JP2829973B2 - Magnetic head - Google Patents
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- G11B5/3176—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps
- G11B5/3179—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes
- G11B5/3183—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes intersecting the gap plane, e.g. "horizontal head structure"
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ビデオテープレコーダ（VTR）等に搭載さ
れる電磁誘導型の磁気ヘッドに関するもので、詳細には
薄膜磁性コアのみにより磁路が構成される磁気ヘッドに
関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to an electromagnetic induction type magnetic head mounted on a video tape recorder (VTR) or the like, and more specifically, a magnetic path is formed only by a thin film magnetic core. The present invention relates to a magnetic head configured.
本発明は、薄膜磁性コアのみで磁路が形成され、前記
薄膜磁性コア厚によりトラック幅を規制してなる磁気ヘ
ッドにおいて、バック側のコア厚をフロント側のコア厚
よりも所定値以上厚くすることにより、狭ギャップ化，
狭トラック化が図れ、しかも電磁変換特性に優れた高効
率の磁気ヘッドを提供しようとするものである。According to the present invention, in a magnetic head in which a magnetic path is formed only by a thin-film magnetic core and a track width is regulated by the thickness of the thin-film magnetic core, the back-side core thickness is made a predetermined value or more larger than the front-side core thickness. As a result, the gap can be narrowed,
An object of the present invention is to provide a high-efficiency magnetic head which can achieve a narrow track and has excellent electromagnetic conversion characteristics.
近年、磁気記録の分野，特にビデオテープレコーダの
分野においては、高密度記録化に伴い磁気記録媒体が高
抗磁力化の方向にあり、記録再生波長も短波長化の一途
をたどっている。In recent years, in the field of magnetic recording, particularly in the field of video tape recorders, magnetic recording media have been moving toward higher coercive force with higher recording density, and the recording / reproducing wavelength has been steadily shortened.
したがって、磁気ヘッドにおいても高飽和磁束密度を
有するヘッドコア材料を用い、また狭ギャップ化，狭ト
ラック化を進める等、上述の高密度記録化への対応を図
っている。Therefore, the magnetic head is also adapted to the above-described high-density recording by using a head core material having a high saturation magnetic flux density and narrowing the gap and the track.
例えば、従来、ビデオテープレコーダのヘッドコア材
料として多用されていたフェライト材は高透磁率である
ものの飽和磁束密度が低いため、高抗磁力磁気記録媒体
への記録が不十分であった。そこで、上記ヘッドコア材
として、磁気ギャップの近傍にFe−Al−Si系合金や強磁
性非晶質合金材料等の強磁性金属薄膜を配したいわゆる
メタルインギャップ型の復号型磁気ヘッドが提案されて
いる。For example, a ferrite material, which has conventionally been frequently used as a head core material of a video tape recorder, has a high magnetic permeability but a low saturation magnetic flux density, and therefore recording on a high coercive force magnetic recording medium is insufficient. Thus, as the head core material, a so-called metal-in-gap type decoding magnetic head in which a ferromagnetic metal thin film such as an Fe-Al-Si alloy or a ferromagnetic amorphous alloy material is disposed near a magnetic gap has been proposed. I have.
ところが、上述磁気ギャップ近傍に強磁性金属薄膜を
配した磁気ヘッドにあっては、フェライト界面で強磁性
金属薄膜との間に不連続層が発生し、これらフェライト
と強磁性金属薄膜間の磁気抵抗を増大して効率の低下を
もたらすばかりか、特に上記不連続層が磁気ギャップと
平行に位置する場合には、周波数特性にうねりを生じる
いわゆる疑似ギャップとして動作し、記録再生信号の劣
化を招いている。However, in a magnetic head in which a ferromagnetic metal thin film is arranged near the magnetic gap, a discontinuous layer is generated between the ferrite and the ferromagnetic metal thin film at the ferrite interface, and the magnetoresistance between the ferrite and the ferromagnetic metal thin film is increased. Not only does this cause a decrease in efficiency, but also when the discontinuous layer is located in parallel with the magnetic gap, it operates as a so-called pseudo gap that causes undulation in frequency characteristics, leading to deterioration of the recording / reproducing signal. I have.
さらに、上記磁気ヘッドにあっては、フェライト界面
に強磁性金属薄膜を真空薄膜形成技術等の手法にて形成
するため、製造工程が煩雑となり、歩留りの点で問題が
ある。Further, in the above magnetic head, since a ferromagnetic metal thin film is formed on the ferrite interface by a technique such as a vacuum thin film forming technique, the manufacturing process becomes complicated and there is a problem in yield.
また、上記磁気ギャップはガラスボンディンング等の
接合技術により磁性コア同士を突き合わせることにより
形成されるので、高精度にギャップ長を制御することは
困難であり、この手法で狭ギャップ化を図るには難し
い。In addition, since the magnetic gap is formed by abutting magnetic cores with each other by a bonding technique such as glass bonding, it is difficult to control the gap length with high precision, and the gap is narrowed by this method. Difficult.
また、トラック幅は機械加工等により規制されるの
で、狭トラック化を図ろうとするとヘッドチップの強度
の点で問題があり困難となる。Further, since the track width is regulated by machining or the like, it is difficult to reduce the track width because there is a problem in the strength of the head chip.
そこで本発明は、従来の実情に鑑みて提案されたもの
であって、疑似ギャップの発生が無く、狭ギャップ化，
狭トラック化が図れ、しかも電磁変換特性および記録再
生特性に優れた高効率の磁気ヘッドを提供することを目
的とするものである。Therefore, the present invention has been proposed in view of the conventional situation, has no pseudo gap, has a narrow gap,
It is an object of the present invention to provide a high-efficiency magnetic head which can achieve a narrow track and has excellent electromagnetic conversion characteristics and recording / reproducing characteristics.
本発明の磁気ヘッドは、上記の目的を達成するため
に、薄膜磁性コアのみで磁路が形成され、前記薄膜磁性
コア厚によりトラック幅を規制してなる磁気ヘッドにお
いて、前記トラック幅を規制する薄膜磁性コア自体の厚
さがフロント側とバック側で異なり、フロント側のコア
厚がデプス零位置までトラック幅とほぼ同一とされると
ともに、バック側のコア厚がフロント側のコア厚の２倍
以上とされていることを特徴とするものである。In order to achieve the above object, in the magnetic head of the present invention, a magnetic path is formed only by a thin-film magnetic core, and the track width is regulated by the thickness of the thin-film magnetic core. The thickness of the thin-film magnetic core itself is different between the front side and the back side. The core thickness on the front side is almost the same as the track width up to the depth zero position, and the core thickness on the back side is twice the core thickness on the front side. It is characterized by the above.
本発明の磁気ヘッドによれば、膜厚制御に優れる真空
薄膜形成技術により薄膜磁性コアが形成され、これら薄
膜磁性コアのみで磁路が形成されるので、当該ヘッド構
造は簡略化された構造となり小チップ化が実現される。According to the magnetic head of the present invention, a thin-film magnetic core is formed by a vacuum thin-film forming technique excellent in film thickness control, and a magnetic path is formed only by these thin-film magnetic cores, so that the head structure has a simplified structure. Smaller chips are realized.
また、上記薄膜磁性コアのバック側のコア厚をフロン
ト側のコア厚より厚くしているので、当該磁気ヘッドの
ヘッド効率は向上する。Further, since the thickness of the core on the back side of the thin-film magnetic core is larger than the thickness of the core on the front side, the head efficiency of the magnetic head is improved.
強磁性材料からなる薄膜磁性コアのみで閉磁路を形成
しているので、疑似ギャップの発生が抑制される。Since the closed magnetic path is formed only by the thin film magnetic core made of a ferromagnetic material, the occurrence of a pseudo gap is suppressed.
さらには、上記薄膜磁性コア厚がトラック幅を規制す
るので、当該薄膜磁性コア厚を単に薄くすることのみで
高精度に狭トラック化が達成される。Furthermore, since the thickness of the thin-film magnetic core regulates the track width, narrowing of the track can be achieved with high precision simply by reducing the thickness of the thin-film magnetic core.
以下、本発明を適用した具体的な一実施例を図面を参
照しながら説明する。Hereinafter, a specific embodiment to which the present invention is applied will be described with reference to the drawings.
本実施例の磁気ヘッドは、第１図に示すように、一対
の薄膜磁性コア（１），（２）の当接面にギャップ膜
（３）が形成され、これら薄膜磁性コア（１），（２）
のみで閉磁路が形成されてなるものである。In the magnetic head of this embodiment, as shown in FIG. 1, a gap film (3) is formed on a contact surface between a pair of thin film magnetic cores (1) and (2), and these thin film magnetic cores (1) and (2) are formed. (2)
Only the closed magnetic circuit is formed.
上記一対の薄膜磁性コア（１），（２）は、例えば高
飽和磁束密度，高透磁率を有する強磁性金属材料が真空
薄膜形成技術，めっき技術等により形成された後、フォ
トリソグラフィ技術等の手法によりそれぞれ巻線溝
（４），（５）を有するコア形状となされている。上記
薄膜磁性コア（１），（２）の当接面は磁気記録媒体走
行方向Ａに対して所定角度θで形成され、この傾斜面に
所定膜厚のギャップ膜（３）が形成されている。したが
って、上記薄膜磁性コア（１），（２）の当接面に形成
される磁気ギャップｇは、前記磁気記録媒体走行方向Ａ
に対してθなる角度を有するアジマス付の磁気ギャップ
となる。これによれば、ガードバンドの無い、いわゆる
アジマス記録が可能となり高密度記録化が達成される。The pair of thin film magnetic cores (1) and (2) are formed, for example, by forming a ferromagnetic metal material having a high saturation magnetic flux density and a high magnetic permeability by a vacuum thin film forming technique, a plating technique, or the like, and then using a photolithography technique or the like. According to the method, the core is formed to have winding grooves (4) and (5), respectively. The contact surfaces of the thin-film magnetic cores (1) and (2) are formed at a predetermined angle θ with respect to the running direction A of the magnetic recording medium, and a gap film (3) having a predetermined thickness is formed on the inclined surface. . Therefore, the magnetic gap g formed on the contact surface of the thin-film magnetic cores (1) and (2) depends on the magnetic recording medium running direction A.
And an azimuth-attached magnetic gap having an angle θ with respect to. According to this, so-called azimuth recording without a guard band becomes possible, and high-density recording is achieved.
また、上記磁気ギャップｇはガラスボンディング等の
接合技術によらず薄膜形成技術により形成されるので、
ギャップ長が容易且つ高精度に制御される。したがっ
て、極めて容易に狭ギャップ化が実現される。In addition, since the magnetic gap g is formed by a thin film forming technology without using a bonding technology such as glass bonding,
The gap length is easily and precisely controlled. Therefore, the gap can be narrowed very easily.
なお、上記磁気ギャップｇのデプスDpは、前記巻線溝
（４），（５）により決定されている。The depth Dp of the magnetic gap g is determined by the winding grooves (4) and (5).
さらに本実施例の磁気ヘッドにあっては、上記磁気ギ
ャップｇが形成されたフロント側の薄膜磁性コア
（１），（２）のコア厚T1が前記磁気ギャップｇのトラ
ック幅Twとされている。したがって、上記薄膜磁性コア
（１），（２）のコア厚T1が磁気ギャップｇのトラック
幅Twを決定することになるので、上記薄膜磁性コア
（１），（２）のコア厚T1を単に薄くすることのみで容
易に且つ高精度に狭トラック化できる。また、上記トラ
ック幅Twは機械加工等により規制されるのではなく、膜
厚制御に優れる薄膜形成技術により規制されるので、ヘ
ッドチップ強度上の問題も解消される。More In the magnetic head of the present embodiment, the magnetic gap g front side of the thin film magnetic core formed is (1), is a track width Tw of the core thickness T 1 is the magnetic gap g of (2) I have. Accordingly, the core thickness T 1 of the thin film magnetic cores (1) and (2) determines the track width Tw of the magnetic gap g, and thus the core thickness T 1 of the thin film magnetic cores (1) and (2). The track can be narrowed easily and with high precision simply by reducing the thickness. Further, since the track width Tw is not regulated by machining or the like but by a thin film forming technique excellent in film thickness control, the problem of head chip strength is also solved.
また、上記薄膜磁性コア（１），（２）のバック側の
コア厚T2は、前記フロント側のコア厚T1の２倍以上の厚
みとなされている。すなわち、本実施例の磁気ヘッドで
は、前記磁気ギャップｇのデプスDp零の位置から次第に
バック側に亘り上記薄膜磁性コア（１），（２）のコア
厚が増え、巻線溝（４），（５）の略中途部ではバック
側のコア厚T2はフロント側のコア厚T1の４倍とされてい
る。Further, the thin film magnetic core (1), have been made with the back side of the core thickness T 2 are, the front side of 2 times or more the thickness of the core thickness T 1 of the (2). That is, in the magnetic head of this embodiment, the core thickness of the thin-film magnetic cores (1) and (2) gradually increases from the position where the depth Dp of the magnetic gap g is zero to the back side, and the winding grooves (4) and (5) core thickness T 2 of the back side stands midway portion of is four times the front-side core thickness T 1.
このように、薄膜磁性コア（１），（２）のバック側
のコア厚T2がフロント側のコア厚T1よりも厚くなされる
ことにより、当該磁気ヘッドのヘッド効率が向上する。
すなわち、上記磁気ヘッドに印加された電流の大部分が
ロスすることなく磁束として変換され、あるいは逆に磁
束がロスすることなく電流に変換されることになり、極
めて優れた電磁変換特性を示す。Thus, the thin film magnetic core (1), the core thickness T 2 of the back side by being made thicker than the core thickness T 1 of the front side, the head efficiency of the magnetic head is improved (2).
That is, most of the current applied to the magnetic head is converted into a magnetic flux without loss, or conversely, the magnetic flux is converted into a current without loss, exhibiting extremely excellent electromagnetic conversion characteristics.
上記薄膜磁性コア（１），（２）には、高い飽和磁束
密度を有し且つ軟磁気特性に優れた強磁性材料が使用さ
れるが、かかる強磁性材料としては従来から公知のもの
がいずれも使用でき、結晶質，非結晶質を問わない。例
示するならば、Fe−Al−Si系合金、Fe−Al系合金、Fe−
Si−Co系合金、Fe−Ni系合金、Fe−Al−Ge系合金、Fe−
Ga−Ge系合金、Fe−Si−Ge系合金、Fe−Co−Si−Al系合
金等の強磁性金属材料、あるいはFe−Ga−Si系合金、さ
らには、上記Fe−Ga−Si系合金の耐蝕性や耐摩耗性の一
層の向上を図るために、Fe,Ga,Co（Feの一部をCoで置換
したものを含む。）,Siを基本組成とする合金に、Ti,C
r,Mn,Zn,Nb,Mo,Ta,W,Ru,Os,Rh,Ir,Re,Ni,Pd,Pt,Hf,Vの
少なくとも一種を添加したものであってもよい。For the thin film magnetic cores (1) and (2), a ferromagnetic material having a high saturation magnetic flux density and excellent soft magnetic properties is used. Can also be used, regardless of whether it is crystalline or non-crystalline. For example, Fe-Al-Si alloy, Fe-Al alloy, Fe-
Si-Co alloy, Fe-Ni alloy, Fe-Al-Ge alloy, Fe-
Ferromagnetic metal materials such as Ga-Ge alloys, Fe-Si-Ge alloys, Fe-Co-Si-Al alloys, or Fe-Ga-Si alloys, and further, the above-mentioned Fe-Ga-Si alloys In order to further improve the corrosion resistance and abrasion resistance of Fe, Ga, Co (including those in which part of Fe is replaced with Co), alloys containing Si as the basic composition, Ti, C
At least one of r, Mn, Zn, Nb, Mo, Ta, W, Ru, Os, Rh, Ir, Re, Ni, Pd, Pt, Hf, and V may be added.
また、強磁性非晶質金属合金、いわゆるアモルファス
合金（例えばFe,Ni,Coの１つ以上の元素とP,C,B,Siの１
つ以上の元素とからなる合金、またはこれらを主成分と
しAl,Ge,Be,Sn,In,Mo,W,Ti,Mn,Cr,Zr,Hf,Nb等を含んだ
合金等のメタル−メタロイド系アモルファス合金、ある
いはCo,Hf,Zr等の遷移元素や希土類元素を主成分とする
メタル−メタル系アモルファス合金）等も使用される。Also, ferromagnetic amorphous metal alloys, so-called amorphous alloys (for example, one or more elements of Fe, Ni, Co and one of P, C, B, Si)
Metal-metalloids such as alloys composed of two or more elements or alloys containing these as main components and containing Al, Ge, Be, Sn, In, Mo, W, Ti, Mn, Cr, Zr, Hf, Nb, etc. Amorphous alloys, or metal-metal-based amorphous alloys mainly composed of transition elements such as Co, Hf, Zr or rare earth elements) are also used.
これら磁性薄膜の成膜方法としては、真空蒸着法，ス
パッタリング法，イオンプレーティング法，クラスター
・イオンビーム法等に代表される真空薄膜形成技術及び
めっき技術等が採用される。As a method of forming these magnetic thin films, a vacuum thin film forming technique typified by a vacuum evaporation method, a sputtering method, an ion plating method, a cluster ion beam method, and the like, a plating technique, and the like are adopted.
また、上記薄膜磁性コア（１），（２）は強磁性合金
材料の単層膜であってもよいが、例えばSiO2,Al2O3,ZrO
2,Si3N4等の絶縁層を介して積層した多層膜としてもよ
い。The thin-film magnetic cores (1) and (2) may be single-layer films of a ferromagnetic alloy material, for example, SiO 2 , Al 2 O 3 , ZrO.
2 , a multilayer film may be stacked with an insulating layer such as Si 3 N 4 interposed therebetween.
上記積層構造をとることにより高い周波数領域まで対
応可能となり、さらなる高記録密度化が達成される。By adopting the above laminated structure, it is possible to cope with a high frequency region, and a higher recording density is achieved.
一方、上記ギャップ膜（３）としては、例えば、Si
O2,Ta2O5,ZrO2等が使用できる。On the other hand, as the gap film (3), for example, Si
O 2 , Ta 2 O 5 , ZrO 2 and the like can be used.
このように本実施例の磁気ヘッドでは、磁気ギャップ
ｇ近傍に強磁性金属薄膜を介在させることなく、高飽和
磁束密度を有するセンダスト等の強磁性金属材料からな
る薄膜磁性コアのみで閉磁路を形成しているので、界面
において疑似ギャップの発生の少ない簡略化された小チ
ップ構造とすることができ、しかも高記録密度化にも対
応した高抗磁力磁気記録媒体に対しても良好な記録再生
特性を示す。As described above, in the magnetic head of this embodiment, a closed magnetic path is formed only by a thin-film magnetic core made of a ferromagnetic metal material such as Sendust having a high saturation magnetic flux density without interposing a ferromagnetic metal thin film near the magnetic gap g. As a result, it is possible to obtain a simplified small chip structure with less occurrence of a pseudo gap at the interface, and also has good recording / reproducing characteristics even for a high coercive force magnetic recording medium corresponding to high recording density. Is shown.
ここで、上述のように構成された本実施例の磁気ヘッ
ドについて磁路解析を行った。なお、本実施例の磁気ヘ
ッドのヘッド効率と比較するためコア厚を以下の条件に
変えて磁路解析を行った。また、磁路解析を行うに当た
って、上記磁気ヘッド全体のコア幅Ｗを500μm,デプスD
p方向のコア長Ｌを600μm,トラック幅Twを５μｍとして
ヘッド効率を計算により求めた。その結果を第２図に示
す。Here, a magnetic path analysis was performed on the magnetic head of the present embodiment configured as described above. In addition, in order to compare with the head efficiency of the magnetic head of the present embodiment, the magnetic path analysis was performed while changing the core thickness under the following conditions. In conducting the magnetic path analysis, the core width W of the entire magnetic head was set to 500 μm and the depth D
The head efficiency was obtained by calculation with the core length L in the p direction set to 600 μm and the track width Tw set to 5 μm. The result is shown in FIG.
先ず、薄膜磁性コア（１），（２）のコア厚をフロン
ト側からバック側に亘ってトラック幅Tw,すなわち５μ
ｍとした磁気ヘッドについてヘッド効率を調べた。その
結果、第２図中Ａに示すように、ヘッド効率は50％にも
満たなかった。First, the core thickness of the thin film magnetic cores (1) and (2) is set to a track width Tw, that is, 5 μm, from the front side to the back side.
The head efficiency was examined for a magnetic head with m. As a result, as shown in A of FIG. 2, the head efficiency was less than 50%.
なお、従来から高抗磁力磁気記録媒体に対応した磁気
ヘッドとして用いられているバルクヘッドではヘッド効
率（第２図中Ｂで示す。）が約60％となっている。上記
バルクヘッドは、斜めに傾斜された突き合わせ面に高飽
和磁束密度を有するセンダストが形成され、このセンダ
ストの斜め膜同士の突き合わせにより磁気ギャップが形
成されてなる磁気ヘッドであり、コア幅Ｗ＝2.0mm,コア
長さＬ＝1.5mm,トラック幅Tw＝20μｍ〜25μｍとしたも
のである。A bulk head conventionally used as a magnetic head corresponding to a high coercive force magnetic recording medium has a head efficiency (indicated by B in FIG. 2) of about 60%. The bulk head is a magnetic head in which a sendust having a high saturation magnetic flux density is formed on an abutting surface that is obliquely inclined, and a magnetic gap is formed by abutting the oblique films of the sendust with a core width W = 2.0. mm, the core length L = 1.5 mm, and the track width Tw = 20 μm to 25 μm.
このように、ヘッドコア全体に亘ってトラック幅Twと
された磁気ヘッドは、上記バルクヘッドのヘッド効率よ
りも下回っており、印加された電流を有効に磁束に変換
することができずロスが多い。したがって、高飽和磁束
密度を有する金属薄膜でコアを形成した意味がない。As described above, the magnetic head having the track width Tw over the entire head core is lower than the head efficiency of the bulk head, and the applied current cannot be effectively converted to magnetic flux, resulting in a large loss. Therefore, there is no point in forming the core with a metal thin film having a high saturation magnetic flux density.
次に、上記薄膜磁性コア（１），（２）のバック側の
コア厚T2を前記磁気ギャップｇのデプスDp零の位置から
増加した本実施例の磁気ヘッドについてヘッド効率を調
べた。Next, the thin film magnetic core (1), were examined head efficiency the magnetic head of the present embodiment of the back side of the core thickness T 2 increases from the position of the depth Dp zero of the magnetic gap g of (2).
その結果、第２図中実線で示すように、バック側のコ
ア厚T2をフロント側のコア厚T1〔トラック幅Tw〕の２
倍，すなわち10μｍとした磁気ヘッドでは、先のバルク
ヘッドと同じヘッド効率が得られ、さらにバック側のコ
ア厚T2をフロント側のコア厚T1の４倍とした場合、ヘッ
ド効率が70％にまで向上した。2 As a result, as shown in Figure 2 the solid line, the core thickness of the core thickness T 2 of the back-side front side T 1 of the [track width Tw]
Fold, i.e. at the magnetic head was 10 [mu] m, obtained the same head efficiency as the previous bulkhead, further when the core thickness T 2 of the back side 4 times the core thickness T 1 of the front side, the head efficiency is 70% Up to.
したがって、上記バック側のコア厚T2をフロント側の
コア厚T1の２倍以上の厚みとすれば、ヘッド効率の良い
磁気ヘッドが得られ、極めて優れた電磁変換特性を示
す。Therefore, when the core thickness T 2 of the said back side at least twice the thickness of the front-side core thickness T 1, the head efficient magnetic head is obtained, showing a very good electromagnetic characteristics.
また、バック側のコア厚T2を前記磁気ギャップｇのデ
プスDp零の位置からバック側に40μｍ離れた位置からそ
れぞれ増加させた磁気ヘッドのヘッド効率は、第２図中
破線で示すように、先のデプスDp零の位置から増加させ
た本実施例の磁気ヘッドのヘッド効率に比べ劣ってい
る。The head efficiency of the magnetic head is increased each core thickness T 2 of the back side from a position away 40μm in the back side from the position of the depth Dp zero of the magnetic gap g, as shown in Figure 2 the broken lines, This is inferior to the head efficiency of the magnetic head of the present embodiment, which is increased from the position of the depth Dp of zero.
なお、第２図中には記載してはいないが、バック側の
コア厚T2をデプスDp零に次第に近づけて行くに従いヘッ
ド効率が向上することが分かった。Although not shown in FIG. 2 , it was found that the head efficiency was improved as the core thickness T2 on the back side gradually approached the depth Dp of zero.
したがって、上記バック側のコア厚T2をなるべく磁気
ギャップｇのデプスDp零に近い位置から増加させればよ
り高いヘッド効率が得られる。また、好ましくはデプス
Dp零の位置からバック側のコア厚T2を増加させることが
より好ましい。Therefore, a higher head efficiency can be obtained by increasing the position close to the depth Dp zero of the back side of the core thickness T 2 as possible magnetic gap g. Also preferably, depth
It is more preferable to increase the core thickness T 2 of the back side from the position of Dp zero.
また、上記磁気ヘッドにおいて、ヘッドチップの大き
さをさらに大きくした場合の磁路解析も合わせて行った
が、上記ヘッドチップの大きさが大きくなればヘッド効
率は向上するが、コア厚を増すことに比べその効果は少
ない。In addition, in the above magnetic head, the magnetic path analysis when the size of the head chip was further increased was also performed. The larger the size of the head chip, the higher the head efficiency, but the larger the core thickness. The effect is less than that of.
したがって、磁気ヘッドのヘッド効率を向上させる上
からはバック側のコア厚を増加した方が有利である。ま
た、ヘッドチップの大きさを大きくすると、薄膜により
コアを形成した意味がなくなり、小チップ化を図ること
ができなくなる。Therefore, from the viewpoint of improving the head efficiency of the magnetic head, it is advantageous to increase the core thickness on the back side. In addition, when the size of the head chip is increased, there is no point in forming the core with a thin film, and it is impossible to reduce the size of the chip.
上記解析結果を踏まえて、実際に本実施例の磁気ヘッ
ドを作製し、該磁気ヘッドを評価したところ、上記解析
結果を略一致する結果が得られた。したがって、上記薄
膜磁性コア（１），（２）のバック側のコア厚T2をデプ
スDp零の位置からフロント側のコア厚T1よりも２倍以上
とすれば、高効率の磁気ヘッドが実現される。Based on the above analysis results, the magnetic head of this example was actually manufactured, and the magnetic head was evaluated. As a result, a result substantially matching the above analysis results was obtained. Accordingly, the thin film magnetic core (1), a back side when the core thickness T 2 from the position of the depth Dp zero twice or more than the core thickness T 1 of the front side, the high efficiency of the magnetic head (2) Is achieved.
上述のように構成された磁気ヘッドは、例えばビデオ
テープレコーダ等の磁気記録再生装置の回転ドラム等に
直接取り付けることが可能である。The magnetic head configured as described above can be directly attached to a rotating drum or the like of a magnetic recording / reproducing apparatus such as a video tape recorder.
すなわち、上記磁気ヘッドを回転ドラムに直接取り付
けるには、例えば第３図に示すように、上ドラム
（６），下ドラム（７）のいずれか一方のドラムに上記
磁気ヘッドを取り付ける切り欠き溝（９）を形成した
後、上記切り欠き溝（９）に直接真空薄膜形成技術によ
り高飽和磁束密度を有する強磁性金属薄膜を形成し、そ
の後フォトリソグラフィ技術によりヘッドコア形状とな
し、前記第２図に示す磁気ヘッド（８）を完成する。That is, in order to directly attach the magnetic head to the rotating drum, as shown in FIG. 3, for example, a notch groove (not shown) for attaching the magnetic head to one of the upper drum (6) and the lower drum (7). After the formation of 9), a ferromagnetic metal thin film having a high saturation magnetic flux density is directly formed in the notch groove (9) by a vacuum thin film forming technique, and then formed into a head core shape by a photolithography technique. The magnetic head (8) shown is completed.
なお本実施例での上ドラム（６）は、上記磁気ヘッド
（８）を形成するドラム（6a）と該磁気ヘッド（８）が
形成されたドラム（6a）を覆うドラム（6b）とに分割し
た。The upper drum (6) in this embodiment is divided into a drum (6a) forming the magnetic head (8) and a drum (6b) covering the drum (6a) on which the magnetic head (8) is formed. did.
このように、小チップ化が可能な磁気ヘッド（８）を
回転ドラムに直接取り付けることができるので、小型ド
ラムにも対応できる。また、上記回転ドラムへの取り付
け作業工程は何ら煩雑な作業を含まずに行え、しかも該
磁気ヘッド（８）を載置し回転ドラムに固定するベース
等が必要なくなり構成部品の削減が図れる。As described above, the magnetic head (8) that can be made smaller can be directly attached to the rotating drum, so that it is possible to cope with a small drum. Further, the step of attaching the magnetic head (8) to the rotary drum can be performed without any complicated work, and a base or the like for mounting the magnetic head (8) and fixing the magnetic head (8) to the rotary drum is not required, so that the number of components can be reduced.
以上の説明からも明らかなように、本発明の磁気ヘッ
ドによれば、バック側のコア厚をフロント側のコア厚の
２倍以上の厚みとしているので、磁気ヘッドのヘッド効
率が向上し、極めて優れた電磁変換特性を示すとともに
良好な記録再生特性を示す。As is apparent from the above description, according to the magnetic head of the present invention, the core thickness on the back side is twice or more the core thickness on the front side. It shows excellent electromagnetic conversion characteristics and good recording and reproduction characteristics.
また、本発明の磁気ヘッドによれば、薄膜磁性コアの
みで磁路が形成されるので、ヘッド構造は極めて簡略化
され、小チップ化が図れる。しかも界面での疑似ギャッ
プの発生が抑制され、周波数特性にうねりを生ずること
がなくなる。Further, according to the magnetic head of the present invention, since the magnetic path is formed only by the thin-film magnetic core, the head structure is extremely simplified and the chip size can be reduced. In addition, the generation of the pseudo gap at the interface is suppressed, and the frequency characteristics do not undulate.
さらに本発明の磁気ヘッドによれば、薄膜磁性コアの
コア厚がトラック幅とされているので、上記トラック幅
は該薄膜磁性コア厚により決定され、この薄膜磁性コア
のコア厚を単に薄くすることのみで容易に且つ高精度に
狭トラック化が図れる。Further, according to the magnetic head of the present invention, since the core thickness of the thin-film magnetic core is the track width, the track width is determined by the thickness of the thin-film magnetic core, and the core thickness of the thin-film magnetic core is simply reduced. The track can be narrowed easily and with high accuracy only by using the above method.
さらには、膜厚制御に優れる真空薄膜形成技術により
磁気ギャップが形成されているので、ギャップ長の制御
が容易且つ高精度に行え、狭ギャップ化が達成されると
ともに歩留りの向上も図れる。Further, since the magnetic gap is formed by a vacuum thin film forming technique having excellent film thickness control, the gap length can be controlled easily and with high precision, and a narrow gap can be achieved and the yield can be improved.
第１図は本発明を適用した磁気ヘッドの一実施例を示す
斜視図であり、第２図はフロント側のコア厚に対するバ
ック側のコア厚の比率とヘッド効率との関係を示す特性
図であり、第３図は回転ドラムに磁気ヘッドを取り付け
た状態を一部透視して示す概略斜視図である。 1,2……薄膜磁性コア ３……ギャップ膜 4,5……巻線溝 ６……上ドラム ７……下ドラムFIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a magnetic head to which the present invention is applied, and FIG. 2 is a characteristic diagram showing a relationship between a ratio of a core thickness on a back side to a core thickness on a front side and head efficiency. FIG. 3 is a schematic perspective view showing a state in which a magnetic head is attached to a rotary drum, partially transparently shown. 1,2 ... thin film magnetic core 3 ... gap film 4,5 ... winding groove 6 ... upper drum 7 ... lower drum
Claims (1)
薄膜磁性コア厚によりトラック幅を規制してなる磁気ヘ
ッドにおいて、 前記トラック幅を規制する薄膜磁性コア自体の厚さがフ
ロント側とバック側で異なり、フロント側のコア厚がデ
プス零位置までトラック幅とほぼ同一とされるととも
に、バック側のコア厚がフロント側のコア厚の２倍以上
とされていることを特徴とする磁気ヘッド。In a magnetic head in which a magnetic path is formed only by a thin-film magnetic core and a track width is regulated by a thickness of the thin-film magnetic core, a thickness of the thin-film magnetic core itself that regulates the track width is different from a front side. The magnetic characteristic is that the core thickness on the front side is substantially the same as the track width up to the depth zero position, and the core thickness on the back side is at least twice the core thickness on the front side. head.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19146688A JP2829973B2 (en) | 1988-07-30 | 1988-07-30 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19146688A JP2829973B2 (en) | 1988-07-30 | 1988-07-30 | Magnetic head |
Publications (2)
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| JPH0240117A JPH0240117A (en) | 1990-02-08 |
| JP2829973B2 true JP2829973B2 (en) | 1998-12-02 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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| JP (1) | JP2829973B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0785289B2 (en) * | 1990-03-19 | 1995-09-13 | シャープ株式会社 | Method of manufacturing magnetic head |
| JP2633097B2 (en) * | 1991-04-16 | 1997-07-23 | シャープ株式会社 | Manufacturing method of magnetic head |
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1988
- 1988-07-30 JP JP19146688A patent/JP2829973B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
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|---|---|
| JPH0240117A (en) | 1990-02-08 |
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