JP2850718B2

JP2850718B2 - 圧電アクチュエータの製造方法

Info

Publication number: JP2850718B2
Application number: JP24342493A
Authority: JP
Inventors: 昌子稲川; 和政大家; 清隆濱田
Original assignee: Nippon Electric Co Ltd
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1993-09-30
Filing date: 1993-09-30
Publication date: 1999-01-27
Anticipated expiration: 2014-01-27
Also published as: JPH07106656A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、圧電アクチュエータの
製造方法に関し、特に変位伝達面の形状を改良した圧電
アクチュエータの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の圧電アクチュエータについて、図
５を用いて説明する。図５は、従来の積層型のアクチュ
エータの一例の構造を示す透視斜視図である。同図を参
照すると、このアクチュエータは、圧電効果を示すセラ
ミック層２と内部電極層３とが互いに上下になるように
交互に積層された積層構造となっており、この積層構造
体の上下に保護層７が設けられている。

【０００３】内部電極層３は、積層構造体の４つの側面
に露出しているが、これら４つの側面のうち対向してい
る２つの側面（図では、手前側の側面と奥側の側面）で
は、内部電極層３の露出部とその近傍のセラミック層２
上にガラスなどの絶縁物４が形成され、更にその上に外
部電極層５が積層方向（図中、上下方向）に帯状に連続
して設けられている。この場合、上記の絶縁物４は、内
部電極層３の露出部を一層おきに覆うように、しかも上
述の２つの側面では互い違いになるように形成されてい
る。従って、手前側の側面上の外部電極層５は、上から
偶数番目の内部電極層を全て同電位になるように接続
し、奥側の側面上の外部電極層５は奇数番目の内部電極
層が同電位になるように接続している。

【０００４】このような構造で、２つの外部電極層５の
間に外部の電源回路（図示せず）から駆動電圧を与える
と、それぞれのセラミック層２を挟んで向い合う内部電
極層同志が互いに対向電極となるように作用するので、
図５中に矢印で示す変位方向（積層方向に一致する）
に、数ミクロンから数十ミクロン程度の微小な機械的変
位が発生する。上述の保護層７は、ひずみ発生源として
のセラミック層２を機械的・物理的衝撃から保護し、こ
のアクチュエータを使用する装置から電気的に絶縁する
と共に、この積層構造体で発生した変位を上記の装置に
伝達するときの変位伝達面ともなる。

【０００５】上述のような構造のアクチュエータは、後
述するように、その製造工程中で大きな積層焼結体から
切り出して所望の形状，寸法に仕上げて作製するが、図
５に示した従来のアクチュエータでは、同図に示される
ように、積層方向に垂直な二つの変位伝達面６ａ，６ｂ
と四つの側面とが直角に交わって稜部が形成されてい
る。

【０００６】ところで、アクチュエータの素材としての
セラミックスは極めて脆性の高い材料であるので、変位
伝達面と側面とで作る稜部の角をこのように直角のまま
にしておくと、変位伝達の基準となるべき変位伝達面６
ａ，６ｂの周縁部にクラックが入ったり欠けが生じやす
く、このアクチュエータを使用する際にミクロンオーダ
の微小な変位を精密に制御できなくなってしまうことが
ある。又、製造工程中或いは装置への組み込み中に積層
構造体に損傷が発生して、良品率が低下したり使用不能
になる原因ともなる。

【０００７】このような積層構造体の変位伝達面でのク
ラックや欠けの発生を抑制する方法として、図６に示す
ように、変位伝達面６ａ，６ｂの周縁部に面取り部１０
を設けたアクチュエータが、特開平４ー１４５６７４号
公報（特願平２ー２６９８４６号公報）に開示されてい
る。

【０００８】図７に上記公報記載のアクチュエータの製
造工程図を示す。同図を参照して、このアクチュエータ
を作製するには、先ず、チタン酸ジルコン酸鉛Ｐｂ（Ｔ
ｉ，Ｚｒ）Ｏ₃などのセラミック粉末に有機バインダを
添加し、これを有機溶媒中に分散させて泥漿を作り（工
程Ｓ１）、ドクターブレードを用いたスリップキャステ
ィング法によりグリーンシートを形成する（工程Ｓ
２）。その後、このグリーンシート上に導電ペーストの
層を被着形成し（工程Ｓ３）、所定の寸法に裁断する
（工程Ｓ４）。

【０００９】次に、この裁断されたグリーンシートを一
枚ずつ金型中に所定の枚数分積層し（工程Ｓ５）、上パ
ンチを乗せバインダが流動する温度まで加熱しながらプ
レスで上下から圧着して一体化する（工程Ｓ６）。この
とき用いるプレス金型は、グリーンシートに接触する面
が平坦なものを用いる。このようにして得られたグリー
ンシート積層体をバインダの分解温度まで加熱し、この
グリーンシート積層体に含まれるバインダを除去した
（工程Ｓ７）後、焼結して積層焼結体を得る（工程Ｓ
８）。

【００１０】次いで、ダイシングソーのような外周刃切
断機などを用いて、積層焼結体の上面及び下面の切断位
置にＶ溝を設け（工程Ｓ９）、更に、ワイヤーソー、ク
リスタルカッタ或いは内周刃などの切断加工機により切
断して焼結ブロックを切り出す（工程Ｓ１０）。

【００１１】その後、この焼結ブロックの対向する一対
の側面に絶縁物４を形成する（工程Ｓ１１）。絶縁物４
としては、５００〜７００℃に軟化点を持つガラス粉末
を電気泳動法で所望の位置に付着させ、この後６００〜
８００℃の温度で焼成したガラス体が用いられる。

【００１２】次に、焼結ブロックの対向する二つの側面
に、外部電極層５となる銀ペーストの層をスクリーン印
刷法で形成する（工程Ｓ１２）。その後、焼結ブロック
の上面及び下面の切断位置に、ダイシングソーなどの外
周刃切断機を用いてＶ溝加工を施す（工程Ｓ１３）。そ
の後、この焼結ブロックを、ワイヤーソーなどの切断加
工機により上記のＶ溝の位置で切断し、更に小さいチッ
プ状の圧電素子チップを切り出して（工程Ｓ１４）図７
に示すアクチュエータを得る。そして、それぞれの外部
電極層５にリード線をはんだ付けし（工程Ｓ１５）、外
装を施して（工程Ｓ１６）積層型の圧電アクチュエータ
を完成する。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】上述した公報に開示さ
れた圧電アクチュエータの製造方法においては、グリー
ンシート積層体を焼結して積層焼結体とした後、この積
層焼結体を焼結ブロックに切断する前に一回（工程Ｓ
９）、更にこの焼結ブロックをチップに切断する前に一
回（工程Ｓ１３）、合計二回、切断位置にＶ溝を形成す
る。すなわち、面取りのために製造工程が増えるので、
その分製造コストが上昇する。又、焼結して硬度が非常
に高くなった状態でＶ溝形成を行なうので、どうしても
外周刃や内周刃などの機械的方法や或いはレーザなどを
用いなければならない。このため、溝形成時にマイクロ
クラックなどの機械的損傷が生じ易く、アクチュエータ
としての信頼性が低下する恐れがある。この発生したマ
イクロクラックは後工程で研磨などにより或る程度取り
除くことができるが、製造工程が増えるので、この点で
も製造コストが上昇してしまう。加えて、例えばガラス
などの絶縁物４を損傷させないように、しかも一度発生
してしまったマイクロクラックを進行させることのない
ようにしながらこれを完全に取り除くことは非常に困難
であるので、信頼性の多少の低下は免れない。

【００１４】したがって本発明は、積層構造体の変位伝
達面周縁部の割れ、欠けなどに起因する機械的損傷のな
い、微小変位の制御性及び信頼性に優れた圧電アクチュ
エータを、信頼性の低下を伴うことなしに製造でき、し
かも量産性に優れた製造方法を提供することを目的とす
るものである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明の圧電アクチュエ
ータの製造方法は、圧電効果を示すセラミック層と内部
電極層とを交互に重ね合せ一体化して得られる積層構造
体の積層方向に垂直な二つの端面のそれぞれと前記積層
構造体の前記積層方向に平行な側面とで作られる稜部に
面取り部又は丸み付け部を設けた積層型の圧電アクチュ
エータを製造する方法であって、圧電性を有するセラミ
ックスからなるグリーンシート上に内部電極層用の導電
体層を形成して導電体層付きグリーンシートを得る工程
と、前記導電体層付きグリーンシートを順次積み重ねグ
リーンシート積層体を形成する工程と、前記グリーンシ
ート積層体を加熱しながらこれに積層方向の圧力を加え
て圧着し一体化して積層プレス体を得る熱プレス工程
と、前記積層プレス体に含まれるバインダを除去し焼結
して積層焼結体を得る工程と、前記積層焼結体を切断し
て焼結ブロックを得る第１の切断工程と、前記焼結ブロ
ックを切断して圧電素子チップを得る第２の切断工程と
を含む積層型の圧電アクチュエータの製造方法におい
て、前記熱プレス工程では、前記グリーンシート積層体
を押圧する側の面に前記面取り部又は前記丸み付け部と
嵌め合いとなる断面形状を有する突起部を前記圧電素子
チップを多数個取りするように配設した押型のプレス金
型を用いて前記グリーンシート積層体に前記圧力を加え
ることにより、前記積層プレス体の前記第１の切断工程
における切断位置及び前記第２の切断工程における切断
位置に相当する位置に、前記面取り部又は前記丸み付け
部形成用の溝を設けることを特徴とする。

【００１６】又、本発明の圧電アクチュエータの製造方
法は、前記面取り部の面取りの大きさがＣ０．８以上
か、前記丸み付け部の丸み付けの大きさがＲ１．０以上
であることをも特徴とする。

【００１７】

【実施例】次に、本発明の好適な実施例について、図面
を参照して説明する。図１は、本発明の第１の実施例に
よる積層型圧電アクチュエータの構造を示す透視斜視図
である。又、図２は、その製造方法を説明するための工
程図である。

【００１８】図１を参照すると、本実施例のアクチュエ
ータが図５及び図６に示す従来のアクチュエータと異る
のは、変位伝達面６ａ，６ｂの周縁部に丸み付け部２０
が設けられていることである。又、図２を参照すると本
実施例の製造方法が、図７に示す従来の製造方法と異る
のは、熱プレス工程Ｓ６Ａで突起物のついた押型のプレ
ス金型を用いている点と、従来の製造工程での二回のＶ
溝形成工程（図７、工程Ｓ１０及び工程Ｓ１３）が省か
れている点である。

【００１９】上記の熱プレス工程Ｓ６Ａで用いるプレス
金型の平面図を図３（ａ）に示す。又、そのＡーＡ断面
斜視図を図３（ｂ）に示し、ＢーＢ断面斜視図を図３
（ｃ）に示す。図３（ａ）〜（ｃ）を参照すると、この
押型のプレス金型８は、セラミックグリーンシートと接
する面に、縦・横に平行に走る突起部８１Ａを備えてい
る。突起部８１Ａの断面形状は、円の１／４の弧を二つ
背中合にした形であり、それぞれの曲率は、図１に示す
アクチュエータに設けられた丸み付け部２０の曲率と同
じである。それぞれの突起部の配列のピッチは、アクチ
ュエータの積層方向に垂直な断面の縦・横の寸法に一致
している。

【００２０】図１に示す丸み付け部２０を持つアクチュ
エータは、図５に示す従来のアクチュエータと同様の製
造工程によって作製されるが、この場合、積層を終った
グリーンシート積層体をバインダが流動する温度まで加
熱しプレスで上下から圧力を加えて一体化する熱プレス
工程Ｓ６Ａで、図３（ａ）〜（ｃ）に示す押型のプレス
金型を用いる。このとき、図４（ａ）に示すように、グ
リーンシート積層体９を上下のプレス金型８Ａの間に配
置し、加熱しながら圧力を加える。このようにすると、
各グリーンシートが圧着され一体化するときに同時に、
後の切断工程での切断位置に丸み付け用の溝が形成され
る。しかもこのとき、ブロック切断工程Ｓ１０（図２参
照）用の溝と、素子切断工程Ｓ１４（同）用の溝とが一
度の工程で同時に形成される。そしてこの溝は、グリー
ンシート積層体９が柔かく塑性を保った状態のときに形
成されるので、焼結して硬度が高くなってから切削など
の機械的な方法で加工するのとは違って、機械的損傷を
伴わない。このような金型による溝形成方法は、例えば
特開平２ー５１２９２号公報（特願昭６３ー２０２１４
２号公報）に開示されているように、従来、チップ状電
子部品を搭載するための絶縁基板となるセラミック基板
を多数個取りするときの、分割用スリット形成に用いら
れており、本発明への適用に際して特に困難を伴うもの
ではない。

【００２１】次いで、上述のようにして上下の面に丸み
付け用の溝を形成し一体化させたグリーンシート積層体
を、バインダを除去し（工程Ｓ７）、焼結した（工程Ｓ
８）後、熱プレス工程Ｓ６Ａで形成した溝位置でワイヤ
ーソーにより切断、焼結ブロックに切り出す（工程Ｓ１
０）。更にこの焼結ブロックに絶縁物４（図１参照）を
形成し（工程Ｓ１１）、外部電極層５（図１参照）を形
成した（工程Ｓ１２）後、再び、前工程Ｓ６Ａで形成し
ておいた溝位置で、ワイヤーソーにより切断し（工程Ｓ
１４）、図１に示す個々のアクチュエータを得る。その
後、外部電極層５にリード線をはんだ付けし、外装を施
して圧電アクチュエータを完成する。

【００２２】以下に、上述のようにして作製した本実施
例の積層型圧電アクチュエータと、図５に示す従来の圧
電アクチュエータとに対して信頼性試験を実施した結果
について述べる。サンプルは、セラミック層２の厚さが
１０５μｍ、内部電極層３の層数が１２６層、上下二つ
の保護層７の厚さがそれぞれ２ｍｍ及び４ｍｍ、変位方
向に垂直な断面の形状が５ｍｍ×５ｍｍ、変位方向の長
さが２０ｍｍの構造を持つ。セラミック層２は、Ｐｂ
（Ｎｉ_1/3 Ｎｂ_2/3 ）_0.50Ｚｒ_0.15Ｔｉ_0.35Ｏ₃系のペ
ロブスカイト構造複合酸化物であり、内部電極層３は、
銀７０％，パラジウム３０％の銀・パラジウム混合電極
である。又、絶縁物４は、ＺｎＯ６０％，Ｂ₂Ｏ₃２５
％，其の他酸化物１５％の亜鉛系ガラスである。外部電
極層５は、銀を導体とし、温度７００℃で焼成して形成
した。

【００２３】本実施例によるサンプルにおいては、変位
伝達面６ａ，６ｂの丸み付け部２０の大きさの水準を、
Ｒ０．５，Ｒ１．０及びＲ１．５の３水準とした。サン
プル数は、本実施例によるもの及び従来のものとも各水
準５０個ずつである。

【００２４】信頼性試験は耐湿負荷試験であって、温度
４０℃，湿度９０〜９５％の環境中で、各サンプルに変
位方向に５０００Ｎの圧縮力を加えながら直流電圧１５
０Ｖを連続印加するものである。

【００２５】表１に上記信頼性試験の結果を示す。

【００２６】

【表１】

【００２７】尚、表１において、相対平均寿命とは、上
記の試験によって各サンプルごとの故障に至る迄の時間
を求めこれをワイブル確率紙に打点し、その結果から得
られた各水準ごとの平均寿命（ＭＴＴＦ）を、従来のア
クチュエータの平均寿命を１として規格化したものであ
る。

【００２８】表１を参照すると、丸み付けの大きさがＲ
１．０以上のときに、アクチュエータの平均寿命が約１
０倍に延び大きく改善されていることが分る。本実施例
のアクチュエータの製造工程と、図５に示すアクチュエ
ータの製造工程とを比較した場合、切断位置に対する溝
形成に起因するマイクロクラックなど機械的損傷の発生
がないという点ではほぼ同等と考えられるので、上記本
実施例における平均寿命の延びは、従来、アクチュエー
タの製造時や取り扱い中に発生していた変位伝達面周縁
部の欠けや割れなどが、本実施例のアクチュエータで
は、端面周縁部に丸み付けを施したことにより殆ど発生
しなくなったためであると考えられる。しかも、本実施
例のアクチュエータを作製するに際して、何等新しい工
程を必要とせず、又、各工程での製造能力を犠牲にする
こともないので、本実施例の製造コストは従来のアクチ
ュエータにおけると同じである。

【００２９】これまでの説明は、変位伝達面の周縁部に
丸み付けを施したアクチュエータについて行なったが、
次に、本発明を面取り部を持つアクチュエータに適用し
た第２の実施例について説明する。

【００３０】本実施例のアクチュエータは、図６にその
透視斜視図を示すような、二つの変位伝達面６ａ，６ｂ
の周縁部に面取り部１０を設けたものである。このアク
チュエータは、第１の実施例の製造工程（図２参照）と
同じ工程で作製するが、熱プレス工程（同、工程Ｓ６
Ａ）で用いるプレス金型が異なっている。本実施例で用
いるプレス金型の平面図を図３（ａ）に、そのＡーＡ断
面斜視図を図３（ｄ）に示す。又、ＢーＢ断面斜視図を
図３（ｅ）に示す。これらの図を参照すると、本実施例
で用いるプレス金型８Ｂは、グリーンシート積層体に接
する面に、縦・横に平行に走る逆Ｖ字型の突起部８１Ｂ
が設けられている。この逆Ｖ字型の突起部８１Ｂの断面
形状は、図６に示すアクチュエータの面取り部１０に対
して嵌め合いの形状となる。本実施例では、熱プレス工
程Ｓ６Ａで、積層を終ったグリーンシート積層体９を、
図４（ｂ）に示すように、上下のプレス金型８Ｂで挟ん
で積層方向に圧力を加えながら加熱して一体化させる。

【００３１】以下に、上述のようにして作製した本実施
例のアクチュエータと、図７に示す従来の製造方法によ
って作製した従来の面取り部付きアクチュエータとに対
して信頼性試験を実施した結果について説明する。作製
したサンプルの構造、材料及び信頼性試験条件は、変位
伝達面の周縁部の構造が面取りを施した構造となってい
る以外、第１の実施例の場合と全て同一である。表２に
試験結果を示す。尚、表２に示す結果は、各水準におけ
る平均寿命を、第１の実施例で用いた従来のアクチュエ
ータ（変位伝達面周縁部の稜部が直角であるもの）の平
均寿命を１として規格化してある。

【００３２】

【表２】

【００３３】表２を参照すると、本実施例のアクチュエ
ータ及び従来の面取り部付きアクチュエータともに、面
取りの大きさがＣ０．８以上で平均寿命延長の効果が表
れており、面取りしたことによる形状効果により変位伝
達面周縁部での割れ、欠けなどの発生が抑制されている
ことを示している。更に、例えばＣ１．２におけるよう
に、同一の面取りの大きさで比較した場合、本実施例に
おける平均寿命延長の程度の方が、従来の製造方法によ
る面取り部付きアクチュエータにおけるよりも大きいこ
とが分る。これは、本実施例の製造方法によって面取り
を施した方が、面取り用溝形成時にマイクロクラックな
どの発生が少ないことによるものと考えられる。

【００３４】尚、これまでの実施例の説明は、圧電効果
を示すセラミックスを用いた圧電アクチュエータについ
て行なったが、与えられた電界に応じてひずみを生じる
現象としては、良く知られているように、圧電効果の他
に電歪効果がある。圧電効果と電歪効果には、発生する
ひずみ量が電界に比例するか（圧電効果）又は電界の二
乗に比例するか（電歪効果）の違いがあるが、これまで
の説明で明らかなように、本発明のような構成にしたと
きその違いは何等異なる作用・効果を及ぼすものではな
い。従って、これまでの説明中、「圧電」は全て「電
歪」に読み替え可能である。本発明において、「圧電ア
クチュエータ」とは、「電界によりひずみを発生する現
象を利用したアクチュエータ」を意味し、「圧電アクチ
ュエータ」及び「電歪アクチュエータ」を含むものと定
義する。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の製造方法
によって得られた圧電アクチュエータは、変位伝達面周
縁部に丸み付けが施されている。これによって、製造工
程中や装置への組み込み中に、変位伝達面周縁部に割
れ、欠けなどの機械的損傷が発生することが防がれるの
で、ミクロンオーダの微小な変位でも精度良く制御、伝
達できるようになると共にアクチュエータとしての機械
的強度、信頼性が向上する。

【００３６】又、本発明の圧電アクチュエータの製造方
法においては、グリーンシート積層体を熱プレスして一
体化させるするときに、押型のプレス金型を用いて丸み
付け部形成用の溝を同時に形成する。これにより、本発
明によれば、新たな工程を付け加えることなしに、従
来、二回必要であった切断工程前の溝形成工程を不要に
することができるので、量産性が向上する。しかも、本
発明の製造方法においては、上記の溝形成を、製造初期
の工程で積層体が分割される前の一番大きい状態のとき
に行うので、その量産効果は非常に大きい。

【００３７】更に、本発明の製造方法における溝形成
は、積層体を焼結して硬度が高くなった後で切削する従
来の製造方法による溝形成とは異なって、グリーンシー
トがまだ柔かくて塑性を保っているときに押型により形
成するので、従来、溝形成時の機械的加工に伴なって発
生していたマイクロクラックの発生はない。又、本発明
の製造方法は、丸み付け部付きのアクチュエータのみな
らず、面取り部付きのアクチュエータの製造にも適用で
きる。

【００３８】従って、本発明によれば、変位伝達面周縁
部の欠けや割れ及び、面取り部又は丸み付け部用溝形成
時のマイクロクラックなどの機械的損傷に起因する故障
なのない、信頼性の高い圧電アクチュエータを、効率よ
く製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例による丸み付け部付き圧
電アクチュエータの構造を示す透視斜視図である。

【図２】本発明の第１の実施例の製造方法を説明するた
めの工程図である。

【図３】本発明の第１の実施例及び第２の実施例の製造
に用いられるプレス金型の平面図及び断面斜視図であ
る。

【図４】本発明の第１の実施例及び第２の実施例の熱プ
レス工程で溝形成を行う方法を説明をするための断面図
である。

【図５】従来の積層型圧電アクチュエータの一例の構造
を示す透視斜視図である。

【図６】変位伝達面周縁部に面取りを施した積層型圧電
アクチュエータの構造を示す透視斜視図である。

【図７】図６に示す面取り部付き圧電アクチュエータを
製造するための、従来の製造工程を示す工程図である。

【符号の説明】

２セラミック層３内部電極層４絶縁物５外部電極層６ａ，６ｂ変位伝達面７保護層８Ａ，８Ｂプレス金型９グリーンシート積層体１０面取り部２０丸み付け部８１Ａ，８１Ｂ突起部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭64−57610（ＪＰ，Ａ) 特開平５−75175（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H01L 41/083 H01L 41/09 H01L 41/22

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電効果を示すセラミック層と内部電極
層とを交互に重ね合せ一体化して得られる積層構造体の
積層方向に垂直な二つの端面のそれぞれと前記積層構造
体の前記積層方向に平行な側面とで作られる稜部に面取
り部又は丸み付け部を設けた積層型の圧電アクチュエー
タを製造する方法であって、圧電性を有するセラミック
スからなるグリーンシート上に内部電極層用の導電体層
を形成して導電体層付きグリーンシートを得る工程と、
前記導電体層付きグリーンシートを順次積み重ねグリー
ンシート積層体を形成する工程と、前記グリーンシート
積層体を加熱しながらこれに積層方向の圧力を加えて圧
着し一体化して積層プレス体を得る熱プレス工程と、前
記積層プレス体に含まれるバインダを除去し焼結して積
層焼結体を得る工程と、前記積層焼結体を切断して焼結
ブロックを得る第１の切断工程と、前記焼結ブロックを
切断して圧電素子チップを得る第２の切断工程とを含む
積層型の圧電アクチュエータの製造方法において、前記熱プレス工程では、前記グリーンシート積層体を押
圧する側の面に前記面取り部又は前記丸み付け部と嵌め
合いとなる断面形状を有する突起部を前記圧電素子チッ
プを多数個取りするように配設した押型のプレス金型を
用いて前記グリーンシート積層体に前記圧力を加えるこ
とにより、前記積層プレス体の前記第１の切断工程にお
ける切断位置及び前記第２の切断工程における切断位置
に相当する位置に、前記面取り部又は前記丸み付け部形
成用の溝を設けることを特徴とする圧電アクチュエータ
の製造方法。
【請求項２】前記面取り部の面取りの大きさがＣ０．８
以上か、前記丸み付け部の丸み付けの大きさがＲ１．０
以上であることを特徴とする請求項１記載の圧電アクチ
ュエータの製造方法。