JP2846538B2 - Ink jet print head and ink jet printer - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、例えばプリンタ、フ
ァックス、プロッタ、バーコードプリンタ、デジタルコ
ピー等に用いられるインクジェットプリントヘッド、及
びインクジェットプリンタ特に、インクを細いノズルか
ら画像信号に応じて噴射させ、紙等の記録媒体に付着さ
せて記録を得るインクジェットプリントヘッド及びイン
クジェットプリンタに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet print head used for, for example, a printer, a facsimile, a plotter, a bar code printer, a digital copy, and the like, and an ink jet printer. The present invention relates to an ink jet print head and an ink jet printer for obtaining a recording by adhering to a recording medium such as paper.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来のインクジェットプリンタには大別
して、コンティニュアス形とオンデマンド形とがあり、
インクは水性と油性が使用される。2. Description of the Related Art Conventional inkjet printers are roughly classified into a continuous type and an on-demand type.
Water-based and oil-based inks are used.

【０００３】コンティニュアス形はノズルから連続的に
インクを射出し、記録に不要なインクは回収再使用する
もので、ヘッドの応答性が高いが、インクの回収機構が
必要で、装置が複雑で高価である。The continuous type is a type in which ink is continuously ejected from nozzles, and ink unnecessary for recording is collected and reused. The responsiveness of the head is high, but an ink collecting mechanism is required and the apparatus is complicated. And expensive.

【０００４】これに対し、オンデマンド形は必要なとき
だけインク射出を行うもので、ヘッドの応答性は低い
が、装置が簡単で安価である。[0004] On the other hand, the on-demand type ejects ink only when necessary. Although the response of the head is low, the apparatus is simple and inexpensive.

【０００５】上記オンデマンド形には、静電力でノズル
からインクを引き出す静電引力形と、圧力室内のインク
を加圧し、ノズルからインクを押し出すインパルスジェ
ットと呼ばれる圧力パルス形とがある。The on-demand type includes an electrostatic attraction type in which ink is drawn out of a nozzle by electrostatic force, and a pressure pulse type called an impulse jet in which ink in a pressure chamber is pressurized and ink is pushed out from a nozzle.

【０００６】この圧力パルス形には圧電形とバブル形と
があり、圧電形は圧電（電気ひずみ）素子によってイン
クを加圧するもので、圧力室を経てインク供給が行われ
る１室形と、圧力室とインク供給室の二つの室を有する
２室形とがある。The pressure pulse type includes a piezoelectric type and a bubble type. The piezoelectric type is a type in which ink is pressurized by a piezoelectric (electrostrictive) element, and a one-chamber type in which ink is supplied through a pressure chamber and a pressure type. There is a two-chamber type having two chambers, a chamber and an ink supply chamber.

【０００７】そして、１室形には平面的な圧力室をもつ
カイザー形と、円筒形の圧力室をもつゾルタン形があ
る。また、２室形にはインクを直接ノズル近くに供給す
るステムメ形がある。The one-chamber type includes a Kaiser type having a planar pressure chamber and a soltan type having a cylindrical pressure chamber. The two-chamber type includes a stem type in which ink is supplied directly to the vicinity of the nozzle.

【０００８】図１２は上記カイザー形の圧電形ヘッドユ
ニットの基本原理図を示すもので、基板１０１の表面に
は、インク供給路１０２、圧力室１０３、ノズル１０４
が連続して形成されている。そして、基板１０１の表面
に振動板１０５を配設し、この振動板１０５の外面に、
圧力室１０３に対向して圧電素子１０６を設け、この圧
電素子１０６の表裏両面間に電圧を印加するように信号
発生源１０７が接続されている。また、上記インク供給
路１０２にはパイプ１０８を介してインク容器１０９が
接続されている。FIG. 12 shows the basic principle of the above-mentioned Kaiser-type piezoelectric head unit. An ink supply path 102, a pressure chamber 103, a nozzle 104 are provided on the surface of a substrate 101.
Are formed continuously. Then, a diaphragm 105 is provided on the surface of the substrate 101, and on the outer surface of the diaphragm 105,
A piezoelectric element 106 is provided so as to face the pressure chamber 103, and a signal source 107 is connected between the front and back surfaces of the piezoelectric element 106 so as to apply a voltage. An ink container 109 is connected to the ink supply path 102 via a pipe 108.

【０００９】上記の構成において、信号発生源１０７か
ら圧電素子１０６に電圧を印加すると、圧電素子１０６
が振動板１０５をたわませ、圧力室１０３内のインク１
１０をノズル１０４からインク滴１１０ａとして記録紙
１１１に射出させて記録する。In the above configuration, when a voltage is applied from the signal source 107 to the piezoelectric element 106, the piezoelectric element 106
Causes the vibration plate 105 to deflect, causing the ink 1 in the pressure chamber 103 to flex.
10 is ejected from the nozzle 104 as an ink droplet 110a onto the recording paper 111 for recording.

【００１０】そして、インク射出後、圧電素子１０６に
対する電圧印加が解除されると、振動板１０５が元の状
態に戻り、射出された分のインクがノズル毛細管力によ
りインク供給路１０２、パイプ１０８を通じてインク容
器１０９から圧力室１０３に補給されるものである。When the voltage application to the piezoelectric element 106 is released after the ink is ejected, the diaphragm 105 returns to the original state, and the ejected ink is supplied through the ink supply path 102 and the pipe 108 by the nozzle capillary force. The ink is supplied from the ink container 109 to the pressure chamber 103.

【００１１】図１３は従来の圧電形ヘッドユニットの振
動板を取外した基板の平面図、図１４は振動板を取付け
た状態の横断面図である。FIG. 13 is a plan view of a substrate of a conventional piezoelectric head unit from which a diaphragm has been removed, and FIG. 14 is a cross-sectional view showing a state where the diaphragm is attached.

【００１２】図１３，図１４において、感光性ガラスを
素材とした基板１２１には、直線状に列設した２列の中
心端部から放射状に並設した多数の圧力室１２２ａ〜１
２２ｎ、この圧力室１２２ａ〜１２２ｎを囲み該圧力室
に連通する共通インク路１２３、この共通インク路１２
３にインクを供給するインク導入口１２４がエッチング
加工により形成されている。そして、各圧力室１２２ａ
〜１２２ｎの直線状の中心端部に板厚方向に貫通してノ
ズル１２５が形成されている。このように、各圧力室１
２２ａ〜１２２ｎを放射状に形成しておくことにより、
単一面積当りのノズル数を増すことができる。Referring to FIGS. 13 and 14, a substrate 121 made of photosensitive glass is provided with a plurality of pressure chambers 122a to 122 radially arranged in parallel from the center ends of two linearly arranged rows.
22n, a common ink path 123 surrounding the pressure chambers 122a to 122n and communicating with the pressure chambers, and a common ink path 12
An ink inlet 124 for supplying ink to No. 3 is formed by etching. And each pressure chamber 122a
A nozzle 125 is formed at the center of the straight center of the nozzles 122 to 122n so as to penetrate in the thickness direction. Thus, each pressure chamber 1
By forming 22a to 122n radially,
The number of nozzles per single area can be increased.

【００１３】振動板１２６は例えば材質がガラスであ
り、基板１２１の圧力室１２２ａ〜１２２ｎ、共通イン
ク１２３、インク導入口１２４の形成面にビス、接着等
で取付けられる。The vibration plate 126 is made of glass, for example, and is attached to the surface of the substrate 121 on which the pressure chambers 122a to 122n, the common ink 123, and the ink introduction port 124 are formed by screws, adhesive, or the like.

【００１４】圧電素子１２７ａ〜１２７ｎは圧力室１２
２ａ〜１２２ｎのそれぞれに対応する振動板１２６の位
置に取付けられている。そして、各圧電素子１２７ａ〜
１２７ｎには信号発生源（図示せず）から信号電圧を印
加するフレキシブルケーブル１２８が接続されている。The piezoelectric elements 127a to 127n are
It is attached to the position of the diaphragm 126 corresponding to each of 2a to 122n. Then, each of the piezoelectric elements 127a-
A flexible cable 128 for applying a signal voltage from a signal generation source (not shown) is connected to 127n.

【００１５】図１５は上記感光性ガラス基板１の加工工
程を示す図であり、まず、感光性ガラス基板１２１の表
面に圧力室形成用のパターンマスク１３２を取付け、こ
のパターンマスク１３２側から露光する（工程１５−
１）。露光後、パターンマスク１３２を取外してエッチ
ング処理して圧力室１２２ａ（〜１２２ｎ）を形成（工
程１５−２）、しかる後、レーザ加工等によりノズル１
２５を形成する（工程１５−３）。FIG. 15 is a view showing a processing step of the photosensitive glass substrate 1. First, a pattern mask 132 for forming a pressure chamber is attached to the surface of the photosensitive glass substrate 121, and exposure is performed from the pattern mask 132 side. (Step 15-
1). After the exposure, the pattern mask 132 is removed and an etching process is performed to form the pressure chambers 122a (to 122n) (Step 15-2).
25 are formed (Step 15-3).

【００１６】そして、感光性基板１２１の圧力室形成面
に振動板１２６を接合し（切工程１５−４）、この振動
板１２６の外面に圧力室１２２ａ〜１２２ｎに対向して
圧電素子１２７ａ〜１２７ｎを取付ける（工程１５−
５）。Then, a vibration plate 126 is bonded to the pressure chamber forming surface of the photosensitive substrate 121 (cutting step 15-4), and the piezoelectric elements 127a to 127n are provided on the outer surface of the vibration plate 126 so as to face the pressure chambers 122a to 122n. (Step 15-
5).

【００１７】図１６は上記の圧電形ヘッドユニットを適
用したインクジェットプリントヘッドを示す横断面図で
あり、金属、剛性の高い樹脂製の基台１２９には、圧電
素子１２７ａ〜１２７ｎに対応する部分に凹部１３０が
形成されており、これ以外の部分で振動板１２６の周縁
部および中央部を接着材１３１で基台１２９に接着固定
している。FIG. 16 is a cross-sectional view showing an ink-jet print head to which the above-mentioned piezoelectric head unit is applied. A base 129 made of metal or resin having high rigidity has a portion corresponding to the piezoelectric elements 127a to 127n. A concave portion 130 is formed, and a peripheral portion and a central portion of the diaphragm 126 are bonded and fixed to the base 129 with an adhesive 131 at other portions.

【００１８】次に作用について説明する。信号電圧が印
加された圧電素子のひずみによって該圧電素子に対応す
る部分の振動板１２６が変形し、この変形によって圧力
室の体積を変化させてノズル１２５からインクを噴出さ
せる。この場合、ノズル１２５に対応する振動板１２６
の位置を支持部としての基台１２９の突起１２９ａで支
えているので、変形した圧電素子に隣接する圧電素子の
振動板部を不必要にたわませることがない。Next, the operation will be described. Due to the distortion of the piezoelectric element to which the signal voltage is applied, the diaphragm 126 corresponding to the piezoelectric element is deformed, and the deformation changes the volume of the pressure chamber to eject ink from the nozzle 125. In this case, rotation plate 126 oscillation that corresponds to the nozzle 125
Is supported by the protrusion 129a of the base 129 as a support portion, so that the vibrating plate portion of the piezoelectric element adjacent to the deformed piezoelectric element does not needlessly bend.

【００１９】そして、インク射出後、振動板１２６が元
の状態に戻ると、射出された分のインクがインク導入口
１２４、共通インク路１２３を介して圧力室に補給され
る。When the diaphragm 126 returns to the original state after the ink is ejected, the ejected ink is supplied to the pressure chamber via the ink inlet 124 and the common ink path 123.

【００２０】[0020]

【発明が解決しようとする課題】従来のインクジェット
プリントヘッドは、以上のように構成されているので、
複数のノズルに高密度に形成され、各圧力室からノズル
のインク吐出口に至る流路がきわめて狭く、かつ、長い
ためインク流路抵抗が大きい。このため、インク滴吐出
が不安定となり、印字品位が低下する。Since the conventional ink jet print head is configured as described above,
It is formed in a plurality of nozzles at high density, and the flow path from each pressure chamber to the ink discharge port of the nozzle is extremely narrow and long, so that the ink flow path resistance is large. For this reason, the ink droplet ejection becomes unstable, and the print quality deteriorates.

【００２１】そこで、基板１２１を薄くすることが考え
られるが、基板１２１を薄くすると圧電素子の振動を受
けやすい。また、圧電素子１２７ａ〜１２７ｎに印加す
る駆動電圧を高くすることも考えられるが、この場合は
圧電素子の振動減衰に時間がかかり、いずれの場合も応
答性が悪く、精度のよい高速印字が困難であるという問
題点があった。Therefore, it is conceivable to make the substrate 121 thinner. However, when the substrate 121 is made thinner, the piezoelectric element is susceptible to vibration. It is also conceivable to increase the drive voltage applied to the piezoelectric elements 127a to 127n. In this case, however, it takes time to attenuate the vibration of the piezoelectric elements, and in any case, the response is poor, and it is difficult to perform high-speed printing with high accuracy. There was a problem that it is.

【００２２】この発明は上記のような問題点を解消する
ことを課題になされたもので、インクの流路抵抗を小さ
くして、基板を薄くしたり、圧電素子に印加する駆動電
圧を高くすることなく、精度のよい高速印字を実現する
ことのできるインクジェットプリントヘッド及びインク
ジェットプリンタを得ることを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and it is intended to reduce the flow path resistance of ink to make the substrate thinner or to increase the driving voltage applied to the piezoelectric element. An object of the present invention is to provide an ink jet print head and an ink jet printer capable of realizing high-speed printing with high accuracy.

【００２３】[0023]

【課題を解決するための手段】この発明に係るインクジ
ェットプリントヘッドは、直線状に列設した２列の中心
端部から放射状に外周に向って拡幅して並設した複数の
圧力室と、この各圧力室を囲み該圧力室に連通する共通
インク路と、この共通インク路にインクを供給するイン
ク導入口とを形成した基板と、前記各圧力室の二列の前
記中心端部に連通するように形成された複数のノズル
と、前記基板の圧力室形成面に取付けた振動板と、前記
圧力室に対向する振動板の外面にそれぞれ取付けた圧電
素子とを有する圧電形ヘッドユニットを基台に組付けた
インクジェットプリントヘッドにおいて、請求項１のよ
うに前記ノズル部は、流路抵抗を軽減するために断面積
を拡大した圧力室流路と、この圧力室流路の底面から前
記基板を貫通して形成される微小ノズルとを含み、前記
圧力室流路は、前記ノズルに比べ長い流路を有すること
を特徴とする。或いは請求項２のように前記ノズル部
は、流路抵抗を軽減するために断面積を拡大した圧力室
流路と、前記基板の裏へ貫通した前記圧力室流路に合致
するように、ノズル形成板を前記基板裏面に取付けるこ
とで形成された微小ノズルとを含み、前記圧力室流路
は、前記ノズルに比べ長い流路を有する。 According to the present invention, there is provided an ink jet print head comprising a plurality of pressure chambers which are arranged side by side from the center ends of two rows arranged in a straight line radially toward the outer periphery. A substrate having a common ink path surrounding each pressure chamber and communicating with the pressure chamber, an ink inlet for supplying ink to the common ink path is formed, and the central ends of the two rows of the pressure chambers communicate with each other. A piezoelectric head unit having a plurality of nozzles formed as described above, a diaphragm attached to a pressure chamber forming surface of the substrate, and a piezoelectric element attached to an outer surface of the diaphragm facing the pressure chamber, respectively. In the ink jet print head assembled in (1), the nozzle portion has a cross-sectional area in order to reduce flow path resistance.
A pressure chamber channel, and a micro nozzle formed through the substrate from the bottom of the pressure chamber channel ,
The pressure chamber flow path has a longer flow path than the nozzle
It is characterized by. Alternatively, as in claim 2, the nozzle portion
Is a pressure chamber with an enlarged cross-sectional area to reduce flow path resistance
And the flow path, if matches the labels on to the pressure chamber the flow path that penetrates to the back of the substrate, mounting the nozzle forming plate to the substrate backside Turkey
And the pressure chamber flow path
Has a longer flow path than the nozzle.

【００２４】又、請求項３或いは請求項４に係るインク
ジェットプリンタは、請求項１或いは請求項２のインク
ジェットプリントヘッドをキャリッジに内蔵し、これを
記録紙の行方向に往復移動させるようにしたものであ
る。According to a third aspect of the present invention, there is provided an ink jet printer in which the ink jet print head according to the first or second aspect is built in a carriage and is reciprocated in the row direction of the recording paper. It is.

【００２５】[0025]

【作用】この発明におけるインクジェットプリントヘッ
ドは、前記圧力室流路の断面積を拡大して、この圧力室
流路の底面から前記基板を貫通して前記ノズルを形成
し、或いは前記圧力室流路を基板の裏へ貫通させ、この
貫通流路にノズルが合致するようにノズル形成板を前記
基板裏面に取付けたことにより、圧力室からノズルのイ
ンク吐出口に至るインクの流路抵抗を小さくでき、イン
ク吐出口からのインク吐出速度及び応答性が向上し、精
度のよい高速印字を実現することができる。According to the ink jet print head of the present invention, the nozzle is formed by enlarging the cross-sectional area of the pressure chamber flow path and penetrating the substrate from the bottom surface of the pressure chamber flow path. the Ki圧 force chamber channel are passed through to the back of the substrate, by attaching the nozzle forming plate to the substrate backside as a nozzle in the through passage are met, the ink extending from the pressure chamber to the ink discharge port of the nozzle The flow path resistance can be reduced, the ink ejection speed from the ink ejection port and the responsiveness can be improved, and accurate high-speed printing can be realized.

【００２６】[0026]

【実施例】【Example】

実施例１．以下、この発明の実施例を図面について説明
する。図１は圧電形ヘッドユニットの振動板を取外した
基板の平面図、図２はその振動板を取付けた状態の図１
のＡ−Ａ線に沿う横断面図である。Embodiment 1 FIG. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of a substrate from which a diaphragm of a piezoelectric head unit is removed, and FIG.
FIG. 3 is a transverse sectional view taken along line AA of FIG.

【００２７】図１、図２において、感光性ガラスを素材
とした基板１には、直線状の中心端部から放射状に外周
に向って拡幅して並設した多数の圧力室２ａ〜２ｎ、こ
の圧力室２ａ〜２ｎを囲み該圧力室に連通する共通イン
ク路３、この共通インク路３にインクを供給するインク
導入口４がエッチング加工により形成されている。そし
て、各圧力室２ａ〜２ｎの中心端部近傍の高密度狭幅圧
力室流路６の断面積を拡大して、この深流路６の底面か
ら基板１を貫通してノズル５が形成されている。In FIG. 1 and FIG. 2, on a substrate 1 made of photosensitive glass, there are provided a large number of pressure chambers 2a to 2n which are arranged side by side from the center end of a straight line radially toward the outer periphery. A common ink path 3 surrounding the pressure chambers 2a to 2n and communicating with the pressure chambers, and an ink inlet 4 for supplying ink to the common ink path 3 are formed by etching. Then, the cross-sectional area of the high-density narrow-pressure chamber flow path 6 near the center end of each of the pressure chambers 2a to 2n is enlarged , and the nozzle 5 is formed through the substrate 1 from the bottom surface of the deep flow path 6. ing.

【００２８】図３は上記基板１の加工工程を示す図であ
り、まず、感光性ガラス基板１の裏面にノズル形成用の
パターンマスク７を取付け、このパターンマスク７側か
ら露光を施こす（工程３−１）。露光後、パターンマス
ク７を取外してエッチング処理を施してノズル５を形成
し（工程３−２）、このノズル５にエッチング液が入ら
ないようにワックス８を充填する（工程３−３）。FIG. 3 is a view showing a processing step of the substrate 1. First, a pattern mask 7 for forming a nozzle is attached to the back surface of the photosensitive glass substrate 1, and exposure is performed from the pattern mask 7 side (step). 3-1). After the exposure, the pattern mask 7 is removed and an etching process is performed to form a nozzle 5 (step 3-2), and the nozzle 5 is filled with a wax 8 so that the etchant does not enter (step 3-3).

【００２９】次いで、上記感光性ガラス基板１の表面に
深穴形成用のパターンマスク９を取付け、このパターン
マスク９側から露光を施し（工程３−４）、しかる後、
パターンマスク９を取外してエッチング処理を施し、ノ
ズル５に対応する感光性ガラス基板１の表面に深穴６と
なる凹部を形成する（工程３−５）。Next, a pattern mask 9 for forming a deep hole is attached to the surface of the photosensitive glass substrate 1, and exposure is performed from the pattern mask 9 side (step 3-4).
The pattern mask 9 is removed and an etching process is performed to form a concave portion that becomes the deep hole 6 on the surface of the photosensitive glass substrate 1 corresponding to the nozzle 5 (Step 3-5).

【００３０】そして、この凹部形成後、感光性ガラス基
板１に圧力室形成用のパターンマスク１０を取付け、こ
のパターンマスク１０側から露光する（工程３−６）。
露光後、パターンマスク１０を取外してエッチングする
と、感光性ガラス基板１の表面が更にエッチングされ、
上記工程３−５で形成された深穴６の底面が上記工程３
−２で形成されたノズル５に連通する（工程３−７）。After the formation of the concave portion, a pattern mask 10 for forming a pressure chamber is attached to the photosensitive glass substrate 1, and exposure is performed from the pattern mask 10 side (step 3-6).
After the exposure, when the pattern mask 10 is removed and etched, the surface of the photosensitive glass substrate 1 is further etched,
The bottom surface of the deep hole 6 formed in the step 3-5 is the same as that in the step 3-5.
The nozzle 5 communicates with the nozzle 5 formed in step -2 (step 3-7).

【００３１】しかる後、ノズルに充填したワックス８を
取外し（工程３−８）、基板１の圧力室形成面に振動板
１８を接合し（工程３−９）、この振動板１８の外面に
圧力室に対向して圧電素子１９ａ〜１９ｎを取付ける
（工程３−１０）。Thereafter, the wax 8 filled in the nozzle is removed (step 3-8), and the vibration plate 18 is joined to the pressure chamber forming surface of the substrate 1 (step 3-9). The piezoelectric elements 19a to 19n are mounted facing the chamber (step 3-10).

【００３２】 インク流路抵抗Ｒ（Ｎ・Ｓ／ｍ⁵ ）は、 Ｒ＝２×ｐ×ＬＵ² ／Ｓ³ ・・・・（１） ここで、ｐは粘度（Ｎ・Ｓ／ｍ ² ）、Ｌは流路長さ（ｍ） Ｕは流路断面周縁長さ（ｍ） Ｓは流路断面（ｍ² ） で算出することができる。The ink flow path resistance R (N · S / m ⁵ ) is as follows: R = 2 × p × LU ² / S ³ (1) where p is viscosity (N · S / m ² ) , L is the flow path length (m) U is the flow path cross section peripheral length (m) S is the flow path cross section (m ² )

【００３３】そこで、基板１の一部を拡大して、図１７
（ａ）の平面図、図１７（ｂ）の縦断面図に示すよう
に、ノズル１２５を出口寸法φ４０μ、流路長さ０．４
３ｍｍとした従来例と、図１８（ａ）の平面図、図１８
（ｂ）の縦断面図に示すように、ノズル形成位置から長
さ１．０ｍｍの領域の圧力室に流路長さ０．３８ｍｍの
深流路６を形成し、厚さ０．０５ｍｍの穴底にノズル５
（出口寸法φ４０μ）を形成した本実施例について、圧
力室の幅０．８ｍｍ、圧力室からノズルまでの距離を
６．５ｍｍとし、この距離範囲を幅０．８ｍｍから０．
１ｍｍの先細り傾斜の圧力室２ａ〜２ｎとして、それぞ
れ上記（１）式により流路抵抗Ｒ（Ｎ・Ｓ／ｍ⁵ ）を算
出すると、表１に示すように、従来例に対し実施例１で
は、ノズル部の流路抵抗Ｒは約４０％の減少が見られ、
全体の流路抵抗Ｒはほぼ５０％減少している。Therefore, a part of the substrate 1 is enlarged and shown in FIG.
As shown in the plan view of FIG. 17A and the vertical sectional view of FIG.
FIG. 18 (a) is a plan view of a conventional example of 3 mm, and FIG.
As shown in the vertical cross-sectional view of (b), a deep channel 6 having a channel length of 0.38 mm is formed in a pressure chamber having a length of 1.0 mm from a nozzle forming position, and a hole having a thickness of 0.05 mm is formed. Nozzle 5 at the bottom
In the present embodiment in which the (outlet size φ40 μ) is formed, the width of the pressure chamber is 0.8 mm, the distance from the pressure chamber to the nozzle is 6.5 mm, and this distance range is from 0.8 mm to 0.
When the flow path resistance R (N · S / m ⁵ ) is calculated by the above equation (1) for each of the pressure chambers 2a to 2n having a taper of 1 mm, as shown in Table 1, in the first embodiment, as compared with the conventional example, , The flow path resistance R of the nozzle portion is reduced by about 40%,
The overall flow path resistance R is reduced by almost 50%.

【００３４】 表１ 従来例 実施例１ 圧力室→ノズル ３．２×１０¹¹ １．７３×１０¹¹ ノズル ３．７×１０¹² １．１９×１０¹² 全 体 ４．０×１０¹² １．３７×１０¹² 実施例２．図４はこの発明の実施例２を示す圧電形ヘッ
ドユニットの振動板を取外した基板の平面図、図５はそ
の振動板を取付けた状態の図４のＢ−Ｂ線の沿う横断面
図でる。本実施例２も前記実施例１と同様に、感光性ガ
ラスを素材とした基板１には、直線状の中心端部から放
射状に外周に向って拡幅して並設した多数の圧力室２ａ
〜２ｎ、この圧力室２ａ〜２ｎを囲み該圧力室に連通す
る共通インク路３、この共通インク路３にインクを供給
するインク導入口４がエッチング加工により形成されて
いる。そして、各圧力室２ａ〜２ｎの中心端部近傍の高
密度狭幅圧力室流路１１を基板１の裏へ貫通させ、この
貫通流路１１にノズル５を合致させてノズル形成板１２
を基板１の裏面に取付けたものである。Table 1 Conventional Example Example 1 Pressure chamber → Nozzle 3.2 × 10 ¹¹ 1.73 × 10 ¹¹ Nozzle 3.7 × 10 ¹² 1.19 × 10 ¹² Total 4.0 × 10 ¹² 1.37 × 10 ¹² Example 2 FIG. 4 is a plan view of a substrate from which a diaphragm of a piezoelectric head unit according to a second embodiment of the present invention is removed, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line BB of FIG. 4 with the diaphragm attached. . In the second embodiment, similarly to the first embodiment, a large number of pressure chambers 2a are arranged on a substrate 1 made of a photosensitive glass, the width of the pressure chambers 2a being widened radially from the straight center end toward the outer periphery.
2n, a common ink path 3 surrounding the pressure chambers 2a to 2n and communicating with the pressure chambers, and an ink inlet 4 for supplying ink to the common ink path 3 are formed by etching. Then, a high-density narrow pressure chamber flow path 11 near the center end of each of the pressure chambers 2a to 2n is made to penetrate to the back of the substrate 1, and the nozzle 5 is matched with the penetration flow path 11 so that the nozzle forming plate 12
Is attached to the back surface of the substrate 1.

【００３５】図６は本実施例２における基板１の加工工
程を示す図であり、まず、感光性ガラス基板１の表面に
パターンマスク１３を取付け、このパターンマスク１３
側から露光を施し（工程６−１）、しかる後、パターン
マスク１３を取外してエッチング処理を施こすと、その
露光部がエッチングされて、凹部が形成される（工程６
−２）。FIG. 6 is a view showing a processing step of the substrate 1 in the present embodiment 2. First, a pattern mask 13 is attached to the surface of the photosensitive glass substrate 1 and the pattern mask 13 is formed.
Exposure is performed from the side (Step 6-1). Thereafter, when the pattern mask 13 is removed and subjected to an etching process, the exposed portion is etched to form a concave portion (Step 6).
-2).

【００３６】次に、上記感光性ガラス基板１の凹部形成
面に圧力室形成用のパターンマスク１４を取付け、この
パターンマスク１４側から露光する（工程６−３）。露
光後、パターンマスク１４を取外してエッチングする
と、感光性ガラス基板１の表面が更にエッチングされ、
上記工程６−２で形成された凹部が感光性ガラス基板１
の裏面に貫通して貫通流路１１が形成される（工程６−
４）。Next, a pattern mask 14 for forming a pressure chamber is attached to the concave portion forming surface of the photosensitive glass substrate 1, and exposure is performed from the pattern mask 14 side (step 6-3). After the exposure, when the pattern mask 14 is removed and etched, the surface of the photosensitive glass substrate 1 is further etched,
The concave portion formed in the above step 6-2 is the photosensitive glass substrate 1
Is formed to penetrate the back surface of Step 6.
4).

【００３７】しかる後、感光性ガラス基板１の裏面に、
ノズル５を上記貫通流路１１に合致させるようにノズル
形成体１２を取付け（工程６−５）、基板１の圧力室形
成面に振動板１８を接合し（工程６−６）、この振動板
１８の外面に圧力室に対向して圧電素子１９ａ〜１９ｎ
を取付ける（工程６−７）。Thereafter, on the back surface of the photosensitive glass substrate 1,
The nozzle forming body 12 is attached so that the nozzle 5 matches the through-flow channel 11 (Step 6-5), and the diaphragm 18 is joined to the pressure chamber forming surface of the substrate 1 (Step 6-6). Piezoelectric elements 19a to 19n facing the pressure chamber
(Step 6-7).

【００３８】図７は上記ノズル形成板１２の形成説明図
である。FIG. 7 is an explanatory diagram of the formation of the nozzle forming plate 12.

【００３９】処理台１５上にマスク１６を載置した後、
その処理台表面にニッケルメッキを何層にも繰り返して
施こし、ニッケル層を形成した後、このニッケル層を処
理台１５から取外して、電鍍品としてのメッキ板を得
る。After placing the mask 16 on the processing table 15,
After repeatedly applying nickel plating to the surface of the processing table in several layers to form a nickel layer, the nickel layer is removed from the processing table 15 to obtain a plated plate as an electroplating product.

【００４０】そして、マスク１６をメッキ板から取外す
ことにより、メッキ板にノズル５を形成することができ
るもので、このメッキ板をノズル形成板１２として用い
る。このノズル５はマスク１６の厚みによって、図８に
示すようにメッキ板外面より１段低く形成される。従っ
て、メッキ板を作成後、その表面のバリ１７を除去して
仕上げ研摩するときに、ノズル５に周辺に亀裂を生じさ
せる等の悪影響を与えることがない。The nozzles 5 can be formed on the plated plate by removing the mask 16 from the plated plate. This plated plate is used as the nozzle forming plate 12. The nozzle 5 is formed one step lower than the outer surface of the plating plate as shown in FIG. Therefore, when the plated plate is prepared and the finish 17 is removed and the burr 17 on the surface is removed and the finish polishing is performed, there is no adverse effect such as generation of a crack in the periphery of the nozzle 5.

【００４１】そこで、前記図１７（ａ），（ｂ）に示す
従来例に対し、図１９（ａ）の平面図、図１９（ｂ）の
縦断面図に示すように、ノズル形成位置から長さ１．０
ｍｍの領域の圧力室に流路長さ０．４３ｍｍの貫通流路
１１を形成し、この貫通流路１１に対向する出口寸法φ
４０μのノズルを形成した厚さ１．０ｍｍのノズル形成
体１２を取付けた実施例２について、圧力室の幅０．８
ｍｍ、圧力室からノズルまでの距離を約６．５ｍｍと
し、この距離範囲を幅０．８から０．１ｍｍの先細り傾
斜の圧力室２ａ〜２ｎとし、それぞれ前記の（１）式に
より流路抵抗Ｒ（Ｎ・Ｓ／ｍ⁵ ）を算出すると、表２に
示すように、従来例に対し実施例２では、ノズル部の流
路抵抗Ｒは約４０％の減少が見られ、全体の流路抵抗Ｒ
はほぼ５０％減少している。Therefore, as compared with the conventional example shown in FIGS. 17A and 17B, as shown in the plan view of FIG. 19A and the longitudinal sectional view of FIG. 1.0
In the pressure chamber in the region of mm, a through channel 11 having a channel length of 0.43 mm is formed, and an outlet dimension φ facing the through channel 11 is formed.
In Example 2, in which a nozzle forming body 12 having a thickness of 1.0 mm and having a nozzle of 40 μm was mounted, the width of the pressure chamber was 0.8
mm, the distance from the pressure chamber to the nozzle is about 6.5 mm, and the distance range is tapered pressure chambers 2a to 2n having a width of 0.8 to 0.1 mm. When R (N · S / m ⁵ ) was calculated, as shown in Table 2, in Example 2, the flow path resistance R of the nozzle portion was reduced by about 40% as compared with the conventional example, and the entire flow path resistance was reduced. Resistance R
Has been reduced by almost 50%.

【００４２】 表２ 従来例 実施例２ 圧力室→ノズル ３．２×１０¹¹ １．６９×１０¹¹ ノズル ３．７×１０¹² ２．３９×１０¹² 全 体 ４．０×１０¹² ２．５６×１０¹² 実施例３．図９，１０，１１には本発明に係るインクジ
ェットプリンタの全体的な構造が示されており、前述し
たインクジェットプリントヘッドが内蔵されている。Table 2 Conventional Example Example 2 Pressure Chamber → Nozzle 3.2 × 10 ¹¹ 1.69 × 10 ¹¹ Nozzle 3.7 × 10 ¹² 2.39 × 10 ¹² Total 4.0 × 10 ¹² 2.56 × 10 ¹² Example 3 FIGS. 9, 10, and 11 show the overall structure of an ink jet printer according to the present invention, in which the above-described ink jet print head is built.

【００４３】各図において、インクジェットプリンタは
ファクシミリ、プロッタあるいはバーコードプリンタと
して小型薄型とするためにフラットプラテン２０を含
み、図示していない記録紙は図１１の矢印Ａで示される
ようにフラットプラテン２０に向かって送り込まれる。
記録紙の送りを正しく行うため、フラットプラテン２０
の前後にはそれぞれフィードローラ２１，２２が設けら
れ、それぞれ対向するアイドルローラ２３，２４との間
に記録紙を挟んで所定量の送り作用を行うことができ
る。In each of the figures, the ink jet printer includes a flat platen 20 for making it small and thin as a facsimile, plotter or bar code printer, and the recording paper not shown is a flat platen 20 as shown by an arrow A in FIG. It is sent toward.
In order to feed the recording paper correctly, the flat platen 20
Are provided before and after, respectively, so that a predetermined amount of feeding action can be performed with the recording paper sandwiched between the idle rollers 23 and 24 facing each other.

【００４４】フラットプラテン２０の上方には一対のキ
ャリッジガイド２５，２６が設けられており、このキャ
リッジガイド２５，２６にキャリッジ２７が記録紙の行
方向に往復動移動可能に支持されている。このキャリッ
ジ２７には詳細には図示していないが、ステッピングモ
ータその他の駆動力によって記録紙に対して行方向の任
意位置に移動できるよう駆動系が接続されている。従っ
て、キャリッジ２７は図の矢印ＢＣで示される方向に往
復移動することができる。A pair of carriage guides 25 and 26 are provided above the flat platen 20, and a carriage 27 is supported by the carriage guides 25 and 26 so as to be able to reciprocate in the recording paper row direction. Although not shown in detail, a drive system is connected to the carriage 27 so as to be able to move to an arbitrary position in the row direction with respect to the recording paper by a stepping motor or other driving force. Therefore, the carriage 27 can reciprocate in the direction indicated by the arrow BC in the figure.

【００４５】前記キャリッジ２７には前述した図１〜図
８に示されるインクジェットプリントヘッドが内蔵され
ており、前述した一列のノズル６がフラットプラテン２
０の上に導かれた記録紙に向かって対向配置されてい
る。The carriage 27 has a built-in ink jet print head as shown in FIGS. 1 to 8 described above.
The recording paper is disposed so as to face the recording paper guided above zero.

【００４６】前記キャリッジ２７に内蔵されているイン
クジェットプリントヘッドにインクを供給するため、前
記フラットプラテン２０の下方にはインクカートリッジ
２８が設けられており、インクカートリッジ２８から前
記プリントヘッド１０の導入口５に向かって必要なイン
ク供給が例えば可撓性のあるチューブを通じて行われ
る。An ink cartridge 28 is provided below the flat platen 20 to supply ink to the ink jet print head built in the carriage 27. The necessary supply of ink is performed, for example, through a flexible tube.

【００４７】また、インクジェットプリントヘッドのノ
ズルが非使用時にインク固化を起こさないように、装置
にはクリーニングユニット２９が設けられており、非プ
リント時にはキャリッジ２７がインクジェットプリント
ヘッドをクリーニングユニット２９に向かって退避させ
ている。The apparatus is provided with a cleaning unit 29 so that the nozzles of the ink jet print head do not solidify the ink when not in use. The carriage 27 moves the ink jet print head toward the cleaning unit 29 during non-printing. Have been evacuated.

【００４８】前述したペーパ送り及びクリーニングユニ
ット２９に所望の駆動力を与えるため、図９に示される
ように、インクジェットプリンタにはフィードモータ３
０が設けられ、また前述したキャリッジ２７を駆動する
ためにキャリッジ駆動モータ３１が設けられ、それぞれ
図示していない伝達機構を介してフィードローラ２１，
２２及びキャリッジ２７の駆動が行われている。In order to apply a desired driving force to the above-described paper feeding and cleaning unit 29, as shown in FIG.
0, and a carriage drive motor 31 for driving the above-mentioned carriage 27 is provided.
The drive of the carriage 22 and the carriage 27 is performed.

【００４９】[0049]

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、前記
圧力室流路の断面積を拡大して、この深流路の底面から
前記基板を貫通して前記ノズルを形成し、或いは前記圧
力室流路を基板の裏へ貫通させ、この貫通流路にノズル
が合致するようにノズル形成板を前記基板裏面に取付け
たことにより、圧力室からノズルのインク吐出口に至る
インク流路抵抗を小さくでき、インク吐出口からのイン
ク吐出口速度及び応答性が向上し、精度のよい高速印字
を実現することができるという効果が得られる。As described above , according to the present invention,
An enlarged cross-sectional area of the pressure chamber channel, from the bottom of the deep channel through said substrate to form said nozzle, or before Ki圧 <br/> force chamber channel are passed through to the back of the substrate By mounting the nozzle forming plate on the back surface of the substrate so that the nozzles coincide with the through flow paths, the resistance of the ink flow paths from the pressure chambers to the ink discharge ports of the nozzles can be reduced, and ink discharge from the ink discharge ports can be reduced. The exit speed and the responsiveness are improved, and an effect that accurate high-speed printing can be realized is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】図１は実施例１の振動板を取外した圧電形ヘッ
ドユニットの平面図である。FIG. 1 is a plan view of a piezoelectric head unit from which a diaphragm according to a first embodiment has been removed.

【図２】図２は振動板を取付けた図１のＡ−Ａ線に沿う
横断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 1 with a diaphragm attached.

【図３】図３は図１の基板の加工工程を示す図である。FIG. 3 is a view showing a processing step of the substrate of FIG. 1;

【図４】図４は実施例２の振動板を取外した圧電形ヘッ
ドユニットの平面図である。FIG. 4 is a plan view of the piezoelectric head unit with the diaphragm of Embodiment 2 removed.

【図５】図５は振動板を取付けた図４のＢ−Ｂ線に沿う
横断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line BB of FIG. 4 with the diaphragm attached.

【図６】図６は図４の基板の加工工程を示す図である。FIG. 6 is a view showing a processing step of the substrate of FIG. 4;

【図７】図７はノズル形成板の形成説明図である。FIG. 7 is an explanatory view of forming a nozzle forming plate.

【図８】図８はそのノズル形成板の縦断面図である。FIG. 8 is a longitudinal sectional view of the nozzle forming plate.

【図９】図２，５に示したこの発明に係るインクジェッ
トプリンタの要部側面図である。FIG. 9 is a side view of a main part of the ink jet printer according to the present invention shown in FIGS.

【図１０】図１０はこの発明に係るプリントヘッドが内
蔵されたインクジェットプリンタの要部平面図である。FIG. 10 is a plan view of a main part of an ink jet printer having a print head according to the present invention.

【図１１】図１１は図１０に示したインクジェットプリ
ンタの要部正面図である。FIG. 11 is a front view of a main part of the ink jet printer shown in FIG. 10;

【図１２】圧電形ヘッドユニットの原理説明図である。FIG. 12 is a diagram illustrating the principle of a piezoelectric head unit.

【図１３】図１２の圧電形ヘッドユニットの振動板を取
外した基板の平面図である。13 is a plan view of a substrate of the piezoelectric head unit of FIG. 12 from which a diaphragm is removed.

【図１４】図１４は振動板を取付けた状態の図１３のＸ
−Ｘ線に沿う横断面図である。FIG. 14 is a view showing a state in which a diaphragm is attached, taken along the line X in FIG. 13;
FIG. 4 is a cross-sectional view along the X-ray.

【図１５】基板の加工工程を示す図である。FIG. 15 is a view showing a processing step of the substrate.

【図１６】図１４の圧電形ヘッドユニットを基台に組付
けた従来のインクジェットプリントヘッドの横断面図で
ある。16 is a cross-sectional view of a conventional inkjet print head in which the piezoelectric head unit of FIG. 14 is assembled on a base.

【図１７】図１７は従来の圧電形ヘッドユニットの各部
の寸法例を示す平面図および縦断面図である。FIG. 17 is a plan view and a longitudinal sectional view showing an example of dimensions of each part of a conventional piezoelectric head unit.

【図１８】図１８は実施例１の圧電形ヘッドユニットの
各部の寸法例を示す平面図および縦断面図である。FIGS. 18A and 18B are a plan view and a longitudinal sectional view illustrating an example of dimensions of each part of the piezoelectric head unit according to the first embodiment.

【図１９】図１９は実施例２の圧電形ヘッドユニットの
各部の寸法例を示す平面図および縦断面図である。FIG. 19 is a plan view and a longitudinal sectional view showing an example of dimensions of each part of the piezoelectric head unit according to the second embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 基板 ２ａ〜２ｎ 圧力室 ３ 共通インク路 ４ インク導入口 ５ ノズル ６ 深流路 １２ ノズル形成板 １７ 振動板 １８ａ〜１８ｎ 圧電素子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2a-2n Pressure chamber 3 Common ink path 4 Ink inlet 5 Nozzle 6 Deep channel 12 Nozzle forming plate 17 Vibration plate 18a-18n Piezoelectric element

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/01 B41J 2/055 B41J 2/175──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. ⁶ , DB name) B41J 2/045 B41J 2/01 B41J 2/055 B41J 2/175

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 直線状に列設した二列の中心端部から放
射状に外周に向って拡幅して並設した複数の圧力室と、
この各圧力室を囲み該圧力室に連通する共通インク路
と、この共通インク路にインクを供給するインク導入口
とを形成した基板と、 前記各圧力室の二列の前記中心端部に連通するように形
成された複数のノズル部と、 前記基板の圧力室形成面に取付けた振動板と、 前記圧力室に対向する振動板の外面にそれぞれ取付けた
圧電素子とを有する圧電形ヘッドユニットを基台に組付
けたインクジェットプリントヘッドにおいて、前記ノズル部は、流路抵抗を軽減するために断面積を拡
大した圧力室流路と、この圧力室 流路の底面から前記基
板を貫通して形成される微小ノズルとを含み、前記圧力
室流路は、前記ノズルに比べ長い流路を有することを特
徴とするインクジェットプリントヘッド。1. A plurality of pressure chambers which are radially widened from a center end of two linearly arranged rows toward an outer periphery and are arranged side by side;
A substrate formed with a common ink path surrounding each of the pressure chambers and communicating with the pressure chambers, and an ink introduction port for supplying ink to the common ink paths, and communicating with the central ends of the two rows of the pressure chambers; a plurality of nozzles formed so as to, a diaphragm attached to the pressure chamber forming surface of the substrate, a piezoelectric type head unit having a piezoelectric element mounted respectively on the outer surface of the vibration plate opposite to the pressure chamber In an ink jet print head mounted on a base, the nozzle section has an enlarged cross-sectional area to reduce flow path resistance.
A pressure chamber flow path, and a fine nozzle formed through the substrate from the bottom surface of the pressure chamber flow path;
The ink jet print head , wherein the chamber flow path has a flow path longer than the nozzle . 【請求項２】 直線状に列設した二列の中心端部から放
射状に外周に向って拡幅並設した複数の圧力室と、この
各圧力室を囲み該圧力室に連通する共通インク路と、こ
の共通インク路にインクを供給するインク導入口とを形
成した基板と、 前記二列の各圧力室の前記中心端部に連通するように形
成された複数のノズル部と、 前記基板の圧力室形成面に取付けた振動板と、 前記圧力室に対向する振動板の外面にそれぞれ取付けた
圧電素子とを有する圧電形ヘッドユニットを基台に組付
けたインクジェットプリントヘッドにおいて、前記ノズル部は、流路抵抗を軽減するために断面積を拡
大した圧力室流路と、前記 基板の裏へ貫通した前記圧力
室流路に合致するように、ノズル形成板を前記基板裏面
に取付けることで形成された微小ノズルとを含み、前記
圧力室流路は、前記ノズルに比べ長い流路を有すること
を特徴とするインクジェットプリントヘッド。2. A plurality of pressure chambers radially widened from the center ends of two rows arranged linearly toward the outer periphery, and a common ink path surrounding each of the pressure chambers and communicating with the pressure chambers. a substrate formed with the ink introduction port for supplying ink to the common ink passage, a plurality of nozzles formed so as to communicate with the central end portions of the pressure chambers of the two rows, the pressure of the substrate In an inkjet print head in which a piezoelectric type head unit having a vibration plate attached to a chamber forming surface and a piezoelectric element attached to an outer surface of the vibration plate facing the pressure chamber is mounted on a base, the nozzle portion includes: Increase cross-sectional area to reduce flow resistance
Large pressure chamber flow path and the pressure penetrating to the back of the substrate
To match the chamber flow path, and a fine nozzle formed by Ru attached a nozzle forming plate to the substrate backside, the
An ink jet print head , wherein the pressure chamber flow path has a flow path longer than the nozzle . 【請求項３】 記録紙を保持するプラテンに対して行方
向に往復移動可能なキャリッジを含み、前記キャリッジ
にはインクジェットプリントヘッドが設けられ、 前記インクジェットプリントヘッドは、 直線状に列設した二列の中心端部から放射状に外周に向
って拡幅して並設した複数の圧力室と、この各圧力室を
囲み該圧力室に連通する共通インク路と、この共通イン
ク路にインクを供給するインク導入口とを形成した基板
と、 前記各圧力室の二列の前記の中心端部に連通するように
形成された複数のノズル部と、 前記基板の圧力室形成面に取付けた振動板と、 前記圧力室に対向する振動板の外面にそれぞれ取付けた
圧電素子とを有する圧電形ヘッドユニットを基台に組付
け、前記ノズル部は、流路抵抗を軽減するために断面積を拡
大した圧力室流路と、この圧力室 流路の底面から前記基
板を貫通して形成される微小ノズルとを含み、前記圧力
室流路は、前記ノズルに比べ長い流路を有することを特
徴とするインクジェットプリンタ。3. A carriage capable of reciprocating in a row direction with respect to a platen for holding recording paper, the carriage being provided with an ink jet print head, wherein the ink jet print heads are arranged in two rows arranged in a straight line. A plurality of pressure chambers which are arranged radially wide from the center end toward the outer circumference, a common ink path surrounding each of the pressure chambers and communicating with the pressure chambers, and ink for supplying ink to the common ink path. a substrate formed with an inlet, wherein a plurality of nozzles formed so as to communicate with the central end portions of the two rows of the pressure chambers, a diaphragm attached to the pressure chamber forming surface of the substrate, A piezoelectric head unit having a piezoelectric element mounted on an outer surface of a diaphragm facing the pressure chamber is mounted on a base, and the nozzle portion has an enlarged cross-sectional area in order to reduce flow path resistance.
A pressure chamber flow path, and a fine nozzle formed through the substrate from the bottom surface of the pressure chamber flow path;
An ink jet printer , wherein the chamber flow path has a flow path longer than the nozzle . 【請求項４】 記録紙を保持するプラテンに対して行方
向に往復移動可能なキャリッジを含む、前記キャリッジ
にはインクジェットプリントヘッドが設けられ、 前記インクジェットプリントヘッドは、 直線状に列設した２列の中心端部から放射状に外周に向
って拡幅して並設した複数の圧力室と、この各圧力室を
囲み該圧力室に連通した共通インク路と、この共通イン
ク路にインクを供給するインク導入口とを形成した基板
と、 前記各圧力室の二列の前記中心端部に連通するように形
成された複数のノズル部と、 前記基板の圧力室形成面に取付けた振動板と、 前記圧力室に対向する振動板の外面にそれぞれ取付けた
圧電素子とを有する圧電形ヘッドユニットを基台に組付
け、前記ノズル部は、流路抵抗を軽減するために断面積を拡
大した圧力室流路と、 前記 基板の裏へ貫通した前記圧力
室流路に合致するように、ノズル形成板を前記基板裏面
に取付けることで形成された微小ノズルとを含み、前記
圧力室流路は、前記ノズルに比べ長い流路を有すること
を特徴とするインクジェットプリンタ。4. A carriage including a carriage reciprocally movable in a row direction with respect to a platen for holding recording paper, the carriage being provided with an ink jet print head, wherein the ink jet print heads are linearly arranged in two rows. A plurality of pressure chambers which are radially widened from the center end toward the outer periphery and are arranged side by side, a common ink path surrounding each of the pressure chambers and communicating with the pressure chambers, and ink for supplying ink to the common ink paths. a substrate formed with an inlet, wherein a plurality of nozzles formed so as to communicate with the central end portions of the two rows of the pressure chambers, a diaphragm attached to the pressure chamber forming surface of the substrate, wherein A piezoelectric type head unit having a piezoelectric element mounted on the outer surface of the diaphragm facing the pressure chamber is mounted on a base, and the nozzle portion has an enlarged cross-sectional area in order to reduce flow path resistance.
And much pressure chamber channel, the pressure passing through the back of the substrate
To match the chamber flow path, and a fine nozzle formed by Ru attached a nozzle forming plate to the substrate backside, the
An ink jet printer , wherein the pressure chamber flow path has a flow path longer than the nozzle .