JP2809304B2 - Ｉｃ試験装置の検査装置 - Google Patents
Ｉｃ試験装置の検査装置Info
- Publication number
- JP2809304B2 JP2809304B2 JP7267245A JP26724595A JP2809304B2 JP 2809304 B2 JP2809304 B2 JP 2809304B2 JP 7267245 A JP7267245 A JP 7267245A JP 26724595 A JP26724595 A JP 26724595A JP 2809304 B2 JP2809304 B2 JP 2809304B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- socket
- resistor
- power supply
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は多数のＩＣを一度
に試験することができるＩＣ試験装置の被試験ＩＣを装
着する部分の配線の状態を検査するＩＣ試験装置の検査
装置に関する。
に試験することができるＩＣ試験装置の被試験ＩＣを装
着する部分の配線の状態を検査するＩＣ試験装置の検査
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２にＩＣ試験装置のテストヘッドの部
分の構成を示す。図中１はテストヘッド、２はインター
フェース、３はソケットボードを示す。ソケットボード
３の板面には図３に示すように接触子４が装着され、こ
の接触子４にＩＣソケット５の端子６が装着されてＩＣ
ソケット５を電気的、機械的に保持する構造とされる。
ソケットボード３上には多数の例えば１６個又は３２個
或は６４個のＩＣソケット５が装着される。被試験ＩＣ
（特に図示しない）はこのＩＣソケット５に装着され、
ＩＣソケット５を通じてテストヘッド１に電気的に接続
されて試験が行なわれる。
分の構成を示す。図中１はテストヘッド、２はインター
フェース、３はソケットボードを示す。ソケットボード
３の板面には図３に示すように接触子４が装着され、こ
の接触子４にＩＣソケット５の端子６が装着されてＩＣ
ソケット５を電気的、機械的に保持する構造とされる。
ソケットボード３上には多数の例えば１６個又は３２個
或は６４個のＩＣソケット５が装着される。被試験ＩＣ
（特に図示しない）はこのＩＣソケット５に装着され、
ＩＣソケット５を通じてテストヘッド１に電気的に接続
されて試験が行なわれる。
【０００３】つまり、ソケットボード３の各接触子４は
インターフェース２に施された配線を通じてテストヘッ
ド１に接続される。テストヘッド１とインターフェース
２との間及びインターフェース２とソケットボード３と
の間はポゴピンと呼ばれるバネによって弾性的に突出し
たピン７を相手の電極に接触させて接続される。このポ
ゴピンを使った接触構造によってインターフェース２及
びソケットボード３は自由に取外しが可能となり、被試
験ＩＣの種類を変更する際に短時間にソケットボード３
を交換することができるように構成している。換言すれ
ば被試験ＩＣの端子の数が多いことと、一度に試験を行
なうＩＣの数が多いことからインターフェース２を通る
リード線８及びテストヘッド１内のリード線９は１００
０本程度となる。このため配線の接続をソケットボード
３を交換する都度、手作業で切離し、接続復旧を行なっ
ていては大変な作業となるからである。
インターフェース２に施された配線を通じてテストヘッ
ド１に接続される。テストヘッド１とインターフェース
２との間及びインターフェース２とソケットボード３と
の間はポゴピンと呼ばれるバネによって弾性的に突出し
たピン７を相手の電極に接触させて接続される。このポ
ゴピンを使った接触構造によってインターフェース２及
びソケットボード３は自由に取外しが可能となり、被試
験ＩＣの種類を変更する際に短時間にソケットボード３
を交換することができるように構成している。換言すれ
ば被試験ＩＣの端子の数が多いことと、一度に試験を行
なうＩＣの数が多いことからインターフェース２を通る
リード線８及びテストヘッド１内のリード線９は１００
０本程度となる。このため配線の接続をソケットボード
３を交換する都度、手作業で切離し、接続復旧を行なっ
ていては大変な作業となるからである。
【０００４】このような構造のＩＣ試験装置の特にリー
ド線８とソケットボード３の各接触子４との間の接続及
びリード線８の接続関係が正しく行なわれているか否か
を試験するために、従来はＩＣソケット５に接続できる
端子構造を持つ接続治具１１を一対用意し、用意した一
対の接続治具１１の相互をそれぞれ対応する端子同士を
リード線１２で互に接続し、この一対の接続治具１１を
検査すべきＩＣソケット５に装着する。接続治具１１が
装着されたＩＣソケット５に接続されているはずのリー
ド線９の一方に直流電源１３を接続し、このリード線９
に所定の電圧を印加し、その対応する他方のＩＣソケッ
ト５から導出されているリード線９の電圧を電圧測定器
１４で測定し、電圧測定器１４で所定の電圧が測定され
ることによりテストヘッド１内のリード線９と、インタ
ーフェース２内のリード線８の配線状態及びソケットボ
ード３上の接触子４とＩＣソケット５のコンタクトの接
続関係が全て正常であることを確認する。この検査を経
て全てのＩＣソケットの各コンタクトの検査が完了す
る。
ド線８とソケットボード３の各接触子４との間の接続及
びリード線８の接続関係が正しく行なわれているか否か
を試験するために、従来はＩＣソケット５に接続できる
端子構造を持つ接続治具１１を一対用意し、用意した一
対の接続治具１１の相互をそれぞれ対応する端子同士を
リード線１２で互に接続し、この一対の接続治具１１を
検査すべきＩＣソケット５に装着する。接続治具１１が
装着されたＩＣソケット５に接続されているはずのリー
ド線９の一方に直流電源１３を接続し、このリード線９
に所定の電圧を印加し、その対応する他方のＩＣソケッ
ト５から導出されているリード線９の電圧を電圧測定器
１４で測定し、電圧測定器１４で所定の電圧が測定され
ることによりテストヘッド１内のリード線９と、インタ
ーフェース２内のリード線８の配線状態及びソケットボ
ード３上の接触子４とＩＣソケット５のコンタクトの接
続関係が全て正常であることを確認する。この検査を経
て全てのＩＣソケットの各コンタクトの検査が完了す
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の検査方法によれ
ば対応するリード線９と９の間が導通していれば、その
リード線９と９の間の配線が正しく行なわれていると判
定する。然し乍ら、リード線９と９が本来は図２に実線
で示すコンタクトに接続されているべきものと規定して
いるにも係わらず、例えばテストヘッド１内のリード線
９の接続が図２に点線で示すように接続位置が間違えて
いても、この間違いを検出することはできない。
ば対応するリード線９と９の間が導通していれば、その
リード線９と９の間の配線が正しく行なわれていると判
定する。然し乍ら、リード線９と９が本来は図２に実線
で示すコンタクトに接続されているべきものと規定して
いるにも係わらず、例えばテストヘッド１内のリード線
９の接続が図２に点線で示すように接続位置が間違えて
いても、この間違いを検出することはできない。
【０００６】また、各ＩＣソケット５の電源に接続され
るべき電源用コンタクトは図４に示すようにソケットボ
ード３に形成した配線導体１５に共通接続され、電源供
給端子１６を配線導体１５、配線１８を通じてＩＣソケ
ット５の電源用コンタクト１７に電源電圧を供給する構
造とされている。従ってこの電源用コンタクト１７の接
続を検査する場合において、例えば配線導体１５と電源
用コンタクト１７との間を接続する配線１８の部分が断
線していたとしても電源用コンタクト１７は接続治具１
１の相互を接続するリード線１２で互に接続されている
から、端子１６と電源用コンタクト１７はリード線９と
９の間において電気的に導通を示し、配線１８の部分の
断線を検出することができない。
るべき電源用コンタクトは図４に示すようにソケットボ
ード３に形成した配線導体１５に共通接続され、電源供
給端子１６を配線導体１５、配線１８を通じてＩＣソケ
ット５の電源用コンタクト１７に電源電圧を供給する構
造とされている。従ってこの電源用コンタクト１７の接
続を検査する場合において、例えば配線導体１５と電源
用コンタクト１７との間を接続する配線１８の部分が断
線していたとしても電源用コンタクト１７は接続治具１
１の相互を接続するリード線１２で互に接続されている
から、端子１６と電源用コンタクト１７はリード線９と
９の間において電気的に導通を示し、配線１８の部分の
断線を検出することができない。
【０００７】また、各ＩＣソケット５の共通電位用コン
タクトＧ1 ，Ｇ2 ，Ｇ3 （図５参照）は、ソケットボー
ド３上において相互に接続されて共通電位点Ｇ0 に接続
されているため、直流電源１３をＩＣソケット５の共通
電位用コンタクトＧ1 ，Ｇ2，Ｇ3 の何れに接続されて
いるリード線９に接続したとしても、他方のリード線９
には電圧が発生しない、つまり電圧測定器１４において
電圧を検出することはできない。これと共に、例えば共
通電位用コンタクトＧ1 ，Ｇ2 ，Ｇ3 を共通接続してい
る配線１９が切断されていても、共通電位用コンタクト
Ｇ1 を検査した場合、この共通電位用コンタクトＧ1 は
リード線１２で他方のＩＣソケットの共通電位用コンタ
クトＧ1 に接続されているから、リード線９に電圧を発
生しない。従って配線１９が切断されていることを検出
することができない不都合が生じる。
タクトＧ1 ，Ｇ2 ，Ｇ3 （図５参照）は、ソケットボー
ド３上において相互に接続されて共通電位点Ｇ0 に接続
されているため、直流電源１３をＩＣソケット５の共通
電位用コンタクトＧ1 ，Ｇ2，Ｇ3 の何れに接続されて
いるリード線９に接続したとしても、他方のリード線９
には電圧が発生しない、つまり電圧測定器１４において
電圧を検出することはできない。これと共に、例えば共
通電位用コンタクトＧ1 ，Ｇ2 ，Ｇ3 を共通接続してい
る配線１９が切断されていても、共通電位用コンタクト
Ｇ1 を検査した場合、この共通電位用コンタクトＧ1 は
リード線１２で他方のＩＣソケットの共通電位用コンタ
クトＧ1 に接続されているから、リード線９に電圧を発
生しない。従って配線１９が切断されていることを検出
することができない不都合が生じる。
【０００８】この発明の目的は、ＩＣソケットの各一個
毎のコンタクトの接続状態は元より、ソケットボード上
において共通接続される端子の接続状況も正しく配線さ
れているか否かを検出することができるＩＣ試験装置の
検査装置を提供しようとするものである。
毎のコンタクトの接続状態は元より、ソケットボード上
において共通接続される端子の接続状況も正しく配線さ
れているか否かを検出することができるＩＣ試験装置の
検査装置を提供しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明では絶縁基板上
にＩＣソケットの各端子と接触してＩＣソケットを保持
する接触子が多数装着されたソケットボードと、このソ
ケットボードの各接触子からテストヘッドに導出された
リード線とを具備して構成され、ソケットボードに装着
したＩＣソケットに被試験ＩＣを装着し、ＩＣの装着状
態でリード線を通じて被試験ＩＣに試験信号を与え、被
試験ＩＣの動作を試験するＩＣ試験装置において、テス
トヘッドに導出されたリード線に所定の電流を与える直
流電源と、この直流電源に接続するリード線を順次切替
る切替走査手段と、ソケットボードの各ＩＣソケットに
接触するコンタクトを有し、このコンタクトに一端が電
気的に接続されたリード線を保持した接続治具と、この
ＩＣソケットの各コンタクトに一端が接続されたリード
線の他端を順次共通接続点に接続する切替走査手段と、
共通接続点と共通電位点との間に抵抗器を接続する第１
接点と、第１接点が抵抗器の一端を共通電位点から切離
した状態で、その切離した一端に所定の電圧を印加する
第２接点と、この第１接点が抵抗器の一端を共通電位に
接続している状態において、この抵抗器に発生する電圧
が予め予定した電圧であるか否かを測定し、テストヘッ
ドとＩＣソケットとの間の配線が正しく施されているか
否かを判定すると共に、第２接点が抵抗器の一端に所定
の電圧を印加した状態で共通接続点に電圧が発生するか
否かを測定し、ソケットボード上の各接触子が共通電位
点に接触しているか否かを判定する電圧測定器とによっ
てＩＣ試験装置の検査装置を構成したものである。
にＩＣソケットの各端子と接触してＩＣソケットを保持
する接触子が多数装着されたソケットボードと、このソ
ケットボードの各接触子からテストヘッドに導出された
リード線とを具備して構成され、ソケットボードに装着
したＩＣソケットに被試験ＩＣを装着し、ＩＣの装着状
態でリード線を通じて被試験ＩＣに試験信号を与え、被
試験ＩＣの動作を試験するＩＣ試験装置において、テス
トヘッドに導出されたリード線に所定の電流を与える直
流電源と、この直流電源に接続するリード線を順次切替
る切替走査手段と、ソケットボードの各ＩＣソケットに
接触するコンタクトを有し、このコンタクトに一端が電
気的に接続されたリード線を保持した接続治具と、この
ＩＣソケットの各コンタクトに一端が接続されたリード
線の他端を順次共通接続点に接続する切替走査手段と、
共通接続点と共通電位点との間に抵抗器を接続する第１
接点と、第１接点が抵抗器の一端を共通電位点から切離
した状態で、その切離した一端に所定の電圧を印加する
第２接点と、この第１接点が抵抗器の一端を共通電位に
接続している状態において、この抵抗器に発生する電圧
が予め予定した電圧であるか否かを測定し、テストヘッ
ドとＩＣソケットとの間の配線が正しく施されているか
否かを判定すると共に、第２接点が抵抗器の一端に所定
の電圧を印加した状態で共通接続点に電圧が発生するか
否かを測定し、ソケットボード上の各接触子が共通電位
点に接触しているか否かを判定する電圧測定器とによっ
てＩＣ試験装置の検査装置を構成したものである。
【００１０】この発明による検査装置によれば、ＩＣソ
ケットの相互を共通接続することなく、テストヘッドに
導出したリード線の１本毎に電流を供給し、この電流を
ＩＣソケットの各コンタクトから取出して検査装置に設
けた抵抗器に供給する。抵抗器の他端は第１接点によっ
て共通電位点に接続されているから、テストヘッド側か
ら供給した電流は配線が正しく行なわれていれば抵抗器
に流れ、抵抗器に正規の電圧が発生する。従って、この
電圧を電圧測定器で測定すれば配線が正しく行なわれて
いるか否かを判定することができる。
ケットの相互を共通接続することなく、テストヘッドに
導出したリード線の１本毎に電流を供給し、この電流を
ＩＣソケットの各コンタクトから取出して検査装置に設
けた抵抗器に供給する。抵抗器の他端は第１接点によっ
て共通電位点に接続されているから、テストヘッド側か
ら供給した電流は配線が正しく行なわれていれば抵抗器
に流れ、抵抗器に正規の電圧が発生する。従って、この
電圧を電圧測定器で測定すれば配線が正しく行なわれて
いるか否かを判定することができる。
【００１１】更に、テストヘッド側から電源供給端子１
６に電圧を供給した場合、各電源用コンタクト１７と配
線導体１５との間の配線１８が正常であれば、その電源
用コンタクト１７に電流が流れ、この電流を検査装置に
与えることにより、抵抗器に正規の電圧が発生し、電源
用コンタクトの配線が正しい状態にあることが解る。こ
れと共に、電源供給端子１６に与えた電流がＩＣソケッ
ト５の電源用コンタクトに発生しない場合には配線導体
１５と電源用コンタクト１７との間を接続する配線１８
の部分が断線していることが解る。
６に電圧を供給した場合、各電源用コンタクト１７と配
線導体１５との間の配線１８が正常であれば、その電源
用コンタクト１７に電流が流れ、この電流を検査装置に
与えることにより、抵抗器に正規の電圧が発生し、電源
用コンタクトの配線が正しい状態にあることが解る。こ
れと共に、電源供給端子１６に与えた電流がＩＣソケッ
ト５の電源用コンタクトに発生しない場合には配線導体
１５と電源用コンタクト１７との間を接続する配線１８
の部分が断線していることが解る。
【００１２】また、ソケットボード３上で互に共通接続
される共通電位コンタクトが正しく共通電位点に接続さ
れていない場合には、検査装置側に設けた直流電源から
抵抗器を通じて電圧を供給すると、共通接続点は共通電
位に落されていないから、共通接続点には直流電源から
与えた電圧がそのまま発生する。従ってこの電圧の検出
によって共通電位端子がソケットボード上において正し
く共通電位に接続されていないことを検出することがで
きる。
される共通電位コンタクトが正しく共通電位点に接続さ
れていない場合には、検査装置側に設けた直流電源から
抵抗器を通じて電圧を供給すると、共通接続点は共通電
位に落されていないから、共通接続点には直流電源から
与えた電圧がそのまま発生する。従ってこの電圧の検出
によって共通電位端子がソケットボード上において正し
く共通電位に接続されていないことを検出することがで
きる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１にこの発明の一実施例を示
す。図１において、図２と対応する部分には同一符号を
付して示す。図１に示す符号１００を付したブロックが
この発明による検査装置を示す。この発明による検査装
置１００はＩＣソケット５の各コンタクトを共通接続点
Ａに順次接続する切替走査手段１０１と、この共通接続
点Ａに一端が接続された抵抗器１０２と、この抵抗器１
０２の他端を共通電位点Ｇ0 に接続し、また切離すこと
ができる第１接点Ｋ１と、この第１接点Ｋ１が抵抗器１
０２の他端を共通電位点Ｇ0 から切離している状態で、
抵抗器１０２の他端に直流電源１０３から直流電圧Ｖ1
を印加する第２接点Ｋ２と、共通接続点Ａに発生する電
圧を測定する電圧測定器１０４と、テストヘッド１の各
リード線９に直流電流Ｉ1 を与える直流電源１３とによ
って構成される。
す。図１において、図２と対応する部分には同一符号を
付して示す。図１に示す符号１００を付したブロックが
この発明による検査装置を示す。この発明による検査装
置１００はＩＣソケット５の各コンタクトを共通接続点
Ａに順次接続する切替走査手段１０１と、この共通接続
点Ａに一端が接続された抵抗器１０２と、この抵抗器１
０２の他端を共通電位点Ｇ0 に接続し、また切離すこと
ができる第１接点Ｋ１と、この第１接点Ｋ１が抵抗器１
０２の他端を共通電位点Ｇ0 から切離している状態で、
抵抗器１０２の他端に直流電源１０３から直流電圧Ｖ1
を印加する第２接点Ｋ２と、共通接続点Ａに発生する電
圧を測定する電圧測定器１０４と、テストヘッド１の各
リード線９に直流電流Ｉ1 を与える直流電源１３とによ
って構成される。
【００１４】直流電源１３は切替走査手段１０５を通じ
てテストヘッド１の各リード線９に直流電流Ｉ1 を与え
る。切替走査手段１０５と切替走査手段１０１とはコン
トローラ１０６によって互に同期して１ステップずつ接
続位置を移動する。ソケットボード３上に装着したＩＣ
ソケット５には、それぞれに接続治具１１を接続する。
各接続治具１１にはリード線１０７を接続し、リード線
１０７の他端を切替走査手段１０１に接続する。従って
各ＩＣソケット５のコンタクトは接続治具１１とリード
線１０７を通じて切替走査手段１０１に接続され、ＩＣ
ソケット５の全てのコンタクトは切替走査手段１０１の
切替走査によって選択的に接続点Ａに接続される。
てテストヘッド１の各リード線９に直流電流Ｉ1 を与え
る。切替走査手段１０５と切替走査手段１０１とはコン
トローラ１０６によって互に同期して１ステップずつ接
続位置を移動する。ソケットボード３上に装着したＩＣ
ソケット５には、それぞれに接続治具１１を接続する。
各接続治具１１にはリード線１０７を接続し、リード線
１０７の他端を切替走査手段１０１に接続する。従って
各ＩＣソケット５のコンタクトは接続治具１１とリード
線１０７を通じて切替走査手段１０１に接続され、ＩＣ
ソケット５の全てのコンタクトは切替走査手段１０１の
切替走査によって選択的に接続点Ａに接続される。
【００１５】切替走査手段１０１によって選択されて共
通接続点Ａに接続されたＩＣソケット５のコンタクトに
対して、テストヘッド１側の切替走査手段１０５は直流
電源１３からリード線９と８を通じて電流Ｉ1 を供給す
る。ここで、ＩＣソケット５の各信号用コンタクトに対
しては、リード線９と８を通じて電流Ｉ1 を直接供給す
るが、電源用コンタクト１７ (図４参照）に対しては電
源供給端子１６を通じて電流Ｉ1 を供給するものとす
る。
通接続点Ａに接続されたＩＣソケット５のコンタクトに
対して、テストヘッド１側の切替走査手段１０５は直流
電源１３からリード線９と８を通じて電流Ｉ1 を供給す
る。ここで、ＩＣソケット５の各信号用コンタクトに対
しては、リード線９と８を通じて電流Ｉ1 を直接供給す
るが、電源用コンタクト１７ (図４参照）に対しては電
源供給端子１６を通じて電流Ｉ1 を供給するものとす
る。
【００１６】信号用コンタクト及び電源用コンタクトを
検査する場合にはコントローラ１０６により第１接点Ｋ
１をオンの状態に、第２接点Ｋ２をオフの状態に制御す
る。これと共に信号用コンタクト又は電源供給端子１６
に電流Ｉ1 を供給する。この電流Ｉ1 は切替走査手段１
０１を通じて共通接続点Ａに供給され、抵抗器１０２に
流れ込む。各信号用コンタクトは独立しているため、切
替走査手段１０５で選択した信号用コンタクトと切替走
査手段１０１で選択した信号用コンタクトが一致してい
れば抵抗器１０２に電圧が発生し、この電圧を電圧測定
器１０４で測定する。電流Ｉ1 と抵抗器１０２の抵抗値
が既知であるものにすると、共通電位点Ａの電圧（抵抗
器１０２に発生する電圧）と、直流電源１３と共通接続
点Ａまでの電圧降下を知ることができる。この電圧降下
が規定範囲内であればその信号用コンタクトの配線は正
常であると判定することができる。電圧降下が規定値を
越えている場合は、途中に接触不良点が存在することが
解る。切替走査手段１０５をその状態のまま、切替走査
手段１０１を高速で切替え、他のコンタクトに電圧が発
生しているか否かを検査すれば、検査した信号用コンタ
クトの回路が他の回路に混触しているか否かを検査する
ことができる。
検査する場合にはコントローラ１０６により第１接点Ｋ
１をオンの状態に、第２接点Ｋ２をオフの状態に制御す
る。これと共に信号用コンタクト又は電源供給端子１６
に電流Ｉ1 を供給する。この電流Ｉ1 は切替走査手段１
０１を通じて共通接続点Ａに供給され、抵抗器１０２に
流れ込む。各信号用コンタクトは独立しているため、切
替走査手段１０５で選択した信号用コンタクトと切替走
査手段１０１で選択した信号用コンタクトが一致してい
れば抵抗器１０２に電圧が発生し、この電圧を電圧測定
器１０４で測定する。電流Ｉ1 と抵抗器１０２の抵抗値
が既知であるものにすると、共通電位点Ａの電圧（抵抗
器１０２に発生する電圧）と、直流電源１３と共通接続
点Ａまでの電圧降下を知ることができる。この電圧降下
が規定範囲内であればその信号用コンタクトの配線は正
常であると判定することができる。電圧降下が規定値を
越えている場合は、途中に接触不良点が存在することが
解る。切替走査手段１０５をその状態のまま、切替走査
手段１０１を高速で切替え、他のコンタクトに電圧が発
生しているか否かを検査すれば、検査した信号用コンタ
クトの回路が他の回路に混触しているか否かを検査する
ことができる。
【００１７】電源用コンタクトの回路を検査する場合に
は図４に示した電源供給端子１６に継がるリード線９に
切替走査手段１０５を接続し、直流電源１３から直流電
流Ｉ 1 を供給する。この電流Ｉ1 がＩＣソケット５と、
接続治具１１を介して共通接続点Ａに出力されれば、各
ＩＣソケット５の電源用コンタクトは正常に電源回路に
接続されていることが解る。電源用コンタクトに電圧が
発生しない場合は、図４に示した配線１８が切断されて
いるか何等かの誤配線があることが解る。
は図４に示した電源供給端子１６に継がるリード線９に
切替走査手段１０５を接続し、直流電源１３から直流電
流Ｉ 1 を供給する。この電流Ｉ1 がＩＣソケット５と、
接続治具１１を介して共通接続点Ａに出力されれば、各
ＩＣソケット５の電源用コンタクトは正常に電源回路に
接続されていることが解る。電源用コンタクトに電圧が
発生しない場合は、図４に示した配線１８が切断されて
いるか何等かの誤配線があることが解る。
【００１８】共通電位点Ｇ0 に接続されるＩＣソケット
５のコンタクトを検査する場合には、直流電源１３は回
路から切離し、第１接点Ｋ１をオフ、第２接点Ｋ２をオ
ンの状態に切替える。この状態で切替走査手段１０１で
各共通電位点に接続されるＩＣソケットの各コンタクト
に共通接続点Ａを接続する。各共通接続点に接続されて
いるべきＩＣソケット５のコンタクトが正しく共通電位
に接続されていれば共通接続点Ａの電位はゼロとなる。
共通電位点Ｇ0 に接続されていない場合は直流電源１０
３から与えられる電圧Ｖ1 が発生し、電圧測定器１０４
でこれを検出することにより配線不良を判定することが
できる。
５のコンタクトを検査する場合には、直流電源１３は回
路から切離し、第１接点Ｋ１をオフ、第２接点Ｋ２をオ
ンの状態に切替える。この状態で切替走査手段１０１で
各共通電位点に接続されるＩＣソケットの各コンタクト
に共通接続点Ａを接続する。各共通接続点に接続されて
いるべきＩＣソケット５のコンタクトが正しく共通電位
に接続されていれば共通接続点Ａの電位はゼロとなる。
共通電位点Ｇ0 に接続されていない場合は直流電源１０
３から与えられる電圧Ｖ1 が発生し、電圧測定器１０４
でこれを検出することにより配線不良を判定することが
できる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
切替走査手段１０５で検査すべき回路を指定し、この回
路に対応するとＩＣソケット５のコンタクトを切替走査
手段１０１で選択して検査するから、回路の対応が入れ
変わって検査されることはない。また、電源用コンタク
トが正しく電源供給端子１６に接続されていることも確
認することができる。更に、共通電位点に接続されるべ
きＩＣソケットのコンタクトも各１個ずつ独立して正し
く共通電位に接続されていることを確認することができ
る。従ってこの発明による検査装置によれば信頼性の高
い検査を行なうことができる利点が得られる。
切替走査手段１０５で検査すべき回路を指定し、この回
路に対応するとＩＣソケット５のコンタクトを切替走査
手段１０１で選択して検査するから、回路の対応が入れ
変わって検査されることはない。また、電源用コンタク
トが正しく電源供給端子１６に接続されていることも確
認することができる。更に、共通電位点に接続されるべ
きＩＣソケットのコンタクトも各１個ずつ独立して正し
く共通電位に接続されていることを確認することができ
る。従ってこの発明による検査装置によれば信頼性の高
い検査を行なうことができる利点が得られる。
【図１】この発明によるＩＣ試験装置の検査装置の実施
例を示す接続図。
例を示す接続図。
【図２】従来の技術を説明するための接続図。
【図３】ソケットボードとＩＣソケットの関係を説明す
るための図。
るための図。
【図４】ＩＣソケットの電源用端子（コンタクト）に電
源電圧を与える回路の構造を説明するための平面図。
源電圧を与える回路の構造を説明するための平面図。
【図５】ＩＣソケットの共通電位点に接続すべき端子
（コンタクト）の共通電位点への接続状況と従来の検査
の方法を説明するための平面図。
（コンタクト）の共通電位点への接続状況と従来の検査
の方法を説明するための平面図。
１ ＩＣテストのテストヘッド ２ インターフェース ３ ソケットボード ５ ＩＣソケット ７ ポゴピン ８，９ リード線 １１ 接続治具 １００ 検査装置 １０１，１０５ 切替走査手段 １０２ 抵抗器 １３，１０３ 直流電源 １０４ 電圧測定器 １０６ コントローラ Ｋ１ 第１接点 Ｋ２ 第２接点 Ａ 共通接続点
Claims (1)
- 【請求項１】 絶縁基板上にＩＣソケットが多数装着さ
れたソケットボードと、このソケットボードに実装され
た各ＩＣソケットのコンタクトからテストヘッドに導出
されたリード線とを具備して構成され、上記ＩＣソケッ
トに被試験ＩＣを装着し、ＩＣの装着状態で上記リード
線を通じて被試験ＩＣに試験信号を与え、被試験ＩＣの
動作を試験するＩＣ試験装置において、 上記テストヘッドに導出されたリード線に所定の電流を
与える直流電源と、この直流電源に接続する上記リード
線を順次切替る切替走査手段と、上記ソケットボードに
実装された複数のＩＣソケットと、このＩＣソケットの
各コンタクトに接触するコンタクトを有し、このコンタ
クトに一端が接続された複数のリード線を具備した接続
治具、この接続治具に接続されたリード線の他端を順次
共通接続点に接続する切替走査手段と、上記共通接続点
と共通電位点との間に抵抗器を接続する第１接点と、上
記第１接点が上記抵抗器の一端を共通電位点から切離し
た状態でその切離した一端に所定の電圧を印加する第２
接点と、上記第１接点が上記抵抗器の一端を共通電位点
に接続している状態において、上記抵抗器に発生する電
圧が予定した電圧であるか否かを測定し、上記テストヘ
ッドと上記ＩＣソケットとの間の配線が正しく施されて
いるか否かを判定すると共に、上記第２接点が上記抵抗
器の一端に所定の電圧を印加した状態で上記共通接続点
に電圧が発生するか否かを測定し、上記ソケットボード
上の上記ＩＣソケットの共通電位点に接続されるべきコ
ンタクトが正しく共通電位点に接触しているか否かを判
定する電位測定器とを具備して構成することを特徴とす
るＩＣ試験装置の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7267245A JP2809304B2 (ja) | 1995-10-16 | 1995-10-16 | Ｉｃ試験装置の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7267245A JP2809304B2 (ja) | 1995-10-16 | 1995-10-16 | Ｉｃ試験装置の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09113579A JPH09113579A (ja) | 1997-05-02 |
| JP2809304B2 true JP2809304B2 (ja) | 1998-10-08 |
Family
ID=17442159
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7267245A Expired - Fee Related JP2809304B2 (ja) | 1995-10-16 | 1995-10-16 | Ｉｃ試験装置の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2809304B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100577553B1 (ko) * | 1999-05-18 | 2006-05-08 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 테스트 장치의 신뢰성 테스트에 적용되는 연결유닛과 신호스큐 및 지터 측정방법 |
| JP4754458B2 (ja) * | 2006-10-31 | 2011-08-24 | 富士通株式会社 | 電子部品の試験装置 |
-
1995
- 1995-10-16 JP JP7267245A patent/JP2809304B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09113579A (ja) | 1997-05-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7486095B2 (en) | System for measuring signal path resistance for an integrated circuit tester interconnect structure | |
| KR100842784B1 (ko) | 검사 방법 및 검사 장치 | |
| US7479793B2 (en) | Apparatus for testing semiconductor test system and method thereof | |
| JPH10239372A (ja) | 基板検査装置および基板検査方法 | |
| JP3235573B2 (ja) | 半導体装置の試験システム | |
| US4290015A (en) | Electrical validator for a printed circuit board test fixture and a method of validation thereof | |
| JP4607295B2 (ja) | 回路基板検査装置 | |
| JP2809304B2 (ja) | Ｉｃ試験装置の検査装置 | |
| KR100310971B1 (ko) | 와이어 하네스 시험방법 및 이를 수행하기 위한 시스템 | |
| WO2008001651A1 (fr) | Procédé d'inspection de carte et dispositif d'inspection de carte | |
| JP5663943B2 (ja) | 試験装置 | |
| JP2000074975A (ja) | 基板検査装置および基板検査方法 | |
| JP4863786B2 (ja) | 接触試験装置および接触試験方法 | |
| JP2591453B2 (ja) | バーンインボード検査装置およびバーンインボード検査方法 | |
| JPH0412468Y2 (ja) | ||
| JPH11231022A (ja) | 半導体装置の検査方法および検査装置 | |
| JPH04302453A (ja) | 半導体試験装置 | |
| JP2001242222A (ja) | テストボード試験装置、及びテストボード試験方法 | |
| JPH0933598A (ja) | デバイスインターフェイス部の接続試験装置 | |
| JPH0541419A (ja) | 検査装置の評価方法 | |
| JPH10153635A (ja) | エレベータ制御回路基板の試験装置 | |
| JPH0666869A (ja) | 半導体テスタ及び半導体テスタのプローブ針の電気的導 通判定方法 | |
| JPH03229178A (ja) | 基板検査装置 | |
| JPH0562701B2 (ja) | ||
| JPH09281188A (ja) | Ｉｃ試験装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980623 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |