JP2843471B2 - 真空処理炉における仕切扉の気密構造 - Google Patents
真空処理炉における仕切扉の気密構造Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空処理炉における仕
切扉の気密構造の改良に関する。
切扉の気密構造の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、トンネル型の真空処理炉において
は炉体は複数帯に区画され、被処理物を移動させる過程
で、大気圧下から真空雰囲気内に装入されて、真空雰囲
気から大気圧へと排出されるので、前記炉帯毎に開閉自
在な仕切扉を設けて区画されており、しかも仕切扉と炉
帯端部との接合面は気密構造をもって構成されている
（特開昭６２−１１６８９０号公報）。
は炉体は複数帯に区画され、被処理物を移動させる過程
で、大気圧下から真空雰囲気内に装入されて、真空雰囲
気から大気圧へと排出されるので、前記炉帯毎に開閉自
在な仕切扉を設けて区画されており、しかも仕切扉と炉
帯端部との接合面は気密構造をもって構成されている
（特開昭６２−１１６８９０号公報）。
【０００３】この形式の仕切扉の気密構造としては、仕
切扉と炉帯端との接合面は各帯における負圧によって密
着されることにより気密とされ、各帯における真空度が
維持できるようにされている。
切扉と炉帯端との接合面は各帯における負圧によって密
着されることにより気密とされ、各帯における真空度が
維持できるようにされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この真空処理炉が亜鉛
めっき鋼板屑を真空下にて加熱し、鋼板屑表面の亜鉛を
蒸発させて鋼板屑と亜鉛とに分離させる真空脱亜鉛炉で
ある場合、仕切扉の気密構造内に蒸発亜鉛が侵入して気
密機能を阻害させて仕切扉の開閉を不円滑にさせ、しか
も真空度の維持を低下させて、上記したような脱亜鉛操
作に支障を与える虞れがある。
めっき鋼板屑を真空下にて加熱し、鋼板屑表面の亜鉛を
蒸発させて鋼板屑と亜鉛とに分離させる真空脱亜鉛炉で
ある場合、仕切扉の気密構造内に蒸発亜鉛が侵入して気
密機能を阻害させて仕切扉の開閉を不円滑にさせ、しか
も真空度の維持を低下させて、上記したような脱亜鉛操
作に支障を与える虞れがある。
【０００５】本発明は、上述した従来技術の問題点を解
決するためになされたものであり、仕切扉の周縁部は炉
帯端部における気密構造部と当接されるとともに気体が
噴出されて蒸発亜鉛が拡散侵入されることを回避できて
仕切扉の開閉を円滑にできて、真空度維持の低下を有効
に防止できる真空処理炉における仕切扉の気密構造を提
供することを目的とする。
決するためになされたものであり、仕切扉の周縁部は炉
帯端部における気密構造部と当接されるとともに気体が
噴出されて蒸発亜鉛が拡散侵入されることを回避できて
仕切扉の開閉を円滑にできて、真空度維持の低下を有効
に防止できる真空処理炉における仕切扉の気密構造を提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明では、トンネル型の真空処理炉を複数帯に
区画する開閉自在な仕切扉が遮断室内に配設され、仕切
扉の周縁部は炉帯端部に設けられ気体を噴出させる環状
材を有する気密構造部と当接されることを特徴とするも
のである。
めに、本発明では、トンネル型の真空処理炉を複数帯に
区画する開閉自在な仕切扉が遮断室内に配設され、仕切
扉の周縁部は炉帯端部に設けられ気体を噴出させる環状
材を有する気密構造部と当接されることを特徴とするも
のである。
【０００７】
【作用】このようにすれば、真空処理炉が真空脱亜鉛炉
であって、亜鉛めっき鋼板屑を真空下にて加熱し鋼板屑
表面の亜鉛を蒸発させて鋼板屑と亜鉛とに分離させるに
際し、仕切扉の周縁部は炉帯端部における気密構造部と
当接されるとともに気体が噴出され炉内を指向して導入
されて炉内からの蒸発亜鉛が拡散侵入されることを回避
できて仕切扉の開閉を円滑にできて、所定の真空度を有
効に維持できる。
であって、亜鉛めっき鋼板屑を真空下にて加熱し鋼板屑
表面の亜鉛を蒸発させて鋼板屑と亜鉛とに分離させるに
際し、仕切扉の周縁部は炉帯端部における気密構造部と
当接されるとともに気体が噴出され炉内を指向して導入
されて炉内からの蒸発亜鉛が拡散侵入されることを回避
できて仕切扉の開閉を円滑にできて、所定の真空度を有
効に維持できる。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照にして本発明の実施例につ
いて説明する。
いて説明する。
【０００９】図１は、真空処理炉の全体構成図、図２
は、図１の断面図、図３は、本発明の一実施例を示す仕
切扉の気密構造部の縦断面図、図４は、同気密構造部の
要部拡大水平断面図である。
は、図１の断面図、図３は、本発明の一実施例を示す仕
切扉の気密構造部の縦断面図、図４は、同気密構造部の
要部拡大水平断面図である。
【００１０】図１〜４において、１０はトンネル型の真
空処理炉を示し、例えば真空脱亜鉛炉について説明す
る。この真空処理炉１０は円型断面からなり、亜鉛めっ
き鋼板屑を収容したバスケット３２の移動方向にしたが
い、装入帯１２，装入遮断室１８，脱亜鉛帯１４，排出
遮断室２０，排出帯１６などが長手方向に配設されてい
る。
空処理炉を示し、例えば真空脱亜鉛炉について説明す
る。この真空処理炉１０は円型断面からなり、亜鉛めっ
き鋼板屑を収容したバスケット３２の移動方向にしたが
い、装入帯１２，装入遮断室１８，脱亜鉛帯１４，排出
遮断室２０，排出帯１６などが長手方向に配設されてい
る。
【００１１】上記真空処理炉１０の炉壁７８を貫通して
複数の回転ローラ３４が長手方向に配設されている。回
転ローラ３４の両端は軸受にて軸承されローラ端部には
スプロケット３７を取付けて駆動源３５に接続されて回
転ローラを回転させ、上記バスケット３２を断続的に移
動させている。真空処理炉１０の内部には床部ならびに
両側部に加熱手段４０，４２、例えば発熱体が複数配設
されている。そして、装入帯１２および脱亜鉛帯１４に
おいては、夫々、所定温度の均一な高温雰囲気が保持さ
れる。また、真空処理炉１０の内部は所定の真空度に維
持されており、管路７０を介して真空系統６８に接続さ
れ、７２は排気管路を示す。そして、真空処理炉１０の
下方には導入路４８を介して亜鉛回収室４６が連設さ
れ、前記管路７０の一端は、この亜鉛回収室４６に開口
されて、亜鉛回収室４６の内部も所定の真空度に維持さ
れている。
複数の回転ローラ３４が長手方向に配設されている。回
転ローラ３４の両端は軸受にて軸承されローラ端部には
スプロケット３７を取付けて駆動源３５に接続されて回
転ローラを回転させ、上記バスケット３２を断続的に移
動させている。真空処理炉１０の内部には床部ならびに
両側部に加熱手段４０，４２、例えば発熱体が複数配設
されている。そして、装入帯１２および脱亜鉛帯１４に
おいては、夫々、所定温度の均一な高温雰囲気が保持さ
れる。また、真空処理炉１０の内部は所定の真空度に維
持されており、管路７０を介して真空系統６８に接続さ
れ、７２は排気管路を示す。そして、真空処理炉１０の
下方には導入路４８を介して亜鉛回収室４６が連設さ
れ、前記管路７０の一端は、この亜鉛回収室４６に開口
されて、亜鉛回収室４６の内部も所定の真空度に維持さ
れている。
【００１２】上述したように、真空処理炉１０において
は鋼板屑を収容したバスケット３２は回転ローラ３４の
作動に伴い装入帯１２から装入されて脱亜鉛帯１４を経
て排出帯１６まで断続的に移動して炉１０外に排出され
る。上記移動過程において脱亜鉛帯１４では常時、所定
の真空度に維持されており、装入帯１２においてはバス
ケット３２が装入された時点では内部圧力は大気圧を呈
しているが、装入が完了された時点からは仕切扉２２，
２４が閉鎖されて、真空系統６８の管路７０と連通され
て内部の排気が開始され所定圧力まで真空に減圧され
る。次いで、仕切扉２４ならびに脱亜鉛帯１４の端部の
仕切扉２６が開放さてれ、バスケット３２は脱亜鉛帯１
４内へ移動されると、仕切扉２４，２６が閉鎖されると
ともに管路７０も閉鎖され、装入帯１２に設けた復圧弁
（図示しない）が開放されて装入帯１２の内部は大気圧
に復圧し、仕切扉２２が開放されて次のバスケット３２
が装入されるようになる。そして、排出帯１６において
は装入帯１２における動作と逆作動がなされ、排出帯１
６にバスケット３２が位置されていない場合、すなわ
ち、装入帯１２にバスケット３２が位置されている場合
には仕切扉２８，３０が閉鎖されて、しかも内部は所定
の真空度に減圧されている。
は鋼板屑を収容したバスケット３２は回転ローラ３４の
作動に伴い装入帯１２から装入されて脱亜鉛帯１４を経
て排出帯１６まで断続的に移動して炉１０外に排出され
る。上記移動過程において脱亜鉛帯１４では常時、所定
の真空度に維持されており、装入帯１２においてはバス
ケット３２が装入された時点では内部圧力は大気圧を呈
しているが、装入が完了された時点からは仕切扉２２，
２４が閉鎖されて、真空系統６８の管路７０と連通され
て内部の排気が開始され所定圧力まで真空に減圧され
る。次いで、仕切扉２４ならびに脱亜鉛帯１４の端部の
仕切扉２６が開放さてれ、バスケット３２は脱亜鉛帯１
４内へ移動されると、仕切扉２４，２６が閉鎖されると
ともに管路７０も閉鎖され、装入帯１２に設けた復圧弁
（図示しない）が開放されて装入帯１２の内部は大気圧
に復圧し、仕切扉２２が開放されて次のバスケット３２
が装入されるようになる。そして、排出帯１６において
は装入帯１２における動作と逆作動がなされ、排出帯１
６にバスケット３２が位置されていない場合、すなわ
ち、装入帯１２にバスケット３２が位置されている場合
には仕切扉２８，３０が閉鎖されて、しかも内部は所定
の真空度に減圧されている。
【００１３】そして、バスケット３２は脱亜鉛工程を終
えて排出帯１６内に移動され、引続き、仕切扉２８の閉
鎖および仕切扉３０の開放がなされて、排出帯１２の内
部は大気圧に復圧し、バスケット３２は真空処理炉１０
外に抽出され、次工程へと移動される。
えて排出帯１６内に移動され、引続き、仕切扉２８の閉
鎖および仕切扉３０の開放がなされて、排出帯１２の内
部は大気圧に復圧し、バスケット３２は真空処理炉１０
外に抽出され、次工程へと移動される。
【００１４】上記仕切扉２４，２６は装入遮断室１８内
に、また仕切扉２８は排出遮断室２０内に夫々設置さ
れ、後述される昇降機構を用いて開閉自在に作動され
る。
に、また仕切扉２８は排出遮断室２０内に夫々設置さ
れ、後述される昇降機構を用いて開閉自在に作動され
る。
【００１５】鋼板屑を収容したバスケット３２が脱亜鉛
帯１４内を移動する過程においては、鋼板屑は加熱手段
４０，４２を熱源とする減圧下の高温雰囲気のもとで加
熱され、所定温度まで昇温すると鋼板屑表面の亜鉛は蒸
発し、亜鉛の蒸発分子が生成される。そして、気相内に
移動した亜鉛の蒸発分子は気体とともに脱亜鉛帯１４内
を流動して、導入路４８を通過して亜鉛回収室４６内に
流れ、回収箱５０に衝突して蒸発分子を捕集した後、気
体は管路７０を経て真空系統６８によって排気される。
帯１４内を移動する過程においては、鋼板屑は加熱手段
４０，４２を熱源とする減圧下の高温雰囲気のもとで加
熱され、所定温度まで昇温すると鋼板屑表面の亜鉛は蒸
発し、亜鉛の蒸発分子が生成される。そして、気相内に
移動した亜鉛の蒸発分子は気体とともに脱亜鉛帯１４内
を流動して、導入路４８を通過して亜鉛回収室４６内に
流れ、回収箱５０に衝突して蒸発分子を捕集した後、気
体は管路７０を経て真空系統６８によって排気される。
【００１６】亜鉛回収室４６の内壁面は冷却材が流通さ
れた冷却ジャケットからなる冷却面５２が形成されてい
るので低温雰囲気とされ回収箱５０の表面温度も亜鉛の
融点以下の低温度にされている。上記蒸発分子は回収箱
５０内において凝固を開始し、所要の凝固時間を経過し
て凝固が完結される。
れた冷却ジャケットからなる冷却面５２が形成されてい
るので低温雰囲気とされ回収箱５０の表面温度も亜鉛の
融点以下の低温度にされている。上記蒸発分子は回収箱
５０内において凝固を開始し、所要の凝固時間を経過し
て凝固が完結される。
【００１７】図３において、装入遮断室１８内に設けら
れた仕切扉２４および２６が示され、以下、仕切扉２６
および２８の気密構造について説明する。
れた仕切扉２４および２６が示され、以下、仕切扉２６
および２８の気密構造について説明する。
【００１８】真空処理炉１０の脱亜鉛帯１４の炉壁構造
は、外周に炉殻７７を有し、内側には断熱壁７８が設け
られ、炉内の高温雰囲気に対し充分に断熱させて放散熱
の減少をはかっている。脱亜鉛帯１４の炉端は矩形穴状
に開口されており、バスケット３２の帯内への移動が可
能とされている。８０は、炉帯端部１０３の開口周縁部
における端板である。そして仕切扉２６の内面と上記炉
帯端部１０３の外面との間に真空処理炉１０における真
空度維持のための気密手段が形成されている。
は、外周に炉殻７７を有し、内側には断熱壁７８が設け
られ、炉内の高温雰囲気に対し充分に断熱させて放散熱
の減少をはかっている。脱亜鉛帯１４の炉端は矩形穴状
に開口されており、バスケット３２の帯内への移動が可
能とされている。８０は、炉帯端部１０３の開口周縁部
における端板である。そして仕切扉２６の内面と上記炉
帯端部１０３の外面との間に真空処理炉１０における真
空度維持のための気密手段が形成されている。
【００１９】仕切扉２６の扉本体５０は、炉端開口７９
を閉鎖するようにされ、断熱材などを用いて形成され、
周縁部は冷却材が貫流される冷却箱１０２をもって囲繞
されている。そして、冷却箱１０２には端板８０側面に
当板５４が取付けられ、また、扉本体５０の背面には冷
却材が貫流される冷却ジャケット５６が取付けられて、
仕切扉２６の冷却保護がなされている。さらに、冷却箱
１０２の外側周縁には、Ｌ字状断面からなる案内材５８
が配設されている。
を閉鎖するようにされ、断熱材などを用いて形成され、
周縁部は冷却材が貫流される冷却箱１０２をもって囲繞
されている。そして、冷却箱１０２には端板８０側面に
当板５４が取付けられ、また、扉本体５０の背面には冷
却材が貫流される冷却ジャケット５６が取付けられて、
仕切扉２６の冷却保護がなされている。さらに、冷却箱
１０２の外側周縁には、Ｌ字状断面からなる案内材５８
が配設されている。
【００２０】脱亜鉛帯１４の端部、すなわち、炉端開口
７９の周縁の炉帯端部１０３には端板８０に支持された
気密構造部１０４が前記冷却箱１０２に対向するように
配設されている。
７９の周縁の炉帯端部１０３には端板８０に支持された
気密構造部１０４が前記冷却箱１０２に対向するように
配設されている。
【００２１】気密構造部１０４は、内側環状材１１０お
よび外側環状材１１２が設けられ、夫々の環状材１１
０，１１２の間にある端板８０の一部をなして設けられ
た冷却材が貫流される冷却箱８２の側壁８１によって取
付られている。
よび外側環状材１１２が設けられ、夫々の環状材１１
０，１１２の間にある端板８０の一部をなして設けられ
た冷却材が貫流される冷却箱８２の側壁８１によって取
付られている。
【００２２】そして、側壁８１の中間部にはシール材７
４が、両側の抑え材７６により取付けられ、シール材７
４の先端は前記当板５４表面に当接されるようにされて
いる。内側環状材１１０および外側環状材１１２は夫
々、気体、例えばＮ2 ガスの流路に形成されており、外
部からの気体系統に接続されるとともに、夫々の環状材
１１０，１１２の壁面にはシール材７４を指向し、矢印
Ａ，Ｂに示すごとく脱亜鉛帯１４に導入される気体の噴
口１１４および装入遮断室１８に導入される気密流体の
噴口１１６が夫々開口されている。シール材７４として
は、弾性材、例えば、ニトリルゴムまたはフッソゴムな
どが好適とされており、上記冷却箱８２の側壁８１によ
って冷却保護されている。
４が、両側の抑え材７６により取付けられ、シール材７
４の先端は前記当板５４表面に当接されるようにされて
いる。内側環状材１１０および外側環状材１１２は夫
々、気体、例えばＮ2 ガスの流路に形成されており、外
部からの気体系統に接続されるとともに、夫々の環状材
１１０，１１２の壁面にはシール材７４を指向し、矢印
Ａ，Ｂに示すごとく脱亜鉛帯１４に導入される気体の噴
口１１４および装入遮断室１８に導入される気密流体の
噴口１１６が夫々開口されている。シール材７４として
は、弾性材、例えば、ニトリルゴムまたはフッソゴムな
どが好適とされており、上記冷却箱８２の側壁８１によ
って冷却保護されている。
【００２３】このような気密手段を用いることにより、
真空処理炉１０にて亜鉛めっき鋼板屑を脱亜鉛させるに
さいし、脱亜鉛帯１４における蒸発亜鉛が炉内から仕切
扉２６と炉帯端部７９との間に侵入されることが回避で
きる。また、仕切扉２６を開放したさいに、装入帯１２
にて発生された蒸発亜鉛やダスト類がシール材７４に付
着してシール性能が悪化することを上記気体の噴出によ
り回避できるとともに脱亜鉛帯１４から装入遮断室１８
への蒸発亜鉛の拡散侵入を抑止させることができる。
真空処理炉１０にて亜鉛めっき鋼板屑を脱亜鉛させるに
さいし、脱亜鉛帯１４における蒸発亜鉛が炉内から仕切
扉２６と炉帯端部７９との間に侵入されることが回避で
きる。また、仕切扉２６を開放したさいに、装入帯１２
にて発生された蒸発亜鉛やダスト類がシール材７４に付
着してシール性能が悪化することを上記気体の噴出によ
り回避できるとともに脱亜鉛帯１４から装入遮断室１８
への蒸発亜鉛の拡散侵入を抑止させることができる。
【００２４】他の実施例として、仕切扉２６の冷却箱１
０２の近傍に他の気密構造部を配設させることによっ
て、上述した当板５４の表面に蒸発亜鉛やダスト類が付
着してシール性能が悪化するのを回避せしめると共に、
脱亜鉛帯１４からの蒸発亜鉛の拡散侵入を抑止させるこ
とができる。
０２の近傍に他の気密構造部を配設させることによっ
て、上述した当板５４の表面に蒸発亜鉛やダスト類が付
着してシール性能が悪化するのを回避せしめると共に、
脱亜鉛帯１４からの蒸発亜鉛の拡散侵入を抑止させるこ
とができる。
【００２５】次に仕切扉２６を昇降させて開閉自在にさ
せるため、装入遮断室１８内にクランプ材６０が設けら
れ、クランプ材６０に係合される係具６２は上記冷却箱
１０２の近傍に設けられた取付材６４に取付けられてい
る。そして、クランプ材６０の回動により仕切扉２６は
気密構造部１０４と離反されて点線に示すごとくローラ
９６上を後退移動される。
せるため、装入遮断室１８内にクランプ材６０が設けら
れ、クランプ材６０に係合される係具６２は上記冷却箱
１０２の近傍に設けられた取付材６４に取付けられてい
る。そして、クランプ材６０の回動により仕切扉２６は
気密構造部１０４と離反されて点線に示すごとくローラ
９６上を後退移動される。
【００２６】この仕切扉２６が移動されるために、装入
遮断室１８内に配設された回転ローラ３４の一部は、図
示を省略した回動手段により、点線にて示した位置から
実線にて示した位置まで回動されて、回転ローラ３４相
互の間隔が拡大されるようになり、仕切扉２６の昇降を
容易とさせることができる。
遮断室１８内に配設された回転ローラ３４の一部は、図
示を省略した回動手段により、点線にて示した位置から
実線にて示した位置まで回動されて、回転ローラ３４相
互の間隔が拡大されるようになり、仕切扉２６の昇降を
容易とさせることができる。
【００２７】装入遮断室１８の内部には前記気密構造部
１０４側に防熱板８４が昇降手段８６と接続され、昇降
手段８６を用いて昇降自在とされている。
１０４側に防熱板８４が昇降手段８６と接続され、昇降
手段８６を用いて昇降自在とされている。
【００２８】また、仕切扉２４を開閉自在とするための
捲上具８８はチェーン９０を介して、仕切扉２６を開閉
自在とするための捲上具９２はチェーン９４を介して夫
々の仕切扉２４，２６に接続されており、捲上具８８，
９２は夫々図示しない捲上手段を用いて作動される。
捲上具８８はチェーン９０を介して、仕切扉２６を開閉
自在とするための捲上具９２はチェーン９４を介して夫
々の仕切扉２４，２６に接続されており、捲上具８８，
９２は夫々図示しない捲上手段を用いて作動される。
【００２９】仕切扉２６が開放のために上昇された場合
には、気密構造部１０４と離反されており、前記防熱板
８４は昇降手段８６を用いて降下されることによって、
気密構造部１０４表面を遮へいするようにされ気密構造
部１０４、とくにシール材７４は脱亜鉛帯１４における
高温雰囲気からのふく射に対して充分に保護される。
には、気密構造部１０４と離反されており、前記防熱板
８４は昇降手段８６を用いて降下されることによって、
気密構造部１０４表面を遮へいするようにされ気密構造
部１０４、とくにシール材７４は脱亜鉛帯１４における
高温雰囲気からのふく射に対して充分に保護される。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
真空処理炉が真空脱亜鉛炉であって、亜鉛めっき鋼板屑
を真空下にて加熱し鋼板屑表面の亜鉛を蒸発させて鋼板
屑と亜鉛とに分離させるにさいし、仕切扉の周縁部は炉
帯端部における気密構造部と当接せれるとともに、気体
が高速気流となって噴出され炉内に導入されて炉内から
の蒸発亜鉛が拡散侵入されることを防止できて仕切扉の
開閉を円滑にできて、所定の真空度を有効に維持できる
など、多大な効果を奏する。
真空処理炉が真空脱亜鉛炉であって、亜鉛めっき鋼板屑
を真空下にて加熱し鋼板屑表面の亜鉛を蒸発させて鋼板
屑と亜鉛とに分離させるにさいし、仕切扉の周縁部は炉
帯端部における気密構造部と当接せれるとともに、気体
が高速気流となって噴出され炉内に導入されて炉内から
の蒸発亜鉛が拡散侵入されることを防止できて仕切扉の
開閉を円滑にできて、所定の真空度を有効に維持できる
など、多大な効果を奏する。
【図１】真空処理炉の全体構成図。
【図２】図１の断面図。
【図３】本発明の一実施例を示す仕切扉の気密構造部の
縦断面図。
縦断面図。
【図４】同気密構造部の要部拡大水平断面図。
１０……………真空処理炉 ２６……………仕切扉 ８２，１０２…冷却箱 １０４…………気密構造部 １１０…………内側環状材 １１２…………外側環状材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊集院 光夫 千葉県八千代市上高野1780番地 川崎重 工業株式会社 八千代工場内 (72)発明者 井上 岳彦 千葉県八千代市上高野1780番地 川崎重 工業株式会社 八千代工場内 (72)発明者 岡田 裕二 愛知県豊田市トヨタ町１番地 トヨタ自 動車株式会社内 (72)発明者 藤尾 俊一 愛知県豊田市トヨタ町１番地 トヨタ自 動車株式会社内 (72)発明者 鈴木 和弘 愛知県豊田市鴻ノ巣町３丁目33番地 ト ヨキン株式会社内 (72)発明者 中谷 好良 大阪府大阪市西区京町堀２丁目４番７号 中外炉工業株式会社内 (72)発明者 田中 孝司 大阪府大阪市西区京町堀２丁目４番７号 中外炉工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平１−169174（ＪＰ，Ａ) 実公 昭63−39243（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F27D 7/00 - 7/06 F27D 1/18 F27B 9/02 - 9/04
Claims (4)
- 【請求項１】 トンネル型の真空処理炉を複数帯に区画
する開閉自在な仕切扉が遮断室内に配設され、仕切扉の
周縁部は炉帯端部に設けられ気体を噴出させる環状材を
有する気密構造部と当接されることを特徴とする真空処
理炉における仕切扉の気密構造。 - 【請求項２】 仕切扉の周縁部に対向する炉帯端部には
気体を噴出させる環状材が設けられていることを特徴と
する請求項１に記載の真空処理炉における仕切扉の気密
構造。 - 【請求項３】 気密構造部は二重の環状材を有するとと
もに、夫々の環状材の間には冷却箱が設けられたことを
特徴とする請求項１に記載の真空処理炉における仕切扉
の気密構造。 - 【請求項４】 仕切扉の周縁部には冷却箱が設けられた
ことを特徴とする請求項１，２又は３に記載の真空処理
炉における仕切扉の気密構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35441492A JP2843471B2 (ja) | 1992-12-16 | 1992-12-16 | 真空処理炉における仕切扉の気密構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35441492A JP2843471B2 (ja) | 1992-12-16 | 1992-12-16 | 真空処理炉における仕切扉の気密構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06185875A JPH06185875A (ja) | 1994-07-08 |
| JP2843471B2 true JP2843471B2 (ja) | 1999-01-06 |
Family
ID=18437400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35441492A Expired - Lifetime JP2843471B2 (ja) | 1992-12-16 | 1992-12-16 | 真空処理炉における仕切扉の気密構造 |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP2843471B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP5567812B2 (ja) * | 2009-10-09 | 2014-08-06 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
-
1992
- 1992-12-16 JP JP35441492A patent/JP2843471B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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