JP2747254B2 - 流体軸受装置 - Google Patents
流体軸受装置Info
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- JP2747254B2 JP2747254B2 JP25285795A JP25285795A JP2747254B2 JP 2747254 B2 JP2747254 B2 JP 2747254B2 JP 25285795 A JP25285795 A JP 25285795A JP 25285795 A JP25285795 A JP 25285795A JP 2747254 B2 JP2747254 B2 JP 2747254B2
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- pressure receiving
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、二部材を相対移動
可能に案内する流体軸受装置に関する。例えば、三次元
測定機をはじめとする多くの精密機器における可動部の
軸受として利用できる。
可能に案内する流体軸受装置に関する。例えば、三次元
測定機をはじめとする多くの精密機器における可動部の
軸受として利用できる。
【０００２】
【背景技術】静圧空気軸受装置は、非接触軸受であり、
摩擦、摩耗、ヒステリシスなどがなく、また、軸受案内
面の微小な凹凸を軸受隙間内に形成された空気膜により
平均化できる効果などから運動精度がきわめて良好であ
るという長所をもち、このことから、三次元測定機をは
じめとする多くの精密機器における可動部の軸受として
利用されている。
摩擦、摩耗、ヒステリシスなどがなく、また、軸受案内
面の微小な凹凸を軸受隙間内に形成された空気膜により
平均化できる効果などから運動精度がきわめて良好であ
るという長所をもち、このことから、三次元測定機をは
じめとする多くの精密機器における可動部の軸受として
利用されている。
【０００３】そこで、従来の空気軸受装置として、最も
一般的な給気孔絞り形空気軸受装置の構造を図５で説明
する。これは、図５（Ａ）に示す如く、相対移動する二
部材、つまり、軌道台１および可動台２のうち一方、こ
こでは、軌道台１の上面に前記相対移動方向に沿って形
成された案内面３と、他方の可動台２側に設けられた軸
受パッド４とから構成されている。軸受パッド４には、
流体噴出口を構成する流体ポケット５が前記案内面３に
開口して設けられているとともに、その流体ポケット５
に絞り６を通じて連通する流体供給口７が形成されてい
る。流体供給口７には、配管８を通じて図示省略の外部
給気源から圧縮空気 (圧力Ｐs)が供給される。
一般的な給気孔絞り形空気軸受装置の構造を図５で説明
する。これは、図５（Ａ）に示す如く、相対移動する二
部材、つまり、軌道台１および可動台２のうち一方、こ
こでは、軌道台１の上面に前記相対移動方向に沿って形
成された案内面３と、他方の可動台２側に設けられた軸
受パッド４とから構成されている。軸受パッド４には、
流体噴出口を構成する流体ポケット５が前記案内面３に
開口して設けられているとともに、その流体ポケット５
に絞り６を通じて連通する流体供給口７が形成されてい
る。流体供給口７には、配管８を通じて図示省略の外部
給気源から圧縮空気 (圧力Ｐs)が供給される。
【０００４】従って、外部給気源から圧縮空気 (圧力Ｐ
s)が流体供給口７から絞り６を通じて流体ポケット５に
供給されると、その圧縮空気 (圧力Ｐs)は案内面３と軸
受パッド４の底面との間の軸受隙間ｈから吹き出され
る。すると、可動台２は、吹き出された圧縮空気のもつ
静圧によって案内面３上に浮上されるから、可動台２を
軌道台１の案内面３に沿って円滑に移動させることがで
きる。なお、Ｐa は大気圧である。
s)が流体供給口７から絞り６を通じて流体ポケット５に
供給されると、その圧縮空気 (圧力Ｐs)は案内面３と軸
受パッド４の底面との間の軸受隙間ｈから吹き出され
る。すると、可動台２は、吹き出された圧縮空気のもつ
静圧によって案内面３上に浮上されるから、可動台２を
軌道台１の案内面３に沿って円滑に移動させることがで
きる。なお、Ｐa は大気圧である。
【０００５】いま、可動台２に荷重Ｗが作用していると
すると、案内面３と軸受パッド４の底面との間の軸受隙
間ｈには、荷重Ｗを支持するための圧力Ｐr が生じる。
このときの軸受隙間内の圧力分布は、図５（Ｂ）のよう
になっている。ここで、荷重Ｗは、この圧力分布を軸受
全面にわたって積分した値に等しい。一般的には、 Ｗ＝Ａe ×Ｐr0………（１） で与えられる。ただし、Ｐr0は流体ポケット５内に生じ
る圧力、Ａe は軸受有効面積で、軸受面形状によって決
定される軸受固有の定数である。
すると、案内面３と軸受パッド４の底面との間の軸受隙
間ｈには、荷重Ｗを支持するための圧力Ｐr が生じる。
このときの軸受隙間内の圧力分布は、図５（Ｂ）のよう
になっている。ここで、荷重Ｗは、この圧力分布を軸受
全面にわたって積分した値に等しい。一般的には、 Ｗ＝Ａe ×Ｐr0………（１） で与えられる。ただし、Ｐr0は流体ポケット５内に生じ
る圧力、Ａe は軸受有効面積で、軸受面形状によって決
定される軸受固有の定数である。
【０００６】また、軸受隙間内圧力Ｐr と軸受隙間ｈと
は、図６の関係で与えられる。これは、前記（１）式か
ら荷重Ｗと軸受隙間ｈとの関係に対応している。また、
このとき、軸受有効面積Ａe は、 ｄ0 2×π／４＞Ａe ＞ｄ1 2×π／４………（２） で与えられる。ただし、ｄ1 は流体ポケット５の直径、
ｄ0 は流体パッド４の直径である。
は、図６の関係で与えられる。これは、前記（１）式か
ら荷重Ｗと軸受隙間ｈとの関係に対応している。また、
このとき、軸受有効面積Ａe は、 ｄ0 2×π／４＞Ａe ＞ｄ1 2×π／４………（２） で与えられる。ただし、ｄ1 は流体ポケット５の直径、
ｄ0 は流体パッド４の直径である。
【０００７】この関係から、軸受隙間内圧力Ｐr が変化
すると、つまり、荷重Ｗが変動すると、軸受隙間ｈも変
化することになるから、軸受剛性が低いという問題があ
る。ちなみに、軸受剛性Ｋ1 は、負荷変動に対する軸受
隙間の変動をいい、 Ｋ1 ＝ΔＷ／Δｈ＝Ａe ×ΔＰr ／Δｈ………（３） で与えられる。
すると、つまり、荷重Ｗが変動すると、軸受隙間ｈも変
化することになるから、軸受剛性が低いという問題があ
る。ちなみに、軸受剛性Ｋ1 は、負荷変動に対する軸受
隙間の変動をいい、 Ｋ1 ＝ΔＷ／Δｈ＝Ａe ×ΔＰr ／Δｈ………（３） で与えられる。
【０００８】そこで、従来、空気軸受装置の軸受剛性を
高める方法として、給気の絞り効果を高め軸受隙間の
微小化による高剛性化を達成する方法、軸受隙間の圧
力を圧力センサで検出し、この圧力センサの検出圧力に
応じて絞り部での流量を調整する可変絞りによる方法、
軸受隙間を変位センサで検出し、このセンサの検出信
号に応じて絞り部での流量を調整する方法、などが提案
されている。
高める方法として、給気の絞り効果を高め軸受隙間の
微小化による高剛性化を達成する方法、軸受隙間の圧
力を圧力センサで検出し、この圧力センサの検出圧力に
応じて絞り部での流量を調整する可変絞りによる方法、
軸受隙間を変位センサで検出し、このセンサの検出信
号に応じて絞り部での流量を調整する方法、などが提案
されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
いずれの方法でも次のような問題がある。まず、の場
合には、加工に高い加工精度や微細加工が要求され、加
工技術上、限界がある。また、およびの場合、圧力
センサや変位センサなどが必要である上、それらのセン
サで検出された値に応じて絞りを可変するための駆動機
構、例えば、圧電素子などを用いた駆動機構が必要とな
ることから、機構的にも複雑化し、かつ、高価になると
いう問題がある。
いずれの方法でも次のような問題がある。まず、の場
合には、加工に高い加工精度や微細加工が要求され、加
工技術上、限界がある。また、およびの場合、圧力
センサや変位センサなどが必要である上、それらのセン
サで検出された値に応じて絞りを可変するための駆動機
構、例えば、圧電素子などを用いた駆動機構が必要とな
ることから、機構的にも複雑化し、かつ、高価になると
いう問題がある。
【００１０】ここに、本発明の目的は、このような従来
の問題を全て解消し、軸受の高剛性化を、加工上の制約
を受けることなく、構造的にも簡易にかつ安価に達成で
きる流体軸受装置を提供することにある。
の問題を全て解消し、軸受の高剛性化を、加工上の制約
を受けることなく、構造的にも簡易にかつ安価に達成で
きる流体軸受装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】そのため、本発明の流体
軸受装置では、相対移動する二部材のうち一方の部材に
前記相対移動方向に沿って設けられた案内面と、前記相
対移動する二部材のうち他方の部材側に前記案内面に開
口して設けられた流体噴出口と、この流体噴出口内に圧
力流体を供給する流体流路の途中に設けられた絞りとを
有する流体軸受装置において、前記他方の部材側に前記
流体噴出口に連通するチャンバを設けるとともに、この
チャンバの上壁を負荷変動に応じて前記案内面と前記流
体噴出口との間の軸受隙間方向へ変位可能な受圧板に構
成し、この受圧板に作用する負荷変動による受圧板のた
わみ量および前記チャンバ内圧の力によるたわみ量に基
づく受圧板の変位と、前記受圧板に作用する負荷変動お
よび軸受剛性に基づく軸受隙間変動とが相殺されるよう
に構成した、ことを特徴とする。
軸受装置では、相対移動する二部材のうち一方の部材に
前記相対移動方向に沿って設けられた案内面と、前記相
対移動する二部材のうち他方の部材側に前記案内面に開
口して設けられた流体噴出口と、この流体噴出口内に圧
力流体を供給する流体流路の途中に設けられた絞りとを
有する流体軸受装置において、前記他方の部材側に前記
流体噴出口に連通するチャンバを設けるとともに、この
チャンバの上壁を負荷変動に応じて前記案内面と前記流
体噴出口との間の軸受隙間方向へ変位可能な受圧板に構
成し、この受圧板に作用する負荷変動による受圧板のた
わみ量および前記チャンバ内圧の力によるたわみ量に基
づく受圧板の変位と、前記受圧板に作用する負荷変動お
よび軸受剛性に基づく軸受隙間変動とが相殺されるよう
に構成した、ことを特徴とする。
【００１２】高圧流体が絞りを通じて案内面と流体噴出
口との間の軸受隙間に供給されている状態において、負
荷が変動すると、その負荷変動によって受圧板が変位を
生じる。また、負荷変動によって案内面と流体噴出口と
の間の軸受隙間が変動するが、受圧板の変位と軸受隙間
変動とが相殺されるように構成されているから、負荷が
変動しても、相対移動する二部材の上下方向の相対位置
を一定に維持させることができる。よって、軸受全体と
して、高剛性化を達成することが可能である。
口との間の軸受隙間に供給されている状態において、負
荷が変動すると、その負荷変動によって受圧板が変位を
生じる。また、負荷変動によって案内面と流体噴出口と
の間の軸受隙間が変動するが、受圧板の変位と軸受隙間
変動とが相殺されるように構成されているから、負荷が
変動しても、相対移動する二部材の上下方向の相対位置
を一定に維持させることができる。よって、軸受全体と
して、高剛性化を達成することが可能である。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る流体軸受装置
の実施の一形態について、添付の図面（図１〜図４）を
参照しながら詳細に説明する。なお、これらの図の説明
に当たって、前述した図５および図６と同一構成要件に
ついては、同一符号を付し、その説明を省略もしくは簡
略化する。
の実施の一形態について、添付の図面（図１〜図４）を
参照しながら詳細に説明する。なお、これらの図の説明
に当たって、前述した図５および図６と同一構成要件に
ついては、同一符号を付し、その説明を省略もしくは簡
略化する。
【００１４】本実施の形態に係る流体軸受装置には、図
１に示す如く、前記流体パッド４の上部に、前記流体ポ
ケット５と連通孔１１を通じて連通するチャンバ１２が
形成されている。チャンバ１２を構成する上壁は、可動
台２に作用する負荷変動に応じて前記案内面３と前記流
体パッド４の底面との間の軸受隙間ｈ方向、つまり、上
下方向へ変位可能な受圧板１４として形成されている。
具体的には、外周が薄肉部１３に形成され、その薄肉部
１３によって上下方向へ変位可能に構成されている。ま
た、受圧板１４の受圧面積は、前記軸受有効面積Ａe よ
り大きく構成されている。つまり、 ｄ2 2×π／４＞Ａe ………（４） に構成されている。なお、ｄ2 はチャンバ１２の直径で
ある。
１に示す如く、前記流体パッド４の上部に、前記流体ポ
ケット５と連通孔１１を通じて連通するチャンバ１２が
形成されている。チャンバ１２を構成する上壁は、可動
台２に作用する負荷変動に応じて前記案内面３と前記流
体パッド４の底面との間の軸受隙間ｈ方向、つまり、上
下方向へ変位可能な受圧板１４として形成されている。
具体的には、外周が薄肉部１３に形成され、その薄肉部
１３によって上下方向へ変位可能に構成されている。ま
た、受圧板１４の受圧面積は、前記軸受有効面積Ａe よ
り大きく構成されている。つまり、 ｄ2 2×π／４＞Ａe ………（４） に構成されている。なお、ｄ2 はチャンバ１２の直径で
ある。
【００１５】このような構成において、図２（Ａ）
（Ｂ）に示す如く、可動台２に変動荷重ΔＷ（ただし、
ΔＷ＞０）が生じた場合、軸受隙間内圧力Ｐr もΔＰr
変動する。つまり、前記（１）式から、 （Ｗ＋ΔＷ）＝Ａe ×（Ｐr0＋ΔＰr ）………（５） ΔＷ ＝Ａe ×ΔＰr ……………………（６） の関係が得られる。また、空気膜剛性Ｋ1 により軸受隙
間はΔｈ変化する。つまり、（３）式から、 Δｈ＝ΔＷ／Ｋ1 ………（７） が得られる。
（Ｂ）に示す如く、可動台２に変動荷重ΔＷ（ただし、
ΔＷ＞０）が生じた場合、軸受隙間内圧力Ｐr もΔＰr
変動する。つまり、前記（１）式から、 （Ｗ＋ΔＷ）＝Ａe ×（Ｐr0＋ΔＰr ）………（５） ΔＷ ＝Ａe ×ΔＰr ……………………（６） の関係が得られる。また、空気膜剛性Ｋ1 により軸受隙
間はΔｈ変化する。つまり、（３）式から、 Δｈ＝ΔＷ／Ｋ1 ………（７） が得られる。
【００１６】一方、軸受隙間内圧力変動ΔＰr はチャン
バ１２内でも生じるため、受圧板１４は、外部からの変
動荷重ΔＷとチャンバ１２内からの力ΔＰr （ｄ2 2×π
／４）によりΔＨだけ変位する。ここで、ΔＨは、図３
（Ａ）および（Ｂ）に示す如く、変動負荷ΔＷによるた
わみ量ΔＨ1 とチャンバ１２の内圧の力によるたわみ量
ΔＨ2 との重ね合わせの量であるから、 ΔＨ＝ΔＨ2 ＋ΔＨ1 ………（８） で与えられる。
バ１２内でも生じるため、受圧板１４は、外部からの変
動荷重ΔＷとチャンバ１２内からの力ΔＰr （ｄ2 2×π
／４）によりΔＨだけ変位する。ここで、ΔＨは、図３
（Ａ）および（Ｂ）に示す如く、変動負荷ΔＷによるた
わみ量ΔＨ1 とチャンバ１２の内圧の力によるたわみ量
ΔＨ2 との重ね合わせの量であるから、 ΔＨ＝ΔＨ2 ＋ΔＨ1 ………（８） で与えられる。
【００１７】よって、変動荷重ΔＷ＞０のとき受圧板１
４の変位量ΔＨ＞０、変動負荷ΔＷ＜０のとき受圧板１
４の変位量ΔＨ＜０であり、かつ、ΔＨの絶対値とΔｈ
の絶対値とが等しくなるように、つまり、｜ΔＨ｜＝｜
Δｈ｜となるように、空気膜剛性Ｋ1 と受圧板１４の剛
性Ｋ2 とを決定すれば、軸受全体の剛性を無限大にする
ことが可能である。
４の変位量ΔＨ＞０、変動負荷ΔＷ＜０のとき受圧板１
４の変位量ΔＨ＜０であり、かつ、ΔＨの絶対値とΔｈ
の絶対値とが等しくなるように、つまり、｜ΔＨ｜＝｜
Δｈ｜となるように、空気膜剛性Ｋ1 と受圧板１４の剛
性Ｋ2 とを決定すれば、軸受全体の剛性を無限大にする
ことが可能である。
【００１８】従って、本実施の形態によれば、流体パッ
ド４の上部に、流体ポケット５と連通孔１１を通じて連
通するチャンバ１２を形成し、このチャンバ１２を構成
する上壁を可動台２に作用する負荷変動に応じて上下方
向へ変位可能な受圧板１４として形成し、軸受に作用す
る負荷変動によって生じる案内面３と流体パッド４の底
面との間の軸受隙間変動Δｈと受圧板１４の変位ΔＨと
が互いに相殺されるように構成したので、負荷が変動し
ても、軌道台１と可動台２との上下方向の相対位置を一
定に維持させることができる。しかも、空気膜剛性Ｋ1
と受圧板１４の剛性Ｋ2 との設定によっては、軸受全体
として無限大剛性を達成することが可能である。
ド４の上部に、流体ポケット５と連通孔１１を通じて連
通するチャンバ１２を形成し、このチャンバ１２を構成
する上壁を可動台２に作用する負荷変動に応じて上下方
向へ変位可能な受圧板１４として形成し、軸受に作用す
る負荷変動によって生じる案内面３と流体パッド４の底
面との間の軸受隙間変動Δｈと受圧板１４の変位ΔＨと
が互いに相殺されるように構成したので、負荷が変動し
ても、軌道台１と可動台２との上下方向の相対位置を一
定に維持させることができる。しかも、空気膜剛性Ｋ1
と受圧板１４の剛性Ｋ2 との設定によっては、軸受全体
として無限大剛性を達成することが可能である。
【００１９】そのため、キャリッジの移動に伴って負荷
変動を生じるもの、例えば、三次元測定機などにおい
て、基台に対して門型コラムの両側脚を移動自在に案内
するための軸受として設ければ、その門型コラムの水平
ビームに沿ってスライダが移動したとき左右の脚にかか
る負荷が変動したとしても、その負荷変動に対して軸受
隙間を一定に維持させることができるから、測定精度を
向上させることが可能である。
変動を生じるもの、例えば、三次元測定機などにおい
て、基台に対して門型コラムの両側脚を移動自在に案内
するための軸受として設ければ、その門型コラムの水平
ビームに沿ってスライダが移動したとき左右の脚にかか
る負荷が変動したとしても、その負荷変動に対して軸受
隙間を一定に維持させることができるから、測定精度を
向上させることが可能である。
【００２０】また、加工技術上は、流体パッド４の上部
に受圧板１４を有するチャンバ１２を形成するだけでよ
いから、従来のように、高い加工精度や微細加工が要求
されることもなく、また、圧力センサや変位センサ、更
には、圧電素子などの駆動機構も必要としないから、機
構的にも簡易にかつ安価に構成することができる。
に受圧板１４を有するチャンバ１２を形成するだけでよ
いから、従来のように、高い加工精度や微細加工が要求
されることもなく、また、圧力センサや変位センサ、更
には、圧電素子などの駆動機構も必要としないから、機
構的にも簡易にかつ安価に構成することができる。
【００２１】以上、本発明について、実施の一形態を挙
げて説明したが、本発明はこの実施の形態に限定される
ものでなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、
種々の改良並びに設計の変更が可能なことは勿論であ
る。
げて説明したが、本発明はこの実施の形態に限定される
ものでなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、
種々の改良並びに設計の変更が可能なことは勿論であ
る。
【００２２】例えば、上記実施の形態では、一般的な可
動部に適用したものについて述べたが、本発明の流体軸
受装置を三次元測定機のキャリッジやテーブルのスラス
ト方向支持に使用する場合には、図４に示すように構成
すればよい。三次元測定機のキャリッジやテーブルのス
ラスト方向支持に使用する場合、通常、３箇所以上の支
持にて使用される。このとき、案内面３と軸受面との平
行が確保される必要がある。この平行を確保する手段の
一つとして、図４に示すように、可動側であるキャリッ
ジ２Ａに、下端面に凹円錐穴２１を有する調整ねじ２２
をナット２３によって固定し、この凹円錐穴２１に鋼球
２４を収納し、この鋼球２４を受圧板１４の上面中心に
形成した凹円錐面２５に係合させればよい。
動部に適用したものについて述べたが、本発明の流体軸
受装置を三次元測定機のキャリッジやテーブルのスラス
ト方向支持に使用する場合には、図４に示すように構成
すればよい。三次元測定機のキャリッジやテーブルのス
ラスト方向支持に使用する場合、通常、３箇所以上の支
持にて使用される。このとき、案内面３と軸受面との平
行が確保される必要がある。この平行を確保する手段の
一つとして、図４に示すように、可動側であるキャリッ
ジ２Ａに、下端面に凹円錐穴２１を有する調整ねじ２２
をナット２３によって固定し、この凹円錐穴２１に鋼球
２４を収納し、この鋼球２４を受圧板１４の上面中心に
形成した凹円錐面２５に係合させればよい。
【００２３】なお、本発明の流体軸受装置は、三次元測
定機、二次元測定機、大型ハイトゲージなどの各種測定
機のほか、工作機械や精密移動テーブルなどにも適用で
き、その適用対象は限定されない。
定機、二次元測定機、大型ハイトゲージなどの各種測定
機のほか、工作機械や精密移動テーブルなどにも適用で
き、その適用対象は限定されない。
【００２４】
【発明の効果】以上の通り、本発明の流体軸受装置によ
れば、軸受の高剛性化を、加工上の制約を受けることな
く、構造的にも簡易にかつ安価に達成できる。
れば、軸受の高剛性化を、加工上の制約を受けることな
く、構造的にも簡易にかつ安価に達成できる。
【図１】本発明の実施の一形態を示す断面図である。
【図２】図１に示す流体軸受装置に負荷変動が生じたと
きの状態を示す図である。
きの状態を示す図である。
【図３】図１に示す受圧板の変位を示す図である。
【図４】本発明の流体軸受装置を三次元測定機のキャリ
ッジに適用した例を示す図である。
ッジに適用した例を示す図である。
【図５】従来の給気孔絞り形空気軸受装置を示す図であ
る。
る。
【図６】図５に示す空気軸受装置の軸受隙間内圧力と軸
受隙間との関係を示す図である。
受隙間との関係を示す図である。
１ 軌道台（相対移動部材） ２ 可動台（相対移動部材） ３ 案内面 ４ 流体パッド ５ 流体ポケット（流体噴出口） ６ 絞り ７ 流体供給口 １１ 連通孔 １２ チャンバ １４ 受圧板 ｈ 軸受隙間
Claims (1)
- 【請求項１】 相対移動する二部材のうち一方の部材に
前記相対移動方向に沿って設けられた案内面と、前記相
対移動する二部材のうち他方の部材側に前記案内面に開
口して設けられた流体噴出口と、この流体噴出口内に圧
力流体を供給する流体流路の途中に設けられた絞りとを
有する流体軸受装置において、前記他方の部材側に前記
流体噴出口に連通するチャンバを設けるとともに、この
チャンバの上壁を負荷変動に応じて前記案内面と前記流
体噴出口との間の軸受隙間方向へ変位可能な受圧板に構
成し、この受圧板に作用する負荷変動による受圧板のた
わみ量および前記チャンバ内圧の力によるたわみ量に基
づく受圧板の変位と、前記受圧板に作用する負荷変動お
よび軸受剛性に基づく軸受隙間変動とが相殺されるよう
に構成した、ことを特徴とする流体軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25285795A JP2747254B2 (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 流体軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25285795A JP2747254B2 (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 流体軸受装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0854021A JPH0854021A (ja) | 1996-02-27 |
| JP2747254B2 true JP2747254B2 (ja) | 1998-05-06 |
Family
ID=17243144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25285795A Expired - Lifetime JP2747254B2 (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 流体軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2747254B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH116525A (ja) * | 1997-06-17 | 1999-01-12 | Mitsutoyo Corp | 流体軸受装置 |
| JP3949910B2 (ja) * | 2001-07-05 | 2007-07-25 | 株式会社ミツトヨ | エアーベアリングを用いた駆動装置 |
-
1995
- 1995-09-29 JP JP25285795A patent/JP2747254B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0854021A (ja) | 1996-02-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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