JP2768867B2 - Vacuum chuck device - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ワークを真空吸引する
真空チャック装置、これを備えた加工装置、及び真空チ
ャック装置を用いたワークの加工方法に関する。The present invention relates to a vacuum chuck apparatus for vacuum suction pull the workpiece, machining apparatus having the same, and a vacuum switch
The present invention relates to a method of processing a workpiece using a rack device .

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来の真空チャック装置としては、例え
ば、図２１および図２２に示すようなものがある。この
真空チャック装置は、吸着プレート９０１の表面に複数
の真空孔９０２が設けられ、これら真空孔９０２に真空
配管９０３が接続されているもので、吸着プレート９０
１の表面に被加工材を載せて、真空配管９０３から真空
を引き、この真空吸着力を用いて、被加工材を保持する
というものである。2. Description of the Related Art As a conventional vacuum chuck device, there is, for example, one shown in FIGS. In this vacuum chuck device, a plurality of vacuum holes 902 are provided on the surface of a suction plate 901, and a vacuum pipe 903 is connected to these vacuum holes 902.
The work material is placed on the surface of No. 1 and a vacuum is drawn from the vacuum pipe 903, and the work material is held by using the vacuum suction force.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の真空チャック装置では、吸着力は弱く、例え
ば、フライス加工やマシニングセンタ加工の場合には、
被加工材を確実に保持することはできないという問題点
がある。これは、被加工材や吸着プレートの表面が必ず
しも十分な平面ではなく、吸着プレート９０１の上面に
載せたときに、隙間が生じてしまい、ここから空気が洩
れて真空度が低下してしまうことの影響が大きい。ま
た、金属面同志では、相互の摩擦力が小さいため、例
え、高真空で吸着していたとしても、被加工材に横方向
の力が作用すると簡単にすべってしまう。 しかし、真
空チャックには、ワンタッチで被加工材を吸着できると
いう利点がある。すなわち、ねじ締め方式のチャックで
は、被加工材がチャック面から浮き上らないように注意
しながら複数個のねじを締付けることが必要であり、熟
練を必要とする。また時間も掛ることから、量産に適用
しようとすると非能率にもなる。However, in such a conventional vacuum chuck device, the attraction force is weak. For example, in the case of milling or machining center processing,
There is a problem that the work material cannot be reliably held. This is because the work material or the surface of the suction plate is not always a sufficient plane, and when placed on the upper surface of the suction plate 901, a gap is generated, from which air leaks and the degree of vacuum is reduced. The effect is large. Further, since the mutual frictional force between the metal surfaces is small, even if the workpiece is attracted in a high vacuum, the workpiece is easily slipped when a lateral force acts on the workpiece. However, the vacuum chuck has an advantage that the workpiece can be sucked with one touch. That is, in the screw-type chuck, it is necessary to tighten a plurality of screws while paying attention so that the workpiece does not rise from the chuck surface, and thus requires skill. In addition, because it takes time, it is inefficient to apply it to mass production.

【０００４】そこで、本発明は、このような従来の問題
点について着目してなされたもので、例えば、吸着プレ
ートとワークとの間にいくらかの隙間が生じるような場
合でも、十分な吸着力が得られ、ワークを確実に保持す
ることができると共に、作業者の手間がかからない真空
チャック装置、これを備えた加工装置、及び真空チャッ
ク装置を用いたワークの加工方法を提供することを目的
とする。Accordingly, the present invention has been made in view of such a conventional problem. For example, even when some gap is generated between the suction plate and the work, a sufficient suction force can be obtained. the resulting, it is possible to hold the workpiece securely, the vacuum chuck apparatus not applied operator's labor, the processing apparatus having the same, and a vacuum chucking
An object of the present invention is to provide a method of processing a work using a work apparatus .

【０００５】[0005]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の真空チャック装置は、ワークを吸着する吸着面と、該
吸着面に臨んでいる真空孔と、が形成されている真空吸
着板を備えている真空チャック装置において、その厚さ
方向に貫通した開口が形成されている環状弾性板と、 前
記環状弾性板を前記真空吸着板に取り付ける環状取付具
と、 を備え、 前記真空吸着板には、前記吸着面として、
前記真空孔を中心とする中央吸着面と、該中央吸着面と
同じレベルであって該中央吸着面の外周側に位置してい
る外周吸着面とが形成されていると共に、該中央吸着面
と該外周吸着面との間に、該真空孔を中心とする環状溝
が形成され、 前記環状溝の溝底には、外周側から前記真
空孔に向って階段状に深まって行き且つ該真空孔を中心
としてそれぞれが環状を成している、少なくとも二つの
段差面が形成され、 前記環状弾性板の外径は、少なくと
も二つの前記段差面のうちの外周側段差面の内径よりも
大きく、該環状弾性板の内径は、前記中央吸着面の外径
よりも大きく、 前記環状取付具の外径は、少なくとも二
つの前記段差面のうちの内周側段差面の外径よりも小さ
く且つ前記環状弾性板の内径よりも大きく、該環状取付
具の内径は、前記中央吸着面の外径よりも大きく、 前記
環状弾性板は、その内周側部分が前記内周側段差面上に
載り、前記環状取付具の外周側部分で該内周側段差面に
押え付けられ、その外周側部分が前記外周側段差面上に
載って前記吸着面から突出し、 前記環状取付具は、前記
環状弾性板を押え付けている状態において、前記環状溝
内に収まり、前記吸着面から突出していないことを特徴
とする。ここで、前記環状弾性板は、ゴムで形成されて
いることが好ましい。また、前記環状弾性板は、真空吸
引した際に、前記ワークと前記吸着面とが接触する弾性
を有することが好ましい。前記真空孔と前記環状弾性板
と前記環状取 付具との組を複数個設けても良い。また、
前記真空吸着板は、前記環状溝の外周側側壁又は内周側
側壁を境にする内側部材と外側部材とを有して構成して
も良い。 According to a first aspect of the present invention, there is provided a vacuum chuck apparatus for achieving the above object.
The vacuum hole facing the suction surface and the vacuum suction
In a vacuum chuck device having a mounting plate , its thickness
An annular elastic plate for opening penetrating in the direction are formed, before
An annular fixture for attaching the annular elastic plate to the vacuum suction plate
When, wherein the the vacuum suction plate, as the suction surface,
A central suction surface centered on the vacuum hole,
At the same level and located on the outer peripheral side of the central suction surface.
And a central suction surface.
An annular groove centered on the vacuum hole between
Is formed at the groove bottom of the annular groove from the outer peripheral side.
Stepping deeper into the hole and centering on the hole
At least two, each forming a ring
A step surface is formed, and the outer diameter of the annular elastic plate is at least
Than the inner diameter of the outer peripheral step surface of the two step surfaces.
The inner diameter of the annular elastic plate is larger than the outer diameter of the central suction surface.
And the outer diameter of the annular fitting is at least two
Smaller than the outer diameter of the inner peripheral step surface of the two step surfaces.
Larger than the inner diameter of the annular elastic plate,
The inner diameter of the sushi is larger than the outer diameter of the central suction surface, wherein
The annular elastic plate has an inner peripheral side portion on the inner peripheral side step surface.
On the inner peripheral side step surface at the outer peripheral side portion of the annular mounting tool.
The outer peripheral side part is pressed on the outer peripheral side step surface.
The annular mounting fixture is placed on and protrudes from the suction surface.
In a state where the annular elastic plate is pressed, the annular groove is formed.
And does not protrude from the suction surface . Here, it is preferable that the annular elastic plate is formed of rubber. Further, it is preferable that the annular elastic plate has elasticity such that the work and the suction surface come into contact with each other when vacuum suction is performed. The vacuum hole and the annular elastic plate
And it may be provided a plurality of sets of said annular winding with tool. Also,
The vacuum suction plate may be an outer peripheral side wall or an inner peripheral side of the annular groove.
Having an inner member and an outer member bordering the side wall
Is also good.

【０００６】前記真空チャック装置は、前記ワークの前
記吸着面上の位置を定める位置決め部材を有し、該位置
決め部材は、前記真空吸着板の前記外周吸着面から突出
している状態から、前記ワークに対する真空吸引により
前記真空吸着板内に沈み込み可能に設けられていると共
に、前記真空吸引力よりも弱い力で突出方向に付勢され
ているものであっても良い。また、前記真空チャック装
置に、前記ワークに対する真空吸引により、前記吸着面
上の前記ワークを締め付けて固定する締付爪機構を設け
ても良い。この場合、前記真空吸着板には、前記真空孔
と連通した空間が形成され、 前記締付爪機構は、 前記吸
着板上で移動して、前記吸着面上の前記ワークを締め付
ける可動爪と、 前記吸着板に固定され、前記可動爪が移
動可能に連結されている支えゴマと、 前記可動爪と支え
ゴマとの間で、前記空間に近づく方向へ移動して前記可
動爪をワーク締付方向に移動させる押出ゴマと、 前記空
間内を、前記真空孔側の空間と前記押出しゴマ側の空間
とに仕切る受圧板と、 前記押出ゴマと前記受圧板とを連
結する連結部材と、 前記ワークに対して真空吸引した際
に前記受圧板にかかる真空吸引力よりも弱い力で、該受
圧板を前記押出ゴマ側へ付勢する付勢部材と、 を有して
いても良い。前記目的を達成するための他の真空チャッ
ク装置は、ワークを吸着する吸着面と、該吸着面に臨ん
でいる真空孔と、が形成されている真空吸着板を備えて
いる真空チャック装置において、 前記真空孔の回りを囲
み、且つ前記吸着面から突出している環状の弾性体と、
前記ワークの前記吸着面上の位置を定める位置決め部材
と、 を備え、 前記位置決め部材は、前記真空吸着板の前
記吸着面であって、前記環状の弾性体の外周側の位置か
ら突出している状態から、前記ワークに対する真空吸引
により前記真空吸着板内に沈み込み可能に設けられてい
ると共に、前記真空吸引力よ りも弱い力で突出方向に付
勢されていることを特徴とするものである。 また、前記
目的を達成するためのさらに他の真空チャック装置は、
ワークを吸着する吸着面と、該吸着面に臨んでいる真空
孔と、が形成されている真空吸着板を備えている真空チ
ャック装置において、 前記真空孔の回りを囲み、且つ前
記吸着面から突出している環状の弾性体と、 前記ワーク
に対する真空吸引により、前記吸着面上の前記ワークを
締め付けて固定する締付爪と、 を備え、 前記真空吸着板
には、前記締付爪又は該締付爪の締付動作に連動する連
動部材の少なくとも一部が動作する空間が形成され、 前
記一部を境として分けられる前記空間の、真空吸引した
ときに前記締付爪が締付動作する側が前記真空吸引孔と
連通し、他方の側が圧縮空気供給孔と連通していること
を特徴とするものである。 [0006] the vacuum chuck equipment is, before the work
A positioning member for determining a position on the suction surface;
The determining member projects from the outer peripheral suction surface of the vacuum suction plate.
From to have a state, with is provided to be sinking into the vacuum suction plate by vacuum suction against the workpiece, even those that are biased in a protruding direction by a weak force than the vacuum suction force Good . In addition, the vacuum chuck device may be configured to apply a vacuum suction to the work so that the suction surface
A fastening claw mechanism for fastening and fixing the above work may be provided. In this case, the vacuum suction plate includes the vacuum hole.
A space communicating with the suction pawl mechanism is formed.
Move on the mounting plate and tighten the work on the suction surface
And the movable claw fixed to the suction plate and moved.
A support sesame movably connected to the movable claw and the support
Move between sesame and the direction approaching the space and
And extrusion sesame moving toward a work tighten the claw, the air
In the space, the space on the vacuum hole side and the space on the extrusion sesame side
A pressure receiving plate for partitioning the extruded sesame and the pressure receiving plate.
When a vacuum is applied to the connecting member and the work
At a pressure lower than the vacuum suction force applied to the pressure receiving plate.
Includes a biasing member for biasing the plate into the extrusion sesame side, the
May be. Another vacuum chuck device for achieving the above object has a suction surface for sucking a work and a suction surface facing the suction surface.
Having a vacuum hole and a vacuum suction plate formed with
A vacuum chuck device that surrounds the vacuum hole.
Only, and an annular elastic body protruding from the suction surface,
Positioning member for determining the position of the work on the suction surface
And the positioning member is provided in front of the vacuum suction plate.
The suction surface is located on the outer peripheral side of the annular elastic body;
Vacuum suction on the work
Is provided so as to be able to sink into the vacuum suction plate.
Rutotomoni, attached to the projecting direction by the vacuum suction force by remote weak force
It is characterized by being energized. In addition,
Yet another vacuum chuck device for achieving the purpose is:
A suction surface for sucking the work and a vacuum facing the suction surface
And a vacuum chamber having a vacuum suction plate formed with holes.
In a rack device, the device surrounds the vacuum hole and
Serial and elastic annular protruding from the suction surface, the work
The work on the suction surface by vacuum suction
A clamping claw for tightening and fixing , the vacuum suction plate
Are connected to the tightening claw or a tightening operation of the tightening claw.
At least part operating spaces of the dynamic member is formed, prior to
Vacuum suction of the space divided by the part
Sometimes the side on which the tightening claw tightens is the vacuum suction hole.
Communication, the other side is in communication with the compressed air supply hole
It is characterized by the following.

【０００７】なお、以上の真空チャック装置と共に、該
真空チャック装置の吸着面に吸着したワークを研削する
砥石またはバイトと、該砥石またはバイトと前記真空チ
ャック装置の真空吸着板とのうち、少なくとも一方を相
対的に移動させる移動機構とを設けることにより、加工
装置が構成されることは、言うまでもない。また、前記
目的を達成するためのワークの加工方法は、 ワークを真
空吸引しつつ加工して、該ワークから複数の製品を取り
出すワークの加工方法において、 前記ワークとして、複
数の前記製品となる個々の部分（以下、製品形成部とす
る。）が平面上に並んでいるものを準備すると共に、 前
記ワークを吸着する吸着面、及び、該吸着面に臨み且つ
該ワークの複数の前記製品形成部の数量以上の数の真空
孔が形成されている真空吸着板を有していると共に、各
真空孔の回りを囲み且つ該吸着面から突出している複数
の環状弾性体を有している真空チャック装置を準備し、
前記真空チャック装置で前記ワークを真空チャックする
前に、又は真空チャック中に、前記ワークの複数の製品
形成部相互の境目に溝を形成し、 前記真空チャック装置
の複数の環状弾性体の上に、前記ワークの各製品形成部
を置き、複数の前記真空孔から前記ワークの各製品形成
部を真空吸引して、該ワークを真空チャックし、 前記真
空チャック中の前記ワークの各製品形成部に対して前記
加工を施してから、該ワークの前記溝に沿って各製品形
成部相互を切り離すことを特徴とするものである。 [0007] In addition to the above-mentioned vacuum chuck device, at least one of a grindstone or a tool for grinding a work sucked on a suction surface of the vacuum chuck device, and at least one of the grindstone or the tool and a vacuum suction plate of the vacuum chuck device. It is needless to say that a processing device is configured by providing a moving mechanism that relatively moves the. In addition,
Machining method of the workpiece to achieve the object, the true work
Work while vacuuming to remove multiple products from the workpiece.
In the method of processing a workpiece to be discharged ,
Product parts (hereinafter referred to as product forming parts)
You. ) With prepares what are arranged on a plane, before
An adsorbing surface for adsorbing the work, and
The number of vacuums equal to or greater than the number of the product forming sections of the workpiece
It has a vacuum suction plate with holes formed, and each
A plurality surrounding the vacuum hole and protruding from the suction surface
Prepare a vacuum chuck device having an annular elastic body of
Vacuum chucking the work with the vacuum chuck device
Before or during the vacuum chuck, a plurality of products of the workpiece
Forming portion to form a groove at the boundary of each other, the vacuum chuck device
Each product forming part of the work is placed on the plurality of annular elastic bodies.
And forming each product of the work from the plurality of vacuum holes
Parts by vacuum suction, and the workpiece is vacuum chuck, said true
For each product forming part of the work in the empty chuck,
After processing, each product shape along the groove of the work
It is characterized in that the components are separated from each other.

【０００８】[0008]

【作用】真空吸着した際に、弾性体が真空シールをする
ので、吸着面とワークとの間にわずかな隙間があって
も、高真空を実現することができ、吸着力が増大し、ワ
ークを確実に保持することができる。また、本発明で
は、真空吸着方式を採用しているので、ねじ締めなどの
作業が不要なので、作業者の手間を省くこともできる。
また、前記弾性体にゴムを用いたものでは、ワークの横
滑りを防ぐことができる。すなわち、ゴムは摩擦係数が
大きいため、同じ吸着力の場合でも、従来の金属面同志
の接触の場合より、横方向保持力が増大し、ワークの横
滑りを防ぐことができる。[Function] When vacuum suction, the elastic body performs vacuum sealing, so even if there is a slight gap between the suction surface and the work, a high vacuum can be realized and the suction force increases, Can be reliably held. Further, in the present invention, since the vacuum suction method is adopted, work such as screw tightening is not required, so that the labor of the operator can be saved.
Further, when the elastic body uses rubber, the work can be prevented from skidding. That is, since the rubber has a large friction coefficient, even in the case of the same suction force, the lateral holding force is increased as compared with the conventional case of contact between metal surfaces, and it is possible to prevent the work from skidding.

【０００９】このように、本発明をマシニングセンタや
フライス加工などに適用すれば、被加工材をワンタッチ
でチャックでき、しかも弾性体による吸振作用でビビリ
のない高品質の加工が可能になる。実用に供して、その
効果は極めて大きいものである。As described above, when the present invention is applied to a machining center, milling, or the like, a workpiece can be chucked with one touch, and high-quality machining can be performed without chatter due to the vibration absorbing action of the elastic body. In practical use, the effect is extremely large.

【００１０】[0010]

【実施例】以下、本発明にかかる各種実施例について、
図１から図２０に基づき説明する。なお、各種実施例を
説明するにあたり、同一部位については、同一の符号を
付し、重複した説明を省略する。EXAMPLES Hereinafter, various examples according to the present invention will be described.
A description will be given based on FIGS. In describing various embodiments, the same portions will be denoted by the same reference symbols, without redundant description.

【００１１】本発明に係る真空チャック装置の第１の実
施例について、図１および図２を用いて説明する。図１
において、１は吸着プレートであり、その中心部には真
空孔２が設けられている。真空孔２は、図示されていな
い真空吸引源と調圧弁を介して、接続されている。A first embodiment of the vacuum chuck device according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG.
In the drawing, reference numeral 1 denotes a suction plate, and a vacuum hole 2 is provided in the center thereof. The vacuum hole 2 is connected to a vacuum suction source (not shown) via a pressure regulating valve.

【００１２】吸着プレート１の吸着面１１側には、Ｏリ
ング溝５が形成されている。このＯリング溝５は、溝口
の幅がここに嵌まり込むＯリング４の素線直径ｄより小
さく、溝奥の幅がＯリング４の素線直径ｄよりも大き
く、かつ溝深さがＯリング４の素線直径ｄの約９０％程
度の寸法に形成されている。Ｏリング４は、ニトリルゴ
ム製で、被加工材６を真空吸着した際、被加工材６と吸
着面１１とが接触する弾性力を有している。吸着プレー
ト１の吸着面１１側には、さらに、真空孔２の上縁から
つながっている放射状溝３ａ、およびこの放射状溝３ａ
につながりかつＯリング溝５より径の小さい円周溝３ｂ
が形成されている。On the suction surface 11 side of the suction plate 1, an O-ring groove 5 is formed. In the O-ring groove 5, the width of the groove opening is smaller than the wire diameter d of the O-ring 4 fitted therein, the depth of the groove is larger than the wire diameter d of the O-ring 4, and the groove depth is O. The ring 4 is formed to have a dimension of about 90% of the strand diameter d. The O-ring 4 is made of nitrile rubber and has an elastic force such that when the workpiece 6 is vacuum-sucked, the workpiece 6 and the suction surface 11 come into contact with each other. On the suction surface 11 side of the suction plate 1, a radial groove 3a connected from the upper edge of the vacuum hole 2 and a radial groove 3a
Circumferential groove 3b having a smaller diameter than the O-ring groove 5
Are formed.

【００１３】次に、本実施例の作用について説明する。
吸着プレート１の吸着面１１上に被加工材６を載せてか
ら、吸引源を稼動させる。被加工材６は、真空孔１、放
射状溝３ａおよび円周溝３ｂを介して真空吸引される。
このとき、被加工材６とＯリング４とが圧着し、真空が
シールされる。この結果、Ｏリング４より内周側は高真
空状態に保たれる。被加工材６は、Ｏリング４を圧下
し、被加工材６と吸着面１１とが接触する。真空吸引力
は、被加工材６と吸着面１１とが接触しているものの、
互いの間には微細な間隙があるため、この接触部分にも
かかる。したがって、被加工材６全体にかかる真空吸着
力Ｆは、 Ｆ＝（Ｏリングの内周側の面積）×（真空圧力） で表すことができ、Ｏリング４内周の面積を大きくすれ
ば、吸着力を増すことができる。Next, the operation of this embodiment will be described.
After the workpiece 6 is placed on the suction surface 11 of the suction plate 1, the suction source is operated. The workpiece 6 is vacuum-sucked through the vacuum holes 1, the radial grooves 3a and the circumferential grooves 3b.
At this time, the workpiece 6 and the O-ring 4 are press-bonded, and the vacuum is sealed. As a result, the inner peripheral side of the O-ring 4 is kept in a high vacuum state. The workpiece 6 presses down the O-ring 4 and the workpiece 6 comes into contact with the suction surface 11. Although the workpiece 6 and the suction surface 11 are in contact with each other,
Since there is a minute gap between each other, this contact portion is also applied. Therefore, the vacuum suction force F applied to the entire workpiece 6 can be expressed by F = (area on the inner peripheral side of the O-ring) × (vacuum pressure). If the area of the inner peripheral of the O-ring 4 is increased, The suction power can be increased.

【００１４】なお、この方式においては、被加工材６が
Ｏリング４に接触して真空吸着されたときに被加工材６
がＯリング４を圧下して吸着プレートの上面１１に接触
することが重要である。これによって被加工材６の上下
方向の位置再現性を良くすることができる。このために
は、Ｏリング４の弾性力を考慮し、突き出し量が大き過
ぎてはならない。このため、この方式においては、Ｏリ
ング４の突き出し量を通常のＯリングシールより小さめ
にする。すなわち、Ｏリング４の素線直径ｄの約１０％
位（例えばｄが２〜３ｍｍの場合、０．２〜０．３ｍｍ
程度）突き出させることによって、真空は十分にシール
され、また被加工材６が吸着面１１に確実に保持される
ことになる。In this method, when the workpiece 6 comes into contact with the O-ring 4 and is vacuum-adsorbed, the workpiece 6
It is important that the O-ring 4 is pressed down to contact the upper surface 11 of the suction plate. Thereby, the reproducibility of the position of the workpiece 6 in the vertical direction can be improved. For this purpose, the amount of protrusion must not be too large in consideration of the elastic force of the O-ring 4. For this reason, in this method, the amount of protrusion of the O-ring 4 is made smaller than that of a normal O-ring seal. That is, about 10% of the wire diameter d of the O-ring 4
Position (for example, when d is 2 to 3 mm, 0.2 to 0.3 mm
By protruding, the vacuum is sufficiently sealed and the workpiece 6 is securely held on the suction surface 11.

【００１５】この方式によれば、Ｏリング４により真空
度はほぼ７６０ｍｍＨｇ迄簡単に上昇し、かつ位置決め
も再現性良く行われる。またＯリング４による摩擦力に
よって、左右方向の保持力も高めることが可能となり、
従来方式の真空チャックより被加工材の保持力を大きく
することが可能である。According to this method, the degree of vacuum is easily increased to approximately 760 mmHg by the O-ring 4, and positioning is performed with good reproducibility. In addition, the holding force in the left-right direction can be increased by the frictional force of the O-ring 4,
It is possible to increase the holding force of the workpiece compared to the conventional vacuum chuck.

【００１６】次に、真空チャック装置の第２の実施例に
ついて図３および図４を用いて説明する。本実施例は、
第１の実施例におけるＯリングの換わりに、ゴムパッド
４１を用いたものである。すなわち、本実施例は、真空
溝３の外周部分に軟質ゴム（硬さがＪＩＳ規格Ａ６０°
以下）を焼付けした構造である。Next, a second embodiment of the vacuum chuck device will be described with reference to FIGS. In this embodiment,
A rubber pad 41 is used in place of the O-ring in the first embodiment. That is, in this embodiment, the outer peripheral portion of the vacuum groove 3 is made of soft rubber (hardness is JIS A60 °).
Below).

【００１７】この製造は、吸着プレート１となる粗板に
真空溝３や真空孔２を加工した後、ゴムパッド４１を焼
き付け、粗板の上面をゴムパッド４１と共に研削加工し
て、製造する。ゴムパッド４１は、軟質のため研削力に
よって変形し、研削加工後は図３に示したように中央部
がわずかながら盛り上り、吸着面１１より高くなる。こ
の盛り上りによって、被加工材６との間の真空度保持が
行われる。なお、本実施例は、ゴムパッド４１を矩形状
に形成したものを用いたが、円形状のものを用いても良
い。In this manufacturing process, the rough plate serving as the suction plate 1 is processed with the vacuum grooves 3 and the vacuum holes 2, then the rubber pad 41 is baked, and the upper surface of the rough plate is ground together with the rubber pad 41. Since the rubber pad 41 is soft, it is deformed by the grinding force, and after the grinding process, the central portion slightly rises as shown in FIG. By this swelling, the degree of vacuum between the workpiece 6 and the workpiece 6 is maintained. In this embodiment, the rubber pad 41 is formed in a rectangular shape, but a circular pad may be used.

【００１８】次に、第２の実施例の変形例について、図
５および図６を用いて説明する。本変形例は、真空溝３
の外側のみならず、内側にもゴムパッド４１ａを貼った
構造とする。ただし、この場合には、ゴムを硬質ゴム
（硬さがＪＩＳ規格Ａ８０°以上、例えば９０°）を使
用する。これによって、被加工材６はゴムパッド４１ａ
に接触し、真空を引いたときにこのゴムパッド４１ａに
吸着されることになる。Next, a modification of the second embodiment will be described with reference to FIGS. In this modification, the vacuum groove 3
The rubber pad 41a is stuck not only outside but also inside. However, in this case, a hard rubber (having a hardness of JIS A 80 ° or more, for example, 90 °) is used as the rubber. As a result, the workpiece 6 becomes the rubber pad 41a.
, And is attracted to the rubber pad 41a when a vacuum is drawn.

【００１９】以上、本発明に係る真空チャック装置の基
本的な実施例について説明したが、これらの実施例にお
いて、弾性体として用いたＯリング４や、ゴムパッド４
１，４１は、円形状や矩形状の場合を例示したが、この
形状にこだわる必要はなく、被加工材の形状に応じて色
々な形状が採用可能である。また、これらの材質は、ニ
トリルゴムのみならず、バイトンゴム、シリコンゴム、
テフロンゴム等を用いても良い。The basic embodiments of the vacuum chuck device according to the present invention have been described above. In these embodiments, the O-ring 4 and the rubber pad 4 used as an elastic body are used.
Although the cases of the circles and the rectangles 1 and 41 are exemplified, it is not necessary to stick to this shape, and various shapes can be adopted according to the shape of the workpiece. In addition, these materials are not only nitrile rubber, but also viton rubber, silicon rubber,
Teflon rubber or the like may be used.

【００２０】次に、真空チャック装置の第３の実施例に
ついて図６、図７および図８を用いて説明する。本実施
例は、第１の実施例と同様に、Ｏリング４を使用し、真
空孔２とＯリング４とによる真空吸着機構を４組（縦２
個×横２個）設け、さらに、被加工材６の位置決め用の
位置決めピン１２を設けたものである。本実施例におい
て、吸着プレート１は、Ｏリング溝５ａの外周側壁を境
として、内側の部材を形成する埋込ゴマ１７，１７，…
と、外側の部材を形成する吸着プレート本体１ａとで構
成されている。Next, a third embodiment of the vacuum chuck device will be described with reference to FIGS. 6, 7 and 8. In this embodiment, as in the first embodiment, an O-ring 4 is used, and four sets of vacuum suction mechanisms (vertical 2
2 × 2) and a positioning pin 12 for positioning the workpiece 6. In the present embodiment, the suction plate 1 has embedded sesame 17, 17,... Forming an inner member with the outer peripheral side wall of the O-ring groove 5a as a boundary.
And a suction plate main body 1a forming an outer member.

【００２１】埋込ゴマ１７には、図９に示すように、そ
の外周にＯリング溝５ａの内周側壁５ｂと溝底５ｃとを
形成する溝が形成されている。内周側壁５ｂは、溝奥に
向かうに連れて径が小さくなるように傾斜している。一
方、Ｏリング溝５ａの外周側壁５ｄは、吸着プレート本
体１ａの一部で形成されている。この外周側壁５ｄは、
内周側壁のように傾斜していない。このように形成され
ているＯリング溝５に、Ｏリング４が若干引張れた状態
で装着されている。As shown in FIG. 9, the embedded sesame 17 has a groove formed on its outer periphery to form an inner peripheral side wall 5b of the O-ring groove 5a and a groove bottom 5c. The inner peripheral side wall 5b is inclined so that the diameter decreases toward the inner part of the groove. On the other hand, the outer peripheral side wall 5d of the O-ring groove 5a is formed by a part of the suction plate main body 1a. This outer peripheral side wall 5d
It is not inclined like the inner peripheral side wall. The O-ring 4 is mounted in the O-ring groove 5 thus formed in a slightly pulled state.

【００２２】位置決めピン１２は、スライダー１４と一
体的に形成されており、出没可能に吸着プレート１に設
けられている。吸着プレート１内には、スライダー１４
が上下動するための空間が形成されており、スライダー
１４を境として下部側の空間は真空配管９０３と連通し
ている。この下部側の空間には、スライダー１４および
位置決めピン１２を上方に付勢するスプリング１５が設
けられている。また、上部側の空間に空気が入り、スラ
イダー１４および位置決めピン１２を下降しやすくする
ために、位置決めピン１２の上部からこの上部側の空間
に連通するリーク孔１８が、位置決めピン１２に設けら
れている。The positioning pin 12 is formed integrally with the slider 14 and is provided on the suction plate 1 so as to be able to protrude and retract. A slider 14 is provided in the suction plate 1.
A space for vertically moving is formed, and a space below the slider 14 is communicated with a vacuum pipe 903. A spring 15 for urging the slider 14 and the positioning pin 12 upward is provided in the lower space. In order to allow air to enter the space on the upper side and lower the slider 14 and the positioning pin 12, a leak hole 18 communicating from the upper part of the positioning pin 12 to the space on the upper side is provided in the positioning pin 12. ing.

【００２３】本実施例の作用について説明する。本実施
例における被加工材６は、これから製品を４個取り出せ
る寸法であり、吸着プレート１上に載せた場合、その位
置は３個の位置決めピン１２，１２，１２に接触させ
る。この状態で真空を効かせると、被加工材６は４ケ所
のＯリング４，４，…に吸着する。このとき、真空度が
上昇するに従って、位置決めピン１２は吸着プレート１
の内部へ引き込まれる。すなわち、真空吸引すると、ス
ライダ１４に真空力が下方に作用し、スライダ１４がス
プリング１５を圧下して、位置決めピン１２と供に下降
する。位置決めピン１２の上端は、吸着プレート１の上
面より下に潜ることとなる。このとき、スライダー１４
を境とする上部側の空間は、リーク孔１８と連通し、ス
ライダー１４の上下動に伴い、上部側の空間に空気が出
入りするので、スライダー１４は容易に下降する。この
状態で機械加工を行えば、被加工材６の外周には障害と
なるものは全くなくなり、外周部の加工を行うことが極
めて容易となる。The operation of this embodiment will be described. The workpiece 6 in this embodiment has a dimension from which four products can be taken out. When the workpiece 6 is placed on the suction plate 1, its position is brought into contact with three positioning pins 12, 12, 12. When a vacuum is applied in this state, the workpiece 6 is attracted to four O-rings 4, 4,. At this time, as the degree of vacuum increases, the positioning pins 12
It is drawn inside. That is, when vacuum suction is applied, a vacuum force acts on the slider 14 downward, and the slider 14 pushes down the spring 15 and descends together with the positioning pin 12. The upper end of the positioning pin 12 will sink below the upper surface of the suction plate 1. At this time, slider 14
The space on the upper side, which is bordered by, communicates with the leak hole 18, and air moves in and out of the space on the upper side as the slider 14 moves up and down, so that the slider 14 easily descends. If machining is performed in this state, there is no obstacle at the outer periphery of the workpiece 6, and it becomes extremely easy to machine the outer peripheral portion.

【００２４】また、被加工材６には、第１の実施例より
も４倍の吸着力が作用し、マシニングセンタ等で加工す
るのに十分な保持力を発揮する。このような状態で被加
工材６を加工したのち、最後に製品ごとに切り離して、
４個の製品を得る。切り離すときには、例えば、１個の
製品切り離しにより、吸着力が３／４に激減するので、
切断力によって、残っている製品が飛んでしまわないよ
う、慎重に切断して行く必要である。Further, the work material 6 has an attraction force four times larger than that of the first embodiment, and exerts a sufficient holding force for working with a machining center or the like. After processing the work material 6 in such a state, finally cut it off for each product,
Obtain 4 products. At the time of separation, for example, because one product is separated, the suction force is drastically reduced to 3/4.
It is necessary to cut carefully so that the cutting force does not cause the remaining product to fly.

【００２５】また、本実施例では、内周側壁５ｂが溝奥
に向かうに連れて径が小さくなるように傾斜しているＯ
リング溝５ａに、Ｏリング４を引張状態で嵌め込んでい
るので、例えば、機械加工後の切粉を真空掃除機を用い
て掃除するときなどに、Ｏリング４が吸い込まれないよ
うにすることができ、作業性が向上する。In this embodiment, the inner peripheral side wall 5b is inclined so that the diameter decreases toward the depth of the groove.
Since the O-ring 4 is fitted into the ring groove 5a in a tensioned state, for example, when the machined chips are cleaned with a vacuum cleaner, the O-ring 4 is prevented from being sucked. And workability is improved.

【００２６】さらに、本実施例では、吸着プレート１
が、Ｏリング溝５ａの外周側壁５ｄを境として、埋込ゴ
マ１７，１７，…と、吸着プレート本体１ａとに分離可
能に構成されているので、Ｏリング溝５ａを容易に加工
することができる。すなわち、Ｏリング溝５ａにテーパ
を設ける場合、Ｏリング溝５ａの内周側の部材と外周側
の部材とが一体的であると、特殊な形状の刃を用いて、
何度も研削する必要があるが、本実施例では、埋込ゴマ
１７を吸着プレート本体１ａに装着する前に、埋込ゴマ
１７の外周にＶ字型溝を加工すれば良いので、Ｏリング
溝５ａを非常に簡単に加工することができる。Further, in this embodiment, the suction plate 1
Are separated from the embedded sesame 17, 17,... And the suction plate body 1a at the outer peripheral side wall 5d of the O-ring groove 5a, so that the O-ring groove 5a can be easily processed. it can. That is, when a taper is provided in the O-ring groove 5a, if a member on the inner peripheral side and a member on the outer peripheral side of the O-ring groove 5a are integrated, a blade having a special shape is used.
Although it is necessary to grind many times, in this embodiment, before mounting the embedded sesame 17 on the suction plate main body 1a, a V-shaped groove may be formed on the outer periphery of the embedded sesame 17, so that the O-ring is required. The groove 5a can be machined very easily.

【００２７】次に、真空チャック装置の第４の実施例に
ついて、図１０から図１３を用いて説明する。本実施例
は、真空吸着と共に、爪を用いてチャックするものであ
る。Next, a fourth embodiment of the vacuum chuck device will be described with reference to FIGS. In this embodiment, chucking is performed using a claw together with vacuum suction.

【００２８】吸着プレート１には、図１１に示すよう
に、固定爪２０と可動爪機構２１ａとが、それぞれ、３
組設けられている。可動爪機構２１ａは、図１０および
図１３に示すように、可動爪２１と、これを支える支え
ゴマ２２と、これらの間に設けられ自身の下降により可
動爪２１を押し出す押出ゴマ２３と、吸着プレート１内
に設けられている空間で真空吸引により下降するように
設けられている受圧板２６と、受圧板２６と押出ゴマ２
３とを連結するテンション棒２７と、受圧板２６を上方
に付勢するスプリング２５とを有して構成されている。As shown in FIG. 11, a fixed claw 20 and a movable claw mechanism 21a are provided on the suction plate 1, respectively.
A set is provided. As shown in FIGS. 10 and 13, the movable claw mechanism 21 a includes a movable claw 21, a support sesame 22 for supporting the movable claw 21, an extruded sesame 23 provided between the movable claw 21 and pushing the movable claw 21 by lowering itself, and A pressure receiving plate 26 provided to descend by vacuum suction in a space provided in the plate 1, a pressure receiving plate 26 and an extruded sesame 2
3 and a spring 25 for urging the pressure receiving plate 26 upward.

【００２９】可動爪２１と支えゴマ２２とは、ピン２４
により連結されている。このピン２４は、テンション棒
２７に設けられている長孔を貫通している。支えゴマ２
２は吸着プレート１に固定されている。一方、可動爪２
１は、可動爪２１が被加工材６を固定する突出位置と固
定しない引っ込み位置とに移動可能に吸着プレート１に
設けられている。可動爪２１は、ピン２４に装着されて
いるスプリング２５により、引っ込み位置方向に付勢さ
れている。押出ゴマ２３と可動爪２１との接触部には、
互いにテーパが加工されており、押出ゴマ２３が下方に
動くと、可動爪２１が突出位置方向に移動する。押し付
けゴマ２３の下方への移動は、受圧板２６の移動によっ
て行われる。The movable claw 21 and the support sesame 22 are
Are connected by This pin 24 passes through a long hole provided in the tension bar 27. Support sesame 2
2 is fixed to the suction plate 1. On the other hand, the movable claw 2
1 is provided on the suction plate 1 so that the movable claw 21 can move between a protruding position where the workpiece 6 is fixed and a retracted position where the movable claw 21 is not fixed. The movable claw 21 is urged toward the retracted position by a spring 25 mounted on the pin 24. In the contact portion between the extruded sesame 23 and the movable claw 21,
When the extruded sesame 23 moves downward, the movable claw 21 moves in the protruding position direction. The downward movement of the pressing sesame 23 is performed by the movement of the pressure receiving plate 26.

【００３０】受圧板２６が挿入されている吸着プレート
１の空間で、受圧板２６を境として下部側の空間は、真
空導入孔２９および低圧空気導入孔３１とつながってい
る。また、上部側の空間は、高圧空気導入孔３０とつな
がっている。なお、真空導入孔２９は、図示されていな
い真空発生源と、低圧空気導入孔３１は図示されていな
い低圧コンプレッサと、高圧空気導入孔３０は同じく図
示されていない高圧コンプレッサと連結されている。In the space of the suction plate 1 in which the pressure receiving plate 26 is inserted, a space below the pressure receiving plate 26 is connected to a vacuum introduction hole 29 and a low-pressure air introduction hole 31. The upper space is connected to the high-pressure air introduction hole 30. The vacuum inlet 29 is connected to a vacuum source (not shown), the low-pressure air inlet 31 is connected to a low-pressure compressor (not shown), and the high-pressure air inlet 30 is connected to a high-pressure compressor (not shown).

【００３１】吸着プレート１の中央部分には、吸着ゴマ
２８が上下動可能に挿入されており、通常はスプリング
１５によって上方に押し上げられている。吸着ゴマ２８
の上部には突起２８１が設けられており、吸着プレート
１にあけられた穴２に嵌合している。また、吸着ゴマ２
８には、小孔２８２があけられている。この小孔２８２
は、吸着ゴマ２８が上に押し付けられているときは吸着
プレート１の底面によって塞がれているが、真空が作用
して吸着ゴマ２８が下方に移動すると孔が開き、吸着プ
レート１の上面側の真空の導通孔となるものである。な
お、本実施例において、吸着面側の構成は、第２の実施
例と同様である。A suction sesame 28 is inserted into the center of the suction plate 1 so as to be vertically movable, and is normally pushed upward by a spring 15. Adsorbed sesame 28
A projection 281 is provided on the upper part of the suction plate 1 and is fitted in a hole 2 formed in the suction plate 1. In addition, adsorption sesame 2
8 is provided with a small hole 282. This small hole 282
When the suction sesame 28 is pressed upward, the bottom surface of the suction plate 1 is closed, but when the suction sesame 28 moves downward due to a vacuum, a hole is opened and the upper surface of the suction plate 1 is closed. It becomes a vacuum conduction hole. In this embodiment, the configuration on the suction surface side is the same as that of the second embodiment.

【００３２】次に、本実施例の作用について説明する。
先ず、被加工材６を吸着プレート１の上面に、固定爪２
０と可動爪２１の間に入るように挿入する。この状態で
真空導入孔２９から真空を導入すれば（この状態では３
０，３１は閉じておく）、図１３に示すように、吸着ゴ
マ２８がスプリング１５のばね力に打ち勝って下方に押
し下げられ、真空は小孔２８１から穴２を通って被加工
材６の底面に達し、被加工材６は吸着プレート１の上面
に吸い付けられる。このとき外周に焼き付けられたゴム
パッド４１の効果によって、被加工材６の底面は十分に
真空に保たれ、強い真空吸着力が作用する。Next, the operation of this embodiment will be described.
First, the workpiece 6 is placed on the upper surface of the suction plate 1 and the fixed claw 2
0 and the movable claw 21 are inserted. In this state, if a vacuum is introduced from the vacuum introduction hole 29 (in this state, 3
0, 31 are closed), as shown in FIG. 13, the suction sesame 28 is pushed downward by overcoming the spring force of the spring 15, and a vacuum is applied from the small hole 281 through the hole 2 to the bottom surface of the workpiece 6. And the workpiece 6 is sucked to the upper surface of the suction plate 1. At this time, due to the effect of the rubber pad 41 baked on the outer periphery, the bottom surface of the workpiece 6 is sufficiently kept in a vacuum, and a strong vacuum suction force acts.

【００３３】一方、真空は真空導入孔２９を通って受圧
板２６の下面にも達する。このとき、受圧板２６は、ス
プリング２５のばね力に打ち勝って下方に引き下げられ
る。この結果、テンション棒２７および押出ゴマ２３も
一緒に下方に移動し、可動爪２１が突出方向に移動し、
被加工材６を固定爪２０とでクランプする。このクラン
プ力を更に確実なものにするために、高圧空気導入孔３
０から空気圧（例えば５気圧）を導入する。（このと
き、真空導入孔２９は受圧板２６で塞がれており、真空
は保持される。）空気圧は受圧板２６の上面に作用し、
テンション棒２７の引張り力を真空のみの場合に比較し
て約５倍に増大でき、可動爪２１によるクランプ力を大
幅に増大させることができる。On the other hand, the vacuum reaches the lower surface of the pressure receiving plate 26 through the vacuum introduction hole 29. At this time, the pressure receiving plate 26 overcomes the spring force of the spring 25 and is pulled down. As a result, the tension bar 27 and the extruded sesame 23 also move downward, and the movable claw 21 moves in the projecting direction,
The workpiece 6 is clamped with the fixed claw 20. In order to further secure this clamping force, the high-pressure air inlet 3
From 0, air pressure (for example, 5 atm) is introduced. (At this time, the vacuum introduction hole 29 is closed by the pressure receiving plate 26, and the vacuum is maintained.) The air pressure acts on the upper surface of the pressure receiving plate 26,
The tensile force of the tension bar 27 can be increased about five times as compared with the case where only vacuum is used, and the clamping force by the movable claw 21 can be greatly increased.

【００３４】この状態で被加工材６を機械加工した場
合、吸着力が被加工材６の底面全体に作用しており、ま
た吸着プレート上面外周に焼き付けたゴムパッド４１の
吸振力も作用する結果、ビビリのない極めて安定した切
削加工が可能となる。このようなゴムの吸振力を更に増
す方法として、固定爪２０、又は可動爪２１の先端にゴ
ムを付け、ゴムを介して被加工材６を締め付けるのも有
効である。すなわち、図１２に示すように、固定爪２０
の先端に部分的にゴム３２を焼き付け、その前面を研削
加工すると、ゴム３２は研削加工中に圧縮されるため、
研削加工終了後にはゴム３２は仕上げ面よりわずかなが
ら出張ることとなる。このような爪を用いて被加工材を
締付けると、先ずゴム面が当り、次いで爪の先端が当る
こととなる。この結果、被加工材６にはゴム３２の弾性
力と、爪の剛体力とが同時に作用し、切削加工中にはゴ
ム３２の弾性力が吸振作用を生じ、より安定した切削加
工が可能となるものである。When the workpiece 6 is machined in this state, the suction force acts on the entire bottom surface of the workpiece 6 and the vibration absorbing force of the rubber pad 41 baked on the outer periphery of the upper surface of the suction plate also acts. Extremely stable cutting without defects is possible. As a method of further increasing the vibration absorbing force of the rubber, it is effective to attach rubber to the tip of the fixed claw 20 or the movable claw 21 and tighten the workpiece 6 via the rubber. That is, as shown in FIG.
When the rubber 32 is partially baked on the tip of the rubber and the front surface is ground, the rubber 32 is compressed during the grinding process.
After the grinding process, the rubber 32 travels a little more than the finished surface. When the workpiece is tightened using such a claw, the rubber surface first contacts, and then the tip of the claw contacts. As a result, the elastic force of the rubber 32 and the rigid force of the claw act on the workpiece 6 at the same time, and the elastic force of the rubber 32 generates a vibration absorbing action during the cutting, thereby enabling more stable cutting. It becomes.

【００３５】切削加工中に出る切粉が、真空吸着機構の
内部に入らないようにするために、本実施例では、空気
吹出しによる切粉の排出法を併用した。すなわち、切削
加工が終了したのち被加工材６を取り出すとき、先ず真
空排気を停止後、低圧空気導入孔３１から圧縮空気（例
えば１気圧）を送給する。そうすると、受圧板２６は上
方へ押し戻され、被加工材６のアンクランプが確実に行
われると同時に吸着ゴマ２８の周辺からも空気が上方に
吹き出す。このとき、穴２の内側へ入ろうとしていた切
粉は、空気によって穴２の外へ吹き出されることとな
る。In this embodiment, in order to prevent chips generated during the cutting process from entering the inside of the vacuum suction mechanism, a method of discharging chips by air blowing is also used. That is, when the workpiece 6 is taken out after the cutting process is completed, the vacuum evacuation is first stopped, and then compressed air (for example, 1 atm) is supplied from the low-pressure air introduction hole 31. Then, the pressure receiving plate 26 is pushed back upward, and the unclamping of the workpiece 6 is surely performed, and at the same time, air is blown upward also from around the suction sesame 28. At this time, the swarf that was about to enter the inside of the hole 2 is blown out of the hole 2 by air.

【００３６】なお、本実施例において、吸着プレート１
の上面に軟質ゴム４１を焼き付ける方式を採用したが、
第２の実施例の変形例で用いた硬質ゴムを焼付ける方
式、または第１の実施例で用いたＯリングを用いる方式
でも良い。このことは、第３の実施例についても同様で
ある。また、上記の説明においては、締付力を増すため
に、高圧空気導入孔３０を利用する方法について説明し
た。しかし、この機能は必ずしも必要ではなく、真空吸
着のみでも十分に切削加工に耐えられることが多い。す
なわち、切削抵抗が可動爪２１に向って作用する場合で
も、可動爪２１は押出ゴマ２３を介して支えゴマ２２に
支えられており、切削抵抗は剛体的に支持されるため、
ゆるむ恐れは極めて小さいからである。ただし、可動爪
２１と押出ゴマ２３との間の接触テーパを大きくし過ぎ
ると、切削抵抗が掛ったときに押出ゴマ２３が浮き上
り、ゆるむ可能性がある。これを防ぐには、テーパ角度
を摩擦角以下（例えば６〜１５度程度）にするのが好適
である。In this embodiment, the suction plate 1
Adopted a method of baking soft rubber 41 on the upper surface of
The method of baking hard rubber used in the modification of the second embodiment or the method of using the O-ring used in the first embodiment may be used. This is the same for the third embodiment. In the above description, the method of using the high-pressure air introduction hole 30 to increase the tightening force has been described. However, this function is not always necessary, and in many cases, only vacuum suction can sufficiently withstand cutting. That is, even when the cutting force acts on the movable claw 21, the movable claw 21 is supported by the supporting sesame 22 via the extruded sesame 23, and the cutting force is rigidly supported.
The risk of loosening is extremely small. However, if the contact taper between the movable claw 21 and the extruded sesame 23 is too large, the extruded sesame 23 may rise and become loose when a cutting resistance is applied. In order to prevent this, it is preferable that the taper angle be equal to or smaller than the friction angle (for example, about 6 to 15 degrees).

【００３７】次に、真空チャック装置の第５の実施例に
ついて、図１４から図１７を用いて説明する。本実施例
は、真空シールのための弾性体として、ラッパ状の真空
パッドを用いたものである。なお、本実施例は、真空パ
ッド以外の基本構成は、第３の実施例と同様である。Next, a fifth embodiment of the vacuum chuck device will be described with reference to FIGS. In this embodiment, a trumpet-shaped vacuum pad is used as an elastic body for vacuum sealing. In this embodiment, the basic configuration other than the vacuum pad is the same as that of the third embodiment.

【００３８】吸着プレート１ｂに凹部３３を４個所設
け、この中に真空パッド３４を拡径側を上にして締め具
３５で固定する。この締め具３５には、真空孔２が形成
されている。真空パッド３４の上端は、吸着プレート１
ｂの上面１１より、２ｍｍ程度飛び出すように設計され
ている。この状態で、４個の製品を取り出せる被加工材
６を真空パッド３４上に載せ、真空配管９０３から真空
排気すれば、被加工材６は真空パッド３４に吸着されて
下方に引き寄せられ、真空プレート１ｂの上面１１に接
触する。このときの接触力は、吸着パッド４個分の力で
あり、非常に強固となる。The suction plate 1b is provided with four concave portions 33, in which the vacuum pad 34 is fixed with the fastener 35 with the enlarged side facing upward. The fastener 35 has a vacuum hole 2 formed therein. The upper end of the vacuum pad 34 is
It is designed to protrude from the upper surface 11 of b by about 2 mm. In this state, when the workpiece 6 from which four products can be taken out is placed on the vacuum pad 34 and evacuated from the vacuum pipe 903, the workpiece 6 is attracted to the vacuum pad 34 and drawn downward, and the vacuum plate 34 is pulled down. It contacts the upper surface 11 of 1b. The contact force at this time is a force for four suction pads, and is very strong.

【００３９】このような真空パッド３４は、これ迄にも
多く利用されてきたが、このような機械加工用の真空吸
着治具に用いようとすると、真空パッド３４の剛性が弱
く、切削力が作用したときに位置固定が十分になされ
ず、加工精度が上らないという欠点があった。本実施例
によれば、被加工材６は、吸着プレート１ｂの上面１１
に強く押し付けられるので、加工中における被加工材６
の位置決めも確実に確保できる。Such a vacuum pad 34 has been widely used so far. However, if it is used for such a vacuum suction jig for machining, the rigidity of the vacuum pad 34 is low and the cutting force is low. There is a drawback that the position is not sufficiently fixed when it acts, and the processing accuracy is not improved. According to this embodiment, the workpiece 6 is placed on the upper surface 11 of the suction plate 1b.
To the workpiece 6 during processing.
Positioning can also be ensured.

【００４０】本実施例は、第１の実施例および第３の実
施例のように、Ｏリングを使用する方式と比較して、被
加工材６の平面度が悪い場合に採用すると好適である。
すなわち、被加工材６は、その大きさが大きくなればな
るほど、反りが増大する傾向がある。このような被加工
材６を吸着しようとするとき、反りが大きすぎると、ゴ
ム（Ｏリング、又は吸着パッド）に接触しなくなり、真
空シールが不完全となり真空吸着されない恐れが生ず
る。真空吸着ができなくなる限界は、吸着プレート１ｂ
の上面１１からのゴムの突き出し量に依存する。その量
は、Ｏリングでは０．２〜０．３ｍｍであるのに対し、
吸着パッドでは２ｍｍ程度にでき、多少の反りがあって
も吸着することが可能である。This embodiment is suitable to be adopted when the flatness of the workpiece 6 is poor as compared with the system using an O-ring as in the first and third embodiments. .
That is, as the size of the workpiece 6 increases, the warpage tends to increase. When the workpiece 6 is to be suctioned, if the warpage is too large, it does not come into contact with the rubber (O-ring or suction pad), and the vacuum seal is incomplete and the vacuum suction may not be performed. The limit that vacuum suction is not possible is that the suction plate 1b
Depends on the amount of rubber protruding from the upper surface 11. The amount is 0.2-0.3 mm for O-rings,
The suction pad can be set to about 2 mm, and can be sucked even if there is some warpage.

【００４１】反りが更に大きく真空吸着できない場合、
又は切削加工中に反りが増大して真空吸着が可能な限界
を越える恐れのある場合に対する対処法を述べる。この
対処法は、例えば、被加工材６がこれから製品を４個取
り出すものであれば、図１６および図１７に示すよう
に、製品を取り出すために被加工材６を切断する位置に
溝６ａを加工する。溝６ａの底厚ｔは、溝６ａのところ
で被加工材６が変形し得る程度迄薄くする。このように
することによって、反りが大きかった被加工材６でも真
空吸着されたときに各部分が独立に変形して、それぞれ
が吸着面にぴったりと接触し、完全な真空シールがなさ
れ、十分に吸着されることとなる。In the case where the warpage is larger and the vacuum suction cannot be performed,
Or, a countermeasure for a case where the warp increases during the cutting process and the vacuum suction may exceed a possible limit will be described. For example, if the workpiece 6 is to take out four products from it, as shown in FIGS. 16 and 17, a groove 6a is formed at a position where the workpiece 6 is cut to take out the product. Process. The bottom thickness t of the groove 6a is made thin enough to deform the workpiece 6 at the groove 6a. By doing in this way, even when the workpiece 6 having a large warp is vacuum-sucked, each part is independently deformed, and each of the parts is in close contact with the suction surface, and a complete vacuum seal is made. It will be adsorbed.

【００４２】この場合、溝６ａの加工は、真空吸着する
前に別の装置又はチャックを用いる。また、多少の反り
があっても吸着がなされるならば、真空吸着した状態で
行っても良い。底厚ｔは、１個の製品が、例えば１００
ｍｍ平方の四角い部材を切削加工する場合で、材質が鉄
鋼材料では、１ｍｍ以下、０．３〜０．５ｍｍ程度、軟
質な銅やアルミニウム材料などでは２ｍｍ以下、０．８
〜１．５ｍｍ程度が好適である。In this case, for processing the groove 6a, another device or chuck is used before vacuum suction. In addition, if suction is performed even if there is some warping, the suction may be performed in a state of vacuum suction. The bottom thickness t is such that one product is, for example, 100
When a square member with a square of mm is cut, the material is 1 mm or less, about 0.3 to 0.5 mm for a steel material, and 2 mm or less, 0.8 for a soft copper or aluminum material.
About 1.5 mm is preferable.

【００４３】なお、被加工材６から、各製品を切り離す
のは、前述したように、製品の加工が終了した時点で行
なう。これは、吸着プレート１に対する各製品の吸着力
が、相互に補強しあって、１個のみのときよりも大きく
なるからである。さらに、製品が１個のみのときよりも
位置決め安定性を高くすることができるからである。ま
た、以上の実施例では、被加工材から取り出す製品の個
数を４個としてきたが、これに限られるものではない。
個数が多いほど、吸着力は増大し、また量産加工に適用
したときに１回の段取りで多数の製品が得られることに
なり、その効果は大きい。The separation of each product from the workpiece 6 is performed at the time when the processing of the product is completed, as described above. This is because the attraction force of each product on the attraction plate 1 reinforces each other and is greater than when only one is used. Further, the positioning stability can be made higher than when only one product is provided. In the above embodiment, the number of products to be taken out of the workpiece is four, but is not limited to this.
The larger the number, the greater the attraction force, and when applied to mass production processing, a larger number of products can be obtained by one setup, and the effect is large.

【００４４】ところで、第５の実施例では、例えば、第
１の実施例のように、Ｏリング４の内周側に吸着面１１
が存在しないため、被加工材が薄い場合や加工により被
加工材が薄くなる場合、被加工材の中央部分が変形し
て、被加工材の平面度を得ることができなくなることが
考えられる。そこで、第５の実施例の変形例として、図
１８に示すように、真空パッド３４の中央部が周囲の吸
着面１１と同じレベルに成るよう、被加工材支持板３５
ｂを設けることにより、前記不具合を解決することがで
きる。しかし、被加工材支持板３５ｂの下部は弾性材で
ある真空パッド３４であるため、被加工材支持板３５ｂ
のレベル調整が難しく、真空パッド３４を保守交換する
たびに、真空パッド３４が損傷しないよう注意しなが
ら、被加工材支持板３５ｂの上面を研削するなどして、
レベル調整しなければならず、保守性の面であまり好ま
しくない。In the fifth embodiment, for example, as in the first embodiment, the suction surface 11 is provided on the inner peripheral side of the O-ring 4.
When the work material is thin or when the work material becomes thin due to the processing, the central portion of the work material may be deformed, and the flatness of the work material may not be obtained. Therefore, as a modified example of the fifth embodiment, as shown in FIG. 18, the workpiece support plate 35 is formed so that the center of the vacuum pad 34 is at the same level as the surrounding suction surface 11.
By providing b, the above problem can be solved. However, since the lower part of the workpiece support plate 35b is the vacuum pad 34 which is an elastic material, the workpiece support plate 35b
It is difficult to adjust the level, and every time the vacuum pad 34 is replaced, the upper surface of the workpiece support plate 35b is ground while taking care not to damage the vacuum pad 34.
The level must be adjusted, which is not very desirable in terms of maintainability.

【００４５】そこで、次に、被加工材が薄くても平面度
を保つことができ、かつ保守性の面で優れているものを
第６の実施例として、図１９および図２０を用いて説明
する。 本実施例では、第５の実施例における真空パッ
ド３４の変わりに、ゴム板を円環状に切断したパッキン
１２０を使用する。吸着プレート１ｃの凹部３３には、
チャック１０１がボルト１０２より固定されている。チ
ャック１０１の中央部１０３は、周囲の吸着面１１と同
じレベルになるよう形成されている。この中央部１０３
には、真空孔２が貫通していると共に、真空溝３が形成
されている。チャック１０１の外周端面と凹部３３の内
周面にはＯリング１０９が設けられている。チャック１
０１は、その中央部１０３より外周側に深さが異なる３
個の段部１０４，１０５，１０６が形成されており、内
周側の段部１０４が最も深く、外周側に向かうに連れて
深さが浅くなっている。最外周の段部１０６の深さの寸
法は、パッキン１２０の厚さの寸法より僅かに短くなる
ように形成されている。内周側の段部１０４には、リン
グ１１０が嵌まり込むようになっている。このリング１
１０の外周には、外周方向に突出する鍔１１１が形成さ
ている。パッキン１２０は、外周側の段部１０６および
中央の段部１０５上に載せられる。リング１１０は、そ
の後に、ボルト１０８でチャック１０１に固定される。
パッキン１２０は、中央の段部１０５とリング１１０の
鍔１１との間に挾まれて固定される。この際、固定され
たパッキン１２０の最外周は、外周側の段部１０６上に
あるため、吸着面１１より、僅かに突出する。この突出
量は、０．１〜１ｍｍ程度であることが好ましい。Next, a sixth embodiment which can maintain flatness even when the workpiece is thin and is excellent in maintainability will be described with reference to FIGS. 19 and 20. I do. In this embodiment, instead of the vacuum pad 34 in the fifth embodiment, a packing 120 obtained by cutting a rubber plate into an annular shape is used. In the concave portion 33 of the suction plate 1c,
A chuck 101 is fixed by a bolt 102. The central portion 103 of the chuck 101 is formed to be at the same level as the surrounding suction surface 11. This central part 103
Has a vacuum hole 2 penetrating therethrough and a vacuum groove 3 formed therein. O-rings 109 are provided on the outer peripheral end surface of the chuck 101 and the inner peripheral surface of the concave portion 33. Chuck 1
01 is different in depth from the central portion 103 toward the outer peripheral side.
The step portions 104, 105, and 106 are formed, and the step portion 104 on the inner peripheral side is the deepest, and the depth decreases toward the outer peripheral side. The depth dimension of the outermost step 106 is formed to be slightly shorter than the thickness dimension of the packing 120. The ring 110 fits into the step portion 104 on the inner peripheral side. This ring 1
A flange 111 protruding in the outer peripheral direction is formed on the outer periphery of 10. The packing 120 is placed on the step 106 on the outer peripheral side and the step 105 at the center. The ring 110 is then fixed to the chuck 101 with bolts 108.
The packing 120 is sandwiched and fixed between the center step 105 and the flange 11 of the ring 110. At this time, since the outermost periphery of the fixed packing 120 is on the outer peripheral step 106, the outermost periphery slightly protrudes from the suction surface 11. This protrusion amount is preferably about 0.1 to 1 mm.

【００４６】次に、本実施例の作用について説明する。
被加工材６を吸着プレート１ｃ上に載せて真空吸引す
る。吸着プレート１ｃとチャック１２０との間にはＯリ
ング１０９が装入されているため、この間の真空は保持
される。被加工材６は、真空孔２からの真空吸引によ
り、吸着プレート１ｃに吸着される。このとき、パッキ
ン１２０の最外周部分１２１は内周方向に強く引かれ、
ここと被加工材６の下面とが接触し、真空が保持され
て、被加工材６は強く吸い付けられることとなる。この
真空吸引の際において、被加工材６の中央部の下方に
は、周囲の吸着面１１と同じレベルになっているチャッ
ク１０１の中央部１０３が存在するため、被加工材６が
薄いものでも、その平面度を保つことができる。Next, the operation of this embodiment will be described.
The workpiece 6 is placed on the suction plate 1c and vacuum-suctioned. Since the O-ring 109 is inserted between the suction plate 1c and the chuck 120, the vacuum therebetween is maintained. The workpiece 6 is suctioned to the suction plate 1c by vacuum suction from the vacuum holes 2. At this time, the outermost peripheral portion 121 of the packing 120 is strongly pulled in the inner peripheral direction,
Here, the lower surface of the workpiece 6 comes into contact, the vacuum is maintained, and the workpiece 6 is strongly sucked. In this vacuum suction, since the central portion 103 of the chuck 101 is at the same level as the surrounding suction surface 11 below the central portion of the workpiece 6, even if the workpiece 6 is thin. , That flatness can be maintained.

【００４７】また、パッキン１２０が損傷して、これを
交換する場合には、リング１１０を外してパッキン１２
０を交換し、再び、単にリング１１０を取付ければ良
い。すなわち、被加工材６の中央部の支持には、パッキ
ン１２０の上に載るリング１１０は用いられず、チャッ
ク１０１自身がその役割を担っているため、第５の実施
例の変形例において説明したように、弾性体を交換する
たびに、レベル調整をする必要がなく、容易に保守を行
うことができる。また、本実施例において、パッキン１
２０を吸着面１１から１mm程度突出させることが可能な
ので、ある程度反りを持つ被加工材でも確実に吸着する
ことができる。When the packing 120 is damaged and replaced, the ring 110 is removed and the packing 12 is removed.
It is sufficient to replace 0 and simply attach the ring 110 again. That is, the ring 110 placed on the packing 120 is not used for supporting the central portion of the workpiece 6, and the chuck 101 itself plays the role, and thus the description is given in the modification of the fifth embodiment. Thus, it is not necessary to adjust the level each time the elastic body is replaced, and maintenance can be easily performed. In the present embodiment, the packing 1
Since the projection 20 can be made to protrude from the suction surface 11 by about 1 mm, it is possible to reliably suck a workpiece having a certain degree of warpage.

【００４８】本実施例においては、パッキン１２０とし
て、耐久性・耐油性の優れているバイトンを使用した。
パッキン１２０は、厚さ１mmのバイトン板を打ち抜き加
工したものを使用している。ここで、打ち抜き加工した
場合には、外周縁が多少ぎざぎざになるが、真空保持は
パッキン１２０の外周縁より僅かに内側の部分で行われ
るため、このように、単に打ち抜き加工をしたものを用
いても、真空保持能力には何ら影響を及ぼさない。この
結果、弾性材として、第１の実施例のようにＯリング４
や、第５の実施例のように吸着パッド３４を用いるより
も、コストダウンを図ることができる。In this embodiment, Viton having excellent durability and oil resistance is used as the packing 120.
The packing 120 is obtained by punching a 1 mm thick viton plate. Here, in the case of punching, the outer peripheral edge is slightly jagged, but since vacuum holding is performed at a portion slightly inside the outer peripheral edge of the packing 120, the one which is simply punched in this way is used. However, it does not affect the vacuum holding ability at all. As a result, the O-ring 4 is used as the elastic material as in the first embodiment.
Also, the cost can be reduced as compared with the case where the suction pad 34 is used as in the fifth embodiment.

【００４９】なお、以上の各種実施例において、吸着プ
レートが、水平である場合について述べたが、本発明は
これに限定されるものではなく、例えば、垂直な面への
チャッキングの場合に適用しても良い。特に、垂直面に
チャッキングすることは、一般的に、被加工材が浮き上
るなどの障害が生じやすい。これに対して、本発明によ
れば、吸着力が大幅に増加するので、その姿勢には影響
されない。したがって、垂直面へのチャッキングは、本
発明の効果がより明瞭に現れる。特に、第４の実施例で
は、ワンタッチのチャッキングが可能となり、その効果
は著しいものである。In the various embodiments described above, the case where the suction plate is horizontal has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, the present invention is applied to the case of chucking on a vertical surface. You may. In particular, chucking on a vertical surface generally tends to cause an obstacle such as a floating work material. On the other hand, according to the present invention, since the attraction force is greatly increased, the posture is not affected. Therefore, the chucking on the vertical plane clearly shows the effect of the present invention. In particular, in the fourth embodiment, one-touch chucking becomes possible, and the effect is remarkable.

【００５０】また、以上の実施例では、真空チャック装
置についてのみ説明したが、被加工材を加工する研削刃
や研削砥石と、研削刃や研削砥石を被加工材に対して相
対的に移動させる移動機構等を設けることにより、加工
装置を構成することができるのとは言うまでもない。ま
た、本発明は、加工対象である被加工材をチャックする
場合にのみならず、単にワークを特定の場所に搬送する
ために、ワークを保持しなければならないときに適用し
ても良い。In the above embodiment, only the vacuum chuck device has been described. However, a grinding blade or a grinding wheel for processing a workpiece and a grinding blade or a grinding wheel are relatively moved with respect to the workpiece. It goes without saying that a processing device can be configured by providing a moving mechanism or the like. Further, the present invention may be applied not only to chucking a workpiece to be processed, but also to a case where the workpiece must be held simply to convey the workpiece to a specific place.

【００５１】[0051]

【発明の効果】本発明によれば、真空吸着方式を採用し
ているので、ねじ締めなどの作業者の手間を省けると供
に、弾性体により真空シールが行なえるので、吸着面に
対するワークの吸着力を大幅に増大させることができ、
ワークを確実に保持することができる。According to the present invention, since the vacuum suction system is employed, the labor of the operator such as screw tightening can be saved, and the vacuum seal can be performed by the elastic body. Adsorption power can be greatly increased,
The work can be held securely.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】図２におけるI−I線断面図である。FIG. 1 is a sectional view taken along line II in FIG.

【図２】本発明に係る真空チャック装置の第１の実施例
の上面図である。FIG. 2 is a top view of the first embodiment of the vacuum chuck device according to the present invention.

【図３】図４におけるIII−III線断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG.

【図４】本発明に係る真空チャック装置の第２の実施例
の上面図である。FIG. 4 is a top view of a second embodiment of the vacuum chuck device according to the present invention.

【図５】図６におけるＶ−Ｖ線断面図である。FIG. 5 is a sectional view taken along line VV in FIG. 6;

【図６】真空チャック装置の第２の実施例の変形例の上
面図である。FIG. 6 is a top view of a modification of the second embodiment of the vacuum chuck device.

【図７】図８におけるVII−VII線断面図である。FIG. 7 is a sectional view taken along line VII-VII in FIG.

【図８】本発明に係る真空チャック装置の第３の実施例
の上面図である。FIG. 8 is a top view of a third embodiment of the vacuum chuck device according to the present invention.

【図９】真空チャック装置の第３の実施例の要部拡大断
面図である。FIG. 9 is an enlarged sectional view of a main part of a third embodiment of the vacuum chuck device.

【図１０】図１１におけるＸ−Ｘ線断面図である。FIG. 10 is a sectional view taken along line XX in FIG. 11;

【図１１】本発明に係る真空チャック装置の第４の実施
例の上面図である。FIG. 11 is a top view of a fourth embodiment of the vacuum chuck device according to the present invention.

【図１２】本発明に係る真空チャック装置の固定爪の上
面図である。FIG. 12 is a top view of a fixed claw of the vacuum chuck device according to the present invention.

【図１３】被加工材を吸着した際の図１１におけるＸ−
Ｘ線断面図である。FIG. 13 is a cross-sectional view taken along a line X-
It is an X-ray sectional view.

【図１４】図１５におけるXIV−XIV線断面図である。14 is a sectional view taken along line XIV-XIV in FIG.

【図１５】本発明に係る真空チャック装置の第５の実施
例の上面図である。FIG. 15 is a top view of a fifth embodiment of the vacuum chuck device according to the present invention.

【図１６】被加工材の加工手順を説明するための被加工
材の上面図である。FIG. 16 is a top view of a workpiece for describing a processing procedure of the workpiece.

【図１７】図１６におけるXVII−XVII線断面図である。17 is a sectional view taken along line XVII-XVII in FIG.

【図１８】本発明に係る真空チャック装置の第５の実施
例の変形例の要部断面図である。FIG. 18 is a sectional view of a main part of a modified example of the fifth embodiment of the vacuum chuck device according to the present invention.

【図１９】図２０におけるIXX−IXX線断面図である。FIG. 19 is a sectional view taken along line IXX-IXX in FIG. 20;

【図２０】本発明に係る真空チャック装置の第６の実施
例の上面図である。FIG. 20 is a top view of a sixth embodiment of the vacuum chuck device according to the present invention.

【図２１】従来の真空チャック装置の上面図である。FIG. 21 is a top view of a conventional vacuum chuck device.

【図２２】従来の真空チャック装置の側面図である。FIG. 22 is a side view of a conventional vacuum chuck device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１，１ａ，１ｂ，１ｃ…吸着プレート、２…真空孔、３
…真空溝、４…Ｏリング、５…Ｏリング溝、６…被加工
材、１１…吸着面、１２…位置決めピン、１４…スライ
ダ、１５…スプリング、１８…リーク孔、２０…固定
爪、２１…可動爪、２２…支えゴマ、２３…押出ゴマ、
２６…受圧板、２８…吸着ゴマ、２９…真空導入孔、３
０…高圧空気導入孔、３１…低圧空気導入孔、３４…吸
着パッド、１２０…パッキン。1, 1a, 1b, 1c: suction plate, 2: vacuum hole, 3
... Vacuum groove, 4 ... O-ring, 5 ... O-ring groove, 6 ... Work material, 11 ... Suction surface, 12 ... Positioning pin, 14 ... Slider, 15 ... Spring, 18 ... Leak hole, 20 ... Fixing claw, 21 … Movable claw, 22… support sesame, 23… extrusion sesame,
26: pressure receiving plate, 28: suction sesame, 29: vacuum introduction hole, 3
0 ... high pressure air introduction hole, 31 ... low pressure air introduction hole, 34 ... suction pad, 120 ... packing.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷 光清 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社 日立製作所 神奈川工場内 (56)参考文献 特開 昭60−94288（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−139148（ＪＰ，Ａ) 実開 昭55−142291（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭49−100069（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−17159（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭40−21385（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B25J 15/06 B23Q 3/08──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (72) Inventor Mitsunori Tani 1 Horiyamashita, Hadano-shi, Kanagawa Hitachi, Ltd. Kanagawa Plant (56) References JP-A-60-94288 (JP, A) JP-A-2 139148 (JP, A) Japanese Utility Model Showa 55-142291 (JP, U) Japanese Utility Model Showa 49-100069 (JP, U) Japanese Utility Model Showa 59-17159 (JP, U) Japanese Patent Publication 40-21385 (JP, B1) (58) Field surveyed (Int.Cl. ⁶ , DB name) B25J 15/06 B23Q 3/08

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】ワークを吸着する吸着面と、該吸着面に臨
んでいる真空孔と、が形成されている真空吸着板を備え
ている真空チャック装置において、その厚さ方向に貫通した開口が形成されている環状弾性
板と、 前記環状弾性板を前記真空吸着板に取り付ける環状取付
具と、 を備え、 前記真空吸着板には、前記吸着面として、前記真空孔を
中心とする中央吸着面と、該中央吸着面と同じレベルで
あって該中央吸着面の外周側に位置している外周吸着面
とが形成されていると共に、該中央吸着面と該外周吸着
面との間に、該真空孔を中心とする環状溝が形成され、 前記環状溝の溝底には、外周側から前記真空孔に向って
階段状に深まって行き且つ該真空孔を中心としてそれぞ
れが環状を成している、少なくとも二つの段差面が形成
され、 前記環状弾性板の外径は、少なくとも二つの前記段差面
のうちの外周側段差面の内径よりも大きく、該環状弾性
板の内径は、前記中央吸着面の外径よりも大きく、 前記環状取付具の外径は、少なくとも二つの前記段差面
のうちの内周側段差面の外径よりも小さく且つ前記環状
弾性板の内径よりも大きく、該環状取付具の内径は、前
記中央吸着面の外径よりも大きく、 前記環状弾性板は、その内周側部分が前記内周側段差面
上に載り、前記環状取付具の外周側部分で該内周側段差
面に押え付けられ、その外周側部分が前記外周側段差面
上に載って前記吸着面から突出し、 前記環状取付具は、前記環状弾性板を押え付けている状
態において、前記環状溝内に収まり、前記吸着面から突
出していないことを特徴とする真空チャック装置。 An adsorbing surface for adsorbing a work;
And a vacuum suction plate formed with
In a vacuum chuck device, an opening is formed through the thickness direction of the annular elastic
A plate and an annular attachment for attaching the annular elastic plate to the vacuum suction plate
Comprising a tool, and wherein the vacuum suction plate, as the suction surface, the vacuum holes
At the same level as the central suction surface as the center and the central suction surface
And an outer peripheral suction surface located on the outer peripheral side of the central suction surface.
Are formed, and the center suction surface and the outer periphery suction surface are formed.
An annular groove centered on the vacuum hole is formed between the surface and the bottom surface of the annular groove.
Go deeper in steps and center around the vacuum hole
At least two step surfaces forming an annular shape
Is the outer diameter of the annular elastic plate is at least two of said stepped surface
Larger than the inner diameter of the step surface on the outer peripheral side,
The inner diameter of the plate is larger than the outer diameter of the central suction surface, and the outer diameter of the annular fitting is at least two of the step surfaces.
Of which is smaller than the outer diameter of the inner peripheral step surface and the annular shape
Larger than the inner diameter of the elastic plate,
The annular elastic plate is larger than the outer diameter of the central suction surface , and the inner peripheral portion of the annular elastic plate has the inner peripheral step surface.
On the inner peripheral side step at the outer peripheral portion of the annular fixture
Surface, and its outer peripheral portion is the outer peripheral step surface.
The annular mounting member is placed on the upper surface and protrudes from the suction surface, and is pressed against the annular elastic plate.
In the state, it fits in the annular groove and projects from the suction surface.
A vacuum chuck device characterized in that it is not ejected. 【請求項２】請求項１に記載の真空チャック装置におい
て、 前記真空孔と前記環状弾性板と前記環状取付具とが複数
組有することを特徴と する 真空チャック装置。2. The vacuum chuck device according to claim 1, wherein
A plurality of the vacuum holes, the annular elastic plate, and the annular fixture;
Vacuum chuck apparatus characterized by having set. 【請求項３】請求項１及び２のいずれか一項に記載の真
空チャック装置において、 前記真空吸着板は、前記環状溝の外周側側壁又は内周側
側壁を境にする内側部材と外側部材とを有して構成され
ていることを特徴とする真空チャック装置。3. The method according to claim 1, wherein
The air chuck device, the vacuum suction plate, the outer circumferential side wall or the inner peripheral side of the annular groove
Vacuum chuck device you wherein being configured to have a side member and an outer side member inner to the boundary of the side wall. 【請求項４】請求項１から３のいずれか一項に記載の真
空チャック装置において、 前記ワークの前記吸着面上の位置を定める 位置決め部材
を有し、 前記位置決め部材は、前記真空吸着板の前記外周吸着面
から突出している状態から、前記ワークに対する真空吸
引により前記真空吸着板内に沈み込み可能に設けられて
いると共に、前記真空吸引力よりも弱い力で突出方向に
付勢されていることを特徴とする真空チャック装置。4. The method according to claim 1, wherein
In the empty chuck device, a positioning member that determines a position of the work on the suction surface is provided , wherein the positioning member is the outer circumferential suction surface of the vacuum suction plate.
From the state of being protruded from the workpiece , is provided so as to be able to sink into the vacuum suction plate by vacuum suction on the work, and is urged in a protruding direction with a force weaker than the vacuum suction force. vacuum chuck device you. 【請求項５】請求項１から４のいずれか一項に記載の真
空チャック装置において、 前記ワークに対する真空吸引により、前記吸着面上の前
記ワークを締め付けて固定する締付爪機構を有し、 前記真空吸着板には、前記真空孔と連通した空間が形成
され、 前記締付爪機構は、 前記吸着板上で移動して、前記吸着面上の前記ワークを
締め付ける可動爪と、 前記吸着板に固定され、前記可動爪が移動可能に連結さ
れている支えゴマと、 前記可動爪と支えゴマとの間で、前記空間に近づく方向
へ移動して前記可動爪をワーク締付方向に移動させる押
出ゴマと、 前記空間内を、前記真空孔側の空間と前記押出しゴマ側
の空間とに仕切る受圧板と、 前記押出ゴマと前記受圧板とを連結する連結部材と、 前記ワークに対して真空吸引した際に前記受圧板にかか
る真空吸引力よりも弱い力で、該受圧板を前記押出ゴマ
側へ付勢する付勢部材と、 を有していることを特徴とする真空チャック装置。 5. The method according to claim 1, wherein
In the empty chuck device, the vacuum suction on the workpiece causes
It has a tightening claw mechanism for tightening and fixing the work, and the vacuum suction plate has a space formed in communication with the vacuum hole.
The clamping claw mechanism moves on the suction plate to move the work on the suction surface.
A movable claw to be fastened is fixed to the suction plate, and the movable claw is movably connected.
Between the movable claw and the supporting sesame, and the direction approaching the space.
To move the movable claw in the workpiece tightening direction.
Outgoing sesame and the inside of the space, the space on the vacuum hole side and the extruded sesame side
A pressure receiving plate for partitioning the extruded sesame and the pressure receiving plate, and a pressure receiving plate when the vacuum suction is performed on the work.
The pressure receiving plate is pressed with the extruded sesame
And a biasing member for biasing to the side . 【請求項６】請求項１から５のいずれか一項に記載の真
空チャック装置と、 前記真空チャック装置の前記吸着面に吸着した前記ワー
クを研削する砥石又はバイトと、 前記砥石又は前記バイトと前記真空チャック装置の前記
真空吸着板とのうち、少なくとも一方を相対移動させる
移動機構と、 を備えていることを特徴とする加工装置。6. The vacuum chuck device according to claim 1 , wherein the grindstone or the tool for grinding the work sucked on the suction surface of the vacuum chuck device; and the grindstone or the tool. A moving mechanism for relatively moving at least one of the vacuum chuck plate and the vacuum suction plate of the vacuum chuck device. 【請求項７】ワークを真空吸引しつつ加工して、該ワー
クから複数の製品を取り出すワークの加工方法におい
て、 前記ワークとして、複数の前記製品となる個々の部分
（以下、製品形成部とする。）が平面上に並んでいるも
のを準備すると共に、 前記ワークを吸着する吸着面、及び、該吸着面に臨み且
つ該ワークの複数の前記製品形成部の数量以上の数の真
空孔が形成されている真空吸着板を有していると共に、
各真空孔の回りを囲み且つ該吸着面から突出している複
数の環状弾性体を有している真空チャック装置を準備
し、 前記真空チャック装置で前記ワークを真空チャックする
前に、又は真空チャック中に、前記ワークの複数の製品
形成部相互の境目に溝を形成し、 前記真空チャック装置の複数の環状弾性体の上に、前記
ワークの各製品形成部を置き、複数の前記真空孔から前
記ワークの各製品形成部を真空吸引して、該ワークを真
空チャックし、 前記真空チャック中の前記ワークの各製品形成部に対し
て前記加工を施してから、該ワークの前記溝に沿って各
製品形成部相互を切り離すことを特徴とするワークの加
工方法。 7. The work is processed while vacuum-sucking the work.
The method of processing a workpiece that takes out multiple products from a workpiece
Te, as the workpiece, each portion comprising a plurality of said product
(Hereinafter, referred to as product forming part) are arranged on a plane.
And a suction surface for sucking the work, and
More than the number of the product forming sections of the workpiece
Having a vacuum suction plate in which holes are formed,
A complex surrounding each vacuum hole and protruding from the suction surface.
Prepare vacuum chuck device with number of annular elastic bodies
Then, the work is vacuum chucked by the vacuum chuck device.
Before or during the vacuum chuck, a plurality of products of the workpiece
A groove is formed at the boundary between the forming portions, and the plurality of annular elastic bodies of the vacuum chuck device are
Place each product forming part of the work, and forward from a plurality of the vacuum holes
Vacuum each product forming part of the work and clean the work.
Empty chuck, for each product forming part of the work in the vacuum chuck
After performing the above-mentioned processing,
Addition of workpieces characterized by separating product forming parts from each other
Construction method.