ
２４，２４と２つのフォトトランジスタ２３，２３に個
別に対応するように配置されている。FIG. 9 is an internal configuration diagram of the grip portion 2. The two coaxial cables 25 drawn from the flexible pipe 6 are directly connected to the electromagnetic field detection connector 43b attached to the outside of the casing of the grip portion 2. In addition, the housing of the grip portion 2 includes a probe body 1.
Is provided. The moving amount detecting connector 43a is composed of two connectors for detecting the moving amount in the X direction and for detecting the moving amount in the Y direction, and each connector is connected to the driver receiver circuit 19 inside the housing. The driver receiver circuit 19 includes two LEDs 24, 24 and two phototransistors 2
3 and 23 are alternately arranged so as not to be adjacent to each other. Then, the tips of the four optical fibers 17 drawn from the flexible pipe 6 are two LEDs each.
24, 24 and the two phototransistors 23, 23 are individually arranged.
【００３１】具体的には、プローブ本体１に設けられた
Ｘ方向移動検出センサ１３の送光部４１及びＹ方向移動
検出センサ１４の送光部４１をなす２本の光ファイバ１
７は、それぞれグリップ部２のＬＥＤ２４，２４の照射
光を取り込める位置に配置され、プローブ本体１に設け
られたＸ方向移動検出センサ１３の受光部４２及びＹ方
向移動検出センサ１４の受光部４２をなす２本の光ファ
イバは、それぞれグリップ部２のフォトトランジスタ２
３，２３に光信号を与えられる位置に配置されている。More specifically, two optical fibers 1 forming a light transmitting unit 41 of the X-direction movement detecting sensor 13 and a light transmitting unit 41 of the Y-direction movement detecting sensor 14 provided in the probe main body 1.
Reference numeral 7 denotes a light-receiving unit of the X-direction movement detection sensor 13 and a light-receiving unit 42 of the Y-direction movement detection sensor 14 provided at the probe main body 1. The two optical fibers are formed by the phototransistor 2 of the grip portion 2 respectively.
3 and 23 are arranged at positions where optical signals can be given.
【００３２】ドライバレシーバ回路１９は、ＬＥＤ２
４，２４を発光駆動すると共に、フォトトランジスタ２
４，２４に受光され電気信号に変換された信号を波形整
形して移動量検出用コネクタ４３ａに出力する機能を備
えている。ここで、移動量検出用コネクタ４３ａは、例
えばシリアルインタフェース等とし、ドライバレシーバ
回路の動作用電源は、移動量検出用コネクタ４３ａに接
続される外部のコンピュータから供給するように構成し
ても良い。The driver receiver circuit 19 includes the LED 2
4 and 24 are driven to emit light, and the phototransistor 2
It has a function of shaping the waveform of the signal received by the optical signal 4, 24 and converted into an electric signal, and outputting the signal to the movement amount detection connector 43a. Here, the moving amount detecting connector 43a may be, for example, a serial interface or the like, and the power for operating the driver receiver circuit may be supplied from an external computer connected to the moving amount detecting connector 43a.
【００３３】次に、本実施形態によるプローブ装置の使
用方法を図２乃至図１０を参照して説明する。Next, a method of using the probe device according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.
【００３４】まず、グリップ部２の電磁界検出用コネク
タ４３ｂを測定器２０に接続し、移動量検出用コネクタ
４３ａをコンピュータ２１と接続する。また、測定器２
０に入力された電磁界検出値のデータがコンピュータ２
１にも得られるように、測定器２０とコンピュータ２１
とを接続する。そして、操作者は、グリップ部２を手に
持ってプローブ本体１を被測定面１６に当てる。このと
き、プローブ本体１のボール１０を被測定面１６に当接
させ難い場合は、フレキシブルパイプ６を適当に変形さ
せ、操作し易いようにプローブ本体１の向きを調整す
る。First, the connector 43b for detecting the electromagnetic field of the grip portion 2 is connected to the measuring instrument 20, and the connector 43a for detecting the movement amount is connected to the computer 21. In addition, measuring instrument 2
The data of the electromagnetic field detection value input to
1, the measuring device 20 and the computer 21
And connect. Then, the operator touches the probe main body 1 to the surface 16 to be measured while holding the grip portion 2 in a hand. At this time, if it is difficult to make the ball 10 of the probe main body 1 abut on the surface 16 to be measured, the flexible pipe 6 is appropriately deformed, and the direction of the probe main body 1 is adjusted so as to be easily operated.
【００３５】続いて、プローブ本体１を被測定面１６上
の初期測定位置に位置決めし、測定器２０、コンピュー
タ２１を測定可能状態に設定する。コンピュータ２１を
測定可能状態に設定すると、コンピュータ２１からグリ
ップ部２のドライバレシーバ回路１９に動作用電源が供
給され、ＬＥＤ２４，２４が点灯する。これにより、プ
ローブ本体１のＸ方向移動検出センサ１３，Ｙ方向移動
検出センサ１４内に装備された回転板１５に、一方の光
ファイバ１７を介して光が照射されると共に、この回転
板１５を透過した光は他方の光ファイバ１７を介してグ
リップ部２のフォトトランジスタ２３，２３に取り込ま
れる。Subsequently, the probe main body 1 is positioned at the initial measurement position on the surface 16 to be measured, and the measuring device 20 and the computer 21 are set in a measurable state. When the computer 21 is set to a measurable state, the computer 21 supplies power for operation to the driver receiver circuit 19 of the grip unit 2 and the LEDs 24, 24 are turned on. Thus, the rotating plate 15 provided in the X-direction movement detecting sensor 13 and the Y-direction movement detecting sensor 14 of the probe main body 1 is irradiated with light via one optical fiber 17 and the rotating plate 15 is moved. The transmitted light is taken into the phototransistors 23 of the grip unit 2 via the other optical fiber 17.
【００３６】フォトトランジスタ２３，２３に入力され
電気信号に変換された信号は、ドライバレシーバ回路１
９により波形整形され、外部のコンピュータ２１に入力
される。コンピュータ２１は、入力される信号の変化か
らプローブ本体１の移動量をＸ方向及びＹ方向のそれぞ
れについて逐次算出する。即ち、プローブ本体１がＸ方
向乃至Ｙ方向に移動されると、プローブ本体１に装備さ
れたボール１０の回転に応じて上述の回転板１５が回転
し、該回転板１５を透過しようとする光は、スリット状
無透過部により断続的に遮断される。これが、パルス状
の光信号の変化としてグリップ部２側のフォトトランジ
スタに入力され、コンピュータ２１では、移動量に応じ
た数のパルス信号が得られる。よって、コンピュータ２
１は、入力されるパルス数を計数することにより、プロ
ーブ本体１のＸ方向又はＹ方向の初期位置からの移動量
を算出する。The signals input to the phototransistors 23 and converted into electric signals are supplied to the driver receiver circuit 1.
The waveform is shaped by 9 and input to an external computer 21. The computer 21 sequentially calculates the amount of movement of the probe main body 1 in each of the X direction and the Y direction from a change in the input signal. That is, when the probe main body 1 is moved in the X direction or the Y direction, the above-mentioned rotating plate 15 is rotated in accordance with the rotation of the ball 10 mounted on the probe main body 1, and the light that is going to pass through the rotating plate 15 Is intermittently blocked by the slit-shaped non-transmissive portion. This is input to the phototransistor on the grip section 2 side as a change in a pulsed optical signal, and the computer 21 obtains a number of pulse signals corresponding to the amount of movement. Therefore, computer 2
1 calculates the amount of movement of the probe main body 1 from the initial position in the X direction or the Y direction by counting the number of input pulses.
【００３７】一方、プローブ本体１のＸ軸ループプロー
ブ１１及びＹ軸ループプローブ１２からは、プローブ本
体１の移動方向に応じて所定の起電力が誘起され、これ
が同軸ケーブル２５から電磁界検出用コネクタ４３ａを
通じて測定器２０に入力される。また、測定器２０に入
力された電磁界の検出信号は、コンピュータ２１にも入
力される。操作者は、測定器２０の表示から測定結果を
把握することができる。On the other hand, a predetermined electromotive force is induced from the X-axis loop probe 11 and the Y-axis loop probe 12 of the probe main body 1 in accordance with the moving direction of the probe main body 1, and this is generated from the coaxial cable 25 by the electromagnetic field detecting connector. The signal is input to the measuring device 20 through 43a. The electromagnetic field detection signal input to the measuring device 20 is also input to the computer 21. The operator can grasp the measurement result from the display of the measuring device 20.
【００３８】また、コンピュータ２１は、測定器２０か
ら入力される電磁界の検出信号を所定のタイミングでサ
ンプリングし、その時の移動量の算出結果と対応づけて
蓄積してゆく。そして、一定の測定データが蓄積される
と、被測定面１６上の位置と電磁界強度との関係とを画
面上に表示させる。操作者が、プローブ本体１を被測定
面１６を筆で塗りつぶすように移動させることによっ
て、被測定面１６の全体的な電磁界強度分布を表示させ
ることができる。The computer 21 samples the detection signal of the electromagnetic field input from the measuring device 20 at a predetermined timing, and accumulates the signal in association with the calculation result of the movement amount at that time. Then, when certain measurement data is accumulated, the relationship between the position on the measured surface 16 and the electromagnetic field strength is displayed on the screen. By moving the probe main body 1 so as to paint the measured surface 16 with a brush, the entire electromagnetic field intensity distribution of the measured surface 16 can be displayed.
【００３９】これによると、プローブ本体に回転体とし
てのボールを設け、電磁界の検出と同時に、このボール
の回転量に基づいてプローブ本体の移動量を検出可能と
したので、小型でありながら被測定面の各位置毎の電磁
界強度を連続的に検出することができ、被測定面が狭い
ところにあっても容易に電磁界分布を測定することがで
きる。更に、被測定面が曲面であっても測定を行うこと
ができる。According to this, the probe body is provided with a ball as a rotating body, and simultaneously with the detection of the electromagnetic field, the amount of movement of the probe body can be detected based on the amount of rotation of the ball. The electromagnetic field strength at each position on the measurement surface can be continuously detected, and the electromagnetic field distribution can be easily measured even when the surface to be measured is narrow. Further, the measurement can be performed even if the surface to be measured is a curved surface.
【００４０】また、回転体としてボールという球体を用
いたので２次元的なプローブ本体の移動量を検出するこ
とができ、２次元的な電磁界分布を取得することができ
る。Further, since a sphere called a ball is used as the rotating body, a two-dimensional movement amount of the probe main body can be detected, and a two-dimensional electromagnetic field distribution can be obtained.
【００４１】更に、光ファイバをプローブ本体内に引き
込み、光信号によりプローブ本体の移動量を検出可能と
したので、外部の電磁ノイズの影響がなく、移動量の検
出を高精度に行うことができる。これと共に、電磁界検
出手段としてのＸ軸ループプローブ１１及びＹ軸ループ
プローブ１２の検出値に各移動検出センサ１３，１４が
電磁的な悪影響を与える事態を有効に防止することがで
き、精度の高い電磁界強度の検出値を得ることができ
る。Furthermore, since the optical fiber is drawn into the probe main body and the amount of movement of the probe main body can be detected by an optical signal, the amount of movement can be detected with high accuracy without being affected by external electromagnetic noise. . At the same time, it is possible to effectively prevent the movement detection sensors 13 and 14 from adversely affecting the detection values of the X-axis loop probe 11 and the Y-axis loop probe 12 as the electromagnetic field detection means. A detected value of a high electromagnetic field strength can be obtained.
【００４２】これに加え、プローブ本体１にパイプ状部
材を介してグリップ部２を接続したので、グリップ部２
を手に持って操作することでプローブ本体を容易に移動
させることができる。In addition, since the grip 2 is connected to the probe body 1 via a pipe-shaped member, the grip 2
The probe main body can be easily moved by holding and operating the probe.
【００４３】また、パイプ状部材としてフレキシブルパ
イプ６を用いたので、操作し易いようにパイプを変形さ
せることで、ボールが被測定面に当接した状態でのプロ
ーブ本体１の移動をより容易に行うことができる。Further, since the flexible pipe 6 is used as the pipe-shaped member, the pipe is deformed so as to be easily operated, so that the movement of the probe main body 1 in a state where the ball is in contact with the surface to be measured can be more easily performed. It can be carried out.
【００４４】更に、プローブ本体から引き出された配線
をパイプ状部材の内部に収納しているので、操作の邪魔
になることがなく、また、光ファイバを折れ等の破損か
ら守ることができる。Furthermore, since the wiring drawn from the probe main body is housed inside the pipe-shaped member, it does not hinder the operation, and the optical fiber can be protected from breakage or other damage.
【００４５】以上、本発明の一実施形態を示したが、本
発明は、上記実施形態に限られることなく種々の変形が
可能である。例えば、Ｘ軸ループプローブ、Ｙ軸ループ
プローブに加え、図１４に示すように、ループ面が被測
定面１６に平行なＺ軸ループプローブ３８を設けること
により、Ｚ軸方向の磁界強度を測定し、測定点での磁界
の向きを３次元で知ることが可能となる。また、ループ
プローブを図１５に示す電圧検出用の電圧測定端子に変
更すれば、電圧の分布を測定することも可能となる。更
に、ループプローブを図１６に示す電界検出用モノポー
ルアンテナにすれば、電界強度の分布を測定することも
可能となる。As described above, one embodiment of the present invention has been described. However, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made. For example, in addition to the X-axis loop probe and the Y-axis loop probe, as shown in FIG. 14, by providing a Z-axis loop probe 38 whose loop surface is parallel to the surface 16 to be measured, the magnetic field strength in the Z-axis direction is measured. , It is possible to know the direction of the magnetic field at the measurement point in three dimensions. Further, if the loop probe is changed to a voltage measuring terminal for voltage detection shown in FIG. 15, it is possible to measure the voltage distribution. Furthermore, if the loop probe is a monopole antenna for electric field detection shown in FIG. 16, the distribution of electric field intensity can be measured.
【００４６】また、電界を検出する場合、図１７に示す
バランを介したダイポールアンテナを使用することによ
り、電界強度測定の精度を上げることも可能である。更
に、図１８に示す被測定面に垂直なダイポールアンテナ
を使用すれば、垂直方向の電界強度の分布が測定可能で
あり、また、図１９に示すように、垂直、水平方向の両
アンテナを組み合わせれば、３次元での電界強度分布が
測定可能となる。When an electric field is detected, the accuracy of electric field strength measurement can be improved by using a dipole antenna via a balun shown in FIG. Furthermore, if a dipole antenna perpendicular to the surface to be measured shown in FIG. 18 is used, the distribution of the electric field strength in the vertical direction can be measured. As shown in FIG. 19, both the vertical and horizontal antennas are combined. Then, the three-dimensional electric field intensity distribution can be measured.
【００４７】次に、本発明の他の実施形態を図１１乃至
図１３に基づいて説明する。Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
【００４８】図１１（ａ）は、本実施形態のプローブ装
置を被測定物であるケーブル３４に取り付けた状態を示
す斜視図である。ケーブル３４は、電磁界検出手段とし
てのドーナツ状の高周波カレントプローブ２９の中央を
通っている。この高周波カレントプローブ２９は、固定
板３３に固定されている。また、この固定板３３には、
回転体としての同一径の２つのローラ３０，３１が回転
可能に取り付けられている。この２つのローラ３０，３
１は、図１１（ｂ）に示すように、ケーブル３４を上下
から挟み込むように設けられている。固定板３３に近い
側のローラ３０の回転軸には、当該ローラ３０の回転量
を検出する回転検出センサ３２が併設されていて、その
配線が固定板３３から下方に垂れている。このようにし
て、プローブ本体が構成されている。ここで、高周波カ
レントプローブ２９を介して一対のローラ３０，３１と
は反対側に、該一対のローラ３０，３１と同様にケーブ
ル３４を挟み込む他の一対のローラを固定板３３に固定
して設けても良い。これにより、高周波カレントプロー
ブ２９内の所定位置にケーブル３４を維持することが容
易となる。FIG. 11A is a perspective view showing a state in which the probe device of the present embodiment is attached to a cable 34 as an object to be measured. The cable 34 passes through the center of a donut-shaped high-frequency current probe 29 as an electromagnetic field detecting means. The high-frequency current probe 29 is fixed to a fixing plate 33. In addition, the fixed plate 33 includes
Two rollers 30 and 31 having the same diameter as a rotating body are rotatably mounted. These two rollers 30, 3
1 is provided so as to sandwich the cable 34 from above and below, as shown in FIG. A rotation detection sensor 32 for detecting the amount of rotation of the roller 30 is provided alongside the rotation shaft of the roller 30 on the side closer to the fixed plate 33, and the wiring thereof hangs downward from the fixed plate 33. Thus, the probe main body is configured. Here, another pair of rollers that sandwich the cable 34 similarly to the pair of rollers 30 and 31 is fixed to the fixing plate 33 on the side opposite to the pair of rollers 30 and 31 via the high-frequency current probe 29. May be. Accordingly, it is easy to maintain the cable 34 at a predetermined position in the high-frequency current probe 29.
【００４９】図１２は、プローブ本体の接続図である。
高周波カレントプローブ２９の出力は、スペクトラムア
ナライザ３５に入力され、ローラ３０の回転検出センサ
３２の出力は、コンピュータ２１に入力される。更に、
高周波カレントプローブ２９の出力は、スペクトラムア
ナライザ３５からコンピュータ２１にも入力されるよう
になっている。FIG. 12 is a connection diagram of the probe main body.
The output of the high-frequency current probe 29 is input to the spectrum analyzer 35, and the output of the rotation detection sensor 32 of the roller 30 is input to the computer 21. Furthermore,
The output of the high-frequency current probe 29 is also input from the spectrum analyzer 35 to the computer 21.
【００５０】そして、プローブ本体をケーブル３４に沿
って移動させると、回転検出センサ３２からローラ３０
の回転に応じた信号が出力されると共に、高周波カレン
トプローブ２９からはケーブル３４の各部における高周
波電流が検出される。高周波カレントプローブ２９で検
出された高周波電流は、スペクトラムアナライザ３５に
より電流スペクトラムに変換され、その後コンピュータ
２１へ入力される。また、回転検出センサ３２の出力信
号も、コンピュータ２１に入力される。コンピュータ２
１は、回転検出センサ３２の出力信号からプローブ本体
のケーブル３４上での移動量を逐次算出し、スペクトラ
ムアナライザ３５から入力された電流値と、算出した移
動量とに基づいてケーブル３４上の電流分布を作成し、
画像として表示させる。When the probe body is moved along the cable 34, the rotation detecting sensor 32 outputs the roller 30.
, And a high-frequency current in each part of the cable 34 is detected from the high-frequency current probe 29. The high-frequency current detected by the high-frequency current probe 29 is converted into a current spectrum by a spectrum analyzer 35, and then input to the computer 21. The output signal of the rotation detection sensor 32 is also input to the computer 21. Computer 2
1 sequentially calculates the amount of movement of the probe body on the cable 34 from the output signal of the rotation detection sensor 32, and calculates the amount of current on the cable 34 based on the current value input from the spectrum analyzer 35 and the calculated amount of movement. Create a distribution,
Display as an image.
【００５１】例えば、図１３（ｃ）に示すような一般的
な電子機器３６のケーブル（電源ケーブル等）から放射
されるノイズスペクトラムであれば、ｆ１は、ケーブル
の長さがノイズの波長λの１／４に共振する周波数であ
り、それは、図１３（ａ）に示すような電流分布を持つ
定在波となる。また、ｆ２は、ケーブルの長さがノイズ
の波長λの１／２に共振する周波数であり、それは、図
１３（ｂ）に示すような電流分布を持つ定在波となる。For example, in the case of a noise spectrum radiated from a cable (power supply cable or the like) of a general electronic device 36 as shown in FIG. 13C, f1 is the length of the cable corresponding to the noise wavelength λ. This is a frequency that resonates to 1/4, which is a standing wave having a current distribution as shown in FIG. Further, f2 is a frequency at which the length of the cable resonates at の of the wavelength λ of the noise, which is a standing wave having a current distribution as shown in FIG.
【００５２】このように、本実施形態によれば、電磁界
検出手段としてドーナツ状の高周波カレントプローブを
用い、回転体を滑車（ローラ）とし、このローラの回転
量を検出してケーブル上でのプローブ本体の移動量を検
出するようにしたので、ケーブル上の各位置での定在波
を測定することができ、ケーブルに乗った定在波の分布
を測定することが可能となる。As described above, according to the present embodiment, a donut-shaped high-frequency current probe is used as the electromagnetic field detecting means, the rotating body is a pulley (roller), and the amount of rotation of the roller is detected to detect the amount of rotation on the cable. Since the amount of movement of the probe body is detected, standing waves can be measured at each position on the cable, and the distribution of standing waves on the cable can be measured.
【００５３】[0053]
【発明の効果】本発明は、以上のように構成され機能す
るので、これによると、プローブ本体に回転体を設け、
電磁界の検出と同時に、この回転体の回転量に基づいて
プローブ本体の移動量を検出可能としたので、小型であ
りながら被測定面の各位置毎の電磁界強度を連続的に検
出することができ、被測定面が狭いところにあっても容
易に電磁界分布を測定することができる。更に、被測定
面が曲面であっても測定を行うことができる。Since the present invention is constructed and functions as described above, according to this, a rotating body is provided on the probe body,
Simultaneously with the detection of the electromagnetic field, the amount of movement of the probe body can be detected based on the amount of rotation of the rotating body. This makes it possible to easily measure the electromagnetic field distribution even when the surface to be measured is narrow. Further, the measurement can be performed even if the surface to be measured is a curved surface.
【００５４】従って、大きなアンテナマトリックスや、
プローブをＸＹ方向に移動させる為の大がかりな装置を
用いることなく、測定者の手で本発明のプローブ装置を
持ち、被測定面上を移動させるだけで対象部分の磁界を
検出し、同時にプローブ本体の位置を示す座標値も得ら
れる。その結果、従来では、測定が困難であった装置内
部などの狭い部分の磁界強度分布が容易に測定可能とな
り、ＥＭＩ発生部分の特定と対策及び、静電気による回
路誤動作の対策、静電気耐力の強いフレーム構造の設計
に役立てることができる。Therefore, a large antenna matrix,
Without using a large-scale device for moving the probe in the XY directions, the prober of the present invention is held by the measurer's hand, and the magnetic field of the target portion is detected simply by moving on the surface to be measured, and at the same time, the probe body Are also obtained. As a result, the magnetic field intensity distribution in a narrow part such as the inside of the device, which was difficult to measure in the past, can be easily measured. It can be useful for structural design.
【００５５】請求項２記載の発明では、回転体として球
体を用いたので２次元的なプローブ本体の移動量を検出
することができ、２次元的な電磁界分布を取得すること
ができる。According to the second aspect of the present invention, since a sphere is used as the rotating body, a two-dimensional movement amount of the probe main body can be detected, and a two-dimensional electromagnetic field distribution can be obtained.
【００５６】請求項３記載の発明では、光ファイバをプ
ローブ本体内に引き込み、光信号によりプローブ本体の
移動量を検出可能としたので、外部の電磁ノイズの影響
がなく、移動量の検出を高精度に行うことができる。こ
れと共に、電磁界検出手段の検出値に移動量検出手段が
電磁的な悪影響を与える事態を有効に防止することがで
き、精度の高い電磁界強度の検出値を得ることができ
る。According to the third aspect of the present invention, since the optical fiber is drawn into the probe main body and the amount of movement of the probe main body can be detected by an optical signal, there is no influence of external electromagnetic noise and the detection of the amount of movement is high. Can be done with precision. At the same time, it is possible to effectively prevent a situation in which the movement amount detecting means exerts an electromagnetic adverse effect on the detection value of the electromagnetic field detecting means, and it is possible to obtain a highly accurate detected value of the electromagnetic field intensity.
【００５７】請求項４記載の発明では、プローブ本体に
パイプ状部材を介してグリップ部を接続したので、グリ
ップ部を手に持って操作することでプローブ本体を容易
に移動させることができる。According to the fourth aspect of the present invention, since the grip portion is connected to the probe main body via the pipe-shaped member, the probe main body can be easily moved by holding the grip portion and operating the grip portion.
【００５８】請求項５記載の発明では、パイプ状部材と
してフレキシブルパイプを用いたので、操作し易いよう
にパイプを変形させることで、ボールが被測定面に当接
した状態でのプローブ本体の移動をより容易に行うこと
ができる。According to the fifth aspect of the present invention, since the flexible pipe is used as the pipe-shaped member, the pipe is deformed so as to be easily operated, so that the probe body can be moved while the ball is in contact with the surface to be measured. Can be performed more easily.
【００５９】請求項６記載の発明では、プローブ本体か
ら引き出された配線をパイプ状部材の内部に収納してい
るので、操作の邪魔になることがなく、また、光ファイ
バを折れ等の破損から守ることができる。According to the sixth aspect of the present invention, since the wiring drawn from the probe main body is housed inside the pipe-shaped member, it does not hinder operation, and the optical fiber is not damaged due to breakage or the like. Can be protected.
【００６０】請求項７記載の発明では、電磁界検出手段
としてドーナツ状の高周波カレントプローブを用い、回
転体を滑車とし、この滑車の回転量を検出してケーブル
上でのプローブ本体の移動量を検出するようにしたの
で、ケーブル上の各位置での定在波を測定することがで
き、ケーブルに乗った定在波の分布を測定することが可
能となる。従って、ケーブルから放射される放射ノイズ
の対策、静電気による誤動作の対策の効率化が可能とな
る、という従来にない優れたプローブ装置を提供するこ
とができる。According to the seventh aspect of the present invention, a donut-shaped high-frequency current probe is used as the electromagnetic field detecting means, the rotating body is a pulley, and the amount of rotation of the pulley is detected to determine the amount of movement of the probe body on the cable. Since the detection is performed, the standing wave at each position on the cable can be measured, and the distribution of the standing wave on the cable can be measured. Therefore, it is possible to provide an unprecedented and excellent probe device that can improve the efficiency of measures against radiation noise radiated from the cable and measures against malfunction due to static electricity.
【図１】本発明の一実施形態の基本的構成を示す概念的
な構成図である。FIG. 1 is a conceptual configuration diagram showing a basic configuration of an embodiment of the present invention.
【図２】図１のプローブ本体の内部構成を示す一部切り
欠いた斜視図である。FIG. 2 is a partially cutaway perspective view showing the internal configuration of the probe main body of FIG.
【図３】図２のプローブ本体の横断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the probe main body of FIG. 2;
【図４】図２のプローブ本体の使用状態を示す説明図で
ある。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a use state of the probe main body of FIG. 2;
【図５】図２のＸ方向移動検出センサの外観を示す斜視
図である。FIG. 5 is a perspective view showing the appearance of the X-direction movement detection sensor of FIG. 2;
【図６】図５のＸ方向移動検出センサの縦断面図であ
る。6 is a vertical sectional view of the X-direction movement detection sensor of FIG.
【図７】図５のＸ方向移動検出センサの横断面図であ
る。FIG. 7 is a cross-sectional view of the X-direction movement detection sensor of FIG.
【図８】図１のプローブ装置を外部装置と接続した外観
構成図である。8 is an external configuration diagram in which the probe device of FIG. 1 is connected to an external device.
【図９】図８のグリップ部の内部構成を示す縦断面図で
ある。FIG. 9 is a longitudinal sectional view showing the internal configuration of the grip section of FIG.
【図１０】図８のプローブ装置の使用方法を示す説明図
である。FIG. 10 is an explanatory view showing a method of using the probe device of FIG. 8;
【図１１】本発明の他の実施形態を示す構成図であり、
図１１（ａ）がプローブ本体の斜視図を示し、図１１
（ｂ）が図１１（ａ）のプローブ本体をローラ側から見
た図である。FIG. 11 is a configuration diagram showing another embodiment of the present invention;
FIG. 11A is a perspective view of the probe main body, and FIG.
FIG. 12B is a diagram of the probe main body of FIG. 11A viewed from the roller side.
【図１２】図１１のプローブ本体と外部機器との接続を
示すブロック図である。FIG. 12 is a block diagram showing a connection between the probe main body of FIG. 11 and an external device.
【図１３】ケーブルに乗った定在波の測定例を示す説明
図であり、図１３（ａ）が所定の周波数ｆ１における定
在波の分布を示し、図１３（ｂ）が所定の周波数ｆ２に
おける定在波の分布を示し、図１３（ｃ）がスペクトラ
ムアナライザで取得されるノイズスペクトラムを示す。13A and 13B are explanatory diagrams showing a measurement example of a standing wave riding on a cable. FIG. 13A shows a distribution of the standing wave at a predetermined frequency f1, and FIG. 13B shows a predetermined frequency f2. FIG. 13 (c) shows a noise spectrum obtained by the spectrum analyzer.
【図１４】図１に示す電磁界検出手段の第１の変形例を
示す構成図である。FIG. 14 is a configuration diagram showing a first modification of the electromagnetic field detecting means shown in FIG. 1;
【図１５】図１に示す電磁界検出手段の第２の変形例を
示す構成図である。FIG. 15 is a configuration diagram showing a second modification of the electromagnetic field detecting means shown in FIG. 1;
【図１６】図１に示す電磁界検出手段の第３の変形例を
示す構成図である。FIG. 16 is a configuration diagram showing a third modification of the electromagnetic field detection means shown in FIG. 1;
【図１７】図１に示す電磁界検出手段の第４の変形例を
示す構成図である。FIG. 17 is a configuration diagram showing a fourth modification of the electromagnetic field detection means shown in FIG. 1;
【図１８】図１に示す電磁界検出手段の第５の変形例を
示す構成図である。FIG. 18 is a configuration diagram illustrating a fifth modification of the electromagnetic field detection unit illustrated in FIG. 1;
【図１９】図１に示す電磁界検出手段の第６の変形例を
示す構成図である。FIG. 19 is a configuration diagram illustrating a sixth modification of the electromagnetic field detection unit illustrated in FIG. 1;
【図２０】従来例の構成を示す斜視図である。FIG. 20 is a perspective view showing a configuration of a conventional example.
１ プローブ本体 ２ グリップ部 ３，１７ 光ファイバ ６ フレキシブルパイプ（パイプ状部材） ８ 電磁界検出手段 ９ 移動量検出手段 １０ ボール（回転体） １５ 回転板（透明円盤） １６ 被測定面 ２３ フォトトランジスタ（受光素子） ２４ ＬＥＤ（発光素子） ２９ 高周波カレントプローブ ３０ ローラＡ（滑車） ３４ ケーブル（被測定面） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Probe main body 2 Grip part 3, 17 Optical fiber 6 Flexible pipe (pipe-shaped member) 8 Electromagnetic field detecting means 9 Moving amount detecting means 10 Ball (rotating body) 15 Rotating plate (transparent disk) 16 Surface to be measured 23 Phototransistor ( Light receiving element) 24 LED (light emitting element) 29 High frequency current probe 30 Roller A (pulley) 34 Cable (surface to be measured)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01R 29/08 G01R 27/06 G01R 33/02 - 33/10 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G01R 29/08 G01R 27/06 G01R 33/02-33/10
Claims (7)
る電磁界検出手段をプローブ本体に備えたプローブ装置
において、 前記プローブ本体に、前記被測定面に当接して回転する
回転体と、この回転体の回転量に基づいて前記プローブ
本体の前記被測定面に対する移動量を検出する移動量検
出手段とを備えたことを特徴としたプローブ装置。1. A probe device having an electromagnetic field detecting means for detecting an electromagnetic field radiated from a surface to be measured in a probe main body, wherein: a rotating body that rotates in contact with the surface to be measured; A probe device comprising: a moving amount detecting means for detecting a moving amount of the probe main body with respect to the surface to be measured based on a rotation amount of the rotating body.
検出手段は前記球体に当接して当該球体の回転量を検出
するものであることを特徴とした請求項１記載のプロー
ブ装置。2. The probe device according to claim 1, wherein the rotating body is a sphere, and the moving amount detecting means detects the amount of rotation of the sphere by contacting the sphere.
スリット状無透過部が形成されると共に前記球体に当接
して設けられた透明円盤と、この透明円盤の一方の面と
他方の面に対応してそれぞれ一端が設けられると共に他
端が前記プローブ本体の外部に引き出された一対の光フ
ァイバと、この光ファイバを介して前記透明円盤の一方
の面に光を照射する発光素子と、前記透明円盤の他方の
面に透過した光を前記光ファイバを介して受光する受光
素子とを備えていることを特徴とした請求項２記載のプ
ローブ装置。3. The moving amount detecting means includes: a transparent disk provided with a plurality of slit-shaped non-transmissive portions formed in a radial direction and provided in contact with the sphere; and one surface of the transparent disk and the other surface thereof. A pair of optical fibers, one end of which is provided corresponding to the surface and the other end is drawn out of the probe main body, and a light emitting element that irradiates light to one surface of the transparent disk via the optical fiber. 3. The probe device according to claim 2, further comprising a light receiving element that receives light transmitted through the other surface of the transparent disk through the optical fiber.
部に支持すると共に、このパイプ状部材の他端部に握り
部を設けたことを特徴とする請求項１，２又は３記載の
プローブ装置。4. The probe device according to claim 1, wherein said probe main body is supported at one end of a pipe-shaped member, and a grip portion is provided at the other end of said pipe-shaped member. .
シブルパイプであることを特徴とした請求項４記載のプ
ローブ装置。5. The probe device according to claim 4, wherein said pipe-shaped member is a deformable flexible pipe.
ブ本体から引き出される配線を収納し、該配線を前記握
り部から外部装置に接続可能としたことを特徴とする請
求項４記載のプローブ装置。6. The probe device according to claim 4, wherein a wire drawn from the probe main body is housed inside the pipe-shaped member, and the wire can be connected to an external device from the grip portion. .
波カレントプローブであると共に、前記回転体が滑車で
あって、前記移動量検出手段が前記滑車の回転量を検出
するものであることを特徴とした請求項１記載のプロー
ブ装置。7. The electromagnetic field detecting means is a doughnut-shaped high-frequency current probe, and the rotating body is a pulley, and the moving amount detecting means detects a rotation amount of the pulley. The probe device according to claim 1, wherein
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12033696A JP2874646B2 (en) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | Probe device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12033696A JP2874646B2 (en) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | Probe device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09304457A JPH09304457A (en) | 1997-11-28 |
| JP2874646B2 true JP2874646B2 (en) | 1999-03-24 |
Family
ID=14783745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12033696A Expired - Fee Related JP2874646B2 (en) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | Probe device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2874646B2 (en) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001066337A (en) * | 1999-08-27 | 2001-03-16 | Sony Corp | Device for visualizing electric field/magnetic field distribution |
| JP4481578B2 (en) * | 2003-02-28 | 2010-06-16 | パナソニック株式会社 | Electromagnetic wave measuring apparatus and method |
| JP6506104B2 (en) * | 2015-06-03 | 2019-04-24 | 株式会社Ｓｏｋｅｎ | Electromagnetic field measurement device |
| RU2698710C1 (en) * | 2018-04-05 | 2019-08-29 | Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего образования "Военный учебно-научный центр Военно-воздушных сил "Военно-воздушная академия имени профессора Н.Е. Жуковского и Ю.А. Гагарина" (г. Воронеж) Министерства обороны Российской Федерации | Device for measuring reflection coefficient of electromagnetic wave |
-
1996
- 1996-05-15 JP JP12033696A patent/JP2874646B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09304457A (en) | 1997-11-28 |
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