JP2861931B2 - Precision processing equipment from work reference plane - Google Patents
Precision processing equipment from work reference planeInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、精密加工装置に関
し、特に、誘電体素子の研削等に用いて好適とされる装
置であって、素子の現有高さを自動で測調し、その値よ
り指定の研削量を補正処理し、精密な研削を行うことの
できる研削装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a precision processing apparatus and, more particularly, to a precision processing apparatus which is preferably used for grinding a dielectric element or the like. The present invention relates to a grinding device capable of correcting a specified grinding amount and performing precise grinding.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から誘電素子等の加工は、ワークの
基準面より、ワークの下部から指定量を研削することが
行われていた。このような加工は、砥石の加工面の任意
ポイントにワークをＺ軸方向に下降させ当接時に加わる
反力をデジタルインジケータで検出し、そのポイントよ
り砥石を回転させかつ揺動させることで砥石の寿命を延
しながら研削し指定寸法に達した時点で研削を停止し研
削後は、別のユニットにて指定通りの寸法かどうかの測
定をし良否の選別を行っていた。2. Description of the Related Art Conventionally, in processing a dielectric element or the like, a specified amount has been ground from a lower portion of a work from a reference surface of the work. In such processing, the work is lowered in the Z-axis direction to an arbitrary point on the processing surface of the grindstone, the reaction force applied at the time of contact is detected by a digital indicator, and the grindstone is rotated and oscillated from that point to thereby form the grindstone. Grinding was stopped when the specified dimensions were reached after grinding while extending the service life. After grinding, another unit was used to measure whether the dimensions were as specified, and to judge the quality.
【０００３】図１２に従来の加工装置の構成例を示す。
ワークの高さ測定をテーブル９Ａ及びデジタルインジケ
ータ５Ａにて行った後に、ワークの加工が加工装置にお
いてなされる。その際、ロボットハンド２によりクラン
プされたワーク基準面はＺ軸機構部７により下方に移動
され、ポンプＰによって供給される圧力によるピストン
を介して砥石８−１と当接され、砥石の回転により研削
がなされる。その際、ウォータノズル８−４で研削水を
砥石とワーク１の間に供給して研削粉を除去し、砥石の
寿命（研削加工精度）を延すべく、揺動動作を開始しワ
ーク１の加工を行う。この従来の装置においては、０点
検出部６は、ワーク１の側面をクランプする３方向より
スライドし、ワーク１をクランプする機構と、ワーク基
準面１−１から反力を受け止める機構を備えたロボット
ハンド２にピストン３が締結されＺ軸方向に垂直に摺動
自在なシリンダ４に組込まれ、ピストン３のＺ軸方向の
微動を検出するデジタルインジケータ５、測定子５−１
を備え、テーブル９Ａにて高さ測定を行うデジタルイン
ジケータ５Ａと、０点検出機構部６に備えられるデジタ
ルインジケータ５と２つの測定器を必要としている。FIG. 12 shows a configuration example of a conventional processing apparatus.
After measuring the height of the work using the table 9A and the digital indicator 5A, the work is processed in the processing apparatus. At this time, the workpiece reference surface clamped by the robot hand 2 is moved downward by the Z-axis mechanism 7 and is brought into contact with the grindstone 8-1 via the piston by the pressure supplied by the pump P. Grinding is performed. At this time, the grinding operation is started by supplying grinding water between the grindstone and the work 1 with the water nozzle 8-4 to remove grinding powder and extend the life of the grindstone (grinding accuracy). Perform processing. In this conventional apparatus, the zero point detecting unit 6 has a mechanism for sliding the work 1 in three directions to clamp the side surface thereof, clamping the work 1 and a mechanism for receiving a reaction force from the work reference plane 1-1. A digital indicator 5 for detecting fine movement of the piston 3 in the Z-axis direction, and a tracing stylus 5-1 are assembled into a cylinder 4 which has a piston 3 fastened to the robot hand 2 and is slidable vertically in the Z-axis direction.
And a digital indicator 5A for measuring the height at the table 9A and a digital indicator 5 provided for the zero point detection mechanism 6 and two measuring instruments.
【０００４】また、図１３を参照して、従来の装置の制
御系は、ワーク高さ測定用のデジタルインジケータから
のデジタルインジケータ５Ａ及び０点検出用のデジタル
インジーケータ５からのデータを読み込みデジタル読み
込みコントローラ１０２と、Ｚ軸モータを制御するＺ軸
コントローラ１０３と、主軸サーボモータ８−３の回転
速度を制御する回転速度コントローラ１０４と、Ｘ軸サ
ーボモータを制御するＸ軸コントローラ１０５と、これ
らの制御を司るＣＰＵ１０１とから構成されている。Referring to FIG. 13, the control system of the conventional apparatus reads data from digital indicator 5A from the digital indicator for work height measurement and data from digital indicator 5 for zero point detection, and A reading controller 102, a Z-axis controller 103 for controlling the Z-axis motor, a rotation speed controller 104 for controlling the rotation speed of the spindle servomotor 8-3, an X-axis controller 105 for controlling the X-axis servomotor, It is composed of a CPU 101 for controlling.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の方式は、下記記載の問題点を有している。However, the above conventional method has the following problems.
【０００６】第１の問題点は、砥石への当接ポイントは
任意であり、指定される、例えば数μ単位の精度寸法に
対して、仕上り寸法がばらつき、不良品が発生するとい
うことである。The first problem is that the point of contact with the grindstone is arbitrary, and the finished dimensions vary with respect to the specified precision dimension, for example, of several μ units, resulting in defective products. .
【０００７】この理由は、従来の方式では、砥石への当
接において、砥石の面精度の高低差を考慮しないため、
また砥石への押圧がワークの当接面の形状に関係なく一
定であり、ワークの大小に対するたわみも考慮しない０
点検出方法であるため、仕上寸法も変動するためであ
る。The reason for this is that, in the conventional method, the difference in the surface accuracy of the grindstone is not taken into account in contact with the grindstone.
In addition, the pressure on the grindstone is constant irrespective of the shape of the contact surface of the work, and does not take into account the deflection of the work relative to the size.
This is because the finish size also varies because of the point detection method.
【０００８】第２の問題点は、ワークの測定に時間がか
かるということである。[0008] The second problem is that it takes time to measure the work.
【０００９】この理由は、ワークの研削と測定が分離さ
れているため、ワークの搬送に時間がかかるためであ
る。[0009] The reason for this is that since the grinding and measurement of the work are separated, it takes a long time to carry the work.
【００１０】なお、特開昭５７−１６３０５３号公報に
は、荒研磨された被加工物を摺うことにより得られた荒
研磨プログラムを記憶する手段を設け、上仕上げ研磨を
行う場合には、この上仕上げ研磨寸法だけを外部から入
力することによって荒研磨プログラムに沿って上仕上げ
研磨を行うようにした構成が提案されている。Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 57-163553 has a means for storing a rough polishing program obtained by sliding a rough-polished work piece. A configuration has been proposed in which the upper finish polishing is performed according to a rough polishing program by inputting only the upper finish polishing dimension from the outside.
【００１１】従って、本発明は、上記問題点を解消する
ためになされたものであって、その目的は、ワークの加
工に対して、精度良く、仕上り寸法にばらつきをなく
し、加工から、計測での時間を短縮させ、自動化が計れ
る加工装置を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to eliminate variations in finished dimensions with respect to work of a work with high accuracy, and to measure from work to measurement. Another object of the present invention is to provide a processing apparatus that can reduce the time required for the processing and can be automated.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、ワークを把持するロボットハンドと、該
ロボットハンドに連動し該ワークの当接時を検出し測定
する０点検出手段と、前記ロボットハンド及び前記０点
検出手段を加工送り及び測定時においてＺ軸方向に移動
させるＺ軸機構部と、前記ワークの高さを測定するため
のテーブルと、ワーク基準面から研削加工するための砥
石を装着し、該砥石に回転を与え研削する研削機構部
と、前記研削機構部と前記テーブルとをＸ軸テーブルで
結合しＸ軸方向の移動を行うＸ軸機構部と、を備え、入
力された研削加工条件を基に、前記Ｚ軸機構部を制御す
るＺ軸コントローラ、前記Ｘ軸機構部のＸ軸テーブルを
直進制御するＸ軸コントローラ、前記研削機構部の砥石
の回転を制御する回転速度コントローラ、及び、ワーク
の砥石への当接位置を一定に制御する回転位置コントロ
ーラを制御し、前記ワークの研削前後の高さを前記テー
ブルに当接するＯ点位置と、前記砥石への当接するＯ点
位置とを測定手段を用いて検出し、その検出値を基に研
削指定量に対する実研削値の誤差値を割り出し、それ以
降の研削指定値に対して補正フィードバックする、こと
を特徴とするワーク基準面からの精密加工装置を提供す
る。In order to achieve the above object, the present invention provides a robot hand for gripping a work, and a zero point detecting means for detecting and measuring the contact time of the work in conjunction with the robot hand. And a Z-axis mechanism for moving the robot hand and the zero-point detecting means in the Z-axis direction during processing feed and measurement, a table for measuring the height of the work, and grinding from a work reference plane. For grinding
The stone is mounted, a grinding mechanism for grinding giving rotation to the whetstone
And the grinding mechanism unit and the table by an X-axis table
An X-axis mechanism unit that moves in the X-axis direction by combining the Z-axis controller unit that controls the Z-axis mechanism unit based on input grinding processing conditions; and an X-axis table of the X-axis mechanism unit.
X-axis controller for straight control, the rotational speed controller for controlling the rotation of the grinding wheel <br/> of the grinding mechanism, and a work
Position control to keep the contact position of the wheel against the grinding wheel constant
Controls over La, the tape height before and after grinding of the workpiece
And O point position abutting the table, O point contact to the grindstone
The position and the position are detected using measuring means, and the position is measured based on the detected value.
Provided is a precision machining apparatus from a workpiece reference plane , wherein an error value of an actual grinding value with respect to a designated cutting amount is calculated, and correction feedback is performed on a subsequent designated grinding value .
【００１３】上記構成のもと、本発明は、砥石の回転開
始及び終了位置をコントロールすることで、常に同じポ
イントで０点検出し、加工することにより、ばらつき、
すなわち機械的誤差を一定とし、また加工後のワーク実
測値と、指定値と、の差を算出し、次期のワーク加工の
補正データとしてフィードバックし、精度よく加工する
とともに、加工工程と測定工程とを１つの装置に組込ん
だことにより、加工と測定のユニットが省ける、ことを
特徴としたものである。Under the above configuration, the present invention controls the rotation start and end positions of the grindstone so that zero inspection is always performed at the same point and machining is performed, so that variation is reduced.
That is, the mechanical error is fixed, the difference between the actual measured value of the work after processing and the specified value is calculated, and the difference is fed back as correction data for the next work of the work, and the work is accurately performed. By incorporating the device into a single device, a processing and measurement unit can be omitted.
【００１４】本発明によれば、砥石への当接ポイントを
常に所定の位置に固定しているため、機械的誤差を常に
一定に保つことで、バラツキ幅も小さく、機械的誤差を
指定研削量に対して補正し、精度良くワークの加工がで
きる。According to the present invention, the point of contact with the grindstone is always fixed at a predetermined position, so that the mechanical error is always kept constant, the variation width is small, and the mechanical error is reduced to the specified grinding amount. And the workpiece can be processed with high accuracy.
【００１５】また、本発明によれば、ワークの高さと、
砥石へ当接時の検出を１台のデジタルインジケータで処
理できるため、測定→加工→測定での工程で、安価で装
置構成簡素化が計れる。According to the present invention, the height of the workpiece and
Since the detection at the time of contact with the grindstone can be processed by one digital indicator, the process of measurement → processing → measurement can be performed inexpensively and the apparatus configuration can be simplified.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
【００１７】図１は、本発明の実施の形態が適用され
る、被加工物であるワーク１の一例を説明するための図
であり、図１（Ａ）、図１（Ｂ）は、それぞれ加工前後
の側面図を示し、図１（Ｃ）は、ワーク基準面の底面図
を示している。FIG. 1 is a view for explaining an example of a work 1 which is a workpiece to which an embodiment of the present invention is applied, and FIGS. 1A and 1B respectively show FIGS. 1C shows a side view before and after processing, and FIG. 1C shows a bottom view of a work reference plane.
【００１８】図１を参照すると、ワーク１の加工は、ユ
ニットへの取付け部材１−３の対面のワーク基準面１−
１から指定量１−２を研削するものである。Referring to FIG. 1, the work 1 is processed by a work reference surface 1- 1 opposed to a mounting member 1-3 attached to a unit.
It grinds the designated amount 1-2 from 1.
【００１９】本発明の実施の形態に係る加工装置につい
て、図２、及び図３を参照してその機構系を以下に説明
する。Referring to FIG. 2 and FIG. 3, a mechanical system of a processing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described below.
【００２０】図２を参照すると、０点検出部６は、ワー
ク１の側面をクランプする３方向よりスライドし、ワー
ク１をクランプする機構のつめ２−１（図３（Ａ）参
照）と、ワーク基準面１−１から反力を受け止めるスト
ッパー２−２から成るロボットハンド２と、該ロボット
ハンド２にピストン３で締結され、これらがガタ無く、
Ｚ軸方向に垂直に摺動自在なシリンダ４へ精密加工され
て組込まれ、さらに、ピストン３のＺ軸方向の微動を検
出するインジケータ５、測定子５−１を、ロボットハン
ド２とは反対側へシリンダ４に設けて、構成される。Referring to FIG. 2, the zero point detection unit 6 slides in three directions to clamp the side surface of the work 1 and a pawl 2-1 (see FIG. 3A) of a mechanism for clamping the work 1; A robot hand 2 composed of a stopper 2-2 for receiving a reaction force from the workpiece reference surface 1-1, and fastened to the robot hand 2 by a piston 3 without looseness;
The indicator 5 and the tracing stylus 5-1 that detect fine movement of the piston 3 in the Z-axis direction are precision-machined and assembled into a cylinder 4 that is slidable vertically in the Z-axis direction. The cylinder is provided on the cylinder 4.
【００２１】Ｚ軸機構部７は、０点検出部６とＺ軸テー
ブル７−１１を介して結合され、Ｚ軸モータ７−２の駆
動によりＺ軸方向への移動を行う。The Z-axis mechanism 7 is coupled to the zero point detector 6 via a Z-axis table 7-11, and moves in the Z-axis direction by driving a Z-axis motor 7-2.
【００２２】研削機構部８は、砥石８−１と、砥石８−
１を回転駆動する主軸モータ８−３と、を備え、Ｚ軸機
構部７に対して、垂直に配設される。The grinding mechanism 8 includes a grindstone 8-1 and a grindstone 8-
And a spindle motor 8-3 for rotating and driving the motor 1.
【００２３】Ｘ軸機構部１０は、研削機構部８と高さ測
定台９とをＸ軸テーブル１０−１で結合させ、Ｘ軸モー
タ１０−２の駆動によりＸ軸方向の移動を行う。The X-axis mechanism section 10 connects the grinding mechanism section 8 and the height measuring table 9 with an X-axis table 10-1, and moves in the X-axis direction by driving an X-axis motor 10-2.
【００２４】圧力調整部１１は、０点検出部６のシリン
ダ４を介して、ワーク１の押圧を加えるポンプ１１−１
と、ポンプ１１−１の圧力を、ワーク基準面１−１の形
状に対応して一定の面圧を加えるように制御する電気式
レギュレータ１１−２と、を備え、またワーク１の加工
後に付着したワーク１及び高さ測定台９の粉塵を除去す
る粉塵ノズル１１−４と、ポンプ１１−１の圧力を供給
するバルブ１１−３を備えている。The pressure adjusting unit 11 includes a pump 11-1 for pressing the work 1 through the cylinder 4 of the zero point detecting unit 6.
And an electric regulator 11-2 for controlling the pressure of the pump 11-1 so as to apply a constant surface pressure corresponding to the shape of the work reference surface 1-1. A dust nozzle 11-4 for removing dust from the work 1 and the height measuring table 9 and a valve 11-3 for supplying pressure of a pump 11-1 are provided.
【００２５】図３（Ａ）は、ロボットハンド２のつめ２
−１によるワーク側面をクランプした時の様子を示す図
である。また、図３（Ｂ）は、ワーク高さ測定用のテー
ブル９と砥石８−１におけるワークの配置を示す平面図
である。FIG. 3A shows the pawl 2 of the robot hand 2.
FIG. 3 is a diagram showing a state when a work side surface is clamped by -1. FIG. 3B is a plan view showing the arrangement of the work on the work height measurement table 9 and the grindstone 8-1.
【００２６】次に、本発明の実施の形態について更に詳
細に説明すべく、制御系の実施例を以下に説明する。図
４は、本発明の一実施例に係る制御系の構成を示したも
のである。Next, in order to explain the embodiment of the present invention in more detail, an example of a control system will be described below. FIG. 4 shows a configuration of a control system according to one embodiment of the present invention.
【００２７】図４を参照すると、ロボットハンド２にワ
ーク基準面１−１を介して反力を受け微動するピストン
３の移動量を検出するデジタルインジケータ５のデータ
を読込むデータ読込みコントローラ１０２と、ワーク１
が砥石８−１へ当接する位置を主軸モータ８−３を介し
て一定の位置にコントロールする回転位置コントローラ
１０６と、ワーク１の研削時の砥石８−１の回転を主軸
モータ８−３を介してコントロールする回転速度コント
ローラ１０４と、これらの回転コントローラ１０４、１
０６を切替える切替器１１５と、ワーク高さ測定位置８
−６及びワーク研削加工領域８−２、回転及び揺動原点
位置８−５を、Ｘ軸モータ１０−２を介して数値コント
ロールするＸ軸コントローラ１０５と、ワーク１への圧
力をコントロールする電気式レギュレータ１１−２と、
ワーク１に付着した粉塵及び測定面の清掃のために、エ
アーのＯＮ／ＯＦＦをコントロールするバルブ１１−３
と、を備え、ＣＰＵ１０１はこれらの制御を司る。Referring to FIG. 4, a data reading controller 102 for reading data of a digital indicator 5 for detecting a movement amount of a piston 3 which receives a reaction force from a robot hand 2 via a workpiece reference surface 1-1 and moves slightly; Work 1
The rotation position controller 106 controls the position of the abutment on the grinding wheel 8-1 at a fixed position via the spindle motor 8-3, and the rotation of the grinding wheel 8-1 during the grinding of the work 1 is controlled via the spindle motor 8-3. Rotational speed controller 104 for controlling the
06, and a work height measuring position 8
X-axis controller 105 for numerically controlling -6 and work grinding area 8-2, rotation and swing origin position 8-5 via X-axis motor 10-2, and electric type for controlling pressure on work 1 A regulator 11-2;
A valve 11-3 for controlling ON / OFF of air for cleaning dust and measurement surface adhered to the work 1.
The CPU 101 controls these controls.
【００２８】次に、本発明の実施例の動作ステップの詳
細について、図１及び、図５〜図８及び図９、図１０の
工程図を参照して詳細に説明する。Next, the details of the operation steps of the embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 5 to 8, 9 and 10.
【００２９】図５を参照すると、ステップＳ１において
ＣＰＵ１０１へ加工条件を入力する。所定の加工条件と
しては、図９に示すように、ワーク１の取付け部１−３
を０点検出部６のつめ２−１でクランプすることで、高
さ測定テーブル９の中央に移動させるための高さデータ
と、ストッパー２−２をワーク１の突き当て部１−４へ
当接した時の、高さ補正値（Ｈ1）と、ワーク１の形状
に対応する押圧値、加工速度、加工指定量（ＨL）等を
入力し、入力データに基づきデータを加工し、工程を進
める。Referring to FIG. 5, processing conditions are input to CPU 101 in step S1. The predetermined processing conditions include, as shown in FIG.
Is clamped by the pawl 2-1 of the zero point detection unit 6, so that the height data for moving to the center of the height measurement table 9 and the stopper 2-2 are applied to the abutment unit 1-4 of the work 1. The height correction value (H 1 ) at the time of contact, the pressing value corresponding to the shape of the work 1, the processing speed, the specified processing amount (H L ), etc. are input, and the data is processed based on the input data. Advance.
【００３０】次に、ステップＳ２において、ステップＳ
１で入力されたデータを基に、電気式レギュレータ１１
−２のコントロールでポンプ１１−１の圧力を制御して
シリンダ４へ供給することにより、ワーク１が高さ測定
テーブル９に当接する圧力を一定にし、ワーク１の変形
（カケ，ワレ）を防止する。Next, in step S2, step S
Based on the data input in step 1, the electric regulator 11
By controlling the pressure of the pump 11-1 by the control of -2 and supplying it to the cylinder 4, the pressure at which the work 1 contacts the height measurement table 9 is kept constant, and deformation (break, crack) of the work 1 is prevented. I do.
【００３１】次に、ステップＳ３にて絶対値検出処理す
なわち０点検出処理が行われる。これは、図１０のＡ
１、Ａ２のステップにおいて、高さ測定テーブル９の絶
対位置を検出し、その位置を割出す処理である。Next, in step S3, absolute value detection processing, that is, zero point detection processing is performed. This is shown in FIG.
In step 1, A2, the absolute position of the height measurement table 9 is detected, and the position is determined.
【００３２】ステップＳ３の絶対位置の検出方式は共通
処理であり、図５に示す流れ図においてはサブルーチン
として呼び出されており、この絶対位置検出処理を図８
に流れ図として示す。The method of detecting the absolute position in step S3 is a common process, and is called as a subroutine in the flowchart shown in FIG.
Is shown as a flow chart.
【００３３】図８を参照して、Ｚ軸を下降させ（ステッ
プＳ８１）、ロボットハンド２のつめ２−１がワーク１
をクランプしている状態であればワーク基準面１−１の
被当接部へ当接する過程で、反力を受けピストン３を押
し上げる微動を測定子５−１を介してデジタルインジケ
ータ５が検出し（ステップＳ８２）、データ読込コント
ローラ１０２を介してＣＰＵ１０１へ入力され、その値
を受け、Ｚ軸の下降を停止させる。Referring to FIG. 8, the Z-axis is lowered (step S81), and the pawl 2-1 of the robot hand 2 moves the work 1
Is clamped, the digital indicator 5 detects a slight movement which pushes up the piston 3 by receiving a reaction force in the process of contacting the contacted portion of the workpiece reference surface 1-1 via the tracing stylus 5-1. (Step S82) The data is input to the CPU 101 via the data reading controller 102, and the value is received, and the lowering of the Z axis is stopped.
【００３４】その時のＺ軸コントローラ１０３の数値デ
ータと、前記したデジタルインジケータ５の値を算出
し、絶対位置として実測値（高さ０点位置＝Ｈ0）を保
持する。すなわち、ステップＳ３のサブルーチン読み出
し処理には、高さ０点位置を実測値（＝Ｚ軸停止位置＋
デジタルインジケータの値）が返却される。At this time, the numerical data of the Z-axis controller 103 and the value of the above-mentioned digital indicator 5 are calculated, and the actually measured value (zero height position = H 0 ) is held as the absolute position. That is, in the subroutine readout processing of step S3, the position at the zero point height is measured (= Z axis stop position +
Digital indicator value) is returned.
【００３５】再び図５を参照して、ステップＳ４〜Ｓ６
は、ワーク１の加工前高さを割出す処理の前処理とし
て、図１０のＡ３〜Ａ５の工程で、ワーク１をロボット
ハンド２のつめ２−１のクランプ動作でセンタリングす
る。すなわち、ステップＳ４において０点検出機構６を
上昇させ、ステップＳ５において高さ測定テーブル９に
ワーク１をセットし、ステップＳ６において図１０のＡ
５に示すように、高さ測定テーブル９におけるワーク１
のセンタリング処理を行う（図３（Ｂ）参照）。Referring again to FIG. 5, steps S4 to S6
As a pre-process of a process for determining the pre-machining height of the work 1, the work 1 is centered by the clamping operation of the claw 2-1 of the robot hand 2 in the steps A3 to A5 in FIG. That is, the zero point detection mechanism 6 is raised in step S4, the work 1 is set on the height measurement table 9 in step S5, and A in FIG.
As shown in FIG. 5, the work 1 on the height measurement table 9
(See FIG. 3B).
【００３６】次に、ステップＳ７においては、図８に示
した絶対値検出処理を呼び出し、ワーク１の高さ測定処
理が行われる。すなわち、前記ステップＳ３の処理と同
様にＺ軸を下降させ、図１０のＡ６の状態で、高さ測定
テーブル９にセンタリングされた、ワーク１の突き当て
部１−３にストッパー２−２が当接すると、デジタルイ
ンジケータ５の値が変動する。その時点で、Ｚ軸を停止
させ、ワーク高さ位置（Ｈ2）を、デジタルインジケー
タ５の値とＺ軸コントローラ１３、すなわちＺ軸サーボ
モータ７−２の停止時の数値データを算出し保持する。Next, in step S7, the absolute value detection processing shown in FIG. 8 is called, and the height measurement processing of the work 1 is performed. That is, the Z-axis is lowered in the same manner as in step S3, and the stopper 2-2 is applied to the abutment portion 1-3 of the work 1 centered on the height measurement table 9 in the state of A6 in FIG. When touched, the value of the digital indicator 5 fluctuates. At that time, the Z-axis is stopped, and the work height position (H 2 ) is calculated and held by the value of the digital indicator 5 and the numerical data when the Z-axis controller 13, that is, the Z-axis servomotor 7-2 is stopped. .
【００３７】次に、ステップＳ８において、ステップＳ
７のワーク高さ位置（Ｈ2）と、ステップＳ３での高さ
０点位置（Ｈ0）及びステップＳ１での高さ補正値
（Ｈ1）を、次の算式（１）にて、加工前のワーク高さ
（Ｈ）とする。Next, in step S8, step S
The work height position (H 2 ), the zero-point position (H 0 ) in step S3, and the height correction value (H 1 ) in step S1 are processed by the following formula (1). The previous work height (H) is used.
【００３８】ワーク高さ（Ｈ）＝Ｈ2−Ｈ0＋Ｈ1 …(1)Work height (H) = H 2 −H 0 + H 1 (1)
【００３９】ステップＳ９において、ワーク１を加工す
るにあたり、図１０のＡ７のワークのクランプ処理、Ａ
８のＺ軸方向の上昇後、Ｘ軸上の砥石８−１のＸ軸ワー
ク加工原点８−７へ移動させる（図３（Ｂ）参照）。In step S9, when the work 1 is processed, the work is clamped at A7 in FIG.
After the ascending movement 8 in the Z-axis direction, the grindstone 8-1 on the X-axis is moved to the X-axis work machining origin 8-7 (see FIG. 3B).
【００４０】図６を参照して、ステップＳ１０において
は、切替器１５を回転位置コントローラ１４−２側へ切
替え、図１１に示すように、回転位置コントローラ１４
−２により、主軸サーボモータ８−３を介して回転原点
８−６へ移動させ、回転軸方向の原点出しをする。Referring to FIG. 6, in step S10, switch 15 is switched to rotational position controller 14-2, and as shown in FIG.
With -2, the axis is moved to the rotation origin 8-6 via the spindle servomotor 8-3 to find the origin in the direction of the rotation axis.
【００４１】ステップＳ９、及びステップＳ１０の処理
により、Ｚ軸のロボットハンド２にクランプされたワー
ク１の加工に対して常に同じ位置に位置決めでき、その
ことで、砥石８−１の面精度の凹凸の高低差を考慮した
加工ができる。By the processes of steps S9 and S10, the workpiece 1 clamped by the Z-axis robot hand 2 can always be positioned at the same position with respect to the machining of the workpiece 1. As a result, the unevenness of the surface accuracy of the grindstone 8-1 is obtained. Can be processed in consideration of the height difference.
【００４２】ステップＳ１１においては、前記ステップ
Ｓ２と同様、ワーク１の基準面１−１が砥石に当接する
時に被加工側のたわみ等の機械的誤差を一定するため
に、電気式レギュレータ１１−２を所定設定にコントロ
ールし、当接時の押圧を設定する。In step S11, similarly to step S2, the electric regulator 11-2 is used to keep the mechanical error such as the deflection on the work side when the reference surface 1-1 of the work 1 comes into contact with the grindstone. Is set to a predetermined setting, and the pressing at the time of contact is set.
【００４３】ステップＳ１２においては、前記ステップ
Ｓ３の動作と同様に、Ｚ軸を下降させ、図１に示すよう
に、ワーク１を砥石８−１へ当接させ、その反力で変動
するデジタルインジケータ５のデータを受けて、Ｚ軸を
停止させる。その時の砥石８−１の当接位置（Ｈ3）を
保持する。In step S12, similarly to the operation in step S3, the Z-axis is lowered, and as shown in FIG. 1, the work 1 is brought into contact with the grindstone 8-1, and the digital indicator which fluctuates due to the reaction force. In response to the data of No. 5, the Z axis is stopped. The contact position (H 3 ) of the grindstone 8-1 at that time is held.
【００４４】ステップＳ１３は、ステップＳ１２での、
砥石８−１の当接位置（Ｈ3）に加工指定量（ＨL）を加
え、次式（２）のように加工指定位置（Ｈ4）を算出す
る。Step S13 is the same as step S12.
The processing specified amount (H L ) is added to the contact position (H 3 ) of the grindstone 8-1, and the processing specified position (H 4 ) is calculated as in the following equation (2).
【００４５】Ｈ4＝Ｈ3＋ＨL …(2)H 4 = H 3 + H L (2)
【００４６】ステップＳ１４においては、Ｚ軸を上昇さ
せ、ワーク１を一旦砥石８−１から逃す。In step S14, the Z-axis is raised, and the work 1 is once released from the grindstone 8-1.
【００４７】そしてステップＳ１６〜Ｓ２１において、
切替器１５を回転速度コントローラ側へ切替え回転速度
コントローラ１４−１により主軸サーボモータ８−３を
介して磁石８−１を回転させ（ステップＳ１６）、Ｚ軸
をあらかじめ入力した加工速度で当接位置まで下降させ
（ステップＳ１８）、ウォータノズル８−４で研削水を
砥石とワーク１の間に供給し研削粉を除去し、砥石の寿
命（研削加工精度）を延すべく、揺動動作を開始し（ス
テップＳ２０）、ワーク１の加工をする。Then, in steps S16 to S21,
The switching unit 15 is switched to the rotation speed controller side, and the rotation speed controller 14-1 rotates the magnet 8-1 via the spindle servomotor 8-3 (step S16), and the Z-axis abuts at the previously input machining speed. (Step S18), the grinding water is supplied between the grindstone and the work 1 by the water nozzle 8-4 to remove the grinding powder, and the rocking operation is started to extend the life of the grindstone (grinding precision). Then, the work 1 is processed (step S20).
【００４８】ステップＳ２２においては、Ｚ軸がワーク
１の加工寸法に到達し、正常にワーク１が加工できたか
を、デジタルインジケータ５の値を検出し、その値が０
であれば終了する。In step S22, the value of the digital indicator 5 is detected to determine whether the Z-axis has reached the processing dimension of the work 1 and the work 1 has been processed normally, and the value is set to 0.
If so, the process ends.
【００４９】図７を参照して、ステップＳ２３〜Ｓ２４
は、揺動往復動作が完了したか否かをチェックし、揺動
原点位置へ移動停止するもので、正常送り動作後の処理
として、砥石８−１の面精度の凹凸の高低差より生じる
加工誤差を一定にするため、砥石有効領域８−２を当接
させ、指定値と実加工値のばらつきを正す。この動作で
生じる指定値と実加工値の差を後処理の補正とする。Referring to FIG. 7, steps S23 to S24
Is to check whether or not the swing reciprocating operation is completed, and to stop the movement to the swing origin position. As a process after the normal feeding operation, a process caused by a height difference of unevenness of the surface accuracy of the grindstone 8-1. In order to make the error constant, the effective area 8-2 of the grindstone is brought into contact, and the variation between the designated value and the actual machining value is corrected. The difference between the designated value and the actual processing value generated by this operation is used as a post-processing correction.
【００５０】ステップＳ２５〜Ｓ３１においては、上記
加工処理で生じる指定値と実加工値の差を求めるため、
加工後のワーク１の加工後高さ位置（Ｈ5）を測定する
過程で、加工後のワーク１への研削粉等の粉塵をバルブ
１１−３をＯＮにしエアーを粉塵除去ノズル１１−４か
ら吹き飛し除去し測定誤差をなくす。すなわち、Ｚ軸方
向に上昇し（ステップＳ２５）、砥石８−１の回転を停
止し（ステップＳ２６）、研削加工されたワーク１をＸ
軸の高さ測定テーブル９へ移動し（ステップＳ２７）、
Ｚ軸を下降し（ステップＳ２８）、Ｚ軸の高さ位置を停
止し（ステップＳ２９）、エアーを粉塵除去ノズル１１
−４から吹き飛し除去し（ステップＳ３０）、ワーク高
さの測定処理を行う（ステップＳ３１）。この時のワー
クの加工後の高さをＨ5とする。In steps S25 to S31, the difference between the designated value generated in the above-mentioned processing and the actual processing value is obtained.
In the process of measuring the post-machining height position of the workpiece 1 after machining (H 5), the dust from grinding dust into the work 1 after processing air and the valve 11-3 is turned ON from the dust removal nozzle 11-4 Eliminates measurement errors by blowing away. That is, it rises in the Z-axis direction (step S25), stops the rotation of the grindstone 8-1 (step S26), and moves the ground work 1 to X
Move to the axis height measurement table 9 (step S27),
The Z-axis is lowered (Step S28), the height position of the Z-axis is stopped (Step S29), and the air is removed from the dust removal nozzle 11 (Step S29).
Then, the workpiece height is measured (step S31), and the workpiece height is measured (step S31). The height after processing at this time of the work to H 5.
【００５１】ステップＳ３２は、加工後の寸法と加工指
定量を比較し、補正値を算出するもので、加工後のワー
ク高さ位置（Ｈ5）をワーク高さ０点位置（Ｈ0）から差
し引き、加工後のワーク高さ（Ｈ′）を算出し（次式
（３）参照）、加工前のワーク高さ（Ｈ）から加工後の
ワーク高さ（Ｈ′）を差し引き、実加工量（ＨL′）を
算出し（次式（４）参照）、加工指定量（ＨL）と実加
工量（ＨL′）の差を算出し、補正値（Ｈ6）とし（次式
（５）参照）、ステップＳ１５の判定にて初回以降は、
加工指定量（ＨL）に補正値（Ｈ6）を補正する（図６の
ステップＳ１５Ａ参照）ことにより、精度よくワーク１
の加工ができる。Step S32 compares the dimension after machining with the designated machining amount and calculates a correction value. The work height position (H 5 ) after machining is calculated from the zero point position (H 0 ) of the work height. The work height after processing (H ') is calculated (see the following equation (3)), and the work height after processing (H') is subtracted from the work height before processing (H) to obtain the actual processing amount. (H L ′) is calculated (see the following equation (4)), and the difference between the designated machining amount (H L ) and the actual machining amount (H L ′) is calculated as a correction value (H 6 ) (the following equation (H 6 )). 5)), and after the initial determination in step S15,
By correcting the correction value (H 6 ) to the designated processing amount (H L ) (see step S15A in FIG. 6), the work 1 can be accurately performed.
Can be processed.
【００５２】 加工後のワーク高さＨ′＝Ｈ0−Ｈ5 …(3)Work height after processing H ′ = H 0 −H 5 (3)
【００５３】実加工量ＨL′＝Ｈ−Ｈ′ …(4)Actual processing amount H L ′ = H−H ′ (4)
【００５４】補正値Ｈ6＝ＨL−ＨL′ …(5)Correction value H 6 = H L −H L ′ (5)
【００５５】[0055]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
加工条件を常に一定に保持する機能を具備したことによ
り、加工の際に機械的誤差を一定にすることができると
いう効果を有する。加工指定量に一定の値を補正するこ
とでワークの加工が精度よく加工できる。As described above, according to the present invention,
By providing the function of constantly maintaining the processing conditions, there is an effect that a mechanical error can be made constant during processing. By correcting a predetermined value to the processing specified amount, the processing of the work can be performed with high accuracy.
【００５６】また、本発明によれば、測定部のデジタル
インジケータ（測定器）を省くことである。これによ
り、装置構成が簡素化でき、安価で装置を提供すること
ができる。Further, according to the present invention, the digital indicator (measuring device) of the measuring section is omitted. Thereby, the device configuration can be simplified, and the device can be provided at low cost.
【００５７】その理由は、ワークの測定とワークの当接
の検出を１つのデジタルインジケータ（測定器）で処理
できるからである。The reason is that the measurement of the work and the detection of the contact of the work can be processed by one digital indicator (measuring device).
【図１】本発明の実施の形態を説明するための図であ
り、ワーク形状を示す平面図及び底面図である。FIG. 1 is a diagram for explaining an embodiment of the present invention, and is a plan view and a bottom view showing a workpiece shape.
【図２】本発明の実施の形態に係る精密加工装置の構成
を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a precision processing device according to an embodiment of the present invention.
【図３】本発明の実施の形態に係る精密加工装置の構成
を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a precision processing device according to an embodiment of the present invention.
【図４】本発明の実施の形態に係る精密加工装置の制御
系ブロック図である。FIG. 4 is a control system block diagram of the precision machining apparatus according to the embodiment of the present invention.
【図５】本発明の実施の形態の処理動作を説明するため
のフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart illustrating a processing operation according to the embodiment of the present invention.
【図６】本発明の実施の形態の処理動作を説明するため
のフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart illustrating a processing operation according to the embodiment of the present invention.
【図７】本発明の実施の形態の処理動作を説明するため
のフローチャートである。FIG. 7 is a flowchart illustrating a processing operation according to the embodiment of the present invention.
【図８】本発明の実施の形態の処理動作（絶対値検出処
理）を説明するためのフローチャートである。FIG. 8 is a flowchart illustrating a processing operation (absolute value detection processing) according to the embodiment of the present invention.
【図９】本発明の実施の形態に係る精密加工装置のロボ
ットハンドがワークをクランプした時の図である。FIG. 9 is a view when a robot hand of the precision processing apparatus according to the embodiment of the present invention clamps a workpiece.
【図１０】本発明の実施の形態の処理動作を工程順に模
式的に示した図である。FIG. 10 is a diagram schematically showing the processing operation of the embodiment of the present invention in the order of steps.
【図１１】本発明の実施の形態における処理工程の砥石
の回転原点への移動を示した図である。FIG. 11 is a diagram showing movement of a grindstone to a rotation origin in a processing step according to the embodiment of the present invention.
【図１２】従来の基準面からの加工装置の構成を示す図
である。FIG. 12 is a diagram showing a configuration of a conventional processing apparatus from a reference plane.
【図１３】従来の基準面からの加工装置の制御系を示す
図である。FIG. 13 is a diagram showing a conventional control system of a processing apparatus from a reference plane.
１ ワーク １−１ 基準面 １−２ ワーク取付け部材 ２ ロボットハンド ２−１ つめ ２−２ ストッパー ３ ピストン ４ シリンダ ５ デジタルインジケータ ５−１ 測定子 ６ ０点検出機構部 ７ Ｚ軸機構部 ７−１ Ｚ軸テーブル ７−２ Ｚ軸サーボモータ ８ 研削機構部 ８−１ 砥石 ８−２ 砥石有効領域 ８−３ 主軸サーボモータ ８−４ ウォータノズル ８−５ Ｘ軸高さ測定位置 ８−６ 回転原点 ８−７ Ｘ軸ワーク加工原点 ９ 高さ測定テーブル １０ Ｘ軸機構部 １０−１ Ｘ軸テーブル １０−２ Ｘ軸サーボモータ １１ 圧力調整部 １１−１ ポンプ １１−２ 電気式レギュレータ １１−３ バルブ １１−４ 粉塵除去ノズル １０１ ＣＰＵ １０２ データ読込みコントローラ １０３ Ｚ軸コントローラ １０４ 回転速度コントローラ １０６ 回転位置コントローラ １０５ Ｘ軸コントローラ １１５ 切替器 １８ 手動式レギュレータ １９ 高さ用デジタルインジケータ １−３ 突き当部 Reference Signs List 1 Work 1-1 Reference surface 1-2 Work mounting member 2 Robot hand 2-1 Pawl 2-2 Stopper 3 Piston 4 Cylinder 5 Digital indicator 5-1 Probe 6 Zero point detection mechanism 7 Z-axis mechanism 7-1 Z-axis table 7-2 Z-axis servo motor 8 Grinding mechanism 8-1 Grinding wheel 8-2 Grinding wheel effective area 8-3 Spindle servo motor 8-4 Water nozzle 8-5 X-axis height measurement position 8-6 Rotation origin 8 -7 X-axis work machining origin 9 Height measurement table 10 X-axis mechanism 10-1 X-axis table 10-2 X-axis servo motor 11 Pressure adjustment unit 11-1 Pump 11-2 Electric regulator 11-3 Valve 11- 4 Dust removal nozzle 101 CPU 102 Data reading controller 103 Z-axis controller 104 Rotation speed controller 106 Rotation position Controller 105 X-axis controller 115 switcher 18 manual regulator 19 Height digital indicator 1-3 abutment portion
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｇ０５Ｂ 19/18 Ｇ０５Ｂ 19/18 Ａ (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B23Q 15/04 B23Q 17/22 B24B 49/02 B25J 13/00 G01B 5/20 G05B 19/18Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 identification code FI G05B 19/18 G05B 19/18 A (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) B23Q 15/04 B23Q 17/22 B24B 49 / 02 B25J 13/00 G01B 5/20 G05B 19/18
Claims (5)
ボットハンドに連動し該ワークの当接時を検出し測定す
る０点検出手段と、 前記ロボットハンド及び前記０点検出手段を加工送り及
び測定時においてＺ軸方向に移動させるＺ軸機構部と、 前記ワークの高さを測定するためのテーブルと、ワーク 基準面から研削加工するための砥石を装着し、該
砥石に回転を与え研削する研削機構部と、 前記研削機構部と前記テーブルとをＸ軸テーブルで結合
しＸ軸方向の移動を行う Ｘ軸機構部と、 を備え、 入力された研削加工条件を基に、前記Ｚ軸機構部を制御
するＺ軸コントローラ、前記Ｘ軸機構部のＸ軸テーブル
を直進制御するＸ軸コントローラ、前記研削機構部の砥
石の回転を制御する回転速度コントローラ、及び、ワー
クの砥石への当接位置を一定に制御する回転位置コント
ローラを制御し、前記ワークの研削前後の高さを前記テ
ーブルに当接するＯ点位置と、前期砥石への当接するＯ
点位置とを測定手段を用いて検出し、その検出値を基に
研削指定量に対する実研削値の誤差値を割り出し、それ
以降の研削指定値に対して補正フィードバックする、こ
とを特徴とするワーク基準面からの精密加工装置。1. A robot hand for gripping a work, zero point detecting means for detecting and measuring the contact of the work in conjunction with the robot hand, and processing and feeding the robot hand and the zero point detecting means At this time, a Z-axis mechanism for moving in the Z-axis direction, a table for measuring the height of the work , and a grindstone for grinding from a work reference surface are mounted .
A grinding mechanism that rotates and grinds the grindstone, and the grinding mechanism and the table are connected by an X-axis table
Includes a X-axis mechanism unit for moving the X-axis direction, and based on the inputted grinding condition, the Z-axis controller that controls the Z-axis mechanism unit, straight X-axis table of the X-axis mechanism unit X-axis controller for controlling , grinding of the grinding mechanism
Rotational speed controller for controlling the rotation of the stone, and, Wah
Position control to keep the contact position of the
Controls roller, the tape height before and after grinding of the workpiece
And O point position abutting the Buru, O abutting to year grindstone
The point position is detected using measuring means, and based on the detected value,
A precision machining apparatus from a workpiece reference plane , wherein an error value of an actual grinding value with respect to a designated grinding amount is determined, and correction feedback is performed on a subsequent designated grinding value .
反力を受け止めるストッパーとワーク側面をクランプす
るつめとを有するロボットハンドと、 該ロボットハンドに一端を結合したピストンと、 該ピストンを案内するシリンダーと、 前記ピストンの微動を検出するデジタルインジケータ
と、 を含むことを特徴とする請求項１記載の精密加工装置。2. A robot hand having a stopper for receiving a reaction force from a workpiece reference surface and a pawl for clamping a side surface of the workpiece, a piston having one end coupled to the robot hand, The precision machining apparatus according to claim 1, comprising: a guiding cylinder; and a digital indicator for detecting fine movement of the piston.
と、 ワークを定位置へセットしかつ定位置を保持する測定台
と、を有し、 これらをワークの基準面に対し水平方向に駆動すること
を特徴とする請求項１記載の精密加工装置。Wherein the X-axis mechanism unit, a grindstone for grinding the workpiece, and the grinding mechanism for rotating attached to the grindstone, a means for supplying grinding water to avoid clogging of the grinding wheel 2. The precision machining apparatus according to claim 1, further comprising: a measuring table for setting the work at a fixed position and holding the fixed position, and driving these in a horizontal direction with respect to a reference plane of the work.
ンダを介して前記ワークへの押圧を加えるためのポンプ
と、 ワーク形状に対応しその基準面を介して一定の面圧を加
える電気式レギュレータからなる圧力駆動部と、を備え
たことを特徴とする請求項１記載の精密加工装置。4. A pump for applying a pressure to the work via the cylinder of the zero point detection means to the X-axis mechanism, and applying a constant surface pressure via a reference surface corresponding to the shape of the work. The precision processing apparatus according to claim 1, further comprising: a pressure driving unit including an electric regulator.
トハンドにワーク基準面を介して反力を受け微動するピ
ストンの移動量を検出するデジタルインジケータのデー
タを読込む、データ読込みコントローラと、 ワークの前記砥石への当接位置を一定に制御する回転位
置コントローラと、 ワークの研削時の回転速度を制御する回転速度コントロ
ーラと、 これらを切替える切替手段と、 Ｘ軸の所定の位置を制御するＸ軸コントローラと、 ワークの加工後に付着したワーク及び測定台の粉塵を除
去するバルブと、 これら全体の制御を司るＣＰＵと、を有し、 前記ＣＰＵにて、前記ワークのセット後は、自動でワー
クの現在の高さ位置を割出し、指定の研削量を入力する
ことで荒削り後粉塵を除去し、前記ワークを前記Ｚ軸機構部に備えたロボットハンドに
ハンドリングした状態で、ワークを一度Ｚ軸方向に逃が
し前記テーブルを前記Ｘ軸機構部の駆動によりＺ軸位置
へ移動させ、その後、前記Ｚ軸機構部の駆動により前記
ロボットハンドにハンドリングしたワークを下降させな
がら前記ワークと連結したピストンの微動を前記デジタ
ルインジケータの変位置によって前記テーブルに前記ワ
ーク基準面が当接したことと検出し、同時にＺ軸を停止
させ、そのときのＺ軸方向移動位置と前記デジタルイン
ジケータの変位置とにより算出した絶対値と、加工前の
値とを算出して 実測値とし、指定値との差を算出し、こ
れらの算出データを基に仕上げ量を補正することを特徴
とする、請求項１記載の基準面からの精密加工装置。5. A data read controller for controlling the position of the Z-axis mechanism , and reading data of a digital indicator for detecting a movement amount of a piston which receives a reaction force from the robot hand via a work reference plane and moves finely. A rotation position controller for controlling the contact position of the workpiece to the grinding wheel to be constant; a rotation speed controller for controlling the rotation speed at the time of grinding the workpiece; switching means for switching between these; and controlling a predetermined position of the X axis. An X-axis controller that performs the operation, a valve that removes the work and the dust on the measuring table adhered to the work after processing the work, and a CPU that controls the whole of the work. Calculate the current height position of the work with, input the specified grinding amount to remove dust after rough cutting, and set the work in the robot equipped with the Z-axis mechanism. Hand
Release the work once in the Z-axis direction while handling
The table is moved to the Z-axis position by driving the X-axis mechanism.
And then driven by the Z-axis mechanism to
Do not lower the workpiece handled by the robot hand.
The fine movement of the piston connected to the work is
The table to the table depending on the position of the
Detected that the workpiece reference surface touched, and stopped the Z-axis at the same time.
The Z-axis movement position at that time and the digital input
The absolute value calculated by the displacement position of the indicator and the
2. A precision machining apparatus from a reference surface according to claim 1, wherein a value is calculated as an actual measurement value, a difference from the specified value is calculated, and a finishing amount is corrected based on the calculated data. .
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