JP2821523B2 - 放射線画像情報読取装置 - Google Patents
放射線画像情報読取装置Info
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- JP2821523B2 JP2821523B2 JP6176524A JP17652494A JP2821523B2 JP 2821523 B2 JP2821523 B2 JP 2821523B2 JP 6176524 A JP6176524 A JP 6176524A JP 17652494 A JP17652494 A JP 17652494A JP 2821523 B2 JP2821523 B2 JP 2821523B2
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- Japan
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、放射線画像情報を記録
した螢光体に、励起光を回転多面鏡で偏向させて照射す
ることにより主走査を行い、螢光体を主走査と略直交す
る方向に相対的に移動することにより副走査を行い、螢
光体から発生する輝尽発光を検出することにより画像情
報を読み取るようにした放射線画像情報読取装置に関
し、更に詳しくは、ノイズの影響を大幅に減少させた放
射線画像情報読取装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】放射線画像を得るのに銀塩を使用した所
謂放射線写真は従来から用いられているが、近年、銀資
源の減少等の問題から、銀塩を使用しないで放射線画像
を得る方法が望まれるようになった。 【０００３】そこで、銀塩を用いた従来の放射線画像を
得る写真法に代わる方法として、図３に示すように、放
射線源Ｓを出射し被写体ＯＢＪを透過した放射線（一般
にはＸ線）を板状の蓄積性螢光体（通常、蓄積性螢光体
粉末を適当なバインダーに混ぜてベースに塗布し、板状
に仕上げることにより製作される。以下、この蓄積性螢
光体を単に螢光体と記す）ＳＰに吸収せしめ、しかる
後、この放射線画像情報が記録された螢光体をある種の
エネルギーで励起して、螢光体が蓄積している放射線エ
ネルギーを螢光即ち輝尽発光として放射せしめ、この輝
尽発光を検出することによって放射線画像を得る方法が
考えられた（例えば特開昭５５−１２４２９号公報参
照）。 【０００４】図４はこのような螢光体に記録された放射
線画像を読み取る放射線画像情報読取装置の構成例を示
す説明図である。この図において、レーザ光源１から出
たレーザビームは、シリンドリカルレンズ３で一方向に
集束された後、ビームエキスパンダ４及びミラー５を介
して、光偏向器としての回転多面鏡（ポリゴンミラー）
６の反射面に入射する。この回転多面鏡６は、主走査方
向Ｘにレーザビームを走査させるため、図の矢印方向に
一定速度で回転するものである。尚、副走査は螢光体Ｓ
ＰをＹ方向に移動することにより行う。 【０００５】 回転多面鏡６で偏向されたレーザビーム
は、f ・θレンズ７を通りミラー８で反射後、螢光体Ｓ
Ｐ近傍に配設されたシリンドリカルレンズ９を経て螢光
体ＳＰを照射する。この時、螢光体ＳＰに放射線画像情
報が記録されていれば、螢光体ＳＰから輝尽発光が生じ
る。この輝尽発光は、例えば光ファイバをシート状に束
ねる等の方法で構成された集光体１０の端面（直線状）
に入射後、他方の端面（円形状）から出て光電子増倍管
等の第１の光検出器（ＰＭＴ）１１に入射する。 【０００６】第２の光検出器１２は、走査開始端のレー
ザビームを検知し、読取走査の主走査方向Ｘの同期信号
を得るためのもので、この出力を受け、制御部１３がタ
イミング信号を信号処理部１４に送出する。このタイミ
ング信号に基づき、信号処理部１４は、第１の光検出器
１１の出力信号を処理し、螢光体ＳＰに記録されている
放射線画像を再生する。尚、シリンドリカルレンズ９は
回転多面鏡６の反射面の倒れ角誤差を補正するもので、
精度上の問題がないときは使用しなくてもよい。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】ところで、図４に示す
装置において、読み取るべき画像部分以外でレーザ光源
１を点灯しておくと、レーザ光が筐体内で散乱，反射
し、その散乱光，反射光等で螢光体ＳＰが励起され、読
み取るべき画像部分のエネルギーが減少したりして検出
される信号が本来あるべき信号ではなくなってしまうと
いう問題がある。 【０００８】 【０００９】 本発明は上記問題に鑑みてなされたもの
であって、その目的は、画像を読み取る前に、励起光が
筐体内で散乱，反射されて、その散乱光，反射光により
螢光体が励起されて輝尽発光が生じ、本来読み取るべき
時に励起されて生ずる輝尽発光が本来あるべき量とは異
なってしまうことを防止することが可能な放射線画像読
取装置を実現することにある。 【００１０】 【課題を解決するための手段】この目的を達成する本発
明は、放射線画像情報を記録した螢光体に、励起光を回
転多面鏡で偏向させて照射することにより主走査を行
い、前記螢光体を主走査と略直交する方向に相対的に移
動することにより副走査を行い、前記螢光体から発生す
る輝尽発光を検出することにより画像情報を読み取るよ
うにした放射線画像情報読取装置において、前記励起光
の非読取区間での光強度を、読取区間での光強度に比べ
て弱くするように構成したことを特徴とするものであ
る。 【００１１】 【作用】本発明装置では、前記励起光の非読取区間での
光強度を、読取区間での光強度に比べて弱くする。これ
により、主走査方向の同期信号検出区間，画像情報読取
区間，帰線区間の各区間での励起光の光強度が、同期信
号検出区間及び帰線区間においては画像情報読取区間よ
りも低い強度レベルとなる。このため、励起光の光強度
レベルを、同期信号検出区間では同期信号を生成するた
めに必要な程度まで下げ、画像情報読取区間においては
この励起光の光強度レベルを通常の読取レベルに上げ、
読取が終わった後の帰線区間では励起光の光強度レベル
が下げることが可能になり、画像を読み取る前に、励起
光が筐体内で散乱，反射されて、その散乱光，反射光に
より螢光体が励起されて輝尽発光が生じ、本来読み取る
べき時に励起されて生ずる輝尽発光が本来あるべき量と
は異なってしまうことを防止できる。 【００１２】 【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図１は本発明の一実施例を示す構成ブロッ
ク図である。図４と同一のものは同一の符号を付して示
す。図１において、２は制御部１３からのタイミング信
号を受けてレーザ光源１の光強度レベルを２種以上に設
定する光量制御部である。 【００１３】光量制御部２には、レーザ光源１の光強度
レベルの数及びパワーを設定できるメモリが内蔵されて
おり、予めレベルの数及び光強度の値を設定しておくこ
とができる。その他の構成は図４と同様であるので、そ
の説明は省略する。 【００１４】このように構成された装置の動作を図２に
示すタイミングチャートを参照しながら説明すれば、以
下の通りである。先ず、励起光であるレーザ光を連続的
に螢光体ＳＰに照射（以下ＤＣ点灯と呼ぶ）して輝尽発
光を生じさせ、これを検出することによって読み取る場
合（以下ＤＣ読取）の動作について説明する。 【００１５】螢光体ＳＰから散乱光，反射光による不要
な輝尽発光が生じるのを防ぐため、当初の期間Ｔa 、即
ち、主走査開始端又は主走査開始端から適当の期間経過
してから、同期信号を得るための光検出器１２が同期信
号を生成するまでの同期信号検出区間Ｔa では、光量制
御部２を通過する励起光の光強度を、図２（イ）に示す
ように光検出器１２が同期信号を生成するために必要な
程度の同期信号検出レベルＬb まで下げておく。 【００１６】 光検出器１２が同期信号を生成した後の
画像情報読取区間Ｔb においては、図２（イ）に示すよ
うに、励起光の光強度を通常の読取レベルＬc に上げ
る。そして、読取が終わって次の初期開始位置に戻るま
での帰線区間Ｔc では、励起光の光強度を帰線レベル
（ここでは消灯状態を示すレベルＬa ）に下げる。 【００１７】 この図２（イ）に示す区間Ｔa ，Ｔb ，
Ｔc ごとに励起光の光強度を変える制御は、光量制御部
２が行う。この区間Ｔa 及びＴc で光強度を下げた結
果、画像を読み取る前に、励起光が筐体内で散乱，反射
されることがなくなり、本来画像を読み取る時に励起さ
れて生ずる輝尽発光が本来あるべき量と異なってしまう
ことを防止することができる。 【００１８】次に、上記実施例はＤＣ点灯の場合だけで
なく、パルス状の励起光を螢光体ＳＰに照射（本明細書
ではパルス点灯と呼ぶ）して輝尽発光を生じさせ、これ
を検出することによって画像情報を読み取るパルス読取
の場合にも使用できる。 【００１９】図２（ロ）がパルス読取をする場合の動作
の一例を示すタイミングチャートで、画像情報読取区間
Ｔb ′において、パルスオフ時の励起光の光強度をレベ
ルをレベルＬa にし、完全に消灯している。図２（ロ）
において、Ｔa は同期信号検出区間、Ｔc は帰線区間で
あり、又、レーザ光強度レベルＬa ，Ｌb ，Ｌc は図２
（イ）に示すそれと同じ意味である。尚、本明細書にお
いてパルス点灯方式における画像情報読取区間Ｔa での
光強度レベルは、パルスオン時のハイレベルＬc を意味
する。 【００２０】図５は本発明の他の実施例を示す構成図で
ある。図４と同一のものは同一の符号を付して示す。図
５において、２０は制御部１３からのタイミング信号を
受けてレーザ光源１の光強度レベルを２種以上に設定す
る光源駆動部である。該光源駆動部２０にはレーザ光源
１の光強度のレベル数及び値を設定できるメモリが内蔵
されており、予めレベル数及び光強度値を設定しておく
ことができる。その他の構成は図４と同様であるので、
その説明は省略する。 【００２１】この実施例の場合も、レーザ光源１の光強
度そのものを光源駆動部２０によって変えることによ
り、図１の実施例と同様に、図２の（イ）や（ロ）に示
したＤＣ読取やパルス読取を行える。 【００２２】 【００２３】 【００２４】 【００２５】尚、本発明は上述の実施例に限るものでは
ない。例えば、励起光を発生する光源としてレーザ光源
を示したが、その他の種類の光源を用いることもでき
る。 【００２６】 【発明の効果】以上説明したように、本発明では、励起
光の非読取区間での光強度を、読取区間での光強度に比
べて弱くするように構成しているので、主走査方向の同
期信号検出区間，画像情報読取区間，帰線区間の各区間
での励起光の光強度を、同期信号検出区間及び帰線区間
においては画像情報読取区間よりも低い強度レベルに設
定することが可能になる。このため、画像を読み取る前
に、励起光が筐体内で散乱，反射され、その散乱光，反
射光により螢光体が励起され輝尽発光が発生してしま
い、本来読み取るべき時に励起されて生ずる輝尽発光が
本来あるべき量とは異なってしまうことを防止できる。
した螢光体に、励起光を回転多面鏡で偏向させて照射す
ることにより主走査を行い、螢光体を主走査と略直交す
る方向に相対的に移動することにより副走査を行い、螢
光体から発生する輝尽発光を検出することにより画像情
報を読み取るようにした放射線画像情報読取装置に関
し、更に詳しくは、ノイズの影響を大幅に減少させた放
射線画像情報読取装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】放射線画像を得るのに銀塩を使用した所
謂放射線写真は従来から用いられているが、近年、銀資
源の減少等の問題から、銀塩を使用しないで放射線画像
を得る方法が望まれるようになった。 【０００３】そこで、銀塩を用いた従来の放射線画像を
得る写真法に代わる方法として、図３に示すように、放
射線源Ｓを出射し被写体ＯＢＪを透過した放射線（一般
にはＸ線）を板状の蓄積性螢光体（通常、蓄積性螢光体
粉末を適当なバインダーに混ぜてベースに塗布し、板状
に仕上げることにより製作される。以下、この蓄積性螢
光体を単に螢光体と記す）ＳＰに吸収せしめ、しかる
後、この放射線画像情報が記録された螢光体をある種の
エネルギーで励起して、螢光体が蓄積している放射線エ
ネルギーを螢光即ち輝尽発光として放射せしめ、この輝
尽発光を検出することによって放射線画像を得る方法が
考えられた（例えば特開昭５５−１２４２９号公報参
照）。 【０００４】図４はこのような螢光体に記録された放射
線画像を読み取る放射線画像情報読取装置の構成例を示
す説明図である。この図において、レーザ光源１から出
たレーザビームは、シリンドリカルレンズ３で一方向に
集束された後、ビームエキスパンダ４及びミラー５を介
して、光偏向器としての回転多面鏡（ポリゴンミラー）
６の反射面に入射する。この回転多面鏡６は、主走査方
向Ｘにレーザビームを走査させるため、図の矢印方向に
一定速度で回転するものである。尚、副走査は螢光体Ｓ
ＰをＹ方向に移動することにより行う。 【０００５】 回転多面鏡６で偏向されたレーザビーム
は、f ・θレンズ７を通りミラー８で反射後、螢光体Ｓ
Ｐ近傍に配設されたシリンドリカルレンズ９を経て螢光
体ＳＰを照射する。この時、螢光体ＳＰに放射線画像情
報が記録されていれば、螢光体ＳＰから輝尽発光が生じ
る。この輝尽発光は、例えば光ファイバをシート状に束
ねる等の方法で構成された集光体１０の端面（直線状）
に入射後、他方の端面（円形状）から出て光電子増倍管
等の第１の光検出器（ＰＭＴ）１１に入射する。 【０００６】第２の光検出器１２は、走査開始端のレー
ザビームを検知し、読取走査の主走査方向Ｘの同期信号
を得るためのもので、この出力を受け、制御部１３がタ
イミング信号を信号処理部１４に送出する。このタイミ
ング信号に基づき、信号処理部１４は、第１の光検出器
１１の出力信号を処理し、螢光体ＳＰに記録されている
放射線画像を再生する。尚、シリンドリカルレンズ９は
回転多面鏡６の反射面の倒れ角誤差を補正するもので、
精度上の問題がないときは使用しなくてもよい。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】ところで、図４に示す
装置において、読み取るべき画像部分以外でレーザ光源
１を点灯しておくと、レーザ光が筐体内で散乱，反射
し、その散乱光，反射光等で螢光体ＳＰが励起され、読
み取るべき画像部分のエネルギーが減少したりして検出
される信号が本来あるべき信号ではなくなってしまうと
いう問題がある。 【０００８】 【０００９】 本発明は上記問題に鑑みてなされたもの
であって、その目的は、画像を読み取る前に、励起光が
筐体内で散乱，反射されて、その散乱光，反射光により
螢光体が励起されて輝尽発光が生じ、本来読み取るべき
時に励起されて生ずる輝尽発光が本来あるべき量とは異
なってしまうことを防止することが可能な放射線画像読
取装置を実現することにある。 【００１０】 【課題を解決するための手段】この目的を達成する本発
明は、放射線画像情報を記録した螢光体に、励起光を回
転多面鏡で偏向させて照射することにより主走査を行
い、前記螢光体を主走査と略直交する方向に相対的に移
動することにより副走査を行い、前記螢光体から発生す
る輝尽発光を検出することにより画像情報を読み取るよ
うにした放射線画像情報読取装置において、前記励起光
の非読取区間での光強度を、読取区間での光強度に比べ
て弱くするように構成したことを特徴とするものであ
る。 【００１１】 【作用】本発明装置では、前記励起光の非読取区間での
光強度を、読取区間での光強度に比べて弱くする。これ
により、主走査方向の同期信号検出区間，画像情報読取
区間，帰線区間の各区間での励起光の光強度が、同期信
号検出区間及び帰線区間においては画像情報読取区間よ
りも低い強度レベルとなる。このため、励起光の光強度
レベルを、同期信号検出区間では同期信号を生成するた
めに必要な程度まで下げ、画像情報読取区間においては
この励起光の光強度レベルを通常の読取レベルに上げ、
読取が終わった後の帰線区間では励起光の光強度レベル
が下げることが可能になり、画像を読み取る前に、励起
光が筐体内で散乱，反射されて、その散乱光，反射光に
より螢光体が励起されて輝尽発光が生じ、本来読み取る
べき時に励起されて生ずる輝尽発光が本来あるべき量と
は異なってしまうことを防止できる。 【００１２】 【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図１は本発明の一実施例を示す構成ブロッ
ク図である。図４と同一のものは同一の符号を付して示
す。図１において、２は制御部１３からのタイミング信
号を受けてレーザ光源１の光強度レベルを２種以上に設
定する光量制御部である。 【００１３】光量制御部２には、レーザ光源１の光強度
レベルの数及びパワーを設定できるメモリが内蔵されて
おり、予めレベルの数及び光強度の値を設定しておくこ
とができる。その他の構成は図４と同様であるので、そ
の説明は省略する。 【００１４】このように構成された装置の動作を図２に
示すタイミングチャートを参照しながら説明すれば、以
下の通りである。先ず、励起光であるレーザ光を連続的
に螢光体ＳＰに照射（以下ＤＣ点灯と呼ぶ）して輝尽発
光を生じさせ、これを検出することによって読み取る場
合（以下ＤＣ読取）の動作について説明する。 【００１５】螢光体ＳＰから散乱光，反射光による不要
な輝尽発光が生じるのを防ぐため、当初の期間Ｔa 、即
ち、主走査開始端又は主走査開始端から適当の期間経過
してから、同期信号を得るための光検出器１２が同期信
号を生成するまでの同期信号検出区間Ｔa では、光量制
御部２を通過する励起光の光強度を、図２（イ）に示す
ように光検出器１２が同期信号を生成するために必要な
程度の同期信号検出レベルＬb まで下げておく。 【００１６】 光検出器１２が同期信号を生成した後の
画像情報読取区間Ｔb においては、図２（イ）に示すよ
うに、励起光の光強度を通常の読取レベルＬc に上げ
る。そして、読取が終わって次の初期開始位置に戻るま
での帰線区間Ｔc では、励起光の光強度を帰線レベル
（ここでは消灯状態を示すレベルＬa ）に下げる。 【００１７】 この図２（イ）に示す区間Ｔa ，Ｔb ，
Ｔc ごとに励起光の光強度を変える制御は、光量制御部
２が行う。この区間Ｔa 及びＴc で光強度を下げた結
果、画像を読み取る前に、励起光が筐体内で散乱，反射
されることがなくなり、本来画像を読み取る時に励起さ
れて生ずる輝尽発光が本来あるべき量と異なってしまう
ことを防止することができる。 【００１８】次に、上記実施例はＤＣ点灯の場合だけで
なく、パルス状の励起光を螢光体ＳＰに照射（本明細書
ではパルス点灯と呼ぶ）して輝尽発光を生じさせ、これ
を検出することによって画像情報を読み取るパルス読取
の場合にも使用できる。 【００１９】図２（ロ）がパルス読取をする場合の動作
の一例を示すタイミングチャートで、画像情報読取区間
Ｔb ′において、パルスオフ時の励起光の光強度をレベ
ルをレベルＬa にし、完全に消灯している。図２（ロ）
において、Ｔa は同期信号検出区間、Ｔc は帰線区間で
あり、又、レーザ光強度レベルＬa ，Ｌb ，Ｌc は図２
（イ）に示すそれと同じ意味である。尚、本明細書にお
いてパルス点灯方式における画像情報読取区間Ｔa での
光強度レベルは、パルスオン時のハイレベルＬc を意味
する。 【００２０】図５は本発明の他の実施例を示す構成図で
ある。図４と同一のものは同一の符号を付して示す。図
５において、２０は制御部１３からのタイミング信号を
受けてレーザ光源１の光強度レベルを２種以上に設定す
る光源駆動部である。該光源駆動部２０にはレーザ光源
１の光強度のレベル数及び値を設定できるメモリが内蔵
されており、予めレベル数及び光強度値を設定しておく
ことができる。その他の構成は図４と同様であるので、
その説明は省略する。 【００２１】この実施例の場合も、レーザ光源１の光強
度そのものを光源駆動部２０によって変えることによ
り、図１の実施例と同様に、図２の（イ）や（ロ）に示
したＤＣ読取やパルス読取を行える。 【００２２】 【００２３】 【００２４】 【００２５】尚、本発明は上述の実施例に限るものでは
ない。例えば、励起光を発生する光源としてレーザ光源
を示したが、その他の種類の光源を用いることもでき
る。 【００２６】 【発明の効果】以上説明したように、本発明では、励起
光の非読取区間での光強度を、読取区間での光強度に比
べて弱くするように構成しているので、主走査方向の同
期信号検出区間，画像情報読取区間，帰線区間の各区間
での励起光の光強度を、同期信号検出区間及び帰線区間
においては画像情報読取区間よりも低い強度レベルに設
定することが可能になる。このため、画像を読み取る前
に、励起光が筐体内で散乱，反射され、その散乱光，反
射光により螢光体が励起され輝尽発光が発生してしま
い、本来読み取るべき時に励起されて生ずる輝尽発光が
本来あるべき量とは異なってしまうことを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】本発明の動作を示すタイミングチャートであ
る。 【図３】螢光体への画像記録を示す図である。 【図４】従来装置の構成例を示す図である。 【図５】本発明の他の実施例を示す構成図である。 【符号の説明】 １ レーザ光源 ２ 光量制御部 ３，９ シリンドリカルレンズ ４ ビームエキスパンダ ５，８ ミラー ６ 回転多面鏡 ７ f ・θレンズ １０ 集光体 １１，１２ 光検出器 １３ 制御部 １４ 信号処理部 ２０ 光源駆動部 ＯＢＪ 被写体 Ｓ 放射線源 ＳＰ 螢光体
る。 【図３】螢光体への画像記録を示す図である。 【図４】従来装置の構成例を示す図である。 【図５】本発明の他の実施例を示す構成図である。 【符号の説明】 １ レーザ光源 ２ 光量制御部 ３，９ シリンドリカルレンズ ４ ビームエキスパンダ ５，８ ミラー ６ 回転多面鏡 ７ f ・θレンズ １０ 集光体 １１，１２ 光検出器 １３ 制御部 １４ 信号処理部 ２０ 光源駆動部 ＯＢＪ 被写体 Ｓ 放射線源 ＳＰ 螢光体
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 石井 満
東京都日野市さくら町１番地 コニカ株
式会社内
合議体
審判長 片寄 武彦
審判官 東森 秀朋
審判官 綿貫 章
(56)参考文献 特開 昭60−125056（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−32044（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−194970（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．放射線画像情報を記録した螢光体に、励起光を回転
多面鏡で偏向させて照射することにより主走査を行い、
前記螢光体を主走査と略直交する方向に相対的に移動す
ることにより副走査を行い、前記螢光体から発生する輝
尽発光を検出することにより画像情報を読み取るように
した放射線画像情報読取装置において、 前記励起光の非読取区間での光強度を、読取区間での光
強度に比べて弱くするように構成したことを特徴とする
放射線画像情報読取装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6176524A JP2821523B2 (ja) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | 放射線画像情報読取装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6176524A JP2821523B2 (ja) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | 放射線画像情報読取装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61220434A Division JPH0721620B2 (ja) | 1986-09-17 | 1986-09-17 | 放射線画像情報読取装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07234464A JPH07234464A (ja) | 1995-09-05 |
| JP2821523B2 true JP2821523B2 (ja) | 1998-11-05 |
Family
ID=16015125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6176524A Expired - Lifetime JP2821523B2 (ja) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | 放射線画像情報読取装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2821523B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20120104014A (ko) * | 2011-03-11 | 2012-09-20 | 삼성전기주식회사 | 패턴 결함 검출 장치 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6032044A (ja) * | 1983-08-02 | 1985-02-19 | Toshiba Corp | 放射線撮影装置 |
| JPS60125056A (ja) * | 1983-12-12 | 1985-07-04 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線画像情報読取装置 |
| JPS61194970A (ja) * | 1985-02-22 | 1986-08-29 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 放射線画像読み取り方法 |
-
1994
- 1994-07-28 JP JP6176524A patent/JP2821523B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07234464A (ja) | 1995-09-05 |
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