JP2842346B2 - シート状接着材貼り付け装置及び貼り付け方法 - Google Patents
シート状接着材貼り付け装置及び貼り付け方法Info
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- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
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Description
り付け装置及び貼り付け方法に関する。特に、異方性導
電性接着剤シート(ACF)を被着体に仮圧着するのに
好適な貼り付け装置及び貼り付け方法に関する。
互に接着する場合に、接着剤層と剥離フィルムからなる
シート状接着材が使用されている。例えば、液晶パネル
とTABとの接続や、回路基板へ半導体素子を実装する
際に、異方性導電性接着剤シートが広く使用されてい
る。
を相互に接着する方法としては、例えば、液晶パネルと
TABとを接着する場合、通常、(1) 液晶パネルを固定
し、(2) 固定した液晶パネルに異方性導電性接着剤シー
トを貼り付け、又は仮圧着し、(3) その上にTABを重
ねて本圧着するという工程がとられる。
シートの貼り付けは、従来、手作業によることが多かっ
たが、近年では、セパレータ(剥離フィルム)付き異方
性導電膜を第1のリールに巻き回しておき、そこからセ
パレータ付き異方性導電膜を引き出して被着体に加熱圧
着し、異方性導電膜の被着体に圧着した部分をセパレー
タから離間させ、被着体に圧着していない残りのセパレ
ータ付き異方性導電膜を、第1のリールから所定間隔を
あけて設置されている第2のリールに巻き取るという手
法が知られている(特開平7−114964号公報)。
異方性導電性接着剤シートが、剥離フィルムと異方性導
電膜と保護膜との3層構造となっている場合の貼り付け
方法についても、ほぼ同様に、第1のリールと第2のリ
ールを所定間隔をあけて配し、第1のリールに異方性導
電性接着剤シートを巻き回しておき、そこから必要量を
引き出し、次いで保護膜を剥離して異方性導電膜を被着
体に重ねて加熱圧着し、圧着していない残りの異方性導
電性接着剤シートを第2のリールに巻き取るという手法
が知られている(特開平6−244539号公報)。ま
た、このような3層構造の異方性導電性接着剤シートの
他の貼り付け方法としては、第1のリールと第2のリー
ルを所定間隔をあけて配し、このうち第1のリールに異
方性導電性接着剤シートを巻き回しておき、そこから必
要量を引き出し、まず保護膜を剥離し、次いで、異方性
導電膜のうち被着体に圧着させない不要部分を予め分離
除去しておき、その後異方性導電膜を被着体に圧着さ
せ、残りの異方性導電性接着剤シートを第2のリールに
巻き取るという手法が知られている(特開平6−601
9号公報)。
貼り付け作業が可能となり、手作業の場合に比して大幅
に作業効率を向上させることが可能となる。
方法を実施するための貼り付け装置は、いずれも、異方
性導電性接着剤シートが巻き回されている巻き出し用の
第1のリールと、被着体に圧着した残りの異方性導電性
接着剤シートの巻き取り用の第2のリールとを所定間隔
で設け、さらにこの第1のリールと第2のリールとの間
の直線上に圧着装置を設けたものとなる。そして、この
貼り付け装置を用いて異方性導電性接着剤シートを貼り
付る際には、この圧着装置の下方に被着体を載置するこ
ととなる。
電性接着剤シートを貼り付けることのできる被着体は、
巻き出し用の第1のリールと巻き取り用の第2のリール
との間の圧着装置の下方に被着部位を配することができ
るものに限られる。したがって、当該貼り付け装置によ
り異方性導電性接着剤シートを貼り付けることができる
被着体の大きさや形状について自由度が低くなり、貼り
付け装置に対する被着体の固定位置も当該装置により定
まる所定の位置に限られるという問題があった。また、
貼り付け装置自体に関しても設計上の自由度が低いとい
う問題があった。
異方性導電性接着剤シートは、一般に幅の狭いテープ状
であるから、異方性導電性接着剤シートを、巻き出し用
の第1のリールと巻き取り用の第2のリールとの間に所
定の張力で安定的に張架することが難しく、熱圧着操作
により弛みができたり、逆に強く引っ張られたりし、そ
のために、安定的に貼り付けを持続することが難しいと
いう問題もあった。
解決しようとするものであり、異方性導電性接着剤シー
ト等のシート状接着材の被着体への貼り付けを、作業性
よく行えるようにし、かつその際に被着体の形状や大き
さに関する自由度、及び貼り付けに使用する装置の設計
の自由度を向上させることを目的とする。
電性接着剤シートを、巻き出し用の第1のリールと巻き
取り用の第2のリールとの間に張架させることなく、異
方性導電性接着剤シートを所定の長さに切断した後、そ
の切断したシートを仮受部に保持し、それをアクチュエ
ーター部で被着体上に搬送して圧着することにより、任
意の被着体に対して異方性導電性接着剤シートを貼り付
けることができ、これにより上記の目的が達成できるこ
とを見出し、本発明を完成させるに至った。
と剥離フィルムとからなるシート状接着材の当該接着剤
層を被着体に貼り付けるシート状接着材貼り付け装置に
おいて、シート状接着材を切断する切断部、該切断部に
シート状接着材を供給する供給部、切断部で切断された
シート状接着材を保持する仮受部、及び仮受部に保持さ
れているシート状接着材を被着体上に搬送し、そのシー
ト状接着材を被着体に圧着する、少なくともX、Y、Z
の3軸方向に移動可能なアクチュエーター部が設けら
れ、前記アクチュエーター部が内蔵ヒーターを有し、前
記仮受部が冷却手段を有することを特徴とするシート状
接着材貼り付け装置を提供する。
エーター部のヘッドがシート状接着材を吸着して被着体
上に搬送する態様や、仮受部が溝部を有し、その溝部の
底面にシート状接着材が保持されるようにし、かつアク
チュエーター部のヘッドが仮受部の溝部に嵌入するよう
にした態様を提供する。また、このような装置であっ
て、シート状接着材として接着剤層が異方性導電性接着
剤層からなるもの、即ち、シート状接着材として異方性
導電性接着剤シートを貼り付ける装置を提供する。
フィルムとからなるシート状接着材の当該接着剤層を被
着体に貼り付けるシート状接着材貼り付け方法におい
て、シート状接着材を切断部に供給して切断し、切断し
たシート状接着材を仮受部で該シート状接着材の剥離フ
ィルム側が仮受部に対して非接触面となるように保持
し、かつ該シート状接着材を冷却手段で冷却し、一方、
アクチュエーター部を内蔵ヒーターで加熱し、前記仮受
部で冷却されて保持されているシート状接着材を、少な
くともX、Y、Zの3軸方向に移動可能で加熱されたア
クチュエーター部で被着体上に搬送し、次いでそのシー
ト状接着材を被着体に圧着することを特徴とするシート
状接着材貼り付け方法を提供する。
エーター部のヘッドがシート状接着材を吸着して被着体
上に搬送する態様や、仮受部として溝部を有するものを
設け、その溝部の底面にシート状接着材を供給して保持
し、アクチュエーター部のヘッドを、仮受部の溝部に嵌
入させ、溝部の底面に保持されているシート状接着材を
吸着するようにした態様を提供する。また、このような
方法であって、シート状接着材として接着剤層が異方性
導電性接着剤層からなるもの、即ち、シート状接着材と
して異方性導電性接着剤シートを貼り付ける態様を提供
する。
いは本発明の方法にしたがって、シート状接着材を被着
体に貼り付ける場合、シート状接着材を所期の長さに切
断し、その切断したシート状接着材毎に被着体に圧着さ
せるので、シート状接着材を送り出し用の第1のリール
と巻き取り用の第2のリールとの間に張架しつつ貼り付
け作業を行う場合のようにシート状接着材に弛みが生じ
ることはなく、またシート状接着材が過度の張力で引っ
張られることもない。したがって、安定的に貼り付け作
業を行うことができる。
X、Y、Zの3軸方向に移動可能であるため、被着体が
任意の大きさや形状を有し、さらに被着体が貼り付け装
置に対して任意の場所に固定されていても、アクチュエ
ーター部の移動範囲内である限り貼り付け作業を行うこ
とができる。よって、被着体の大きさ、形状、固定位置
及び、装置の設計事項について自由度が飛躍的に高ま
る。
の切断や、切断したシート状接着材のアクチュエーター
部による搬送等は機械的に行うことができるので、手作
業による貼り付け作業に比して作業効率も大きく向上さ
せることが可能となる。
で加熱することにより、シート状接着材を被着体へ容易
に加熱圧着できるようになるが、この場合、常時アクチ
ュエーターを加熱し、その加熱されたアクチュエーター
部で仮受部にあるシート状接着材を吸着して搬送するこ
とにより、貼り付け作業の作業効率を向上させることが
できる。また、このようにアクチュエーター部を常時加
熱する場合には、このアクチュエーター部を用いて、仮
受部に保持されているシート状接着材を吸着する時に、
そのシート状接着材中の接着剤層がアクチュエーター部
から伝達する熱によりタック性を示し、仮受部に粘着す
る場合があるが、これに対しては、仮受部を冷却すれば
よい。仮受部の冷却によりシート状接着材の接着剤層に
タックが生じることを防止できる。
を有するものを使用し、その溝部の底面にシート状接着
材が送り出されるようにすると、シート状接着材の送り
出し時の位置ずれを大きく低減させることができるの
で、所期の位置で正確に切断することが可能となる。さ
らにアクチュエーター部のヘッドがこの仮受部の溝部に
嵌入し、仮受部に保持されているシート状接着材を吸着
するようにすることにより、アクチュエーター部が、シ
ート状接着材を確実にヘッドに保持し、被着体上に搬送
することが可能となる。
に基づいて詳細に説明する。なお、各図中、同一符号は
同一又は同等の構成要素を表している。
全体構成図であり、図2はその切断部及び仮受部付近の
説明図であり、図3は仮受部の断面説明図である。また
この装置は、図4(a)に示すように、剥離フィルム2
と接着剤層3と保護層4とが順次積層されているシート
状接着材1aを被着体に貼り付けるものである。
接着材1aの巻き出し用リール5からシート状接着材1
aを引き出し、切断部20に供給する供給部10と、供
給部10から供給されたシート状接着材1aを所期の長
さに切断する切断部20と、切断部20で切断されたシ
ート状接着材1aを保持する仮受部30と、仮受部30
に保持されているシート状接着材1aを被着体100上
に搬送し、そのシート状接着材1aを圧着するアクチュ
エーター部40からなっている。また、被着体100を
固定するテーブル50を有している。
は巻き出し用リール5から、その保護層4を下側にして
送り出され、ガイドロール6を通過し、モーター駆動さ
れる送りローラ7と加圧ローラ8とにニップされつつこ
の間を通過する。そして、カッター21からなる切断部
20を通り、仮受台31からなる仮受部30に供給され
る。この場合、シート状接着材1aは、ガイドロール6
を通過することにより適度な張力を獲得し、送りローラ
7と加圧ローラ8とのニップにより送り出し量が調整さ
れる。
には、シート状接着材1aの保護層4を剥離する手段と
して、セパレータブロック11が設けられており、剥離
された保護層4はモーター駆動される保護層巻き取りロ
ーラ9で巻き取られる。したがって、切断部20及び仮
受部30には、保護層4が剥離除去された残りの剥離フ
ィルム2と接着剤層3とからなるシート状接着剤がその
剥離フィルム2を上側にして供給されることとなる。
台31と、そこに形成された溝部32からなり、シート
状接着材1aが仮受部30に供給される際には、シート
状接着材1aはこの溝部32の底面に沿って挿入され
る。したがって、仮受部30においてシート状接着材1
aは、その幅方向に位置ずれが生じることなく保持され
ることとなる。
が送り出されると、送りローラ7によるシート状接着材
1aの送り出しが停止し、切断部20のカッター21が
作動してシート状接着材1aが切断される。こうして切
断された短冊状のシート状接着材1aは、アクチュエー
ター部40で搬送されるまで、そのまま仮受部30に保
持される。
aを、その接着剤層にタックが生じない程度に冷却する
冷却手段を設けておく。即ち、後述するように、アクチ
ュエーター部40のヘッド41は、シート状接着材1a
の被着体100への仮圧着作業を効率的に行えるように
するために、常時加熱しておくことが好ましく、その加
熱温度は、接着材の特性によって異なるが、通常約40
〜150℃程度である。しかし、加熱されているヘッド
41でシート状接着材1aを吸着すると、ヘッド41か
らの熱によりシート状接着材1aにタックが発生し、仮
受部30に粘着しやすくなる。これに対して、仮受部3
0を冷却しておくと、そのようなシート状接着材1aの
粘着を防止することが可能となる。
例えば、図2に示したように、仮受部30内に冷却装置
33として空冷装置を組み込み、溝部32の底壁34に
矢印のように冷気Aを吹き付けてもよい。吹き付ける冷
気の温度や量は、ヘッド41の加熱温度、底壁34の厚
さ、シート状接着材1aの接着剤層の種類等にもよる
が、通常、仮受台31の底面が約10℃以下となるよう
に設定することが好ましい。冷却手段としては、空冷装
置の他、水冷式冷却装置や電子式冷却装置等も使用する
ことができる。
定される。そして、アクチュエーター部40が、仮受部
30に保持されているシート状接着材1aを被着体10
0上に搬送する。この場合、アクチュエーター部40と
しては、少なくともX、Y、Zの3軸方向に移動可能な
ものとし、さらに図1のようにθ軸方向に回転可能なも
のとすることが好ましい。これにより、任意の位置に固
定されている、任意の形状及び大きさの被着体100に
シート状接着材1aを搬送することができる。
アクチュエーター部40の具体例としては、例えば、ワ
ークステージ上に腕部42が、X、Y、Zの3軸方向に
移動可能に取り付けられており、この腕部42に、ヘッ
ド41を含むアクチュエーター40の本体部分をθ軸に
ついて回転可能に取り付けたものとすればよい。
ー部40のヘッド41は、仮受部30の溝部32に嵌入
可能とし、そのヘッド41が溝部32に保持されている
シート状接着材1aを吸着し、搬送できるようにするこ
とが好ましい。搬送時にアクチュエーター部40のヘッ
ド41がシート状接着材1aを吸着して搬送可能とする
ことにより、粘着剤等を用いてシート状接着材1aを保
持し、搬送する場合に比して、ずれを防止し、装置構成
も簡易なものにできる。アクチュエーター部40のヘッ
ド41がシート状接着材1aを吸着できるようにするた
めには、例えば、同図に示したように、ヘッド41の端
面にバキューム孔43を設け、シート状接着材1aをバ
キュームチャックする。
材1aを被着体100上に載置した後、シート状接着材
1aを押圧し、その接着材層3を被着体100に圧着さ
せる。この場合、必要に応じて、押圧と共に加熱する加
熱圧着を行うことが好ましく、例えば、シート状接着材
1aとして異方性導電性接着剤シートを仮圧着する場合
には、通常80〜150℃程度に加熱する加熱圧着を行
う。このため、アクチュエーター部40にはヒーターを
内蔵する。また、ヒーターを用いて加熱圧着する場合、
その作業効率を向上させるため、ヒーターは加熱圧着時
だけでなく、常時オン状態とすることが好ましい。アク
チュエーター部40の内蔵ヒーターを常時オン状態とす
ると、仮受部30に保持されているシート状接着材1a
をアクチュエーター部40で吸着する際に、その熱がシ
ート状接着材1aに伝搬してシート状接着材1aが仮受
部30に粘着するおそれが生じるが、前述のように仮受
部30を冷却しておくことにより、このような問題を解
消させることができる。
0に圧着した後は、次ぎの工程でシート状接着材1aの
表面の剥離フィルム2を剥離除去し、さらに後の工程で
他の被着体を重ね、被着体を相互に本圧着すればよい。
この場合、シート状接着材1aの表面の剥離フィルム2
の剥離除去方法には特に制限はない。図1の本発明の貼
り付け装置内に剥離機構を設け、その剥離機構を用いて
剥離フィルム2を剥離してもよく、また、シート状接着
材1aを貼り付けた被着体を別個の剥離装置に移送し、
そこで剥離フィルム2を剥離してもよい。
る剥離機構としては、例えば、図5に示した剥離ユニッ
ト60を使用することができる。図6は、この剥離ユニ
ット60の作用の説明図である。この剥離ユニット60
は、図1の装置のアクチュエーター部40と同様に少な
くともX、Y、Zの3軸方向、好ましくは回転軸θを加
えた4軸方向に移動可能なユニットに、押さえ板61、
爪62及びこれらの移動機構を設けたものである。この
押さえ板61は、被着体100に貼り付けられているシ
ート状接着材1aに当接する。また爪62は、押さえ板
61から被着体100側へ剥離フィルム2の厚さt以下
(好ましくは0.2t〜t)の距離の位置を、押さえ板
61とシート状接着材1aとの当接面に平行に移動し、
シート状接着材1aの端部に差し込まれ、押さえ板61
と共に剥離フィルム2の端部を挟み、その挟んだ部分を
シート状接着材の他端側へ引っ張るものである(特願平
6−131179号明細書参照)。
フィルム2を挟み易くするため、押さえ板61の爪62
側の角部にはテーパー61aを形成し、同様に爪62に
も押さえ板61のテーパー61と合うテーパー62aを
形成しておくことが好ましい。このテーパー角は、通常
30°程度が好ましい。
り付けられているシート状接着材1aを適切な圧力(通
常、0.2〜3.0kg/cm2 )で押圧できるように
することが好ましく、そのためにこのユニット60に
は、押圧力を調整するスプリング63が設けられてい
る。さらにユニット60には、爪62が押さえ板61の
板面に対して平行移動できるように、ガイド64に沿っ
て移動するシャフト65が設けられている。
り付けられているシート状接着材1aから剥離フィルム
2を剥離除去する場合には、まず、図6(a)に示した
ように、剥離ユニット60をシート状接着材1aの上に
配し、図6(b)に示したように、シート状接着材1a
に押さえ板61を当接させ、次に図6(c)に示したよ
うに、押さえ板61の当接面と平行に爪62を移動させ
てシート状接着材1aの端部に爪62を差し込む。ここ
で、差し込む爪62の距離dは、剥離フィルム2と接着
剤層3との接着強度等によるが、通常0.2〜0.5m
m程度とすることが好ましい。次ぎに図6(d)に示す
ように、差し込んだ爪62と押さえ板61とで剥離フィ
ルム2の端部を挟み、挟んだ部分がシート状接着材1a
の他端側へ引っ張られるように爪62と押さえ板61と
を移動させ、これにより剥離フィルム2を剥離する。こ
こで、爪62と押さえ板61とで挟んだ剥離フィルム2
の端部を移動させる方向は、大きすぎると剥離フィルム
2が接着剤層3から剥離することなく切断されやすくな
るので、通常、角度βを10〜45°とすることが好ま
しい。
と、押さえ板61と爪62とにより確実に剥離フィルム
2を挟むことができる。即ち、シート状接着材1aの接
着剤層3の厚さはその部分に加えられている張力や被着
体100の温度等によって変わりやすいが、これに対し
て剥離フィルム2の厚さは安定している。したがって被
着体100に貼り付けられているシート状接着材1aの
剥離フィルム2(押さえ板61の当接面)を基準として
剥離フィルム2の厚さ以下の距離だけ被着体100側に
爪62を差し込むことにより、シート状接着材1aに加
えられている張力や温度にかかわらず、確実に剥離フィ
ルム2を挟み、剥離除去することが可能となる。
ルム2と接着剤層3と保護層4とが順次積層されている
シート状接着材1aを被着体に貼り付ける場合の貼り付
け装置、及びその貼り付けたシート状接着材から剥離フ
ィルム2を剥離する剥離機構について説明したが、本発
明はこのようなシート状接着材1aに限らず、図4
(b)に示すような、剥離フィルム2と接着剤層3から
なるシート状接着材1bの貼り付けにも適用することが
できる。この場合、前述の図1の装置においては、モー
ター駆動される送りローラ7と加圧ローラ8とのニップ
により、巻き出し用リール5からシート状接着材1aを
送り出していたのに対し、モーター駆動される送りロー
ラ7に代えてバキュームチャックでシート状接着材1b
の剥離フィルム2側を吸着し、シート状接着材1bを仮
受部30の方へ送り出す搬送手段を設ければよい。これ
により、シート状接着材1aの接着剤層3が送りローラ
7、加圧ローラ8で損傷されることを防止できる。
材の貼り付け作業性を向上させるため、種々の付随的手
段、例えば、テーブル50に固定した被着体100の位
置を認識するためのカメラ、そのカメラで撮影した映像
に基づき、アクチュエーター部40を任意の位置に移動
させ、押圧動作を制御するコンピュータ装置などを設け
ることができる。これにより被着体へシート状接着材を
貼り付ける全行程や、その後の剥離フィルムの剥離除去
に至る工程まで無人化し、完全自動化することができ
る。
材の貼り付け、あるいは本発明の方法にしたがうシート
状接着材の貼り付けは、種々のシート状接着材について
適用することができる。シート状接着材を構成する接着
剤層、剥離フィルム、保護フィルムの素材、厚さ等につ
いて特に制限はない。例えば、接着剤層が厚さ5〜50
μm程度の異方性導電性接着剤からなり、剥離フィルム
が厚さ10〜100μm程度のテフロン製、剥離処理し
たPET紙、ポリプロピレンフィルム等からなる異方性
導電性接着剤シートの貼り付けに好適に適用することが
できる。
液晶パネルガラスなどのようにリジッドなものでもよ
く、TAB等のフィルム基板のようにフレキシブルなも
のでもよい。
ート等のシート状接着材の被着体への貼り付けを、作業
性よく行うことが可能となる。さらに、シート状接着材
を貼り付ける被着体の形状や大きさに関する自由度、及
び貼り付けに使用する装置の設計の自由度も向上させる
ことができる。
ある。
の説明図である。
ある。
離機構の説明図である。
Claims (8)
- 【請求項1】 少なくとも接着剤層と剥離フィルムとか
らなるシート状接着材の当該接着剤層を被着体に貼り付
けるシート状接着材貼り付け装置において、シート状接
着材を切断する切断部、該切断部にシート状接着材を供
給する供給部、切断部で切断されたシート状接着材を保
持する仮受部、及び仮受部に保持されているシート状接
着材を被着体上に搬送し、そのシート状接着材を被着体
に圧着する、少なくともX、Y、Zの3軸方向に移動可
能なアクチュエーター部が設けられ、前記アクチュエー
ター部が内蔵ヒーターを有し、前記仮受部が冷却手段を
有することを特徴とするシート状接着材貼り付け装置。 - 【請求項2】 アクチュエーター部がシート状接着材を
搬送するときに、該アクチュエーター部のヘッドがシー
ト状接着材を吸着する請求項1記載のシート状接着材貼
り付け装置。 - 【請求項3】 仮受部が溝部を有し、該溝部の底面にシ
ート状接着材が保持され、かつアクチュエーター部が、
仮受部の溝部に嵌入するヘッドを有する請求項1又は2
記載のシート状接着材貼り付け装置。 - 【請求項4】 接着剤層が異方性導電性接着剤層である
請求項1〜3のいずれかに記載のシート状接着材貼り付
け装置。 - 【請求項5】 少なくとも接着剤層と剥離フィルムとか
らなるシート状接着材の当該接着剤層を被着体に貼り付
けるシート状接着材貼り付け方法において、シート状接
着材を切断部に供給して切断し、切断したシート状接着
材を仮受部で当該シート状接着材の剥離フィルム側が仮
受部に対して非接触面となるように保持し、かつ該シー
ト状接着材を冷却手段で冷却し、一方、アクチュエータ
ー部を内蔵ヒーターで加熱し、前記仮受部で冷却されて
保持されているシート状接着材を、少なくともX、Y、
Zの3軸方向に移動可能で加熱されたアクチュエーター
部で被着体上に搬送し、次いでそのシート状接着材を被
着体に圧着することを特徴とするシート状接着材貼り付
け方法。 - 【請求項6】 アクチュエーター部がシート状接着材を
搬送するときに、該アクチュエーター部のヘッドがシー
ト状接着材を吸着する請求項5記載のシート状接着材貼
り付け方法。 - 【請求項7】 溝部を有する仮受部を設け、その溝部の
底面にシート状接着材を供給して保持し、アクチュエー
ター部のヘッドを、仮受部の溝部に嵌入させ、溝部の底
面に保持されているシート状接着材を吸着する請求項5
又は6記載のシート状接着材貼り付け方法。 - 【請求項8】 接着剤層が異方性導電性接着剤層である
請求項5〜7のいずれかに記載のシート状接着材貼り付
け方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7310087A JP2842346B2 (ja) | 1995-11-01 | 1995-11-01 | シート状接着材貼り付け装置及び貼り付け方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7310087A JP2842346B2 (ja) | 1995-11-01 | 1995-11-01 | シート状接着材貼り付け装置及び貼り付け方法 |
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-
1995
- 1995-11-01 JP JP7310087A patent/JP2842346B2/ja not_active Expired - Lifetime
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