JP2832166B2 - ガス供給集積ユニット - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】 本発明は、半導体製造装置等の
産業用製造装置で使用されるガス供給装置に関し、さら
に詳細には、複数種類のガスを供給する複数のガス供給
装置ユニットを集積させてコンパクト化可能なガス供給
集積システムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体製造工程において、ホ
トレジスト加工のエッチング等に腐食性ガスが使用され
ている。ホトレジスト加工（ホトレジスト塗布、露光、
現像、エッチング）は、半導体製造工程において腐食性
ガスの種類を変えて複数回繰り返されるため、実際の半
導体製造工程では、複数種類の腐食ガスを必要に応じて
供給するガス供給装置が使用されている。ここで、ガス
を供給するガス供給装置には、流量を正確に計測するた
めのマスフローコントローラと、マスフローコントロー
ラ内に腐食性ガス等の供給ガスを残留させないためにマ
スフローコントローラの前後に設けられる入口開閉弁、
出口開閉弁、及びパージ弁と、供給ガスの供給または遮
断を手動で行うための手動弁と、供給ガスのガス圧を調
整するレギュレータと、供給ガスの圧力をモニターする
ための圧力計と、供給ガスの混入不純物を除去するため
のフィルタとが構成要素として必要である。従って、従
来のガス供給装置は、それらが直列に接続されて構成さ
れている。

【０００３】図１１に従来のガス供給装置を示す。図１
１の右から、手動弁ブロック１０４の出力ポートが、継
手１０１、パイプ、継手１０１を介して、レギュレータ
ブロック１０３の入力ポートに接続している。手動弁ブ
ロック１０４の上部には、手動弁１８が取り付けられて
いる。また、レギュレータブロック１０３の上部には、
レギュレータ１７が取り付けられている。レギュレータ
ブロック１０３の出力ポートは、継手１０１、三又パイ
プ１０２、継手１０１を介して、フィルタ１５の入力ポ
ートに接続している。三又パイプ１０２の上部には、圧
力計１６が取り付けられている。また、フィルタ１５は
長手方向の一方から入って他方に出るタイプであり、フ
ィルタ１５の出力ポートは、継手１０１、パイプ、継手
１０１を介して、入力ブロック１０８の入力ポートに接
続している。

【０００４】入口開閉弁１４、パージ弁１３、及びマス
フローコントローラ１１は、入力ブロック１０８、流路
方向変換ブロック２７、マスフローコントローラブロッ
ク２８、流路方向変換ブロック２９、出力ブロック１０
５によりマスフローユニットを構成している。このマス
フローユニットについては、本出願人らが特開平６−２
４１４００号で提案し説明しているので、詳細な説明を
省略する。入力ブロック１０８の上部には、入口開閉弁
１４及びパージ弁１３が取り付けられている。入力ブロ
ック１０８の下部は、パージ弁１３の入力ポートと連通
するパージガス供給流路が形成されたパージ共通流路ブ
ロック１９に固設されている。また、入力ブロック１０
８の出力ポートは、流路方向変換ブロック２７の入力ポ
ートに接続している。また、流路方向変換ブロック２７
の出力ポートは、マスフローコントローラブロック２８
の入力ポートに接続している。また、マスフローコント
ローラブロック２８の上部には、マスフローコントロー
ラ１１が取り付けられている。

【０００５】またマスフローコントローラブロック２８
の出力ポートは、流路方向変換ブロック２９を介して出
力ブロック１０５の入力ポートに接続している。出力ブ
ロック１０５には、出口開閉弁１２が取り付けられてい
る。出力ブロック１０５の下部は、出口開閉弁１２の出
力ポートと連通する出力ガス供給流路が形成された出力
共通流路ブロック２０に固設されている。図１１の流路
を、図１０に空圧回路図で示す。パージ弁１３Ａは、マ
スフローコントローラ１１Ａと入口開閉弁１４Ａとの間
の流路と、パージ用の窒素ガス供給管１９とに接続す
る。出口開閉弁１２Ａは、エッチングの行われる真空チ
ャンバーへ連通する供給ガス管路２０に接続している。

【０００６】１つの真空チャンバーにおいて、複数種類
の腐食性ガスを切り替えて使用することにより、複雑な
工程のエッチングを行っている。従って、１つの真空チ
ャンバー毎に複数種類のガスを供給する必要がある。１
つの真空チャンバーに７種類の腐食性ガス等を供給する
回路図を図１０に示す。また、図１０の回路図を具体化
したガス供給ユニットを図１２に平面図として示す。す
なわち、図１１のガス供給装置を、図１２では、７連並
列に配設している。図１１に示すガス供給装置は、設置
する方向は特に規制がなく自由であるが、できるだけコ
ンパクトにまとめるため、図１２に示すように７連並列
に配設してガス供給ユニットＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，
Ｇを構成させているのである。

【０００７】一方、図１３に４つの真空チャンバーが配
設されたエッチング装置の配置図を示す。中央に設置さ
れたロボット５３を中心にして、４つの真空チャンバー
５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ，５１Ｄが配設されている。ま
た、真空チャンバー５１に未エッチングのウエハ等を供
給し、加工済みウエハを回収するための２台の搬送装置
５２が配設されている。ここで、一つ一つの真空チャン
バー５１に対して、図１２で示したガス供給ユニットが
必要となるので、図１３で示すように、壁際に４つのガ
スボックス５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄを設け、各
々を真空チャンバー５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ，５１Ｄに
接続している。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置には次のような問題点があった。 （１）ガス供給ユニットは、図１２に示すように、長さ
が５２０ｍｍ、幅が約３００ｍｍと広いフロアスペース
を占めるため、真空チャンバー５１Ａ〜５１Ｄの近くに
配設すると、作業等の邪魔になる。しかし、図１３に示
すように、複数の真空チャンバー５１Ａ〜５１Ｄにガス
を供給するガス供給装置を壁際にガスボックスとしてま
とめると、ガス供給装置から真空チャンバー５１Ａ〜５
１Ｄまでの配管が長くなり、マスフローコントローラ１
１で流量を正確に計測しても、長い配管のため、実際に
真空チャンバー５１Ａ〜５１Ｄに供給されるガス流量が
不正確となる問題があった。また、供給するガスの種類
によっては、常温で液化するものもあり、保温等が必要
な場合がある。その場合に、ガスボックス５０Ａ〜５０
Ｄから真空チャンバー５１Ａ〜５１Ｄまでの配管が長い
と、保温された配管全体がスペースをとり、作業スペー
スを狭くする問題がある。また、十分に保温されずにエ
ッチングに悪影響を与える恐れもある。

【０００９】（２）図１２に示すように、パージ弁１３
をパージ共通流路ブロック１９に対して、上方向からの
２本の取付ボルト１０６で取り付けている。また、出口
開閉弁１２を出力共通流路ブロック２０に対して、上方
向からの２本の取付ボルト１０７で取り付けている。し
かし、上方向からのパージ弁１３及び出口開閉弁１２の
着脱を可能にするために、取付ボルト１０６及び取付ボ
ルト１０７が、パージ弁１３及び出口開閉弁１２の横方
向に位置する。このため、ガス供給集積システムの横幅
が大きくなる問題があった。

【００１０】本発明は、上記した問題点を解決するもの
であり、マスフローコントローラ、レギュレータ、圧力
計、フィルタを含むガス供給装置ユニットを複数台有す
るガス供給システムであって、狭いフロアスペースで配
設可能に集積されたガス供給集積システムを提供するこ
とを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明のガス供給集積ユニットは、以下の様な構成
を有している。 （１）供給ガスの搬送管路上にあって該供給ガスの流れ
を遮断する第一開閉弁及び第二開閉弁と、該第一及び第
二開閉弁の中間にあって該供給ガスの流量を制御するマ
スフローコントローラとが一体的に構成されたマスフロ
ーユニットを有するガス供給集積ユニットであって、供
給ガスのガス圧を調整するレギュレータと、供給ガスの
圧力をモニターするための圧力計と、供給ガスの流れを
手動により遮断する手動弁と、供給ガスの混入不純物を
除去するためのフィルタとのうち少なくとも１つが、マ
スフローユニットと並列に配設され、かつ一体的なユニ
ットを構成すると共に、第二開閉弁の流路とガス供給シ
ステム本体の共通流路とを連通し、ユニット全体をガス
供給システム本体に対して着脱自在に取り付ける着脱部
材を有している。

【００１２】（２）（１）１に記載するものにおいて、
前記レギュレータ、前記圧力計、前記手動弁、前記フィ
ルタとのうち少なくとも１つが、前記マスフローコント
ローラの取付方向と反対方向から取付ボルトで取り付け
られていることを特徴とする。 （３）（１）または（２）に記載するものにおいて、前
記着脱部材が取付ボルトにより、着脱される取付ブラケ
ットであることを特徴とする。 （４）（３）に記載するものにおいて、前記マスフロー
コントローラ内に残留する前記供給ガスを排除するパー
ジガスを供給するためのパージ弁と、前記パージ弁の流
路と連通し、取付ボルトにより前記ガス供給システム本
体のパージ共通流路に連通して、着脱自在に取り付けら
れるパージ取付ブラケットを有することを特徴とする。

【００１３】（５）供給ガスの搬送管路上にあって該供
給ガスの流れを遮断する第一開閉弁及び第二開閉弁と、
該第一及び第二開閉弁の中間にあって該供給ガスの流量
を制御するマスフローコントローラとが一体的に構成さ
れたマスフローユニットを有するガス供給集積ユニット
であって、供給ガスの供給または遮断を手動で行うため
の手動弁と、供給ガスのガス圧を調整するレギュレータ
と、供給ガスの圧力をモニターするための圧力計とのう
ち少なくとも１つが、マスフローユニットと同一平面内
で取付方向が正反対かつ並列に配設される。

【００１４】（６）（５）に記載するものにおいて、前
記手動弁と、前記圧力計とが、前記第一開閉弁と同一ブ
ロックに反対方向からボルトで取り付けられていること
を特徴とする。 （７）（５）または（６）に記載するものにおいて、前
記レギュレータに、入力パイプと、出力パイプと、前記
入力パイプに接続して流路を変換する入力変換ブロック
と、前記出力パイプに接続して流路を変換する出力変換
ブロックとが一体的に固設されていることを特徴とす
る。 （８）（６）に記載するものにおいて、前記供給ガスの
不純物を除去するためのフィルタが、前記同一ブロック
に前記手動弁、前記圧力計と前記第一開閉弁とに対して
直交する方向から取り付けられていることを特徴とす
る。

【００１５】

【作用】上記の構成よりなる本発明のガス供給集積ユニ
ットのマスフローユニットは、マスフローコントローラ
と第一開閉弁、第二開閉弁を接続するのに、パイプを使
用せずに、流路が形成された流路ブロックで接続してい
るので、流れ方向の長さをコンパクト化することができ
ている。そして、供給ガスの供給または遮断を手動で行
うための手動弁と、供給ガスのガス圧を調整するレギュ
レータと、供給ガスの圧力をモニターするための圧力計
とが一体化され、かつマスフローユニットとほぼ同じ長
さのユニットを構成しており、マスフローユニットと並
列に配設されているので、ガス供給集積ユニット全体を
コンパクトに一体的化できている。また、着脱部材であ
る取付ブラケットをシステム本体に取り付けているボル
トを外すだけで、ガス供給集積ユニットをガス供給シス
テム本体から容易に着脱できるため、各部品等の交換が
容易となり、メンテナンス性が向上した。

【００１６】また、手動弁と、レギュレータと、圧力計
とが、第一開閉弁、第二開閉弁、及びマスフローコント
ローラからなるマスフローユニットの取り付けボルトと
反対方向からボルトで取り付けられているので、全体が
マスフローユニットと同じ平面で構成でき、ガス供給集
積ユニットの厚みを薄くすることができる。また、レギ
ュレータに、入力パイプと、出力パイプと、入力パイプ
に接続して流路を変換する入力変換ブロックと、出力パ
イプに接続して流路を変換する出力変換ブロックとが一
体的に固設されているので、レギュレータを交換すると
きに、それらを一体的に交換することにより、容易かつ
短時間で交換作業を行うことができる。

【００１７】

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例であるガ
ス供給集積ユニットについて、図面を参照して説明す
る。図４は、ガス供給集積ユニットの構成を示す回路図
である。供給ガスである腐食性ガスＦの配管は、腐食性
ガスＦのガス圧を調整するためのレギュレータ１７に接
続している。また、レギュレータ１７は、腐食性ガスＦ
の供給または遮断を行うための手動弁１８に接続してい
る。一方、レギュレータ１７と手動弁１８との間には、
腐食性ガスＦの圧力をモニターするための圧力計１６が
接続されている。また、手動弁１８は、腐食性ガスＦの
混入不純物を除去するためのフィルタ１５に接続してい
る。

【００１８】また、フィルタ１５は、第一開閉弁である
入口開閉弁１４に接続している。入口開閉弁１４は、腐
食性ガスＦの流量を計測して一定量の腐食性ガスＦを供
給するためのマスフローコントローラ１１に接続してい
る。マスフローコントローラ１１は、通常使用されてい
るものを利用しているので、詳細な説明を省略する。ま
た、マスフローコントローラ１１は、第二開閉弁である
出口開閉弁１２に接続している。出口開閉弁１２の出口
ポートは、出力共通流路２０ａに接続している。出力共
通流路２０ａは、半導体工程のチャンバー５１に接続し
ている。一方、入口開閉弁１４とマスフローコントロー
ラ１１の間には、残留する腐食性ガスＦを窒素ガスに置
換するためのパージ弁１３の入力ポートが接続してい
る。また、パージ弁１３の出力ポートは、パージ共通流
路１９ａに接続している。パージ共通流路１９ａは、パ
ージ切換弁４７、窒素ガス配管４６を介して窒素ガスの
供給タンクに接続している。

【００１９】図４の回路図を具体化した実施例を図１、
図２、図５及び図６に示す。図２は、腐食性ガスＦを供
給するためのガス供給集積ユニットの１単位ユニットの
構成を示す平面図であり、図１は、その側面図であり、
図５は供給ガスの流路を示すための部分断面図であり、
図６は供給ガスの流路をしめすための斜視説明図であ
る。また、図３は、複数のガス供給集積ユニットをガス
供給システムに取り付けた状態を示す斜視図である。始
めに、腐食性ガスＦは、図示しないシステム本体のガス
供給口から入力ブロック２１に形成された入力流路２１
ａ、入力パイプ２４、レギュレータ入力ブロック２６、
レギュレータ入力パイプ３０を介してレギュレータブロ
ック３３に形成された入力流路３３ａに接続している。
入力流路３３ａは、レギュレータ１７の入力ポートに接
続している。

【００２０】図１、図５にしめすように、レギュレータ
１７の出力ポートは、出力流路３３ｂ、レギュレータ出
力パイプ４０、レギュレータ出力ブロック３１を介して
流路方向変換ブロック２９に形成された入力流路２９ａ
に接続している。入力流路２９ａは、流路ブロック３２
に形成された手動弁入力流路３２ａを介して手動弁１８
の入力ポートに接続している。一方、手動弁入力流路３
２ａは、圧力計１６に接続している。手動弁１８の出力
ポートは、流路ブロック３２に形成されたフィルタ入力
流路３２ｂを介してフィルタ１５の入力ポートに接続し
ている。フィルタ１５の出力ポートは、入口弁入力流路
３２ｃを介して入口開閉弁１４の入力ポートに接続して
いる。入口開閉弁１４の出力ポートは、パージ流路３２
ｄ、流路方向変換ブロック２９に形成されたマスフロー
バルブ入力流路２９ｂを介してマスフローコントローラ
１１の入力ポートに接続している。

【００２１】一方、パージ流路３２ｄは、パージ弁１３
の出力ポートに接続している。パージ弁１３の入力ポー
トは、パージ入力流路３２ｅ、パージガスパイプ３５を
介してパージ入力ブロック３６に形成されたパージ入力
流路３６ａに接続している。パージ入力流路３６ａは、
パージ共通流路ブロック１９に形成されたパージ共通流
路１９ａに接続している。マスフローコントローラ１１
の出力ポートは、流路方向変換ブロック２７に形成され
た出力流路２７ａ、出力ブロック２５に形成された出力
弁入力流路２５ｂを介して出口開閉弁１２の入力ポート
に接続している。出口開閉弁１２の出力ポートは、出力
弁出力流路２５ａ、出力パイプ２３を介して出力ブロッ
ク２２に形成された出力流路２２ａに接続している。出
力流路２２ａは、出力共通流路ブロック２０に形成され
た出力共通流路２０ａに接続している。

【００２２】この出力ブロック２２は、４本のボルトに
より出力共通流路ブロック２０に対して着脱自在であ
り、着脱部材である取付ブラケットを構成している。ま
た、パージ入力ブロック３６は、４本のボルトによりパ
ージ共通流路ブロック１９に対して着脱自在であり、着
脱部材である取付ブラケットを構成している。図３に示
すように、ガス供給集積ユニット９は、ガス供給システ
ム本体８に対して８本の取付ボルトにより取り付けられ
ている。これらのボルト及び入力ブロック２１の取付ボ
ルトを取り外すことにより、ガス供給システム本体８に
対してガス供給集積ユニット９を容易に取り外すことが
可能である。ここで、図３に示すように、ガス供給集積
ユニット９をボックス７に収納してもよい。ボックス７
に収納することにより、取り外したときの取扱いが便利
となる。

【００２３】このガス供給集積ユニット９によれば、出
口開閉弁１２、マスフローコントローラ１１、パージ弁
１３及び入口開閉弁１４から構成されるマスフローコン
トローラユニットと、レギュレータ１７、圧力計１６及
び手動弁１８を同じ平面上で反対側に取り付けており、
かつ出力ブロック２２及びパージ入力ブロック３６をガ
ス供給集積ユニット９の外側の同じ平面内に設けている
ので、ガス供給集積ユニット９の体積をコンパクト化で
き、ガス供給システムの集積度を向上させることができ
る。

【００２４】レギュレータ１７は、レギュレータ入力パ
イプ３０、レギュレータ入力ブロック２６、レギュレー
タ出力パイプ４０、及びレギュレータ出力ブロック３１
と一体的に組み立てられており、レギュレータユニット
として、流路方向変換ブロック２７、２９に対して、下
方向から４本のボルトで取り付けられており、レギュレ
ータ１７は、ユニットとして、下方向から取り外し及び
取り付け可能である。また、圧力計１６は、圧力計ブロ
ック１６ａにより、流路ブロック３２に対して下方向か
ら４本のボルトで取り付けられており、圧力計１６は、
ユニットとして、下方向から取り外し及び取り付け可能
である。

【００２５】ここで、従来の圧力計１６は、交換可能と
するため、継手によりパイプに連結されていたので、継
手部においてシール材によるパーティクルの発生が問題
となっていたが、本実施例の圧力計１６ユニットによれ
ば、継手部がないため、パーティクルの発生を減少させ
ることができる。また、フィルタ１５は、流路ブロック
３２に対して横方向から４本のボルトで取り付けられて
おり、フィルタ１５は、横方向から取り外し及び取り付
け可能である。

【００２６】次に、本発明のガス供給集積ユニットを、
複数台集積して配設する場合について説明する。図８に
必要とするガス供給装置の回路図を示す。真空チャンバ
ーへ供給するガスとしては、Ｆａ，Ｆｂ，Ｆｃ，Ｆｄ，
Ｆｅ，Ｆｆ，Ｆｇの７つの種類の腐食性ガスが用意され
ている。各腐食性ガスの供給ラインに上記説明したガス
供給集積ユニットが使用される。すなわち、各腐食性ガ
スの供給ラインに取り付けられるガス供給集積ユニット
は、レギュレータ１７、圧力計１６、手動弁１８、フィ
ルタ１５、入口開閉弁１４、パージ弁１３、マスフロー
コントローラ１１及び出口開閉弁１２を有している。ま
た、パージ弁１３の出力ポートは、パージ共通流路ブロ
ック１９、パージ切換弁４７を介して窒素ガス配管４６
へ接続している。窒素ガス配管４６は、図示しない窒素
ガスの供給タンクに接続している。また、出口開閉弁１
２Ａ〜Ｆの出力ポートは、出力共通流路２０ａに統合さ
れて真空チャンバーへ接続している。また、出力共通流
路ブロック２０と窒素ガス配管４６とを接続する配管上
には、出力共通流路ブロック２０に残留する腐食性ガス
を置換するためのパージ弁４８が取り付けられている。

【００２７】次に、図８の回路図を具体化した本発明の
ガス供給集積システムを説明する。図３に斜視図を示
す。７つのガス供給集積ユニット９Ａ，９Ｂ，９Ｃ，９
Ｄ，９Ｅ，９Ｆ，９Ｇが、密着して重ねられてガス供給
システム本体８に取り付けられている。これによれば、
図３に示すように、占有する床面積を従来と比較して面
積が１／２以下であり、大幅に縮小することができる。
占有面積を縮小できたので、図９に示すように、ガス供
給システム本体８Ａ，８Ｂ，８Ｃ，８Ｄを、各真空チャ
ンバー５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ，５１Ｄのすぐ近くに配
設しても、作業の邪魔になることがない。

【００２８】以上詳細に説明したように、本実施例のガ
ス供給集積ユニット９によれば、腐食性ガスＦの搬送管
路上にあって腐食性ガスＦの流れを遮断する入口開閉弁
１４及び出口開閉弁１２と、入口開閉弁１４と出口開閉
弁１２の中間にあって腐食性ガスＦの流量を制御するマ
スフローコントローラ１１とが一体的に構成されたマス
フローユニットを有するものであって、腐食性ガスＦの
ガス圧を調整するレギュレータ１７と、腐食性ガスＦの
圧力をモニターするための圧力計１６と、腐食性ガスＦ
の流れを手動により遮断する手動弁１８とが、マスフロ
ーコントローラユニットと並列に配設され、かつ一体的
なユニットを構成すると共に、出口開閉弁１２の出力ポ
ートとガス供給システム本体８の出力共通流路２０ａと
を連通し、ガス供給集積ユニット９全体をガス供給シス
テム本体８に対して着脱自在に取り付ける出力ブロック
２２を有しているので、ガス供給装置システム全体をコ
ンパクト化することができ、床の占有面積を大幅に縮小
することができるため、ガス供給集積システムを真空チ
ャンバー５１のすぐ近くに配設することが可能となると
共に、システム本体から容易に着脱できるため、各部品
等の交換が容易となり、メンテナンス性が向上した。

【００２９】また、本実施例のガス供給集積ユニットに
よれば、手動弁１８と、レギュレータ１７と、圧力計１
６とが、入口開閉弁１４、出口開閉弁１２、及びマスフ
ローコントローラ１１の取り付けボルトと反対方向から
ボルトで取り付けられているので、ガス供給集積ユニッ
ト９の厚みを薄くできよりコンパクト化できる。また、
本実施例のガス供給集積システムによれば、上記したガ
ス供給集積ユニットを２以上並列に積み重ねて配設する
と共に、各ガス供給集積ユニットの出口開閉弁１２Ａ，
１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ，１２Ｅ，１２Ｆ，１２Ｇの出
力ポートを連通させる共通出力流路ブロック２０を有し
ているので、複数の腐食性ガスＦを供給する装置全体を
小型化することができ、床占有面積を従来と比較して大
幅に減少させることができたため、ガス供給集積システ
ムを真空チャンバー５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ，５１Ｄの
近傍に配設することができ、マスフローコントローラ１
１のガス供給精度を向上させることができる。

【００３０】次に、本発明の第二の実施例を説明する。
基本的な構成等は、第一の実施例とほぼ同じなので、異
なる点のみ説明する。図７に第二の実施例のガス供給集
積ユニット９を斜視図で示す。入力ブロック２１の代わ
りに入力継手３７ａを、出力ブロック２２の変わりに出
力継手３８ａを、パージ入力ブロック３６の代わりにパ
ージ入力継手３９ａを使用している。また、出力共通流
路ブロック２０の代わりに出力共通流路パイプ４１を、
パージ共通流路ブロック１９の代わりにパージ共通流路
パイプ４２を使用している。ガス供給システム本体８側
には、入力継手３７ａと連結するための入力継手３７
ｂ、出力継手３８ａと連結するための出力継手３８ｂ、
パージ入力継手３９ａと連結するためのパージ入力継手
３９ｂが固設されている。この出力継手３８ａ及びパー
ジ入力継手３９ａが、着脱部材を構成している。入力継
手３７ａ、出力継手３８ａ、及びパージ入力継手３９ａ
を外すことにより、ガス供給集積ユニット９をガス供給
システム本体８から容易に取り外すことが可能である。

【００３１】以上説明したように、第二の実施例のガス
供給集積ユニット９によれば、腐食性ガスＦの搬送管路
上にあって腐食性ガスＦの流れを遮断する入口開閉弁１
４及び出口開閉弁１２と、入口開閉弁１４と出口開閉弁
１２の中間にあって腐食性ガスＦの流量を制御するマス
フローコントローラ１１とが一体的に構成されたマスフ
ローユニットを有するものであって、腐食性ガスＦのガ
ス圧を調整するレギュレータ１７と、腐食性ガスＦの圧
力をモニターするための圧力計１６と、腐食性ガスＦの
流れを手動により遮断する手動弁１８とが、マスフロー
コントローラユニットと並列に配設され、かつ一体的な
ユニットを構成すると共に、出口開閉弁１２の出力ポー
トとガス供給システム本体８の出力共通流路パイプ４１
とを連通し、ガス供給集積ユニット９全体をガス供給シ
ステム本体８に対して着脱自在に取り付ける出力継手３
８を有しているので、ガス供給装置システム全体をコン
パクト化することができ、床の占有面積を大幅に縮小す
ることができるため、ガス供給集積システムを真空チャ
ンバー５１のすぐ近くに配設することが可能となった。

【００３２】以上、本発明の一実施例について詳細に説
明したが、本発明は、上記実施例に限定されることな
く、色々に変形実施することが可能である。また、本実
施例では、圧力計１６としてセンサータイプを使用して
いるが、ブルドン管タイプを使用してもよい。また、レ
ギュレータ１７を使用しない場合には、レギュレータ１
７をバイパスするだけでよい。また、フィルタ１５のエ
レメントとしては、セラミックタイプでもメタルタイプ
のどちらでもよい。どちらの場合でも、本実施例によれ
ば、交換が容易である。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明のガス供給集積ユニットによれば、供給ガスの搬送
管路上にあって該供給ガスの流れを遮断する第一開閉弁
及び第二開閉弁と、該第一及び第二開閉弁の中間にあっ
て該供給ガスの流量を制御するマスフローコントローラ
とが一体的に構成されたマスフローユニットを有するも
のであって、供給ガスのガス圧を調整するレギュレータ
と、供給ガスの圧力をモニターするための圧力計と、供
給ガスの流れを手動により遮断する手動弁と、供給ガス
の混入不純物を除去するためのフィルタのうちの少なく
とも１つが、マスフローユニットと並列に配設され、か
つ一体的なユニットを構成すると共に、第二開閉弁の流
路とガス供給システム本体の共通流路とを連通し、ユニ
ット全体をガス供給システム本体に対して着脱自在に取
り付ける着脱部材を有しているので、ガス供給装置全体
をコンパクト化することができ、床の占有面積を大幅に
縮小することができるため、ガス供給集積システムを真
空チャンバーのすぐ近くに配設することが可能となっ
た。

【００３４】また、本発明のガス供給集積ユニットによ
れば、供給ガスの搬送管路上にあって該供給ガスの流れ
を遮断する第一開閉弁及び第二開閉弁と、該第一及び第
二開閉弁の中間にあって該供給ガスの流量を制御するマ
スフローコントローラとが一体的に構成されたマスフロ
ーユニットを有するものであって、供給ガスの流れを手
動により遮断する手動弁と、供給ガスのガス圧を調整す
るレギュレータと、供給ガスの圧力をモニターするため
の圧力計とのうちの少なくとも１つが、マスフローユニ
ットと同一平面内で取付方向が正反対かつ並列に配設さ
れているので、ガス供給装置全体をコンパクト化するこ
とができ、床の占有面積を大幅に縮小することができる
ため、ガス供給集積システムを真空チャンバーのすぐ近
くに配設することが可能となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるガス供給集積ユニット
９の具体的な構成を示す側面図である。

【図２】ガス供給集積ユニット９の具体的な構成を示す
平面図である。

【図３】７つのガス供給集積ユニット９を組み込んだガ
ス供給システムを示す斜視図である。

【図４】ガス供給集積ユニット９の構成を示す回路図で
ある。

【図５】ガス供給集積ユニット９のガスの流れを示す部
分断面図である。

【図６】ガス供給集積ユニット９のガスの流れを示す斜
視説明図である。

【図７】本発明の第二実施例であるガス供給集積ユニッ
ト９の構成を示す斜視図である。

【図８】ガス供給システムの構成を示す回路図である。

【図９】ガス供給システムを取り付けたエッチング装置
の全体構成を示す平面図である。

【図１０】従来のガス供給システムの構成を示す回路図
である。

【図１１】従来のガス供給装置の具体的な構成を示す側
面図である。

【図１２】従来のガス供給装置の具体的な構成を示す平
面図である。

【図１３】従来のガス供給装置を取り付けたエッチング
装置の全体構成を示す平面図である。

【符号の説明】

８ ガス供給システム本体 ９ ガス供給集積ユニット １１ マスフローコントローラ １２ 出口開閉弁 １３ パージ弁 １４ 入口開閉弁 １５ フィルタ １６ 圧力計 １７ レギュレータ １８ 手動弁 １９ パージ共通流路ブロック １９ａパージ共通流路 ２０ 出力共通流路ブロック ２０ａ出力共通流路 ２１ 入力ブロック ２２ 出力ブロック ３６ パージ入力ブロック ３７ 入力継手 ３８ 出力継手 ３９ パージ入力継手 ４１ 出力共通流路パイプ ４２ パージ共通流路パイプ

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 供給ガスの搬送管路上にあって該供給ガ
   スの流れを遮断する第一開閉弁及び第二開閉弁と、該第
   一及び第二開閉弁の中間にあって該供給ガスの流量を制
   御するマスフローコントローラとが一体的に構成された
   マスフローユニットを有するガス供給集積ユニットにお
   いて、 前記供給ガスのガス圧を調整するレギュレータと、前記
   供給ガスの圧力をモニターするための圧力計と、前記供
   給ガスの流れを手動により遮断する手動弁と、前記供給
   ガスの混入不純物を除去するためのフィルタのうちの少
   なくとも１つが、前記マスフローユニットと並列に配設
   され、かつ一体的なユニットを構成すると共に、 前記第二開閉弁の流路とガス供給システム本体の共通流
   路とを連通し、前記ユニット全体を前記ガス供給システ
   ム本体に対して着脱自在に取り付ける着脱部材を有する
   ことを特徴とするガス供給集積ユニット。
2. 【請求項２】 請求項１に記載するものにおいて、 前記レギュレータ、前記圧力計、前記手動弁、前記フィ
   ルタのうちの少なくとも１つが、前記マスフローコント
   ローラの取付方向と反対方向から取付ボルトで取り付け
   られていることを特徴とするガス供給集積ユニット。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載するもの
   において、 前記着脱部材が取付ボルトにより、着脱される取付ブラ
   ケットであることを特徴とするガス供給集積ユニット。
4. 【請求項４】 請求項３に記載するものにおいて、 前記マスフローコントローラ内に残留する前記供給ガス
   を排除するパージガスを供給するためのパージ弁と、 前記パージ弁の流路と連通し、取付ボルトにより前記ガ
   ス供給システム本体のパージ共通流路に連通して着脱自
   在に取り付けられるパージ取付ブラケットを有すること
   を特徴とするガス供給集積ユニット。
5. 【請求項５】 供給ガスの搬送管路上にあって該供給ガ
   スの流れを遮断する第一開閉弁及び第二開閉弁と、該第
   一及び第二開閉弁の中間にあって該供給ガスの流量を制
   御するマスフローコントローラとが一体的に構成された
   マスフローユニットを有するガス供給集積ユニットにお
   いて、 前記供給ガスの供給または遮断を手動で行うための手動
   弁と、前記供給ガスのガス圧を調整するレギュレータ
   と、前記供給ガスの圧力をモニターするための圧力計と
   のうち少なくとも１つが、前記マスフローユニットと同
   一平面内で取付方向が正反対かつ並列に配設されること
   を特徴とするガス供給集積ユニット。
6. 【請求項６】 請求項５に記載するものにおいて、 前記手動弁と、前記圧力計とが、前記第一開閉弁と同一
   ブロックに反対方向からボルトで取り付けられているこ
   とを特徴とするガス供給集積ユニット。
7. 【請求項７】 請求項５または請求項６に記載するもの
   において、 前記レギュレータに、入力パイプと、出力パイプと、前
   記入力パイプに接続して流路を変換する入力変換ブロッ
   クと、前記出力パイプに接続して流路を変換する出力変
   換ブロックとが一体的に固設されていることを特徴とす
   るガス供給集積ユニット。
8. 【請求項８】 請求項６に記載するものにおいて、 前記供給ガスの不純物を除去するためのフィルタが、前
   記同一ブロックに前記手動弁、前記圧力計と前記第一開
   閉弁とに対して直交する方向から取り付けられているこ
   とを特徴とするガス供給集積ユニット。