JP2859910B2 - Humidity control device for X-ray equipment - Google Patents
Humidity control device for X-ray equipmentInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、X線装置に装着される試料のまわりの湿度
を調節するための湿度制御装置に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a humidity control device for adjusting the humidity around a sample mounted on an X-ray apparatus.
[従来の技術] 地球上に存在する鉱物のうちには、そのまわりの湿度
が変化することによって、その内部の結晶構造に変化が
生じるものがある。このような結晶構造の変化の態様
は、その鉱物を構成している元素などの種類に応じて種
々に異なり、従って、湿度をパラメータとして変化させ
ながら、結晶構造の状態を測定してゆけば、その鉱物を
構成している元素などについての情報を得ることが可能
となる。[Related Art] Among minerals existing on the earth, there are some minerals which change due to a change in humidity around the minerals. The manner of such a change in the crystal structure varies depending on the type of elements constituting the mineral and the like.Therefore, if the state of the crystal structure is measured while changing the humidity as a parameter, It is possible to obtain information on elements constituting the mineral.
例えば、スメクタイトと呼ばれる粘土鉱物は、雰囲気
の相対湿度に伴って層状構造の底面間隔が変化する。こ
の場合、粘土鉱物は層状珪酸塩であり、上記の底面間隔
の変化は、層間に入る陽イオンの種類や、珪酸塩層それ
自体の結晶化学的性質の相違に起因するものである。従
って、相対湿度を変化させながらスメクタイトの底面間
隔の変化を測定すれば、そのスメクタイトを構成してい
る層間陽イオンや珪酸塩層の電荷に関する情報を得るこ
とができる。For example, in clay minerals called smectite, the distance between the bottom surfaces of the layered structure changes with the relative humidity of the atmosphere. In this case, the clay mineral is a layered silicate, and the above-mentioned change in the spacing between the bottom surfaces is caused by a difference in the kind of a cation interposed between layers and a difference in crystal chemical properties of the silicate layer itself. Therefore, by measuring the change in the distance between the bottom surfaces of the smectite while changing the relative humidity, it is possible to obtain information on the interlayer cations constituting the smectite and the charge of the silicate layer.
ところで、スメクタイトの底面間隔などといった結晶
構造は、X線回折によって得られるX線回折図形から読
み取ることができる。したがって、上記のような鉱物試
験を行うに際して、X線回折装置を用いることができ
る。しかしながら、そのようなX線回折実験において
は、X線回折装置に装着された試料のまわりの相対湿度
を、予め設定した条件に従って変化させる必要が生じて
くる。この場合には、相対湿度を作り出す何等かの手段
が必要である。By the way, the crystal structure such as the interval between the bottom surfaces of smectite can be read from an X-ray diffraction pattern obtained by X-ray diffraction. Therefore, an X-ray diffractometer can be used when performing the above mineral test. However, in such an X-ray diffraction experiment, it becomes necessary to change the relative humidity around the sample mounted on the X-ray diffraction apparatus according to preset conditions. In this case, some means of creating relative humidity is required.
従来、相対湿度を作り出すための手段として、硫酸溶
液を用いた簡便法が知られている。この方法は、硫酸溶
液が有している吸湿性を利用したものであり、硫酸溶液
の濃度を適宜に変えることによって湿度を調節しようと
するものである。Conventionally, a simple method using a sulfuric acid solution has been known as a means for creating relative humidity. This method utilizes the hygroscopicity of the sulfuric acid solution, and attempts to adjust the humidity by appropriately changing the concentration of the sulfuric acid solution.
[発明が解決しようとする課題] 上記のような硫酸溶液を用いた湿度制御方法において
は、硫酸溶液の吸湿性が激しいため、実験上種々の困難
を伴った。特に、0〜20%と80〜100%の相対湿度にお
いてかなりの誤差を伴っていた。[Problems to be Solved by the Invention] In the humidity control method using a sulfuric acid solution as described above, various difficulties have been involved in experiments due to the strong hygroscopicity of the sulfuric acid solution. In particular, there was considerable error at relative humidities of 0-20% and 80-100%.
本発明は、従来の湿度制御方法における上記の問題点
に鑑みてなされたものであって、相対湿度をパラメータ
としたX線回折測定を正確に行うことを可能とするX線
装置のための湿度制御装置を提供することを目的とす
る。The present invention has been made in view of the above problems in the conventional humidity control method, and has been made in consideration of a humidity for an X-ray apparatus that enables accurate X-ray diffraction measurement with relative humidity as a parameter. It is an object to provide a control device.
[課題を解決するための手段] 上記の目的を達成するため、請求項1の湿度制御装置
は、試料のまわりを密閉する試料ケースと、その試料ケ
ース内へ送り込むための湿度を持った空気を発生する湿
度発生手段とを有しており、その湿度発生手段は、分流
式湿度発生装置によって構成されている。この分流式湿
度発生装置とは、乾燥空気と湿度飽和空気とを互いに混
合させることによって湿度を発生するものであって、そ
れら両空気の混合割合を変えることによって、発生する
湿度の大きさを調節できるようになっている装置であ
る。Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, a humidity control device according to claim 1 includes a sample case that seals around a sample, and air having humidity for sending the sample case into the sample case. And a humidity generating means for generating the humidity. The humidity generating means is constituted by a split-flow type humidity generating device. This split-flow type humidity generator generates humidity by mixing dry air and humidity-saturated air with each other, and adjusts the magnitude of the generated humidity by changing the mixing ratio of the two airs. It is a device that can be used.
請求項2の湿度制御装置は、試料ケースと湿度発生手
段との連結状態を限定したものである。湿度発生手段
は、試料ケースに直接取り付けることもできるが、請求
項2の装置では、可撓性を備えた長い管を介して両者を
互いに接続している。According to a second aspect of the present invention, there is provided a humidity control device in which a connection state between the sample case and the humidity generating means is limited. The humidity generating means can be directly attached to the sample case, but in the device of the second aspect, the two are connected to each other via a long flexible tube.
請求項3の湿度制御装置は、試料ケースに限定を加え
たものである。試料ケースは、本質的には、X線装置に
装着した試料を密閉できるものであれば、その構成は特
別なものに限定されることはないが、請求項3の装置で
は、その試料ケースを特に2重構造のケースによって構
成してある。The humidity control device according to claim 3 is one in which the sample case is limited. The configuration of the sample case is not limited to a special one as long as the sample case can essentially seal the sample mounted on the X-ray apparatus. In particular, it is constituted by a case having a double structure.
請求項4の湿度制御装置は、試料ケースについて改変
を加えたものである。具体的には、試料ケースを上下の
2つの部分に分けて、その上部を取付けおよび取り外し
可能にしたものである。The humidity control device according to claim 4 is a device in which the sample case is modified. More specifically, the sample case is divided into upper and lower parts, and the upper part thereof can be attached and detached.
請求項5の湿度制御装置は、試料ケースとして上記の
2重構造のケースを用いた場合における、湿度保有空気
の流し方を特定したものである。この装置では、湿度発
生手段から送られた空気は、まず、内側ケースへ入り、
その後、外側ケースを経由して外部へ排出される。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a humidity control device which specifies a flow of the humidity holding air when the above-described double-structure case is used as a sample case. In this device, the air sent from the humidity generating means first enters the inner case,
Then, it is discharged to the outside via the outer case.
請求項6の湿度制御装置は、空気輸送管を用いている
請求項2の装置に、さらに改変を加えたものである。こ
の装置では、その空気供給管のまわりにヒータを設け、
試料ケースの中に湿度検出手段を設け、そして湿度検出
手段によって検出された湿度に基づいてヒータの発熱量
を制御するようにしている。The humidity control device according to claim 6 is obtained by further modifying the device according to claim 2 using an air transport pipe. In this device, a heater is provided around the air supply pipe,
Humidity detecting means is provided in the sample case, and the amount of heat generated by the heater is controlled based on the humidity detected by the humidity detecting means.
[作用] 請求項1の湿度制御装置において、湿度発生手段(1
7)で発生した、所望の湿度を持った空気(湿度保有空
気)は、試料ケース(7)内に送り込まれる。これによ
って、試料ケース内の試料(5)が所望の湿度下に置か
れる。この状態で、X線装置、例えばX線回折装置によ
る測定が行われる。[Operation] In the humidity control device according to claim 1, the humidity generation means (1
The air having the desired humidity (humidity holding air) generated in 7) is sent into the sample case (7). As a result, the sample (5) in the sample case is placed under a desired humidity. In this state, measurement is performed by an X-ray device, for example, an X-ray diffraction device.
湿度発生手段は、分流式湿度発生構造を有しているの
で、湿度の設定の変更を精密に行うことができ、しかも
設定された湿度を正確に一定に保持することができる。Since the humidity generating means has a split-flow type humidity generating structure, it is possible to change the humidity setting precisely and to keep the set humidity accurately and constant.
請求項2の装置において、湿度発生手段(17)で発生
した湿度保有空気は、空気輸送管(25)を通って試料ケ
ース(7)へ送り込まれる。この空気輸送管を設けたこ
とにより、湿度発生手段を試料ケースから離れた別の場
所に設置することができる。In the apparatus according to the second aspect, the humidity holding air generated by the humidity generating means (17) is sent to the sample case (7) through the air transport pipe (25). By providing this air transport pipe, the humidity generating means can be installed at another place away from the sample case.
請求項3の装置において、試料(5)は、内側ケース
(8)によって囲まれた試料室の中に納められる。この
試料室は、さらに外側ケース(9)によって包囲される
ので、試料室の保温性が良くなる。Device according to claim 3, wherein the sample (5) is placed in a sample chamber surrounded by an inner case (8). Since this sample chamber is further surrounded by the outer case (9), the heat retention of the sample chamber is improved.
請求項4の装置において、試料の取り付けおよび取り
外し、あるいはその他の保守作業等において、試料ケー
スの上部が開放される。In the apparatus according to the fourth aspect, the upper part of the sample case is opened during attachment and detachment of the sample or other maintenance work.
請求項5の装置において、湿度保有空気は、2重ケー
スの内部をまんべんなく流れた後に外部へ放出される。In the apparatus according to claim 5, the humidity holding air is discharged to the outside after flowing evenly inside the double case.
請求項6の装置において、試料ケースへ送り込まれる
空気がヒータ(19)によって温度調節され、これによ
り、試料ケースの内部の湿度が一定に保持される。7. The apparatus according to claim 6, wherein the temperature of the air fed into the sample case is adjusted by the heater (19), whereby the humidity inside the sample case is kept constant.
[実施例] 第1図は、本発明に係る湿度制御装置が装着されたX
線装置の一例であるX線回折装置を示している。このX
線回折装置は、ゴニオメータ1およびその左側に設けら
れたX線発生装置2を有している。ゴニオメータ1の上
には、試料ホルダ3および検出器ホルダ4が設けられて
いる。試料ホルダ3の上には試料5が取り付けられ、そ
して検出器ホルダ4の右端にはX線強度検出器6が取り
付けられている。試料ホルダ3は、軸線ωのまわりをθ
回転し、そのとき同時に検出器ホルダ4は、同じく軸線
ωのまわりを2θ(θの2倍)回転する。[Embodiment] FIG. 1 is a view showing an X having a humidity controller according to the present invention.
1 shows an X-ray diffraction apparatus which is an example of a X-ray apparatus. This X
The X-ray diffraction apparatus has a goniometer 1 and an X-ray generator 2 provided on the left side thereof. A sample holder 3 and a detector holder 4 are provided on the goniometer 1. A sample 5 is mounted on the sample holder 3, and an X-ray intensity detector 6 is mounted on a right end of the detector holder 4. The sample holder 3 moves around the axis ω by θ.
And at the same time, the detector holder 4 also rotates about the axis ω by 2θ (twice θ).
X線発生装置2から放出されたX線は試料5で回折
し、その回折X線がX線検出器6によって受け取られて
その強度が測定される。この測定中、試料5は試料ホル
ダ3と共にθ回転し、X線検出器6は検出器ホルダ4と
共に2θ回転する。これにより、縦軸にX線強度をと
り、横軸に試料回転角度(通常は2θ)をとった、周知
のX線回折図形が得られる。The X-rays emitted from the X-ray generator 2 are diffracted by the sample 5, and the diffracted X-rays are received by the X-ray detector 6 and the intensity is measured. During this measurement, the sample 5 rotates θ with the sample holder 3 and the X-ray detector 6 rotates 2θ with the detector holder 4. As a result, a well-known X-ray diffraction pattern with the X-ray intensity on the vertical axis and the sample rotation angle (usually 2θ) on the horizontal axis is obtained.
本実施例では、上記のようなX線回折を行うにあたっ
て、試料5の雰囲気湿度を適宜に変更できるようになっ
ている。以下、そのための構成について説明する。In the present embodiment, in performing the X-ray diffraction as described above, the atmospheric humidity of the sample 5 can be appropriately changed. Hereinafter, the configuration for that will be described.
第1図において、試料ホルダ3および試料5は試料ケ
ース7に取り囲まれている。第2図に示すように、試料
ケース7は、試料5を取り囲む内側ケース8と、その内
側ケース8を取り囲む外側ケース9とを有している。両
ケース8および9は、ケース底部において一体になって
おり、ケース底部はOリング10を介して試料ホルダ3に
はめ込まれれている。Oリング10により、内側ケース8
の内部、すなわち試料5のまわりの試料室が密閉されて
いる。In FIG. 1, the sample holder 3 and the sample 5 are surrounded by a sample case 7. As shown in FIG. 2, the sample case 7 has an inner case 8 surrounding the sample 5 and an outer case 9 surrounding the inner case 8. The two cases 8 and 9 are integrated at the bottom of the case, and the bottom of the case is fitted into the sample holder 3 via an O-ring 10. O-ring 10 allows inner case 8
, That is, the sample chamber around the sample 5 is sealed.
内側ケース8および外側ケース9には、第3図に示す
ように、X線入射用窓11および12並びにX線出射用窓13
および14が設けられている。これらの各窓は、例えばポ
リエステルフィルムによって形成されている。As shown in FIG. 3, the inner case 8 and the outer case 9 have X-ray entrance windows 11 and 12 and an X-ray exit window 13 respectively.
And 14 are provided. Each of these windows is formed of, for example, a polyester film.
第2図に示すように、内側ケース8には吸気ノズル15
が取り付けられており、外側ケース9には排気ノズル16
が取り付けられている。As shown in FIG.
The outer case 9 has an exhaust nozzle 16
Is attached.
第4図は、相対湿度を発生すると共に、その湿度値を
制御するための装置の一例を示している。この装置は、
湿度発生手段17と、制御装置18と、そしてヒータ19とを
有している。FIG. 4 shows an example of an apparatus for generating a relative humidity and controlling the humidity value. This device is
It has a humidity generating means 17, a control device 18, and a heater 19.
湿度発生手段17は、いわゆる分流式の湿度発生構造を
有している。すなわち、供給された乾燥空気(湿度0
%)は、2本の管路20aおよび20bに分流される。一方の
管路20aには、流量計21および飽和槽22が配置されてお
り、他方の管路20bには流量計23だけが配置されてい
る。飽和槽22は、送られてきた空気を湿度飽和状態(湿
度100%)にして次工程へ送り出す働きをする。The humidity generating means 17 has a so-called split flow type humidity generating structure. That is, the supplied dry air (humidity 0
%) Is diverted to two conduits 20a and 20b. A flow meter 21 and a saturation tank 22 are arranged in one pipeline 20a, and only a flow meter 23 is arranged in the other pipeline 20b. The saturation tank 22 functions to make the sent air in a humidity saturated state (100% humidity) and send it to the next process.
管路20aによって送られる湿度飽和空気と、管路20bに
よって送られる乾燥空気は、共に空気混合部24へ送り込
まれ、該部において互いに混合される。これにより、混
合割合に応じた湿度を持った空気が発生する。発生され
る湿度の大きさ、すなわち乾燥空気(0%)と湿度飽和
空気(100%)との混合割合は、各管路20a,20b内を流れ
る空気の量を流量計21,23によって調節することによ
り、希望する値に設定することができる。The humidity-saturated air sent by the line 20a and the dry air sent by the line 20b are both sent to the air mixing section 24, where they are mixed with each other. As a result, air having a humidity corresponding to the mixing ratio is generated. The magnitude of the generated humidity, that is, the mixing ratio of the dry air (0%) and the humidity-saturated air (100%) is adjusted by the flow meters 21 and 23 by controlling the amount of air flowing in each of the pipes 20a and 20b. Thus, the desired value can be set.
空気混合部24を経由して希望する湿度を有するに至っ
た空気(湿度保有空気)は、湿度発生手段17と試料ケー
ス7の吸気ノズル15とを連結する空気輸送管25によっ
て、吸気ノズル15へ供給される。The air having the desired humidity (humidity holding air) via the air mixing section 24 is sent to the suction nozzle 15 by an air transport pipe 25 connecting the humidity generating means 17 and the suction nozzle 15 of the sample case 7. Supplied.
吸気ノズル15に達した空気は、第2図において、内側
ケース8の内部、すなわち試料5のまわりへ送り込まれ
る。内側ケース8内へ送り込まれた空気は、その後、内
側ケース8の上部に予め設けられている穴26を介して、
外側ケース9と内側ケース8との間の空間へ送り出さ
れ、さらに排気ノズル16を介して外部へ排出される。こ
うして、X線回折測定中、試料5のまわりを所望の湿度
下に置くことができる。The air that has reached the suction nozzle 15 is sent into the inside of the inner case 8, that is, around the sample 5, in FIG. The air sent into the inner case 8 then passes through a hole 26 provided in the upper part of the inner case 8,
The air is sent out to the space between the outer case 9 and the inner case 8, and further discharged to the outside via the exhaust nozzle 16. Thus, the sample 5 can be placed under a desired humidity during the X-ray diffraction measurement.
測定中、内側ケース8の内部は、常に一定の湿度に保
持される必要がある。そのため本実施例では、内側ケー
ス8の内部に湿度センサ27が配置されている。この湿度
センサ27は、内側ケース8内の湿度を検知してその検知
結果を湿度信号として第4図の制御装置18へ送る。制御
装置18はその湿度信号に基づいて、空気輸送管25の近く
に配置されたヒータ19をオン・オフ制御あるいはそのヒ
ータへの給電量制御をする。このように試料ケース7へ
供給される空気の温度を調節することにより、内側ケー
ス8内の湿度を一定に保持している。During the measurement, the inside of the inner case 8 needs to be always kept at a constant humidity. Therefore, in the present embodiment, the humidity sensor 27 is disposed inside the inner case 8. The humidity sensor 27 detects the humidity inside the inner case 8 and sends the detection result as a humidity signal to the control device 18 in FIG. The control device 18 controls ON / OFF of the heater 19 disposed near the air transport pipe 25 or controls the amount of power supplied to the heater based on the humidity signal. By adjusting the temperature of the air supplied to the sample case 7 in this way, the humidity in the inner case 8 is kept constant.
本実施例では、上記のように湿度を一定値に保持する
という湿度制御以外に、内側ケース8内の相対湿度値そ
れ自体を、0%、20%、……80%のように段階的に設定
変更できるようになっている。このような湿度変更を行
うときには、第4図において、測定者がキーボードなど
の操作部28を介して制御装置18へ希望の相対湿度値を指
示する。制御装置18は、それに応じて流量計21あるいは
流量計23を制御して、そこを流れる空気量を調節する。
これにより、空気混合部24における乾燥空気と湿度飽和
空気との混合割合が変わって、発生される湿度の大きさ
を所望の値に変更することができる。In the present embodiment, in addition to the humidity control of maintaining the humidity at a constant value as described above, the relative humidity value in the inner case 8 itself is gradually changed to 0%, 20%,. Settings can be changed. To make such a humidity change, in FIG. 4, the measurer instructs the controller 18 via the operation unit 28 such as a keyboard to a desired relative humidity value. The controller 18 controls the flow meter 21 or the flow meter 23 accordingly to adjust the amount of air flowing therethrough.
Accordingly, the mixing ratio of the dry air and the humidity-saturated air in the air mixing unit 24 changes, and the magnitude of the generated humidity can be changed to a desired value.
以上のように、本実施例によれば、試料5のまわりの
相対湿度を希望する値に変化させ、しかもその変化させ
た相対湿度を一定に保持した状態でX線回折測定を行う
ことができる。その結果、第5図に示すように、試料5
のまわりの相対湿度を0%、20%、……80%のように変
化させた場合のX線回折図形を得ることができる。これ
らの回折図形において、曲線aは曲線bを拡大して示し
たものである。As described above, according to this embodiment, the relative humidity around the sample 5 can be changed to a desired value, and the X-ray diffraction measurement can be performed with the changed relative humidity kept constant. . As a result, as shown in FIG.
X-ray diffraction patterns can be obtained when the relative humidity around is changed to 0%, 20%,..., 80%. In these diffraction patterns, the curve a is an enlarged view of the curve b.
今、試料5としてスメクタイトと呼ばれる粘土鉱物を
適用した場合を考える。この場合には、第5図に示した
各相対湿度におけるX線回折図形に基づいて、粘土鉱物
をそれらの各相対湿度に置いたときのその粘土鉱物の底
面間隔が算出できる。この算出方法自体は、既によく知
られている技術であるので、詳しい説明は省略する。こ
のように、異なる相対湿度下における粘土鉱物の底面間
隔が求められると、それに基づいて、その粘土鉱物を構
成している元素に関する種々の情報を推測することが可
能となる。例えば、粘土鉱物を構成している層間イオン
が何であるかとか、その層間イオンの違いによって水分
子層の形成の仕方がどのように異なるかなどが判定でき
る。Now, consider the case where a clay mineral called smectite is applied as sample 5. In this case, based on the X-ray diffraction pattern at each relative humidity shown in FIG. 5, the bottom interval of the clay mineral when the clay mineral is placed at each relative humidity can be calculated. Since the calculation method itself is a well-known technique, a detailed description thereof will be omitted. As described above, when the bottom surface interval of the clay mineral under different relative humidity is obtained, it is possible to infer various information on the elements constituting the clay mineral based on the obtained distance. For example, it is possible to determine what interlayer ions are included in the clay mineral, how the water molecule layer is formed depending on the difference between the interlayer ions, and the like.
なお、第2図において、内側ケース8および外側ケー
ス9の上部8aおよび9aは、それぞれ、ねじによって取り
付けおよび取り外しができるようになっている。これ
は、試料5の装着、保守などを容易にするためである。In FIG. 2, upper portions 8a and 9a of the inner case 8 and the outer case 9 can be attached and detached by screws, respectively. This is for facilitating mounting and maintenance of the sample 5.
以上、一つの実施例をあげて本発明を説明したが、本
発明はその実施例に限定されない。The present invention has been described with reference to one embodiment, but the present invention is not limited to the embodiment.
例えば、上記実施例では、試料ケース7として内側ケ
ース8と外側ケース9とからなる2重構造のケースを用
いたが、試料5のまわりが密閉できる構造のものであれ
ば、単なる1重のケースあるいはそれ以外の任意の構造
のケースを用いることができる。但し、2重構造のケー
スを用いることにしておけば、試料室内、すなわち内側
ケース8の内部の保温性を高めることができる。For example, in the above-described embodiment, a double case composed of the inner case 8 and the outer case 9 is used as the sample case 7, but if the structure around the sample 5 can be sealed, a simple single case is used. Alternatively, a case having any other structure can be used. However, if a case having a double structure is used, the heat retention in the sample chamber, that is, the inside of the inner case 8 can be enhanced.
本実施例では、湿度発生手段17と試料ケース7とを空
気輸送管25を介して互いに接続しているが、この空気輸
送管25を使わずに、両者を直接に接続することも可能で
ある。In this embodiment, the humidity generating means 17 and the sample case 7 are connected to each other via the air transport pipe 25. However, it is also possible to directly connect both without using the air transport pipe 25. .
[発明の効果] 本発明によれば、分流式の湿度発生手段を用いて試料
の雰囲気湿度を変化させるようにしたので、湿度値の変
更を精度良く行うことが可能となり、しかも変更後の湿
度値を正確に一定値に保持することが可能となった。そ
の結果、相対湿度をパラメータとするX線回折測定を極
めて正確に行うことができるようになった。[Effects of the Invention] According to the present invention, the atmosphere humidity of the sample is changed by using the split-flow type humidity generating means, so that the humidity value can be changed with high accuracy, and the humidity after the change is changed. It has become possible to keep the value exactly constant. As a result, X-ray diffraction measurement using relative humidity as a parameter can be performed very accurately.
請求項2の発明によれば、X線装置に関わりなく湿度
発生手段の形状、構造などを自由に設定できる。According to the second aspect of the invention, the shape and structure of the humidity generating means can be freely set regardless of the X-ray apparatus.
請求項3の発明によれば、外側ケースと内側ケースと
の間に空間が形成され、これにより、内側ケースの内
部、すなわち試料のまわりを一定温度に保持する能力、
いわゆる保温性を高めることができた。According to the invention of claim 3, a space is formed between the outer case and the inner case, and thereby, the ability to maintain a constant temperature inside the inner case, that is, around the sample,
The so-called heat retention could be improved.
請求項4の発明によれば、試料ケース内の試料の取付
けおよび取外し、あるいはその他の保守作業が楽に行え
るようになった。According to the invention of claim 4, attachment and detachment of the sample in the sample case or other maintenance work can be easily performed.
請求項5の発明によれば、2重構造の試料ケースを用
いた場合における内側ケース内の保温性、すなわち試料
室内の保温性をより一層高めることができた。According to the fifth aspect of the present invention, it is possible to further improve the heat retaining property in the inner case, that is, the heat retaining property in the sample chamber when the sample case having the double structure is used.
請求項6の発明によれば、試料ケース内の湿度を極め
て正確に一定値に保持することができる。According to the invention of claim 6, the humidity in the sample case can be maintained very accurately at a constant value.
第1図は本発明に係る湿度制御装置を用いたX線回折装
置の一例を示す側面図、第2図は第1図のII−II線に従
った断面図、第3図は第2図のIII−III線に従った平面
断面図、第4図は第1図の装置に用いられる湿度制御の
ための手段の一例を示す図式図、第5図は第1図の装置
を用いて行った測定の結果を示すX線回折図形を示すグ
ラフである。 5……試料 7……試料ケース 8……内側ケース 9……外側ケース 17……湿度発生手段 25……空気輸送管 8a,9a……ケース上部 19……ヒータ 27……湿度センサ 18……制御装置FIG. 1 is a side view showing an example of an X-ray diffractometer using a humidity control device according to the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-II of FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is a schematic sectional view showing an example of a means for controlling humidity used in the apparatus shown in FIG. 1, and FIG. 5 is a sectional view taken using the apparatus shown in FIG. 7 is a graph showing an X-ray diffraction pattern showing the result of the measurement. 5 ... Sample 7 ... Sample case 8 ... Inner case 9 ... Outer case 17 ... Humidity generating means 25 ... Air transport tube 8a, 9a ... Top case 19 ... Heater 27 ... Humidity sensor 18 ... Control device
Claims (6)
を調節するための湿度制御装置であって、 試料のまわりを密閉する試料ケースと、その試料ケース
内へ送り込むための湿度保有空気を発生する湿度発生手
段とを有しており、 その湿度発生手段は、乾燥空気と湿度飽和空気とを混合
することにより、上記湿度保有空気の湿度の大きさを調
節する分流式湿度発生装置であることを特徴とする湿度
制御装置。1. A humidity control device for adjusting the humidity around a sample mounted on an X-ray apparatus, comprising: a sample case for hermetically sealing around the sample; and a humidity holding air for sending the sample case into the sample case. Humidity generating means for generating the humidity, the humidity generating means is a split-flow type humidity generating apparatus that adjusts the humidity of the humidity holding air by mixing the dry air and the humidity saturated air. A humidity control device, comprising:
た空気輸送管によって連通されていることを特徴とする
湿度制御装置。2. A humidity control apparatus according to claim 1, wherein said sample case and said humidity generating means are communicated by a flexible air transport pipe. .
内側ケースを密閉する外側ケースとを有する2重ケース
であることを特徴とする湿度制御装置。3. The humidity control device according to claim 1, wherein the sample case is a double case having an inner case that seals the sample and an outer case that seals the inner case. Humidity controller.
って、試料ケースの上部が着脱可能になっていることを
特徴とする湿度制御装置。4. The humidity control device according to claim 1, wherein an upper portion of the sample case is detachable.
ず内側ケース内へ入り、その後、外側ケースと内側ケー
スとの間の空間を経由して外部へ排出されることを特徴
とする湿度制御装置。5. The humidity control device according to claim 3, wherein the humidity-containing air sent from the humidity generating means first enters the inner case, and then divides the space between the outer case and the inner case. Humidity control device characterized by being discharged to the outside via
ータの発熱量を制御する制御手段とを有することを特徴
とする湿度制御装置。6. The humidity control device according to claim 2, wherein the heater is provided around the air transport pipe, humidity detection means disposed in the sample case, and the humidity is detected by the humidity detection means. Control means for controlling the amount of heat generated by the heater based on the humidity.
Priority Applications (1)
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JP2012738A JP2859910B2 (en) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | Humidity control device for X-ray equipment |
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JP2012738A JP2859910B2 (en) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | Humidity control device for X-ray equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH03218448A JPH03218448A (en) | 1991-09-26 |
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ID=11813774
Family Applications (1)
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JP2012738A Expired - Lifetime JP2859910B2 (en) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | Humidity control device for X-ray equipment |
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1990
- 1990-01-24 JP JP2012738A patent/JP2859910B2/en not_active Expired - Lifetime
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