JP2804427B2 - 電流供給コンタクト・プローブ - Google Patents
電流供給コンタクト・プローブInfo
- Publication number
- JP2804427B2 JP2804427B2 JP19315693A JP19315693A JP2804427B2 JP 2804427 B2 JP2804427 B2 JP 2804427B2 JP 19315693 A JP19315693 A JP 19315693A JP 19315693 A JP19315693 A JP 19315693A JP 2804427 B2 JP2804427 B2 JP 2804427B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plunger
- contactor
- contact
- probe
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、コンタクト・プローブ
に関し、特にパワーMOSFETなどのチップの検査、
測定に適したコンタクト・プローブに関する。
に関し、特にパワーMOSFETなどのチップの検査、
測定に適したコンタクト・プローブに関する。
【0002】
【従来の技術】MOSFETなど半導体ウエハ上に形成
するトランジスタの特性の検査又は測定は、通常チップ
をパッケージ化する前に行われる。これは、パッケージ
の工程が無駄になるのを避けるためである。この場合、
チップに直接電流を供給する必要があり、そのために電
流供給コンタクト・プローブが使用される。
するトランジスタの特性の検査又は測定は、通常チップ
をパッケージ化する前に行われる。これは、パッケージ
の工程が無駄になるのを避けるためである。この場合、
チップに直接電流を供給する必要があり、そのために電
流供給コンタクト・プローブが使用される。
【0003】図5は、従来の電流供給コンタクト・プロ
ーブの断面図を示している。プランジャ22は、バレル
46に摺動可能に保持される。また、プランジャ22
は、コイルばね36の弾性力によって被測定面100に
圧着され、その接触部16から電流が被測定面100に
供給される。バレル46は、リセプタクル36によって
機械的に電気的に回路基板200に接続される。プラン
ジャ22が被測定面100に供給する電流は、回路基板
200からリセプタクル36及びバレル46を介して供
給される。ただし、図5に示したプローブでは、プラン
ジャ22とバレル46が摺動可能に接触しているのみで
あり、この部分の接触抵抗がやや高いという問題があ
る。
ーブの断面図を示している。プランジャ22は、バレル
46に摺動可能に保持される。また、プランジャ22
は、コイルばね36の弾性力によって被測定面100に
圧着され、その接触部16から電流が被測定面100に
供給される。バレル46は、リセプタクル36によって
機械的に電気的に回路基板200に接続される。プラン
ジャ22が被測定面100に供給する電流は、回路基板
200からリセプタクル36及びバレル46を介して供
給される。ただし、図5に示したプローブでは、プラン
ジャ22とバレル46が摺動可能に接触しているのみで
あり、この部分の接触抵抗がやや高いという問題があ
る。
【0004】図6は、従来ある他の電流供給コンタクト
・プローブの断面図を示している。スリーブ48は、プ
ランジャ22に摺動可能に装着される。回路基板200
に接続されたワイヤ50は、プランジャ22の被測定面
100と接触している接触部16と反対の端部に接続さ
れている。プランジャ22が被測定面100に供給する
電流は、このワイヤ50を通して供給される。プランジ
ャ22は、コイルばね36の弾性力により被測定面10
0に圧着される。このプローブは、回路基板200から
の電流をワイヤ50を介してプランジャ22に供給する
ので、回路基板200までの導電路が長いことや、ワイ
ヤのインダクタンスLのために供給する電流が歪む恐れ
がある。これは、チップに高速の試験信号を供給してタ
イミング測定を行う場合などに重大な悪影響を与えるこ
とになる。
・プローブの断面図を示している。スリーブ48は、プ
ランジャ22に摺動可能に装着される。回路基板200
に接続されたワイヤ50は、プランジャ22の被測定面
100と接触している接触部16と反対の端部に接続さ
れている。プランジャ22が被測定面100に供給する
電流は、このワイヤ50を通して供給される。プランジ
ャ22は、コイルばね36の弾性力により被測定面10
0に圧着される。このプローブは、回路基板200から
の電流をワイヤ50を介してプランジャ22に供給する
ので、回路基板200までの導電路が長いことや、ワイ
ヤのインダクタンスLのために供給する電流が歪む恐れ
がある。これは、チップに高速の試験信号を供給してタ
イミング測定を行う場合などに重大な悪影響を与えるこ
とになる。
【0005】図5及び図6において、プランジャ22を
被測定面100に圧着させるのは、プローブと被測定物
の間における接触抵抗を低下させるためである。プロー
ブのプランジャ先端の接触部16を非測定物100に圧
着させれば、接触抵抗を低下させることができる。プロ
ーブの被測定物に対する圧力を上げるためのプローブの
接触部の形状としては、平面の他、尖頭形、丸先、複数
の尖頭を有するもの、凹面を成すものなどがある。接触
部が平面ではなく点又は線であればその接触面積が小さ
いので、その接触部にかかる圧力は大きくなる。これに
よって、接触抵抗を低くすることができる。また、先端
が尖頭形をしているものについては、被測定面に酸化皮
膜があった場合にも酸化皮膜を破り接触抵抗を低くする
効果がある。
被測定面100に圧着させるのは、プローブと被測定物
の間における接触抵抗を低下させるためである。プロー
ブのプランジャ先端の接触部16を非測定物100に圧
着させれば、接触抵抗を低下させることができる。プロ
ーブの被測定物に対する圧力を上げるためのプローブの
接触部の形状としては、平面の他、尖頭形、丸先、複数
の尖頭を有するもの、凹面を成すものなどがある。接触
部が平面ではなく点又は線であればその接触面積が小さ
いので、その接触部にかかる圧力は大きくなる。これに
よって、接触抵抗を低くすることができる。また、先端
が尖頭形をしているものについては、被測定面に酸化皮
膜があった場合にも酸化皮膜を破り接触抵抗を低くする
効果がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のコンタ
クト・プローブで供給可能な電流値は、最大で約5〜1
0アンペア程度である。しかし、パワーMOSFET、
絶縁ゲート・バイポーラ・トランジスタ(IGBT)な
どでは、その検査又は測定のために約50〜600アン
ペア程度の電流を供給することが必要となる。この場合
には、プローブの被測定物(又は面)との接触部が点又
は線であれば、接触部と被測定物との間でアーク(火
花)が飛ぶ恐れがある。また接触部が点又は線であれ
ば、プローブの接触部が平面である場合と比較して、図
04に示すように接触抵抗のために生じる熱をプランジ
ャ先端部内部で拡散する効果が低下する。よって、発生
した熱により溶融、溶着等の恐れがある。その一方、プ
ローブの接触部が平面である場合、被測定面の酸化皮膜
等の汚れのために接触抵抗が上昇する恐れがある。
クト・プローブで供給可能な電流値は、最大で約5〜1
0アンペア程度である。しかし、パワーMOSFET、
絶縁ゲート・バイポーラ・トランジスタ(IGBT)な
どでは、その検査又は測定のために約50〜600アン
ペア程度の電流を供給することが必要となる。この場合
には、プローブの被測定物(又は面)との接触部が点又
は線であれば、接触部と被測定物との間でアーク(火
花)が飛ぶ恐れがある。また接触部が点又は線であれ
ば、プローブの接触部が平面である場合と比較して、図
04に示すように接触抵抗のために生じる熱をプランジ
ャ先端部内部で拡散する効果が低下する。よって、発生
した熱により溶融、溶着等の恐れがある。その一方、プ
ローブの接触部が平面である場合、被測定面の酸化皮膜
等の汚れのために接触抵抗が上昇する恐れがある。
【0007】そこで本発明の目的は、比較的大きな電流
を供給するのに適した電流供給コンタクト・プローブを
提供することである。本発明の他の目的は、被測定面に
傾斜があっても柔軟に対応できる電流供給コンタクト・
プローブを提供することである。本発明の他の目的は、
被測定物(又は面)の汚れによる影響を受けにくい電流
供給コンタクト・プローブを提供することである。本発
明の他の目的は、被測定物と接触部との汚れを除去する
クリーニング機能を有する電流供給コンタクト・プロー
ブを提供することである。
を供給するのに適した電流供給コンタクト・プローブを
提供することである。本発明の他の目的は、被測定面に
傾斜があっても柔軟に対応できる電流供給コンタクト・
プローブを提供することである。本発明の他の目的は、
被測定物(又は面)の汚れによる影響を受けにくい電流
供給コンタクト・プローブを提供することである。本発
明の他の目的は、被測定物と接触部との汚れを除去する
クリーニング機能を有する電流供給コンタクト・プロー
ブを提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の電流供給コンタ
クト・プローブは、ハウジングと、ハウジングに摺動可
能に保持されたプランジャと、プランジャの先頭部と係
合可能なコンタクタと、プランジャとコンタクタを接続
するハウジングの摺動方向に傾斜した屈曲ばねとを具
え、プランジャをコンタクタに近づけるときに屈曲ばね
の弾性によりコンタクタが回転することを特徴とする。
クト・プローブは、ハウジングと、ハウジングに摺動可
能に保持されたプランジャと、プランジャの先頭部と係
合可能なコンタクタと、プランジャとコンタクタを接続
するハウジングの摺動方向に傾斜した屈曲ばねとを具
え、プランジャをコンタクタに近づけるときに屈曲ばね
の弾性によりコンタクタが回転することを特徴とする。
【0009】
【作用】この構成によれば、プランジャの先頭部をコン
タクタに近づけると、屈曲ばねがプランジャの摺動方向
に対して傾斜しているため、その弾性力によってコンタ
クタは回転する。この回転により、コンタクタの接触部
と被測定面とが擦れ、互いの汚れを除去することができ
る。また、被測定面がプランジャの摺動方向に垂直でな
く傾斜していても、弾性のためにコンタクタの接触部を
被測定面に柔軟に圧着させることができる。
タクタに近づけると、屈曲ばねがプランジャの摺動方向
に対して傾斜しているため、その弾性力によってコンタ
クタは回転する。この回転により、コンタクタの接触部
と被測定面とが擦れ、互いの汚れを除去することができ
る。また、被測定面がプランジャの摺動方向に垂直でな
く傾斜していても、弾性のためにコンタクタの接触部を
被測定面に柔軟に圧着させることができる。
【0010】
【実施例】図1は、本発明の電流供給コンタクト・プロ
ーブ10の一好適実施例の断面図を示している。また図
2は、本発明の電流供給コンタクト・プローブ10の分
解斜視図を示している。プランジャ22は、ハウジング
30内に摺動可能に保持される。ハウジング30内に
は、複数の導電性板ばねから構成された摺動接触端子3
2が設けられる。摺動接触端子32は、その弾性力によ
りハウジング30内でプランジャ22を中心軸26方向
に押しつけると共に、プランジャ22をハウジング30
と電気的に導通させる。これによって、プランジャ22
とハウジング30の接触抵抗は低減される。さらにハウ
ジング30内には、プランジャ22を図1の下方向に押
し出す力を加えるコイルばね36がある。ハウジング3
0を貫通してプランジャ22の軸42方向、つまり、摺
動方向に沿った溝40にまで達しているピン38は、プ
ランジャ22のハウジング30に対する摺動可能範囲を
限定すると共に、プランジャ22がハウジング30に対
して回転するのを防止する。ハウジング30の外面には
ねじ溝34が設けられ、基板200のプローブ装着孔2
10に固定されたリセプタクル44に螺合される。これ
によって、コンタクタ10、プランジャ22、摺動接触
端子32及びハウジング30は、回路基板200と電気
的に接続される。
ーブ10の一好適実施例の断面図を示している。また図
2は、本発明の電流供給コンタクト・プローブ10の分
解斜視図を示している。プランジャ22は、ハウジング
30内に摺動可能に保持される。ハウジング30内に
は、複数の導電性板ばねから構成された摺動接触端子3
2が設けられる。摺動接触端子32は、その弾性力によ
りハウジング30内でプランジャ22を中心軸26方向
に押しつけると共に、プランジャ22をハウジング30
と電気的に導通させる。これによって、プランジャ22
とハウジング30の接触抵抗は低減される。さらにハウ
ジング30内には、プランジャ22を図1の下方向に押
し出す力を加えるコイルばね36がある。ハウジング3
0を貫通してプランジャ22の軸42方向、つまり、摺
動方向に沿った溝40にまで達しているピン38は、プ
ランジャ22のハウジング30に対する摺動可能範囲を
限定すると共に、プランジャ22がハウジング30に対
して回転するのを防止する。ハウジング30の外面には
ねじ溝34が設けられ、基板200のプローブ装着孔2
10に固定されたリセプタクル44に螺合される。これ
によって、コンタクタ10、プランジャ22、摺動接触
端子32及びハウジング30は、回路基板200と電気
的に接続される。
【0011】図3は、コンタクタ12を上から見た平面
図である。コンタクタ12は凹部18を有し、プランジ
ャ22の突起部26にある半球状の先頭部28と係合可
能となっている。また、コンタクタ12の外周には複数
の孔14があり、ここに導電性の線ばね(屈曲ばね)2
0の一端を嵌合させる。線ばね20の他端は、プランジ
ャ22の突起部26の根元にある複数の孔24と嵌合さ
せる。このとき、線ばね20はプランジャ22の中心軸
42を中心として螺旋状に、例えば、約4分の1周程度
巻かれている。約4分の1周程度であれば、比較的イン
ダクタンスが小さくて済む。別の見方によれば、プラン
ジャ22の摺動方向に対して線ばね20は傾斜してい
る。この構成により、先頭部28を凹部18と非係合の
状態から係合状態へと遷移させるとき、即ち、電流供給
コンタクト・プローブ10を被測定面100に圧着させ
るときに、線ばね20の弾性力によってコンタクタ12
はプランジャ22の中心軸42を中心に回転する。この
回転によってコンタクタ12の接触部(面)16と被測
定面100は互いに擦れ、酸化膜等の汚れを除去するこ
とができる。また、この構成によればプローブ1は、被
測定面100に傾きがあってもその傾斜に対応するので
接触抵抗が低下する。なお、線ばね20の代わりとして
板ばねなどの屈曲ばねを使用してもよい。
図である。コンタクタ12は凹部18を有し、プランジ
ャ22の突起部26にある半球状の先頭部28と係合可
能となっている。また、コンタクタ12の外周には複数
の孔14があり、ここに導電性の線ばね(屈曲ばね)2
0の一端を嵌合させる。線ばね20の他端は、プランジ
ャ22の突起部26の根元にある複数の孔24と嵌合さ
せる。このとき、線ばね20はプランジャ22の中心軸
42を中心として螺旋状に、例えば、約4分の1周程度
巻かれている。約4分の1周程度であれば、比較的イン
ダクタンスが小さくて済む。別の見方によれば、プラン
ジャ22の摺動方向に対して線ばね20は傾斜してい
る。この構成により、先頭部28を凹部18と非係合の
状態から係合状態へと遷移させるとき、即ち、電流供給
コンタクト・プローブ10を被測定面100に圧着させ
るときに、線ばね20の弾性力によってコンタクタ12
はプランジャ22の中心軸42を中心に回転する。この
回転によってコンタクタ12の接触部(面)16と被測
定面100は互いに擦れ、酸化膜等の汚れを除去するこ
とができる。また、この構成によればプローブ1は、被
測定面100に傾きがあってもその傾斜に対応するので
接触抵抗が低下する。なお、線ばね20の代わりとして
板ばねなどの屈曲ばねを使用してもよい。
【0012】本発明の好適実施例によれば、コンタクタ
12の被測定面100との接触部(面)16は平面をな
している。これは、図4Aに示すように接触部が尖頭形
であるよりも、図4Bに示すように平面である方が接触
抵抗で生じる熱を内部に拡散しやすく、溶着及び溶融を
防止できるからである。このとき、被測定面100に酸
化膜等があっても本発明の電流供給コンタクト・プロー
ブ10は、上述のように被測定面100に圧着させると
きにコンタクタ12が軸42を中心に回転するというク
リーニング機能があるため接触抵抗の上昇を防止でき
る。よって溶着及び溶融を効果的に防止できると同時
に、接触部が平面であっても被測定物の汚れによる接触
抵抗の上昇を防ぐことができる。なお、コンタクタ12
に使用する材料としては、熱及び電気伝導性の良い銀系
合金が好適である。この場合、コンタクタ12の表面に
しばしば硫化銀が発生するが、これはクリーニング機能
によって除去できる。
12の被測定面100との接触部(面)16は平面をな
している。これは、図4Aに示すように接触部が尖頭形
であるよりも、図4Bに示すように平面である方が接触
抵抗で生じる熱を内部に拡散しやすく、溶着及び溶融を
防止できるからである。このとき、被測定面100に酸
化膜等があっても本発明の電流供給コンタクト・プロー
ブ10は、上述のように被測定面100に圧着させると
きにコンタクタ12が軸42を中心に回転するというク
リーニング機能があるため接触抵抗の上昇を防止でき
る。よって溶着及び溶融を効果的に防止できると同時
に、接触部が平面であっても被測定物の汚れによる接触
抵抗の上昇を防ぐことができる。なお、コンタクタ12
に使用する材料としては、熱及び電気伝導性の良い銀系
合金が好適である。この場合、コンタクタ12の表面に
しばしば硫化銀が発生するが、これはクリーニング機能
によって除去できる。
【0013】コンタクタ12とプランジャ22を機械的
及び電気的に接続する線ばね20は、2本以上使用する
のが良い。線ばね20を複数使用すれば、それらが有す
るインダクタンスが並列に接続されるため、全体のイン
ダクタンスは減少するからである。インダクタンスを減
少させることは、上述のIGBT等の高速半導体スイッ
チとして使用されるものを検査又は測定する場合に重要
である。なお、線ばね20、プランジャ22には電気伝
導性の良い銅系合金が好適である。
及び電気的に接続する線ばね20は、2本以上使用する
のが良い。線ばね20を複数使用すれば、それらが有す
るインダクタンスが並列に接続されるため、全体のイン
ダクタンスは減少するからである。インダクタンスを減
少させることは、上述のIGBT等の高速半導体スイッ
チとして使用されるものを検査又は測定する場合に重要
である。なお、線ばね20、プランジャ22には電気伝
導性の良い銅系合金が好適である。
【0014】コンタクタ12の凹部18の形状は、例え
ば円錐形である。プランジャ22の半球状の先頭部28
をこの凹部18に係合するまでストロークすれば、互い
の中心のずれを強制することができる。コンタクタ12
の接触部16と被接触面100との接触抵抗は接触圧に
依存するので、屈曲ばね20の弾性力は充分に強力なも
のでなければならない。
ば円錐形である。プランジャ22の半球状の先頭部28
をこの凹部18に係合するまでストロークすれば、互い
の中心のずれを強制することができる。コンタクタ12
の接触部16と被接触面100との接触抵抗は接触圧に
依存するので、屈曲ばね20の弾性力は充分に強力なも
のでなければならない。
【0015】
【発明の効果】本発明の電流供給コンタクト・プローブ
は、プランジャとコンタクタを接続する屈曲ばね(線ば
ねなど)の弾性力によって、コンタクタは被測定面と接
触する際に回転してコンタクタと被測定面が互いに擦
れ、双方の汚れを除去するので、コンタクタにある接触
部が平面であった場合でも酸化膜等の汚れによる接触抵
抗の増加を避けることができる。また、屈曲ばねの弾性
によりコンタクタの接触部は被測定面の傾斜に柔軟に追
従できるので、接触抵抗の増加を避けることができる。
は、プランジャとコンタクタを接続する屈曲ばね(線ば
ねなど)の弾性力によって、コンタクタは被測定面と接
触する際に回転してコンタクタと被測定面が互いに擦
れ、双方の汚れを除去するので、コンタクタにある接触
部が平面であった場合でも酸化膜等の汚れによる接触抵
抗の増加を避けることができる。また、屈曲ばねの弾性
によりコンタクタの接触部は被測定面の傾斜に柔軟に追
従できるので、接触抵抗の増加を避けることができる。
【図1】本発明の電流供給コンタクト・プローブの一実
施例の断面図である。
施例の断面図である。
【図2】図1に示した本発明の実施例の分解斜視図であ
る。
る。
【図3】図1に示した本発明の実施例のコンタクタの平
面図である。
面図である。
【図4】プローブ接触部の形状によって異なる熱の拡散
の状態を示す図である。
の状態を示す図である。
【図5】従来の電流供給コンタクト・プローブの断面図
である。
である。
【図6】従来の他の電流供給コンタクト・プローブの断
面図である。
面図である。
10 電流供給コンタクト・プローブ 12 コンタクタ 14 孔 16 接触部 18 凹部 20 屈曲ばね 22 プランジャ 24 孔 26 突起部 28 プランジャ先頭部 30 ハウジング 32 摺動接触端子 34 ねじ溝 36 コイルばね 38 ピン 40 溝 42 プランジャ中心軸 44 リセプタクル 46 バレル 48 スリーブ 50 ワイヤ 100 被測定面 200 回路基板 210 プローブ装着孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01R 1/06 - 1/073 G01R 31/26 H01L 21/66
Claims (1)
- 【請求項1】 ハウジングと、 該ハウジングに摺動可能に保持されたプランジャと、 該プランジャの先頭部と係合可能なコンタクタと、 上記プランジャと上記コンタクタを接続する上記ハウジ
ングの摺動方向に傾斜した屈曲ばねとを具え、 上記プランジャを上記コンタクタに近づけるときに上記
屈曲ばねの弾性により上記コンタクタが回転することを
特徴とする電流供給コンタクト・プローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19315693A JP2804427B2 (ja) | 1993-07-08 | 1993-07-08 | 電流供給コンタクト・プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19315693A JP2804427B2 (ja) | 1993-07-08 | 1993-07-08 | 電流供給コンタクト・プローブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0727788A JPH0727788A (ja) | 1995-01-31 |
JP2804427B2 true JP2804427B2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=16303219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19315693A Expired - Lifetime JP2804427B2 (ja) | 1993-07-08 | 1993-07-08 | 電流供給コンタクト・プローブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2804427B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005331500A (ja) * | 2004-05-17 | 2005-12-02 | Leeno Ind Inc | 大電流用プローブ |
KR100608232B1 (ko) * | 2004-05-17 | 2006-08-03 | 리노공업주식회사 | 대전류용 프로브 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI627411B (zh) * | 2017-12-15 | 2018-06-21 | 致茂電子股份有限公司 | 電流探針結構 |
-
1993
- 1993-07-08 JP JP19315693A patent/JP2804427B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005331500A (ja) * | 2004-05-17 | 2005-12-02 | Leeno Ind Inc | 大電流用プローブ |
KR100608232B1 (ko) * | 2004-05-17 | 2006-08-03 | 리노공업주식회사 | 대전류용 프로브 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0727788A (ja) | 1995-01-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10317429B2 (en) | Bolt type probe | |
JPH09184852A (ja) | 導電性接触子 | |
JPS6341497B2 (ja) | ||
JP2804427B2 (ja) | 電流供給コンタクト・プローブ | |
JP3165066B2 (ja) | 管状ばねを持つ弾性コネクタ | |
JP2004333459A (ja) | コンタクトプローブ、これを用いた半導体及び電気検査装置 | |
EP0340466A3 (en) | Semiconductor device comprising leads | |
US20040140467A1 (en) | Semiconductor device having pad | |
JPH0342377Y2 (ja) | ||
JP2001201515A (ja) | 電気特性測定装置 | |
JPH11219746A (ja) | 電気接続用コネクタ | |
JPH05203670A (ja) | コンタクトプローブ | |
JP2001091577A (ja) | 半導体テストソケット | |
US2851672A (en) | Insulated spring clip | |
JP2000180470A (ja) | 検査用プロ―ブ | |
JPH10256319A (ja) | 半導体装置 | |
JPH10221367A (ja) | ボールグリッドアレイ用のプローブ | |
JPH05259242A (ja) | Icソケット | |
JPH0628699Y2 (ja) | プローブコンタクト | |
JP3354075B2 (ja) | 半導体テスタ装置のコンタクトピン | |
JPS6236137Y2 (ja) | ||
JPH02114470A (ja) | 導電性接触子 | |
JPH0617082Y2 (ja) | コンタクトプローブユニットにおけるコンタクトピンの廻り止め構造 | |
JPH11183520A (ja) | プローブ装置 | |
JPH0644062Y2 (ja) | 加熱用電極装置 |