JP2849483B2 - Manufacturing method of optical waveguide - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、有機ポリマー中に半導
体超微粒子が選択的部分に分散してなることにより、屈
折率が周囲より大なる光導波部を有することを特徴とす
る光導波路の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical waveguide characterized by having an optical waveguide having a refractive index larger than that of the surroundings by selectively dispersing semiconductor ultrafine particles in an organic polymer. It relates to a manufacturing method.
【０００２】光導波路は、光ファイバーの分岐・結合を
容易に行なったり、光スイッチなどの非線形光学動作を
行わせるためにきわめて有用である。An optical waveguide is extremely useful for easily branching / coupling an optical fiber or performing a nonlinear optical operation such as an optical switch.
【０００３】[0003]
【従来の技術】光通信や光情報処理分野において利用さ
れる光回路の研究は近年、急速な進歩を遂げ、その中で
も光導波路の開発はめざましいものがある。2. Description of the Related Art In recent years, research on optical circuits used in the field of optical communication and optical information processing has made rapid progress, and among them, the development of optical waveguides has been remarkable.
【０００４】光導波路には、LiNbO3にTiを拡散させた無
機結晶やイオン交換により金属を他金属と交換したガラ
スなどの他に有機ポリマー光導波路がある。Optical waveguides include organic polymer optical waveguides in addition to inorganic crystals in which Ti is diffused in LiNbO 3 and glass in which a metal is exchanged with another metal by ion exchange.
【０００５】従来の有機ポリマー導波路製造法として
は、リソグラフィーを応用し、光導波路パターンを形成
する方法、すなわち、モノマーを含む有機ポリマー膜を
作製したのち、パターン用マスクを用いて選択的に紫外
線重合させて、屈折率変化をもたせる方法、あるいはレ
ーザースキャンにより高屈折率の導波路を形成する方法
等がある（特開昭63-91604）。As a conventional method for manufacturing an organic polymer waveguide, a method of forming an optical waveguide pattern by applying lithography, that is, forming an organic polymer film containing a monomer, and then selectively using a pattern mask to emit ultraviolet light There is a method of giving a change in the refractive index by polymerization, or a method of forming a waveguide having a high refractive index by laser scanning (Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-91604).
【０００６】従来、リソグラフィーを応用した光導波路
パターンの形成に於いては、紫外線照射による架橋反応
と競争する樹脂の黄変や、エッチング時の有機ポリマー
の膨潤による材料の変質という問題が指摘されている。
これを克服する方法として、例えば、特開昭64-59302に
は露光によるエッチング処理を有機溶剤ではなく、水を
使用しておこなう方法などが開示されている。しかしな
がら、このような露光、エッチング処理による方法は、
特に有機ポリマー光導波路の作製に対しては依然問題点
が多いといわれている。Conventionally, in forming an optical waveguide pattern using lithography, it has been pointed out that yellowing of a resin competing with a cross-linking reaction due to ultraviolet irradiation and deterioration of a material due to swelling of an organic polymer at the time of etching have been pointed out. I have.
As a method for overcoming this, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-59302 discloses a method in which an etching treatment by exposure is performed using water instead of an organic solvent. However, such a method by exposure and etching treatments,
It is said that there are still many problems particularly in the production of organic polymer optical waveguides.
【０００７】有機ポリマー非線形動作光導波路として
は、ポーリング（電界配向）処理、即ち、ポリマーの軟
化点温度あるいはガラス転移点付近に於いて、電界を印
加し、含有されている極性低分子の配向を揃えるという
処理をされた有機ポリマー導波路がある。これは下部電
極をリソグラフィーによって設け、バッファ層をその上
に構成し、メチルニトロアニリンなどの非線形光学性化
合物を分散した有機ポリマーをコートする。この上にパ
ターン化された電極を施し、電極に印加することによ
り、電極印加部分に存在するメチルニトロアニリンが分
極配向し、周囲の非配向部分に比較して高屈折率部分が
形成された非線形光学効果を有する導波路である（R.Ly
tel ら、ＳＰＩＥ予稿集第 824号、152 頁, 1987年）。As an organic polymer nonlinear operation optical waveguide, a poling (electric field orientation) treatment, that is, an electric field is applied at a temperature near the softening point or glass transition point of the polymer to change the orientation of contained polar low molecules. There is an organic polymer waveguide that has been treated to be aligned. In this, a lower electrode is provided by lithography, a buffer layer is formed thereon, and an organic polymer in which a nonlinear optical compound such as methylnitroaniline is dispersed is coated. By applying a patterned electrode on top of this and applying it to the electrode, the methylnitroaniline present in the electrode-applied portion is polarized and oriented, forming a non-linear portion with a higher refractive index compared to the surrounding non-oriented portion. A waveguide with an optical effect (R.Ly
tel et al., SPIE Proceedings No. 824, p. 152, 1987).
【０００８】しかし、経時変化のために所要屈折率発現
のために不可欠の分子の配向が解消したり、配向を保持
するために電界をかけておく必要があったりする難点が
ある。また、分子の配向分極効果にもとづくために屈折
率差が大きくとりにくいなどの欠点を有する。However, there is a problem that the orientation of molecules indispensable for the expression of a required refractive index is canceled due to a change with time, or an electric field needs to be applied to maintain the orientation. In addition, it has a drawback such that it is difficult to obtain a large difference in refractive index due to the orientation polarization effect of molecules.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、以上に
述べた従来技術における問題点を一挙に解決するべく研
究を行い、光導波路、就中、非線形光学効果を併せもつ
パターン集積化された有機ポリマー光導波路の新規な製
造方法を見出し、本発明をなすに到った。SUMMARY OF THE INVENTION The present inventors have conducted research to solve the above-mentioned problems in the prior art at once, and have found that an optical waveguide, especially a pattern integrated with a nonlinear optical effect, is integrated. The present inventors have found a novel method for producing an organic polymer optical waveguide, and have accomplished the present invention.
【００１０】本発明は、有機ポリマー中に半導体超微粒
子が選択的部分に分散してなることにより、屈折率が周
囲より大なる光導波部を有する光導波路の製造方法に関
するもので、半導体超微粒子の原料となる金属元素化合
物を含有した前駆体有機ポリマーに該金属元素化合物と
反応して半導体超微粒子を生成する反応性物質を反応さ
せることにより半導体超微粒子を選択的部分に分散させ
て、光導波部を形成するに際し、前駆体有機ポリマー
に、反応性物質含有樹脂溶液により導波路形成用パター
ンをプリントすることを特徴とする該光導波路の製造方
法を提供するものである。The present invention relates to a method for producing an optical waveguide having an optical waveguide having a refractive index higher than that of the surroundings by selectively dispersing semiconductor ultrafine particles in an organic polymer. By reacting a precursor organic polymer containing a metal element compound as a raw material with a reactive substance that reacts with the metal element compound to form semiconductor ultrafine particles, the semiconductor ultrafine particles are dispersed in a selective portion, and the photoconductive material is dispersed. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an optical waveguide, comprising printing a waveguide forming pattern on a precursor organic polymer with a resin solution containing a reactive substance when forming a wave portion.
【００１１】本発明方法によると、感光性樹脂を用いた
露光あるいは溶剤を用いたエッチング処理工程が省略さ
れるので、製造工程中における材料の変質化の虞れがな
い。また、光導波路形成のためにプリント部分に屈折率
の異なる物質を分散させるので、経時変化による配向分
極の解消による屈折率差の低下を回避できるし、また分
極による効果ではないので充填率の向上により、より大
きい屈折率変化も付与しうる。According to the method of the present invention, the step of exposing using a photosensitive resin or the step of etching using a solvent is omitted, so that there is no risk of deterioration of the material during the manufacturing process. In addition, since a substance having a different refractive index is dispersed in the printed portion for forming the optical waveguide, a decrease in the refractive index difference due to the elimination of the orientation polarization due to aging can be avoided, and the filling rate is improved because the effect is not due to the polarization. Thereby, a larger change in the refractive index can be imparted.
【００１２】さらにまた、半導体超微粒子は空間的に 1
00オングストローム程度以下になるとその電子状態が閉
じ込め効果を受け、大きな非線形性能の発現することが
知られており、さらに有用性が高まる。Further, the semiconductor ultrafine particles are spatially 1
It is known that the electronic state receives a confinement effect when the thickness is reduced to about 00 angstroms or less, and a large non-linear performance is exhibited, which further enhances the usefulness.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明により製造される
光導波路について第１図を用いて説明する。本発明によ
る光導波路は第１図中c)に示された断面図のように、金
属化合物を含有した有機ポリマー中のパターン化された
部分に選択的に半導体超微粒子が分散して、光導波部と
なった構造をしている。An optical waveguide manufactured according to the present invention will be described with reference to FIG. In the optical waveguide according to the present invention, as shown in the cross-sectional view shown in c) of FIG. 1, the semiconductor ultrafine particles are selectively dispersed in the patterned portion in the organic polymer containing the metal compound, and the optical waveguide is formed. It has a structure that becomes a part.
【００１４】次に、第１図にもとづき、本発明の製造方
法について記述する。まず、半導体超微粒子の原料とな
る金属元素化合物を含有した前駆体有機ポリマーを調製
する。Next, the manufacturing method of the present invention will be described with reference to FIG. First, a precursor organic polymer containing a metal element compound as a raw material of semiconductor ultrafine particles is prepared.
【００１５】金属元素化合物としては、元素周期律表第
II−VI族元素化合物半導体超微粒子生成のために、過塩
素酸カドミウム、酢酸亜鉛、硝酸鉛などの第II族元素化
合物を用いる。As the metal element compound, the periodic table of the element
In order to produce ultrafine particles of a II-VI element compound semiconductor, a Group II element compound such as cadmium perchlorate, zinc acetate, and lead nitrate is used.
【００１６】有機ポリマーとしては、透明性などの光学
的特性に優れた有機ポリマー、たとえばポリメチルメタ
クリレート、ポリアクリロニトリル、ポリカーボネー
ト、ポリスチレンなど、あるいはこれらのひとつないし
は複数を含有する混合物ないしは共重合体を用いる。As the organic polymer, an organic polymer having excellent optical characteristics such as transparency, for example, polymethyl methacrylate, polyacrylonitrile, polycarbonate, polystyrene, etc., or a mixture or a copolymer containing one or more of these is used. .
【００１７】これら金属元素化合物、有機ポリマーを適
当な溶媒に溶解させる。例えば、ジメチルホルムアミ
ド、アセトニトリル、メタノール、テトラヒドロフラン
などの極性有機溶媒が金属元素ならびに有機ポリマーの
溶解性の観点から好ましく用いられる。These metal element compounds and organic polymers are dissolved in an appropriate solvent. For example, polar organic solvents such as dimethylformamide, acetonitrile, methanol, and tetrahydrofuran are preferably used from the viewpoint of solubility of metal elements and organic polymers.
【００１８】このようにして調製された溶液をガラスや
シリコンなどの適当な基板上にキャストあるいはスピン
コートすることにより展開する。含まれている溶媒は風
乾あるいは加熱乾燥、あるいは減圧処理することにより
除去処理をおこない、前駆体有機ポリマーフィルムを形
成する。尚、この前駆体有機ポリマーフィルムは、フィ
ルム状になっていれば溶媒が完全に除去されていなくて
も差し支えない。The solution thus prepared is developed by casting or spin coating on a suitable substrate such as glass or silicon. The contained solvent is subjected to removal treatment by air drying, heat drying, or reduced pressure treatment to form a precursor organic polymer film. In addition, as long as this precursor organic polymer film is in the form of a film, the solvent may not be completely removed.
【００１９】このようにして得られた前駆体有機ポリマ
ーフィルムに反応性物質含有樹脂溶液により導波路形成
用パターンをプリントする。ここに、反応性物質含有樹
脂溶液とは、反応性物質と樹脂を溶解させる能力のある
溶剤、例えば、ジメチルホルムアミド、アセトニトリ
ル、メタノール、アセトン、ベンゼンなど、あるいは反
応性物質と樹脂を吸蔵する能力を有するいわゆる可塑
剤、例えば、フタル酸ジメチル、リン酸トリブチルなど
に反応性物質及び樹脂を溶解した樹脂溶液であり、樹脂
としてはブチラール樹脂、ＳＢＲ樹脂、メラミン樹脂、
アクリル樹脂、天然ゴムあるいはこれらを基体とした組
成物などが用いられる。この反応性物質含有樹脂溶液
は、前駆体有機ポリマーにパターン化されて粘着・固着
化されるが、パターン化するのにスクリーニング印刷等
のプリント手段が適宜に採用される。A pattern for forming a waveguide is printed on the precursor organic polymer film thus obtained by using a resin solution containing a reactive substance. Here, the reactive substance-containing resin solution is a solvent capable of dissolving the reactive substance and the resin, for example, dimethylformamide, acetonitrile, methanol, acetone, benzene, etc., or the ability to occlude the reactive substance and the resin. Having a so-called plasticizer, for example, a resin solution in which a reactive substance and a resin are dissolved in dimethyl phthalate, tributyl phosphate, and the like. As the resin, a butyral resin, an SBR resin, a melamine resin,
Acrylic resin, natural rubber, a composition based on these, or the like is used. This reactive substance-containing resin solution is patterned into a precursor organic polymer and adhered and fixed, and a printing means such as screening printing is appropriately employed for patterning.
【００２０】半導体超微粒子生成に必要な反応性物質と
しては気体、液体、固体のいずれでも、あるいはこれら
任意の混合物でもよく、気体としては、硫化水素ガス、
セレン化水素ガスなどの第VI族元素化合物ガスあるいは
窒素、ヘリウムなどの不活性ガスで希釈したガス、さら
にはこれらを任意な比率で混合した混合ガスを、液体と
しては、硫化ビス（トリメチルシリル）、セレン化ビス
（トリメチルシリル）等の第VI族元素化シリル誘導体あ
るいはこれらを任意な比率で混合した溶液を、固体とし
ては、硫化ナトリウムや硫化アンモニウム、セレン化水
素ナトリウム等の第VI族元素化合物あるいはこれらを任
意な比率で混合した固体を目的に応じて適宜用いる。反
応性物質含有樹脂溶液は、プリントされたパターン部分
に於て、反応性物質が接触している前駆体有機ポリマー
中に拡散する過程で半導体超微粒子を生成し、超微粒子
生成のない非パターン化部分に比較して高屈折率を有し
た導波路を形成する。The reactive substance required for producing semiconductor ultrafine particles may be any of a gas, a liquid, and a solid, or may be an arbitrary mixture thereof.
Group VI element compound gas such as hydrogen selenide gas or a gas diluted with an inert gas such as nitrogen or helium, or a mixed gas obtained by mixing these at an arbitrary ratio. As a liquid, bis (trimethylsilyl) sulfide, Group VI elemental silyl derivatives such as bis (trimethylsilyl) selenide or a solution obtained by mixing these at an arbitrary ratio may be used as a solid, and may be a Group VI element compound such as sodium sulfide, ammonium sulfide, sodium hydrogen selenide or the like. Is appropriately used depending on the purpose. The reactive substance-containing resin solution generates semiconductor ultra-fine particles in the process of diffusing the reactive substance into the precursor organic polymer in contact with the printed pattern part, and the non-patterning without the generation of ultra-fine particles A waveguide having a higher refractive index than the portion is formed.
【００２１】必要に応じ、金属元素化合物濃度、前駆体
有機ポリマー中の溶媒残存量を調節することにより生成
する半導体超微粒子の粒子径あるいは密度を調節するこ
とも可能である。If necessary, the particle diameter or density of the ultrafine semiconductor particles produced can be adjusted by adjusting the concentration of the metal element compound and the amount of the solvent remaining in the precursor organic polymer.
【００２２】半導体超微粒子分散体の非線形光学効果
は、光吸収により発生する電子−正孔の空間的閉じ込め
効果を利用するため、粒子径は10から 100オングストロ
ーム程度に制御されるのが好ましい。Since the nonlinear optical effect of the semiconductor ultrafine particle dispersion utilizes a spatial confinement effect of electrons and holes generated by light absorption, the particle diameter is preferably controlled to about 10 to 100 angstroms.
【００２３】本発明の方法によると平面導波路、チャン
ネル導波路、導波路複合構造のものを得ることが可能で
ある。According to the method of the present invention, it is possible to obtain a planar waveguide, a channel waveguide, and a composite waveguide structure.
【００２４】[0024]
【実施例】以下、実施例により本発明をさらに詳細に説
明する。 実施例１ 過塩素酸カドミウムCd(ClO4)2 ・6H2Oを1.0x10-4モル、
アクリロニトリル／スチレン共重合樹脂 0.5ｇを均一に
溶解させたジメチルホルムアミド溶液 3.5mlを直径70mm
のガラスシャーレに展開する。これを真空デシケーター
にいれ、１Torrの減圧下、室温で一日放置することによ
り、溶媒を除去し、前駆体有機ポリマーフィルムを得
る。このフィルムの膜厚は90μｍであった。この前駆体
有機ポリマーフィルムに、硫化水素ガス雰囲気下、室温
で２時間放置して硫化水素を吸蔵させたフタル酸ジエチ
ルにアクリル樹脂を溶かした液を反応性物質含有樹脂溶
液として用い、塗布により直線状にパターンを形成し
た。これを窒素雰囲気下で２０時間放置した後、アクリ
ル樹脂を取り去り、パターン部分のみが黄色に変化して
いるチャンネル形導波路を得た。生成した硫化カドミウ
ム半導体超微粒子による可視・紫外吸収スペクトルなら
びに電子顕微鏡観察写真により、プリントによる半導体
超微粒子の選択的部分への分散化が達成されていること
を確認した。導波路による進行光の閉じ込め効果は、ヘ
リウム−ネオンレーザー 632.8nmを用い、フィルム面内
で導波路直線方向に対して約10度の傾斜を持たせた入射
光線が導波路内に閉じ込められ、伝播されることが確か
められ、これにより光導波路の形成を確認した。The present invention will be described in more detail with reference to the following examples. Example 1 Cadmium perchlorate Cd (ClO 4 ) 2 .6H 2 O was 1.0 × 10 −4 mol,
3.5 ml of dimethylformamide solution in which 0.5 g of acrylonitrile / styrene copolymer resin is uniformly dissolved is 70 mm in diameter
To a glass petri dish. This is placed in a vacuum desiccator and left at room temperature under a reduced pressure of 1 Torr for one day to remove the solvent and obtain a precursor organic polymer film. The thickness of this film was 90 μm. A solution prepared by dissolving an acrylic resin in diethyl phthalate in which hydrogen sulfide was occluded by allowing the precursor organic polymer film to stand at room temperature for 2 hours in a hydrogen sulfide gas atmosphere was used as a reactive substance-containing resin solution. A pattern was formed. After leaving this under a nitrogen atmosphere for 20 hours, the acrylic resin was removed to obtain a channel-type waveguide in which only the pattern portion changed to yellow. The visible / ultraviolet absorption spectrum of the generated cadmium sulfide semiconductor ultrafine particles and an electron microscopic observation photograph confirmed that the dispersion of the semiconductor ultrafine particles in a selective portion by printing was achieved. The effect of trapping the traveling light by the waveguide is to use the helium-neon laser 632.8nm, and to confine the incident light beam with an inclination of about 10 degrees to the straight line direction of the waveguide in the film plane, and to confine it in the waveguide. This confirmed that the optical waveguide was formed.
【００２５】実施例２ ヨウ化カドミウムCdI2を5.0x10-4モル、アクリロニトリ
ル／スチレン共重合樹脂 0.5ｇを均一に溶解させたジメ
チルホルムアミド溶液 3.5mlを直径70mmのガラスシャー
レに展開する。これを真空デシケーターにいれ、１Torr
の減圧下、室温で一日放置することにより溶媒を除去
し、前駆体有機ポリマーフィルムを得る。このフィルム
の膜厚は90μｍであった。この前駆体有機ポリマーフィ
ルムに、硫化水素雰囲気下に１時間放置して硫化水素を
溶解させたブチラール樹脂のエタノール溶液を反応性物
質含有樹脂溶液として用い、塗布により直線状にパター
ンを形成した。これを８時間放置し、チャンネル形導波
路を得た。生成した硫化カドミウム半導体超微粒子によ
る可視・紫外吸収スペクトルならびに電子顕微鏡観察写
真により、プリントによる半導体超微粒子の選択的部分
への分散化が達成されていることを確認した。Example 2 3.5 ml of a dimethylformamide solution in which 5.0 × 10 -4 mol of cadmium iodide CdI 2 and 0.5 g of an acrylonitrile / styrene copolymer resin are uniformly dissolved is spread on a glass dish having a diameter of 70 mm. Put this in a vacuum desiccator, 1 Torr
The solvent is removed by leaving the mixture at room temperature for one day under reduced pressure to obtain a precursor organic polymer film. The thickness of this film was 90 μm. The precursor organic polymer film was allowed to stand in a hydrogen sulfide atmosphere for 1 hour, and an ethanol solution of butyral resin in which hydrogen sulfide was dissolved was used as a reactive substance-containing resin solution, and a linear pattern was formed by coating. This was left for 8 hours to obtain a channel waveguide. The visible / ultraviolet absorption spectrum of the generated cadmium sulfide semiconductor ultrafine particles and an electron microscopic observation photograph confirmed that the dispersion of the semiconductor ultrafine particles in a selective portion by printing was achieved.
【００２６】光導波路による進行光の閉じ込め現象は、
実施例１と同様の手法によってこれを確認した。The phenomenon of trapping traveling light by an optical waveguide is as follows.
This was confirmed by the same method as in Example 1.
【００２７】実施例３ ヨウ化カドミウムCdI2を1.0x10-4モル、ポリメチルメタ
クリレート 0.5ｇを均一に溶解させたジメチルホルムア
ミド溶液 3.5mlを直径70mmのガラスシャーレに展開す
る。これを真空デシケーターにいれ、１Torrの減圧下室
温で一日放置することにより、溶媒を除去し、前駆体有
機ポリマーフィルムを得る。このフィルムの膜厚は80μ
ｍであった。窒素シールされたドライボックス中で、ジ
メチルホルムアミドにセレン化水素ナトリウム及びブチ
ラール樹脂を溶かした溶液を反応性物質含有樹脂溶液と
して用い、この前駆体有機ポリマーフィルムに、塗布に
より直線状にパターンを形成した。これを窒素シールド
ライボックス中に８時間放置し、チャンネル形導波路を
得た。生成したセレン化カドミウム半導体超微粒子によ
る可視・紫外吸収スペクトルならびに電子顕微鏡観察写
真により、プリントによる半導体超微粒子の選択的部分
への分散化が達成されていることを確認した。Example 3 A dimethylformamide solution (3.5 ml) in which cadmium iodide (CdI 2) (1.0 × 10 −4 mol) and polymethyl methacrylate (0.5 g) were uniformly dissolved was spread on a glass dish having a diameter of 70 mm. This is placed in a vacuum desiccator and left for 1 day at room temperature under a reduced pressure of 1 Torr to remove the solvent and obtain a precursor organic polymer film. The thickness of this film is 80μ
m. In a dry box sealed with nitrogen, a solution prepared by dissolving sodium hydrogen selenide and butyral resin in dimethylformamide was used as a reactive substance-containing resin solution, and a linear pattern was formed on the precursor organic polymer film by coating. . This was left in a nitrogen sealed dry box for 8 hours to obtain a channel type waveguide. The visible / ultraviolet absorption spectrum of the generated ultrafine cadmium selenide semiconductor particles and an electron microscopic observation photograph confirmed that the dispersion of the ultrafine semiconductor particles was selectively achieved by printing.
【００２８】[0028]
【発明の効果】有機ポリマー光導波路は、加工性がよい
ことや取扱い易さの点から汎用性が高いことが期待され
ているが、本発明は新規な方法でありながら、きわめて
簡便かつ有効な導波路製造方法を提供するものである。
本発明の方法で作製された光導波路は、単に導波路とし
ての役割だけではなく、非線形光学性能を有する場合
は、光スイッチなどにその有用性は更に高いものにな
る。また、ポーリングポリマー導波路のように経時変化
に伴う分極の解消による導波路の消失という難点も克服
されるという効果がある。さらに、本発明はパターン形
成に塗布やスクリーニング印刷などのプリント手法を用
いるので、光導波回路形成の多様性が著しく拡大すると
いう効果が得られる。本発明は光回路の特性改善等に大
きく貢献するものであり、産業上重大な意義を有する。The organic polymer optical waveguide is expected to have high versatility in terms of good workability and ease of handling. However, the present invention is a novel method, but extremely simple and effective. A method of manufacturing a waveguide is provided.
When the optical waveguide manufactured by the method of the present invention has not only a role as a waveguide but also non-linear optical performance, its usefulness as an optical switch becomes higher. Further, there is an effect that the difficulty of disappearance of the waveguide due to the elimination of polarization due to aging as in a poling polymer waveguide can be overcome. Further, since the present invention uses a printing method such as coating or screening printing for pattern formation, the effect of significantly increasing the variety of optical waveguide circuit formation can be obtained. The present invention greatly contributes to the improvement of the characteristics of an optical circuit and the like, and has significant industrial significance.
【図１】第１図は本発明による光導波路の製造方法を説
明する図である。 ａ）は前駆体有機ポリマー ｂ）はパターン化した前駆体有機ポリマー ｃ）は製造された光導波路 を示す図である。FIG. 1 is a diagram for explaining a method of manufacturing an optical waveguide according to the present invention. a) is a precursor organic polymer, b) is a patterned precursor organic polymer, and c) is a diagram showing a manufactured optical waveguide.
１‥‥前駆体有機ポリマー、２‥‥反応性物質含有樹脂
溶液による導波路形成用パターン、３‥‥半導体超微粒
子分散部分：光導波部（高屈折率部分）、４‥‥低屈折
率部分。1) Precursor organic polymer, 2) Pattern for forming a waveguide with a reactive substance-containing resin solution, 3) Semiconductor ultrafine particle dispersed portion: Optical waveguide portion (high refractive index portion), 4) Low refractive index portion .
Claims (1)
的部分に分散し、その部分の屈折率が周囲より大なるこ
とにより光導波部を形成する光導波路において、半導体
超微粒子の原料となる金属元素化合物を含有した前駆体
有機ポリマーに該金属元素化合物と反応して半導体超微
粒子を生成する反応性物質を反応させることにより半導
体超微粒子を光導波部となる選択的部分に分散させるに
際し、前駆体有機ポリマーに、反応性物質含有樹脂溶液
により導波路形成用パターンをプリントすることを特徴
とする該光導波路の製造方法。A metal as a raw material of a semiconductor ultrafine particle in an optical waveguide forming an optical waveguide portion by dispersing a semiconductor ultrafine particle in a selective portion in an organic polymer and having a refractive index of the portion higher than that of the surrounding portion. In dispersing the semiconductor ultrafine particles in a selective portion serving as an optical waveguide portion by reacting a reactive substance which reacts with the metal element compound and generates semiconductor ultrafine particles with the precursor organic polymer containing the element compound, A method for manufacturing an optical waveguide, comprising printing a pattern for forming a waveguide on a body organic polymer using a resin solution containing a reactive substance.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP817391A JP2849483B2 (en) | 1991-01-28 | 1991-01-28 | Manufacturing method of optical waveguide |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP817391A JP2849483B2 (en) | 1991-01-28 | 1991-01-28 | Manufacturing method of optical waveguide |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04250403A JPH04250403A (en) | 1992-09-07 |
| JP2849483B2 true JP2849483B2 (en) | 1999-01-20 |
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Family Applications (1)
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1991
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