JP2768125B2 - Composite floating head slider - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置に関
し、特に浮動ヘッドスライダに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk drive, and more particularly to a floating head slider.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来の磁気ディスク装置では、装置の起
動・停止に、ほとんどコンタクト・スタート・ストップ
（ＣＳＳ）方式を用いている。これは、磁気ディスクと
浮動ヘッドスライダが接触した状態で磁気ディスク装置
の起動・停止を行なう方式であり、装置が停止している
状態で浮動ヘッドスライダと磁気ディスクが吸着するこ
とを避けるために、磁気ディスク面上を適度に荒らす必
要があった。このため、浮動ヘッドスライダの浮上量を
必要以上に確保しなければならず、記憶密度向上の妨げ
となってきた。更にＣＳＳを行う際の摩擦・摩耗に係る
粉塵の発生も避けられず、装置の信頼性向上を妨げる要
因となっている。ところが、磁気ディスク装置の高記録
密度化、高速アクセス化、高転送レート化の要望は著し
く、浮動ヘッドスライダの低浮上化を進めなければなら
ない状況にある。面記録密度の高密度化や、垂直磁気記
録を実現するために、磁気ヘッドの浮上量は０．０５ミ
クロン以下に近づこうとしているが、それに伴って浮動
ヘッドスライダの圧力発生面及び磁気ディスク表面の平
滑度を必然的に上げる必要が生じ、その結果、先に述べ
た粉塵によるヘッドクラッシュや磁気ディスクと浮動ヘ
ッドスライダの吸着の危険性が高まっている。浮動ヘッ
ドスライダと磁気ディスクの吸着の問題を解決する手段
としては、浮動ヘッドスライダと磁気ディスクを接触さ
せないで磁気ディスク装置の起動・停止を行う浮動ヘッ
ドスライダロードアンロード機構が開発されてきてい
る。2. Description of the Related Art In a conventional magnetic disk drive, a contact start / stop (CSS) system is almost used for starting / stopping the drive. This is a method in which the magnetic disk device is started / stopped while the magnetic disk and the floating head slider are in contact with each other.In order to avoid the floating head slider and the magnetic disk being attracted while the device is stopped, The surface of the magnetic disk had to be appropriately roughened. For this reason, the flying height of the floating head slider must be secured more than necessary, which has hindered an improvement in storage density. Further, the generation of dust related to friction and wear when performing CSS is inevitable, which is a factor that hinders improvement in the reliability of the apparatus. However, demands for higher recording density, higher speed access, and higher transfer rate of the magnetic disk drive are remarkable, and there is a situation where the flying height of the floating head slider must be reduced. The flying height of the magnetic head is approaching 0.05 micron or less in order to achieve higher areal recording density and perpendicular magnetic recording. As a result, it is necessary to increase the smoothness of the head, and as a result, the risk of head crash due to dust and the attraction of the magnetic disk and the floating head slider is increased. As means for solving the problem of suction between the floating head slider and the magnetic disk, a floating head slider load / unload mechanism for starting / stopping the magnetic disk device without bringing the floating head slider into contact with the magnetic disk has been developed.

【０００３】一方、高速アクセスを実現するために、ア
クセス時の加速度が増大しているが、最大加減速時にお
ける浮動ヘッドスライダの姿勢変動を極力抑え、磁気デ
ィスクとの接触を避けるために浮動ヘッドスライダを小
型化し、重心まわりの慣性モーメントを低減する傾向に
ある。On the other hand, the acceleration at the time of access is increasing in order to realize high-speed access. However, in order to minimize the fluctuation of the attitude of the floating head slider at the time of maximum acceleration / deceleration and to avoid contact with the magnetic disk, There is a tendency to reduce the size of the slider and reduce the moment of inertia around the center of gravity.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】０．０５ミクロン以下
の浮上領域では、磁気ディスク表面の保護膜や潤滑剤の
ことを考慮すると浮動ヘッドスライダと磁気ディスク
は、断続的に接触している可能性が高い。そのため、接
触による磁気ディスクの破損や磁気ディスク表面のスク
ラッチ等の発生を最小限度に抑えるためには浮動ヘッド
スライダを小型にすることが望ましい。この小型化は先
に述べたように、高速アクセスを実現するためにも好都
合である。ところが、浮動ヘッドスライダの小型化、低
浮上化の過程において、浮動ヘッドスライダにロードス
プリング等によって加えられる荷重は相当減少する。こ
のためロードスプリングの曲げ加工による荷重制御が困
難になってくる。さらに、浮動ヘッドスライダそのもの
が小型になっているため、サスペンションに正確にアセ
ンブリすることも困難になる。また、先に述べたよう
に、磁気ディスク装置停止時において、浮動ヘッドスラ
イダと磁気ディスクの吸着を避ける目的でロードアンロ
ード機構を使用する場合、正圧利用浮動ヘッドスライダ
では、小型化によって正圧発生力が減少しているため、
浮動ヘッドスライダを磁気ディスク表面に近づけ、定常
浮上状態にするロード時において、磁気ディスクと浮動
ヘッドスライダの接触の危険性が非常に高くなる。負圧
利用浮動ヘッドスライダでは、流体アクチュエータ作用
によって自発的にロードされる浮上隙間まで浮動ヘッド
スライダをロードアンロード機構によってロードする必
要があるが、やはり浮動ヘッドスライダの小型化によっ
て負圧発生力が減少しているため、ロード開始浮上隙間
はサブミクロン程度になり、浮動ヘッドスライダと磁気
ディスクをその間隔に近づけるよう制御することは決し
て容易ではない。さらに、電磁変換素子の電気信号通信
路たるリード線は、現状では銅線等によって電磁変換素
子から直接引き出されるため、浮動ヘッドスライダの小
型化にともなって、ディスク回転に伴って発生する空気
流によって、リード線が振動し、その外乱によって、ス
ライダの浮上量が変動し、データのリードライト信号強
度が変動する事によって、エラーレートが高くなること
や、サーボ特性の悪化を招く可能性がある。また、最悪
スライダとディスクの接触が生じることも考えられる。In the flying region of 0.05 μm or less, the floating head slider and the magnetic disk may be intermittently contacted in consideration of the protective film and the lubricant on the surface of the magnetic disk. Is high. Therefore, it is desirable to reduce the size of the floating head slider in order to minimize the occurrence of damage to the magnetic disk and scratches on the surface of the magnetic disk due to contact. This miniaturization is convenient for realizing high-speed access as described above. However, in the process of reducing the size and lowering the flying height of the floating head slider, the load applied to the floating head slider by a load spring or the like is considerably reduced. For this reason, it becomes difficult to control the load by bending the load spring. Further, since the floating head slider itself is small, it is difficult to accurately assemble the suspension onto the suspension. Also, as described above, when the load / unload mechanism is used to avoid the suction of the floating head slider and the magnetic disk when the magnetic disk drive is stopped, the positive pressure utilizing floating head slider is reduced in size by reducing the positive pressure. Because the power is reduced,
At the time of loading in which the floating head slider is brought close to the surface of the magnetic disk and is brought into a steady flying state, the risk of contact between the magnetic disk and the floating head slider becomes extremely high. In a floating head slider utilizing negative pressure, it is necessary to load the floating head slider by a load / unload mechanism to a floating gap which is spontaneously loaded by the action of a fluid actuator. Because of the decrease, the load start flying gap is on the order of submicron, and it is not easy to control the distance between the floating head slider and the magnetic disk to be close to the distance. Furthermore, since the lead wire, which is an electric signal communication path of the electromagnetic transducer, is currently drawn directly from the electromagnetic transducer by a copper wire or the like, with the miniaturization of the floating head slider, the air flow generated by the rotation of the disk causes In addition, the lead wire vibrates, and the disturbance causes the flying height of the slider to fluctuate and the data read / write signal strength to fluctuate, which may lead to an increase in the error rate and deterioration of the servo characteristics. It is also conceivable that the worst case would be contact between the slider and the disk.

【０００５】本発明の目的は以上の問題点を解決し、磁
気ヘッドを搭載する浮動ヘッドスライダの小型化を容易
にし、磁気ディスクと浮動ヘッドスライダの吸着及び接
触を抑制しつつ、サブサブミクロン領域の浮上量を信頼
性高く実現する複合浮動ヘッドスライダを提供すること
にある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, to facilitate the miniaturization of a floating head slider on which a magnetic head is mounted, and to suppress the attraction and contact between a magnetic disk and a floating head slider, and to reduce the size of a sub-submicron region. An object of the present invention is to provide a composite floating head slider that achieves a flying height with high reliability.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】第１の発明は、双胴型の
正圧空気軸受面と前記正圧空気軸受面に実質的に囲まれ
た負圧発生面を有し、かつ少なくとも一つ以上の電磁変
換素子を搭載した第一の負圧利用浮動ヘッドスライダ
と、前記第一の負圧利用浮動ヘッドスライダを支えるサ
スペンション機構と、前記サスペンション機構を支持す
る第二の負圧利用浮動ヘッドスライダとが一体形成さ
れ、かつ前記第一及び第二の負圧利用浮動ヘッドスライ
ダの正圧空気軸受面を同一平面上に形成し、前記第一の
負圧利用浮動ヘッドスライダを支えるサスペンション機
構は、前記第一の負圧利用浮動ヘッドスライダの正圧空
気軸受面の外周部分において一体構造をなし、かつ前記
第一及び第二の負圧利用浮動ヘッドスライダの実質的な
空気軸受作用を提供する後端面は同一平面内に加工さ
れ、かつ前記電磁変換素子の電気信号通信路たるリード
線の一部が、前記第一の負圧利用浮動ヘッドスライダを
支えるサスペンション機構上及び、第一及び第二の負圧
利用浮動ヘッドスライダ上に薄膜状に形成されることを
特徴とする。According to a first aspect of the present invention, there is provided a twin-body type positive-pressure air bearing surface, a negative-pressure generating surface substantially surrounded by the positive-pressure air bearing surface, and at least one negative-pressure generating surface. A first negative pressure utilizing floating head slider equipped with the above-described electromagnetic transducer, a suspension mechanism supporting the first negative pressure utilizing floating head slider, and a second negative pressure utilizing floating head slider supporting the suspension mechanism Are formed integrally, and the positive pressure air bearing surfaces of the first and second negative pressure utilizing floating head sliders are formed on the same plane, and a suspension mechanism supporting the first negative pressure utilizing floating head slider comprises: The first negative pressure utilizing floating head slider has an integral structure at an outer peripheral portion of the positive pressure air bearing surface thereof, and provides a substantial air bearing action of the first and second negative pressure utilizing floating head sliders. The rear end face is machined in the same plane, and a part of a lead wire as an electric signal communication path of the electromagnetic transducer is mounted on a suspension mechanism supporting the first negative pressure utilizing floating head slider, and a first and a second. Is formed in a thin film on the negative pressure utilizing floating head slider.

【０００７】第２の発明は 第１の発明において、サス
ペンション機構を支持する第二の負圧利用浮動ヘッドス
ライダに代えて、サスペンション機構を支持する正圧利
用浮動ヘッドスライダを用いることを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, a positive pressure utilizing head slider supporting the suspension mechanism is used in place of the second negative pressure utilizing head slider supporting the suspension mechanism. .

【０００８】[0008]

【実施例】第１の発明の実施例について図面を用いて説
明する。An embodiment of the first invention will be described with reference to the drawings.

【０００９】図１は第１の発明に係わる複合浮動ヘッド
スライダの実施例を示す図であり、（ａ）は平面図、
（ｂ）は複合浮動ヘッドスライダをトレーリングエッジ
側から見た側面図である。この複合浮動ヘッドスライダ
１は負圧利用大スライダ２０と負圧利用小スライダ２１
から構成されており、いずれもフロントリセス２，３、
クロスレール４，５、負圧発生リセス６，７、正圧発生
レール８，９，１０，１１から構成され、各々が、一体
成形されたサスペンション１２によって接合されてい
る。このサスペンション１２は、負圧利用小スライダ２
１のピッチ、ロール方向の運動を抑制する効果を備えて
いる。FIG. 1 is a view showing an embodiment of a composite floating head slider according to the first invention, wherein FIG.
(B) is a side view of the composite floating head slider viewed from the trailing edge side. The composite floating head slider 1 comprises a large slider 20 utilizing negative pressure and a small slider 21 utilizing negative pressure.
, All of which are front recesses 2, 3,
It comprises cross rails 4 and 5, negative pressure generating recesses 6 and 7, and positive pressure generating rails 8, 9, 10, and 11, each of which is joined by an integrally formed suspension 12. The suspension 12 is a small slider 2 using a negative pressure.
1 has the effect of suppressing movement in the pitch and roll directions.

【００１０】図２は複合浮動ヘッドスライダ１の斜視図
であり、電磁変換素子３１のリード線の配線状態を示し
ている。電磁変換素子３１の形成と同時に形成されるリ
ード線３２は、大小の負圧利用スライダ２０，２１と、
各々のスライダと一体構造をなすサスペンション１２上
にわたって形成されるリード線３３の一端に接続され、
リード線３３の他端は、負圧利用大スライダ２０上で、
銅線３４に接続されている。FIG. 2 is a perspective view of the composite floating head slider 1 and shows a wiring state of lead wires of the electromagnetic transducer 31. The lead wires 32 formed at the same time as the formation of the electromagnetic transducer 31 include large and small negative pressure utilizing sliders 20 and 21,
Each slider is connected to one end of a lead wire 33 formed over the suspension 12 forming an integral structure with each slider,
The other end of the lead wire 33 is on the negative pressure utilizing large slider 20,
Connected to copper wire 34.

【００１１】次にロードアンロード機構を用いて複合浮
動ヘッドスライダを定常浮上状態へロードする動作を図
３（ａ），（ｂ）を用いて説明する。まず、複合浮動ヘ
ッドスライダにおいて負圧利用大スライダ２０の定常浮
上量は０．２〜０．３ミクロン程度、負圧利用小スライ
ダ２１は０．０３〜０．０５ミクロン程度に設計されて
いる。Next, the operation of loading the composite floating head slider to the steady flying state using the load / unload mechanism will be described with reference to FIGS. 3 (a) and 3 (b). First, in the composite floating head slider, the steady flying height of the large slider 20 utilizing negative pressure is designed to be about 0.2 to 0.3 microns, and the small slider 21 utilizing negative pressure is designed to be about 0.03 to 0.05 microns.

【００１２】図３（ａ）では、ロードサスペンション２
３は曲げ荷重なしで使用するため、まずロードアンロー
ド機構２４が、負圧利用大スライダ２０を支持するロー
ドサスペンション２３を、磁気ディスク２５の表面の方
向へ押し下げ、負圧利用大スライダ２０に生じる負圧発
生力がロードサスペンション２３の反力より大きくなる
位置まで負圧利用大スライダ２０を移動させる。その
後、負圧利用大スライダ２０は、回転する磁気ディスク
２５との間を流れる空気流と負圧利用大スライダ２０下
面の形状によって生じる負圧力による流体アクチュエー
タ作用によって、ロードサスペンション２３の反力と負
圧力がつりあう定常浮上状態へ自発的に移行する。In FIG. 3A, the road suspension 2
Since No. 3 is used without bending load, first, the load / unload mechanism 24 pushes down the load suspension 23 supporting the negative pressure utilizing large slider 20 in the direction of the surface of the magnetic disk 25, and is generated on the negative pressure utilizing large slider 20. The negative pressure utilizing large slider 20 is moved to a position where the negative pressure generating force is greater than the reaction force of the load suspension 23. Thereafter, the negative pressure utilizing large slider 20 causes the reaction force of the load suspension 23 and the negative force by the fluid actuator action by the air flow flowing between the rotating magnetic disk 25 and the negative pressure generated by the shape of the lower surface of the negative pressure utilizing large slider 20. Spontaneous transition to a steady levitation state where the pressures balance.

【００１３】図３（ｂ）は負圧利用小スライダ２１がロ
ードされる様子を示す。負圧利用小スライダ２１が流体
アクチュエータ作用によって自発的にロードを開始する
浮上隙間を負圧利用大スライダ２０の定常浮上量より若
干大きく設定しておくと、負圧利用大スライダ２０のロ
ードが完了した時点付近で負圧利用小スライダ２１のロ
ードが自発的に開始され、負圧利用小スライダ２１を支
持するサスペンション１２の反力と負圧力がつりあう定
常浮上状態へ移行し、完全にリードライトが行える状態
になる。アンロードについては、磁気ディスク２５の回
転が遅くなると、負圧発生力が減少し、サスペンション
１２の反力で自然にアンロードされる。FIG. 3B shows how the small slider 21 utilizing negative pressure is loaded. If the floating clearance at which the negative pressure utilizing small slider 21 starts loading spontaneously by the action of the fluid actuator is set slightly larger than the steady flying height of the negative pressure utilizing large slider 20, the loading of the negative pressure utilizing large slider 20 is completed. Near the point of time, the loading of the negative pressure utilizing small slider 21 is spontaneously started, and a transition is made to a steady floating state in which the reaction force of the suspension 12 supporting the negative pressure utilizing small slider 21 and the negative pressure are balanced, and the read / write operation is completely completed. Now you can do it. Regarding unloading, when the rotation of the magnetic disk 25 is slowed, the negative pressure generating force is reduced, and the unloading is naturally performed by the reaction force of the suspension 12.

【００１４】図４は第２の発明に係わる複合浮動ヘッド
スライダの実施例を示す図であり、（ａ）は平面図、
（ｂ）は複合浮動ヘッドスライダをトレーリングエッジ
側から見た側面図である。この複合浮動ヘッドスライダ
１００は正圧利用大スライダ１２０と負圧利用小スライ
ダ１２１からなり、正圧利用大スライダ１２０は正圧発
生レール１０３，１０４、テーパ１０５，１０６から構
成され、負圧利用小スライダ１２１はフロントリセス１
０７、クロスレール１０８、負圧発生リセス１０９、正
圧発生レール１１０，１１１から構成され、各々が、一
体成形されたサスペンション１１２によって接合されて
いる。このサスペンション１１２は負圧利用小スライダ
１２１のピッチ、ロール方向の運動を抑制する効果を備
えている。FIG. 4 is a view showing an embodiment of a composite floating head slider according to the second invention, wherein FIG.
(B) is a side view of the composite floating head slider viewed from the trailing edge side. The composite floating head slider 100 includes a large slider 120 using a positive pressure and a small slider 121 using a negative pressure. The large slider 120 using a positive pressure is composed of positive pressure generating rails 103 and 104, and tapers 105 and 106. Slider 121 is front recess 1
07, a cross rail 108, a negative pressure generating recess 109, and positive pressure generating rails 110 and 111, each of which are joined by an integrally formed suspension 112. The suspension 112 has the effect of suppressing the movement of the small slider 121 using the negative pressure in the pitch and roll directions.

【００１５】次にロードアンロード機構を用いて複合浮
動ヘッドスライダを定常浮上状態へロードする動作を図
５（ａ），（ｂ）を用いて説明する。まず、複合浮動ヘ
ッドスライダにおいて正圧利用大スライダ１２０の定常
浮上量は０．２〜０．３ミクロン程度、負圧利用小スラ
イダ１２１は０．０３〜０．０５ミクロン程度に設計さ
れている。Next, the operation of loading the composite floating head slider to the steady flying state using the load / unload mechanism will be described with reference to FIGS. 5 (a) and 5 (b). First, in the composite floating head slider, the steady flying height of the large slider 120 utilizing positive pressure is designed to be about 0.2 to 0.3 microns, and the small slider 121 utilizing negative pressure is designed to be about 0.03 to 0.05 microns.

【００１６】図５（ａ）では、アンロード状態ではロー
ドアンロード機構１２４が、正圧利用大スライダ１２０
を支持するロードサスペンション１２３を支持してお
り、ローど開始とともにロードアンロード機構１２４を
磁気ディスク１２５の表面の方向へ移動させ、正圧利用
大スライダ１２０をロードする。このときロードサスペ
ンション１２３には曲げ荷重がかけられているため、ロ
ードアンロード機構１２４の動きにロードサスペンショ
ン１２３は追従する。このローディングは、純粋な流体
潤滑状態では行われないため、ローディング速度及びス
ライダの姿勢には注意を要する。In FIG. 5A, in the unload state, the load / unload mechanism 124 is operated by the positive pressure-using large slider 120.
The load / unload mechanism 124 is moved toward the surface of the magnetic disk 125 at the start of the row to load the large slider 120 using positive pressure. At this time, since a bending load is applied to the load suspension 123, the load suspension 123 follows the movement of the load unload mechanism 124. Since this loading is not performed in a pure fluid lubrication state, attention must be paid to the loading speed and the attitude of the slider.

【００１７】図５（ｂ）は負圧利用小スライダ１２１が
ロードされる様子を示す。負圧利用小スライダ１２１が
流体アクチュエータ作用によって自発的にロードを開始
する浮上隙間を正圧利用大スライダ１２０の定常浮上量
より若干大きく設定しておくと、正圧利用大スライダ１
２０のロードが完了した時点付近で負圧利用小スライダ
１２１のロードが自発的に開始され、負圧利用小スライ
ダ１２１を支持するサスペンション１１２の反力と負圧
力がつりあう定常浮上状態へ移行し、完全にリードライ
トが行える状態になる。アンロードは、負圧利用小スラ
イダ１２１については、磁気ディスク１２５の回転が遅
くなると、負圧発生力が減少し、サスペンション１１２
の反力で自然にアンロードされる。正圧利用大スライダ
１２０については磁気ディスク１２５が静止する前に、
ロードアンロード機構１２４によってロードサスペンシ
ョン１２３を支持しながら磁気ディスク１２５の表面よ
り持ち上げる。FIG. 5B shows how the small slider 121 utilizing negative pressure is loaded. If the floating gap at which the negative pressure utilizing small slider 121 starts loading spontaneously by the action of the fluid actuator is set slightly larger than the steady flying height of the positive pressure utilizing large slider 120, the positive pressure utilizing large slider 1
The loading of the negative pressure utilizing small slider 121 is spontaneously started near the time point when the loading of the negative pressure utilizing small slider 121 is completed, and a transition is made to a steady floating state in which the reaction force of the suspension 112 supporting the negative pressure utilizing small slider 121 and the negative pressure are balanced. The read / write operation can be completely performed. When the rotation of the magnetic disk 125 is slowed down, the negative pressure generating force of the small slider 121 using the negative pressure decreases, and the suspension 112
Is unloaded naturally by the reaction force of. Before the magnetic disk 125 stops at the large-pressure-use slider 120,
The load suspension 123 is lifted from the surface of the magnetic disk 125 while being supported by the load / unload mechanism 124.

【００１８】以上本発明の実施例について詳細に述べた
が、ロードアンロード機構や一体形成されたサスペンシ
ョンについては所定の特性を有するものであれば変更可
能であり、これらの変更は、本発明の主旨を逸脱しない
範囲で行なってもよく、以上の記述が本発明の範囲を限
定するものではない。Although the embodiment of the present invention has been described in detail above, the load / unload mechanism and the integrally formed suspension can be changed as long as they have predetermined characteristics. The description may be made without departing from the gist of the invention, and the above description does not limit the scope of the present invention.

【００１９】[0019]

【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、現
在用いられているスライダと同程度のスライダ中に電磁
変換素子を搭載した負圧浮動ヘッド機構を内包し、さら
に超小型スライダに直接銅線状のリード線を接合しない
事によって、リード線の外乱による浮動ヘッドスライダ
の浮上量変動を抑制することが可能となり、磁気ヘッド
と同程度の大きさのスライダを容易にサブサブミクロン
浮上させることができ、ロードアンロード機構と組み合
わせることによって浮動ヘッドスライダと磁気ディスク
との吸着を避けることができ、結果として、高記録密度
で信頼性の高い磁気ディスク装置を得ることができる。As described above, according to the present invention, a negative pressure floating head mechanism in which an electromagnetic transducer is mounted in a slider of the same size as a slider currently used is included, and further, an ultra-small slider is provided. By not directly joining the copper lead wires, it is possible to suppress the fluctuation of the flying height of the floating head slider due to disturbance of the lead wires, and to easily fly the slider of the same size as the magnetic head by sub-submicron. By combining this with a load / unload mechanism, adsorption between the floating head slider and the magnetic disk can be avoided, and as a result, a magnetic disk device with high recording density and high reliability can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】第１の発明の実施例に係わる複合浮動ヘッドス
ライダの平面図及び側面図である。FIG. 1 is a plan view and a side view of a composite floating head slider according to an embodiment of the first invention.

【図２】第１の発明に係わる複合浮動ヘッドスライダの
斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a composite floating head slider according to the first invention.

【図３】第１の発明に係わる複合浮動ヘッドスライダに
おいて負圧利用大スライダ及び負圧利用小スライダがロ
ードされる時の側面図である。FIG. 3 is a side view of the composite floating head slider according to the first invention when a negative pressure utilizing large slider and a negative pressure utilizing small slider are loaded.

【図４】第２の発明の実施例に係わる複合浮動ヘッドス
ライダの平面図及び側面図である。FIG. 4 is a plan view and a side view of a composite floating head slider according to an embodiment of the second invention.

【図５】第２の発明の実施例に係わる複合浮動ヘッドス
ライダにおいて正圧利用大スライダ及び負圧利用小スラ
イダがロードされたときの側面図である。FIG. 5 is a side view of the composite floating head slider according to the second embodiment when a large slider using positive pressure and a small slider using negative pressure are loaded.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１，１００ 複合浮動ヘッドスライダ ２，３，１０７ フロントリセス ４，５，１０８ クロスレール ６，７，１０９ 負圧発生リセス ８，９，１０，１１，１０３，１０４，１１０，１１１
正圧発生レール １２，１１２ サスペンション ２０ 負圧利用大スライダ ２１，１２１ 負圧利用小スライダ ２３，１２３ ロードサスペンション ２４，１２４ ロードアンロード機構 ２５，１２５ 磁気ディスク ３１ 電磁変換素子 ３２ 薄膜状リード線 ３３ 薄膜状リード線 ３４ 銅線 １０５，１０６ テーパ １２０ 正圧利用大スライダ1,100 Composite floating head slider 2,3,107 Front recess 4,5,108 Cross rail 6,7,109 Negative pressure generation recess 8,9,10,11,103,104,110,111
Positive pressure generating rail 12, 112 Suspension 20 Negative pressure utilizing large slider 21, 121 Negative pressure utilizing small slider 23, 123 Load suspension 24, 124 Load unloading mechanism 25, 125 Magnetic disk 31 Electromagnetic transducer 32 Thin film lead 33 Thin film Lead wire 34 Copper wire 105,106 Taper 120 Large slider using positive pressure

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】双胴型の正圧空気軸受面と前記正圧空気軸
受面に実質的に囲まれた負圧発生面を有し、かつ少なく
とも一つ以上の電磁変換素子を搭載した第一の負圧利用
浮動ヘッドスライダと、前記第一の負圧利用浮動ヘッド
スライダを支えるサスペンション機構と、前記サスペン
ション機構を支持する第二の負圧利用浮動ヘッドスライ
ダとが一体形成され、かつ前記第一及び第二の負圧利用
浮動ヘッドスライダの正圧空気軸受面を同一平面上に形
成し、前記第一の負圧利用浮動ヘッドスライダを支える
サスペンション機構は、前記第一の負圧利用浮動ヘッド
スライダの正圧空気軸受面の外周部分において一体構造
をなし、かつ前記第一及び第二の負圧利用浮動ヘッドス
ライダの実質的な空気軸受作用を提供する後端面は同一
平面内に加工され、かつ前記電磁変換素子の電気信号通
信路たるリード線の一部が、前記第一の負圧利用浮動ヘ
ッドスライダを支えるサスペンション機構上及び、第一
及び第二の負圧利用浮動ヘッドスライダ上に薄膜状に形
成されることを特徴とする複合浮動ヘッドスライダ。1. A first type having a double-body type positive pressure air bearing surface, a negative pressure generating surface substantially surrounded by the positive pressure air bearing surface, and mounting at least one or more electromagnetic transducers. A negative pressure utilizing floating head slider, a suspension mechanism supporting the first negative pressure utilizing floating head slider, and a second negative pressure utilizing floating head slider supporting the suspension mechanism are integrally formed; And a suspension mechanism for forming the positive pressure air bearing surface of the second negative pressure utilizing floating head slider on the same plane, and supporting the first negative pressure utilizing floating head slider, wherein the first negative pressure utilizing floating head slider comprises: The rear end surfaces of the first and second negative pressure utilizing floating head sliders, which form an integral structure in the outer peripheral portion of the positive pressure air bearing surface and provide substantial air bearing action, are machined in the same plane. A part of a lead wire as an electric signal communication path of the electromagnetic transducer is formed on a suspension mechanism supporting the first negative pressure utilizing floating head slider, and a thin film on the first and second negative pressure utilizing floating head sliders. A composite floating head slider characterized by being formed in a shape. 【請求項２】請求項１記載の複合浮動ヘッドスライダに
おいて、サスペンション機構を支持する第二の負圧利用
浮動ヘッドスライダに代えて、サスペンション機構を支
持する正圧利用浮動ヘッドスライダを用いることを特徴
とする複合浮動ヘッドスライダ。2. The composite floating head slider according to claim 1, wherein a positive pressure utilizing head slider supporting the suspension mechanism is used in place of the second negative pressure utilizing head slider supporting the suspension mechanism. And a composite floating head slider.