JP2759934B2 - Dust removal device in gas laser device - Google Patents
Dust removal device in gas laser deviceInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、炭酸ガスレーザやエキ
シマレーザ装置等のガスレーザ装置に関し、より詳しく
はそのレーザ発振器の光共振器を形成するフロントミラ
ー及びリアミラーの内側近傍に配設されるダスト除去装
置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas laser device such as a carbon dioxide gas laser or an excimer laser device, and more particularly, to dust removal disposed near a front mirror and a rear mirror forming an optical resonator of a laser oscillator. It concerns the device.
【0002】[0002]
【従来の技術】この種のガスレーザ装置においては、製
作ないし点検時等に混入する塵や、レーザ発振時の放電
に基づく電極部の消耗により発生する微粒子等からなる
ダストがレーザチャンバ内を浮遊し、これが種々のトラ
ブルを誘引する原因となることがある。特に、レーザ発
振器の光共振器を形成しているフロントミラーないしリ
アミラーにこのダストが付着すると、その反射機能や透
過率が低下してやがて使用不能に至るといった問題があ
った。このため、従来からレーザガスの循環流中にダス
ト除去手段を配設したり(実公昭2−17491号公
報、実開昭59−169057号公報)、図4に示すよ
うに、ミラー101の内側近傍に配管102を介して図
示しないフィルタ等により浄化されたレーザガスを吹込
みその領域103の内圧を若干高めてダストの侵入を防
ぐ等の方策がとられている。2. Description of the Related Art In a gas laser apparatus of this type, dust mixed during manufacturing or inspection, or dust composed of fine particles generated by depletion of an electrode portion due to discharge during laser oscillation floats in a laser chamber. This may cause various troubles. In particular, when this dust adheres to the front mirror or the rear mirror forming the optical resonator of the laser oscillator, there has been a problem that its reflection function and transmittance are reduced, and eventually it becomes unusable. For this reason, a dust removing means has conventionally been provided in the circulating flow of the laser gas (Japanese Utility Model Publication No. 2-17491, Japanese Utility Model Publication No. 59-169057), and as shown in FIG. Then, laser gas purified by a filter or the like (not shown) is blown through the pipe 102 to slightly increase the internal pressure of the region 103 to prevent dust from entering.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来技術のうち前者のダスト除去手段は、最も問題の多い
電極部の放電に基づくダストのミラー内表面への付着防
止に対しては間接的に作用するだけで、その効用が不確
実であるとともに効率的でもなかった。この点、後者の
ダスト除去手段は相応の効用はあるものの、前記領域1
03へ送風量は種々の制約からそれほど大きいものでは
なく、その気流にも渦流が生ずることがあり、しかも電
極部と各ミラーとは近接した位置関係に配設される関係
から、その電極部で発生したダストがその領域103内
に侵入することを完全に防ぐことは事実上困難であっ
た。However, of the prior art, the former dust removing means indirectly acts to prevent dust from adhering to the inner surface of the mirror due to the most problematic discharge of the electrode portion. Just doing so was uncertain and not efficient. In this regard, the latter dust removing means has a corresponding effect,
The amount of air blown to 03 is not so large due to various restrictions, and a vortex may also be generated in the air flow, and furthermore, since the electrode portion and each mirror are disposed in a close positional relationship, the electrode portion has It was practically difficult to completely prevent the generated dust from entering the area 103.
【0004】本発明は、このような事情の下でなされた
もので、簡単な構成により、特に電極部で発生したダス
トをミラーの内表面に到達する手前で捕捉し、そのミラ
ー内表面に対するダストの付着を低減し得るとともに、
捕捉されたダストの除去や部品交換時におけるダスト捕
捉部材の着脱作業が簡便で、しかも的確な装着状態が得
られるガスレーザ装置におけるダスト除去装置を提供す
ることを目的とするものである。The present invention has been made under such circumstances, and with a simple structure, particularly, dust generated at an electrode portion is caught before reaching the inner surface of the mirror, and dust generated on the inner surface of the mirror is captured. Can reduce the adhesion of
It is an object of the present invention to provide a dust removing device for a gas laser device in which removal of trapped dust and attachment / detachment of a dust catching member at the time of component replacement are easy and an accurate mounting state can be obtained.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するため、レーザ発振器の光共振器を形成するフロン
トミラーないしリアミラーの内側近傍に内表面にダスト
滞積用の凹凸が形成されたダスト捕捉用のバッフルを配
設し、かつ該ダスト捕捉用のバッフルの外側に磁石を付
設してダストを同バッフルに吸引捕捉し得るように構成
するとともに、前記バッフルにフランジ部を形成し、そ
のフランジ部をミラーハウジングとミラーホルダで挟持
することにより取外し可能に装着したことを特徴とす
る。According to the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, irregularities for accumulation of dust are formed on the inner surface near the inside of a front mirror or a rear mirror forming an optical resonator of a laser oscillator. A baffle for dust capture is arranged, and a magnet is attached to the outside of the baffle for dust capture so that dust can be sucked and captured by the baffle, and a flange portion is formed on the baffle, It is characterized in that the flange portion is detachably mounted by being sandwiched between a mirror housing and a mirror holder.
【0006】[0006]
【作用】前記技術手段の採用により、電極部の放電で発
生したダストには多量の金属分が含有されているため、
フロントミラーないしリアミラーの内側近傍に侵入した
場合には、前記磁石の磁気作用により吸引され、前記ダ
スト捕捉用のバッフルに形成した凹凸の凹部に捕捉され
て滞積するので、前記ミラーの内表面に対する付着分を
低減させることができる。また、前記バッフルにフラン
ジ部を形成し、そのフランジ部をミラーハウジングとミ
ラーホルダで挟持することにより、取外し可能に装着す
るという構成を採用したので、その装着のための部品点
数が削減され、捕捉されたダストの除去や部品交換時に
おける、ダスト捕捉部材としての前記バッフルの着脱作
業がきわめて簡便になり、しかもフランジ部を介して的
確な装着状態が可能になる。According to the above technical means, since the dust generated by the discharge of the electrode portion contains a large amount of metal,
When the mirror enters the vicinity of the inside of the front mirror or the rear mirror, it is attracted by the magnetic action of the magnet and is trapped and accumulated in the concave and convex concave portions formed in the baffle for dust trapping. Adhesion can be reduced. In addition, since a configuration is adopted in which the flange portion is formed on the baffle and the flange portion is sandwiched between the mirror housing and the mirror holder to be removably mounted, the number of components for the mounting is reduced, and the number of components is reduced. At the time of removal of the dust and replacement of parts, the attachment / detachment work of the baffle as the dust catching member becomes extremely simple, and an accurate mounting state can be achieved via the flange portion.
【0007】[0007]
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例に関して
説明する。図1は本発明の一実施例を示した全体構成図
である。図中、1はレーザチャンバで、該レーザチャン
バ1内に封入されたレーザガスは循環ファン2の送風作
用により電極3,3間を通過する経路上を循環する。
4,5はそれぞれフロントミラー部及びリアミラー部
で、この間に形成される光共振器内において、レーザガ
スが前記電極3,3により励起されてレーザ発振を継続
するのは一般のガスレーザ装置と同様である。6は前記
循環ファン2駆動用の接続部である。また、図中、7は
レーザガス給排用の管路系で、前記レーザチャンバ1に
接続され、必要に応じてこの管路系7を介してレーザガ
スの排気ないし補給が行われる。このレーザガス給排用
の管路系7中には、レーザガス中に含まれるダストを除
去するためのダスト除去機構8が配設され、給排切替用
のバルブ9に接続されている。このダスト除去機構8
は、レーザガスの給排時において、ダスト分がそれ自体
の慣性力によって直進する現象を利用してダストを捕捉
するもので、そのための直進通路及びその外側に付設さ
れた磁石からなるダスト捕捉部10,11が形成されて
いる。また、バルブ9は、レーザチャンバ1側の管路系
7を遮断状態あるいは管路12ないし13への連通状態
に切替えるためのもので、これにより、レーザチャンバ
1は、レーザガスの排気作業時には、図示しない吸引ポ
ンプ等に接続された管路12側に、またレーザガスの補
給時には、図示しないレーザガスボンベ等に接続された
管路13側に選択的に接続されることになる。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an overall configuration diagram showing an embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 1 denotes a laser chamber, and a laser gas sealed in the laser chamber 1 circulates on a path passing between the electrodes 3 and 3 by a blowing action of a circulation fan 2.
Reference numerals 4 and 5 denote a front mirror portion and a rear mirror portion, respectively. In an optical resonator formed therebetween, a laser gas is excited by the electrodes 3 and 3 to continue laser oscillation as in a general gas laser device. . Reference numeral 6 denotes a connection portion for driving the circulation fan 2. In the figure, reference numeral 7 denotes a laser gas supply / discharge pipe system which is connected to the laser chamber 1 and through which the gas is exhausted or replenished as necessary. A dust removal mechanism 8 for removing dust contained in the laser gas is provided in the laser gas supply / discharge pipeline system 7 and connected to a supply / discharge switching valve 9. This dust removal mechanism 8
Is a device that captures dust by utilizing the phenomenon that the dust component travels straight due to its own inertia force when supplying and discharging the laser gas. The dust capturing unit 10 includes a straight traveling path and a magnet attached to the outside thereof. , 11 are formed. The valve 9 is used to switch the pipeline system 7 on the side of the laser chamber 1 to a cutoff state or a communication state to the pipelines 12 and 13, so that the laser chamber 1 is not shown when exhausting the laser gas. It is selectively connected to the side of the pipe 12 connected to a suction pump or the like not shown, and to the side of the pipe 13 connected to a not-shown laser gas cylinder or the like when replenishing laser gas.
【0008】つぎに、図2及び図3に基づいて本発明の
特徴である前記フロントミラー部4ないしリアミラー部
5に配設されるダスト除去装置に関して説明する。図2
はミラー部の例としてフロントミラー部4を拡大して示
した縦断面図、図3はそのX−X断面図である。図中、
14はフロントミラーで、ミラーハウジング15を介し
てレーザチャンバ1を形成するチャンバ壁部16に対し
て調整可能に支持されている。17はフロントミラー1
4の内側近傍に配設されたダスト捕捉用のバッフルで、
内表面にはダスト滞積用の凹凸18が形成されるととも
に、フランジ部19を介してミラーハウジング15に対
して取外し可能に装着されている。20,21はフロン
トミラー14を挟持するミラーホルダで、内側に図示し
ないシムを介在してフロントミラー14を両側から挟持
し、さらにボルト22等の締付け手段を用いてミラーハ
ウジング15のフランジ部23に対して締付けることに
よってフロントミラー14を固定する。その際、前記ダ
スト捕捉用のバッフル17のフランジ部19もミラーホ
ルダ20とミラーハウジング15のフランジ部23との
間に同時に挟持されるため、該バッフル17もミラーハ
ウジング15に対して同時に固定される。さらに、この
ミラーハウジング15の外周には、ダスト捕捉用のバッ
フル17に対向して磁石が配設され、24,25はその
磁石の磁極、26は磁気回路を形成するU字部である。
なお、図中、27〜29はミラーハウジング15の壁部
16に対する支持用ボルト、30,31はその支持状態
に関する微調整手段を示したものである。以上において
は、フロントミラー部4を中心に説明したがリアミラー
部5も同様のダスト除去装置を有する。Next, a description will be given of a dust removing device provided in the front mirror section 4 or the rear mirror section 5, which is a feature of the present invention, with reference to FIGS. FIG.
FIG. 3 is an enlarged longitudinal sectional view of a front mirror section 4 as an example of a mirror section, and FIG. In the figure,
Reference numeral 14 denotes a front mirror which is supported via a mirror housing 15 so as to be adjustable with respect to a chamber wall 16 forming the laser chamber 1. 17 is the front mirror 1
A baffle for dust capture arranged near the inside of 4,
Irregularities 18 for dust accumulation are formed on the inner surface, and are detachably attached to the mirror housing 15 via a flange portion 19. Reference numerals 20 and 21 denote mirror holders for holding the front mirror 14, which hold the front mirror 14 from both sides via shims (not shown) on the inside, and furthermore, use the fastening means such as bolts 22 to secure the front mirror 14 to the flange portion 23 of the mirror housing 15. The front mirror 14 is fixed by tightening. At this time, the flange 19 of the baffle 17 for capturing dust is also simultaneously held between the mirror holder 20 and the flange 23 of the mirror housing 15, so that the baffle 17 is also fixed to the mirror housing 15 at the same time. . Further, a magnet is disposed on the outer periphery of the mirror housing 15 so as to face the baffle 17 for capturing dust, 24 and 25 are magnetic poles of the magnet, and 26 is a U-shaped part forming a magnetic circuit.
In the drawings, reference numerals 27 to 29 denote support bolts for the wall portion 16 of the mirror housing 15, and reference numerals 30 and 31 denote fine adjustment means relating to the support state. In the above description, the front mirror unit 4 has been mainly described, but the rear mirror unit 5 also has the same dust removing device.
【0009】しかして、前記レーザチャンバ1内に製作
ないし点検時等に混入する塵や、電極部の放電に基づい
て発生する微粒子等からなるダストが浮遊し、これがフ
ロントミラー4ないしリアミラー5のミラーハウジング
15内へ侵入した場合には、前記ダスト捕捉用のバッフ
ル17の外側に付設した磁石の磁気作用によって、とり
わけ問題の多い電極の放電によるダストが多量の金属分
を含有しているため、これを効率的に吸引して凹凸18
の凹部に滞積する。また、滞積が進んで所定以上のダス
トが凹凸18に滞積された場合には、前記ボルト22を
緩めてミラーホルダ20,21と共にバッフル17を外
して、滞積したダストを除去するなり、新しいバッフル
に交換して再装着すればよい。この場合、バッフル17
のフランジ部19をミラーホルダ20とミラーハウジン
グ15のフランジ部23との間に同時に挟持して装着す
るように構成したので、装着用の部品点数が少なく、バ
ッフル17の着脱作業がきわめて簡便であり、しかもフ
ランジ部19を介して的確な装着状態がきわめて容易に
得られる。そして、以上のダストの除去やバッフルの交
換作業を繰返して前記凹凸18を清潔に保つことによ
り、常に前記バッフル17によってレーザガス中のダス
ト分を各ミラーの内表面に至る手前で確実に捕捉できる
ので、各ミラーの内表面に対するダストの付着を常に有
効に防止することができる。However, dust mixed in the laser chamber 1 at the time of manufacture or inspection or dust composed of fine particles or the like generated due to discharge of the electrode portion floats, and this floats on the mirrors of the front mirror 4 or the rear mirror 5. When the dust enters the housing 15, the dust caused by the discharge of the electrode, which is particularly problematic, contains a large amount of metal due to the magnetic action of the magnet attached to the outside of the baffle 17 for capturing dust. Is efficiently sucked and the unevenness 18
Accumulate in the recesses of Further, when the accumulation progresses and the dust exceeding a predetermined amount accumulates on the unevenness 18, the bolt 22 is loosened and the baffle 17 is removed together with the mirror holders 20, 21 to remove the accumulated dust. Just replace it with a new baffle and re-attach. In this case, the baffle 17
Is configured to be simultaneously clamped and mounted between the mirror holder 20 and the flange portion 23 of the mirror housing 15, so that the number of mounting components is small and the work of attaching and detaching the baffle 17 is extremely simple. Moreover, an accurate mounting state can be obtained very easily via the flange portion 19. By repeating the above dust removal and baffle replacement operations to keep the irregularities 18 clean, the baffle 17 can reliably capture the dust in the laser gas just before reaching the inner surface of each mirror. In addition, it is possible to always effectively prevent dust from adhering to the inner surface of each mirror.
【0010】[0010]
【発明の効果】本発明は、以上の構成に基づいて次の効
果を得ることができる。 (1)各ミラー部に近接して配設され、ミラー内表面へ
の付着の悪影響が大きい電極部の放電で発生するダスト
を効率的に除去できる。すなわち、電極が消耗して発生
したダストには多量の金属分が含有されているため、フ
ロントミラーないしリアミラーの内側近傍に侵入した場
合には、前記磁石の磁気作用により吸引され、前記ダス
ト捕捉用のバッフルに形成した凹凸の凹部に捕捉されて
滞積するので、簡単な構成により、ミラーの内表面の手
前で効率的に除去できる。 (2)前記ダスト捕捉用のバッフルに形成した凹凸部に
所定量のダストが滞積した場合には、そのバッフルを取
外して、滞積したダストを除去し、あるいは新しいバッ
フルに交換して再装着することにより容易に対応でき
る。 (3)しかも、ダスト捕捉用のバッフルは、そのバッフ
ルに形成したフランジ部をミラーハウジングとミラーホ
ルダで挟持することにより装着するように構成したの
で、その装着のための部品点数が削減され、バッフルの
着脱作業がきわめて簡便になり、かつフランジ部を介し
て的確な装着状態が容易に得られる。 (4)他の従来のダスト除去手段との相性もよいので、
それと併用すれば、相互に補完し合いながら、ミラーの
内表面へのダストの付着をより完全に防ぐことができ、
ミラーの寿命の向上にさらに有効である。According to the present invention, the following effects can be obtained based on the above configuration. (1) It is possible to efficiently remove dust generated by the discharge of the electrode portion which is disposed close to each mirror portion and has a large adverse effect on the inner surface of the mirror. That is, since the dust generated by the exhaustion of the electrode contains a large amount of metal, when the dust enters the vicinity of the inside of the front mirror or the rear mirror, it is attracted by the magnetic action of the magnet, and the dust is collected. Are trapped and accumulated in the concave and convex portions formed on the baffle, and can be efficiently removed before the inner surface of the mirror with a simple configuration. (2) If a predetermined amount of dust accumulates on the uneven portion formed on the dust capturing baffle, remove the baffle and remove the accumulated dust, or replace the baffle with a new baffle and reattach. Can be easily handled. (3) In addition, since the baffle for capturing dust is configured to be mounted by sandwiching the flange formed on the baffle between the mirror housing and the mirror holder, the number of parts for mounting is reduced, and the baffle is reduced. The attachment / detachment work becomes extremely simple, and an accurate mounting state can be easily obtained via the flange portion. (4) Since it is compatible with other conventional dust removing means,
When used together, it can complement each other and completely prevent dust from adhering to the inner surface of the mirror,
It is more effective for improving the life of the mirror.
【図1】 本発明の一実施例を示した全体構成図であ
る。FIG. 1 is an overall configuration diagram showing an embodiment of the present invention.
【図2】 同実施例におけるフロントミラー部の拡大縦
断面図である。FIG. 2 is an enlarged vertical sectional view of a front mirror unit in the embodiment.
【図3】 そのX−X断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line XX of FIG.
【図4】 従来例におけるフロントミラー部の拡大縦断
面図である。FIG. 4 is an enlarged longitudinal sectional view of a front mirror section in a conventional example.
1…レーザチャンバ、2…循環ファン、3…電極、4…
フロントミラー部、5…リアミラー部、6…接続部、7
…レーザガス給排用の管路系、8…ダスト除去機構、9
…バルブ、10,11…ダスト捕捉部、12,13…管
路、14…フロントミラー、15…ミラーハウジング、
16…チャンバ壁部、17…ダスト捕捉用バッフル、1
8…凹凸、19…フランジ部、20,21…ミラーホル
ダ、22…ボルト、23…フランジ部、24,25…磁
極、26…U字部、27〜29…支持用ボルト、30,
31…微調整手段DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laser chamber, 2 ... Circulation fan, 3 ... Electrode, 4 ...
Front mirror section, 5 ... Rear mirror section, 6 ... Connection section, 7
… Laser gas supply / discharge pipeline system, 8… Dust removal mechanism, 9
... Valve, 10, 11 ... Dust capturing part, 12,13 ... Pipe, 14 ... Front mirror, 15 ... Mirror housing,
16: chamber wall, 17: baffle for dust capture, 1
8 Unevenness, 19 Flange, 20, 21 Mirror Holder, 22 Bolt, 23 Flange, 24, 25 Magnetic Pole, 26 U-Shape, 27-29 Support Bolt, 30,
31 ... Fine adjustment means
Claims (1)
ントミラーないしリアミラーの内側近傍に内表面にダス
ト滞積用の凹凸が形成されたダスト捕捉用のバッフルを
配設し、かつ該ダスト捕捉用のバッフルの外側に磁石を
付設してダストを同バッフルに吸引捕捉し得るように構
成するとともに、前記バッフルにフランジ部を形成し、
そのフランジ部をミラーハウジングとミラーホルダで挟
持することにより取外し可能に装着したことを特徴とす
るガスレーザ装置におけるダスト除去装置。1. A dust capturing baffle having irregularities for accumulating dust on its inner surface is disposed near an inside of a front mirror or a rear mirror forming an optical resonator of a laser oscillator. A magnet is attached to the outside of the baffle so that dust can be sucked and captured by the baffle, and a flange portion is formed on the baffle,
A dust removing device in a gas laser device, wherein the flange portion is detachably mounted by being sandwiched between a mirror housing and a mirror holder.
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JPH0690041A JPH0690041A (en) | 1994-03-29 |
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JP4264282A Expired - Fee Related JP2759934B2 (en) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | Dust removal device in gas laser device |
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JPH01225384A (en) * | 1988-03-04 | 1989-09-08 | Mitsubishi Electric Corp | Laser device window mechanism |
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1992
- 1992-09-07 JP JP4264282A patent/JP2759934B2/en not_active Expired - Fee Related
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