JP2818349B2 - 石英ガラス母材の製造方法 - Google Patents
石英ガラス母材の製造方法Info
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- JP2818349B2 JP2818349B2 JP5058590A JP5859093A JP2818349B2 JP 2818349 B2 JP2818349 B2 JP 2818349B2 JP 5058590 A JP5058590 A JP 5058590A JP 5859093 A JP5859093 A JP 5859093A JP 2818349 B2 JP2818349 B2 JP 2818349B2
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- pulling
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01486—Means for supporting, rotating or translating the preforms being formed, e.g. lathes
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は石英ガラス母材の製造方
法、特には大型の多孔質ガラス母材を効率よく引上げる
ように改良した引上装置を用いる石英ガラス母材の製造
方法に関するものである。
法、特には大型の多孔質ガラス母材を効率よく引上げる
ように改良した引上装置を用いる石英ガラス母材の製造
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ用石英ガラス母材は気相軸付
法（ＶＡＤ法）などで製造されているが、この場合には
四塩化けい素などのけい素化合物やドーパントとしての
四塩化ゲルマニウムを混合した原料ガスの火炎加水分解
で発生したガラス微粒子を担体上に堆積して多孔質ガラ
ス母材を作成し、この多孔質ガラス母材を焼結、溶融し
てガラス化するという方法で作られているが、この多孔
質ガラス母材の製造に当っては、担体上に堆積される多
孔質ガラス母材の成長に伴なって順次これを垂直方向に
引上げる引上装置が必要とされる。
法（ＶＡＤ法）などで製造されているが、この場合には
四塩化けい素などのけい素化合物やドーパントとしての
四塩化ゲルマニウムを混合した原料ガスの火炎加水分解
で発生したガラス微粒子を担体上に堆積して多孔質ガラ
ス母材を作成し、この多孔質ガラス母材を焼結、溶融し
てガラス化するという方法で作られているが、この多孔
質ガラス母材の製造に当っては、担体上に堆積される多
孔質ガラス母材の成長に伴なって順次これを垂直方向に
引上げる引上装置が必要とされる。
【０００３】しかし、この多孔質ガラス母材の製造は従
来図４の（ａ）に示したように、反応装置21内において
酸水素火炎バーナー22に四塩化けい素などのけい素化合
物またはドーパントとしての四塩化ゲルマニウムとの混
合ガスを供給し、その火炎加水分解で発生したガラス微
粒子を回転している全長が 2,500mmの支持棒23の先端の
種棒24に堆積させることによって作られるのであるが、
この場合ガラス微粒子の堆積によって多孔質ガラス母材
26は生長するにつれて支持棒23に連絡されているキャリ
ッジ25によって順次上方に引上げられる。
来図４の（ａ）に示したように、反応装置21内において
酸水素火炎バーナー22に四塩化けい素などのけい素化合
物またはドーパントとしての四塩化ゲルマニウムとの混
合ガスを供給し、その火炎加水分解で発生したガラス微
粒子を回転している全長が 2,500mmの支持棒23の先端の
種棒24に堆積させることによって作られるのであるが、
この場合ガラス微粒子の堆積によって多孔質ガラス母材
26は生長するにつれて支持棒23に連絡されているキャリ
ッジ25によって順次上方に引上げられる。
【０００４】しかして、この多孔質ガラス母材26は通常
約 2,000mmのものとされるので、この引上装置の有効ス
トローク長Ｌ3 は通常 4,800mmとされるのであるが、こ
の多孔質ガラス母材26の製造終了後、これを外に取り出
すためにはこれをその反応装置から取り出すために、こ
の引上装置を用いて反応装置からその多孔質ガラス母材
全長をさらに 4,500mm引上げてこれを外に取り出すの
で、この装置は全長Ｌ4が 9,300mmのものとする必要が
ある。
約 2,000mmのものとされるので、この引上装置の有効ス
トローク長Ｌ3 は通常 4,800mmとされるのであるが、こ
の多孔質ガラス母材26の製造終了後、これを外に取り出
すためにはこれをその反応装置から取り出すために、こ
の引上装置を用いて反応装置からその多孔質ガラス母材
全長をさらに 4,500mm引上げてこれを外に取り出すの
で、この装置は全長Ｌ4が 9,300mmのものとする必要が
ある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかるにこのような長
尺な引上装置は製作コストが高くなるし、長尺部分には
高精度が要求されるために製造技術に困難性が発生し、
さらにはこれを設置する建物も天井高に制約を受けるた
めに光ファイバ用ガラス母材の生産性を向上させるため
に多孔質ガラス母材を大型化するとますますこの引上装
置が長尺化されて光ファイバ用ガラス母材のコスト高が
上昇するということから、この解決方法が求められてい
る。
尺な引上装置は製作コストが高くなるし、長尺部分には
高精度が要求されるために製造技術に困難性が発生し、
さらにはこれを設置する建物も天井高に制約を受けるた
めに光ファイバ用ガラス母材の生産性を向上させるため
に多孔質ガラス母材を大型化するとますますこの引上装
置が長尺化されて光ファイバ用ガラス母材のコスト高が
上昇するということから、この解決方法が求められてい
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不利
を解決した石英ガラス母材の製造方法に関するものであ
り、これは気相軸付法による石英ガラス母材の製造方法
における多孔質ガラス母材の引上装置において、該引上
装置における多孔質ガラス母材の回転を行なうキャリッ
ジ部を垂直方向に移動するための引上機構と共に、引上
軸に直角の水平方向に移動するための横移動機構を有す
るものとしてなることを特徴とするものであり、これは
また気相軸付法による石英ガラス母材の製造方法におけ
る多孔質ガラス母材の引上装置において、該引上装置に
おける多孔質ガラス母材の取出装置が多孔質ガラス母材
取出し時に、支持棒を介さずに直接多孔質ガラス母材の
種棒を把持するようにしてなることを特徴とするもので
ある。
を解決した石英ガラス母材の製造方法に関するものであ
り、これは気相軸付法による石英ガラス母材の製造方法
における多孔質ガラス母材の引上装置において、該引上
装置における多孔質ガラス母材の回転を行なうキャリッ
ジ部を垂直方向に移動するための引上機構と共に、引上
軸に直角の水平方向に移動するための横移動機構を有す
るものとしてなることを特徴とするものであり、これは
また気相軸付法による石英ガラス母材の製造方法におけ
る多孔質ガラス母材の引上装置において、該引上装置に
おける多孔質ガラス母材の取出装置が多孔質ガラス母材
取出し時に、支持棒を介さずに直接多孔質ガラス母材の
種棒を把持するようにしてなることを特徴とするもので
ある。
【０００７】すなわち、本発明者らは多孔質ガラス母材
の大型化に伴なう引上装置の長尺化を防止する方法につ
いて種々検討した結果、これについては引上装置におけ
るキャリッジ部に垂直方向に移動するための引上機構
と、これを引上軸に直角の水平方向に移動する横移動機
構をもたせ、多孔質ガラス母材の成長が終わったときに
支持棒と多孔質ガラス母材とを切離してキャリッジを横
方向に移動させたのち、この多孔質ガラス母材だけを上
昇させればこれには支持棒が存在しないので引上装置の
有効ストロークを 2,600mmとすることができ、その全長
も 7.300mmで済むので、引上装置を高精度に保ち、コス
トを低下させることができることを見出して本発明を完
成させた。以下にこれをさらに詳述する。
の大型化に伴なう引上装置の長尺化を防止する方法につ
いて種々検討した結果、これについては引上装置におけ
るキャリッジ部に垂直方向に移動するための引上機構
と、これを引上軸に直角の水平方向に移動する横移動機
構をもたせ、多孔質ガラス母材の成長が終わったときに
支持棒と多孔質ガラス母材とを切離してキャリッジを横
方向に移動させたのち、この多孔質ガラス母材だけを上
昇させればこれには支持棒が存在しないので引上装置の
有効ストロークを 2,600mmとすることができ、その全長
も 7.300mmで済むので、引上装置を高精度に保ち、コス
トを低下させることができることを見出して本発明を完
成させた。以下にこれをさらに詳述する。
【０００８】
【作用】本発明は石英ガラス母材の製造方法に関するも
のであり、これは気相軸付法による石英ガラス母材の製
造方法における多孔質ガラス母材の引上装置において、
該引上装置における多孔質ガラス母材の回転を行なうキ
ャリッジを垂直方向に移動するための引上機構と共に、
引上軸に直角の水平方向に移動するための横移動機構を
有するものとしてなることを特徴とするものであるが、
これによれば多孔質ガラス母材の成長が終ったときに多
孔質ガラス母材から支持棒を切離し、キャリッジを横方
向に移動させたのちにこの多孔質ガラス母材の種棒を取
出装置で直接把持し、上昇させることができるので、引
上装置の有効ストロークを短くすることができ、さらに
はその全長も短くすることができるので、この引上装置
を短小化することができ、したがって引上装置を高精度
に保ち、石英ガラス母材を安価にかつ効率よく製造する
ことができるという有利性が与えられる。
のであり、これは気相軸付法による石英ガラス母材の製
造方法における多孔質ガラス母材の引上装置において、
該引上装置における多孔質ガラス母材の回転を行なうキ
ャリッジを垂直方向に移動するための引上機構と共に、
引上軸に直角の水平方向に移動するための横移動機構を
有するものとしてなることを特徴とするものであるが、
これによれば多孔質ガラス母材の成長が終ったときに多
孔質ガラス母材から支持棒を切離し、キャリッジを横方
向に移動させたのちにこの多孔質ガラス母材の種棒を取
出装置で直接把持し、上昇させることができるので、引
上装置の有効ストロークを短くすることができ、さらに
はその全長も短くすることができるので、この引上装置
を短小化することができ、したがって引上装置を高精度
に保ち、石英ガラス母材を安価にかつ効率よく製造する
ことができるという有利性が与えられる。
【０００９】本発明は石英ガラス母材の製造時における
多孔質ガラス母材の引上装置において、この多孔質ガラ
ス母材を引上げるキャリッジに多孔質ガラス母材を垂直
方向に移動する引上機構とこれを引上軸に直角の水平方
向に移動するための横移動機構を設けたもの、またこの
際支持棒を介さずに直接種棒を取出装置で把持して引上
げるものであり、これは例えば図１〜３に示したものと
される。図１は本発明による多孔質ガラス母材製造装置
の縦断面図を示したものであるが、これは図１（ａ）に
示したようにこの反応装置１内には酸水素火炎バーナー
２が設けられており、これに四塩化けい素やドーパント
としての四塩化ゲルマニウムなどのガラス原料が供給さ
れ、その火炎加水分解で発生したガラス微粒子が回転し
ている全長が 2.500mmの支持棒３の先端部４にある種棒
に堆積され、これがキャリッジ５によって垂直方向に引
上げられることによって図１の（ｂ）に示したようにこ
こに多孔質ガラス母材６が形成される。
多孔質ガラス母材の引上装置において、この多孔質ガラ
ス母材を引上げるキャリッジに多孔質ガラス母材を垂直
方向に移動する引上機構とこれを引上軸に直角の水平方
向に移動するための横移動機構を設けたもの、またこの
際支持棒を介さずに直接種棒を取出装置で把持して引上
げるものであり、これは例えば図１〜３に示したものと
される。図１は本発明による多孔質ガラス母材製造装置
の縦断面図を示したものであるが、これは図１（ａ）に
示したようにこの反応装置１内には酸水素火炎バーナー
２が設けられており、これに四塩化けい素やドーパント
としての四塩化ゲルマニウムなどのガラス原料が供給さ
れ、その火炎加水分解で発生したガラス微粒子が回転し
ている全長が 2.500mmの支持棒３の先端部４にある種棒
に堆積され、これがキャリッジ５によって垂直方向に引
上げられることによって図１の（ｂ）に示したようにこ
こに多孔質ガラス母材６が形成される。
【００１０】しかし、この多孔質ガラス母材の製造が完
了した時点で図１の（ｃ）に示したように多孔質ガラス
母材を支持装置で支持し種棒と支持棒の間で切り離し、
キャリッジを引上軸に直角の水平方向に横移動させたの
ち、この多孔質ガラス母材を適宜の取出装置で引上げて
図１の（ｄ）に示したように反応装置１の外に持ち出し
て外部に取り出すと、このとき多孔質ガラス母材６には
支持棒３が接続されていないので、この引上装置の有効
ストロークＬ1 は前記した従来法Ｌ3 の 4,800mmから
2,600mmと短くすることができ、その全長Ｌ2 もＬ4 の
9,300 から 7,300mmに短くすることができる。図１で取
出装置としてキャリッジを用いた場合の例を図２、図３
に示すが、図３にはキャリッジの横サイドに種棒３を直
接把持するための固定装置が設けられている。
了した時点で図１の（ｃ）に示したように多孔質ガラス
母材を支持装置で支持し種棒と支持棒の間で切り離し、
キャリッジを引上軸に直角の水平方向に横移動させたの
ち、この多孔質ガラス母材を適宜の取出装置で引上げて
図１の（ｄ）に示したように反応装置１の外に持ち出し
て外部に取り出すと、このとき多孔質ガラス母材６には
支持棒３が接続されていないので、この引上装置の有効
ストロークＬ1 は前記した従来法Ｌ3 の 4,800mmから
2,600mmと短くすることができ、その全長Ｌ2 もＬ4 の
9,300 から 7,300mmに短くすることができる。図１で取
出装置としてキャリッジを用いた場合の例を図２、図３
に示すが、図３にはキャリッジの横サイドに種棒３を直
接把持するための固定装置が設けられている。
【００１１】したがって、本発明によれば引上装置の有
効ストロークＬ1 は支持棒３を含めた多孔質ガラス母材
５の全長の約 1.2倍あればよく、引上装置の全高もこの
多孔質ガラス母材全長の 3.2倍あればよくなり、これは
従来法にくらべてそれぞれ54％、78％の寸法となるの
で、従来法にくらべてその全長を著しく短くすることが
でき、多孔質ガラス母材の製造が従来法にくらべて容易
に、かつ効率のよいものとすることができるという有利
性が与えられる。
効ストロークＬ1 は支持棒３を含めた多孔質ガラス母材
５の全長の約 1.2倍あればよく、引上装置の全高もこの
多孔質ガラス母材全長の 3.2倍あればよくなり、これは
従来法にくらべてそれぞれ54％、78％の寸法となるの
で、従来法にくらべてその全長を著しく短くすることが
でき、多孔質ガラス母材の製造が従来法にくらべて容易
に、かつ効率のよいものとすることができるという有利
性が与えられる。
【００１２】また、この多孔質ガラス母材の製造にあた
っては引上装置の上下方向移動精度が重要なことであ
り、従来法では有効ストロークが長く、この引上装置の
全高が高いために不可能であったのであるが、本発明に
よればこの有効ストロークと引上装置の全高が従来法に
くらべて短くなるので比較的容易にこれを達成すること
ができた。
っては引上装置の上下方向移動精度が重要なことであ
り、従来法では有効ストロークが長く、この引上装置の
全高が高いために不可能であったのであるが、本発明に
よればこの有効ストロークと引上装置の全高が従来法に
くらべて短くなるので比較的容易にこれを達成すること
ができた。
【００１３】なお、この上下方向移動精度は反応室内の
温度の変動によって狂いが生ずるが、有効ストロークが
長いとこの温度を一定に保つことが難しくなり、したが
って従来法ではこの点からも上下方向移動精度の維持が
困難であったのであるが、本発明によれば有効ストロー
クが短くなるので温度の均一化も容易でこの点からも上
下方向移動精度を高く保持することができるという有利
性が与えられる。
温度の変動によって狂いが生ずるが、有効ストロークが
長いとこの温度を一定に保つことが難しくなり、したが
って従来法ではこの点からも上下方向移動精度の維持が
困難であったのであるが、本発明によれば有効ストロー
クが短くなるので温度の均一化も容易でこの点からも上
下方向移動精度を高く保持することができるという有利
性が与えられる。
【００１４】
【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。 実施例１ 図１に示した装置を使用し、直径が 200mm、長さ 2,700
mmの石英製の反応管内にキャリッジに連結した長さ 2,5
00mmの支持棒の先端に石英製の種棒を設置し、この下部
に設置した石英製の酸水素火炎バーナーからドーパント
としての四塩化ゲルマニウムを混合した四塩化けい素を
供給し、ここに発生したガラス微粒子を種棒に堆積して
多孔質ガラス母材を作った。
mmの石英製の反応管内にキャリッジに連結した長さ 2,5
00mmの支持棒の先端に石英製の種棒を設置し、この下部
に設置した石英製の酸水素火炎バーナーからドーパント
としての四塩化ゲルマニウムを混合した四塩化けい素を
供給し、ここに発生したガラス微粒子を種棒に堆積して
多孔質ガラス母材を作った。
【００１５】多孔質ガラス母材の生長に伴なってキャリ
ッジを順次引上げていき、多孔質ガラス母材が 150mmφ
×2,000mmLに達したときに反応を中止させ、多孔質ガラ
ス母材を支持装置８で保持し、種棒と支持棒の部分で切
り離してキャリッジを左側に400mm 移動させ、多孔質ガ
ラス母材を取出装置７に直接接続し、支持装置を外した
のち、上方に移動させて反応管から取り出し、これを常
法により焼結透明ガラス化してこのものの長手方向の屈
折率分布を測定したところ、この比屈折率差△ｎのバラ
ツキは0.35± 0.003％と極めて安定したものとなった。
なお、このときの引上装置の有効ストロークは 2,600mm
であり、装置の全高は7,300mmであった。
ッジを順次引上げていき、多孔質ガラス母材が 150mmφ
×2,000mmLに達したときに反応を中止させ、多孔質ガラ
ス母材を支持装置８で保持し、種棒と支持棒の部分で切
り離してキャリッジを左側に400mm 移動させ、多孔質ガ
ラス母材を取出装置７に直接接続し、支持装置を外した
のち、上方に移動させて反応管から取り出し、これを常
法により焼結透明ガラス化してこのものの長手方向の屈
折率分布を測定したところ、この比屈折率差△ｎのバラ
ツキは0.35± 0.003％と極めて安定したものとなった。
なお、このときの引上装置の有効ストロークは 2,600mm
であり、装置の全高は7,300mmであった。
【００１６】比較例 図４に示した装置を使用したほかは実施例と同じ方法で
150mmφ× 2,000mmＬの多孔質母材を作り、キャリッジ
を引き上げて多孔質ガラス母材を反応管から取り出し、
これを焼結して透明ガラス化したのち、このものの長手
方向の屈折率分布を測定したところ、この比屈折率差△
ｎのバラツキは0.35± 0.015％と不安定なものとなっ
た。なお、このときの引上装置は有効ストロークが 4.8
00mmであり、この装置の全高は 9,300mmであった。
150mmφ× 2,000mmＬの多孔質母材を作り、キャリッジ
を引き上げて多孔質ガラス母材を反応管から取り出し、
これを焼結して透明ガラス化したのち、このものの長手
方向の屈折率分布を測定したところ、この比屈折率差△
ｎのバラツキは0.35± 0.015％と不安定なものとなっ
た。なお、このときの引上装置は有効ストロークが 4.8
00mmであり、この装置の全高は 9,300mmであった。
【００１７】実施例２ 図２に示した装置を使用し取出装置としてキャリッジを
用いた以外は実施例１と同じに行ない、得られた多孔質
ガラス母材を焼結、透明ガラス化してこのものの長手方
向の屈折率分布を測定したところ、比屈折率差△ｎのバ
ラツキは0.35±0.003％と極めて安定なものであり、こ
のときの有効ストロークは 2,600mm、装置の全高は 7,2
00mmであった。
用いた以外は実施例１と同じに行ない、得られた多孔質
ガラス母材を焼結、透明ガラス化してこのものの長手方
向の屈折率分布を測定したところ、比屈折率差△ｎのバ
ラツキは0.35±0.003％と極めて安定なものであり、こ
のときの有効ストロークは 2,600mm、装置の全高は 7,2
00mmであった。
【００１８】
【発明の効果】本発明は石英ガラス母材の製造方法に関
するものであり、これは前記したように気相軸付法によ
る石英ガラス母材の製造方法における多孔質ガラス母材
の引上装置において、該引上装置における多孔質ガラス
母材の回転を行なうキャリッジ部を軸方向に移動するた
めの引上機構と共に、引上軸に直角の水平方向に移動す
るための横移動機構を有するものとしてなることを特徴
とするものであるが、これによれば多孔質ガラス母材製
造後にキャリッジを横に移動して多孔質ガラス母材から
切り離し、取出装置により多孔質ガラス母材を直接把持
して引き出すときに支持棒がなくなるので引上装置の有
効ストロークおよび装置の全高を短くすることができ、
したがって引上装置全体を短くできるし、その上下方向
移動精度も向上させることができるので、多孔質ガラス
母材の製造を容易に、かつ効率的に行なうことができる
という有利性が与えられる。
するものであり、これは前記したように気相軸付法によ
る石英ガラス母材の製造方法における多孔質ガラス母材
の引上装置において、該引上装置における多孔質ガラス
母材の回転を行なうキャリッジ部を軸方向に移動するた
めの引上機構と共に、引上軸に直角の水平方向に移動す
るための横移動機構を有するものとしてなることを特徴
とするものであるが、これによれば多孔質ガラス母材製
造後にキャリッジを横に移動して多孔質ガラス母材から
切り離し、取出装置により多孔質ガラス母材を直接把持
して引き出すときに支持棒がなくなるので引上装置の有
効ストロークおよび装置の全高を短くすることができ、
したがって引上装置全体を短くできるし、その上下方向
移動精度も向上させることができるので、多孔質ガラス
母材の製造を容易に、かつ効率的に行なうことができる
という有利性が与えられる。
【図１】本発明の方法による多孔質母材製造装置の縦断
面図で、（ａ）は多孔質ガラス母材製造開始時の状態
図、（ｂ）は多孔質ガラス母材製造完了時の支持棒と多
孔質ガラス母材との関係図、（ｃ）はキャリッジを横方
向に移動したときの支持棒と多孔質ガラス母材との関係
図、（ｄ）は多孔質ガラス母材を反応室外に移動させた
ときの支持棒と多孔質ガラス母材との関係図を示したも
のである。
面図で、（ａ）は多孔質ガラス母材製造開始時の状態
図、（ｂ）は多孔質ガラス母材製造完了時の支持棒と多
孔質ガラス母材との関係図、（ｃ）はキャリッジを横方
向に移動したときの支持棒と多孔質ガラス母材との関係
図、（ｄ）は多孔質ガラス母材を反応室外に移動させた
ときの支持棒と多孔質ガラス母材との関係図を示したも
のである。
【図２】本発明の方法による多孔質ガラス母材製造装置
の縦断面図で、（ａ）は多孔質ガラス母材製造開始時の
状態図、（ｂ）は多孔質ガラス母材製造完了時のキャリ
ッジ、支持棒、種棒と多孔質ガラス母材との関係図、
（ｃ）は支持棒と多孔質ガラス母材とを切り離すための
種棒と支持部材との関係図、（ｄ）は支持棒取外し後の
多孔質ガラス部材とキャリッジとの接合図、（ｅ）は多
孔質ガラス母材を上方に引き上げた状態図、（ｆ）は多
孔質ガラス母材とキャリッジとの切り離しの状態図を示
したものである。
の縦断面図で、（ａ）は多孔質ガラス母材製造開始時の
状態図、（ｂ）は多孔質ガラス母材製造完了時のキャリ
ッジ、支持棒、種棒と多孔質ガラス母材との関係図、
（ｃ）は支持棒と多孔質ガラス母材とを切り離すための
種棒と支持部材との関係図、（ｄ）は支持棒取外し後の
多孔質ガラス部材とキャリッジとの接合図、（ｅ）は多
孔質ガラス母材を上方に引き上げた状態図、（ｆ）は多
孔質ガラス母材とキャリッジとの切り離しの状態図を示
したものである。
【図３】本発明の方法による多孔質ガラス母材製造装置
の他の例の縦断面図で、（ａ）は多孔質ガラス母材製造
開始時の状態図、（ｂ）は多孔質ガラス母材製造完了時
のキャリッジ、支持棒、種棒と多孔質ガラス母材との関
係図、（ｃ）は支持棒と多孔質ガラス母材とを切り離す
ための支持装置（１）で種棒を支持して支持棒を切り離
し、キャリッジを横方向に移動したときの状態図、
（ｄ）は多孔質ガラス母材とキャリッジ付設支持装置
（２）との接合図、（ｅ）は多孔質ガラス母材を上方に
引上げた状態図、（ｆ）は多孔質ガラス母材とキャリッ
ジとの切り離しの状態図を示したものである。
の他の例の縦断面図で、（ａ）は多孔質ガラス母材製造
開始時の状態図、（ｂ）は多孔質ガラス母材製造完了時
のキャリッジ、支持棒、種棒と多孔質ガラス母材との関
係図、（ｃ）は支持棒と多孔質ガラス母材とを切り離す
ための支持装置（１）で種棒を支持して支持棒を切り離
し、キャリッジを横方向に移動したときの状態図、
（ｄ）は多孔質ガラス母材とキャリッジ付設支持装置
（２）との接合図、（ｅ）は多孔質ガラス母材を上方に
引上げた状態図、（ｆ）は多孔質ガラス母材とキャリッ
ジとの切り離しの状態図を示したものである。
【図４】比較例による多孔質母材製造装置の縦断面図
で、（ａ）は多孔質ガラス母材製造開始時の状態図、
（ｂ）は多孔質ガラス母材製造完了時の支持棒と多孔質
ガラス母材との関係図、（ｃ）は多孔質ガラス母材を反
応室外に移動させたときの支持棒と多孔質ガラス母材と
の関係図、（ｄ）は多孔質ガラス母材と支持棒とを切り
離したときの両者の関係図を示したものである。
で、（ａ）は多孔質ガラス母材製造開始時の状態図、
（ｂ）は多孔質ガラス母材製造完了時の支持棒と多孔質
ガラス母材との関係図、（ｃ）は多孔質ガラス母材を反
応室外に移動させたときの支持棒と多孔質ガラス母材と
の関係図、（ｄ）は多孔質ガラス母材と支持棒とを切り
離したときの両者の関係図を示したものである。
１，21…反応管、 ２，22…酸水素火炎バーナー、
３，23…支持棒、 ４，24…種棒、５，25…キャリ
ッジ、 ６，26…多孔質ガラス母材、７…取出装置、
８…支持装置（１）、９…横移動装置、 10
…支持装置（２）、11，31…引上機構、Ｌ1 …本発明の
引上装置の有効ストローク、Ｌ2 …本発明の引上装置の
全高、Ｌ3 …比較例の引上装置の有効ストローク、Ｌ4
…比較例の引上装置の全高。
３，23…支持棒、 ４，24…種棒、５，25…キャリ
ッジ、 ６，26…多孔質ガラス母材、７…取出装置、
８…支持装置（１）、９…横移動装置、 10
…支持装置（２）、11，31…引上機構、Ｌ1 …本発明の
引上装置の有効ストローク、Ｌ2 …本発明の引上装置の
全高、Ｌ3 …比較例の引上装置の有効ストローク、Ｌ4
…比較例の引上装置の全高。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 濱口 一宏 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (56)参考文献 特開 平６−271324（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C03B 37/012 C03B 8/04 C03B 20/00
Claims (4)
- 【請求項１】気相軸付法による石英ガラス母材の製造方
法における多孔質ガラス母材の引上装置において、該引
上装置における多孔質ガラス母材の回転を行なうキャリ
ッジ部を垂直方向に移動するための引上機構と共に、引
上軸に直角の水平方向に移動するための横移動機構を有
するものとしてなることを特徴とする石英ガラス母材の
製造方法。 - 【請求項２】気相軸付法による石英ガラス母材の製造方
法における多孔質ガラス母材の引上装置において、該引
上装置における多孔質ガラス母材の取出装置が多孔質ガ
ラス母材取出時に、支持棒を介さずに直接多孔質ガラス
母材の種棒を把持するようにしてなることを特徴とする
石英ガラス母材の製造方法。 - 【請求項３】取出装置がキャリッジ部よりなるものであ
る請求項２に記載した石英ガラス母材の製造方法。 - 【請求項４】石英ガラス母材が光ファイバ用ガラス母材
である請求項１または２に記載した石英ガラス母材の製
造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5058590A JP2818349B2 (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 石英ガラス母材の製造方法 |
| US08/206,522 US5425795A (en) | 1993-03-18 | 1994-03-04 | Method for pulling-up a porous silica glass preform |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5058590A JP2818349B2 (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 石英ガラス母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06271328A JPH06271328A (ja) | 1994-09-27 |
| JP2818349B2 true JP2818349B2 (ja) | 1998-10-30 |
Family
ID=13088706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5058590A Expired - Fee Related JP2818349B2 (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 石英ガラス母材の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5425795A (ja) |
| JP (1) | JP2818349B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2099942C (en) * | 1992-07-09 | 2004-10-26 | Sumio Hoshino | Method and apparatus for drawing glass preform for optical fiber |
| US6260387B1 (en) * | 1998-05-29 | 2001-07-17 | Eastman Kodak Company | Method for fabricating glass preforms for molding optical surfaces in glass elements |
| US8047023B2 (en) * | 2001-04-27 | 2011-11-01 | Corning Incorporated | Method for producing titania-doped fused silica glass |
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|---|---|---|---|---|
| US1213285A (en) * | 1908-11-27 | 1917-01-23 | Pittsburgh Plate Glass Co | Apparatus for handling glass cylinders. |
| US3981369A (en) * | 1974-01-18 | 1976-09-21 | Dolphin International, Inc. | Riser pipe stacking system |
| US4350569A (en) * | 1980-07-02 | 1982-09-21 | Phillips Petroleum Company | Fractional distillation column control |
| US5221309A (en) * | 1984-05-15 | 1993-06-22 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method for producing glass preform for optical fiber |
| FR2585066B1 (fr) * | 1985-07-19 | 1988-05-13 | Brissonneau & Lotz | Procede et installation de rangement vertical de tiges de forage sur une tour de forage |
| GB2179340B (en) * | 1985-08-21 | 1989-03-22 | Stc Plc | Optical fibre manufacture |
| US4906268A (en) * | 1986-01-30 | 1990-03-06 | Corning Incorporated | Heating oven for preparing optical waveguide fibers |
-
1993
- 1993-03-18 JP JP5058590A patent/JP2818349B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-03-04 US US08/206,522 patent/US5425795A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5425795A (en) | 1995-06-20 |
| JPH06271328A (ja) | 1994-09-27 |
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