JP2822556B2 - Magnetostrictive detector - Google Patents
Magnetostrictive detectorInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 〔産業上の利用分野〕 本発明磁歪検出器に関し、特に回転体シヤフトに磁歪
金属をメツキすることにより磁歪膜に生じる磁歪を検出
することによりトルクを検出するトルク検出器に関す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a magnetostrictive detector, and in particular, detects a torque by detecting a magnetostriction generated in a magnetostrictive film by plating a magnetostrictive metal on a rotating shaft. It relates to a torque detector for detecting.
（従来の技術） 従来、シヤフトに磁歪金属をメツキすることにより磁
歪膜に生じる磁歪を検出する技術としては特開昭59−16
4931号公報があつた。この技術は回転体シヤフトに磁歪
金属をメツキすることにより磁歪膜を形成し、該磁歪膜
に生じる磁歪を検知してシヤフトに加わるトルクを検出
するものである。すなわち印加されるトルクに応じて回
転体シヤフトが捩じれると、それに応じて磁歪膜に生じ
る磁歪が変化するので、これを検出してトルクの大きさ
を検出しうるものである。(Prior Art) Conventionally, a technique for detecting magnetostriction generated in a magnetostrictive film by plating a magnetostrictive metal on a shaft is disclosed in JP-A-59-16.
No. 4931 was issued. In this technique, a magnetostrictive film is formed by coating a magnetostrictive metal on a rotating shaft, and magnetostriction generated in the magnetostrictive film is detected to detect a torque applied to the shaft. That is, when the rotating shaft is twisted in accordance with the applied torque, the magnetostriction generated in the magnetostrictive film changes accordingly, and the magnitude of the torque can be detected by detecting this.
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、この技術においての磁歪金属として
は、ニツケルメツキが使用されているが、これにより得
られるトルク検出感度は極めて低く、決して満足いくも
のとはいえなかつた。(Problems to be Solved by the Invention) However, although nickel plating is used as the magnetostrictive metal in this technique, the torque detection sensitivity obtained by this technique is extremely low and cannot be said to be satisfactory.
本発明は上記の課題を解決したものであり、従来の磁
歪金属としてのニツケルメツキによるトルク検出器と比
較して検出感度が高い磁歪作用によるトルク検出器を提
供することを目的とする。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a torque detector based on a magnetostrictive effect having a higher detection sensitivity than a conventional torque detector based on nickel plating as a magnetostrictive metal.
（課題を解決するための手段） 本目的を達成するため、本発明が講じた技術的手段
は、磁歪金属をメツキすることにより形成した磁歪膜に
生じる磁歪を検出する磁歪検出回路を備えた磁歪検出器
において、Pr2O17、Tb2Co17、2mFe2、TbFe2、TbNi0.4Fe
1.5、TbFe2等の超磁歪金属を粉末状にして前記磁歪金属
に含有させたものである。また、前記超磁歪金属をメツ
キ溶液１リツトルあたり２〜30g含有させるとよい。(Means for Solving the Problems) In order to achieve the object, a technical measure taken by the present invention is a magnetostriction provided with a magnetostriction detection circuit for detecting magnetostriction generated in a magnetostrictive film formed by plating a magnetostrictive metal. In the detector, Pr2O17, Tb2Co17, 2mFe2, TbFe2, TbNi0.4Fe
1.5, wherein a giant magnetostrictive metal such as TbFe2 is powdered and contained in the magnetostrictive metal. It is preferable that the giant magnetostrictive metal is contained in an amount of 2 to 30 g per liter of the plating solution.
さらに、前記超磁器歪金属の粉末の粒径が10μｍ以下
にさせるとよい。Further, it is preferable that the particle size of the powder of the super-porcelain strained metal is 10 μm or less.
（作用） 上記の手段からなる本発明は、従来のニツケルメツキ
による磁歪金属の検出器の検出感度と比較して、検出感
度が極めて高い磁歪作用によるトルク検出器が得られる
のである。(Operation) According to the present invention comprising the above means, a torque detector by a magnetostrictive action having extremely high detection sensitivity can be obtained as compared with the detection sensitivity of a conventional magnetostrictive metal detector due to nickel plating.
（実施例） 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図において、回転体シヤフト１（このシヤフト
は、例えば自動車のトランスミツシヨン出力シヤフト、
ステアリングシヤフトあるいはモータ等の出力シヤフト
あるいはモータ等の出力シヤフト等である）に、後述す
る本発明の磁歪金属に超磁歪金属が含有された材料をメ
ツキすることにより形成した磁歪膜２がシヤフト１の全
周に渡り、配される。さらに、シヤフト１には２個のコ
イルが筒状に巻回され、コイル３が励振用コイル３に
は、励振用発振器５が接続されている。また、出力コイ
ル４には、ダイオード６、コンデンサ７、抵抗８よりな
る平滑回路９が接続されている。In FIG. 1, a rotary shaft 1 (this shaft is, for example, a transmission output shaft of an automobile,
A magnetostrictive film 2 formed by plating a material containing a giant magnetostrictive metal in the magnetostrictive metal of the present invention described later on a steering shaft or an output shaft of a motor or the like or an output shaft of a motor or the like. It is distributed all around. Further, two coils are wound in a cylindrical shape around the shaft 1, and the excitation coil 3 is connected to an excitation oscillator 5. Further, a smoothing circuit 9 including a diode 6, a capacitor 7, and a resistor 8 is connected to the output coil 4.
この回路において、シヤフト１にトルクが加わらない
状態では、発振器５により生じるコイル３の磁界が、出
力用コイル４に伝達されて、これが平滑回路９により、
直流電圧に変換されて所定電圧が出力される。In this circuit, when no torque is applied to the shaft 1, the magnetic field of the coil 3 generated by the oscillator 5 is transmitted to the output coil 4, and is transmitted by the smoothing circuit 9.
A predetermined voltage is output after being converted to a DC voltage.
次に、シヤフト１にトルクが加わり、シヤフト１が捩
れると、磁歪膜２の透磁率が変化するが、後述する本磁
歪材料はニツケルを主成分としており、ニツケルは負の
磁歪効果を有するため、捩じれに対して透磁率が増大
し、出力電圧が減少する。ゆえに、トルクに応じた出力
電圧（本磁歪材料の場合、上記の如く傾きは負となる）
が平滑回路９の出力端に得られる。Next, when torque is applied to the shaft 1 and the shaft 1 is twisted, the magnetic permeability of the magnetostrictive film 2 changes. However, the present magnetostrictive material, which will be described later, contains nickel as a main component, and nickel has a negative magnetostrictive effect. As a result, the magnetic permeability increases due to twisting, and the output voltage decreases. Therefore, the output voltage according to the torque (in the case of the present magnetostrictive material, the slope is negative as described above)
At the output end of the smoothing circuit 9.
なお、この構造においては、シヤフト１の捩じれ方向
の判別はできず、どちらの捩じれに対しても同等の出力
電圧が得られる。In this structure, the torsional direction of the shaft 1 cannot be determined, and the same output voltage can be obtained for any of the torsions.
次に、磁歪膜の形成方法について説明する。 Next, a method for forming a magnetostrictive film will be described.
まず、一般の磁歪材料としてはその磁歪定数（飽和磁
歪）がニツケルのそれは約−33付近にあり、鉄は約−９
付近にあり、またニツケル−コバルト合金も約−23〜−
33付近にある。First, as a general magnetostrictive material, its magnetostriction constant (saturation magnetostriction) is about −33 for nickel, and about −9 for iron.
In the vicinity, and the nickel-cobalt alloy is about -23 to-
It is around 33.
本発明はこれらの一般の磁歪材料からなるメツキ液に
第１表に示す金属材料をが有したことにある。これらの
金属材料は、超磁歪材料と呼ばれ、Pr2O17、Tb2Co17、S
mFe2、TbFe2、TbNi0.4Fe1.5、TbFe2等であり、その磁歪
定数は一般の磁歪材料と比較して、その磁歪定数が１け
たあるいは２けた大きい材料である。The present invention resides in that the plating solution comprising these general magnetostrictive materials has the metal materials shown in Table 1. These metallic materials are called giant magnetostrictive materials and include Pr2O17, Tb2Co17,
mFe2, TbFe2, TbNi0.4Fe1.5, TbFe2, etc., whose magnetostriction is one or two orders of magnitude larger than that of a general magnetostrictive material.
本発明はこれらの超磁歪材料を約10μｍ以下の粉末状
にする。このことは後述する磁歪材料をシヤフトにメツ
キする膜厚は数10μｍ厚であるため、粒子が10μｍ以上
であると膜厚表面よりその粒子が飛びでることがあり、
さらに、メツキ液を撹拌することが難しくなるためであ
る。The present invention makes these giant magnetostrictive materials into powders of about 10 μm or less. This means that the film thickness for shaking the magnetostrictive material described later is several tens of μm thick, so if the particles are 10 μm or more, the particles may fly from the surface of the film thickness,
Further, it is difficult to stir the plating solution.
上記の粉末状の粒子を第２表に示す硫酸ニツケル、塩
化ニツケル、ほう酸からなる純粋の水に含有させたメツ
キ液１リツトルあたり２〜30gを撹拌させて含有させ
る。この撹拌方法はエアー撹拌、スクリユウ撹拌、ポン
プ撹拌のどの方法によつてもよい。2 to 30 g of the above powdery particles are stirred and contained per liter of a plating solution contained in pure water consisting of nickel sulfate, nickel chloride and boric acid as shown in Table 2. This stirring method may be any of air stirring, screw stirring, and pump stirring.
なお硫酸ニツケル、塩化ニツケル、ホウ酸の含有量は
純粋の純粋の水１リツトルあたりの重量含有量である。The contents of nickel sulfate, nickel chloride and boric acid are weight contents per liter of pure water.
次に磁歪膜の形成方法としては、電解メツキが好まし
い。すなわち、無電解メツキでは膜厚が10μｍ程度が限
度であるのに対し、電解メツキでは数10μｍ〜200μｍ
と極めて厚く形成できるのである。この様にして形成さ
れた磁歪膜は、数10μｍ厚でシャフトに強固に接着され
た結晶質磁歪膜となるので、機械的にも熱的にも堅固で
信頼性が極めて高い。Next, as a method for forming the magnetostrictive film, an electrolytic plating is preferable. In other words, the film thickness is limited to about 10 μm in the electroless plating, while the thickness is several tens μm to 200 μm in the electrolytic plating.
It can be formed very thick. The thus formed magnetostrictive film is a crystalline magnetostrictive film having a thickness of several tens of μm and firmly adhered to the shaft, so that it is rigid mechanically and thermally and has extremely high reliability.
実際に、シヤフトに磁歪膜を形成するには、シヤフト
の磁歪膜の不必要な部分にマスクをし、本磁歪浴に浴入
し、所定時間通電すればよい。Actually, in order to form a magnetostrictive film on the shaft, an unnecessary portion of the magnetostrictive film of the shaft may be masked, bathed in the magnetostrictive bath, and energized for a predetermined time.
次に、第２図に示すような斜線状に形成した磁歪膜に
も本磁歪材料が使用される。Next, the present magnetostrictive material is used also for a magnetostrictive film formed in a diagonal shape as shown in FIG.
シヤフト10には、適宜間隔を配して斜線状に形成した
磁歪膜11、12が形成されており、一方の磁歪膜11に対し
他方の磁歪膜12はその斜線方向が逆になるべく形成され
る。なお、この斜線時制膜のシヤフトの軸方向に対する
傾斜角は、２つの磁歪膜11、12の傾斜角が互いに逆方向
に等しくなるようにすば良いが、好ましくは、第２図に
示した如く、シヤフトの軸方向に対し、磁歪膜11が−45
度、磁歪膜12が＋45度となるべく形成するのが適当であ
る。The shaft 10 is formed with magnetostrictive films 11 and 12 formed in oblique lines at appropriate intervals, and the other magnetostrictive film 12 is formed such that the oblique line direction is opposite to one of the magnetostrictive films 11. . In addition, the angle of inclination of the oblique line damping film with respect to the axial direction of the shaft may be set so that the inclination angles of the two magnetostrictive films 11 and 12 are equal to each other in opposite directions, but preferably, as shown in FIG. , The magnetostrictive film 11 is −45 with respect to the axial direction of the shaft.
It is appropriate that the magnetostrictive film 12 is formed so as to be +45 degrees.
次に、磁歪検出回路13は、前記磁歪膜11および磁歪膜
12にそれぞれ対向してシヤフト10に筒状に巻回された、
巻数の同じコイル14およびコイル15を含むマルチバイブ
レータ回路と、コンデンサ16で構成される平滑回路でな
る交流一直流交換回路で構成してある。また、スイツチ
ング用トランンジスタ17、18およびバランス調整用の可
変抵抗器19がそれぞれ、配されている。Next, the magnetostriction detection circuit 13 includes the magnetostriction film 11 and the magnetostriction film.
It was wound in a cylindrical shape around the shaft 10 facing each of the 12,
It is composed of a multivibrator circuit including a coil 14 and a coil 15 having the same number of turns, and an AC / DC exchange circuit including a smoothing circuit including a capacitor 16. Further, switching transistors 17 and 18 for switching and a variable resistor 19 for balance adjustment are provided respectively.
次に動作を説明する。シヤフト10にトルクが印加され
ないときは、トランジスタ17、18が交互にオン、オフを
繰り返す。このときはトランジスタ17を流れるコレクタ
（又はエミツタ）電流ic1とトランジスタ18を流れるコ
レクタ（又はエミツタ）電流ic2の最大値が等しくなる
ように可変抵抗器19を調整すると、出力端の電圧Edcは0
Vとなる。Next, the operation will be described. When no torque is applied to the shaft 10, the transistors 17 and 18 alternately turn on and off. At this time, when the variable resistor 19 is adjusted so that the maximum value of the collector (or emitter) current ic1 flowing through the transistor 17 and the maximum value of the collector (or emitter) current ic2 flowing through the transistor 18 become equal, the voltage Edc at the output terminal becomes zero.
V.
また、この電流ic1によりコイル14が、電流ic2により
コイル15がそれぞれ交互に励磁される。Further, the coil 14 is alternately excited by the current ic1 and the coil 15 is alternately excited by the current ic2.
次に、シヤフト10にトルクが第２図Ａ方向に印加され
たとすると、磁歪膜11はその斜線方向がシヤフト10の軸
方向−45度の傾斜を有するため、磁歪膜11には圧縮力
が、また磁歪膜12なは張力がそれぞれ作用する。Next, assuming that torque is applied to the shaft 10 in the direction shown in FIG. 2A, since the oblique direction of the magnetostrictive film 11 has an inclination of −45 degrees in the axial direction of the shaft 10, the compressive force is applied to the magnetostrictive film 11. In addition, the magnetostrictive film 12 and the tension act on each.
ここで磁歪膜が負の磁歪効果を有するとすれば、透磁
率は磁歪膜11で増大し、磁歪膜12で減少する。ゆえに、
電流ic1が減少し、電流ic2が増大する。出力電圧Edc
は、ic1−ic2に応じた電圧を平滑した直流電流であり、
これは、第３図に示すようにトルクＴに比例して得られ
る。ここで、シヤフト10の回転方向が逆になれば、上述
した動作と逆の現象が各磁歪膜11、12に生じるため、コ
イル14とコイル15のインダクタンスの大小関係が逆転す
るので、正負のトルク検出が可能である。If the magnetostrictive film has a negative magnetostrictive effect, the magnetic permeability increases in the magnetostrictive film 11 and decreases in the magnetostrictive film 12. therefore,
The current ic1 decreases and the current ic2 increases. Output voltage Edc
Is a DC current obtained by smoothing a voltage corresponding to ic1-ic2,
This is obtained in proportion to the torque T as shown in FIG. Here, if the rotation direction of the shaft 10 is reversed, a phenomenon opposite to the above-described operation occurs in each of the magnetostrictive films 11 and 12, and the magnitude relationship between the inductances of the coils 14 and 15 is reversed. Detection is possible.
次に磁歪膜の形成方法は前述の構成のトルク検出器と
同様に第１表のニツケルメツキ液に、超磁歪金属材料を
粉末化して含有させたものをメツキ液としてメツキを行
うと、メツキの厚みが約50μｍのものが得られた。Next, the method of forming the magnetostrictive film is similar to that of the torque detector having the above-described structure. When the nickel plating liquid in Table 1 is used as a plating liquid containing a powder of a giant magnetostrictive metal material, the plating thickness is increased. Of about 50 μm was obtained.
第４図が実際に用いられるマスクパターンである。こ
のマスクパターン40を、シヤフト10に、図示Ｂ方向に巻
きつけてメツキすればよい。ここでは、磁歪膜の全幅ｘ
を25mm、45度に傾斜した斜線状磁歪膜の幅即ち、マスク
パターン40の穴41の幅ｙを2mm、間隙ｚを3mmとしてあ
る。FIG. 4 shows a mask pattern actually used. The mask pattern 40 may be wound around the shaft 10 in the direction B shown in the drawing. Here, the total width x of the magnetostrictive film
Is set to 25 mm, the width of the oblique-lined magnetostrictive film inclined at 45 degrees, that is, the width y of the hole 41 of the mask pattern 40 is set to 2 mm, and the gap z is set to 3 mm.
以上の様にして磁歪膜を形成したシヤフトは、残留磁
気および歪を除去するためにアニール処理される。アニ
ール条件としては、炉にて450℃、１時間程度が好まし
い。The shaft having the magnetostrictive film formed as described above is annealed to remove residual magnetism and distortion. Annealing conditions are preferably 450 ° C. for one hour in a furnace.
このシヤフトにコイルをそれぞれ巻回し、前記の磁歪
検出回路を接続すれば良い。A coil may be wound around this shaft, and the above-described magnetostriction detection circuit may be connected.
実施例１ 第５図に前記条件にて形成されたトルク検出器の出力
特性を示す。メツキ条件は第１表の各条件であり、シヤ
フト径は8mm、各コイルの巻回数は共に500ターン、ま
た、第５図の諸条件は電源電圧Vccは9.0V、マルチバイ
ブレータ回路の発振周波数7.5KHzの条件で行う。Embodiment 1 FIG. 5 shows output characteristics of a torque detector formed under the above conditions. The plating conditions are the conditions shown in Table 1, the shaft diameter is 8 mm, the number of turns of each coil is 500 turns, and the various conditions in Fig. 5 are that the power supply voltage Vcc is 9.0 V, the oscillation frequency of the multivibrator circuit is 7.5. Perform under KHz condition.
第２表に示すように純粋の水１リツトル当たり300g、
塩化ニツケル45g、ホウ酸35gが含有されたメツキ液に、
このメツキ液１リツトル当たり超磁歪金属材料SmFe2を3
g含有されたメツキ液から液られた磁歪膜による出力特
性を測定する。300g per liter of pure water as shown in Table 2,
Nickel chloride 45g, boric acid 35g in the plating solution contained,
3 liters of giant magnetostrictive metallic material SmFe2 per liter of this plating solution
The output characteristics of the magnetostrictive film immersed in the g-containing plating solution are measured.
実施例２ 次に上記と同じ条件下でSmFe2を10g含有させたメツキ
液から得られた磁歪膜による出力特性を実施例１と同一
の条件下で測定する。Example 2 Next, the output characteristics of a magnetostrictive film obtained from a plating solution containing 10 g of SmFe2 under the same conditions as described above are measured under the same conditions as in Example 1.
比較例 さらに、SmFe2を含有しない従来のメツキ液からなる
磁歪膜による出力特性を上記と同一条件下で測定する。Comparative Example Further, output characteristics of a magnetostrictive film made of a conventional plating solution containing no SmFe2 are measured under the same conditions as described above.
第５図からわかるように、実施例１、実施例２の出力
特性は比較例と比較して、３〜５倍の値を示し、トルク
検出器として非常に満足のいくものである。As can be seen from FIG. 5, the output characteristics of the first and second embodiments show values three to five times that of the comparative example, which is very satisfactory as a torque detector.
なお上記に使用された超磁歪金属材料として、第１表
に示した材料に限定されるものではなく、DyFe2、HoFe
2、ErFe2、TmFe2、CoFe2O4等の超磁歪金属材料を使用で
きる。The giant magnetostrictive metal materials used above are not limited to the materials shown in Table 1, but may be DyFe2, HoFe
2. Giant magnetostrictive metal materials such as ErFe2, TmFe2, and CoFe2O4 can be used.
また、本発明はトルク検出器について、説明したが、
これに限定されるものではなく、一般の圧力検出器にも
使用できる。Also, the present invention has described the torque detector,
The present invention is not limited to this, and can be used for a general pressure detector.
本発明は、磁歪金属をメツキすることにより形成した
磁歪膜に生じる磁歪を検出する磁歪検出回路を備えた磁
歪検出器において、Pr2O17、Tb2Co17、SmFe2、TbFe2、T
bNi0.4Fe1.5、TbFe2等の超磁歪金属を粉末状にして前記
磁歪金属に含有したことからなる磁歪検出器であるた
め、検出感度が高く、精度のよいトルク検出が可能とな
る。The present invention provides a magnetostriction detector provided with a magnetostriction detection circuit for detecting magnetostriction generated in a magnetostrictive film formed by plating a magnetostrictive metal, wherein Pr2O17, Tb2Co17, SmFe2, TbFe2, Tb
Since the magnetostriction detector is made of a powder of a giant magnetostrictive metal such as bNi0.4Fe1.5 or TbFe2 and contained in the magnetostrictive metal, the detection sensitivity is high and the accurate torque detection is possible.
硫酸ニツケル、塩化ニツケル、ホウ酸の含有量は水１
リツトルあたりの重量含有量、超磁歪材料であるSmFe2
はメツキ液１リツトルあたりの重量含有量。 The content of nickel sulfate, nickel chloride and boric acid is water 1
Weight content per liter, giant magnetostrictive material SmFe2
Is the weight content per liter of plating solution.
第１図は本発明の超磁歪金属材料を使用したトルク検出
器の実施例を示す図、第２図は本発明の超磁歪金属材料
を使用した別のトルク検出器を示す図、第３図は第２図
から構成されるトルク検出器の検出特性を示すグラフ、
第４図は第２図から構成されるトルク検出器の磁歪膜を
形成する際のマスクパターンを示す図、第５図は第２図
から構成されるトルク検出器において本発明の超磁歪金
属材料をそれぞれ3g、10g含有させたものと、超磁歪金
属材料を全く含有させない場合の検出実験結果を示す
図。 １、10……回転体シヤフト、２、11、12……磁歪膜（磁
歪金属）、FIG. 1 is a view showing an embodiment of a torque detector using the giant magnetostrictive metal material of the present invention, FIG. 2 is a view showing another torque detector using a giant magnetostrictive metal material of the present invention, FIG. Is a graph showing the detection characteristics of the torque detector composed of FIG. 2,
FIG. 4 is a view showing a mask pattern for forming a magnetostrictive film of the torque detector shown in FIG. 2, and FIG. 5 is a diagram showing the giant magnetostrictive metal material of the present invention in the torque detector shown in FIG. 3A and 3B show the results of detection experiments when 3 g and 10 g were contained, respectively, and when no giant magnetostrictive metal material was contained. 1, 10 ... rotor shaft, 2, 11, 12 ... magnetostrictive film (magnetostrictive metal),
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01L 3/10 G01R 33/18 H01L 41/20 C25D 15/02Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G01L 3/10 G01R 33/18 H01L 41/20 C25D 15/02
Claims (3)
磁歪膜に生じる磁歪を検出する磁歪検出回路を備えた磁
歪検出器において、Pr2O17、Tb2Co17、SmFe2、TbFe2、T
bNi0.4Fe1.5、TbFe2等の超磁歪金属を粉末状にして前記
磁歪金属に含有したことを特徴とする磁歪検出器。1. A magnetostriction detector comprising a magnetostriction detecting circuit for detecting a magnetostriction generated in a magnetostrictive film formed by plating a magnetostrictive metal, wherein Pr2O17, Tb2Co17, SmFe2, TbFe2, Tb
A magnetostrictive detector characterized in that giant magnetostrictive metals such as bNi0.4Fe1.5 and TbFe2 are contained in the magnetostrictive metal in powder form.
り２〜30g含有させたことを特徴とする請求項１記載の
磁歪検出器。2. The magnetostrictive detector according to claim 1, wherein the giant magnetostrictive metal is contained in an amount of 2 to 30 g per liter of the plating solution.
下であることを特徴とする請求項１記載の磁歪検出器。3. The magnetostriction detector according to claim 1, wherein the particle diameter of the super-ceramic strained metal powder is 10 μm or less.
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-
1990
- 1990-03-19 JP JP2069037A patent/JP2822556B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03269228A (en) | 1991-11-29 |
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