JP2783207B2 - Electrostatic ink jet recording head and method of manufacturing the same - Google Patents
Electrostatic ink jet recording head and method of manufacturing the sameInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、静電式インクジェ
ット記録ヘッドに係り、特に、静電力により色材粒子を
飛翔させて記録紙に印字を行う静電式インクジェット記
録ヘッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatic ink jet recording head, and more particularly, to an electrostatic ink jet recording head which prints on recording paper by flying color material particles by electrostatic force.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ノンインパクト記録法は、記録時におけ
る騒音の発生が無視し得る程度に極めて小さいという点
において、最近関心を集めている。特に、簡単な機構で
普通紙に高速記録を行うことができるインクジェット記
録法は極めて有力な記録法であって、これまでにも様々
な方式が提案されている。例えば、記録紙背面に設けた
電極と、これに対向した針状電極間に電圧を印加し、こ
れにより発生した電界の静電力によりインク等の色材を
飛翔せしめ、記録を行う方式がある。2. Description of the Related Art The non-impact recording method has recently attracted attention in that noise during recording is extremely small to a negligible level. In particular, an ink jet recording method capable of performing high-speed recording on plain paper with a simple mechanism is an extremely effective recording method, and various methods have been proposed so far. For example, there is a method in which a voltage is applied between an electrode provided on the back surface of a recording paper and a needle-like electrode facing the electrode, and a coloring material such as ink is caused to fly by electrostatic force of an electric field generated thereby, thereby performing recording.
【０００３】この種の従来例を図５に示す。図５におい
て、基板５２の表面はカバー５４に覆われ、これにより
インクを保持するスリット状のインク噴射口５５が設け
られている。また、基板５２の表面には、インク噴射方
向に沿って複数本の記録電極５３が平行に配置されてい
る。これらの記録電極５３は、図示しない電圧駆動部に
接続されており、記録時には当該記録電極５３に選択的
に高電圧パルスが印加されるようになっている。一方、
記録電極５３の延長上には記録紙Ｐを介し接地された対
向電極５１が配設されており、記録時には、記録電極５
３との間に電界を発生する。ここで、記録電極５３は針
状であるため、記録時には記録電極５３の先端に電界が
集中し、記録電極近傍のインクに電荷が蓄積されるよう
になっている。FIG. 5 shows a conventional example of this kind. In FIG. 5, the surface of a substrate 52 is covered with a cover 54, which is provided with a slit-shaped ink ejection port 55 for holding ink. On the surface of the substrate 52, a plurality of recording electrodes 53 are arranged in parallel along the ink ejection direction. These recording electrodes 53 are connected to a voltage driver (not shown), and a high voltage pulse is selectively applied to the recording electrodes 53 during recording. on the other hand,
On the extension of the recording electrode 53, a counter electrode 51 grounded via a recording paper P is provided.
3 and an electric field is generated. Here, since the recording electrode 53 has a needle shape, an electric field concentrates on the tip of the recording electrode 53 during recording, and charges are accumulated in the ink near the recording electrode.
【０００４】この電荷が蓄積されるプロセスはインクの
種類によって異なり、導電性インクでは静電誘導、誘電
性インクでは誘電分極による。また、色材粒子（トナー
等）を分散させたインクでは、ゼータ電位により色材粒
子自身が見かけ上の電荷を有し、上記電界により、荷電
した色材の泳動が付勢される。[0004] The process of accumulating the electric charge differs depending on the type of ink. The conductive ink uses electrostatic induction, and the dielectric ink uses dielectric polarization. Further, in the ink in which the coloring material particles (toner and the like) are dispersed, the coloring material particles themselves have an apparent charge due to the zeta potential, and the migration of the charged coloring material is energized by the electric field.
【０００５】記録に用いるインクの種類は上述のいずれ
をも用いることができる。しかし、液体インクそのもの
の噴射による記録では、記録紙上にインクのにじみを生
じ、フェザリングや多色記録特有のカラーブリードが発
生して印字品質を低下させる不都合がある。かかる場
合、にじみ具合が記録紙によって異なるため、記録紙の
違いにより印字結果が異なる不都合もある。更に、イン
クの乾燥時間が必要なために記録速度が制限される等の
不都合を伴う。一方、色材粒子を分散させたインクを用
い、色材粒子を噴射することで記録を行う場合には、記
録紙によらず、にじみのない記録を行うことができる。
このため、色材粒子を分散させたインクを用いることが
望ましい。[0005] Any of the above-mentioned types of ink can be used for recording. However, recording by jetting the liquid ink itself has a disadvantage that ink bleeding occurs on recording paper, and feathering and color bleeding specific to multicolor recording occur, thereby deteriorating print quality. In such a case, since the degree of bleeding differs depending on the recording paper, there is a disadvantage that the printing result differs depending on the recording paper. Further, there is an inconvenience that the recording speed is limited due to the necessity of drying time of the ink. On the other hand, when printing is performed by ejecting color material particles using ink in which color material particles are dispersed, it is possible to perform printing without bleeding regardless of the recording paper.
For this reason, it is desirable to use ink in which coloring material particles are dispersed.
【０００６】これらのインク又はインク中の色材粒子
は、蓄積された電荷に働くクーロン力により対向電極５
１側、即ち記録紙Ｐの方向に引力を受け、このクーロン
力がインクの表面張力に打ち勝つと、インクが飛翔し、
記録紙Ｐ上に付着する。そして、記録したい画像に応じ
て、記録電極に印加する高電圧パルスを制御することに
より、所望の記録を行うことができるようになってい
る。[0006] These inks or the color material particles in the ink are formed by the Coulomb force acting on the accumulated electric charges.
When the Coulomb force overcomes the surface tension of the ink, the ink flies,
It adheres on the recording paper P. By controlling the high voltage pulse applied to the recording electrode according to the image to be recorded, desired recording can be performed.
【０００７】しかし、記録に用いるインクの導電度や誘
電率は空気の導電度、誘電率よりも大きいため、厳密に
は、電界が集中する場所は記録電極の配置のみでは決ま
らず、インク噴射口に形成されるインクメニスカスの形
状に影響を受ける。図５に示す記録ヘッド５０では、イ
ンクメニスカスがインク噴射口長手方向に一様となるこ
とが望ましい。しかし、実際には、開口部の加工精度，
インク噴射を行ったメニスカスの振動やメニスカスの自
然な揺らぎ等により、インクメニスカスの表面には微小
な凹凸を生ずる。However, since the conductivity and permittivity of the ink used for recording are higher than the conductivity and permittivity of air, strictly speaking, the location where the electric field concentrates is not determined only by the arrangement of the recording electrodes. Is affected by the shape of the ink meniscus formed on the substrate. In the recording head 50 shown in FIG. 5, it is desirable that the ink meniscus be uniform in the longitudinal direction of the ink ejection port. However, actually, the processing accuracy of the opening,
The surface of the ink meniscus has minute irregularities due to vibration of the meniscus that has performed the ink ejection, natural fluctuation of the meniscus, and the like.
【０００８】かかる場合、インクの導電性及び誘電性と
の関係により、記録電極近傍で生じた微小なメニスカス
凸部に電界が集中する。そして、クーロン力によりメニ
スカスが変形を始めると、電界の集中が更に強まるの
で、初期の微小なメニスカスの凹凸により、インクの飛
翔部位にずれを生じる。これによると、ある記録電極に
高電圧パルスを印加しても、当該記録電極とずれた位置
からインクが飛翔するため、所望の位置に記録を行えな
い場合があり、印字品質の低下を招く不都合があった。In such a case, the electric field is concentrated on the minute meniscus convex portion generated near the recording electrode due to the relationship between the conductivity and the dielectric property of the ink. Then, when the meniscus starts to deform due to the Coulomb force, the concentration of the electric field is further strengthened, so that the initial flying portion of the meniscus shifts due to the minute unevenness of the meniscus. According to this, even if a high voltage pulse is applied to a certain recording electrode, the ink flies from a position shifted from the recording electrode, so that it may not be possible to perform recording at a desired position, resulting in a decrease in print quality. was there.
【０００９】一方、特開昭６０−２２８１６２号公報に
は、上記問題の解決方策の一例が開示されている。この
公報記載のものは、図５に示すように、基板６２先端部
の記録電極６３と対応する位置に凸部６６を設けること
により、インクメニスカスに予め凹凸を付与し、これに
より、記録電極６３から発散される電界を所望の位置に
集中せしめる、という方式を採っている。On the other hand, Japanese Patent Laid-Open Publication No. Sho 60-228162 discloses an example of a solution to the above problem. In this publication, as shown in FIG. 5, a convex portion 66 is provided at a position corresponding to the recording electrode 63 at the front end portion of the substrate 62 so that the ink meniscus is provided with irregularities in advance. The electric field diverged from is concentrated at a desired position.
【００１０】このような方式において、色材粒子を含有
するインクを用いた場合には、インク中の帯電した色材
粒子が、インク中の電界に従いメニスカスの先端に移動
してはじめて噴射が行われる。In such a system, when an ink containing coloring material particles is used, the ejection is performed only when the charged coloring material particles in the ink move to the tip of the meniscus according to the electric field in the ink. .
【００１１】[0011]
【発明を解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報記載の従来例にあっては、例えばプリンタの解像度を
３００ｄｐｉにする場合、記録電極の配置ピッチを約８
５μｍ程度に設定する必要がある。かかる場合、このよ
うな微細ピッチの記録電極に対応して微細な凹凸を加工
するためには、基板材料や加工プロセスが制限され、製
造費用の増大を招くという不都合があった。また、基板
が十分な機械的強度を有するには、百μｍ以上の厚みを
要するのに対し、加工すべき凹凸のピッチはこの厚みの
数分の一以下となるため、加工が困難を極め、やはり製
造費用の増大につながる不都合があった。However, in the conventional example described in the above publication, when the resolution of the printer is set to 300 dpi, for example, the arrangement pitch of the recording electrodes is set to about 8
It is necessary to set it to about 5 μm. In such a case, in order to process fine irregularities corresponding to such a recording electrode having a fine pitch, there is a disadvantage that a substrate material and a processing process are limited, and a manufacturing cost is increased. Also, in order for the substrate to have sufficient mechanical strength, a thickness of 100 μm or more is required, whereas the pitch of the unevenness to be processed is less than a fraction of this thickness, making processing extremely difficult. Again, there was an inconvenience that led to an increase in manufacturing costs.
【００１２】上記公報には、図６に示すように、記録電
極６３を仕切る位置に補強板６７を配設することによ
り、基板６２を薄く柔軟な材料で形成することについて
も開示されている。しかし、これにより基板先端の凸部
の強度が低下するため、ヘッド先端部のクリーニングを
行う際や、記録紙の紙詰まりが発生した際に基板先端の
凸部を傷つけ易いという不都合があった。The above publication also discloses that the substrate 62 is formed of a thin and flexible material by disposing a reinforcing plate 67 at a position separating the recording electrodes 63 as shown in FIG. However, the strength of the convex portion at the front end of the substrate is reduced by this, so that there is an inconvenience that the convex portion at the front end of the substrate is easily damaged when cleaning the front end portion of the head or when a recording paper jam occurs.
【００１３】[0013]
【発明の目的】本発明は、上記従来例の有する不都合を
改善し、特に、加工製造が容易で安価に提供できる静電
式インクジェット記録ヘッドを提供することをその目的
とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an electrostatic ink jet recording head which can solve the above-mentioned disadvantages of the prior art, and which can be easily manufactured and manufactured at a low cost.
【００１４】[0014]
【発明を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
基板と、この基板の表面に平行に複数形成されインク噴
射用の電界を発生させる帯状の記録電極と、この複数の
記録電極上にそれぞれ配置され隣合う記録電極間の上方
に複数のインク引出孔を画する複数の隔壁とを備えてい
る。また、この隔壁上に設けられ基板と所定間隔を隔て
て対向し複数のインク引出孔及びこれらインク引出孔と
一体的に連通されたインク室を形成するカバー部材を備
えている。そして、隔壁を、当該隔壁の先端部が記録電
極の先端部及びカバー部材の先端部よりもインク噴射側
に突出するように配置した、という構成を採っている。According to the first aspect of the present invention,
A substrate, a plurality of band-shaped recording electrodes formed in parallel to the surface of the substrate to generate an electric field for ink ejection, and a plurality of ink extraction holes arranged on the plurality of recording electrodes and above the adjacent recording electrodes. And a plurality of partition walls that define In addition, there is provided a cover member provided on the partition wall, facing the substrate at a predetermined interval, and forming a plurality of ink extraction holes and an ink chamber integrally communicated with the ink extraction holes. The partition is arranged such that the tip of the partition projects toward the ink ejecting side from the tip of the recording electrode and the tip of the cover member.
【００１５】本発明では、インク引出孔を画する隔壁の
先端部に、当該隔壁の先端形状に応じたインクメニスカ
スが形成される。ここで、隔壁は記録電極上に配置され
ているので、各記録電極ごとに凸部を有するインクメニ
スカスが形成される。In the present invention, an ink meniscus corresponding to the shape of the tip of the partition is formed at the tip of the partition defining the ink drawing hole. Here, since the partition walls are arranged on the recording electrodes, an ink meniscus having a convex portion for each recording electrode is formed.
【００１６】請求項２記載の発明では、隔壁が、基板側
に設けられた第１の隔壁部材とカバー部材側に設けられ
た第２の隔壁部材との連結により形成され、第２の隔壁
部材の先端部が第１の隔壁部材の先端部よりもインク噴
射側に突出している、という構成を採っている。According to the second aspect of the present invention, the partition wall is formed by connecting the first partition member provided on the substrate side and the second partition member provided on the cover member side, and the second partition member is formed. Of the first partition member protrudes more toward the ink ejection side than the distal end of the first partition member.
【００１７】本発明では、図４に示すように、縦断面形
状が凹状のインクメニスカスが形成される。ここで、イ
ンクＩは帯電したトナー粒子による導電性と空気より大
きな誘電率とを有するので、記録電極の先端部から発散
される電界は第２の隔壁部材５の先端部下方に突き出た
メニスカス部ｍに集中する。In the present invention, as shown in FIG. 4, an ink meniscus having a concave longitudinal sectional shape is formed. Here, since the ink I has conductivity due to the charged toner particles and a dielectric constant higher than that of air, the electric field radiated from the leading end of the recording electrode causes the meniscus portion projecting below the leading end of the second partition member 5. Concentrate on m.
【００１８】請求項３記載の発明では、第２の隔壁部材
の先端部に基板面方向の丸みが形成されている、という
構成を採っている。According to a third aspect of the present invention, the second partition member has a configuration in which a tip portion of the second partition member is rounded in a substrate surface direction.
【００１９】本発明では、図３に示すように、平面形状
が波状のインクメニスカスが形成され、記録電極から発
散された電界はメニスカス凸部の頂点に集中する。In the present invention, as shown in FIG. 3, an ink meniscus having a wavy planar shape is formed, and the electric field diverged from the recording electrode concentrates on the apex of the meniscus protrusion.
【００２０】請求項４記載の発明では、カバー部材に複
数のインク循環口を設けた、という構成を採っている。The invention according to claim 4 employs a configuration in which a plurality of ink circulation ports are provided in the cover member.
【００２１】本発明では、インク循環口からチューブを
介して外部のインクタンクに接続され、例えば、インク
室内のインクに１ｃｍＨ2Ｏ程度の負圧が付勢された状
態で、強制的なインク循環が行われる。In the present invention, the ink circulation port is connected to an external ink tank via a tube, and for example, the ink in the ink chamber is forcibly circulated under a negative pressure of about 1 cmH 2 O. Is performed.
【００２２】請求項５記載の発明では、カバー部材上の
インク引出孔とは反対側に泳動電極を設けた、という構
成を採っている。According to a fifth aspect of the present invention, a configuration is adopted in which an electrophoresis electrode is provided on the cover member on the side opposite to the ink extraction hole.
【００２３】本発明では、インク中の帯電したトナー粒
子がインク室内からインク引出孔に向かって移動する。In the present invention, the charged toner particles in the ink move from the ink chamber toward the ink outlet.
【００２４】請求項６記載の発明では、記録電極のイン
ク噴射側先端部を絶縁体層で覆った、という構成を採っ
ている。The invention according to claim 6 employs a configuration in which the leading end of the recording electrode on the ink jetting side is covered with an insulator layer.
【００２５】本発明では、記録紙ジャム等の発生により
記録電極と対向電極とが電気的に短絡される事態が生じ
ても、過電流が抑制される。According to the present invention, even if the recording electrode and the counter electrode are electrically short-circuited due to the occurrence of a recording paper jam or the like, the overcurrent is suppressed.
【００２６】請求項７記載の発明では、基板表面の全面
に導電性材料をスパッタした後フォトリソグラフィによ
り記録電極をパターン形成する第１工程と、絶縁性部材
をスピンコートした後フォトリソグラフィにより絶縁体
層を形成する第２工程と、アクリル系感光性ドライフィ
ルムをラミネートした後フォトリソグラフィにより隔壁
をパターン形成する第３工程と、カバー部材を予め所定
の形状に加工した後隔壁上に取り付ける第４工程とを備
えた、という製造方法を採っている。According to the seventh aspect of the present invention, a first step of patterning a recording electrode by photolithography after sputtering a conductive material over the entire surface of the substrate, and an insulator by photolithography after spin-coating the insulating member. A second step of forming a layer, a third step of laminating an acrylic photosensitive dry film and then forming a pattern of the partition by photolithography, and a fourth step of processing the cover member into a predetermined shape in advance and mounting the cover on the partition. The manufacturing method is adopted.
【００２７】本発明では、一貫したフォトリソグラフィ
技術により記録ヘッドの製造が行われる。In the present invention, the production of the recording head is performed by a consistent photolithography technique.
【００２８】[0028]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の一形態を図
１乃至図５に基づいて説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
【００２９】まず図１乃至図４において、基板１の表面
には、複数の記録電極２が形成されている。各記録電極
２は、細帯状に形成され、そのインク噴射側先端は滑ら
かに尖らせた形状になっている（図５（ａ）参照）。こ
のように形成された各記録電極２は、一定間隔を隔て、
インク噴射方向（矢印Ａ）に沿って平行に配置されてい
る。ここで、各記録電極２のインク噴射側先端位置は、
基板１の先端よりも幾分後退した位置に設定されてい
る。各記録電極２は、外部の電圧駆動部（図示略）より
個別的に所定の正電圧が印加されるようになっている。
本実施形態では、長時間の非記録時を除き、記録待機時
には常時１ｋＶ程度のバイアス電圧が印加され、記録時
にはこのバイアスに重畳して７０Ｖ程度の駆動パルスが
印加されるようになっている。First, in FIGS. 1 to 4, a plurality of recording electrodes 2 are formed on the surface of a substrate 1. Each recording electrode 2 is formed in a narrow band shape, and the tip of the ink ejection side is smoothly sharpened (see FIG. 5A). Each of the recording electrodes 2 formed in this manner is spaced at a certain interval,
They are arranged in parallel along the ink ejection direction (arrow A). Here, the leading end position of each recording electrode 2 on the ink ejection side is
It is set at a position slightly retreated from the front end of the substrate 1. A predetermined positive voltage is individually applied to each recording electrode 2 from an external voltage driver (not shown).
In the present embodiment, a bias voltage of about 1 kV is always applied during recording standby, except for a long non-recording time, and a driving pulse of about 70 V is applied to the bias at the time of recording.
【００３０】また、これら各記録電極２のインク噴射側
先端部は、絶縁体層３によって一体的に覆われている。
基板１上において絶縁体層３の占める割合は、当該基板
１表面のおよそ４〜５分の１程度である。更に、絶縁体
層３の上方には、基板１上に複数のインク引出孔９を画
する複数の隔壁１０が設けられている。この複数の隔壁
１０は、それぞれ記録電極２の真上に配置されている。Further, the leading end of the recording electrode 2 on the ink jetting side is integrally covered with an insulator layer 3.
The ratio occupied by the insulator layer 3 on the substrate 1 is about one fourth to five times the surface of the substrate 1. Further, a plurality of partitions 10 that define a plurality of ink extraction holes 9 on the substrate 1 are provided above the insulator layer 3. The plurality of partition walls 10 are respectively arranged directly above the recording electrodes 2.
【００３１】本実施形態において、各隔壁１０は、２種
類の隔壁部材４，５を積層することにより形成されてい
る。絶縁体層３に接する第１の隔壁部材４は、記録電極
２の先端から絶縁体層３の後端までの長さを有し、幅は
記録電極２の幅よりも幾分広く設定されている。一方、
第１の隔壁部材４上に積層された第２の隔壁部材５は、
基板１の先端から第１の隔壁部材４の後端までの長さを
有し、幅は第１の隔壁部材４と同一に設定されている。
第１及び第２の隔壁部材４，５の全体形状は、角材形状
のインク噴射側先端部に基板面方向の丸みを形成した形
状となっている。In this embodiment, each partition 10 is formed by laminating two types of partition members 4 and 5. The first partition member 4 in contact with the insulator layer 3 has a length from the front end of the recording electrode 2 to the rear end of the insulator layer 3, and the width is set to be somewhat wider than the width of the recording electrode 2. I have. on the other hand,
The second partition member 5 laminated on the first partition member 4 includes:
It has a length from the front end of the substrate 1 to the rear end of the first partition member 4, and has the same width as the first partition member 4.
The entire shape of the first and second partition members 4 and 5 is a shape in which a rounded shape in the substrate surface direction is formed at the tip of the rectangular material on the ink ejection side.
【００３２】ここで、一番外側に設けられた隔壁１０Ｕ
は、図２に示すように、平面がコ字状に形成され、イン
ク室１１の外郭を成している。Here, the outermost partition wall 10U
As shown in FIG. 2, the plane is formed in a U-shape, and forms an outer contour of the ink chamber 11.
【００３３】これら隔壁１０，１０Ｕの上方には、基板
１と対向してインク室１１及び複数のインク引出孔９を
形成するカバー部材６が設けられている。カバー部材６
は、インク引出孔９の側よりもインク室１１側の方が上
に堀り込まれており、このため、インク引出孔９はスリ
ット状に形成され、インク室１１はインク引出孔９より
も幾分天井が高くなっている。また、カバー部材６のイ
ンク噴射側先端は、第２の隔壁部材５の先端よりも３分
の１程度後退した位置に設定されている。一方、カバー
部材６の側方及び後方は一番外側の隔壁１０Ｕと対応す
る位置に設定されている。Above these partition walls 10 and 10U, there is provided a cover member 6 facing the substrate 1 and forming an ink chamber 11 and a plurality of ink extraction holes 9. Cover member 6
Is dug up on the ink chamber 11 side than on the ink extraction hole 9 side. Therefore, the ink extraction hole 9 is formed in the shape of a slit, and the ink chamber 11 is larger than the ink extraction hole 9. The ceiling is somewhat higher. Further, the front end of the cover member 6 on the ink jetting side is set at a position retracted by about one third from the front end of the second partition wall member 5. On the other hand, the side and rear of the cover member 6 are set at positions corresponding to the outermost partition 10U.
【００３４】カバー部材６の上部には、２つのインク循
環口８が設けられている。また、カバー部材６の上部最
後方には、平板状の泳動電極７が装備されている。At the upper part of the cover member 6, two ink circulation ports 8 are provided. Further, a flat plate-like electrophoresis electrode 7 is provided at the rearmost upper portion of the cover member 6.
【００３５】インク循環口８は、チューブを介しインク
タンクに接続されている（図示略）。これにより、イン
ク室１１内のインクには、１ｃｍＨ2Ｏ程度の負圧を付
与された状態で、強制的なインク循環が行われるように
なっている。ここで、用いられるインクは、石油系有機
溶媒（イソパラフィン）にトナーを含有させたものであ
り、当該トナーは正のゼータ電位に見かけ上帯電されて
いる。The ink circulation port 8 is connected to an ink tank via a tube (not shown). Thus, the ink in the ink chamber 11 is forcibly circulated under a negative pressure of about 1 cmH 2 O. Here, the ink used is a petroleum organic solvent (isoparaffin) containing a toner, and the toner is apparently charged to a positive zeta potential.
【００３６】泳動電極７は、外部の電圧駆動部（図示
略）より所定の正電圧が印加されるように構成され、本
実施形態では、記録電極２に印加されるバイアス電圧よ
りも高い２ｋＶが印加されるようになっている。The electrophoretic electrode 7 is configured to apply a predetermined positive voltage from an external voltage driver (not shown). In the present embodiment, 2 kV higher than the bias voltage applied to the recording electrode 2 is applied. Is applied.
【００３７】ここで、対向電極等その他の構成は、前述
した従来例と同一となっている。Here, other structures such as the counter electrode are the same as those of the above-described conventional example.
【００３８】次に、上述した静電式インクジェット記録
ヘッドの製造方法を図５に基づいて説明する。Next, a method for manufacturing the above-described electrostatic ink jet recording head will be described with reference to FIG.
【００３９】まず、図５（ａ）に示すように、ガラス等
の絶縁体である基板１上に複数の記録電極２を形成し、
その後、この記録電極２の先端部を覆うように絶縁体層
３を形成する。ここで、図５（ａ）では、記録電極２の
先端形状を明らかにするため絶縁体層３の一部を切り欠
いて示している。この記録電極２は基板全面にスパッタ
したニッケル、クロム等の導電性材料をフォトリソグラ
フィによりパターン形成したもので、３００ｄｐｉピッ
チ、すなわち約８５μｍ間隔で配置されている。記録電
極２の先端部は、電界が集中し易いように滑らかに尖ら
せた形状となっている。First, as shown in FIG. 5A, a plurality of recording electrodes 2 are formed on a substrate 1 which is an insulator such as glass.
Thereafter, an insulator layer 3 is formed so as to cover the tip of the recording electrode 2. Here, in FIG. 5A, a part of the insulator layer 3 is cut away to clarify the tip shape of the recording electrode 2. The recording electrodes 2 are formed by patterning a conductive material such as nickel or chromium sputtered on the entire surface of the substrate by photolithography, and are arranged at a pitch of 300 dpi, that is, at intervals of about 85 μm. The tip of the recording electrode 2 has a smoothly sharpened shape so that the electric field is easily concentrated.
【００４０】一方、絶縁体層３は感光性ポリイミド等の
絶縁性部材をスピンコート後、フォトリソグラフィによ
り加工したもので、記録電極２の先端部のみを帯状に覆
っている。On the other hand, the insulating layer 3 is formed by spin-coating an insulating member such as photosensitive polyimide and then processing the same by photolithography, and covers only the leading end of the recording electrode 2 in a strip shape.
【００４１】続いて、図５（ｂ）に示すように、絶縁体
層３の上方に第１の隔壁部材４を積層形成する。この第
１の隔壁部材４は、約３０μｍ厚のアクリル系感光性ド
ライフィルムをラミネートし、フォトリソグラフィによ
りパターン形成して形成する。Subsequently, as shown in FIG. 5B, a first partition member 4 is formed above the insulator layer 3. The first partition member 4 is formed by laminating an acrylic photosensitive dry film having a thickness of about 30 μm and forming a pattern by photolithography.
【００４２】続いて、図５（ｃ）に示すように、第１の
隔壁部材４の上方に第２の隔壁部材５を積層形成する。
この第２の隔壁部材５も、上述の第１の隔壁部材４と同
様に、約３０μｍ厚のアクリル系感光性ドライフィルム
に対しフォトリソグラフィを施すことによって形成す
る。これにより、すべての隔壁１０，１０Ｕが同時に形
成される。ここで、第２の隔壁部材５の先端部は、第１
の隔壁部材４の先端部よりもインク噴射側に３０μｍ程
度飛び出している。Subsequently, as shown in FIG. 5C, a second partition member 5 is formed by lamination above the first partition member 4.
The second partition member 5 is also formed by subjecting an acrylic photosensitive dry film having a thickness of about 30 μm to photolithography, similarly to the first partition member 4 described above. Thereby, all the partitions 10 and 10U are formed simultaneously. Here, the tip of the second partition member 5 is the first partition member.
Of the partition member 4 protrudes toward the ink jetting side by about 30 μm.
【００４３】続いて、図５（ｄ）に示すように、隔壁１
０，１０Ｕ上にカバー部材６を接着する。カバー部材６
の素材には合成樹脂を用い、第２の隔壁部材５に全体的
に接着する。これにより、インク室１１及び複数のイン
ク引出孔９が形成され、当該インク引出孔以外からはイ
ンク室１１内のインクが漏れ出さないようになってい
る。Subsequently, as shown in FIG.
The cover member 6 is bonded on 0,10U. Cover member 6
The material is made of a synthetic resin and is entirely adhered to the second partition member 5. As a result, the ink chamber 11 and the plurality of ink outlet holes 9 are formed, and the ink in the ink chamber 11 does not leak out from portions other than the ink outlet holes.
【００４４】ここで、カバー部材６には、インク循環口
８及び金属性の泳動電極７を予め設けておく。カバー部
材６は、図４に一部示すように、インク室１１に対応す
る部分が上向きに堀込まれており、これにより、インク
室１１内におけるインクの流動抵抗を下げることができ
る。Here, the cover member 6 is provided with an ink circulation port 8 and a metal migration electrode 7 in advance. As shown in FIG. 4, the cover member 6 has a portion corresponding to the ink chamber 11 dug upward, whereby the flow resistance of the ink in the ink chamber 11 can be reduced.
【００４５】次に、上記実施形態における全体動作を図
３乃至図４に基づいて説明する。Next, the overall operation of the above embodiment will be described with reference to FIGS.
【００４６】インク室１１内にインクＩが充填される
と、インクＩはその表面張力によりインク引出孔９乃至
隔壁１０の周囲にインクメニスカスＭを形成する。イン
ク室１１内のインクＩには負圧が付勢されていながらも
当該インクＩの濡れ性のため、隔壁１０の先端形状に沿
って緩やかに飛び出したメニスカスＭが形成される。隔
壁部材５の先端部下方では、図４に示すように、立体的
に突き出したメニスカス部ｍが形成される。ここで、第
２の隔壁部材５は、記録電極２と対応する位置に配設さ
れているため、記録電極２の位置に対応したインクメニ
スカスＭが形成される。When the ink chamber 11 is filled with the ink I, the ink I forms an ink meniscus M around the ink outlet 9 or the partition 10 due to the surface tension. Although a negative pressure is applied to the ink I in the ink chamber 11, a meniscus M that protrudes gently along the tip shape of the partition wall 10 is formed due to the wettability of the ink I. As shown in FIG. 4, a three-dimensionally protruding meniscus portion m is formed below the distal end portion of the partition wall member 5. Here, since the second partition wall member 5 is disposed at a position corresponding to the recording electrode 2, an ink meniscus M corresponding to the position of the recording electrode 2 is formed.
【００４７】次に、泳動電極７に電圧が印加されると、
記録待機時には、泳動電極７と記録電極２又は対向電極
（図示略）との間に生じる電位差により、インク中の帯
電したトナー粒子が電気泳動し、インク引出孔９の周辺
に集められる。続いて、任意の記録電極２に駆動パルス
が印加されると、当該記録電極２より対向電極に向かう
電界が発散される。Next, when a voltage is applied to the electrophoresis electrode 7,
At the time of recording standby, the charged toner particles in the ink are electrophoresed by the potential difference generated between the migrating electrode 7 and the recording electrode 2 or the counter electrode (not shown), and are collected around the ink extraction hole 9. Subsequently, when a drive pulse is applied to an arbitrary recording electrode 2, an electric field from the recording electrode 2 toward the counter electrode is diverged.
【００４８】ここで、インクＩは帯電したトナー粒子に
よる導電性と空気より大きな誘電率とを有するので、記
録電極２より発散された電界の方向はインクメニスカス
Ｍの表面形状に影響を受ける。このため、記録電極２よ
り発散された電界は、インクメニスカスＭの頂点方向に
向かい、特に第２の隔壁部材５の先端部下方に突き出た
メニスカス部ｍに集中する。これにより、インク引出孔
９周辺のトナー粒子がメニスカス部ｍに集められる。Here, the direction of the electric field emitted from the recording electrode 2 is affected by the surface shape of the ink meniscus M, because the ink I has conductivity due to charged toner particles and a dielectric constant higher than that of air. For this reason, the electric field diverged from the recording electrode 2 is directed toward the vertex of the ink meniscus M, and is particularly concentrated on the meniscus portion m protruding below the tip of the second partition member 5. As a result, toner particles around the ink outlet 9 are collected in the meniscus m.
【００４９】そして、メニスカス部ｍに一定量のトナー
が集まると、当該トナーはインクメニスカスＭから対向
電極側に引き出され、トナー群Ｔとなつて対向電極方向
に飛翔する。このように飛翔したトナー群Ｔは、対向電
極との間に配設された記録紙に付着し、図示しないヒー
ターにより加熱され、定着される。これにより、記録紙
への記録が行われる。When a certain amount of toner is collected in the meniscus portion m, the toner is drawn out from the ink meniscus M toward the counter electrode and flies in the toner group T toward the counter electrode. The toner group T flying in this way adheres to the recording paper disposed between the toner group T and the counter electrode, and is heated and fixed by a heater (not shown). Thereby, recording on the recording paper is performed.
【００５０】また、トナー群Ｔの放出によりインク引出
孔９周辺で不足したトナー粒子は、インク室１１内のト
ナー粒子が泳動電極７と記録電極２又は対向電極との電
位差に付勢されてインク引出孔９側に移動することによ
り補給される。そして、以後は以上説明したプロセスが
繰り返され、継続して記録が行われる。In addition, the toner particles in the vicinity of the ink drawing hole 9 due to the release of the toner group T are removed from the toner particles in the ink chamber 11 by the potential difference between the migrating electrode 7 and the recording electrode 2 or the counter electrode. It is supplied by moving to the drawer hole 9 side. Thereafter, the above-described process is repeated, and recording is continuously performed.
【００５１】このように、本実施の形態によれば、隔壁
１０を記録電極２の先端部及びカバー部材６の先端部よ
りもインク噴射側に突出させて配置したので、記録電極
２の形成位置ごとに凸部を有するインクメニスカスＭを
有効に形成することができ、これがため、従来例のよう
に基板に鋸波状の凹凸を加工する必要がないので、従来
例と同等以上のインク噴***度を維持しつつ比較的容易
に製造することができ、高解像度の記録ヘッドを安価に
提供することができる。As described above, according to the present embodiment, the partition wall 10 is disposed so as to protrude toward the ink ejecting side from the leading end of the recording electrode 2 and the leading end of the cover member 6. It is possible to effectively form an ink meniscus M having a convex portion every time, and therefore, it is not necessary to process the substrate with sawtooth-shaped irregularities unlike the conventional example, so that ink ejection accuracy equal to or higher than the conventional example can be achieved. It can be manufactured relatively easily while maintaining, and a high-resolution recording head can be provided at low cost.
【００５２】また、隔壁１０を第１及び第２の隔壁部材
４，５を連結することにより形成し、カバー部材６側に
設けられた第２の隔壁部材５の先端を基板１側に設けら
れた第１の隔壁部材４よりもインク噴射側に突出させた
ことから、基板１との間の凹部に縦断面凹状のインクメ
ニスカスＭを形成することができ、第２の隔壁部材５の
先端下方のメニスカス部ｍに記録電極２からの発散電界
を集中させることができるので、インクＩ中の帯電トナ
ー粒子を当該メニスカス部ｍに迅速に供給することがで
き、これがため、高速印字に対応することができる。The partition 10 is formed by connecting the first and second partition members 4 and 5, and the tip of the second partition member 5 provided on the cover member 6 side is provided on the substrate 1 side. Since the first meniscus member 4 is projected more toward the ink jetting side than the first bulkhead member 4, an ink meniscus M having a concave longitudinal section can be formed in the recess between the first bulkhead member 4 and the lower end of the second bulkhead member 5. Since the diverging electric field from the recording electrode 2 can be concentrated on the meniscus portion m, the charged toner particles in the ink I can be quickly supplied to the meniscus portion m. Can be.
【００５３】更に、第２の隔壁部材５の先端には基板面
方向の丸みを形成したので、当該隔壁部材５の先端に頂
点を有するインクメニスカスＭを形成することができ、
記録電極２からの発散電界を当該頂点部分に集中せしめ
ることができ、これがため、インク噴射方向の精度を向
上することができる。Further, since the tip of the second partition member 5 is rounded in the substrate surface direction, an ink meniscus M having an apex at the tip of the partition member 5 can be formed.
The diverging electric field from the recording electrode 2 can be concentrated on the apex portion, and therefore, the accuracy of the ink ejection direction can be improved.
【００５４】これらに加え、カバー部材６には複数のイ
ンク循環口８を設け、インク室１１内のインクＩに負圧
を付勢すると共に強制的なインク循環を行うので、イン
クＩ中のトナー粒子のみを容易に噴射させることがで
き、また、インク室１１内にトナー粒子を適宜供給する
ことができ、更に、インク室１１内でインクが固まると
いった不都合をも防止することができる。In addition to the above, a plurality of ink circulation ports 8 are provided in the cover member 6 to apply a negative pressure to the ink I in the ink chamber 11 and to forcibly circulate the ink. Only the particles can be easily ejected, the toner particles can be appropriately supplied into the ink chamber 11, and the inconvenience of the ink hardening in the ink chamber 11 can be prevented.
【００５５】また、カバー部材６上のインク引出孔９と
は反対側に泳動電極７を設けたので、インク室１１内の
トナー粒子をインク引出孔９の周辺に容易に供給するこ
とができる。Further, since the migration electrode 7 is provided on the cover member 6 on the side opposite to the ink outlet 9, the toner particles in the ink chamber 11 can be easily supplied to the periphery of the ink outlet 9.
【００５６】更に、記録電極２の先端部を絶縁対層３で
覆ったので、記録紙ジャムの発生により記録電極２と対
向電極が短絡された場合でも、過電流の発生を抑制する
ことができ、これにより、記録電極２に接続された電圧
駆動部等を保護することができる。Further, since the leading end of the recording electrode 2 is covered with the insulating pair layer 3, even when the recording electrode 2 and the counter electrode are short-circuited due to the occurrence of a recording paper jam, the occurrence of overcurrent can be suppressed. Thus, the voltage driver and the like connected to the recording electrode 2 can be protected.
【００５７】これに加え、本記録ヘッドの製造は、一貫
したフォトリソグラフィによるパターン形成で行うこと
ができるので、製造公差の蓄積がなく、ラインヘッドの
ように多数の記録電極を有する長尺のヘッドにおいて
も、短尺のヘッドと同様に高解像度ヘッドを安価に製造
することができる。In addition, since the present recording head can be manufactured by pattern formation by consistent photolithography, there is no accumulation of manufacturing tolerance, and a long head having many recording electrodes like a line head. In this case as well, a high-resolution head can be manufactured at a low cost similarly to a short head.
【００５８】[0058]
【発明の効果】本発明は、以上のように構成され機能す
るので、これによると、隔壁を記録電極の先端部及びカ
バー部材の先端部よりもインク噴射側に突出させて配置
したので、記録電極の形成位置ごとに凸部を有するイン
クメニスカスを有効に形成することができ、これがた
め、従来例のように基板に鋸波状の凹凸を加工する必要
がないので、従来例と同等以上のインク噴***度を維持
しつつ比較的容易に製造することができ、高解像度の記
録ヘッドを安価に提供することができる。Since the present invention is constructed and functions as described above, according to the present invention, since the partition wall is disposed so as to protrude more toward the ink jetting side than the leading end of the recording electrode and the leading end of the cover member, recording is performed. It is possible to effectively form an ink meniscus having a convex portion at each electrode forming position, and therefore, it is not necessary to process sawtooth-shaped irregularities on the substrate as in the conventional example. It can be manufactured relatively easily while maintaining ejection accuracy, and a high-resolution recording head can be provided at low cost.
【００５９】請求項２記載の発明では、インク引出孔の
隔壁を第１及び第２の隔壁部材を連結することにより形
成し、カバー部材側に設けられた第２の隔壁部材の先端
を基板側に設けられた第１の隔壁部材よりもインク噴射
側に突出させたことから、基板との間の凹部に縦断面凹
状のインクメニスカスを形成することができ、第２の隔
壁部材の先端下方のメニスカス凸部に記録電極からの発
散電界を集中させることができるので、インク中の帯電
トナー粒子を当該メニスカス凸部に迅速に供給すること
ができ、これがため、高速印字に対応することができ
る。According to the second aspect of the present invention, the partition wall of the ink drawing hole is formed by connecting the first and second partition members, and the tip of the second partition member provided on the cover member side is connected to the substrate side. The first partition member provided on the ink jetting side, it is possible to form an ink meniscus having a concave longitudinal section in the concave portion between the substrate and the lower end of the second partition member. Since the diverging electric field from the recording electrode can be concentrated on the meniscus protrusion, the charged toner particles in the ink can be rapidly supplied to the meniscus protrusion, and therefore, high-speed printing can be supported.
【００６０】請求項３記載の発明では、第２の隔壁部材
の先端には基板面方向の丸みを形成したので、当該隔壁
部材の先端に頂点を有するインクメニスカスを形成する
ことができ、記録電極からの発散電界を頂点部分に集中
せしめることができ、これがため、インク噴射方向の精
度を向上することができる。According to the third aspect of the present invention, since the second partition member has a rounded end in the substrate surface direction, an ink meniscus having an apex at the distal end of the second partition member can be formed. The divergent electric field from the ink can be concentrated on the top portion, and therefore, the accuracy of the ink ejection direction can be improved.
【００６１】請求項４記載の発明では、カバー部材には
複数のインク循環口を設けたので、このインク循環口を
介してインク室内のインクに負圧を付勢すると共に強制
的なインク循環を行うことにより、インク中のトナー粒
子のみを容易に噴射させることができ、また、インク室
内にトナー粒子を適宜供給することができ、更に、イン
ク室内でインクが固まるといった不都合をも防止するこ
とができる。According to the fourth aspect of the present invention, since a plurality of ink circulation ports are provided in the cover member, a negative pressure is applied to the ink in the ink chamber and forced ink circulation is performed through the ink circulation ports. By doing so, only the toner particles in the ink can be easily ejected, the toner particles can be appropriately supplied into the ink chamber, and the inconvenience of the ink hardening in the ink chamber can be prevented. it can.
【００６２】請求項５記載の発明では、カバー部材上の
インク引出孔とは反対側に泳動電極を設けたので、イン
ク室内のトナー粒子をインク引出孔の周辺に容易に供給
することができる。According to the fifth aspect of the present invention, since the migration electrode is provided on the cover member on the side opposite to the ink extraction hole, the toner particles in the ink chamber can be easily supplied to the periphery of the ink extraction hole.
【００６３】請求項６記載の発明では、記録電極の先端
部を絶縁対層で覆ったので、記録紙ジャムの発生により
記録電極と対向電極が短絡された場合でも、過電流の発
生を抑制することができ、これにより、記録電極に接続
された電圧駆動部等を保護することができる。According to the sixth aspect of the present invention, since the tip of the recording electrode is covered with the insulating pair layer, even when the recording electrode and the counter electrode are short-circuited due to the occurrence of recording paper jam, the occurrence of overcurrent is suppressed. Accordingly, it is possible to protect the voltage driving unit and the like connected to the recording electrode.
【００６４】請求項７記載の発明では、本記録ヘッドの
製造は、一貫したフォトリソグラフィによるパターン形
成で行うことができるので、製造公差の蓄積がなく、ラ
インヘッドのように多数の記録電極を有する長尺のヘッ
ドにおいても、短尺のヘッドと同様に高解像度ヘッドを
安価に製造することができる。According to the seventh aspect of the present invention, since the present recording head can be manufactured by pattern formation by consistent photolithography, there is no accumulation of manufacturing tolerance, and a large number of recording electrodes are provided like a line head. Even with a long head, a high-resolution head can be manufactured at a low cost, similarly to a short head.
【００６５】このように、本発明によれば従来にない優
れた静電式インクジェット記録ヘッド及びその製造方法
を提供することができる。As described above, according to the present invention, it is possible to provide an excellent electrostatic ink jet recording head and a method of manufacturing the same, which have not been achieved conventionally.
【００６６】[0066]
【図１】本発明の実施の一形態を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention.
【図２】図１に示す実施形態において、カバー部材の図
示を省略した平面図である。FIG. 2 is a plan view of the embodiment shown in FIG. 1, in which a cover member is not shown.
【図３】図１に示す実施形態のインク引出孔周辺を示す
要部平面図である。FIG. 3 is a main part plan view showing the periphery of an ink extraction hole of the embodiment shown in FIG. 1;
【図４】図３に示すＢ−Ｂ線における断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line BB shown in FIG.
【図５】図１に示す実施形態の製造工程を示す一部省略
した平面図であり、図５（ａ）から図５（ｂ），図５
（ｃ），図５（ｄ）へと順に製造工程が進行する。FIG. 5 is a partially omitted plan view showing a manufacturing process of the embodiment shown in FIG. 1, and FIG. 5 (a) to FIG. 5 (b), FIG.
The manufacturing process proceeds in the order of (c) and FIG. 5 (d).
【図６】従来例を示す要部斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of a main part showing a conventional example.
【図７】他の従来例を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing another conventional example.
１ 基板 ２ 記録電極 ３ 絶縁体層 ４ 第１の隔壁部材 ５ 第２の隔壁部材 ６ カバー部材 ７ 泳動電極 ８ インク循環口 ９ インク引出孔 １０，１０Ｕ 隔壁 １１ インク室 Ａ インク噴射方向 Ｉ インク Ｍ インクメニスカス ｍ メニスカス部 Ｔ トナー群 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Recording electrode 3 Insulator layer 4 1st partition member 5 2nd partition member 6 Cover member 7 Migration electrode 8 Ink circulation port 9 Ink extraction hole 10, 10U Partition 11 Ink chamber A Ink ejection direction I Ink M ink Meniscus m Meniscus part T Toner group
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 峯本 仁史 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気 株式会社内 (72)発明者 萩原 良広 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気 株式会社内 (56)参考文献 特開 平９−1824（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−90825（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−228162（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−179663（ＪＰ，Ａ) 国際公開93／11866（ＷＯ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B41J 2/06 B41J 2/16 B41J 2/385────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Hitoshi Minemoto 5-7-1 Shiba, Minato-ku, Tokyo Inside NEC Corporation (72) Inventor Yoshihiro Hagiwara 5-7-1 Shiba, Minato-ku, Tokyo Japan (56) References JP-A-9-1824 (JP, A) JP-A-8-90825 (JP, A) JP-A-60-228162 (JP, A) JP-A-58-177963 (JP , A) International Publication 93/11866 (WO, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) B41J 2/06 B41J 2/16 B41J 2/385
Claims (7)
成されインク噴射用の電界を発生させる帯状の記録電極
と、この複数の記録電極上にそれぞれ配置され隣合う記
録電極間の上方に複数のインク引出孔を画する複数の隔
壁と、この隔壁上に設けられ前記基板と所定間隔を隔て
て対向し前記複数のインク引出孔及びこれらインク引出
孔と一体的に連通されたインク室を形成するカバー部材
とを備えた静電式インクジェット記録ヘッドにおいて、 前記隔壁を、当該隔壁の先端部が前記記録電極の先端部
及び前記カバー部材の先端部よりもインク噴射側に突出
するように配置したことを特徴とする静電式インクジェ
ット記録ヘッド。1. A substrate, a plurality of band-shaped recording electrodes formed in parallel with the surface of the substrate to generate an electric field for ink ejection, and a plurality of recording electrodes arranged on the plurality of recording electrodes and above the adjacent recording electrodes. A plurality of partition walls that define a plurality of ink extraction holes, and a plurality of ink extraction holes provided on the partition walls, opposed to the substrate at a predetermined distance, and an ink chamber integrally communicated with the plurality of ink extraction holes. In the electrostatic ink jet recording head provided with a cover member to be formed, the partition wall is arranged such that a tip end of the partition wall projects toward an ink jetting side from a tip end portion of the recording electrode and a tip end portion of the cover member. An electrostatic ink jet recording head characterized in that:
１の隔壁部材と前記カバー部材側に設けられた第２の隔
壁部材との連結により形成され、 前記第２の隔壁部材の先端部が前記第１の隔壁部材の先
端部よりもインク噴射側に突出していることを特徴とし
た請求項１記載の静電式インクジェット記録ヘッド。2. The partition wall is formed by connecting a first partition member provided on the substrate side and a second partition member provided on the cover member side, and a tip of the second partition member. 2. The electrostatic ink jet recording head according to claim 1, wherein the portion protrudes toward the ink ejecting side from the tip of the first partition member.
面方向の丸みが形成されていることを特徴とした請求項
２記載の静電式インクジェット記録ヘッド。3. The electrostatic ink jet recording head according to claim 2, wherein the second partition member has a rounded end in a surface direction of the substrate.
設けたことを特徴とした請求項１記載の静電式インクジ
ェット記録ヘッド。4. The electrostatic ink jet recording head according to claim 1, wherein a plurality of ink circulation ports are provided in said cover member.
は反対側に泳動電極を設けたことを特徴とする請求項１
記載の静電式インクジェット記録ヘッド。5. An electrophoresis electrode provided on the cover member on a side opposite to the ink extraction hole.
The electrostatic ink jet recording head according to the above.
縁体層で覆ったことを特徴とした請求項１記載の静電式
インクジェット記録ヘッド。6. The electrostatic ink jet recording head according to claim 1, wherein an end portion of the recording electrode on an ink jetting side is covered with an insulating layer.
ッタした後フォトリソグラフィにより前記記録電極をパ
ターン形成する第１工程と、絶縁性部材をスピンコート
した後フォトリソグラフィにより前記絶縁体層を形成す
る第２工程と、アクリル系感光性ドライフィルムをラミ
ネートした後フォトリソグラフィにより前記隔壁をパタ
ーン形成する第３工程と、前記カバー部材を予め所定の
形状に加工した後前記隔壁上に取り付ける第４工程とを
備えたことを特徴とした請求項６記載の静電式インクジ
ェット記録ヘッドの製造方法。7. A first step of patterning the recording electrode by photolithography after sputtering a conductive material over the entire surface of the substrate, and forming the insulating layer by photolithography after spin coating an insulating member. A second step of laminating an acrylic photosensitive dry film and then forming a pattern of the partition by photolithography, and a fourth step of processing the cover member into a predetermined shape in advance and mounting the cover member on the partition. 7. The method for manufacturing an electrostatic ink jet recording head according to claim 6, comprising:
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1995
- 1995-08-28 JP JP21877995A patent/JP2783207B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0957979A (en) | 1997-03-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980421 |
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