JP2837096B2 - Cryogenic liquefaction equipment - Google Patents
Cryogenic liquefaction equipmentInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、超電導磁石を冷却する
極低温冷凍液化装置に関する。特には、励消磁等の熱負
荷変動に対して、効率的な運転を可能にする極低温冷凍
液化装置の改良に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cryogenic refrigeration and liquefaction apparatus for cooling a superconducting magnet. In particular, the present invention relates to an improvement in a cryogenic refrigeration and liquefaction apparatus that enables efficient operation with respect to fluctuations in heat load such as excitation and demagnetization.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図４を参照しつつ従来技術を説明する。
超電導磁石２２を冷却する極低温冷凍液化装置７は、予
冷機５とジュールトムソンループ４を有する極低温用冷
凍機６とヘリウム圧縮機３で構成されており、ヘリウム
圧縮機３で圧縮された高圧ガスは高圧回路２を経て、極
低温用冷凍機６のジュールトムソンループ４に導かれ、
３個の熱交換器１６と予冷熱交換器１７で冷却され、ジ
ュールトムソン弁１８で低圧に膨張し、超電導磁石２２
のヘリウムタンク２０内で液化する。液化したヘリウム
は超電導コイル２１に供給され同コイルを冷却する。一
方、ヘリウムタンク２０内で蒸発したヘリウムガスは、
ジュールトムソンループ４の３個の熱交換器１６を経
て、ヘリウム圧縮機３の低圧回路１に戻り、再びヘリウ
ム圧縮機３で圧縮される。2. Description of the Related Art A conventional technique will be described with reference to FIG.
The cryogenic refrigeration and liquefaction apparatus 7 for cooling the superconducting magnet 22 includes a cryogenic refrigerator 6 having a precooler 5, a Joule-Thomson loop 4, and a helium compressor 3, and a high-pressure compressor compressed by the helium compressor 3. The gas passes through the high-pressure circuit 2 and is led to the Joule-Thomson loop 4 of the cryogenic refrigerator 6.
It is cooled by the three heat exchangers 16 and the pre-cooling heat exchanger 17, expanded to a low pressure by the Joule-Thomson valve 18, and
In the helium tank 20. The liquefied helium is supplied to the superconducting coil 21 to cool the coil. On the other hand, the helium gas evaporated in the helium tank 20 is:
After passing through the three heat exchangers 16 of the Joule-Thomson loop 4, it returns to the low-pressure circuit 1 of the helium compressor 3 and is compressed again by the helium compressor 3.
【０００３】通常は、液化量が、ヘリウムタンク２０及
び超電導コイル２１に侵入する熱負荷で蒸発する液体ヘ
リウムより多いか、ほぼ等しいため、ヘリウムタンク２
０内の液体ヘリウムが増加していくか、一定に保持され
る。液体ヘリウムが増加すると、系内の圧力が低下して
くる。そこで、不足分は、低圧調整弁１４を介してバッ
ファタンク１９より低圧回路１に供給され、系内圧力を
一定に保持するように制御されている。しかし、超電導
コイル２１を励消磁する場合などは超電導コイル２１で
発生する熱負荷が、液化量より大きく上回るため、液体
ヘリウムが余分に蒸発し、ガスヘリウムとなる。そのよ
うなガスヘリウムは、ジュールトムソンループ４の３個
の熱交換器１６を経て、圧縮機３の低圧回路１に戻って
くる。そのため、低圧回路１、高圧回路２内の圧力が上
昇することになる。そこで、その余分に蒸発したガスヘ
リウムは高圧回路２から高圧保圧弁１５を介してバッフ
ァタンク１９に回収される。Normally, the liquefaction amount is greater than or almost equal to the liquid helium that evaporates due to the thermal load penetrating the helium tank 20 and the superconducting coil 21.
The liquid helium in 0 increases or is kept constant. As the liquid helium increases, the pressure in the system decreases. Therefore, the shortage is supplied from the buffer tank 19 to the low-pressure circuit 1 via the low-pressure adjusting valve 14, and is controlled so as to keep the system pressure constant. However, when the superconducting coil 21 is demagnetized or the like, the heat load generated in the superconducting coil 21 greatly exceeds the liquefaction amount, so that liquid helium is excessively evaporated to gas helium. Such gas helium returns to the low-pressure circuit 1 of the compressor 3 via the three heat exchangers 16 of the Joule-Thomson loop 4. Therefore, the pressure in the low-voltage circuit 1 and the high-pressure circuit 2 increases. Then, the gas helium excessively evaporated is recovered from the high pressure circuit 2 to the buffer tank 19 via the high pressure holding valve 15.
【０００４】ジュールトムソンループ４へ高圧ガスを供
給するヘリウム圧縮機３の高圧回路２は、絞り度の異な
る、流量絞り弁Ａ８及び流量絞り弁Ｂ１３を並列に設け
てあり、それぞれ、直列に電磁弁９もしくは空圧弁１０
を設けている。通常は絞り度の小さい流量絞り弁Ａ８を
経てジュールトムソンループ４に、より高圧のヘリウム
ガスを供給し、励消磁等の過剰負荷時には、より絞り度
の大きい流量絞り弁Ｂ１３を通すことにより、ジュール
トムソンループ４の高圧ヘリウム流量を制限し、高圧回
路２の圧力を上昇させ、余分のヘリウムガスをヘリウム
圧縮機３の高圧回路２から高圧保圧弁１５を経て、バッ
ファタンク１９へ回収することができる。The high-pressure circuit 2 of the helium compressor 3 for supplying a high-pressure gas to the Joule-Thomson loop 4 has a flow restrictor A8 and a flow restrictor B13 having different degrees of restriction provided in parallel. 9 or pneumatic valve 10
Is provided. Normally, a higher-pressure helium gas is supplied to the Joule-Thomson loop 4 via the flow restrictor A8 having a smaller degree of restriction, and when an overload such as demagnetization or the like is applied, the helium gas is passed through the flow restrictor B13 having a larger degree of restriction so that the Joule is reduced. The high-pressure helium flow rate of the Thompson loop 4 is restricted, the pressure of the high-pressure circuit 2 is increased, and excess helium gas can be recovered from the high-pressure circuit 2 of the helium compressor 3 through the high-pressure holding valve 15 to the buffer tank 19. .
【０００５】しかし、励消磁等の過剰負荷時には、ジュ
ールトムソンループ４に流すべき高圧ヘリウム流量の一
部をバッファタンク１９へ回収するため、高圧流量が低
圧流量より少なくなる。本来、極低温冷凍液化装置７に
おいては、高低圧の流量がほぼ等しい場合に熱交換器の
効率が高くなるから、このように高圧流量が低圧流量よ
り少ない場合には、極低温冷凍液化装置７の最大冷凍能
力が得られない。すなわち、低圧側ガスヘリウムの冷熱
を有効に利用できなくなり、ヘリウムタンク２０内で液
体ヘリウムの蒸発が増加し、バッファタンク１９へのヘ
リウムガスの回収量が多くなる欠点があった。具体的に
は、励消磁等の過剰負荷時に発生した余剰ヘリウムガス
の回収量が過大となり、バッファタンク１９の安全弁
（図示せず）が動作し、大気中にヘリウムガスを放出す
るなどの問題があった。However, during an excessive load such as excitation and demagnetization, a part of the high-pressure helium flow to be passed through the Joule-Thomson loop 4 is recovered to the buffer tank 19, so that the high-pressure flow becomes smaller than the low-pressure flow. Originally, in the cryogenic refrigeration and liquefaction apparatus 7, the efficiency of the heat exchanger increases when the flow rates of the high and low pressures are substantially equal. Thus, when the high pressure flow rate is smaller than the low pressure flow rate, the cryogenic refrigeration and liquefaction apparatus 7 The maximum refrigeration capacity cannot be obtained. That is, the cold heat of the low-pressure side gas helium cannot be effectively used, the evaporation of liquid helium in the helium tank 20 increases, and the amount of helium gas collected in the buffer tank 19 increases. Specifically, there is a problem that the recovery amount of excess helium gas generated at the time of excessive load such as excitation and demagnetization becomes excessive, a safety valve (not shown) of the buffer tank 19 operates, and helium gas is released into the atmosphere. there were.
【０００６】この改善策として、励消磁時に、ヘリウム
圧縮機３の回転数を上げ、ジュールトムソンループ４の
高圧ヘリウム流量を増加させ、極低温冷凍液化装置７の
冷凍能力を増加する方法がある。しかし、この方法で
も、バッファタンク１９へヘリウムガスを回収すること
には変わりはないため、高圧流量は低圧流量より少なく
なり、極低温冷凍液化装置７の最大冷凍能力は得られな
い。したがって、ヘリウム圧縮機３の回転数を上げ、極
低温冷凍液化装置７の冷凍能力を増加しても、その効果
は小さい。As a remedy, there is a method of increasing the rotation speed of the helium compressor 3 at the time of demagnetization, increasing the high-pressure helium flow rate of the Joule-Thomson loop 4, and increasing the refrigerating capacity of the cryogenic refrigeration and liquefaction apparatus 7. However, even in this method, since the change is not to be recovered helium gas into the buffer tank 19, a high pressure flow rate is less than the low pressure flow rate, the maximum refrigerating capacity of the cryogenic refrigeration liquefier 7 can not be obtained. Therefore, even if the rotation speed of the helium compressor 3 is increased and the refrigerating capacity of the cryogenic refrigeration and liquefaction apparatus 7 is increased, the effect is small.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、励消磁等の過剰負荷に対して、従来の極低温冷凍
液化装置７の回路では、発生したヘリウムガスをバッフ
ァタンク１９に回収するために、冷凍機の熱効率が低下
し、効率よい運転ができていない点である。The problem to be solved is that the circuit of the conventional cryogenic refrigeration and liquefaction apparatus 7 recovers the generated helium gas into the buffer tank 19 in response to an excessive load such as excitation and demagnetization. Therefore, the thermal efficiency of the refrigerator is reduced, and efficient operation cannot be performed.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は、励消磁等の過
剰負荷に対して、電磁弁９もしくは空圧弁１０を開くこ
とにより、通常運転時に使用しているジュールトムソン
ループ４の流量絞り弁Ａ８を経由せず、直接高圧のヘリ
ウムガスをジュールトムソンループ４に供給することを
最も主要な特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a flow restrictor for a Joule-Thomson loop 4 used during normal operation by opening a solenoid valve 9 or a pneumatic valve 10 against an excessive load such as demagnetization. The most main feature is that helium gas of high pressure is supplied directly to the Joule-Thomson loop 4 without passing through A8.
【０００９】[0009]
【作用】超電導磁石を冷却する極低温冷凍液化装置は、
予冷機とジュールトムソンループを有する極低温用冷凍
機と、ヘリウム圧縮機で構成されており、ヘリウム圧縮
機で圧縮された高圧ガスは高圧回路を経て、極低温用冷
凍機のジュールトムソンループに導かれ、３個の熱交換
器と予熱交換器で冷却され、ＪＴ弁で低圧に膨張し、ヘ
リウムタンク内で液化する。一方、ヘリウムタンク内で
蒸発したヘリウムガスは、ジュールトムソンループの３
個の熱交換器を経て、ヘリウム圧縮機の低圧回路に戻
り、再びヘリウム圧縮機で圧縮される。通常は、液化量
が、ヘリウムタンク及び超電導コイルに侵入する熱負荷
で蒸発する液体ヘリウムより多いか、ほぼ等しいため、
ヘリウムタンク内の液体ヘリウムが増加していくか、一
定に保持される。液体ヘリウムが増加すると、系内の圧
力が低下してくる。そこで、不足分は、低圧調整弁を介
してバッファタンクより供給され、系内圧力を一定に保
持するように制御されている。しかし、超電導コイルを
励消磁する場合などは超電導コイルで発生する熱負荷
が、液化量より大きく上回るため、余剰のガスヘリウム
が発生する。そのため、低圧回路、高圧回路内の圧力が
上昇してくる。そこで、その過剰分は高圧回路から高圧
保圧弁を介してバッファタンクに回収される。[Function] A cryogenic refrigeration and liquefaction device that cools a superconducting magnet,
It consists of a cryogenic refrigerator with a precooler and a Joule-Thomson loop, and a helium compressor.The high-pressure gas compressed by the helium compressor passes through a high-pressure circuit and is led to the Joule-Thomson loop of the cryogenic refrigerator. Then, it is cooled by three heat exchangers and a preheat exchanger, expanded to low pressure by a JT valve, and liquefied in a helium tank. On the other hand, the helium gas evaporated in the helium tank is passed through the Joule-Thomson loop 3
After returning to the low-pressure circuit of the helium compressor through the heat exchangers, it is compressed again by the helium compressor. Normally, the liquefaction amount is greater than or almost equal to liquid helium that evaporates due to the heat load that enters the helium tank and superconducting coil,
The liquid helium in the helium tank increases or is kept constant. As the liquid helium increases, the pressure in the system decreases. Therefore, the shortage is supplied from the buffer tank via the low-pressure regulating valve, and is controlled so as to keep the system pressure constant. However, for example, to excitation demagnetization of the superconducting coil is heat load generated by the superconducting coils, since greatly exceeds liquefaction amount, excess gas helium is produced. Therefore, the pressure in the low-voltage circuit and the high-pressure circuit increases. Then, the excess is recovered from the high pressure circuit to the buffer tank via the high pressure holding valve.
【００１０】励消磁等の過剰負荷に対して、冷凍機を効
率よく運転するためには、ジュールトムソンループの高
圧流量と低圧流量をできる限り等しくなるようにする必
要がある。励消磁等の過剰負荷で発生するヘリウムガス
を常温のバッファタンクへ回収することにより、ジュー
ルトムソンループの高圧流量は低圧流量より少なくな
る。この差が大きければ低圧側のヘリウムガスが持つ顕
熱を効率よく利用できず、低圧側のヘリウムガスは低温
の状態で極低温用冷凍機からヘリウム圧縮機の低圧回路
に戻る。この低温のヘリウムガスは極低温用冷凍機・圧
縮機間の配管部で常温の大気と熱交換して昇温し、さら
に圧縮機内で常温まで昇温するが、本来、この冷熱は高
圧ガスを冷却することにより、冷凍機の液化率を向上で
きるはずのものであり、高圧ガスの流量が少なくなった
分、無駄に冷熱を捨てていることになる。In order to operate the refrigerator efficiently with respect to excessive load such as excitation and demagnetization, it is necessary to make the high pressure flow rate and the low pressure flow rate of the Joule-Thomson loop as equal as possible. By recovering the helium gas generated by an excessive load such as excitation and demagnetization into the buffer tank at room temperature, the high pressure flow rate of the Joule-Thomson loop becomes smaller than the low pressure flow rate. If this difference is large, the sensible heat of the helium gas on the low pressure side cannot be used efficiently, and the helium gas on the low pressure side returns from the cryogenic refrigerator to the low pressure circuit of the helium compressor at a low temperature. This low-temperature helium gas heats up by exchanging heat with normal-temperature air in the piping section between the cryogenic refrigerator and the compressor, and then rises to normal temperature in the compressor. By cooling, the liquefaction rate of the refrigerator should be able to be improved, and as the flow rate of the high-pressure gas is reduced, the cold heat is wasted.
【００１１】請求項１の電磁弁を、励消磁等の過剰負荷
時に開にすることにより、ジュールトムソンループの高
圧流量を増加し、低圧流量と等しくするか、あるいは近
づけることで、発生したヘリウムガスの冷熱を効率よく
回収し、冷凍機の効率を向上させることができる。The helium gas generated by increasing the high pressure flow rate of the Joule-Thompson loop to be equal to or close to the low pressure flow rate by opening the solenoid valve according to claim 1 at the time of overload such as excitation and demagnetization. Can be efficiently recovered, and the efficiency of the refrigerator can be improved.
【００１２】請求項２の空圧弁は、超電導磁石の磁気の
影響を避けるためのものである。超電導磁石近傍の電磁
弁は磁気の影響により作動が不完全になることもある。
そこで空圧弁の採用により、強磁界での確実な動作を期
待する。A pneumatic valve according to a second aspect is to avoid the influence of the magnetism of the superconducting magnet. The operation of the solenoid valve near the superconducting magnet may be incomplete due to the influence of magnetism.
Therefore, by using a pneumatic valve, reliable operation in a strong magnetic field is expected.
【００１３】請求項３の圧力スイッチＡ及び圧力スイッ
チＢは、請求項１の電磁弁を自動的に開閉するために設
けるものであり、励消磁等の過剰負荷時に圧縮機高圧圧
力が上昇することを検知し、高圧保圧弁の作動圧力より
若干低い値で電磁弁を開にし、また、定常運転時流量絞
り弁Ａで設定される、絞り弁後の圧力以下で電磁弁を閉
にすることにより、励消磁等の過剰負荷時において、極
低温冷凍液化装置の効率よい自動運転が可能となる。The pressure switch A and the pressure switch B of the third aspect are provided for automatically opening and closing the solenoid valve of the first aspect. And opening the solenoid valve at a value slightly lower than the operating pressure of the high pressure holding valve, and closing the solenoid valve at a pressure equal to or less than the pressure after the throttle valve set by the flow throttle valve A during steady operation. At the time of excessive load such as excitation and demagnetization, efficient automatic operation of the cryogenic refrigeration and liquefaction apparatus becomes possible.
【００１４】[0014]
【実施例】図１は、本発明の請求項１の１実施例の概略
構成図であって、１は低圧回路、２は高圧回路、３はヘ
リウム圧縮機、４はジュールトムソンループ、５は予冷
機、６は極低温用冷凍機、７は極低温冷凍液化装置、８
は流量絞り弁Ａ、９は電磁弁、１４は低圧調整弁、１５
は高圧保圧弁、１６は熱交換器、１７は予冷熱交換器、
１８はジュールトムソン弁、１９はバッファタンク、２
０はヘリウムタンク、２１は超電導コイル、２２は超電
導磁石である。ヘリウム圧縮機３で圧縮された高圧ガス
は、通常運転では、流量絞り弁Ａ８を通り、若干降圧さ
れ、極低温用冷凍機６のジュールトムソンループ４を経
て、ヘリウムタンク２０に導かれる。また、ヘリウムタ
ンク２０の蒸発ヘリウムガスはジュールトムソンループ
４を経て、ヘリウム圧縮機３の低圧回路１に戻る。励消
磁等の過剰負荷時には、電磁弁９を介し、降圧されずに
ジュールトムソンループ４に導かれる。FIG. 1 is a schematic diagram of a first embodiment of the present invention, wherein 1 is a low-pressure circuit, 2 is a high-pressure circuit, 3 is a helium compressor, 4 is a Joule-Thompson loop, and 5 is Pre-cooler, 6 is a cryogenic refrigerator, 7 is a cryogenic liquefaction unit, 8
Is a flow restrictor A, 9 is a solenoid valve, 14 is a low pressure regulating valve, 15
Is a high pressure holding valve, 16 is a heat exchanger, 17 is a pre-cooling heat exchanger,
18 is a Joule Thomson valve, 19 is a buffer tank, 2
0 is a helium tank, 21 is a superconducting coil, and 22 is a superconducting magnet. In normal operation, the high-pressure gas compressed by the helium compressor 3 is slightly reduced in pressure through the flow restrictor A <b> 8, and is guided to the helium tank 20 through the Joule-Thomson loop 4 of the cryogenic refrigerator 6. Further, the evaporated helium gas in the helium tank 20 returns to the low-pressure circuit 1 of the helium compressor 3 via the Joule-Thomson loop 4. At the time of excessive load such as excitation and demagnetization, the pressure is guided to the Joule-Thomson loop 4 via the solenoid valve 9 without being reduced in pressure.
【００１５】また図２は、本発明の請求項２の１実施例
の概略構成図であって、１〜８、１４〜２２は、図１と
同じである。１０は空圧弁である。電磁弁は超電導磁石
の近傍では動作不良になる可能性が高く、空圧弁など磁
気の影響が無い部品の採用も必要である。FIG. 2 is a schematic structural view of one embodiment of the second aspect of the present invention, wherein 1 to 8 and 14 to 22 are the same as those in FIG. 10 is a pneumatic valve. The solenoid valve is likely to malfunction in the vicinity of the superconducting magnet, and it is necessary to use a component that is not affected by magnetism such as a pneumatic valve.
【００１６】また図３は、本発明の請求項３の１実施例
の概略構成図であって、１〜９、１４〜２２は、図１と
同じである。１１は圧力スイッチＡ、１２は圧力スイッ
チＢである。電磁弁９は、過剰負荷時に高圧圧力が上昇
し、圧力スイッチＡ１１が作動することにより開とし、
過剰負荷が無くなり、高圧圧力が降下して圧力スイッチ
Ｂ１２が作動すると閉にする。FIG. 3 is a schematic block diagram of one embodiment of the third aspect of the present invention, wherein 1 to 9 and 14 to 22 are the same as those in FIG. 11 is a pressure switch A, and 12 is a pressure switch B. The solenoid valve 9 is opened when the high pressure increases during an excessive load and the pressure switch A11 operates,
When the overload is removed and the high pressure drops and the pressure switch B12 is activated, it is closed.
【００１７】また図４は、従来の１実施例の概略構成図
であって、１〜９、１４〜２２は、図１と同じである。
１３は流量絞り弁Ｂである。FIG. 4 is a schematic structural view of a conventional example, in which 1 to 9 and 14 to 22 are the same as those in FIG.
Reference numeral 13 denotes a flow restrictor B.
【００１８】[0018]
【発明の効果】以上説明したように本発明の極低温冷凍
液化装置は、励消磁等の過剰熱負荷に対し、低圧流量の
増加に見合うように高圧流量も増加し、高低圧の流量を
等しく、または近づけることにより、極低温冷凍液化装
置の効率のよい運転が可能であり、液体ヘリウムの蒸発
を少なくできるという利点がある。また圧力スイッチＡ
１１及び圧力スイッチＢ１２を取付け、電磁弁９または
空圧弁１０の開閉操作を制御することにより、自動的に
最適な運転が可能となる。As described above, according to the cryogenic refrigeration and liquefaction apparatus of the present invention, the high-pressure flow rate is increased to match the increase in the low-pressure flow rate and the high- and low-pressure flow rates are equalized with respect to the excess heat load such as excitation and demagnetization. , Or close to each other, there is an advantage that efficient operation of the cryogenic refrigeration / liquefaction apparatus can be performed and evaporation of liquid helium can be reduced. Pressure switch A
By installing the pressure switch 11 and the pressure switch B12 and controlling the opening / closing operation of the solenoid valve 9 or the pneumatic valve 10, the optimum operation can be automatically performed.
【図１】請求項１の実施例を示した概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of claim 1;
【図２】請求項２の実施例を示した概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of claim 2;
【図３】請求項３の実施例を示した概略構成図である。FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of claim 3;
【図４】本発明を使用しない従来の極低温冷凍液化装置
についての概略構成図である。FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a conventional cryogenic refrigeration and liquefaction apparatus not using the present invention.
１ 低圧回路 ２ 高圧回路 ３ ヘリウム圧縮機 ４ ジュールトムソンループ ５ 予冷機 ６ 極低温用冷凍機 ７ 極低温冷凍液化装置 ８ 流量絞り弁Ａ ９ 電磁弁 １０ 空圧弁 １１ 圧力スイッチＡ １２ 圧力スイッチＢ １３ 流量絞り弁Ｂ １４ 低圧調整弁 １５ 高圧保圧弁 １６ 熱交換器 １７ 予冷熱交換器 １８ ジュールトムソン弁 １９ バッファタンク ２０ ヘリウムタンク ２１ 超電導コイル ２２ 超電導磁石 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Low-pressure circuit 2 High-pressure circuit 3 Helium compressor 4 Joule-Thomson loop 5 Precooler 6 Cryogenic refrigerator 7 Cryogenic refrigeration liquefaction device 8 Flow restrictor A 9 Solenoid valve 10 Pneumatic valve 11 Pressure switch A 12 Pressure switch B 13 Flow rate Throttle valve B 14 Low pressure regulating valve 15 High pressure holding valve 16 Heat exchanger 17 Precooling heat exchanger 18 Joule Thomson valve 19 Buffer tank 20 Helium tank 21 Superconducting coil 22 Superconducting magnet
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F25B 9/02──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) F25B 9/02
Claims (3)
ループ４を具備する極低温用冷凍機６からなる極低温冷
凍液化装置７において、前記ジュールトムソンループ４
へ高圧ガスを供給する前記ヘリウム圧縮機３の高圧回路
２に、流量絞り弁Ａ８と、該流量絞り弁Ａ８に並列に設
けた流量絞り機能を有しない電磁弁９を具備することを
特徴とする極低温冷凍液化装置。And 1. A Helium compressor 3, the cryogenic refrigeration liquefier 7 consisting of a cryogenic refrigerator 6 having a Joule-Thomson loop 4, the Joule-Thomson loop 4
The high-voltage circuit 2 of the helium compressor 3 supplies the high pressure gas to a flow restrictor A8, characterized by comprising a solenoid valve 9 having no flow restriction function is provided in parallel to the flow rate throttle valve A8 Cryogenic refrigeration and liquefaction equipment.
を特徴とする請求項１記載の極低温冷凍液化装置。2. The cryogenic refrigeration and liquefaction apparatus according to claim 1, wherein said solenoid valve is a pneumatic valve.
操作を、前記ヘリウム圧縮機３の高圧回路２と前記流量
絞り弁Ａ８間路に設けた圧力スイッチＡ１１及び圧力ス
イッチＢ１２により、自動的に行うことを特徴とする請
求項２記載の極低温冷凍液化装置。The opening and closing operation according to claim 3, wherein the solenoid valve 9 and the pneumatic valve 10, the pressure switches A11 and pressure switch B12 provided a high-voltage circuit 2 of the helium compressor 3 to passage between the flow restrictor A8, automatically The cryogenic refrigeration and liquefaction apparatus according to claim 2, wherein:
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