JP2855846B2 - 圧電ポンプ - Google Patents
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
- F04B43/043—Micropumps
- F04B43/046—Micropumps with piezoelectric drive
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、圧電アクチュエータの作用を利用した圧電
ポンプに関するものである。
ポンプに関するものである。
［従来の技術］ 従来、この種の圧電ポンプとしては、第５図に示すよ
うに吸入逆止弁31と吐出逆止弁33を有する直方体容器の
対向する一対の面を圧電バイモルフ素子30で構成し、そ
の圧電バイモルフ素子30の電極47、49を交流電源に接続
して、その屈曲運動によりポンプ室51の容積を交互に増
減させることによって、吸入逆止弁31からポンプ室内に
吸入した流体を吐出逆止弁33から吐出するようになって
いるものがある。
うに吸入逆止弁31と吐出逆止弁33を有する直方体容器の
対向する一対の面を圧電バイモルフ素子30で構成し、そ
の圧電バイモルフ素子30の電極47、49を交流電源に接続
して、その屈曲運動によりポンプ室51の容積を交互に増
減させることによって、吸入逆止弁31からポンプ室内に
吸入した流体を吐出逆止弁33から吐出するようになって
いるものがある。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上述した従来の圧電バイモルフ素子を
利用した圧電ポンプでは、多数のポンプ機構を有する圧
電ポンプを構成しようとする場合において、１つのポン
プ室に対して少なくとも１個以上の圧電バイモルフ素子
が必要となり、構造が複雑となると共に、部品点数が増
加し製造コストが高くなり、また、ポンプの小型化が困
難であるという問題があった。
利用した圧電ポンプでは、多数のポンプ機構を有する圧
電ポンプを構成しようとする場合において、１つのポン
プ室に対して少なくとも１個以上の圧電バイモルフ素子
が必要となり、構造が複雑となると共に、部品点数が増
加し製造コストが高くなり、また、ポンプの小型化が困
難であるという問題があった。
本発明は、上述した問題点を解決するためになされた
ものであり、従来に比べて構造が簡単で且つ小型であ
る、ポンプ機構を多数備えた圧電ポンプを提供すること
を目的とする。
ものであり、従来に比べて構造が簡単で且つ小型であ
る、ポンプ機構を多数備えた圧電ポンプを提供すること
を目的とする。
［課題を解決するための手段］ この目的を達成するために、本発明の圧電ポンプは、
圧電アクチュエータの作用によりポンプ室の容積を変化
させることにより該ポンプ室内の流体を吐出、吸入する
ポンプ機構を多数備えた圧電ポンプであって、前記圧電
アクチュエータは、複数の局所変形部を有し、前記ポン
プ機構は圧電アクチュエータの各々の局所変形部を２つ
の前記ポンプ室にてその局所変位方向の両側から挟んで
構成した。
圧電アクチュエータの作用によりポンプ室の容積を変化
させることにより該ポンプ室内の流体を吐出、吸入する
ポンプ機構を多数備えた圧電ポンプであって、前記圧電
アクチュエータは、複数の局所変形部を有し、前記ポン
プ機構は圧電アクチュエータの各々の局所変形部を２つ
の前記ポンプ室にてその局所変位方向の両側から挟んで
構成した。
［作用］ 上記の構成を有する本発明の圧電ポンプによれば、複
数のポンプ機構に跨って設けられた圧電アクチュエータ
の所定のポンプ機構に対応する電極間のみに駆動電圧が
印加、遮断され、その電極間に位置する圧電セラミック
ス板の局所変形部が圧電・電歪効果の変位をし、その局
所変形部を挟む２つのポンプ室の容積が増減する。その
ポンプ室容積の増減により流体の吸入、吐出が行なわれ
る。
数のポンプ機構に跨って設けられた圧電アクチュエータ
の所定のポンプ機構に対応する電極間のみに駆動電圧が
印加、遮断され、その電極間に位置する圧電セラミック
ス板の局所変形部が圧電・電歪効果の変位をし、その局
所変形部を挟む２つのポンプ室の容積が増減する。その
ポンプ室容積の増減により流体の吸入、吐出が行なわれ
る。
［実施例］ 以下に本発明を具体化した一実施例を、第１図及び第
２図を参照して詳細に説明する。
２図を参照して詳細に説明する。
第１図は、圧電ポンプの縦断面図であり、第２図は第
１図に於ける圧電ポンプの２−２線断面図である。
１図に於ける圧電ポンプの２−２線断面図である。
この圧電ポンプ１は、上方に開口する幅（第１図中紙
面左右方向）0.5mm、長さ（第１図中紙面に対して直角
方向）10mmである３本の下側ポンプ室21a,21b,21cを形
成する下側ポンプ室壁16a,16b,16c,16dを有する矩形容
器状の下側ポンプ室本体17と、下方に開口する同じく幅
（第１図中紙面左右方向）0.5mm、長さ（第１図中紙面
に対して直角方向）10mmである３本の上側ポンプ室19a,
19b,19cを形成する上側ポンプ室壁14a,14b,14c,14dを有
する矩形容器状の上側ポンプ室本体15とが、圧電アクチ
ュエータ10を挟んで構成されている。
面左右方向）0.5mm、長さ（第１図中紙面に対して直角
方向）10mmである３本の下側ポンプ室21a,21b,21cを形
成する下側ポンプ室壁16a,16b,16c,16dを有する矩形容
器状の下側ポンプ室本体17と、下方に開口する同じく幅
（第１図中紙面左右方向）0.5mm、長さ（第１図中紙面
に対して直角方向）10mmである３本の上側ポンプ室19a,
19b,19cを形成する上側ポンプ室壁14a,14b,14c,14dを有
する矩形容器状の上側ポンプ室本体15とが、圧電アクチ
ュエータ10を挟んで構成されている。
圧電アクチュエータ10は、強誘電性を有するチタン酸
ジルコン酸鉛（PZT）系のセラミックス材料よりなり、
厚み方向（図中の矢印方向）に予め分極処理を施した圧
電セラミックス板３の表面に、前記上側ポンプ室19a,19
b,19c、前記下側ポンプ室21a,21b,21cの位置にそれぞれ
対応するように分割された正電極5a,5b,5c、負電極7a,7
b,7cを配置し、かつ上下面に樹脂材料等からなる絶縁層
13を塗布したものである。該圧電アクチュエータ10は前
記下側ポンプ室21a,21b,21c（または上側ポンプ室19a,1
9b,19c）に対応して局所変形部25a,25b,25cを有する。
第２図に示すように、上側ポンプ室19b及び下側ポンプ
室21b内には、吸入逆止弁31及び吸入通路27a、27bを経
て流体が流入し、また、吐出通路29a、29b及び吐出逆止
弁33を経て流体が吐出されるように構成されており、前
記上側ポンプ室19a,19c及び下側ポンプ室21a,21cも上側
ポンプ室19b及び下側ポンプ室21bと同様に構成されてい
る。
ジルコン酸鉛（PZT）系のセラミックス材料よりなり、
厚み方向（図中の矢印方向）に予め分極処理を施した圧
電セラミックス板３の表面に、前記上側ポンプ室19a,19
b,19c、前記下側ポンプ室21a,21b,21cの位置にそれぞれ
対応するように分割された正電極5a,5b,5c、負電極7a,7
b,7cを配置し、かつ上下面に樹脂材料等からなる絶縁層
13を塗布したものである。該圧電アクチュエータ10は前
記下側ポンプ室21a,21b,21c（または上側ポンプ室19a,1
9b,19c）に対応して局所変形部25a,25b,25cを有する。
第２図に示すように、上側ポンプ室19b及び下側ポンプ
室21b内には、吸入逆止弁31及び吸入通路27a、27bを経
て流体が流入し、また、吐出通路29a、29b及び吐出逆止
弁33を経て流体が吐出されるように構成されており、前
記上側ポンプ室19a,19c及び下側ポンプ室21a,21cも上側
ポンプ室19b及び下側ポンプ室21bと同様に構成されてい
る。
以上のように構成された圧電ポンプ１の動作について
説明する。
説明する。
例えば正電極5bと、負電極7bとの間に電圧が印加され
たとき、それらの間に位置する圧電セラミックス板３に
バイアス電界が印加され、圧電・電歪の縦効果の寸法歪
に従い局所変形部25bが上側ポンプ室19b、下側ポンプ室
21bの内部方向に変形し、前記両ポンプ室19b、21bの容
積が減少する。そして、該両ポンプ室19b、21b内の流体
が吐出通路29a、29bを経て吐出逆止弁33から吐出され
る。また、前記正電極5bと、前記負電極7bとの間への電
圧の印加が遮断されると、前記局所変形部25bが元の位
置まで戻り、その時の前記両ポンプ室19b、21bの容積増
加に伴い、吸入逆止弁31、及び吸入通路27a、27bを経て
該両ポンプ室19b、21b内に流体が補充される。尚、例え
ば他の正電極5aと、負電極7aとの間に電圧が印加された
場合には、局所変形部25aが変位させられて上側ポンプ
室19a、下側ポンプ室21aから流体が吐出され、該正電極
5aと、該負電極7aとの間の電圧が遮断された場合には、
該局所変形部25aが元の位置に戻されて該両ポンプ室19
a、21a内に流体が供給される。
たとき、それらの間に位置する圧電セラミックス板３に
バイアス電界が印加され、圧電・電歪の縦効果の寸法歪
に従い局所変形部25bが上側ポンプ室19b、下側ポンプ室
21bの内部方向に変形し、前記両ポンプ室19b、21bの容
積が減少する。そして、該両ポンプ室19b、21b内の流体
が吐出通路29a、29bを経て吐出逆止弁33から吐出され
る。また、前記正電極5bと、前記負電極7bとの間への電
圧の印加が遮断されると、前記局所変形部25bが元の位
置まで戻り、その時の前記両ポンプ室19b、21bの容積増
加に伴い、吸入逆止弁31、及び吸入通路27a、27bを経て
該両ポンプ室19b、21b内に流体が補充される。尚、例え
ば他の正電極5aと、負電極7aとの間に電圧が印加された
場合には、局所変形部25aが変位させられて上側ポンプ
室19a、下側ポンプ室21aから流体が吐出され、該正電極
5aと、該負電極7aとの間の電圧が遮断された場合には、
該局所変形部25aが元の位置に戻されて該両ポンプ室19
a、21a内に流体が供給される。
すなわち、本実施例の圧電ポンプ１は、３つの下側ポ
ンプ機構11a,11b,11cと３つの上側ポンプ機構9a,9b,9c
とから構成され、かつ下側ポンプ機構11aと上側ポンプ
機構9a、下側ポンプ機構11bと上側ポンプ機構9b、下側
ポンプ機構11cと上側ポンプ機構9cは各々共通の局所変
形部25a,25b,25cにて駆動される。このように１つの圧
電アクチュエータが複数のポンプ機構に跨っているた
め、多数のポンプ機構を有する圧電ポンプを構成しよう
とする場合において、部品点数が少なくて済み、構造が
簡単で小型となり製造コストの低下が図れる。また、分
割電極のパターンを密にすることによりさらにポンプ機
構を小型にする事も容易であり、１つの局所変形部に対
して２つのポンプ室が対応しているので、小型であって
も高いポンプ効率が得られる。本実施例の圧電ポンプは
多種類の流体を効率よく供給するためのマイクロポン
プ、例えば圧電式カラーインクジェットプリンタの複数
のヘッドにそれぞれ色の異なるインクを供給するマイク
ロポンプ等に応用することができる。
ンプ機構11a,11b,11cと３つの上側ポンプ機構9a,9b,9c
とから構成され、かつ下側ポンプ機構11aと上側ポンプ
機構9a、下側ポンプ機構11bと上側ポンプ機構9b、下側
ポンプ機構11cと上側ポンプ機構9cは各々共通の局所変
形部25a,25b,25cにて駆動される。このように１つの圧
電アクチュエータが複数のポンプ機構に跨っているた
め、多数のポンプ機構を有する圧電ポンプを構成しよう
とする場合において、部品点数が少なくて済み、構造が
簡単で小型となり製造コストの低下が図れる。また、分
割電極のパターンを密にすることによりさらにポンプ機
構を小型にする事も容易であり、１つの局所変形部に対
して２つのポンプ室が対応しているので、小型であって
も高いポンプ効率が得られる。本実施例の圧電ポンプは
多種類の流体を効率よく供給するためのマイクロポン
プ、例えば圧電式カラーインクジェットプリンタの複数
のヘッドにそれぞれ色の異なるインクを供給するマイク
ロポンプ等に応用することができる。
次に、本発明を具体化した第２の実施例を、第３図及
び第４図を参照して詳細に説明する。
び第４図を参照して詳細に説明する。
第３図は、圧電ポンプの縦断面図であり、第４図は第
３図の４−４線断面図である。
３図の４−４線断面図である。
この圧電ポンプ１は、上方に開口する幅（第３図中紙
面左右方向）0.5mm、長さ（第３図中紙面に対して直角
方向）10mmである３本の下側ポンプ室21a,21b,21cを形
成する下側ポンプ室壁16a,16b,16c,16dを有する矩形容
器状の下側ポンプ室本体17と、下方に開口する同じく幅
（第３図中紙面左右方向）0.5mm、長さ（第３図中紙面
に対して直角方向）10mmである３本の上側ポンプ室19a,
19b,19cを形成する上側ポンプ室壁14a,14b,14c,14dを有
する矩形容器状の上側ポンプ室本体15とが、圧電アクチ
ュエータ20を挟んで構成されている。
面左右方向）0.5mm、長さ（第３図中紙面に対して直角
方向）10mmである３本の下側ポンプ室21a,21b,21cを形
成する下側ポンプ室壁16a,16b,16c,16dを有する矩形容
器状の下側ポンプ室本体17と、下方に開口する同じく幅
（第３図中紙面左右方向）0.5mm、長さ（第３図中紙面
に対して直角方向）10mmである３本の上側ポンプ室19a,
19b,19cを形成する上側ポンプ室壁14a,14b,14c,14dを有
する矩形容器状の上側ポンプ室本体15とが、圧電アクチ
ュエータ20を挟んで構成されている。
圧電アクチュエータ20は、強誘電性を有するチタン酸
ジルコン酸鉛（PZT）系のセラミックス材料よりなり、
厚み方向（図中の矢印方向）に予め分極処理を施した圧
電セラミックス板３の表面に、前記上側ポンプ室壁14a,
14b,14c,14d、前記下側ポンプ室壁16a,16b,16c,16dの位
置にそれぞれ対応するように分割された上側負電極35a,
35b,35c,35d、下側負電極37a,37b,37c,37dと、前記上側
ポンプ室19a,19b,19c、前記下側ポンプ室21a,21b,21cの
中央部にそれぞれ対応するように分割された上側正電極
39a,39b,39c、下側正電極41a,41b,41cを配置し、かつ上
下面に樹脂材料等からなる絶縁層13を塗布したものであ
る。該圧電アクチュエータ20は前記下側ポンプ室21a,21
b,21c（または上側ポンプ室19a,19b,19c）に対応して局
所変形部25a,25b,25cを有する。第４図に示すように、
上側ポンプ室19b内には、上部吸入通路27a及び上部吸入
逆止弁43aを経て流体が流入し、また、上側吐出逆止弁4
5a及び上部吐出通路29aを経て流体が吐出される。ま
た、下側ポンプ室21b内には、下部吸入通路27b及び下部
吸入逆止弁43bを経て流体が流入し、また、下側吐出逆
止弁45b及び下部吐出通路29bを経て吐出されるように構
成されている。そして、上側ポンプ室19a,19cも上側ポ
ンプ室19bと同様に構成され、また、下側ポンプ室21a,2
1cも下側ポンプ室21bと同様に構成されている。
ジルコン酸鉛（PZT）系のセラミックス材料よりなり、
厚み方向（図中の矢印方向）に予め分極処理を施した圧
電セラミックス板３の表面に、前記上側ポンプ室壁14a,
14b,14c,14d、前記下側ポンプ室壁16a,16b,16c,16dの位
置にそれぞれ対応するように分割された上側負電極35a,
35b,35c,35d、下側負電極37a,37b,37c,37dと、前記上側
ポンプ室19a,19b,19c、前記下側ポンプ室21a,21b,21cの
中央部にそれぞれ対応するように分割された上側正電極
39a,39b,39c、下側正電極41a,41b,41cを配置し、かつ上
下面に樹脂材料等からなる絶縁層13を塗布したものであ
る。該圧電アクチュエータ20は前記下側ポンプ室21a,21
b,21c（または上側ポンプ室19a,19b,19c）に対応して局
所変形部25a,25b,25cを有する。第４図に示すように、
上側ポンプ室19b内には、上部吸入通路27a及び上部吸入
逆止弁43aを経て流体が流入し、また、上側吐出逆止弁4
5a及び上部吐出通路29aを経て流体が吐出される。ま
た、下側ポンプ室21b内には、下部吸入通路27b及び下部
吸入逆止弁43bを経て流体が流入し、また、下側吐出逆
止弁45b及び下部吐出通路29bを経て吐出されるように構
成されている。そして、上側ポンプ室19a,19cも上側ポ
ンプ室19bと同様に構成され、また、下側ポンプ室21a,2
1cも下側ポンプ室21bと同様に構成されている。
以上のように構成された圧電ポンプ１の動作について
説明する。
説明する。
例えば、上下負電極35b,35c、37b,37cと上下正電極39
b,41bとの間に電圧が印加され、それらの間に位置する
圧電セラミックス板３に実質的に分極方向と垂直な方向
のバイアス電界が印加され、圧電・電歪の厚み滑り効果
の寸法歪に従い局所変形25bが上側ポンプ室19bの内部方
向に変形し、前記上側ポンプ室19bの容積が減少し、同
時に下側ポンプ室21bの容積が増加する。それにより、
該上側ポンプ室19b内の流体が上側吐出逆止弁45aを経て
上部吐出通路29aから吐出され、同時に下部吸入通路27b
及び下部吸入逆止弁43bを経て下側ポンプ室21b内には流
体が補充される。また、該上下側負電極35b,35c、37b,3
7cと該上下側正電極39b,41bとの間への電圧の印加が遮
断されると、前記局所変形部25bが元の位置まで戻り、
その時の上側ポンプ室19bの容積増加に伴い、上部吸入
通路27a及び上部吸入逆止弁43aを経て該上側ポンプ室19
b内には流体が補充され、同時に下側ポンプ室21bの容積
の減少に伴い該下側ポンプ室21b内の流体が下側吐出逆
止弁45bを経て下部吐出通路29bから吐出される。
b,41bとの間に電圧が印加され、それらの間に位置する
圧電セラミックス板３に実質的に分極方向と垂直な方向
のバイアス電界が印加され、圧電・電歪の厚み滑り効果
の寸法歪に従い局所変形25bが上側ポンプ室19bの内部方
向に変形し、前記上側ポンプ室19bの容積が減少し、同
時に下側ポンプ室21bの容積が増加する。それにより、
該上側ポンプ室19b内の流体が上側吐出逆止弁45aを経て
上部吐出通路29aから吐出され、同時に下部吸入通路27b
及び下部吸入逆止弁43bを経て下側ポンプ室21b内には流
体が補充される。また、該上下側負電極35b,35c、37b,3
7cと該上下側正電極39b,41bとの間への電圧の印加が遮
断されると、前記局所変形部25bが元の位置まで戻り、
その時の上側ポンプ室19bの容積増加に伴い、上部吸入
通路27a及び上部吸入逆止弁43aを経て該上側ポンプ室19
b内には流体が補充され、同時に下側ポンプ室21bの容積
の減少に伴い該下側ポンプ室21b内の流体が下側吐出逆
止弁45bを経て下部吐出通路29bから吐出される。
すなわち、本実施例の圧電ポンプ１は、３つの下側ポ
ンプ機構11a,11b,11cと３つの上側ポンプ機構9a,9b,9c
とから構成されており、かつ下側ポンプ機構11aと上側
ポンプ機構9a、下側ポンプ機構11bと上側ポンプ機構9
b、下側ポンプ機構11cと上側ポンプ機構9cは各々共通の
局所変形部25a,25b,25cにて駆動されるのである。この
ように圧電アクチュエータの１つの局所変形部に対して
２つのポンプ室が対応しているため、多数のポンプ機構
を有する圧電ポンプを構成しようとする場合において、
部品点数が少なくて済む構造が簡単で小型となり製造コ
ストの低下が図れる。また、分割電極のパターンを密に
することによりさらにポンプ機構を小型にする事が容易
である。さらに、駆動電圧を局所変形部に対して印加ま
たは遮断の際に、流体吐出と、ポンプ室への流体の供給
を同時に行なうことができ、駆動電圧を局所変形部に対
して印加、及び遮断を１回行なう間に、流体の吐出と、
ポンプ室への流体の供給を２回行なうことができるの
で、本実施例の圧電ポンプは、高速印字可能な圧電式イ
ンクジェットプリンタのヘッドなどに応用することがで
きる。
ンプ機構11a,11b,11cと３つの上側ポンプ機構9a,9b,9c
とから構成されており、かつ下側ポンプ機構11aと上側
ポンプ機構9a、下側ポンプ機構11bと上側ポンプ機構9
b、下側ポンプ機構11cと上側ポンプ機構9cは各々共通の
局所変形部25a,25b,25cにて駆動されるのである。この
ように圧電アクチュエータの１つの局所変形部に対して
２つのポンプ室が対応しているため、多数のポンプ機構
を有する圧電ポンプを構成しようとする場合において、
部品点数が少なくて済む構造が簡単で小型となり製造コ
ストの低下が図れる。また、分割電極のパターンを密に
することによりさらにポンプ機構を小型にする事が容易
である。さらに、駆動電圧を局所変形部に対して印加ま
たは遮断の際に、流体吐出と、ポンプ室への流体の供給
を同時に行なうことができ、駆動電圧を局所変形部に対
して印加、及び遮断を１回行なう間に、流体の吐出と、
ポンプ室への流体の供給を２回行なうことができるの
で、本実施例の圧電ポンプは、高速印字可能な圧電式イ
ンクジェットプリンタのヘッドなどに応用することがで
きる。
尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
その主旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
例えば、局所変形部を持つ圧電アクチュエータとして、
内部電極を有する積層圧電素子を用いてもよい。
その主旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
例えば、局所変形部を持つ圧電アクチュエータとして、
内部電極を有する積層圧電素子を用いてもよい。
［発明の効果］ 以上詳述したことから明らかなように、本発明の圧電
ポンプによれば、複数のポンプ機構を１つの圧電アクチ
ュエータで駆動し、且つ１つの局所変形部に対して２つ
のポンプ室が対応しているので、構造が簡単でポンプ効
率が高く且つ小型である多数のポンプ機構を有する圧電
ポンプが実現できるという効果がある。
ポンプによれば、複数のポンプ機構を１つの圧電アクチ
ュエータで駆動し、且つ１つの局所変形部に対して２つ
のポンプ室が対応しているので、構造が簡単でポンプ効
率が高く且つ小型である多数のポンプ機構を有する圧電
ポンプが実現できるという効果がある。
第１図は本発明を実施した圧電ポンプの構成を示す縦断
面図、第２図は第１図の２−２線断面図、第３図及び第
４図は本発明の第２実施例を示すものであり、第３図は
圧電ポンプの構成を示す縦断面図、第４図は第３図の４
−４線縦断面図である。また、第５図は従来例に於ける
圧電ポンプの一例を示す縦断面図である。 図中、１は圧電ポンプ、10,20は圧電アクチュエータ、
9,11はポンプ機構、19,21はポンプ室、25は局所変形部
である。
面図、第２図は第１図の２−２線断面図、第３図及び第
４図は本発明の第２実施例を示すものであり、第３図は
圧電ポンプの構成を示す縦断面図、第４図は第３図の４
−４線縦断面図である。また、第５図は従来例に於ける
圧電ポンプの一例を示す縦断面図である。 図中、１は圧電ポンプ、10,20は圧電アクチュエータ、
9,11はポンプ機構、19,21はポンプ室、25は局所変形部
である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F04B 43/04 F04B 45/04
Claims (1)
- 【請求項１】圧電アクチュエータの作用によりポンプ室
の容積を変化させることにより該ポンプ室内の流体を吐
出、吸入するポンプ機構を多数備えた圧電ポンプにおい
て、 前記圧電アクチュエータは、複数の局所変形部を有し、
前記ポンプ機構は圧電アクチュエータの各々の局所変形
部を２つの前記ポンプ室にてその局所変位方向の両側か
ら挟んで構成されていることを特徴とする圧電ポンプ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2318739A JP2855846B2 (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 | 圧電ポンプ |
| US07/780,975 US5215446A (en) | 1990-11-22 | 1991-10-23 | Piezoelectric pump which uses a piezoelectric actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2318739A JP2855846B2 (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 | 圧電ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04191480A JPH04191480A (ja) | 1992-07-09 |
| JP2855846B2 true JP2855846B2 (ja) | 1999-02-10 |
Family
ID=18102405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2318739A Expired - Lifetime JP2855846B2 (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 | 圧電ポンプ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5215446A (ja) |
| JP (1) | JP2855846B2 (ja) |
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| US4519751A (en) * | 1982-12-16 | 1985-05-28 | The Abet Group | Piezoelectric pump with internal load sensor |
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| JP2733766B2 (ja) * | 1986-11-14 | 1998-03-30 | クエニコ、アクチエボラク | 圧電ポンプ |
| JP2867437B2 (ja) * | 1989-07-19 | 1999-03-08 | ブラザー工業株式会社 | 圧電式インクジェットプリンタヘッド |
-
1990
- 1990-11-22 JP JP2318739A patent/JP2855846B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-10-23 US US07/780,975 patent/US5215446A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5215446A (en) | 1993-06-01 |
| JPH04191480A (ja) | 1992-07-09 |
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