JP2750953B2 - バーコードの撮像方法 - Google Patents
バーコードの撮像方法Info
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- JP2750953B2 JP2750953B2 JP6520512A JP52051294A JP2750953B2 JP 2750953 B2 JP2750953 B2 JP 2750953B2 JP 6520512 A JP6520512 A JP 6520512A JP 52051294 A JP52051294 A JP 52051294A JP 2750953 B2 JP2750953 B2 JP 2750953B2
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- G—PHYSICS
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- G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
- G06K7/00—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns
- G06K7/10—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation
- G06K7/10544—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation by scanning of the records by radiation in the optical part of the electromagnetic spectrum
- G06K7/10712—Fixed beam scanning
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Description
【発明の詳細な説明】 本発明は、面状のバーコードを照明するための方法で
あって、バーコードを認識しかつ評価するため受信器光
学系を介して受信センサ上にバーコードの像を生じさせ
る方法に関する。照明装置および受信センサはバーコー
ドの通常のように長手方向に延びている面状の形態に適
応されている。本方法はバーコード読取装置に使用する
のに適している。
あって、バーコードを認識しかつ評価するため受信器光
学系を介して受信センサ上にバーコードの像を生じさせ
る方法に関する。照明装置および受信センサはバーコー
ドの通常のように長手方向に延びている面状の形態に適
応されている。本方法はバーコード読取装置に使用する
のに適している。
半導体製造中にシリコン円板（ウェーハ）の上にさま
ざまな化学的および物理的プロセスにより半導体構造
（電子デバイス、チップ）が構成される。ウェーハは全
チップ製造の間に常に一義的に製造ジョブに対応付けら
れていなければならない。そうして始めてウェーハに対
してすぐ次のプロセスステップを確実に決定することが
でき、また生ずるプロセスデータを記憶することができ
る。種々のウェーハを一義的に同定するためにウェーハ
上にマークが付けられる。マーキングのためにレーザー
法を有利な仕方で使用することができる。その際にウェ
ーハの上にいわゆるプレイン−ライティングおよび（ま
たは）バーコードマークが付けられる。材料被覆、エッ
チングまたは類似の過程がウェハ上で進行する後続の多
数のプロセスステップによって、マーキングが悪影響を
受ける。マーキングの質は平均的に製造ステップの数と
共に低下する。
ざまな化学的および物理的プロセスにより半導体構造
（電子デバイス、チップ）が構成される。ウェーハは全
チップ製造の間に常に一義的に製造ジョブに対応付けら
れていなければならない。そうして始めてウェーハに対
してすぐ次のプロセスステップを確実に決定することが
でき、また生ずるプロセスデータを記憶することができ
る。種々のウェーハを一義的に同定するためにウェーハ
上にマークが付けられる。マーキングのためにレーザー
法を有利な仕方で使用することができる。その際にウェ
ーハの上にいわゆるプレイン−ライティングおよび（ま
たは）バーコードマークが付けられる。材料被覆、エッ
チングまたは類似の過程がウェハ上で進行する後続の多
数のプロセスステップによって、マーキングが悪影響を
受ける。マーキングの質は平均的に製造ステップの数と
共に低下する。
プロセス進行が自動同定装置の使用により支援される
べきであれば、質の低いマーキングも確実に同定可能で
なければならない。
べきであれば、質の低いマーキングも確実に同定可能で
なければならない。
ウエーハの同定は、擾乱量が存在するので、またマー
キングに悪影響を及ぼす処理プロセスを実行しなければ
ならないので、非常に困難であることが判明している。
従って同定はしばしば人により行われる。時にはインテ
リジェントな画像処理システムまたはこの問題に特別に
合わされたスキャナもバーコード認識のために使用され
る。たとえば不正確なウェーハ供給、ウェーハの傾斜お
よびマーキング上のシュリーレンのようなまたはバーコ
ードのなかのわずか過ぎるコントラストのような擾乱量
の生起は同定システムの作動の確実さの低下に通ずる。
人の眼によるマーキングの認識にはコストおよび時間が
著しくかかる。画像処理システムの使用は同じくコスト
がかかり、また十分に確実でない。認識時間が一般に１
秒を越えている。
キングに悪影響を及ぼす処理プロセスを実行しなければ
ならないので、非常に困難であることが判明している。
従って同定はしばしば人により行われる。時にはインテ
リジェントな画像処理システムまたはこの問題に特別に
合わされたスキャナもバーコード認識のために使用され
る。たとえば不正確なウェーハ供給、ウェーハの傾斜お
よびマーキング上のシュリーレンのようなまたはバーコ
ードのなかのわずか過ぎるコントラストのような擾乱量
の生起は同定システムの作動の確実さの低下に通ずる。
人の眼によるマーキングの認識にはコストおよび時間が
著しくかかる。画像処理システムの使用は同じくコスト
がかかり、また十分に確実でない。認識時間が一般に１
秒を越えている。
ドイツ特許第2704983C3号明細書には、バーコードの
すべての視野、たとえばバーコードのマーキング面の領
域を受信センサとして使用されるホトダイオード行の有
効面の上に撮像する装置が記載されている。しかし、こ
の装置は対象物の表面内または寸法内の欠陥を認識する
役割をする。
すべての視野、たとえばバーコードのマーキング面の領
域を受信センサとして使用されるホトダイオード行の有
効面の上に撮像する装置が記載されている。しかし、こ
の装置は対象物の表面内または寸法内の欠陥を認識する
役割をする。
本発明の課題は、バーコードのなかのマーキング要素
の位置を一義的に検出するため、反射表面上に付けられ
たバーコードの、受信センサ上に生成された像のなかで
最適なコントラストを達成することである。この課題は
請求項１又は２の特徴部分により解決される。
の位置を一義的に検出するため、反射表面上に付けられ
たバーコードの、受信センサ上に生成された像のなかで
最適なコントラストを達成することである。この課題は
請求項１又は２の特徴部分により解決される。
本発明は、反射表面上に付けられたバーコードを、少
なくとも一次元に分解する受信センサ、たとえばホトダ
イオード行の上に撮像する際に、可能なかぎりコントラ
ストの十分な像が発生されなければならないという認識
に基づいている。これに関してバーコードの照明は、明
視野照明が生ずるように光が反射表面から受信光学系の
なかに反射されるように配置される。こうして、ホトダ
イオード行上のバーコードの像のなかでマーキング要素
であるバーは暗領域として、また中間空間は明領域とし
て認識されなけれならない。同じく暗視野照明を発生さ
せることができる。この場合には、ホトダイオード行上
のバーコードの像のなかでマーキング要素であるバーは
明領域として、またマーキング要素の間の中間空間は暗
領域として現れる。長手方向に延びているバーコードと
組み合わせての反射対象物における明視野照明または暗
視野照明の設定は、位置を変更可能または設定可能でな
ければならない光行の使用を必要とする。バーコードの
マーキング面の各部分から光線が受信光学系に到達する
ことが保証されなければならない。反射表面上のコント
ラストは異なった粗さにより生ずる。バーコードのマー
キング面はマーキング要素および中間空間または周囲の
マーキング面を有する。その際にマーキング要素は能動
的に、たとえばレーザー法を介して付けられ、またその
表面はより粗い。粗さはマーキング要素から反射される
光の散乱を生じさせる。
なくとも一次元に分解する受信センサ、たとえばホトダ
イオード行の上に撮像する際に、可能なかぎりコントラ
ストの十分な像が発生されなければならないという認識
に基づいている。これに関してバーコードの照明は、明
視野照明が生ずるように光が反射表面から受信光学系の
なかに反射されるように配置される。こうして、ホトダ
イオード行上のバーコードの像のなかでマーキング要素
であるバーは暗領域として、また中間空間は明領域とし
て認識されなけれならない。同じく暗視野照明を発生さ
せることができる。この場合には、ホトダイオード行上
のバーコードの像のなかでマーキング要素であるバーは
明領域として、またマーキング要素の間の中間空間は暗
領域として現れる。長手方向に延びているバーコードと
組み合わせての反射対象物における明視野照明または暗
視野照明の設定は、位置を変更可能または設定可能でな
ければならない光行の使用を必要とする。バーコードの
マーキング面の各部分から光線が受信光学系に到達する
ことが保証されなければならない。反射表面上のコント
ラストは異なった粗さにより生ずる。バーコードのマー
キング面はマーキング要素および中間空間または周囲の
マーキング面を有する。その際にマーキング要素は能動
的に、たとえばレーザー法を介して付けられ、またその
表面はより粗い。粗さはマーキング要素から反射される
光の散乱を生じさせる。
この際に応用すべき直接照明はゴットフリート・シュ
レーダ著「技術的光学」フォーゲル図書出版、ヴュルツ
ブルグ、第152頁による定義に従って明視野照明または
暗視野照明に区別可能である。明視野照明は、不透明の
対象物が上から照明され、また欠陥のない面が均等に明
るい視野を反射される光束の受信器に対して与えるとき
に用いられる。暗視野照明は、照明束が対象物の表面で
の反射の後に受信器に入射しないときに用いられる。欠
陥のない表面でこの場合に均等な暗視野が生ずるであろ
う。
レーダ著「技術的光学」フォーゲル図書出版、ヴュルツ
ブルグ、第152頁による定義に従って明視野照明または
暗視野照明に区別可能である。明視野照明は、不透明の
対象物が上から照明され、また欠陥のない面が均等に明
るい視野を反射される光束の受信器に対して与えるとき
に用いられる。暗視野照明は、照明束が対象物の表面で
の反射の後に受信器に入射しないときに用いられる。欠
陥のない表面でこの場合に均等な暗視野が生ずるであろ
う。
本発明は、可能なかぎりコストラストの十分な明視野
照明または暗視野照明が達成されなければならないとい
う認識に基づいている。考察の基礎は、入射角が反射角
に等しいという規則である。それぞれ設定された照明形
式に対していま、受信センサにおける最適なコントラス
トを有する最適な照明強度を設定することが必要であ
る。対象物の表面が理想的な鏡に相当せずに、入射光が
粗さにより散乱される場合には、反射された光の光分布
の幅が広げられる。反射される各光束は受信器光学系に
入らない。請求項１の特徴部分に相応して、光行が、入
射角＝反射角の条件が満たされているように動かれる。
さらに光行の長手方向に対して垂直な光行の強さは、バ
ーコード上で散乱される光のうち、光行の縁範囲に端を
発し、また受信器光学系のなかに到達する光が最小化さ
れるように構成する必要がある。
照明または暗視野照明が達成されなければならないとい
う認識に基づいている。考察の基礎は、入射角が反射角
に等しいという規則である。それぞれ設定された照明形
式に対していま、受信センサにおける最適なコントラス
トを有する最適な照明強度を設定することが必要であ
る。対象物の表面が理想的な鏡に相当せずに、入射光が
粗さにより散乱される場合には、反射された光の光分布
の幅が広げられる。反射される各光束は受信器光学系に
入らない。請求項１の特徴部分に相応して、光行が、入
射角＝反射角の条件が満たされているように動かれる。
さらに光行の長手方向に対して垂直な光行の強さは、バ
ーコード上で散乱される光のうち、光行の縁範囲に端を
発し、また受信器光学系のなかに到達する光が最小化さ
れるように構成する必要がある。
本発明の有利な構成では、光行を発生するため、照明
装置の発光ダイオードから送り出された光が出射面にお
いて均等化されており、またこの光の一部分が後段に接
続されているスリットを介して光行を成す。上記のよう
に、スリットは、特定の位置に明視野照明または暗視野
照明を達成するため、移動可能である。
装置の発光ダイオードから送り出された光が出射面にお
いて均等化されており、またこの光の一部分が後段に接
続されているスリットを介して光行を成す。上記のよう
に、スリットは、特定の位置に明視野照明または暗視野
照明を達成するため、移動可能である。
ｚ方向に移動可能な離散的な光行の構成は、同じく請
求項３の特徴部分に相応した照明装置により達成され得
る。
求項３の特徴部分に相応した照明装置により達成され得
る。
特別な光学系の使用によりバーコードのマーキングの
高さは縮小され、またはインテグレートされる。１つの
マーキング要素またはすべてのマーキング要素の照明か
つ撮像される高さは光学系により１つの方向、特にｚ方
向に圧縮されるので、位置敏感性の受信器上の像は、バ
ーコードの視野または照明される範囲が完全な分解を顧
慮して完全に結像されるように構成されている。マーキ
ング要素とマーキング要素を取り囲むバーコード間に存
在する面との間の分解は、センサの少なくとも２つない
し３つの要素がマーキング要素またはセンサ上のマーキ
ング要素の像の可能な場所に対して利用可能にされる形
態で行われる。
高さは縮小され、またはインテグレートされる。１つの
マーキング要素またはすべてのマーキング要素の照明か
つ撮像される高さは光学系により１つの方向、特にｚ方
向に圧縮されるので、位置敏感性の受信器上の像は、バ
ーコードの視野または照明される範囲が完全な分解を顧
慮して完全に結像されるように構成されている。マーキ
ング要素とマーキング要素を取り囲むバーコード間に存
在する面との間の分解は、センサの少なくとも２つない
し３つの要素がマーキング要素またはセンサ上のマーキ
ング要素の像の可能な場所に対して利用可能にされる形
態で行われる。
本発明の他の有利な構成は従属請求項から引き出すこ
とができる。
とができる。
以下、図面により本発明の原理およびいくつかの実施
例を説明する。
例を説明する。
図１は反射する表面を処理する際の関係を示す。
図2aはマーキング要素とこれらを囲むマーキング面と
の間のコントラストに関する光学的関係を示す。
の間のコントラストに関する光学的関係を示す。
図2bは並び合って位置する照明要素の光束によるコン
トラスト減少を説明する。
トラスト減少を説明する。
図３は傾斜したウェーハの取扱に関する。
図４はバーコードを撮像するための個々の構成要素の
全体配置を示す。
全体配置を示す。
図５はレンズ系により方向付けられた光を有する照明
を発生するための装置を示す。
を発生するための装置を示す。
図６は傾斜したウェーハ上のバーコードを読取るため
の全体装置の原理図である。
の全体装置の原理図である。
本発明による方法は下記の問題を解決する。
−反射する表面上のバーコードの認識、 −わずかなコストラストにもかかわらず鏡と散乱面との
間の分解または認識、 −たとえば傾斜、シュリーレン形成、かき傷、表面上の
異なった粗さのような撹乱量の影響の回避。
間の分解または認識、 −たとえば傾斜、シュリーレン形成、かき傷、表面上の
異なった粗さのような撹乱量の影響の回避。
すべての方法は光学系のなかでマーキング面MFを撮像
するために特別な明視野照明を利用する。マーキング面
MF上のマーキング要素MEはそれらに当たる光を大部分、
受信器光学系EOを通り過ぎて散乱させる。要素は暗く現
れる。
するために特別な明視野照明を利用する。マーキング面
MF上のマーキング要素MEはそれらに当たる光を大部分、
受信器光学系EOを通り過ぎて散乱させる。要素は暗く現
れる。
受信器光学系EOおよび受信器センサESまたはセンサ領
域のシステムはマーキングを、撮像面の種々の軸が異な
った光学的尺度を有するように撮像する。システムは、
最小の面要素が軸線に沿ってセンサ上にインテグレート
されるように構成されている。受信器光学系EOはその際
に特にバーコードのバーの高さを、それらが像のなかで
それらの高さを圧縮されて現れるように撮像する。この
ことはバーの高さを越える明るさのインテグレーション
を生じさせる。この理由からコントラストのなかの欠
陥、たとえばマーキングの１つの部分の欠陥または白い
中間空間のなかの黒く現れるかき傷はあまり目立たなく
なる。このことは全体としてかき傷またはシュリーレン
のような不規則的に生ずる擾乱量の擾乱作用の減少に通
ずる。さらにマーキング要素の不均等性が均等化され
る。
域のシステムはマーキングを、撮像面の種々の軸が異な
った光学的尺度を有するように撮像する。システムは、
最小の面要素が軸線に沿ってセンサ上にインテグレート
されるように構成されている。受信器光学系EOはその際
に特にバーコードのバーの高さを、それらが像のなかで
それらの高さを圧縮されて現れるように撮像する。この
ことはバーの高さを越える明るさのインテグレーション
を生じさせる。この理由からコントラストのなかの欠
陥、たとえばマーキングの１つの部分の欠陥または白い
中間空間のなかの黒く現れるかき傷はあまり目立たなく
なる。このことは全体としてかき傷またはシュリーレン
のような不規則的に生ずる擾乱量の擾乱作用の減少に通
ずる。さらにマーキング要素の不均等性が均等化され
る。
ウェーハ傾斜または表面の異なった粗さのような擾乱
は照明ユニットの後調節により減ぜられ、またコントラ
ストが強くされる。
は照明ユニットの後調節により減ぜられ、またコントラ
ストが強くされる。
図１中に平らな反射する表面として示されている特別
な照明装置BAが、空間的に広がっているマーキング面MF
の各部分から光線を受信器光学系EOのなかに到達させる
ため、使用される。各照明要素BE、BE1〜２、から狭い
光束LBのみが半透過性のビームスプリッターSTを経てマ
ーキング面MFを有するウェーハＷの上に到達し、またこ
こから受信器光学系EOのなかに反射される。照明要素BE
1の光束LB1およびLB2は受信器光学系EOのなかに到達し
ない。多くのこのような正しく配置された照明要素によ
り、空間的に広がったマーキング面MFは均等に明視野法
で照明され得る。
な照明装置BAが、空間的に広がっているマーキング面MF
の各部分から光線を受信器光学系EOのなかに到達させる
ため、使用される。各照明要素BE、BE1〜２、から狭い
光束LBのみが半透過性のビームスプリッターSTを経てマ
ーキング面MFを有するウェーハＷの上に到達し、またこ
こから受信器光学系EOのなかに反射される。照明要素BE
1の光束LB1およびLB2は受信器光学系EOのなかに到達し
ない。多くのこのような正しく配置された照明要素によ
り、空間的に広がったマーキング面MFは均等に明視野法
で照明され得る。
通常の照明装置BAでは多くの照明要素BEが図2a中に示
されているように並び合って配置されている。照明要素
BE1からの光束LBはウェーハＷの周辺の面UMに当たり、
受信器光学系EOのなかに反射される。周辺の面UMは理想
的に反射する表面ではないので、反射された光は狭い散
乱円錐SKを構成する。最大の強度を有する光線は受信器
光学系のなかに到達し、矢印Ｐ−SKとして示されてい
る。光束LB1は光束LBとならんでマーキング要素MEに当
たり、受信器光学系EOのなかにも反射される。マーキン
グ要素MEはマーキング要素を取り込む面UMよりも粗い粗
さを有するので、より広い散乱円錐SK1を構成する。矢
印Ｐ−SK1はその相応の長さによりこの散乱円錐の最大
の強度を示す。光束LB1の反射された光も受信器光学系E
Oのなかに到達する。矢印Ｐ−SKおよびＰ−SK1の長さの
差は周辺の面UMとマーキング要素MEとの間のコントラス
トを表す。
されているように並び合って配置されている。照明要素
BE1からの光束LBはウェーハＷの周辺の面UMに当たり、
受信器光学系EOのなかに反射される。周辺の面UMは理想
的に反射する表面ではないので、反射された光は狭い散
乱円錐SKを構成する。最大の強度を有する光線は受信器
光学系のなかに到達し、矢印Ｐ−SKとして示されてい
る。光束LB1は光束LBとならんでマーキング要素MEに当
たり、受信器光学系EOのなかにも反射される。マーキン
グ要素MEはマーキング要素を取り込む面UMよりも粗い粗
さを有するので、より広い散乱円錐SK1を構成する。矢
印Ｐ−SK1はその相応の長さによりこの散乱円錐の最大
の強度を示す。光束LB1の反射された光も受信器光学系E
Oのなかに到達する。矢印Ｐ−SKおよびＰ−SK1の長さの
差は周辺の面UMとマーキング要素MEとの間のコントラス
トを表す。
図2bにはさらに、照明要素BE2を有する照明が示され
ている。光束LB2は光束LB1がマーキング要素MEに当たる
面と等しい面に当たるべきである。マーキング要素MEの
粗さにより散乱円錐SK2が生ずる。反射された光の大部
分は受信器光学系EOのなかに到達しない。しかし、反射
された光の矢印Ｐ−SK2により示されている一部分は、
矢印Ｐ−SKおよびＰ−SK1により表される光と等しい方
向を有し、受信器光学系EOのなかにも到達する。
ている。光束LB2は光束LB1がマーキング要素MEに当たる
面と等しい面に当たるべきである。マーキング要素MEの
粗さにより散乱円錐SK2が生ずる。反射された光の大部
分は受信器光学系EOのなかに到達しない。しかし、反射
された光の矢印Ｐ−SK2により示されている一部分は、
矢印Ｐ−SKおよびＰ−SK1により表される光と等しい方
向を有し、受信器光学系EOのなかにも到達する。
光束LB、LB1、LB2の反射された光線の重なりにより最
もわずかなコントラストK2を有するウェーハＷの像が受
信器光学系EOに生ずる。照明装置は、照明要素BE1から
の光のみが当該のウェーハ表面に当たり、従ってまた最
適のコントラストK1が受信器光学系のなかに現れるよう
に設定すべきである。
もわずかなコントラストK2を有するウェーハＷの像が受
信器光学系EOに生ずる。照明装置は、照明要素BE1から
の光のみが当該のウェーハ表面に当たり、従ってまた最
適のコントラストK1が受信器光学系のなかに現れるよう
に設定すべきである。
マーキング面MFの平面は傾けられていることもあり得
る。同じくウェーハ供給の際の許容差によりウェーハＷ
の傾斜が生じ得る。ウェーハＷがその目標位置に位置決
めされている場合には、上記の条件に相応して照明装置
BAの照明要素BE1のみがスイッチオンされる。絞りBLに
より、狭い光束LB1のみがビッムスプリッターSTを経て
ウェーハＷに当たることが示されている。反射された光
は受信器光学系EOのなかに明視野照明の際にコントラス
トの十分な像を生ずる。
る。同じくウェーハ供給の際の許容差によりウェーハＷ
の傾斜が生じ得る。ウェーハＷがその目標位置に位置決
めされている場合には、上記の条件に相応して照明装置
BAの照明要素BE1のみがスイッチオンされる。絞りBLに
より、狭い光束LB1のみがビッムスプリッターSTを経て
ウェーハＷに当たることが示されている。反射された光
は受信器光学系EOのなかに明視野照明の際にコントラス
トの十分な像を生ずる。
マーキング面MFが角度α以下に傾けられているなら
ば、コントラストの十分な像を発生するため、その光束
LB2が明視野条件を満足する照明要素BE2がスイッチオン
されなければならない。
ば、コントラストの十分な像を発生するため、その光束
LB2が明視野条件を満足する照明要素BE2がスイッチオン
されなければならない。
図４には反射する表面上のバーコードを照明するため
の装置の実現例が示されている。この照明装置は光導体
LLに連結されている発光ダイオードLEDを含んでいる。
光導体の出射面AFまたは中間に接続されている艶消し板
MSにおいて出射する光はほとんど均等である。このこと
は、発光ダイオードLEDにより光導体LLのなかに入射さ
れた光が光導体LLの外面において多数回反射され、それ
によって光の均等化が行われることにより達成される。
さらに必要な場合には、後段に接続されている艶消し板
MSによりさらに、出射面にわたる光の均等化が達成され
得る。
の装置の実現例が示されている。この照明装置は光導体
LLに連結されている発光ダイオードLEDを含んでいる。
光導体の出射面AFまたは中間に接続されている艶消し板
MSにおいて出射する光はほとんど均等である。このこと
は、発光ダイオードLEDにより光導体LLのなかに入射さ
れた光が光導体LLの外面において多数回反射され、それ
によって光の均等化が行われることにより達成される。
さらに必要な場合には、後段に接続されている艶消し板
MSによりさらに、出射面にわたる光の均等化が達成され
得る。
光出射面AFの幅Ｂは、図１に相応して反射する表面を
考慮に入れるため前記の条件が満足されているように選
ばれている。幅Ｂは、ｙ軸の周りのウェーハ表面の傾斜
の際に前記の条件をさらに満足し得るように、相応の尺
度だけ拡大されている。ウェーハ上に付けられたバーコ
ードの始端範囲および終端範囲はその場合に常に均等に
照明されている。図４では光は先ずマーキング面MFを有
するウェーハＷ上に導かれ、そこで反射され、また固定
の鏡SPを経て受信器光学系EOのなかに導かれる。すべて
の装置はバーコードの一般に長く延びている長方形の形
状を考慮に入れている。受信器光学系EOを経て受信セン
サES上に結像されたマーキング面MFの像はｘ方向の延び
に関して受信センサESのこの方向に位置分解する要素に
適合されている。一次元に分解する受信センサESが存在
するならば、その要素の各々に対して、マーキング面の
相応の部分のインテグレートまたは圧縮された像が発生
される。このインテグレートする作用により、たとえば
かき傷またはシュリーレンのような特定の擾乱量の影響
が減ぜられる。二次元の位置分解する受信器（CCDアレ
イ）も同じく使用可能である。
考慮に入れるため前記の条件が満足されているように選
ばれている。幅Ｂは、ｙ軸の周りのウェーハ表面の傾斜
の際に前記の条件をさらに満足し得るように、相応の尺
度だけ拡大されている。ウェーハ上に付けられたバーコ
ードの始端範囲および終端範囲はその場合に常に均等に
照明されている。図４では光は先ずマーキング面MFを有
するウェーハＷ上に導かれ、そこで反射され、また固定
の鏡SPを経て受信器光学系EOのなかに導かれる。すべて
の装置はバーコードの一般に長く延びている長方形の形
状を考慮に入れている。受信器光学系EOを経て受信セン
サES上に結像されたマーキング面MFの像はｘ方向の延び
に関して受信センサESのこの方向に位置分解する要素に
適合されている。一次元に分解する受信センサESが存在
するならば、その要素の各々に対して、マーキング面の
相応の部分のインテグレートまたは圧縮された像が発生
される。このインテグレートする作用により、たとえば
かき傷またはシュリーレンのような特定の擾乱量の影響
が減ぜられる。二次元の位置分解する受信器（CCDアレ
イ）も同じく使用可能である。
図2aおよび図2bに相応する最適なコントラストを満足
するため、狭い開口絞りSBが配置された。ｚ軸の方向の
開口絞りSBの運動BWにより、明視野条件が満足される絞
り位置決めが見出され得る。開口絞りのなかの開口面SF
の長手方向の延びは、マーキング面MFを各状態で十分に
照明する必要性に相応して定められている。絞り開口の
長手方向の延びに対して垂直な幅の最小化により、請求
項１の特徴部分に依拠して受信センサESにおける最適な
コントラストが達成され得る。
するため、狭い開口絞りSBが配置された。ｚ軸の方向の
開口絞りSBの運動BWにより、明視野条件が満足される絞
り位置決めが見出され得る。開口絞りのなかの開口面SF
の長手方向の延びは、マーキング面MFを各状態で十分に
照明する必要性に相応して定められている。絞り開口の
長手方向の延びに対して垂直な幅の最小化により、請求
項１の特徴部分に依拠して受信センサESにおける最適な
コントラストが達成され得る。
光の均等化のために光導体を使用する代わりに、指向
性の光を有する図５に相応する特別なレンズ系によって
もマーキング面の均等な照明が達成され得る。先ず光は
第１のレンズ要素のなかの孔により広げられる。別の円
筒レンズは、マーキング面MFが均等に照明されているよ
うに光を指向性に集束する。反射された光は次いで受信
器光学系EOのなかに到達する。図５には、理解を容易に
するため、光線経路が直線で示されている。本方法の応
用の際にはウェーハＷの平面的で光が反射される。ここ
に使用されている簡単な円筒レンズにより照明要素の像
は光軸に沿って長く歪ませられており、それによってウ
ェーハの間隔変化の際になお十分に均等な照明が与えら
れている。
性の光を有する図５に相応する特別なレンズ系によって
もマーキング面の均等な照明が達成され得る。先ず光は
第１のレンズ要素のなかの孔により広げられる。別の円
筒レンズは、マーキング面MFが均等に照明されているよ
うに光を指向性に集束する。反射された光は次いで受信
器光学系EOのなかに到達する。図５には、理解を容易に
するため、光線経路が直線で示されている。本方法の応
用の際にはウェーハＷの平面的で光が反射される。ここ
に使用されている簡単な円筒レンズにより照明要素の像
は光軸に沿って長く歪ませられており、それによってウ
ェーハの間隔変化の際になお十分に均等な照明が与えら
れている。
照明レンズの幅および高さの選定によりバーコードを
有するマーキング面MFの長方形の面が完全に照明され得
る（図５）。この選定により、反射する表面を取り扱
い、また図４に相応するｙ軸の周りのウェーハＷの傾斜
を考慮に入れるという本方法への要求も達成され得る。
出射面AFの範囲内に図４のように可動の開口絞りSBも配
置され得る。良好なコントラストを達成するために、い
ずれの場合にも図2aおよび図2bによる原理が応用され得
る。
有するマーキング面MFの長方形の面が完全に照明され得
る（図５）。この選定により、反射する表面を取り扱
い、また図４に相応するｙ軸の周りのウェーハＷの傾斜
を考慮に入れるという本方法への要求も達成され得る。
出射面AFの範囲内に図４のように可動の開口絞りSBも配
置され得る。良好なコントラストを達成するために、い
ずれの場合にも図2aおよび図2bによる原理が応用され得
る。
撮像光学系としては球面レンズが円筒レンズと組み合
わせて使用される。焦点距離および配置は、ｘ方向およ
びｚ方向に相異なる撮像尺度が生ずるように選ばれてい
る。このような光学系は特に、バーコードの高さが縮小
されてホトダイオード要素の高さに撮像されるべきであ
るので、使用される。これによりインテグレーションが
達成される。バーコード上のシュリーレンまたはかき傷
はそれにより像のなかのそのつどの明るさに、または受
信センサES内のホトダイオード行の電気的信号の電圧レ
ベルにわずかな影響しか与えない。マーキング要素は通
常のようにレーザーにより付けられる。これらのたいて
いは点状の凹みは多かれ少なかれ大きい相互間隔を有す
る。ここでもこの撮像光学系のインテグレーション効果
は像または電気的信号に望ましく作用する。
わせて使用される。焦点距離および配置は、ｘ方向およ
びｚ方向に相異なる撮像尺度が生ずるように選ばれてい
る。このような光学系は特に、バーコードの高さが縮小
されてホトダイオード要素の高さに撮像されるべきであ
るので、使用される。これによりインテグレーションが
達成される。バーコード上のシュリーレンまたはかき傷
はそれにより像のなかのそのつどの明るさに、または受
信センサES内のホトダイオード行の電気的信号の電圧レ
ベルにわずかな影響しか与えない。マーキング要素は通
常のようにレーザーにより付けられる。これらのたいて
いは点状の凹みは多かれ少なかれ大きい相互間隔を有す
る。ここでもこの撮像光学系のインテグレーション効果
は像または電気的信号に望ましく作用する。
バーコードの高さをインテグレートしてホトダイオー
ド行の上に撮像する目的は、特別なホトダイオード行を
有するアナモルフィックな撮像光学系なしでも達成され
得る。バーコードは通常の球状光学系により、非常に高
いホトダイオード要素を有する特別なホトダイオード行
の上に撮像される。
ド行の上に撮像する目的は、特別なホトダイオード行を
有するアナモルフィックな撮像光学系なしでも達成され
得る。バーコードは通常の球状光学系により、非常に高
いホトダイオード要素を有する特別なホトダイオード行
の上に撮像される。
自動化のために全システムが調節される。前記のよう
に、ウェーハ同定はさまざまな擾乱量の影響を受ける。
これらは定められた目標位置にくらべてのマーキング面
MFの長さ変化と相異なるウェーハのマーキング面MFの間
の粗さ変化とに分けられ得る。擾乱量はコントラストを
悪化させる。マーキングの同定が不可能になり得る。後
調節によりこれらの擾乱量の影響が減ぜられる。
に、ウェーハ同定はさまざまな擾乱量の影響を受ける。
これらは定められた目標位置にくらべてのマーキング面
MFの長さ変化と相異なるウェーハのマーキング面MFの間
の粗さ変化とに分けられ得る。擾乱量はコントラストを
悪化させる。マーキングの同定が不可能になり得る。後
調節によりこれらの擾乱量の影響が減ぜられる。
図６には本発明による方法を実施するための全体配置
が示されている。調節は下記の制御量を使用する。
が示されている。調節は下記の制御量を使用する。
ａ）最大の明るさまたは平均的な全明るさＳ（ｈ）およ
び ｂ）最大または平均的な利用信号の明るさＳ（ｎ）。
び ｂ）最大または平均的な利用信号の明るさＳ（ｎ）。
これらの制御量は受信器センサESから与えられる信号
の電気的前処理を介して一義的に制御量に対応付けられ
ている電気的信号Ｓ（ｈ）またはＳ（ｈ）に変換され
る。
の電気的前処理を介して一義的に制御量に対応付けられ
ている電気的信号Ｓ（ｈ）またはＳ（ｈ）に変換され
る。
調節部から与えられる操作量は出射面AFから出射され
る明るさの変化および開口絞りSBの位置の変化を生じさ
せる。
る明るさの変化および開口絞りSBの位置の変化を生じさ
せる。
マーキング面の位置変化は目標位置にくらべてのウェ
ーハＷの傾斜により、またはウェーハ表面の湾曲により
生ずる。ｚ軸の周りのマーキング面MFの回転の限度はバ
ーコードの高さを介して、またｙ軸の周りのマーキング
面MFの回転の限度は開口面SFの長手方向の延びに対して
垂直な幅および照明している出射面AFの幅を介して予め
定められる（図４）。
ーハＷの傾斜により、またはウェーハ表面の湾曲により
生ずる。ｚ軸の周りのマーキング面MFの回転の限度はバ
ーコードの高さを介して、またｙ軸の周りのマーキング
面MFの回転の限度は開口面SFの長手方向の延びに対して
垂直な幅および照明している出射面AFの幅を介して予め
定められる（図４）。
ｘ軸の周りのマーキング面MFの傾斜ならびにｚ方向の
マーキング面位置の変化は、明視野結像のために必要な
反射角度の変化を生じさせる。マーキングはもやは最適
に照射されず、また悪いコントラストにより受信器光学
系を介して結像される。照明の適合は開口絞りSBの位置
補正により達成される。開口絞りSBはｚ方向に後調節に
より、受信器センサまたは受信器センサ領域への最大の
光入射が生ずるようにずらされる。測定された電気的信
号Ｓ（ｈ）は開口絞りSBの位置を介して最大に調節され
る。この調節過程の間に受信器センサES上にあまりに多
い光が入ると、出射面AFから出射する光の強度が後調節
される。
マーキング面位置の変化は、明視野結像のために必要な
反射角度の変化を生じさせる。マーキングはもやは最適
に照射されず、また悪いコントラストにより受信器光学
系を介して結像される。照明の適合は開口絞りSBの位置
補正により達成される。開口絞りSBはｚ方向に後調節に
より、受信器センサまたは受信器センサ領域への最大の
光入射が生ずるようにずらされる。測定された電気的信
号Ｓ（ｈ）は開口絞りSBの位置を介して最大に調節され
る。この調節過程の間に受信器センサES上にあまりに多
い光が入ると、出射面AFから出射する光の強度が後調節
される。
ウェーハ表面上のコントラストはマーキング要素MEと
マーキング要素MEを取り囲む面UMとの間の相異なる粗さ
により生ずる。粗さはマーキング面MFから反射される光
の散乱を生じさせる。読取りヘッドに与えられるマーキ
ングの粗さは必ずしも等しくない。受信器センサESに入
射する光量はマーキングの質に関係している。調節によ
り出射面AFにおける明るさが、制御量に相応する電気的
利用信号レベルＳ（ｎ）が最大であるように設定され
る。
マーキング要素MEを取り囲む面UMとの間の相異なる粗さ
により生ずる。粗さはマーキング面MFから反射される光
の散乱を生じさせる。読取りヘッドに与えられるマーキ
ングの粗さは必ずしも等しくない。受信器センサESに入
射する光量はマーキングの質に関係している。調節によ
り出射面AFにおける明るさが、制御量に相応する電気的
利用信号レベルＳ（ｎ）が最大であるように設定され
る。
図５には絞りを有する照明および特別な出射面AFを有
する相応に適合された光学系とならんでさらに、受信器
光学系EO、ウェーハ平面WE、マーキング面MFおよび均等
な光HLが存在する個所が示されている。撮像光学系の主
平面はHEOを付されている。照明要素の像はBBEを付され
ている。
する相応に適合された光学系とならんでさらに、受信器
光学系EO、ウェーハ平面WE、マーキング面MFおよび均等
な光HLが存在する個所が示されている。撮像光学系の主
平面はHEOを付されている。照明要素の像はBBEを付され
ている。
図６にはこれまでに説明した要素に加えて信号処理部
SVならびに明るさ調節部HRが示されている。
SVならびに明るさ調節部HRが示されている。
明視野照明の定義は特別である。
照明の光は対象物表面上で反射される（入射角＝出射
角）。反射された光は直接に受信器光学系EOのなかに到
達する。対象物表面が理想的な鏡に相当せずに、入射光
が粗さにより散乱される場合には、光束は広げられ、ま
たもはやすべての入射された光が受信器光学系EOのなか
に入らない。
角）。反射された光は直接に受信器光学系EOのなかに到
達する。対象物表面が理想的な鏡に相当せずに、入射光
が粗さにより散乱される場合には、光束は広げられ、ま
たもはやすべての入射された光が受信器光学系EOのなか
に入らない。
特にウェーハ上または反射する表面上に特定の方法
（レーザーマーキング）により面の粗さ変化が所々にひ
き起こされた面セクションがマーキング面とみなされ
る。
（レーザーマーキング）により面の粗さ変化が所々にひ
き起こされた面セクションがマーキング面とみなされ
る。
マーキング要素MEは、マーキング面MFのなかに存在し
ておりその位置が予め定められている面断片である。粗
くする工程はレーザー法により行われ得る。この際に小
さい孔が面のなかへ溶かし込まれ、または焼付けられ
る。レーザーにより溶かし込まれたマーキング点は必ず
しも的確に並び合って位置していない。個々のマーキン
グ点の間に変更されない面要素も位置し得る。
ておりその位置が予め定められている面断片である。粗
くする工程はレーザー法により行われ得る。この際に小
さい孔が面のなかへ溶かし込まれ、または焼付けられ
る。レーザーにより溶かし込まれたマーキング点は必ず
しも的確に並び合って位置していない。個々のマーキン
グ点の間に変更されない面要素も位置し得る。
利用信号の明るさとは、バーコードの撮像により受信
器センサまたは受信器センサ領域のなかにバーコードの
経過に相応して発生させる信号をいう。明るさ変化は電
気的信号レベル変化により表される。サンプリング周期
にわたり測定された平均的なレベル変化は平均的な利用
信号の明るさである。サンプリング空間にわたり測定さ
れた最大の電気的レベル変化は平均的なレベル変化であ
る。測定された利用信号の明るさに一義的な電気的信号
Ｓ（ｎ）が対応付けられている。
器センサまたは受信器センサ領域のなかにバーコードの
経過に相応して発生させる信号をいう。明るさ変化は電
気的信号レベル変化により表される。サンプリング周期
にわたり測定された平均的なレベル変化は平均的な利用
信号の明るさである。サンプリング空間にわたり測定さ
れた最大の電気的レベル変化は平均的なレベル変化であ
る。測定された利用信号の明るさに一義的な電気的信号
Ｓ（ｎ）が対応付けられている。
バーコード（凹み）の要素は光線偏向を生じさせる。
ウェーハＷのなかに付けられたバーコードの深さに応じ
て平均的に１゜またはそれよりも大きい偏向角が生じ得
る。可動の開口絞りSBの絞り開口はこれに関して最小の
角度に適合されており、従ってバーコードから反射され
るたいていの光線は撮像光学系のなかに入らない。バー
コードの要素は受信センサES上に暗く撮像される。発光
ダイオードLEDの明るさが続いて、最大コントラストが
生ずるように後調節される。
ウェーハＷのなかに付けられたバーコードの深さに応じ
て平均的に１゜またはそれよりも大きい偏向角が生じ得
る。可動の開口絞りSBの絞り開口はこれに関して最小の
角度に適合されており、従ってバーコードから反射され
るたいていの光線は撮像光学系のなかに入らない。バー
コードの要素は受信センサES上に暗く撮像される。発光
ダイオードLEDの明るさが続いて、最大コントラストが
生ずるように後調節される。
光行を発生するための層状に構成された光導体を製造
するため、たとえば通常のガラスまたはプレキシガラス
または他の通常の光導体材料が使用され得る。最適コン
トラストを達成するための後調節だけでなく開口絞りSB
の上下運動も自動化され得る。絞りの面上には均等化さ
れた光が当たらなければならない。絞りはそれから特定
の部分を切り取る。光行を発生するため、またはマーキ
ング面MFに向けられた均等化された光を発生するため、
全体で３つの変形形態が実現可能である。
するため、たとえば通常のガラスまたはプレキシガラス
または他の通常の光導体材料が使用され得る。最適コン
トラストを達成するための後調節だけでなく開口絞りSB
の上下運動も自動化され得る。絞りの面上には均等化さ
れた光が当たらなければならない。絞りはそれから特定
の部分を切り取る。光行を発生するため、またはマーキ
ング面MFに向けられた均等化された光を発生するため、
全体で３つの変形形態が実現可能である。
本発明の原理的な考え方は、ウェーハ上に当たる光の
強く狭められた角度範囲を検出しかつ評価することにあ
る。その周囲にくらべて十分なコントラストを有するい
わゆるソフトマーク（約0.5μｍの深さを有する凹み）
を認識するためには、前記の条件が必要である。光行に
対する条件は、（ｚ方向に見て）光行が狭いほどコント
ラストが鋭いことにある。表面の粗さの増大と共に、反
射される光の分布（散乱円錐）は広くなり、またほとん
ど鏡面的に反射する周囲の面UMと比較してのコントラス
トは大きくなる。
強く狭められた角度範囲を検出しかつ評価することにあ
る。その周囲にくらべて十分なコントラストを有するい
わゆるソフトマーク（約0.5μｍの深さを有する凹み）
を認識するためには、前記の条件が必要である。光行に
対する条件は、（ｚ方向に見て）光行が狭いほどコント
ラストが鋭いことにある。表面の粗さの増大と共に、反
射される光の分布（散乱円錐）は広くなり、またほとん
ど鏡面的に反射する周囲の面UMと比較してのコントラス
トは大きくなる。
バーコードマーキング、たとえばバーコードは下記の
データを有する。
データを有する。
バーの高さ：全体で18のマーキング点（ドット）を有
する1.7mm。
する1.7mm。
マーキング領域MFは約16×1.7mmの面状の広がりを有
する。
する。
本発明により、ハードマークにより発生されたバーコ
ードも読取られ得る。ハードーマークは、バーコードの
バーが製造されたマーキング点であり、その際にそれぞ
れより深い孔が存在する。
ードも読取られ得る。ハードーマークは、バーコードの
バーが製造されたマーキング点であり、その際にそれぞ
れより深い孔が存在する。
冒頭に記載したように、反射する表面にバーコードを
設けられているウェーハの同定の際の問題は、先ず十分
なコンラストを有する像が受信器上に発生されなければ
ならないことにある。さらに困難を加えることとして、
バーコードのなかのマーキングの被覆が新たに、非常に
わずかな深さを有するいわゆるソフトマークにより行わ
れる。こうして擾乱が、どんな場合にも光を深い孔のよ
うに吸収せずに、主として異なる表面粗さまたは表面ジ
オメトリ（湾曲）により欠陥のない周囲の表面と異なる
欠陥のない表面のなかに存在する。
設けられているウェーハの同定の際の問題は、先ず十分
なコンラストを有する像が受信器上に発生されなければ
ならないことにある。さらに困難を加えることとして、
バーコードのなかのマーキングの被覆が新たに、非常に
わずかな深さを有するいわゆるソフトマークにより行わ
れる。こうして擾乱が、どんな場合にも光を深い孔のよ
うに吸収せずに、主として異なる表面粗さまたは表面ジ
オメトリ（湾曲）により欠陥のない周囲の表面と異なる
欠陥のない表面のなかに存在する。
明視野照明の代わりにもちろん暗視野照明も採用され
得る。実施例では主として明視野照明が示されている。
暗視野照明はその定義に相応して、マーキング要素MEを
囲む面UMの上に当たる照明光線が受信器光学系EOに、従
ってまた受信センサESに入射しないように設定される。
得る。実施例では主として明視野照明が示されている。
暗視野照明はその定義に相応して、マーキング要素MEを
囲む面UMの上に当たる照明光線が受信器光学系EOに、従
ってまた受信センサESに入射しないように設定される。
図４にはウェーハＷの上に構造化された面であるマー
キング面MFが概略的に示されている。それはマーキング
要素MEと、それらの中間に位置するかまたはそれらを囲
んでおり、主として残りのウェーハ表面の性状を有する
面UMとを含んでいる。
キング面MFが概略的に示されている。それはマーキング
要素MEと、それらの中間に位置するかまたはそれらを囲
んでおり、主として残りのウェーハ表面の性状を有する
面UMとを含んでいる。
図７および図８には、ウェーハＷの回転または傾斜が
どのように影響し得るかが示されている。図７には角度
ａだけのウェーハＷの回転が示されている。読取り領域
LFは図示されている状態であらゆる場合に正しい位置に
合わされたマーキング面MF1を検出し、また図７に相応
してもう１つの回転されたマーキング面MF2をも検出す
る。こうして、わずかな回転が誤測定に通じないこと、
または認識の確実さを高めることが保証されている。図
８中に正しい位置で示されているマーキング面MFを有す
るウェーハW1の上で、入射する光束LB4は反射法則に相
応して反射された光束LB4aとして反射される。図示され
ているウェーハW2に相応する傾斜の際に反射された光束
LB4bが発生される。図８中で光束を表す矢印の長さは純
粋に概略的である。ウェーハの図８中に示されているわ
ずかな傾斜は、本発明による読取り過程の際に同じく誤
測定に通じない。
どのように影響し得るかが示されている。図７には角度
ａだけのウェーハＷの回転が示されている。読取り領域
LFは図示されている状態であらゆる場合に正しい位置に
合わされたマーキング面MF1を検出し、また図７に相応
してもう１つの回転されたマーキング面MF2をも検出す
る。こうして、わずかな回転が誤測定に通じないこと、
または認識の確実さを高めることが保証されている。図
８中に正しい位置で示されているマーキング面MFを有す
るウェーハW1の上で、入射する光束LB4は反射法則に相
応して反射された光束LB4aとして反射される。図示され
ているウェーハW2に相応する傾斜の際に反射された光束
LB4bが発生される。図８中で光束を表す矢印の長さは純
粋に概略的である。ウェーハの図８中に示されているわ
ずかな傾斜は、本発明による読取り過程の際に同じく誤
測定に通じない。
Claims (5)
- 【請求項１】バーコードを撮像するための方法であっ
て、固定のバーコードが照明装置により照明され、受信
光学系（EO）がバーコードを有する面をその長手方向、
ここではｘ方向に完全に、またｙ方向に延びているマー
キング要素（ME）の高さに関して少なくとも部分的に一
次元または二次元に分解する受信センサ（ES）上に撮像
する方法において、 光束が照明装置からバーコードを有する面上に、反射さ
れた光束が受信光学系（EO）を介して受信センサ（ES）
上にマーキング要素（ME）を取り囲む面（UM）に関して
最大の照明強度、従って明視野照明を発生するように当
たり、 照明装置で光行が発生され、この光行の全長から出る光
束がバーコードの全面上に明視野照明のもとに当たり、
マーキング要素（ME）を取り囲む面（UM）から反射さ
れ、受信光学系（EO）を介して受信センサ（ES）に到達
するように、光行が向けられており、 光行は明視野照明を作るためその長手方向に対して垂直
に動かされ、光束がマーキング面（MF）上に当たり、明
視野照明のもとに受信光学系（EO）を介して受信センサ
（ES）に到達し、 光行の幅は長手方向に垂直に延び、マーキング要素（M
E）上で散乱された光のうち受信光学系（EO）に到達す
る光の部分が最小化されるように定められている ことを特徴とするバーコードの撮像方法。 - 【請求項２】バーコードを撮像するための方法であっ
て、固定のバーコードが照明装置により照明され、受信
光学系（EO）がバーコードを有する面をその長手方向、
ここではｘ方向に完全に、またｙ方向に延びているマー
キング要素（ME）の高さに関して少なくとも部分的に一
次元または二次元に位置分解する受信センサ（ES）上に
撮像する方法において、 光束が照明装置からバーコードを有する面上に、反射さ
れた光束が受信光学系（EO）を介して受信センサ（ES）
上にマーキング要素（ME）を取り囲む面（UM）に関して
最大の照明強度を、従って暗視野照明を発生するように
当たり、 照明装置で光行が発生され、この光行の全長から出る光
束がバーコードの全面上に暗視野照明のもとに当たり、
マーキング要素（ME）を取り囲む面（UM）から反射さ
れ、受信センサ（ES）に到達しないように、光行が向け
られており、 光行は暗視野照明を作るためその長手方向に対して垂直
に動かされ、光束がマーキング面（MF）上に当たり、暗
視野照明のもとに受信光学系（EO）を介して受信センサ
（ES）に到達し、 光行の幅は長手方向に垂直に延び、マーキング要素（M
E）上で散乱された光のうち受信光学系（EO）を介して
受信センサ（ES）に到達する光の部分が最小化されるよ
うに定められている ことを特徴とするバーコードの撮像方法。 - 【請求項３】可動の光行の発生が複数の重なり合った光
導体（LL）の使用により行われ、これらの光導体がそれ
ぞれ個々に光を与えられ、それらの正面側の出射面がそ
れぞれ均等な光を送り出す複数の重なり合った光行をな
すことを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項４】バーコードの長さが受信センサ（ES）上の
像のなかで完全に、またバーコードの高さが受信センサ
（ES）上の像のなかで部分的にまたは完全に撮像される
ように、受信光学系がバーコードの長さおよび高さをそ
れぞれ相異なる撮像尺度で撮像することを特徴とする請
求項１ないし３のいずれか１つに記載の方法。 - 【請求項５】受信器センサ（ES）上に当たる光の照明強
度がコントラスト最適化のために調節され、その調節は
可動の光行の進む位置および照明装置における光の強度
を調節することによって行われることを特徴とする請求
項１ないし４のいずれか１つに記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4308699 | 1993-03-18 | ||
| DE4308699.3 | 1993-03-18 | ||
| PCT/DE1994/000278 WO1994022104A1 (de) | 1993-03-18 | 1994-03-14 | Verfahren zur aufnahme von strichcodierungen |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08503320A JPH08503320A (ja) | 1996-04-09 |
| JP2750953B2 true JP2750953B2 (ja) | 1998-05-18 |
Family
ID=6483162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6520512A Expired - Lifetime JP2750953B2 (ja) | 1993-03-18 | 1994-03-14 | バーコードの撮像方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6039254A (ja) |
| EP (1) | EP0689700B1 (ja) |
| JP (1) | JP2750953B2 (ja) |
| AT (1) | ATE154455T1 (ja) |
| DE (1) | DE59403121D1 (ja) |
| WO (1) | WO1994022104A1 (ja) |
Families Citing this family (31)
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