JP2865159B2 - 光磁気記録媒体とその再生方法 - Google Patents

光磁気記録媒体とその再生方法

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JP2865159B2 JP7184964A JP18496495A JP2865159B2 JP 2865159 B2 JP2865159 B2 JP 2865159B2 JP 7184964 A JP7184964 A JP 7184964A JP 18496495 A JP18496495 A JP 18496495A JP 2865159 B2 JP2865159 B2 JP 2865159B2
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    • G11B11/10515Reproducing

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光を情報の書き
込み・読み出しに利用する書き換え可能な光磁気記録媒
体とその再生方法に関し、特に、案内溝を構成するラン
ド部とグルーブ部の双方に情報の記録が可能な光磁気記
録媒体とその再生方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】光磁気記録媒体における情報記録は、磁
化させたい向きに磁界をかけておき、情報を記憶させた
い部分にレーザ光を照射して所望の向きに磁化の向きを
変更することによって行い、またその再生は、読み出し
用レーザ光の反射光の振動面が磁化の向きによって異な
ることを利用して行っている。磁性材料としては、Mn
CuBi、MnBi等の多結晶膜や重希土類−3d遷移
金属合金のアモルファス膜等が検討されているが、中で
もTbFeCoに代表される重希土類−3d遷移金属合
金材料が量産性に優れ読み出しノイズが小さいことから
有望視されている。
【0003】光磁気記録媒体(光磁気ディスク)には、
トラッキングのために案内溝が設けられるが、この案内
溝を設けたことによりディスク面にはランド部とグルー
ブ部とが形成される。従前の案内溝付き光磁気記録媒体
への情報記録方式は、ランド部をグルーブ部より広く成
形しておきここにのみ情報記録を行うものであった。こ
れに対して、光磁気記録媒体の記録密度を高める記録方
式として、媒体面上のランド部とグルーブ部の両方に反
転磁区を記録するランド・グルーブ記録方式が提案され
ている(1990年、エス・ピー・アイ・イ−、131
6号、35頁(Proc. SPIE 1316 (1990) 35 ))。
【0004】次に、ランド・グルーブの双方に情報記録
を行う場合の従来の光磁気記録媒体の一例について図面
を参照して説明する。図8は従来のTbFeCo光磁気
記録媒体の構成断面図である。この光磁気記録媒体は、
例えば、トラックピッチPtが1.2μmのプラスチッ
ク基板81上に、窒化シリコン下地層82を59nmの
厚さに、TbFeCo記録層83を20nmの厚さに、
窒化シリコン干渉層84を114nmの厚さに、Al反
射膜85を40nmの厚さに順次成膜することにより作
製される。ここで、ランド部とグルーブ部との段差Sは
80nm程度であり、段差部での傾斜角φは20°程度
である。
【0005】通常の記録再生装置では、読み出しレーザ
光である入射直線偏光の偏光方向は溝に対して90°も
しくは平行になされている。上記TbFeCo光磁気記
録媒体のランド部とグルーブ部に、波長680nmのレ
ーザ光源を用いた通常の記録再生装置により線速9.4
m/sで記録し、読み出したときのランド部とグルーブ
部でのC/N(Carrier/Noise)特性の記録周波数依存性
を図9に示す。同図において、91、92は、それぞれ
入射読み出し光の偏光方向が溝に対して90°である場
合のランド部とグルーブ部での特性であり、93、94
は、それぞれ入射読み出し光の偏光方向が溝に平行であ
る場合のグルーブ部とランド部での特性である。入射光
の偏光方向が溝に対して90°の場合、ランド部のC/
N値は、グルーブ部より3dB近く大きい。逆に、入射
偏光方向が溝に対して平行の場合、ランド部のC/N値
は、グルーブ部より3dB近く小さくなる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ランド部とグルーブ部
の幅を等しくした光磁気ディスクを用い、このランド部
とグルーブ部の双方に記録マークを形成し、通常の記録
再生装置により再生してもランド部とグルーブ部との再
生出力は同一にはならない。また、図9に示されるよう
に、入射光の偏光方向が90°、平行のいずれの場合に
も、ランド部とグルーブ部のC/N値は同一にならな
い。このようにランド部とグルーブ部とで再生出力やC
/N値に差がある場合、誤読み出しが生じやすくなりま
た再生装置の設計が困難になる。また、光磁気記録媒体
では、磁気記録の一層の高密度化のために再生出力自体
の増強が求められている。
【0007】したがって、この発明の目的とするところ
は、第1に、ランド部とグルーブ部とで再生出力乃至C
/N値に差が生じないようにすることであり、第2に、
再生出力をより大きくすることのできる光磁気ディスク
およびその再生方法を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の第1の目的を達成
するための本発明の光磁気ディスクの再生方法は、ディ
スク面に入射する読み出し光の偏光方向と案内溝とのな
す角度αを、40°≦α≦50°とするものである。
【0009】また、第2の目的を達成するための光磁気
ディスクでは、ランド部とグルーブ部の双方またはいず
れか一方の断面形状がV字形状をなしているか、あるい
は、ランド部とグルーブ部の双方またはいずれか一方に
読み出し光の波長の半分以下の幅の浅い溝が案内溝に平
行に形成されている。
【0010】
【作用】図1に溝幅を680nm(トラックピッチ:
1.36μm)としたときの反射率(R)とカー回転角
(θ)との積の溝形状依存性を示す。光磁気ディスクの
再生出力は、このR・θによって実質的に決定される。
これは、入射光波長は680nm、ビーム径は1360
nmとしたときの境界要素法を用いた計算結果である。
横軸はランドもしくはグルーブの平坦部の半分の幅を表
している。したがって、ランド・グルーブの半幅が0n
m、340nmとなる点で、ディスクの断面形状はV字
状と矩形になる。ここで、溝の深さ(ランド部とグルー
ブ部との段差)は80nmとしている。
【0011】図1において、11、12は、それぞれ入
射読み出し光の偏光方向が溝に対して90°である場合
のランド部とグルーブ部での特性であり、13、14
は、それぞれ入射読み出し光の偏光方向が溝に平行であ
る場合のグルーブ部とランド部での特性である。ランド
・グルーブの半幅が340nmのとき、すなわち溝形状
が矩形であるとき、偏光方向に関係なくランド部とグル
ーブ部とのR・θ積がほぼ等しくなる。したがって、溝
形状を矩形にすることにより、ランド部とグルーブ部に
おける出力差を生じさせないようにすることができる。
また、矩形でなくても、傾斜角度が70°程度までは、
ランド部とグルーブ部とのR・θ積の差が小さいので実
用上問題は生じない(図の右から2番目の●、○等の記
されている点がほぼ傾斜角70°に相当している)。 再生出力はR・θ積に比例することから、ランド部とグ
ルーブ部の境界の傾斜角φを、70°<φ≦90°とす
ることにより、ランド部とグルーブ部でほぼ同等の再生
出力が得られることが分かる。
【0012】また、R・θの値は読み出し光の偏光方向
により変化し、偏光方向が溝方向に対して90°の偏光
(以下、p偏光と略記することがある)を入射光とした
場合と偏光方向が溝方向に対して平行の偏光(以下、s
偏光と略記することがある)を入射光として用いた場合
でランド部とグルーブ部とのR・θ積の大きさは逆転す
る。そして、このランド部におけるp偏光とs偏光のR
・θの和は、グルーブにおけるそれらの和とほぼ等しく
なる。而して、p偏光とs偏光とを併用することは偏光
方向が45°の偏光を読み出し光として用いることと等
価であるので、読み出し入射光の偏光方向と溝のなす角
αを、40°≦α≦50°にすることにより、ランド部
とグルーブ部のR・θは溝形状に寄らずほぼ同等にする
ことができる。
【0013】次に、p偏光とs偏光とのR・θ積につい
て比較すると、p偏光の場合の方がランド部においても
グルーブ部においてもs偏光の場合より大きくなってい
る。また、この場合、溝形状が矩形からV字形に変化す
ることで全体としてR・θの値は大きくなる。したがっ
て、V字形のランド/グルーブを作りp偏光で再生する
ことで、他の組み合わせの場合よりも再生出力は大きく
することができる。
【0014】図2に溝幅を340nmと図1の場合の半
分としたときのR・θ積の溝形状依存性を示す。図2に
おいて、21、22は、それぞれ入射読み出し光の偏光
方向が溝に対して90°である場合のランド部とグルー
ブ部での特性であり、23、24は、それぞれ入射読み
出し光の偏光方向が溝に平行である場合のグルーブ部と
ランド部での特性である。図1、図2を比較することに
より、溝幅を小さくすることにより、全体として出力を
増大させうることが分かる。この場合にも溝に対してp
偏光が用いられる場合にs偏光の場合に比較して大きな
R・θ積が得られる。しかし、溝幅が340nmとなる
微細トラックピッチのディスクを用いることは、現時点
では現実的ではない。そこで、本発明においては、ラン
ド部とグルーブ部に案内溝と平行に浅い溝を設けること
により、等価的に溝幅を縮小した効果を得、これにより
再生出力の増大を実現している。
【0015】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。 [第1の実施例]図3は、本発明の第1の実施例のラン
ド・グルーブ記録用光磁気記録媒体の断面図である。こ
の光磁気記録媒体は、溝深さ80nm、トラックピッチ
1.2μmのプラスチック基板31上に、窒化シリコン
下地層32を59nmの厚さに、TbFeCo記録層3
3を20nmの厚さに、窒化シリコン干渉層34を11
4nmの厚さに、Al反射膜35を40nmの厚さに順
次成膜して作製したものである。
【0016】窒化シリコン膜(32、34)は、シリコ
ンターゲットを用いたrfスパッタにより成膜した。ス
パッタガス圧は0.2Pa、アルゴンガス流量50sc
cm、窒素ガス流量50sccm、投入パワー800W
である。TbFeCo記録層33は、複合ターゲットを
用いたdcマグネトロンスパッタにより成膜した。スパ
ッタガス圧は0.08Pa、アルゴンガス流量50sc
cm、投入パワー100Wである。ランド部とグルーブ
部の幅は、ほぼ1:1であり、ランド部とグルーブ部の
間の傾斜角は約90°で形成されている。
【0017】上記TbFeCo光磁気記録媒体のランド
部とグルーブ部に、波長680nmのレーザ光源を用い
た通常の記録再生装置により線速9.4m/sで記録し
たときのランド部とグルーブ部のC/N値の記録周波数
依存性を図4に示す。読み出し光の入射偏光方向は、通
常の記録再生装置と等しく、溝に対して90°もしくは
平行である。入射偏光方向が溝に対して90°および平
行の場合とも、ほぼ等しいC/N値が、ランド部とグル
ーブ部で得られている。
【0018】[第2の実施例]溝深さが80nm、ラン
ド部とグルーブ部の間の傾斜角が約60°、トラックピ
ッチが1.2μmのプラスチック基板上に、第1の実施
例と同様の成膜法で同様の膜厚に成膜を行って光磁気デ
ィスクを作製した(構造は図8に示した従来例のそれに
近い)。このディスクに対して、ランド部とグルーブ部
に波長680nmのレーザ光源を用いた記録再生装置に
より線速9.4m/sで記録し、ランド部とグルーブ部
のC/N特性の記録周波数依存性を入射光の偏光方向を
溝に対して90°、45°および平行にして測定した結
果を図5に示す。
【0019】図5において、51、52は、それぞれ入
射読み出し光の偏光方向が溝に対して90°である場合
のランド部とグルーブ部での特性であり、53、54
は、それぞれ入射読み出し光の偏光方向が溝に対して4
5°である場合のランド部とグルーブ部での特性であ
り、55、56は、それぞれ入射読み出し光の偏光方向
が溝に平行である場合のグルーブ部とランド部での特性
である。入射光の偏光方向が溝に対して90°の場合、
ランド部のC/N値は、グルーブ部より2dB近く大き
い。逆に、入射偏光方向が溝に対して平行の場合、ラン
ド部のC/N値は、グルーブ部より2dB近く小さい。
一方、45°入射の場合、ほぼ等しいC/N値が、ラン
ド部とグルーブ部で得られている。
【0020】[第3の実施例]溝深さが80nm、トラ
ックピッチが1.2μm、ランド部とグルーブ部がV字
形のプラスチック基板上に、図6に示すように、第1の
実施例と同様の成膜法で同様の膜厚に成膜を行って光磁
気ディスクを作製した。すなわち、第3の実施例の光磁
気記録媒体は、プラスチック基板61上に、窒化シリコ
ン下地層62、TbFeCo記録層63、窒化シリコン
干渉層64、Al反射膜65を順次成膜して作製したも
のである。
【0021】この光磁気ディスクについて、ランド部と
グルーブ部に波長680nmのレーザ光源を用いた記録
再生装置により線速9.4m/sで記録し、ランド部と
グルーブ部でのC/N特性の記録周波数依存性を、入射
光の偏光方向が溝に対して90°、45°および平行と
なる場合について測定した。その結果、ランド部とグル
ーブ部がV字形のディスクについて、溝に対する偏光方
向が90°の入射光で読み出す場合が、最も大きな再生
出力が得られることが分かった。また、この再生出力
は、傾斜角が60°の第2の実施例のそれよりも大きか
った。
【0022】[第4の実施例]図7に示すように、第1
の実施例と同様に、溝深さ80nm、トラックピッチ
1.2μmのプラスチック基板71上に、窒化シリコン
下地層72を60nmの厚さに、TbFeCo記録層7
3を20nmの厚さに、窒化シリコン干渉層74を11
0nmの厚さに、Al反射膜75を40nmの厚さに順
次成膜して光磁気ディスクを製作した。但し、この実施
例の光磁気ディスクでは、ランド部とグルーブ部のそれ
ぞれの中央部に案内溝に平行に幅100nm、深さ20
nmの浅い溝76が形成されている。
【0023】この光磁気ディスクについて、ランド部と
グルーブ部に波長680nmのレーザ光源を用いた記録
再生装置により線速9.4m/sで記録し、ランド部と
グルーブ部での再生出力の記録周波数依存性を、入射光
の偏光方向が溝に対して90°、45°および平行の場
合について測定した。その結果、偏光方向が溝に対して
90°の入射光で読み出す場合が、最も大きな再生出力
が得られることが分かった。また、この再生出力は、ラ
ンド部とグルーブ部とに浅い溝を形成しない第1の実施
例の場合よりも大きかった。
【0024】[実施例の変更]以上好ましい実施例につ
いて説明したが、本発明はこれら実施例に限定されるも
のではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内におい
て各種の変更が可能なものである。例えば、実施例で
は、Al反射膜上には何も形成されていなかったが、反
射膜上に紫外線硬化樹脂等による保護膜を形成するよう
にしてもよい。また、実施例のディスクを2枚用い、基
板が外側になるように貼り合わせて、両面記録光磁気デ
ィスクを形成するようにしてもよい。また、実施例で
は、ランド部とグルーブ部の双方の断面形状をV字状と
したり、双方に浅い溝を形成していたが、再生出力の小
さい側、すなわち、グルーブ部側のみをV字状とした
り、グルーブ部側にのみ浅い溝を設けるようにして、ラ
ンド部とグルーブ部との再生出力の均等化を図るように
してもよい。
【0025】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による光磁
気記録媒体はランド部とグルーブ部との断面形状を矩形
に近いものとするか、あるいは、溝に対する偏光方向が
45°近い入射光を用いて読み出しを行うものであるの
で、ランド部とグルーブ部の再生出力を均一化すること
ができる。また、本発明の他の光磁気記録媒体は、ラン
ド部とグルーブ部の断面形状をV字状とするか、あるい
は、ランド部とグルーブ部に案内溝に平行に浅い溝を形
成したものであるので、高い再生出力を得ることができ
る。したがって、本発明によれば、高密度な光磁気記録
媒体とその再生方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の作用を説明するための、反射率とカー
回転角との積の溝形状依存性を示すグラフ。
【図2】本発明の作用を説明するための、反射率とカー
回転角との積の溝形状依存性を示すグラフ。
【図3】本発明の第1の実施例の光磁気記録媒体を示す
断面図。
【図4】本発明の第1の実施例のC/N特性の記録周波
数依存性を示すグラフ。
【図5】本発明の第2の実施例のC/N特性の記録周波
数依存性を示すグラフ。
【図6】本発明の第3の実施例の光磁気記録媒体を示す
断面図。
【図7】本発明の第4の実施例の光磁気記録媒体を示す
断面図。
【図8】従来の光磁気記録媒体の断面図。
【図9】従来例のC/N特性の記録周波数依存性を示す
グラフ。
【符号の説明】
11、21、51、91 偏光方向90°の入射光、ラ
ンド部 12、22、52、92 偏光方向90°の入射光、グ
ルーブ部 13、23、55、93 偏光方向平行の入射光、グル
ーブ部 14、24、56、94 偏光方向平行の入射光、ラン
ド部 31、61、71、81 プラスチック基板 32、62、72、82 窒化シリコン下地層 33、63、73、83 TbFeCo記録層 34、64、74、84 窒化シリコン干渉層 35、65、75、85 Al反射膜 53 偏光方向45°の入射光、ランド部 54 偏光方向45°の入射光、グルーブ部 76 浅い溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−29133(JP,A) 特開 平3−17845(JP,A) 特開 平3−173948(JP,A) 特開 平6−76385(JP,A) 特開 平1−253850(JP,A) 特開 平4−90147(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 11/10

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 案内溝を構成するランド部とグルーブ部
    の双方に情報の記録を行う光磁気記録媒体において、ラ
    ンド部とグルーブ部の双方またはいずれか一方の断面形
    状がV字形状をなしていることを特徴とする光磁気記録
    媒体。
  2. 【請求項2】 案内溝を構成するランド部とグルーブ部
    の双方に情報の記録を行う光磁気記録媒体において、ラ
    ンド部とグルーブ部の双方またはいずれか一方に読み出
    し光の波長の半分以下の幅の浅い溝が案内溝に平行に形
    成されていることを特徴とする光磁気記録媒体。
  3. 【請求項3】 案内溝を構成するランド部とグルーブ部
    の双方に情報の記録を行う請求項1または2記載の光磁
    気記録媒体の再生方法において、入射する読み出し光の
    偏光方向を案内溝に対して垂直にすることを特徴とする
    光磁気記録媒体の再生方法。
  4. 【請求項4】 案内溝を構成するランド部とグルーブ部
    の双方に情報の記録を行う光磁気記録媒体の再生方法に
    おいて、入射する読み出し光の偏光方向と案内溝とのな
    す角度αを、40°≦α≦50°とすることを特徴とす
    る光磁気記録媒体の再生方法。
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