JP2739792B2 - Dielectric recording medium for carrying electrostatic images - Google Patents
Dielectric recording medium for carrying electrostatic imagesInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、イオノグラフィーに使
用するための静電荷像担持用誘電記録体に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dielectric recording material for carrying an electrostatic image for use in ionography.
【0002】[0002]
【従来の技術】アルミニウムまたはアルミニウム合金の
多孔質陽極酸化皮膜は、皮膜自体に無数の微細孔が開い
ているため、そのままでは耐湿性、耐環境安定性や耐食
性が低く、また耐摩耗性も低いため、耐久性に劣るとい
う欠点を有する。そのため、該多孔質陽極酸化皮膜に対
して封孔処理が施されるのが通常である。2. Description of the Related Art A porous anodic oxide film of aluminum or aluminum alloy has low moisture resistance, low environmental stability, low corrosion resistance, and low abrasion resistance because it has numerous micropores in the film itself. Therefore, there is a disadvantage that the durability is poor. Therefore, the porous anodic oxide film is usually subjected to a sealing treatment.
【0003】従来、封孔処理の方法としては、沸騰水、
加圧蒸気によって封孔する水和封孔法、金属塩を含む熱
水によって封孔する金属塩封孔法、油脂や合成樹脂の有
機物を塗布したり、又はその中に浸漬する有機物封孔法
等が実施されている。有機封孔法については、多孔質陽
極酸化アルミニウム皮膜形成後、シランカップリング剤
の吸着処理を行い、その後、エポキシ樹脂を含浸させる
方法、或いはシランカップリング剤を配合したエポキシ
樹脂を含浸させる方法が提案されている(特開昭63−
294586号公報)。また、ワックス類を含浸させる
方法(特開昭60−50083号公報)、ポリテトラフ
ルオロエチレンを含浸させる方法(特開昭61−193
157号公報)等も知られている。さらにまた、陽極酸
化アルミニウム皮膜の上に光導電性絶縁層を設けて電子
写真材料を製造することも知られている。(米国特許第
4,369,242号明細書)また近年、複写又は印刷
の一方法として、誘電体皮膜を有する支持体ドラムを静
電荷像担持用誘電記録体として用い、イオン(荷電粒
子)発生手段によってイオンを発生させ、そのイオンに
よって該誘電記録体表面に静電潜像を形成し、形成され
た静電荷像をトナーによって現像し、転写材に転写・定
着する、いわゆるイオノグラフィーによる画像形成方法
が実施されるようになっている。このイオノグラフィー
に使用する静電潜像担持用誘電記録体において、誘電体
層としては、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜が使用さ
れている。多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜は、皮膜自
体、無数の微細孔が開いているため、そのままでは耐湿
性、耐環境安定性や耐食性が低く、また、耐磨耗性も低
いため、耐久性に劣るという欠点を有している。また、
孔にトナー粒子が侵入して、画像劣化を引き起こす等の
欠点がある。そのため、多孔質陽極酸化アルミニウム皮
膜に対して、封孔処理が施されるのが通常である。[0003] Conventionally, as a sealing method, boiling water,
Hydration sealing method to seal with pressurized steam, metal salt sealing method to seal with hot water containing metal salt, organic substance sealing method to apply or immerse organic matter such as oils and fats or synthetic resin And so on. As for the organic sealing method, a method of forming a porous anodized aluminum oxide film, performing an adsorption treatment of a silane coupling agent, and then impregnating with an epoxy resin, or impregnating with an epoxy resin mixed with a silane coupling agent is used. It has been proposed (Japanese Unexamined Patent Publication No.
294586). Also, a method of impregnating with waxes (JP-A-60-50083) and a method of impregnating with polytetrafluoroethylene (JP-A-61-193)
157 is also known. It is also known to manufacture an electrophotographic material by providing a photoconductive insulating layer on an anodized aluminum oxide film. (U.S. Pat. No. 4,369,242) In recent years, as a method of copying or printing, a support drum having a dielectric film is used as a dielectric recording material for carrying an electrostatic image, and ions (charged particles) are generated. to generate ions by means to form an electrostatic latent image on the dielectric surface of a recording medium by the ions, the formed electrostatic image is developed with toner, and transferring and fixing the transfer material, an image formation by a so-called ionographic The method is being implemented. In the dielectric recording medium for carrying an electrostatic latent image used in the ionography, a porous anodized aluminum oxide film is used as a dielectric layer. Porous anodized aluminum film is said to have poor moisture resistance, environmental stability and corrosion resistance as it is because the film itself has numerous micropores, and also has low abrasion resistance, so it is inferior in durability. Has disadvantages. Also,
There are drawbacks such as toner particles entering the holes and causing image deterioration. Therefore, it is usual that the porous anodized aluminum film is subjected to a sealing treatment.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】これら従来の技術のう
ち、水和封孔法は、耐湿性が不十分であり、また、酢酸
ニッケル等を用いる金属塩法は、封孔浴の安定性が悪
く、しかも陽極酸化皮膜表面に粉吹きを生じやすいとい
う欠点も持っている。これらに対して、近年、ニッケル
塩とフッ素化物を主成分とする低温封孔剤が開発されて
いる。しかしながらこの種の低温封孔剤による被処理物
は、封孔処理直後の耐食性が悪く、安定した耐食性を得
るためには封孔処理後、数時間ないし数日のエージング
を必要とするという実用上好ましからざる性質を持って
いる。またエージング後も耐湿性に劣るという欠点を有
している。Among these conventional techniques, the hydration sealing method has insufficient moisture resistance, and the metal salt method using nickel acetate or the like has a problem in that the stability of the sealing bath is low. It has the drawback that it is bad and that powder is easily blown on the surface of the anodic oxide film. On the other hand, in recent years, low-temperature sealing agents containing nickel salts and fluorinated compounds as main components have been developed. However, an object to be treated with this type of low-temperature sealing agent has poor corrosion resistance immediately after the sealing treatment, and requires aging for several hours to several days after the sealing treatment in order to obtain stable corrosion resistance. Has undesired properties. In addition, it has a disadvantage that it is inferior in moisture resistance even after aging.
【0005】他方、有機物封孔法に関しても、例えば、
シランカップリング剤の吸着処理後、エポキシ樹脂を含
浸させた場合、或いは、シランカップリング剤を含有す
るエポキシ樹脂を含浸させた場合には、耐湿性はほぼ改
善されるが、表面硬度、耐熱ストレス性等の点で、未だ
充分ではなく、また、比誘電率が約7以上と大きく、そ
のため、充分に高い帯電性が得られないという問題があ
った。さらに、これ等の場合、含浸工程の後に樹脂焼付
け処理工程およびその後の樹脂表層の除去処理工程が必
要であり、工程の複雑化、それによる歩留りの低下、特
性の再現性の低下等の問題があった。また、封孔材とし
てワックス類をや、ポリテトラフロロエチレンを含浸さ
せた場合にも、帯電性や耐湿性が低い、表面硬度が十分
でない、或いは誘電体層である多孔性陽極酸化アルミニ
ウム皮膜との付着性が悪い等の問題があった。また、上
記米国特許明細書に記載の電子写真材料の製造において
も、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜の上に形成される
光導電性絶縁層は、例えばCdSを高周波スパッタ法に
よって形成しているため、付着性および緻密性の点で未
だ十分なものではなかった。On the other hand, regarding the organic material sealing method, for example,
When the epoxy resin is impregnated after the adsorption treatment of the silane coupling agent, or when the epoxy resin containing the silane coupling agent is impregnated, the moisture resistance is almost improved, but the surface hardness and the heat stress are reduced. However, there is a problem that the chargeability is not sufficient and the relative dielectric constant is as large as about 7 or more, so that a sufficiently high chargeability cannot be obtained. Further, in these cases, a resin baking treatment step and a subsequent resin surface layer removal treatment step are required after the impregnation step, which causes problems such as a complicated process, a reduction in yield, and a decrease in reproducibility of characteristics. there were. Also, when a wax or a polytetrafluoroethylene is impregnated as a sealing material, the chargeability and moisture resistance are low, the surface hardness is not sufficient, or a porous anodized aluminum oxide film as a dielectric layer is formed. Had poor adhesion. Also, in the production of the electrophotographic material described in the above U.S. Patent Specification, the photoconductive insulating layer formed on the porous anodized aluminum oxide film is formed by, for example, CdS by a high-frequency sputtering method. It was not yet sufficient in terms of adhesion and denseness.
【0006】本発明は、従来の技術における上記のよう
な問題点に鑑みてなされたものである。本発明の目的
は、表面硬度が高く、耐湿性、耐環境安定性、耐食性が
高く、機械的特性および電気的特性に優れた静電潜像担
持用誘電記録体を提供することにある。[0006] The present invention has been made in view of the above-mentioned problems in the prior art. An object of the present invention is to provide a dielectric recording medium for carrying an electrostatic latent image which has high surface hardness, high moisture resistance, environmental stability, high corrosion resistance, and excellent mechanical properties and electrical properties.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明者等は、陽極酸化
アルミニウム皮膜の表面に、プラズマCVD法等によっ
て無機質皮膜を設けることにより、上記目的を達成でき
ることを見出だし、本発明を完成するに至った。本発明
の静電潜像担持用誘電記録体は、支持体と、該支持体上
に設けられた多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜と、該多
孔質陽極酸化アルミニウム皮膜の上に設けられた、窒化
ケイ素膜、炭化ケイ素膜、酸化ケイ素膜、ダイヤモンド
状炭素膜および非晶質炭素膜の中から選択された少なく
とも1種よりなる無機質皮膜とからなり、その多孔質陽
極酸化アルミニウム皮膜の孔の中に空気または真空を閉
じ込めたまま前記孔の開口端が、無機質皮膜によって塞
がれていることを特徴とする。Means for Solving the Problems The present inventors have found that the above object can be achieved by providing an inorganic film on the surface of an anodized aluminum oxide film by a plasma CVD method or the like. Reached. The dielectric recording medium for carrying an electrostatic latent image of the present invention includes a support, a porous anodized aluminum film provided on the support, and a silicon nitride provided on the porous anodized aluminum film. film, silicon carbide film, a silicon oxide film consists of at least one from the consisting inorganic film selected from a diamond-like carbon film and an amorphous carbon film, air in the pores of the porous anodic aluminum oxide film Or close the vacuum
The opening end of the hole is closed by an inorganic film while being kept in the air.
【0008】以下、本発明の静電潜像担持用誘電記録体
について詳記する。図1は、アルミニウムまたはアルミ
ニウム合金の陽極酸化皮膜の封孔処理方法によって形成
された無機質被膜を有する本発明の静電潜像担持用誘電
記録体の模式的断面図である。1は支持体であり、2は
多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜、3は無機質皮膜であ
る。多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜2は、バリヤー層
部分4と、無数の孔6を有する多孔質層部分5とよりな
り、そして、その孔の中に空気または真空を閉じ込めた
まま孔の上部開口端が、無機質皮膜によって塞がれて封
孔された状態になっている。Hereinafter, the dielectric recording medium for carrying an electrostatic latent image of the present invention will be described in detail. FIG. 1 shows a dielectric for carrying an electrostatic latent image of the present invention having an inorganic coating formed by a method of sealing an anodic oxide coating of aluminum or an aluminum alloy.
FIG. 3 is a schematic sectional view of a recording medium . 1 is a support, 2 is a porous anodized aluminum film, and 3 is an inorganic film. The porous anodized aluminum coating 2 consists of a barrier layer part 4 and a porous layer part 5 having a myriad of holes 6 and in which air or vacuum is trapped.
Mom upper open end of the hole is closed by the inorganic film is in a state of being sealed.
【0009】本発明において、良好な特性の陽極酸化ア
ルミニウム皮膜を得るためのアルミニウム材料として
は、純Al系の材料の他に、Al−Mg系、Al−Mg
−Si系、Al−Mg−Mn系、Al−Mn系、Al−
Cu−Mg系、Al−Cu−Ni系、Al−Cu系、A
l−Si系、Al−Cu−Zn系、Al−Cu−Si
系、Al−Mg−Si系等のアルミニウム合金材料の中
から適宜選択して使用することができる。アルミニウム
面を有する被処理物は、陽極酸化処理を施す前に、酸ア
ルカリ、有機溶剤、界面活性剤、エマルジョン、電解な
どの各種脱脂洗浄方法により脱脂処理されることが好ま
しい。In the present invention, as an aluminum material for obtaining an anodized aluminum oxide film having good characteristics, in addition to a pure Al material, an Al—Mg material, an Al—Mg material,
-Si system, Al-Mg-Mn system, Al-Mn system, Al-
Cu-Mg system, Al-Cu-Ni system, Al-Cu system, A
l-Si system, Al-Cu-Zn system, Al-Cu-Si
And aluminum alloy materials such as Al-Mg-Si-based materials. The object to be treated having an aluminum surface is preferably degreased by various degreasing and washing methods such as an acid alkali, an organic solvent, a surfactant, an emulsion, and electrolysis before the anodic oxidation treatment is performed.
【0010】また、本発明において、静電潜像担持用誘
電記録体の支持体としては、アルミニウム及びその合金
(以下、これらを単にアルミニウムと言う)よりなるも
の、及びアルミニウム以外の導電性支持体及び絶縁性支
持体のいずれをも用いることができるが、アルミニウム
以外の支持体を用いる場合には、少なくとも他の層と接
触する面に、少なくとも5μm以上の膜厚を有するアル
ミニウム膜が形成されていることが必要である。このア
ルミニウム膜は、蒸着法、スパッター法、イオンプレー
ティング法によって形成することができる。アルミニウ
ム以外の導電性支持体としては、ステンレス鋼、ニッケ
ル、クロム等の金属及びその合金があげられ、絶縁性支
持体としては、ポリエステル、ポリエチレン、ポリカー
ボネート、ポリスチレン、ポリアミド、ポリイミド等の
高分子フィルムまたはシート、ガラス、セラミック等が
あげられる。アルミニウム面を有する被処理物は、陽極
酸化処理を施す前に、酸アルカリ、有機溶剤、界面活性
剤、エマルジョン、電解などの各種脱脂洗浄方法により
脱脂処理されることが好ましい。Further, in the present invention, the electrostatic latent image bearing for induction
As the support of the electrophotographic recording medium , any of aluminum and its alloys (hereinafter, simply referred to as aluminum), and any of a conductive support and an insulating support other than aluminum can be used. When a support other than aluminum is used, it is necessary that an aluminum film having a thickness of at least 5 μm or more is formed on at least a surface in contact with another layer. This aluminum film can be formed by a vapor deposition method, a sputtering method, or an ion plating method. Examples of the conductive support other than aluminum include metals such as stainless steel, nickel, and chromium and alloys thereof, and examples of the insulating support include polymer films such as polyester, polyethylene, polycarbonate, polystyrene, polyamide, and polyimide. Examples include sheet, glass, and ceramic. The object to be treated having an aluminum surface is preferably degreased by various degreasing and washing methods such as an acid alkali, an organic solvent, a surfactant, an emulsion, and electrolysis before the anodic oxidation treatment is performed.
【0011】支持体のアルミニウム面を、電解質を含む
水溶液中で陽極酸化することによって、所望の膜厚のバ
リヤー層部分と、多孔質層部分とよりなる多孔質陽極酸
化アルミニウム皮膜が形成される。陽極酸化は、公知の
方法によって行うことができ、電解質として、硫酸、し
ゅう酸、クロム酸、リン酸、酒石酸、スルファミン酸、
ベンゼンスルホン酸等、種々のものが使用できる。その
中でも、しゅう酸或いは酒石酸を用いた場合、耐熱性が
高く、そのためクラックが入り難いので、特に好まし
い。By anodizing the aluminum surface of the support in an aqueous solution containing an electrolyte, a porous anodized aluminum film comprising a barrier layer having a desired thickness and a porous layer is formed. Anodization can be performed by a known method, and as an electrolyte, sulfuric acid, oxalic acid, chromic acid, phosphoric acid, tartaric acid, sulfamic acid,
Various substances such as benzenesulfonic acid can be used. Among them, the use of oxalic acid or tartaric acid is particularly preferable because it has high heat resistance and is less likely to crack.
【0012】電解には、直流、交流いずれを用いること
もできる。以下、直流を適用する場合について述べる
が、交流の場合にも類似の方法により、陽極酸化アルミ
ニウム皮膜を形成することができる。まず、表面を鏡面
切削仕上げし、所望の形状に加工されたアルミニウム面
を有する支持体を、有機溶剤又はフロン溶剤中で超音波
洗浄し、続いて純水中で超音波洗浄する。引き続いて、
アルミニウム面を有する支持体上に陽極酸化アルミニウ
ム皮膜を形成する。ステンレス鋼、アルニミウム板、硬
質ガラス、ポリ塩化ビニル板あるいは繊維強化プラスチ
ック等で作製された電解槽(陽極酸化槽)中に電解質溶
液(陽極酸化溶液)を所定の液面まで満たす。電解質溶
液としては、通常、純水中に前記電解質を溶かしたもの
が用いられる。純水中の電解質含有濃度は、0.05〜
60重量%、より好ましくは0.5〜40重量%であ
る。用いる純水としては、蒸溜水或いはイオン交換水等
をあげることができるが、特に塩素分等の不純物が充分
に取り除かれていることが、陽極酸化アルミニウム皮膜
の腐蝕やピンホール発生防止のために必要である。For the electrolysis, either direct current or alternating current can be used. Hereinafter, a case where a direct current is applied will be described. However, in the case of an alternating current, an anodized aluminum oxide film can be formed by a similar method. First, the surface is mirror-finished and the support having an aluminum surface processed into a desired shape is ultrasonically cleaned in an organic solvent or a fluorocarbon solvent, and then ultrasonically cleaned in pure water. . Subsequently ,
An anodic aluminum oxide film is formed on a support having an aluminum surface . An electrolytic solution (anodizing solution) made of stainless steel, aluminum plate, hard glass, polyvinyl chloride plate or fiber-reinforced plastic is filled with an electrolyte solution (anodic oxidizing solution) to a predetermined liquid level. As the electrolyte solution, a solution obtained by dissolving the electrolyte in pure water is usually used. The concentration of electrolyte in pure water is 0.05 ~
It is 60% by weight, more preferably 0.5 to 40% by weight. The pure water to be used may be distilled water or ion-exchanged water. Particularly, impurities such as chlorine are sufficiently removed to prevent corrosion of the anodized aluminum film and generation of pinholes. is necessary.
【0013】次いで、この電解質溶液の中に、陽極とし
て、上記のアルミニウム面を有する支持体を、また、陰
極として、ステンレス鋼板或いはアルミニウム板を、或
る一定の電極間距離を隔てて浸漬する。この際の電極間
距離は0.1cm〜100cmの間において適宜に設定
される。直流電源装置を用意し、その正(プラス)端子
とアルミニウム面、及び負(マイナス)端子と陰極板と
をそれぞれ結線し、電解質溶液中の陽極、陰極両電極間
に通電する。電解は、常法によって定電流法又は定電圧
法によって行い、印加する直流は、直流成分のみよりな
るものであっても、交流成分が重畳したものであっても
よい。この通電により、陽極となる支持体のアルミニウ
ム面上に陽極酸化アルミニウム皮膜が形成される。この
ようにして形成された陽極酸化アルミニウム皮膜は、電
解電圧に比例した厚さの無孔性のバリヤー層部分と、そ
の上に形成された多孔質層部分とからなる。Next, the support having an aluminum surface as described above is immersed in the electrolyte solution, and a stainless steel plate or an aluminum plate is immersed as a cathode with a certain distance between the electrodes. The distance between the electrodes at this time is appropriately set between 0.1 cm and 100 cm. A DC power supply is prepared, its positive (plus) terminal is connected to the aluminum surface, and its negative (minus) terminal is connected to the cathode plate, and current is passed between the anode and cathode electrodes in the electrolyte solution. The electrolysis is performed by a constant current method or a constant voltage method according to a conventional method, and the applied direct current may be composed of only a direct current component or may be a superimposed alternating current component. This energization forms an anodized aluminum oxide film on the aluminum surface of the support serving as the anode. The anodized aluminum oxide film thus formed is composed of a nonporous barrier layer portion having a thickness proportional to the electrolytic voltage, and a porous layer portion formed thereon.
【0014】陽極酸化実施時の電流密度は、0.1〜1
0A・dm-2の範囲に設定する。皮膜成長速度及び冷却
効率を考えるならば、0.5〜5.0A・dm-2の範囲
に設定するのが好ましい。また、陽極酸化電圧は、通常
3〜350V、好ましくは7〜300Vである。また、
電解質溶液の液温は、−5〜95℃に設定される。本発
明において、生成効率、生成速度、皮膜性質等の観点か
ら、最も好ましい例の内の一つは、1〜20重量%しゅ
う酸水溶液を用い、0〜40℃の範囲で実施することで
ある。さらに好ましい例の内の別の一つは、1〜40重
量%酒石酸水溶液を用い、0〜70℃の範囲で実施する
ことである。また、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜の
膜厚は、電解時間を変化させることにより制御すること
ができる。静電荷像担持用誘電記録体の場合には、5〜
70μm、特に10〜50μmの範囲内になるようにす
るのが好ましい。この場合、5μm未満では、帯電電位
が低くなり、70μmを超えるときには製造コストが高
くなり、皮膜割れが発生するようになり、好ましくな
い。このようにして形成された陽極酸化アルミニウム皮
膜は、必要に応じて純水による洗浄等の措置がとられた
後、乾燥させる。The current density during the anodic oxidation is 0.1 to 1
Set to the range of 0A · dm -2 . In consideration of the film growth rate and the cooling efficiency, it is preferable to set the range of 0.5 to 5.0 A · dm −2 . The anodic oxidation voltage is usually 3 to 350 V, preferably 7 to 300 V. Also,
The temperature of the electrolyte solution is set to -5 to 95C. In the present invention, from the viewpoints of production efficiency, production rate, film properties, and the like, one of the most preferable examples is to use an aqueous solution of oxalic acid of 1 to 20% by weight and carry out in the range of 0 to 40 ° C. . Another one of the more preferable examples is to use an aqueous solution of tartaric acid of 1 to 40% by weight at a temperature of 0 to 70 ° C. The thickness of the porous anodized aluminum oxide film can be controlled by changing the electrolysis time. In the case of a dielectric recording medium for carrying an electrostatic image,
It is preferable that the thickness be in the range of 70 μm, particularly 10 to 50 μm. In this case, if it is less than 5 μm, the charging potential becomes low, and if it exceeds 70 μm, the production cost becomes high and the film cracks occur, which is not preferable. The anodized aluminum oxide film thus formed is dried if necessary after taking measures such as washing with pure water.
【0015】本発明においては、陽極酸化アルミニウム
皮膜の全表面積(孔部と孔以外のアルミナ部分)を1と
したときの、孔部の表面積の合計の値は、0.2〜0.
8の範囲にあるのが好ましい。孔の面積が過度に大きく
なると、陽極酸化アルミニウム皮膜の機械的強度が低下
し、また、小さくなると、本発明の静電潜像担持用誘電
記録体の比誘電率が高くなり、帯電性が低下するので、
上記の範囲が好ましい。次いで、陽極酸化アルミニウム
皮膜上には、無機質皮膜が形成される。無機質皮膜を構
成する材料としては、SiNx 、SiCx 、a−C、S
iOx 、ダイヤモンド状炭素があげられ、特にa−Cや
ダイヤモンド状炭素は、耐食性の向上の面で効果が大き
く好ましい。In the present invention, when the total surface area of the anodized aluminum oxide film (porous portion and alumina portion other than the pores) is set to 1, the total value of the surface area of the pores is 0.2 to 0.1.
It is preferably in the range of 8. If the area of the holes is excessively large, the mechanical strength of the anodized aluminum oxide film is reduced.
Since the relative dielectric constant of the recording medium increases and the charging property decreases,
The above range is preferred. Next, an inorganic film is formed on the anodized aluminum film. Materials constituting the inorganic film include SiN x , SiC x , aC, S
Examples include iO x and diamond-like carbon. In particular, aC and diamond-like carbon are preferable because they have a large effect in terms of improving corrosion resistance.
【0016】無機質皮膜は、真空蒸着法、グロー放電
法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、プラ
ズマCVD法および電子ビーム蒸着法、熱フィラメント
CVD法等によって形成することができる。膜厚は、
0.5μm以上で適宜設定される。好ましくは、1〜2
0μmの範囲に設定される。プラズマCVD法によって
無機質皮膜を形成する場合について説明すると、使用す
る原料としては、SiNx膜を形成する場合には、シラ
ン又はシラン誘導体と、窒素含有化合物或いは窒素単体
を用いればよい。その場合に用いられるシラン又はシラ
ン誘導体としては、具体的にはSiH4 、Si2 H6 、
SiCl4 、SiHCl3 、SiH2 Cl2 、Si3 H
8 、Si4 H10等をあげることができる。また、窒素含
有化合物としては、例えば、NH3 、N2 H4 、HN3
等をあげることができる。The inorganic film can be formed by a vacuum evaporation method, a glow discharge method, a sputtering method, an ion plating method, a plasma CVD method, an electron beam evaporation method, a hot filament CVD method, or the like. The film thickness is
The thickness is appropriately set to 0.5 μm or more. Preferably, 1-2
It is set in the range of 0 μm. The case where an inorganic film is formed by a plasma CVD method will be described. When forming an SiNx film, silane or a silane derivative, a nitrogen-containing compound, or nitrogen alone may be used as a raw material. As the silane or silane derivative used in that case, specifically, SiH 4 , Si 2 H 6 ,
SiCl 4 , SiHCl 3 , SiH 2 Cl 2 , Si 3 H
8 , Si 4 H 10 and the like. Examples of the nitrogen-containing compound include, for example, NH 3 , N 2 H 4 , HN 3
Etc. can be given.
【0017】a−C膜又はダイヤモンド状炭素膜を形成
する場合には、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペ
ンタン等のパラフィン系炭化水素;エチレン、プロピレ
ン、ブチレン、ペンテン等のオレフィン系炭化水素;ア
セチレン、アリレン、ブチレン等のアセチレン系炭化水
素;シクロプロパン、シクロブタン、シクロペンタン、
シクロヘキサン等の脂環式炭化水素;ベンゼン、トルエ
ン、キシレン、ナフタリン、アントラセン等の芳香族炭
化水素;四塩化炭素、クロロホルム、クロロトリフロロ
メタン、ジクロロジフルオロメタン等のハロゲン化炭化
水素を用いることができる。SiCx 膜を形成する場合
には、上記シラン又はシラン誘導体と、上記炭化水素を
併用すればよい。SiOx 膜を形成する場合には、上記
シラン又はシラン誘導体と、酸素単体或いは酸素含有化
合物を用いればよい。酸素含有化合物としては、例え
ば、一酸化炭素、二酸化炭素、一酸化窒素、二酸化窒素
等をあげることができる。また、a−Si膜を形成する
場合には、上記のシランまたはシラン誘導体が使用でき
る。When an aC film or a diamond-like carbon film is formed, paraffinic hydrocarbons such as methane, ethane, propane, butane and pentane; olefinic hydrocarbons such as ethylene, propylene, butylene and pentene; acetylene , Acetylene-based hydrocarbons such as arylene and butylene; cyclopropane, cyclobutane, cyclopentane,
Alicyclic hydrocarbons such as cyclohexane; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, naphthalene and anthracene; and halogenated hydrocarbons such as carbon tetrachloride, chloroform, chlorotrifluoromethane and dichlorodifluoromethane can be used. . When forming a SiC x film, the above-mentioned hydrocarbon may be used in combination with the above-mentioned silane or silane derivative. When the SiO x film is formed, the above silane or silane derivative and simple oxygen or an oxygen-containing compound may be used. Examples of the oxygen-containing compound include carbon monoxide, carbon dioxide, nitrogen monoxide, and nitrogen dioxide. In the case of forming an a-Si film, the above silane or silane derivative can be used.
【0018】また、成膜条件は次の通りである。即ち、
周波数は、通常、0〜5GHz、好ましくは0.5〜3
GHz、放電時の真空度10-5〜5Torr(0.00
1〜665Pa)、基板加熱温度は50〜400℃であ
る。これらのプラズマCVD法によれば、大面積でも均
一かつ均質な硬い膜が形成され、そして形成される無機
質皮膜は、通常ビッカース硬度が約1000以上と高硬
度であり、かつ緻密である。したがって、多孔質陽極酸
化材料の高耐久性封孔材料として、極めて有効である。
また、静電潜像担持用誘電記録体の長寿命化に極めて有
用である。The film forming conditions are as follows. That is,
The frequency is usually 0 to 5 GHz, preferably 0.5 to 3 GHz.
GHz, degree of vacuum at the time of discharge 10 -5 to 5 Torr (0.00
1 to 665 Pa), and the substrate heating temperature is 50 to 400 ° C. According to these plasma CVD methods, a uniform and uniform hard film is formed even in a large area, and the formed inorganic film usually has a high Vickers hardness of about 1000 or more and is dense. Therefore, it is extremely effective as a highly durable sealing material of a porous anodized material.
Further, it is extremely useful for prolonging the life of the dielectric recording medium for holding an electrostatic latent image.
【0019】本発明によれば、多孔質陽極酸化アルミニ
ウム皮膜の表面が、窒化ケイ素膜、炭化ケイ素膜、酸化
ケイ素膜、ダイヤモンド状炭素膜および非晶質炭素膜の
中から選択された少なくとも1種よりなる無機質皮膜に
よって覆うため、孔の中に空気(又は真空)が閉じ込め
られた構造となっている。この空気(又は真空)は、陽
極酸化アルミニウム皮膜母体のアルミナと共に、誘電体
として機能するが、空気(又は真空)は、比誘電率ε=
1 であるので、本発明により封孔処理された陽極酸化ア
ルミニウム皮膜全体の比誘電率を低下させ、したがって
電気特性としての帯電性を増加させるのに大きく寄与す
る。同様に、本発明の静電潜像担持用誘電記録体は、多
孔質陽極酸化アルミニウム皮膜の表面が、上記無機質皮
膜によって覆われているため、孔の中に空気(又は真
空)が閉じ込められた構造となっている。この空気(又
は真空)は、陽極酸化アルミニウム皮膜母体のアルミナ
と共に、誘電体として機能するが、空気(又は真空)
は、比誘電率ε=1 であるので、封孔処理された陽極酸
化アルミニウム皮膜全体の比誘電率を低下させ、したが
って帯電性を増加させるのに大きく寄与する。 According to the present invention , the surface of the porous anodized aluminum film is at least one selected from a silicon nitride film, a silicon carbide film, a silicon oxide film, a diamond-like carbon film and an amorphous carbon film. The structure is such that air (or a vacuum) is confined in the holes to cover with the inorganic film made of. This air (or vacuum) functions as a dielectric together with the alumina of the base of the anodized aluminum film, but the air (or vacuum) has a relative dielectric constant ε =
Since it is 1, the specific dielectric constant of the whole anodized aluminum oxide film sealed according to the present invention is reduced, and therefore, it greatly contributes to increasing the chargeability as an electrical property. Similarly, in the dielectric recording medium for carrying an electrostatic latent image of the present invention , since the surface of the porous anodized aluminum film is covered with the inorganic film, air (or vacuum) is confined in the hole. It has a structure. This air (or vacuum) functions as a dielectric together with the alumina of the anodized aluminum coating matrix, but the air (or vacuum)
Has a relative dielectric constant of ε = 1, which greatly reduces the relative dielectric constant of the whole anodized aluminum oxide film subjected to the sealing treatment, and therefore greatly contributes to increasing the chargeability.
【0020】図2は、その場合の電気回路のモデルを示
す。図中、C1 は陽極酸化アルミニウム皮膜のアルミナ
部分を示し、C2 は孔部分(空気又は真空)を示す。無
機質皮膜表面と支持体との間に電圧が印加された場合、
図2のようなコンデンサの並列回路が形成されるので、
静電潜像担持用誘電記録体全体の比誘電率εは、C1と
C2 の中間の値になる。即ち、アルミナの比誘電率をε
1 、孔部分(空気又は真空)の比誘電率をε2 とし、多
孔質陽極酸化アルミニウム皮膜の全表面積を1、その内
の孔部分(空気又は真空)の表面積の合計をS(孔面積
率)、孔部分を除いたアルミナ部分の表面積の合計を
(1−S)とすると、本発明の封孔処理された陽極酸化
アルミニウム皮膜、あるいは静電潜像担持用誘電記録体
全体の比誘電率εは、次の式で表わされる。即ち、ε=
ε1 (1−S)+ε2 S空気(又は真空)の比誘電率ε
2 は1であり、また、アルミナの比誘電率ε1は10で
あるので、例えば、孔面積率Sが0.6の場合には、ε
は4.0となり、全体の比誘電率は、アルミナ単独の場
合の比誘電率に比較して大きく低下し、したがって、電
気特性としての帯電性が増加する。FIG. 2 shows a model of the electric circuit in that case. In the figure, C 1 denotes the alumina portion of the anodized aluminum film, C 2 denotes a hole portion (air or vacuum). When a voltage is applied between the inorganic film surface and the support,
Since a parallel circuit of capacitors as shown in FIG. 2 is formed,
The relative dielectric constant ε of the entire electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium is an intermediate value between C 1 and C 2 . That is, the relative permittivity of alumina is ε
1, the relative dielectric constant of the hole portion (air or vacuum) and epsilon 2, the total surface area of the porous anodic aluminum oxide film 1, total S (open area ratio of the surface area of the hole portion of which (air or vacuum) ), Assuming that the total surface area of the alumina portion excluding the hole portion is (1-S), the anodized aluminum oxide film subjected to the sealing treatment of the present invention or the entirety of the electrostatic recording medium for carrying an electrostatic latent image Is expressed by the following equation. That is, ε =
ε 1 (1-S) + ε 2 S Relative permittivity ε of air (or vacuum)
2 is 1 and the relative dielectric constant ε 1 of alumina is 10, for example, when the pore area ratio S is 0.6,
Is 4.0, and the relative dielectric constant of the whole is much lower than the relative dielectric constant of alumina alone, and therefore, the chargeability as an electrical property is increased.
【0021】本発明によれば、窒化ケイ素膜、炭化ケイ
素膜、酸化ケイ素膜、ダイヤモンド状炭素膜および非晶
質炭素膜の中から選択された少なくとも1種よりなる無
機質皮膜をプラズマCVD法等を用いて形成するので、
形成される無機質皮膜は、樹脂やワックス等に比べて緻
密性が高く、耐透湿性、耐透水性が格段に高い。即ち、
本発明のプラズマCVD法を用いて形成された窒素ケイ
素膜、炭化ケイ素膜等は、ビッカース硬度が1000以
上であり、特に非晶質炭素膜やダイヤモンド状炭素膜
は、ビッカース硬度が3000以上であり、また、酸あ
るいはアルカリに侵されない高い耐食性のものであるの
で、従来の封孔法で封孔した陽極酸化アルミニウム膜に
比べて、大幅な機械的耐久性の向上ができると共に、水
分や湿度あるいは、外の環境雰囲気に存在する物質の陽
極酸化アルミニウム皮膜への透過を遮断することができ
る。この結果として、耐湿性、環境安定性に優れた陽極
酸化アルミニウム膜を得ることができる。According to the present invention, a silicon nitride film, silicon carbide
Silicon film, silicon oxide film, diamond-like carbon film and amorphous
Since the inorganic coating made of at least one selected from the porous carbon film is formed using a plasma CVD method or the like,
The formed inorganic film is denser than resin, wax and the like, and has remarkably high moisture resistance and water resistance. That is,
A nitrogen silicon film, a silicon carbide film, or the like formed by using the plasma CVD method of the present invention has a Vickers hardness of 1,000 or more, and particularly, an amorphous carbon film or a diamond-like carbon film has a Vickers hardness of 3,000 or more. In addition, since it is of a high corrosion resistance that is not attacked by acids or alkalis, it can greatly improve the mechanical durability as compared with the anodized aluminum film sealed by the conventional sealing method, and at the same time, has a high moisture and humidity or In addition, it is possible to block the transmission of substances existing in the external environmental atmosphere to the anodized aluminum film. As a result, an anodic aluminum oxide film having excellent moisture resistance and environmental stability can be obtained.
【0022】[0022]
【実施例】次に、本発明を実施例によって詳細に説明す
る。 実施例1 純度99.99%のAl−Mg合金からなる直径約10
0mmの円筒状アルミニウムパイプを用い、フロン洗浄
と蒸溜水中超音波洗浄を行った。引き続いて、電解質溶
液として3重量%のしゅう酸溶液を用い、液温28℃に
維持しながら、直流電圧28Vをアルミニウムパイプと
円筒状陰極であるアルミニウム板との間に印加し、50
分間陽極酸化を行った。形成された陽極酸化アルミニウ
ム皮膜は、膜厚18μmであった。このようにして、多
孔質陽極酸化アルミニウム皮膜が形成されたアルミニウ
ムパイプを蒸留水中で超音波洗浄し、50℃で乾燥した
後、容量結合型プラズマCVD装置の真空槽内に設置し
た。このアルミニウムパイプを200℃に維持し、真空
槽内に100%シランガスを毎分110cm3 、水素ガ
スを毎分500cm3 、アンモニアガスを毎分1500
cm3 流入し、真空槽内を1.0Torr(133P
a)の内圧に維持した後、13.56MHzの高周波電
力を投入して、グロー放電を生じさせ、高周波電源の出
力を350Wに維持した。このようにして、多孔質陽極
酸化アルミニウム皮膜の上に、膜厚約2μmの窒化ケイ
素よりなる無機質皮膜を形成した。得られた窒化ケイ素
膜封孔陽極酸化アルミニウム膜の表面硬度を測定したと
ころ、ビッカース硬度は1550と硬いものであった。
また、比誘電率は4.5であり、温度20℃で相対湿度
15%、および温度20°Cで相対湿度75%の環境下
で帯電性を測定したところ、両環境下での帯電電位は全
く同じであり、高い帯電性と高い耐湿性を有するもので
あった。Next, the present invention will be described in detail with reference to examples. Example 1 A diameter of about 10 made of an Al—Mg alloy having a purity of 99.99%
Using a 0 mm cylindrical aluminum pipe, chlorofluorocarbon cleaning and ultrasonic cleaning in distilled water were performed. Subsequently, a 3% by weight oxalic acid solution was used as an electrolyte solution, and a DC voltage of 28 V was applied between the aluminum pipe and the aluminum plate as a cylindrical cathode while maintaining the solution temperature at 28 ° C.
Anodizing was performed for minutes. The formed anodized aluminum oxide film had a thickness of 18 μm. The aluminum pipe on which the porous anodized aluminum oxide film was formed was ultrasonically cleaned in distilled water, dried at 50 ° C., and then placed in a vacuum chamber of a capacitively coupled plasma CVD apparatus. The aluminum pipe was maintained at 200 ° C., and 100% silane gas was supplied at 110 cm 3 per minute, hydrogen gas was supplied at 500 cm 3 per minute, and ammonia gas was supplied at 1500 minutes per minute.
cm 3 , and 1.0 Torr (133 P
After maintaining the internal pressure of a), a high frequency power of 13.56 MHz was supplied to generate glow discharge, and the output of the high frequency power supply was maintained at 350 W. Thus, an inorganic film made of silicon nitride having a thickness of about 2 μm was formed on the porous anodized aluminum film. When the surface hardness of the obtained silicon nitride film-sealed anodic aluminum oxide film was measured, the Vickers hardness was as high as 1550.
The relative permittivity was 4.5, and the chargeability was measured in an environment of a relative humidity of 15% at a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 75% at a temperature of 20 ° C. It was exactly the same and had high chargeability and high moisture resistance.
【0023】実施例2 純度99.99%のAl−Mg合金からなる直径約10
0mmの円筒状アルミニウムパイプを支持体として用
い、フロン洗浄と蒸溜水中超音波洗浄を行った。引き続
いて、電解質溶液として3重量%のしゅう酸溶液を用
い、液温33℃に維持しながら、直流電圧30Vをアル
ミニウムパイプと円筒状陰極であるアルミニウム板との
間に印加し、70分間陽極酸化を行った。形成された陽
極酸化アルミニウム皮膜は、膜厚21μmであった。こ
のようにして、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜が形成
されたアルミニウムパイプを蒸留水中で超音波洗浄し、
50℃で乾燥した後、容量結合型プラズマCVD装置の
真空槽内に設置した。このアルミニウムパイプを200
℃に維持し、真空槽内に100%エチレンガスを毎分3
00cm3 、水素ガスを毎分200cm3 流入し、真空
槽内を0.5Torr(66.7Pa)の内圧に維持し
た後、13.56MHzの高周波電力を投入して、グロ
ー放電を生じさせ、高周波電源の出力を900Wに維持
した。このようにして、多孔質陽極酸化アルミニウム皮
膜の上に、膜厚約2.5μmの非晶質炭素よりなる無機
質皮膜を形成した。得られた非晶質炭素膜封孔陽極酸化
アルミニウム膜の表面硬度を測定したところ、ビッカー
ス硬度は3300と硬いものであった。また、フッ酸や
苛性ソーダに対して退色製を示すものであった。さらに
比誘電率は4.6であり、温度20℃で相対湿度15
%、および温度20°Cで相対湿度75%の環境下で帯
電性を測定したところ、両環境下での帯電電位は全く同
じであり、高い帯電性と高い耐湿性を有するものであっ
た。Example 2 A diameter of about 10 made of an Al-Mg alloy having a purity of 99.99%.
Using a 0 mm cylindrical aluminum pipe as a support, chlorofluorocarbon cleaning and ultrasonic cleaning in distilled water were performed. Subsequently, a 3% by weight oxalic acid solution was used as an electrolyte solution, and a DC voltage of 30 V was applied between the aluminum pipe and the aluminum plate as the cylindrical cathode while maintaining the solution temperature at 33 ° C., and anodizing was performed for 70 minutes. Was done. The formed anodized aluminum oxide film had a thickness of 21 μm. In this way, the aluminum pipe on which the porous anodized aluminum film is formed is ultrasonically cleaned in distilled water,
After drying at 50 ° C., it was set in a vacuum chamber of a capacitively coupled plasma CVD apparatus. 200 pieces of this aluminum pipe
℃, 100% ethylene gas in the vacuum chamber at 3
00Cm 3, hydrogen gas min 200 cm 3 flows and, after maintaining the vacuum chamber internal pressure of 0.5 Torr (66.7 Pa), was put the 13.56MHz high frequency electric power, causing a glow discharge, The output of the high frequency power supply was maintained at 900W. Thus, an inorganic film made of amorphous carbon having a thickness of about 2.5 μm was formed on the porous anodized aluminum oxide film. When the surface hardness of the obtained amorphous carbon film-sealed anodic aluminum oxide film was measured, the Vickers hardness was as high as 3300. In addition, it showed fading to hydrofluoric acid and caustic soda. Furthermore, the relative dielectric constant is 4.6, and the relative humidity is 15 at a temperature of 20 ° C.
%, And the chargeability was measured in an environment at a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 75%. As a result, the charge potential in both environments was completely the same, and the chargeability and the moisture resistance were high.
【0024】実施例3 純度99.99%のAl−Mg合金からなる直径約10
0mmの円筒状アルミニウムパイプを支持体として用
い、フロン洗浄と蒸留水中超音波洗浄を行った。引き続
いて、電解質溶液として2.5重量%の酒石酸および
0.08重量%の酒石酸アンモニウム混合液を用い、液
温45°Cに維持しながら、直流電流80Vをアルミニ
ウムパイプと円筒状陰極であるアルミニウム板との間に
印加し、50分間陽極酸化を行った。形成された陽極酸
化アルミニウム皮膜は、膜厚16μmであった。このよ
うにして、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜が形成され
たアルミニウムパイプを蒸留水中で超音波洗浄し、50
°Cで乾燥した後、容量結合型プラズマCVD装置の真
空槽内に設置した。このアルミニウムパイプを250°
Cに維持し、真空槽内に100%シランガスを毎分50
cm3 、メタンガスを毎分1000cm3 流入し、真空
槽内を0.7Torr(93Pa)の内圧に維持した
後、13.56MHzの高周波電力を投入して、グロー
放電を生じさせ、高周波電源の出力を600Wに維持し
た。このようにして、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜
の上に、膜厚約2.3μmの炭素ケイ素よりなる無機質
皮膜を形成した。得られた炭素ケイ素膜封孔陽極酸化ア
ルミニウム膜の表面硬度を測定したところ、ビッカース
硬度は1210であり硬いものであった。さらに比誘電
率は4.7であり、温度20°Cで相対湿度15%、お
よび温度20°Cで相対湿度75%の環境下で帯電性を
測定したところ、両環境下での帯電電位は全く同じであ
り、高い帯電性と高い耐湿性を有するものであった。Example 3 A diameter of about 10 made of an Al-Mg alloy having a purity of 99.99%.
Using a 0 mm cylindrical aluminum pipe as a support, chlorofluorocarbon cleaning and ultrasonic cleaning in distilled water were performed. Subsequently, while using a mixed solution of 2.5% by weight of tartaric acid and 0.08% by weight of ammonium tartrate as an electrolyte solution and maintaining the solution temperature at 45 ° C., a direct current of 80 V was applied to the aluminum pipe and the aluminum as the cylindrical cathode. Anodizing was performed for 50 minutes by applying a voltage between the plates. The formed anodized aluminum film had a thickness of 16 μm. The aluminum pipe on which the porous anodized aluminum film was formed was subjected to ultrasonic cleaning in distilled water,
After drying at ° C, it was set in a vacuum chamber of a capacitively coupled plasma CVD apparatus. 250 ° this aluminum pipe
C and maintain 100% silane gas in the vacuum chamber at 50 min / min.
cm 3, methane gas per minute 1000 cm 3 flows and, after maintaining the vacuum chamber internal pressure of 0.7 Torr (93 Pa), was put the 13.56MHz high frequency electric power, causing glow discharge, high-frequency power supply output Was maintained at 600W. Thus, an inorganic film made of carbon silicon having a thickness of about 2.3 μm was formed on the porous anodized aluminum film. When the surface hardness of the obtained anodized aluminum oxide film sealed with a carbon silicon film was measured, the Vickers hardness was 1210, which was hard. Further, the relative permittivity is 4.7, and the chargeability is measured in an environment of a relative humidity of 15% at a temperature of 20 ° C and a relative humidity of 75% at a temperature of 20 ° C. It was exactly the same and had high chargeability and high moisture resistance.
【0025】比較例l 実施例1におけると同様にして多孔質陽極酸化アルミニ
ウム皮膜を形成した後、形成された多孔質陽極酸化アル
ミニウム皮膜に、シランカップリング剤処理及びエポキ
シ樹脂含浸処理を施した。即ち、シランカップリング剤
として、γ−グリシドキシプロピル・トリメトキシシラ
ンを使用し、浴温20℃で1重量%水溶液に、上記陽極
酸化アルミニウム皮膜が形成されたアルミニムパイプを
2分間浸漬し、引き上げた後、100℃で15分加熱し
た。次いで、エポキシ樹脂塗料(KANCOAT 51
−L105B、関西ペイント社製)を刷毛塗り塗布によ
って塗布し、210℃で30分間加熱硬化させた。次い
で、表面の樹脂層をナイフによって取り除き、研磨紙に
より表面研磨して、エポキシ樹脂封孔陽極酸化アルミニ
ウム膜を形成した。このものの比誘電率は7.0であ
り、さらに、温度20℃で相対湿度15%、及び温度2
0℃で相対湿度75%の環境下で帯電性を測定したとこ
ろ、高湿環境下で帯電電位が13%低下し,低帯電性で
かつ耐湿性も低いものであった。さらに表面硬度を測定
したところ、ビッカース硬度は480と軟らかいもので
あった。Comparative Example 1 After forming a porous anodized aluminum oxide film in the same manner as in Example 1, the formed porous anodized aluminum oxide film was subjected to a silane coupling agent treatment and an epoxy resin impregnation treatment. That is, γ-glycidoxypropyl trimethoxysilane was used as a silane coupling agent, and the aluminum pipe on which the anodized aluminum oxide film was formed was immersed in a 1% by weight aqueous solution at a bath temperature of 20 ° C. for 2 minutes. Then, it was heated at 100 ° C. for 15 minutes. Next, an epoxy resin paint (KANCOAT 51)
-L105B, manufactured by Kansai Paint Co., Ltd.) was applied by brush coating, and was cured by heating at 210 ° C. for 30 minutes. Next, the resin layer on the surface was removed with a knife, and the surface was polished with abrasive paper to form an anodized aluminum oxide film sealed with epoxy resin. This has a relative dielectric constant of 7.0, a relative humidity of 15% at a temperature of 20 ° C., and a temperature of 2%.
When the chargeability was measured in an environment of 0 ° C. and a relative humidity of 75%, the charge potential was reduced by 13% in a high humidity environment, and the chargeability was low and the moisture resistance was low. Further, when the surface hardness was measured, the Vickers hardness was 480, which was soft.
【0026】比較例2 実施例2におけると同様にして多孔質陽極酸化アルミニ
ウム皮膜を形成した後、形成された多孔質陽極酸化アル
ミニウム皮膜に、シランカップリング剤処理及びエポキ
シ樹脂含浸処理を施した。即ち、シランカップリング剤
として、γ−グリシドキシプロピル・トリメトキシシラ
ンを使用し、浴温20℃で1重量%水溶液に、上記陽極
酸化アルミニウム皮膜が形成されたアルミニムパイプを
2分間浸漬し、引き上げた後、100℃で15分加熱し
た。次いで、エポキシ樹脂塗料(KANCOAT 51
−L105B、関西ペイント社製)を刷毛塗り塗布によ
って塗布し、210℃で30分間加熱硬化させた。次い
で、表面の樹脂層をナイフによって取り除き、研磨紙に
より表面研磨して、エポキシ樹脂封孔陽極酸化アルミニ
ウム膜を形成した。このものの比誘電率は6.7であ
り、さらに、温度20℃で相対湿度15%、及び温度2
0℃で相対湿度75%の環境下で帯電性を測定したとこ
ろ、高湿環境下で帯電電位が10%低下し,低帯電性で
かつ耐湿性も低いものであった。さらに表面硬度を測定
したところ、ビッカース硬度は490と軟らかいもので
あった。Comparative Example 2 After forming a porous anodized aluminum oxide film in the same manner as in Example 2, the formed porous anodized aluminum oxide film was subjected to a silane coupling agent treatment and an epoxy resin impregnation treatment. That is, γ-glycidoxypropyl trimethoxysilane was used as a silane coupling agent, and the aluminum pipe on which the anodized aluminum oxide film was formed was immersed in a 1% by weight aqueous solution at a bath temperature of 20 ° C. for 2 minutes. Then, it was heated at 100 ° C. for 15 minutes. Next, an epoxy resin paint (KANCOAT 51)
-L105B, manufactured by Kansai Paint Co., Ltd.) was applied by brush coating, and was cured by heating at 210 ° C. for 30 minutes. Next, the resin layer on the surface was removed with a knife, and the surface was polished with abrasive paper to form an anodized aluminum oxide film sealed with epoxy resin. It has a relative dielectric constant of 6.7, a relative humidity of 15% at a temperature of 20 ° C., and a temperature of 2
When the chargeability was measured in an environment of 0 ° C. and a relative humidity of 75%, the charge potential was reduced by 10% in a high humidity environment, and the chargeability was low and the moisture resistance was low. Further, when the surface hardness was measured, the Vickers hardness was 490, which was soft.
【0027】比較例3 実施例3におけると同様にして多孔質陽極酸化アルミニ
ウム皮膜を形成した後、形成された多孔質陽極酸化アル
ミニウム皮膜に、シランカップリング剤処理及びエポキ
シ樹脂含浸処理を施した。即ち、シランカップリング剤
として、γ−グリシドキシプロピル・トリメトキシシラ
ンを使用し、浴温20℃で1重量%水溶液に、上記陽極
酸化アルミニウム皮膜が形成されたアルミニムパイプを
2分間浸漬し、引き上げた後、100℃で15分加熱し
た。次いで、エポキシ樹脂塗料(KANCOAT 51
−L105B、関西ペイント社製)を刷毛塗り塗布によ
って塗布し、210℃で30分間加熱硬化させた。次い
で、表面の樹脂層をナイフによって取り除き、研磨紙に
より表面研磨して、エポキシ樹脂封孔陽極酸化アルミニ
ウム膜を形成した。このものの比誘電率は7.8であ
り、さらに、温度20℃で相対湿度15%、及び温度2
0℃で相対湿度75%の環境下で帯電性を測定したとこ
ろ、高湿環境下で帯電電位が13%低下し,低帯電性で
かつ耐湿性も低いものであった。さらに表面硬度を測定
したところ、ビッカース硬度は440と軟らかいもので
あった。Comparative Example 3 After a porous anodized aluminum oxide film was formed in the same manner as in Example 3, the formed porous anodized aluminum oxide film was subjected to a silane coupling agent treatment and an epoxy resin impregnation treatment. That is, γ-glycidoxypropyl trimethoxysilane was used as a silane coupling agent, and the aluminum pipe on which the anodized aluminum oxide film was formed was immersed in a 1% by weight aqueous solution at a bath temperature of 20 ° C. for 2 minutes. Then, it was heated at 100 ° C. for 15 minutes. Next, an epoxy resin paint (KANCOAT 51)
-L105B, manufactured by Kansai Paint Co., Ltd.) was applied by brush coating, and was cured by heating at 210 ° C. for 30 minutes. Next, the resin layer on the surface was removed with a knife, and the surface was polished with abrasive paper to form an anodized aluminum oxide film sealed with epoxy resin. It has a relative dielectric constant of 7.8, a relative humidity of 15% at a temperature of 20 ° C., and a temperature of 2
When the chargeability was measured in an environment of 0 ° C. and a relative humidity of 75%, the charge potential was reduced by 13% in a high humidity environment, and the chargeability was low and the moisture resistance was low. Further, when the surface hardness was measured, the Vickers hardness was 440, which was soft.
【0028】実施例4 純度99.99%のAl−Mg合金からなる直径約10
0mmの円筒状アルミニウムパイプを支持体として用
い、フロン洗浄と蒸溜水中超音波洗浄を行った。引き続
いて、電解質溶液として3重量%のしゅう酸溶液を用
い、液温28℃に維持しながら、直流電圧30Vをアル
ミニウムパイプと円筒状陰極であるアルミニウム板との
間に印加し、60分間陽極酸化を行った。形成された陽
極酸化アルミニウム皮膜は、膜厚20μmであった。こ
のようにして、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜が形成
されたアルミニウムパイプを蒸留水中で超音波洗浄し、
50℃で乾燥した後、容量結合型プラズマCVD装置の
真空槽内に設置した。このアルミニウムパイプを200
℃に維持し、真空槽内に100%シランガスを毎分11
0cm3 、水素ガスを毎分500cm3 、アンモニアガ
スを毎分550cm3 流入し、真空槽内を1.0Tor
r(133Pa)の内圧に維持した後、13.56MH
zの高周波電力を投入して、グロー放電を生じさせ、高
周波電源の出力を350Wに維持した。このようにし
て、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜の上に、膜厚約2
μmの窒化ケイ素よりなる無機質皮膜を形成した。Example 4 A diameter of about 10 made of an Al—Mg alloy having a purity of 99.99%.
Using a 0 mm cylindrical aluminum pipe as a support, chlorofluorocarbon cleaning and ultrasonic cleaning in distilled water were performed. Subsequently, a DC voltage of 30 V was applied between the aluminum pipe and the aluminum plate as the cylindrical cathode while maintaining the solution temperature at 28 ° C. using an oxalic acid solution of 3% by weight as an electrolyte solution, and anodizing was performed for 60 minutes. Was done. The formed anodized aluminum oxide film had a thickness of 20 μm. In this way, the aluminum pipe on which the porous anodized aluminum film is formed is ultrasonically cleaned in distilled water,
After drying at 50 ° C., it was set in a vacuum chamber of a capacitively coupled plasma CVD apparatus. 200 pieces of this aluminum pipe
° C and 100% silane gas in the vacuum chamber at a rate of 11 / min.
0 cm 3, per minute 500 cm 3 of hydrogen gas, every minute 550 cm 3 flowing ammonia gas, 1.0Tor the vacuum chamber
After maintaining the internal pressure of r (133 Pa), 13.56 MH
The high frequency power of z was applied to generate glow discharge, and the output of the high frequency power was maintained at 350W. In this way, a film thickness of about 2 was formed on the porous anodized aluminum film.
An inorganic film made of silicon nitride having a thickness of μm was formed.
【0029】得られた静電潜像担持用誘電記録体の比誘
電率は4.2であり、電荷密度として、46nC/cm
2 の表面電荷を与えた時の帯電電位(表面電位)は25
0Vであった。また、帯電後の時間経過に伴う帯電電位
の減衰は、1%/5sec以下と極めて少ないものであ
った。さらに、温度20℃で相対湿度15%、及び温度
20℃で相対湿度75%の環境下で帯電性を測定したと
ころ、両環境下での帯電電位は全く同じであった。この
静電潜像担持用誘電記録体の表面硬度を測定したとこ
ろ、ビッカース硬度は1500であり、非常に硬いもの
であった。この静電潜像担持用誘電記録体を圧力転写方
式のイオノグラフィーによる画像形成装置に入れて、画
像を評価したところ、欠陥の無い鮮明な画像が得られ
た。また、圧力転写ドラムや金属製のクリーニングブレ
ードによる傷の発生は全く観察されなかった。The obtained dielectric recording material for carrying an electrostatic latent image has a relative dielectric constant of 4.2 and a charge density of 46 nC / cm.
The charging potential (surface potential) when the surface charge of 2 is given is 25
It was 0V. Further, the decay of the charging potential with the lapse of time after the charging was as extremely small as 1% / 5 sec or less. Further, when the charging property was measured in an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 15% and an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 75%, the charging potential in both environments was exactly the same. When the surface hardness of the electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was measured, the Vickers hardness was 1500, which was very hard. The electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was placed in an image forming apparatus using pressure-transfer type ionography, and the images were evaluated. As a result, clear images without defects were obtained. In addition, no generation of scratches due to the pressure transfer drum or the metal cleaning blade was observed at all.
【0030】実施例5 純度99.99%のAl−Mg合金からなる直径約10
0mmの円筒状アルミニウムパイプを支持体として用
い、フロン洗浄と蒸溜水中超音波洗浄を行った。引き続
いて、電解質溶液として2.5重量%の酒石酸及び0.
08重量%の酒石酸アンモニウム混合溶液を用い、液温
40℃に維持しながら、直流電圧80Vをアルミニウム
パイプと円筒状陰極であるアルミニウム板との間に印加
し、60分間陽極酸化を行った。形成された陽極酸化ア
ルミニウム皮膜は、膜厚18μmであった。このように
して、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜が形成されたア
ルミニウムパイプを蒸留水中で超音波洗浄し、50℃で
乾燥した後、容量結合型プラズマCVD装置の真空槽内
に設置した。その後、実施例4と同様にして、窒化ケイ
素よりなる無機質皮膜を形成した。Example 5 A diameter of about 10 made of an Al—Mg alloy having a purity of 99.99%
Using a 0 mm cylindrical aluminum pipe as a support, chlorofluorocarbon cleaning and ultrasonic cleaning in distilled water were performed. Subsequently, 2.5% by weight tartaric acid and 0.1% by weight as electrolyte solution.
Using a 08 wt% ammonium tartrate mixed solution, a DC voltage of 80 V was applied between the aluminum pipe and the aluminum plate as the cylindrical cathode while maintaining the solution temperature at 40 ° C., and anodic oxidation was performed for 60 minutes. The formed anodized aluminum oxide film had a thickness of 18 μm. The aluminum pipe on which the porous anodized aluminum oxide film was formed was ultrasonically cleaned in distilled water, dried at 50 ° C., and then placed in a vacuum chamber of a capacitively coupled plasma CVD apparatus. Thereafter, in the same manner as in Example 4, an inorganic film made of silicon nitride was formed.
【0031】得られた静電潜像担持用誘電記録体の比誘
電率は4.3であり、電荷密度として、46nC/cm
2 の表面電荷を与えた時の帯電電位(表面電位)は21
7Vであった。また、帯電後の時間経過に伴う帯電電位
の減衰は、1%/5sec以下と極めて少ないものであ
った。さらに、温度20℃で相対湿度15%、及び温度
20℃で相対湿度75%の環境下で帯電性を測定したと
ころ、両環境下での帯電電位は全く同じであった。この
静電潜像担持用誘電記録体の表面硬度を測定したとこ
ろ、ビッカース硬度は1500であり、非常に硬いもの
であった。この静電潜像担持用誘電記録体を圧力転写方
式のイオノグラフィーによる画像形成装置に入れて、画
像を評価したところ、欠陥の無い鮮明な画像が得られ
た。また、圧力転写ドラムや金属製のクリーニングブレ
ードによる傷の発生は全く観察されなかった。The obtained dielectric recording material for carrying an electrostatic latent image has a relative dielectric constant of 4.3 and a charge density of 46 nC / cm.
The charging potential (surface potential) when the surface charge of 2 is given is 21
7V. Further, the decay of the charging potential with the lapse of time after the charging was as extremely small as 1% / 5 sec or less. Further, when the charging property was measured in an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 15% and an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 75%, the charging potential in both environments was exactly the same. When the surface hardness of the electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was measured, the Vickers hardness was 1500, which was very hard. The electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was placed in an image forming apparatus using pressure-transfer type ionography, and the images were evaluated. As a result, clear images without defects were obtained. In addition, no generation of scratches due to the pressure transfer drum or the metal cleaning blade was observed at all.
【0032】実施例6 純度99.99%のAl−Mg合金からなる直径約10
0mmの円筒状アルミニウムパイプを支持体として用
い、フロン洗浄と蒸溜水中超音波洗浄を行った。引き続
いて、電解質溶液として10重量%硫酸溶液を用い、液
温28℃に維持しながら、直流電圧15Vをアルミニウ
ムパイプと円筒状陰極であるアルミニウム板との間に印
加し、35分間陽極酸化を行った。形成された陽極酸化
アルミニウム皮膜は、膜厚22μmであった。このよう
にして、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜が形成された
アルミニウムパイプを蒸留水中で超音波洗浄し、50℃
で乾燥した後、容量結合型プラズマCVD装置の真空槽
内に設置した。その後、実施例4と同様にして、窒化ケ
イ素よりなる無機質皮膜を形成した。Example 6 A diameter of about 10 made of an Al—Mg alloy having a purity of 99.99%.
Using a 0 mm cylindrical aluminum pipe as a support, chlorofluorocarbon cleaning and ultrasonic cleaning in distilled water were performed. Subsequently, a DC voltage of 15 V was applied between the aluminum pipe and the aluminum plate serving as the cylindrical cathode while maintaining the solution temperature at 28 ° C. using a 10% by weight sulfuric acid solution as an electrolyte solution, and anodic oxidation was performed for 35 minutes. Was. The formed anodized aluminum film had a thickness of 22 μm. The aluminum pipe on which the porous anodized aluminum film was formed was subjected to ultrasonic cleaning in distilled water at 50 ° C.
, And placed in a vacuum chamber of a capacitively coupled plasma CVD apparatus. Thereafter, in the same manner as in Example 4, an inorganic film made of silicon nitride was formed.
【0033】得られた静電潜像担持用誘電記録体の比誘
電率は4.8であり、電荷密度として、46nC/cm
2 の表面電荷を与えた時の帯電電位(表面電位)は23
8Vであった。また、帯電後の時間経過に伴う帯電電位
の減衰は、1%/5sec以下と極めて少ないものであ
った。さらに、温度20℃で相対湿度15%、及び温度
20℃で相対湿度75%の環境下で帯電性を測定したと
ころ、両環境下での帯電電位は全く同じであった。この
静電潜像担持用誘電記録体の表面硬度を測定したとこ
ろ、ビッカース硬度は1500であり、非常に硬いもの
であった。この静電潜像担持用誘電記録体を圧力転写方
式のイオノグラフィーによる画像形成装置に入れて、画
像を評価したところ、欠陥の無い鮮明な画像が得られ
た。また、圧力転写ドラムや金属製のクリーニングブレ
ードによる傷の発生は全く観察されなかった。The obtained dielectric recording material for carrying an electrostatic latent image has a relative dielectric constant of 4.8 and a charge density of 46 nC / cm.
The charging potential (surface potential) when the surface charge of 2 is given is 23
It was 8V. Further, the decay of the charging potential with the lapse of time after the charging was as extremely small as 1% / 5 sec or less. Further, when the charging property was measured in an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 15% and an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 75%, the charging potential in both environments was exactly the same. When the surface hardness of the electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was measured, the Vickers hardness was 1500, which was very hard. The electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was placed in an image forming apparatus using pressure-transfer type ionography, and the images were evaluated. As a result, clear images without defects were obtained. In addition, no generation of scratches due to the pressure transfer drum or the metal cleaning blade was observed at all.
【0034】実施例7 純度99.99%のAl−Mg合金からなる直径約10
0mmの円筒状アルミニウムパイプを支持体として用
い、フロン洗浄と蒸溜水中超音波洗浄を行った。引き続
いて、電解質溶液として3重量%のしゅう酸溶液を用
い、液温33℃に維持しながら、直流電圧30Vをアル
ミニウムパイプと円筒状陰極であるアルミニウム板との
間に印加し、60分間陽極酸化を行った。形成された陽
極酸化アルミニウム皮膜は、膜厚19μmであった。こ
のようにして、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜が形成
されたアルミニウムパイプを蒸留水中で超音波洗浄し、
50℃で乾燥した後、容量結合型プラズマCVD装置の
真空槽内に設置した。このアルミニウムパイプを200
℃に維持し、真空槽内に100%エチレンガスを毎分2
00cm3 、水素ガスを毎分200cm3 流入し、真空
槽内を0.6Torr(80Pa)の内圧に維持した
後、13.56MHzの高周波電力を投入して、グロー
放電を生じさせ、高周波電源の出力を700Wに維持し
た。このようにして、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜
の上に、膜厚約1.2μmの非晶質炭素よりなる無機質
皮膜を形成した。Example 7 A diameter of about 10 made of an Al—Mg alloy having a purity of 99.99%
Using a 0 mm cylindrical aluminum pipe as a support, chlorofluorocarbon cleaning and ultrasonic cleaning in distilled water were performed. Subsequently, a DC voltage of 30 V was applied between the aluminum pipe and the aluminum plate as the cylindrical cathode while maintaining the solution temperature at 33 ° C. using a 3 wt% oxalic acid solution as an electrolyte solution, and anodizing was performed for 60 minutes. Was done. The formed anodized aluminum oxide film had a thickness of 19 μm. In this way, the aluminum pipe on which the porous anodized aluminum film is formed is ultrasonically cleaned in distilled water,
After drying at 50 ° C., it was set in a vacuum chamber of a capacitively coupled plasma CVD apparatus. 200 pieces of this aluminum pipe
° C and 100% ethylene gas in the vacuum chamber at 2 min / min.
00Cm 3, every minute 200 cm 3 flowing hydrogen gas, after maintaining the vacuum chamber internal pressure of 0.6 Torr (80 Pa), was put the 13.56MHz high frequency electric power, causing glow discharge, high-frequency power supply The power was maintained at 700W. Thus, an inorganic film made of amorphous carbon having a film thickness of about 1.2 μm was formed on the porous anodized aluminum oxide film.
【0035】得られた静電潜像担持用誘電記録体の比誘
電率は4.0であり、電荷密度として、46nC/cm
2 の表面電荷を与えた時の帯電電位(表面電位)は24
7Vであった。また、帯電後の時間経過に伴う帯電電位
の減衰は、1%/5sec以下と極めて少ないものであ
った。さらに、温度20℃で相対湿度15%、及び温度
20℃で相対湿度75%の環境下で帯電性を測定したと
ころ、両環境下での帯電電位は全く同じであった。この
静電潜像担持用誘電記録体の表面硬度を測定したとこ
ろ、ビッカース硬度は3400であり、非常に硬いもの
であった。この静電潜像担持用誘電記録体を圧力転写方
式のイオノグラフィーによる画像形成装置に入れて、画
像を評価したところ、欠陥の無い鮮明な画像が得られ
た。また、圧力転写ドラムや金属製のクリーニングブレ
ードによる傷の発生は全く観察されなかった。The obtained dielectric recording material for carrying an electrostatic latent image has a relative dielectric constant of 4.0 and a charge density of 46 nC / cm.
The charging potential (surface potential) when the surface charge of 2 is given is 24
7V. Further, the decay of the charging potential with the lapse of time after the charging was as extremely small as 1% / 5 sec or less. Further, when the charging property was measured in an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 15% and an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 75%, the charging potential in both environments was exactly the same. When the surface hardness of the electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was measured, the Vickers hardness was 3400, which was very high. The electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was placed in an image forming apparatus using pressure-transfer type ionography, and the images were evaluated. As a result, clear images without defects were obtained. In addition, no generation of scratches due to the pressure transfer drum or the metal cleaning blade was observed at all.
【0036】実施例8 純度99.9%のAl−Mg合金からなる直径約100
mmの円筒状アルミニウムパイプを支持体として用い、
フロン洗浄と蒸溜水中超音波洗浄を行った。引き続い
て、電解質溶液として2.5重量%の酒石酸及び0.0
8重量%の酒石酸アンモニウム混合溶液を用い、液温5
0℃に維持しながら、直流電圧100Vをアルミニウム
パイプと円筒状陰極であるアルミニウム板との間に印加
し、70分間陽極酸化を行った。形成された陽極酸化ア
ルミニウム皮膜は、膜厚20μmであった。このように
して、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜が形成されたア
ルミニウムパイプを蒸留水中で超音波洗浄し、50℃で
乾燥した後、容量結合型プラズマCVD装置の真空槽内
に設置した。その後、実施例7と同様にして、非晶質炭
素よりなる無機質皮膜を形成した。Example 8 A diameter of about 100 made of an Al—Mg alloy having a purity of 99.9%.
mm cylindrical aluminum pipe as a support,
CFC cleaning and ultrasonic cleaning in distilled water were performed. Subsequently, 2.5% by weight of tartaric acid and 0.0%
Using a mixed solution of 8% by weight of ammonium tartrate, a liquid temperature of 5%
While maintaining the temperature at 0 ° C., a DC voltage of 100 V was applied between the aluminum pipe and the aluminum plate as the cylindrical cathode, and anodic oxidation was performed for 70 minutes. The formed anodized aluminum oxide film had a thickness of 20 μm. The aluminum pipe on which the porous anodized aluminum oxide film was formed was ultrasonically cleaned in distilled water, dried at 50 ° C., and then placed in a vacuum chamber of a capacitively coupled plasma CVD apparatus. Thereafter, an inorganic film made of amorphous carbon was formed in the same manner as in Example 7.
【0037】得られた静電潜像担持用誘電記録体の比誘
電率は4.2であり、電荷密度として、46nC/cm
2 の表面電荷を与えた時の帯電電位(表面電位)は25
0Vであった。また、帯電後の時間経過に伴う帯電電位
の減衰は、1%/5sec以下と極めて少ないものであ
った。さらに、温度20℃で相対湿度15%、及び温度
20℃で相対湿度75%の環境下で帯電性を測定したと
ころ、両環境下での帯電電位は全く同じであった。この
静電潜像担持用誘電記録体の表面硬度を測定したとこ
ろ、ビッカース硬度は3400であり、非常に硬いもの
であった。この静電潜像担持用誘電記録体を圧力転写方
式のイオノグラフィーによる画像形成装置に入れて、画
像を評価したところ、欠陥の無い鮮明な画像が得られ
た。また、圧力転写ドラムや金属製のクリーニングブレ
ードによる傷の発生は全く観察されなかった。The obtained dielectric recording material for carrying an electrostatic latent image has a relative dielectric constant of 4.2 and a charge density of 46 nC / cm.
The charging potential (surface potential) when the surface charge of 2 is given is 25
It was 0V. Further, the decay of the charging potential with the lapse of time after the charging was as extremely small as 1% / 5 sec or less. Further, when the charging property was measured in an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 15% and an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 75%, the charging potential in both environments was exactly the same. When the surface hardness of the electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was measured, the Vickers hardness was 3400, which was very high. The electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was placed in an image forming apparatus using pressure-transfer type ionography, and the images were evaluated. As a result, clear images without defects were obtained. In addition, no generation of scratches due to the pressure transfer drum or the metal cleaning blade was observed at all.
【0038】実施例9 純度99.99%のAl−Mg合金からなる直径約10
0mmの円筒状アルミニウムパイプを支持体として用
い、フロン洗浄と蒸溜水中超音波洗浄を行った。引き続
いて、電解質溶液として10重量%硫酸溶液を用い、液
温30℃に維持しながら、直流電圧20Vをアルミニウ
ムパイプと円筒状陰極であるアルミニウム板との間に印
加し、50分間陽極酸化を行った。形成された陽極酸化
アルミニウム皮膜は、膜厚18μmであった。このよう
にして、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜が形成された
アルミニウムパイプを蒸留水中で超音波洗浄し、50℃
で乾燥した後、容量結合型プラズマCVD装置の真空槽
内に設置した。その後、実施例7と同様にして、非晶質
炭素よりなる無機質皮膜を形成した。Example 9 A diameter of about 10 made of an Al—Mg alloy having a purity of 99.99%.
Using a 0 mm cylindrical aluminum pipe as a support, chlorofluorocarbon cleaning and ultrasonic cleaning in distilled water were performed. Subsequently, a DC voltage of 20 V was applied between the aluminum pipe and the aluminum plate serving as the cylindrical cathode while maintaining the solution temperature at 30 ° C. using a 10% by weight sulfuric acid solution as an electrolyte solution, and anodic oxidation was performed for 50 minutes. Was. The formed anodized aluminum oxide film had a thickness of 18 μm. The aluminum pipe on which the porous anodized aluminum film was formed was subjected to ultrasonic cleaning in distilled water at 50 ° C.
, And placed in a vacuum chamber of a capacitively coupled plasma CVD apparatus. Thereafter, an inorganic film made of amorphous carbon was formed in the same manner as in Example 7.
【0039】得られた静電潜像担持用誘電記録体の比誘
電率は5.1であり、電荷密度として、46nC/cm
2 の表面電荷を与えた時の帯電電位(表面電位)は18
3Vであった。また、帯電後の時間経過に伴う帯電電位
の減衰は、1%/5sec以下と極めて少ないものであ
った。さらに、温度20℃で相対湿度15%、及び温度
20℃で相対湿度75%の環境下で帯電性を測定したと
ころ、両環境下での帯電電位は全く同じであった。この
静電潜像担持用誘電記録体の表面硬度を測定したとこ
ろ、ビッカース硬度は3400であり、非常に硬いもの
であった。この静電潜像担持用誘電記録体を圧力転写方
式のイオノグラフィーによる画像形成装置に入れて、画
像を評価したところ、欠陥の無い鮮明な画像が得られ
た。また、圧力転写ドラムや金属製のクリーニングブレ
ードによる傷の発生は全く観察されなかった。The obtained dielectric recording material for carrying an electrostatic latent image has a relative dielectric constant of 5.1 and a charge density of 46 nC / cm.
The charging potential (surface potential) when the surface charge of 2 is given is 18
3V. Further, the decay of the charging potential with the lapse of time after the charging was as extremely small as 1% / 5 sec or less. Further, when the charging property was measured in an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 15% and an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 75%, the charging potential in both environments was exactly the same. When the surface hardness of the electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was measured, the Vickers hardness was 3400, which was very high. The electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was placed in an image forming apparatus using pressure-transfer type ionography, and the images were evaluated. As a result, clear images without defects were obtained. In addition, no generation of scratches due to the pressure transfer drum or the metal cleaning blade was observed at all.
【0040】実施例10 純度99.99%のAl−Mg合金からなる直径約10
0mmの円筒状アルミニウムパイプを支持体として用
い、フロン洗浄と蒸溜水中超音波洗浄を行った。引き続
いて、電解質溶液として3重量%のしゅう酸溶液を用
い、液温28℃に維持しながら、直流電圧30Vをアル
ミニウムパイプと円筒状陰極であるアルミニウム板との
間に印加し、60分間陽極酸化を行った。形成された陽
極酸化アルミニウム皮膜は、膜厚20μmであった。こ
のようにして、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜が形成
されたアルミニウムパイプを蒸留水中で超音波洗浄し、
50℃で乾燥した後、容量結合型プラズマCVD装置の
真空槽内に設置した。このアルミニウムパイプを250
℃に維持し、真空槽内に100%シランガスを毎分50
cm3 、メタンガスを毎分1000cm3 流入し、真空
槽内を0.7Torr(93Pa)の内圧に維持した
後、13.56MHzの高周波電力を投入して、グロー
放電を生じさせ、高周波電源の出力を500Wに維持し
た。このようにして、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜
の上に、膜厚約2.2μmの炭化ケイ素よりなる無機質
皮膜を形成した。Example 10 A diameter of about 10 made of an Al-Mg alloy having a purity of 99.99%.
Using a 0 mm cylindrical aluminum pipe as a support, chlorofluorocarbon cleaning and ultrasonic cleaning in distilled water were performed. Subsequently, a DC voltage of 30 V was applied between the aluminum pipe and the aluminum plate as the cylindrical cathode while maintaining the solution temperature at 28 ° C. using an oxalic acid solution of 3% by weight as an electrolyte solution, and anodizing was performed for 60 minutes. Was done. The formed anodized aluminum oxide film had a thickness of 20 μm. In this way, the aluminum pipe on which the porous anodized aluminum film is formed is ultrasonically cleaned in distilled water,
After drying at 50 ° C., it was set in a vacuum chamber of a capacitively coupled plasma CVD apparatus. 250 of this aluminum pipe
C. and 100% silane gas in the vacuum chamber at 50 min / min.
cm 3, methane gas per minute 1000 cm 3 flows and, after maintaining the vacuum chamber internal pressure of 0.7 Torr (93 Pa), was put the 13.56MHz high frequency electric power, causing glow discharge, high-frequency power supply output Was maintained at 500W. Thus, an inorganic film made of silicon carbide having a thickness of about 2.2 μm was formed on the porous anodized aluminum film.
【0041】得られた静電潜像担持用誘電記録体の比誘
電率は4.3であり、電荷密度として、46nC/cm
2 の表面電荷を与えた時の帯電電位(表面電位)は24
2Vであった。また、帯電後の時間経過に伴う帯電電位
の減衰は、1%/5sec以下と極めて少ないものであ
った。さらに、温度20℃で相対湿度15%、及び温度
20℃で相対湿度75%の環境下で帯電性を測定したと
ころ、両環境下での帯電電位は全く同じであった。この
静電潜像担持用誘電記録体の表面硬度を測定したとこ
ろ、ビッカース硬度は1250であり、非常に硬いもの
であった。この静電潜像担持用誘電記録体を圧力転写方
式のイオノグラフィーによる画像形成装置に入れて、画
像を評価したところ、欠陥の無い鮮明な画像が得られ
た。また、圧力転写ドラムや金属製のクリーニングブレ
ードによる傷の発生は全く観察されなかった。The obtained dielectric recording material for carrying an electrostatic latent image has a relative dielectric constant of 4.3 and a charge density of 46 nC / cm.
The charging potential (surface potential) when the surface charge of 2 is given is 24
2V. Further, the decay of the charging potential with the lapse of time after the charging was as extremely small as 1% / 5 sec or less. Further, when the charging property was measured in an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 15% and an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 75%, the charging potential in both environments was exactly the same. When the surface hardness of the electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was measured, the Vickers hardness was 1250, which was very hard. The electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was placed in an image forming apparatus using pressure-transfer type ionography, and the images were evaluated. As a result, clear images without defects were obtained. In addition, no generation of scratches due to the pressure transfer drum or the metal cleaning blade was observed at all.
【0042】実施例11 純度99.99%のAl−Mg合金からなる直径約10
0mmの円筒状アルミニウムパイプを支持体として用
い、フロン洗浄と蒸溜水中超音波洗浄を行った。引き続
いて、電解質溶液として8重量%のリン酸溶液を用い、
液温35℃に維持しながら、直流電圧25Vをアルミニ
ウムパイプと円筒状陰極であるアルミニウム板との間に
印加し、70分間陽極酸化を行った。形成された陽極酸
化アルミニウム皮膜は、膜厚23μmであった。このよ
うにして、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜が形成され
たアルミニウムパイプを蒸留水中で超音波洗浄し、50
℃で乾燥した後、容量結合型プラズマCVD装置の真空
槽内に設置した。その後、実施例10と同様にして、炭
化ケイ素よりなる無機質皮膜を形成した。Example 11 A diameter of about 10 made of an Al—Mg alloy having a purity of 99.99%
Using a 0 mm cylindrical aluminum pipe as a support, chlorofluorocarbon cleaning and ultrasonic cleaning in distilled water were performed. Subsequently, an 8% by weight phosphoric acid solution was used as an electrolyte solution,
While maintaining the liquid temperature at 35 ° C., a DC voltage of 25 V was applied between the aluminum pipe and the aluminum plate as the cylindrical cathode, and anodic oxidation was performed for 70 minutes. The formed anodized aluminum film had a thickness of 23 μm. The aluminum pipe on which the porous anodized aluminum film was formed was subjected to ultrasonic cleaning in distilled water,
After drying at ℃, it was placed in a vacuum chamber of a capacitively coupled plasma CVD apparatus. Thereafter, in the same manner as in Example 10, an inorganic film made of silicon carbide was formed.
【0043】得られた静電潜像担持用誘電記録体の比誘
電率は5.4であり、電荷密度として、46nC/cm
2 の表面電荷を与えた時の帯電電位(表面電位)は22
1Vであった。また、帯電後の時間経過に伴う帯電電位
の減衰は、1%/5sec以下と極めて少ないものであ
った。さらに、温度20℃で相対湿度15%、及び温度
20℃で相対湿度75%の環境下で帯電性を測定したと
ころ、両環境下での帯電電位は全く同じであった。この
静電潜像担持用誘電記録体の表面硬度を測定したとこ
ろ、ビッカース硬度は1250であり、非常に硬いもの
であった。この静電潜像担持用誘電記録体を圧力転写方
式のイオノグラフィーによる画像形成装置に入れて、画
像を評価したところ、欠陥の無い鮮明な画像が得られ
た。また、圧力転写ドラムや金属製のクリーニングブレ
ードによる傷の発生は全く観察されなかった。The obtained dielectric recording material for carrying an electrostatic latent image has a relative dielectric constant of 5.4 and a charge density of 46 nC / cm.
The charging potential (surface potential) when the surface charge of 2 is given is 22
It was 1V. Further, the decay of the charging potential with the lapse of time after the charging was as extremely small as 1% / 5 sec or less. Further, when the charging property was measured in an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 15% and an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 75%, the charging potential in both environments was exactly the same. When the surface hardness of the electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was measured, the Vickers hardness was 1250, which was very hard. The electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was placed in an image forming apparatus using pressure-transfer type ionography, and the images were evaluated. As a result, clear images without defects were obtained. In addition, no generation of scratches due to the pressure transfer drum or the metal cleaning blade was observed at all.
【0044】実施例12 純度99.99%のAl−Mg合金からなる直径約10
0mmの円筒状アルミニウムパイプを支持体として用
い、フロン洗浄と蒸溜水中超音波洗浄を行った。引き続
いて、電解質溶液として2.5重量%の酒石酸及び0.
08重量%の酒石酸アンモニウム混合溶液を用い、液温
45℃に維持しながら、直流電圧80Vをアルミニウム
パイプと円筒状陰極であるアルミニウム板との間に印加
し、60分間陽極酸化を行った。形成された陽極酸化ア
ルミニウム皮膜は、膜厚18μmであった。このように
して、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜が形成されたア
ルミニウムパイプを蒸留水中で超音波洗浄し、50℃で
乾燥した後、容量結合型プラズマCVD装置の真空槽内
に設置した。その後、実施例10と同様にして、炭化ケ
イ素よりなる無機質皮膜を形成した。Example 12 A diameter of about 10 made of an Al—Mg alloy having a purity of 99.99%
Using a 0 mm cylindrical aluminum pipe as a support, chlorofluorocarbon cleaning and ultrasonic cleaning in distilled water were performed. Subsequently, 2.5% by weight tartaric acid and 0.1% by weight as electrolyte solution.
Using a 08 wt% ammonium tartrate mixed solution, a DC voltage of 80 V was applied between the aluminum pipe and the aluminum plate as the cylindrical cathode while maintaining the liquid temperature at 45 ° C., and anodic oxidation was performed for 60 minutes. The formed anodized aluminum oxide film had a thickness of 18 μm. The aluminum pipe on which the porous anodized aluminum oxide film was formed was ultrasonically cleaned in distilled water, dried at 50 ° C., and then placed in a vacuum chamber of a capacitively coupled plasma CVD apparatus. Thereafter, in the same manner as in Example 10, an inorganic film made of silicon carbide was formed.
【0045】得られた静電潜像担持用誘電記録体の比誘
電率は4.1であり、電荷密度として、46nC/cm
2 の表面電荷を与えた時の帯電電位(表面電位)は22
8Vであった。また、帯電後の時間経過に伴う帯電電位
の減衰は、1%/5sec以下と極めて少ないものであ
った。さらに、温度20℃で相対湿度15%、及び温度
20℃で相対湿度75%の環境下で帯電性を測定したと
ころ、両環境下での帯電電位は全く同じであった。この
静電潜像担持用誘電記録体の表面硬度を測定したとこ
ろ、ビッカース硬度は1250であり、非常に硬いもの
であった。この静電潜像担持用誘電記録体を圧力転写方
式のイオノグラフィーによる画像形成装置に入れて、画
像を評価したところ、欠陥の無い鮮明な画像が得られ
た。また、圧力転写ドラムや金属製のクリーニングブレ
ードによる傷の発生は全く観察されなかった。The obtained dielectric recording material for carrying an electrostatic latent image has a relative dielectric constant of 4.1 and a charge density of 46 nC / cm.
The charging potential (surface potential) when the surface charge of 2 is given is 22
It was 8V. Further, the decay of the charging potential with the lapse of time after the charging was as extremely small as 1% / 5 sec or less. Further, when the charging property was measured in an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 15% and an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 75%, the charging potential in both environments was exactly the same. When the surface hardness of the electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was measured, the Vickers hardness was 1250, which was very hard. The electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was placed in an image forming apparatus using pressure-transfer type ionography, and the images were evaluated. As a result, clear images without defects were obtained. In addition, no generation of scratches due to the pressure transfer drum or the metal cleaning blade was observed at all.
【0046】実施例13 純度99.9%のAl−Mg合金からなる直径約100
mmの円筒状アルミニウムパイプを支持体として用い、
フロン洗浄と蒸溜水中超音波洗浄を行った。引き続い
て、電解質溶液として3重量%のしゅう酸溶液を用い、
液温28℃に維持しながら、直流電圧30Vをアルミニ
ウムパイプと円筒状陰極であるアルミニウム板との間に
印加し、60分間陽極酸化を行った。形成された陽極酸
化アルミニウム皮膜は、膜厚20μmであった。このよ
うにして、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜が形成され
たアルミニウムパイプを蒸留水中で超音波洗浄し、50
℃で乾燥した後、容量結合型プラズマCVD装置の真空
槽内に設置した。このアルミニウムパイプを200℃に
維持し、真空槽内に100%シランガスを毎分250c
m3 、酸素ガスを毎分5cm3 流入し、真空槽内を0.
5Torr(66.5Pa)の内圧に維持した後、1
3.56MHzの高周波電力を投入して、グロー放電を
生じさせ、高周波電源の出力を350Wに維持した。こ
のようにして、多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜の上
に、膜厚約1.5μmの酸化ケイ素よりなる無機質皮膜
を形成した。Example 13 A diameter of about 100 made of an Al—Mg alloy having a purity of 99.9%
mm cylindrical aluminum pipe as a support,
CFC cleaning and ultrasonic cleaning in distilled water were performed. Subsequently, a 3% by weight oxalic acid solution was used as an electrolyte solution,
While maintaining the liquid temperature at 28 ° C., a DC voltage of 30 V was applied between the aluminum pipe and the aluminum plate as the cylindrical cathode, and anodic oxidation was performed for 60 minutes. The formed anodized aluminum oxide film had a thickness of 20 μm. The aluminum pipe on which the porous anodized aluminum film was formed was subjected to ultrasonic cleaning in distilled water,
After drying at ℃, it was placed in a vacuum chamber of a capacitively coupled plasma CVD apparatus. The aluminum pipe was maintained at 200 ° C., and 100% silane gas was introduced into the vacuum chamber at a rate of 250 c / min.
m 3 , oxygen gas was introduced at a flow rate of 5 cm 3 per minute.
After maintaining the internal pressure of 5 Torr (66.5 Pa), 1
A high frequency power of 3.56 MHz was supplied to generate glow discharge, and the output of the high frequency power was maintained at 350 W. Thus, an inorganic film made of silicon oxide having a thickness of about 1.5 μm was formed on the porous anodized aluminum oxide film.
【0047】得られた静電潜像担持用誘電記録体の比誘
電率は4.3であり、電荷密度として、46nC/cm
2 の表面電荷を与えた時の帯電電位(表面電位)は24
2Vであった。また、帯電後の時間経過に伴う帯電電位
の減衰は、1%/5sec以下と極めて少ないものであ
った。さらに、温度20℃で相対湿度15%、及び温度
20℃で相対湿度75%の環境下で帯電性を測定したと
ころ、両環境下での帯電電位は全く同じであった。この
静電潜像担持用誘電記録体の表面硬度を測定したとこ
ろ、ビッカース硬度は1220であり、非常に硬いもの
であった。この静電潜像担持用誘電記録体を圧力転写方
式のイオノグラフィーによる画像形成装置に入れて、画
像を評価したところ、欠陥の無い鮮明な画像が得られ
た。また、圧力転写ドラムや金属製のクリーニングブレ
ードによる傷の発生は全く観察されなかった。The obtained dielectric recording material for carrying an electrostatic latent image has a relative dielectric constant of 4.3 and a charge density of 46 nC / cm.
The charging potential (surface potential) when the surface charge of 2 is given is 24
2V. Further, the decay of the charging potential with the lapse of time after the charging was as extremely small as 1% / 5 sec or less. Further, when the charging property was measured in an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 15% and an environment of a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 75%, the charging potential in both environments was exactly the same. When the surface hardness of the electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was measured, the Vickers hardness was 1220, which was very high. The electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was placed in an image forming apparatus using pressure-transfer type ionography, and the images were evaluated. As a result, clear images without defects were obtained. In addition, no generation of scratches due to the pressure transfer drum or the metal cleaning blade was observed at all.
【0048】比較例4 実施例4におけると同様にして多孔質陽極酸化アルミニ
ウム皮膜を形成した後、形成された多孔質陽極酸化アル
ミニウム皮膜に、シランカップリング剤処理及びエポキ
シ樹脂含浸処理を施した。即ち、シランカップリング剤
として、γ−グリシドキシプロピル・トリメトキシシラ
ンを使用し、浴温20℃で1重量%水溶液に、上記陽極
酸化アルミニウム皮膜が形成されたアルミニムパイプを
2分間浸漬し、引き上げた後、100℃で15分加熱し
た。次いで、エポキシ樹脂塗料(KANCOAT 51
−L105B、関西ペイント社製)を刷毛塗り塗布によ
って塗布し、210℃で30分間加熱硬化させた。次い
で、表面の樹脂層をナイフによって取り除き、研磨紙に
より表面研磨して、静電潜像担持用誘電記録体を形成し
た。このものの比誘電率は7.0であり、電荷密度とし
て、46nC/cm2の表面電荷を与えた時の帯電電位
(表面電位)は148Vであった。また、帯電後の時間
経過に伴う帯電電位の減衰は、6%/5secであっ
た。さらに、温度20℃で相対湿度15%、及び温度2
0℃で相対湿度75%の環境下で帯電性を測定したとこ
ろ、帯電性に湿度依存性が認められ、高湿環境下で帯電
電位が13%低下した。この静電潜像担持用誘電記録体
の表面硬度を測定したところ、ビッカース硬度は500
であった。この静電潜像担持用誘電記録体を圧力転写方
式のイオノグラフィーによる画像形成装置に入れて、画
像を評価したところ、一部に圧力転写ドラムや金属製の
クリーニングブレードによる傷の発生が認められた。Comparative Example 4 After forming a porous anodized aluminum oxide film in the same manner as in Example 4, the formed porous anodized aluminum oxide film was subjected to a silane coupling agent treatment and an epoxy resin impregnation treatment. That is, γ-glycidoxypropyl trimethoxysilane was used as a silane coupling agent, and the aluminum pipe on which the anodized aluminum oxide film was formed was immersed in a 1% by weight aqueous solution at a bath temperature of 20 ° C. for 2 minutes. Then, it was heated at 100 ° C. for 15 minutes. Next, an epoxy resin paint (KANCOAT 51)
-L105B, manufactured by Kansai Paint Co., Ltd.) was applied by brush coating, and was cured by heating at 210 ° C. for 30 minutes. Next, the resin layer on the surface was removed with a knife, and the surface was polished with abrasive paper to form a dielectric recording member for carrying an electrostatic latent image. The specific dielectric constant was 7.0, and the charge potential (surface potential) when a surface charge of 46 nC / cm 2 was given as a charge density was 148 V. Further, the decay of the charging potential with the passage of time after the charging was 6% / 5 sec. Further, at a temperature of 20 ° C., a relative humidity of 15%, and a temperature of 2
When the chargeability was measured at 0 ° C. in an environment with a relative humidity of 75%, the chargeability was found to be dependent on humidity, and the charge potential was reduced by 13% in a high humidity environment. When the surface hardness of the dielectric recording medium for holding an electrostatic latent image was measured, the Vickers hardness was 500.
Met. The electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was put into an image forming apparatus using pressure-transfer ionography, and the image was evaluated. As a result, it was found that some damage was caused by the pressure-transfer drum or metal cleaning blade. Was.
【0049】比較例5 実施例5におけると同様にして多孔質陽極酸化アルミニ
ウム皮膜を形成した後、形成された多孔質陽極酸化アル
ミニウム皮膜に、シランカップリング剤処理及びエポキ
シ樹脂含浸処理を施した。即ち、シランカップリング剤
として、γ−グリシドキシプロピル・トリメトキシシラ
ンを使用し、浴温20℃で1重量%水溶液に、上記陽極
酸化アルミニウム皮膜が形成されたアルミニムパイプを
2分間浸漬し、引き上げた後、100℃で15分加熱し
た。次いで、エポキシ樹脂塗料(KANCOAT 51
−L105B、関西ペイント社製)を刷毛塗り塗布によ
って塗布し、210℃で30分間加熱硬化させた。次い
で、表面の樹脂層をナイフによって取り除き、研磨紙に
より表面研磨して、静電潜像担持用誘電記録体を形成し
た。このものの比誘電率は6.7であり、電荷密度とし
て、46nC/cm2 の表面電荷を与えた時の帯電電位
(表面電位)は140Vであった。また、帯電後の時間
経過に伴う帯電電位の減衰は、5%/5secであっ
た。さらに、温度20℃で相対湿度15%、及び温度2
0℃で相対湿度75%の環境下で帯電性を測定したとこ
ろ、帯電性に湿度依存性が認められ、高湿環境下で帯電
電位が9%低下した。この静電潜像担持用誘電記録体の
表面硬度を測定したところ、ビッカース硬度は530で
あった。この静電潜像担持用誘電記録体を圧力転写方式
のイオノグラフィーによる画像形成装置に入れて、画像
を評価したところ、一部に圧力転写ドラムや金属製のク
リーニングブレードによる傷の発生が認められた。Comparative Example 5 After forming a porous anodized aluminum oxide film in the same manner as in Example 5, the formed porous anodized aluminum oxide film was subjected to a silane coupling agent treatment and an epoxy resin impregnation treatment. That is, using γ-glycidoxypropyl trimethoxysilane as a silane coupling agent , an aluminum pipe having the above-described anodized aluminum oxide film formed on a 1% by weight aqueous solution at a bath temperature of 20 ° C. After immersion for 2 minutes and lifting, it was heated at 100 ° C. for 15 minutes. Next, an epoxy resin paint (KANCOAT 51)
-L105B, manufactured by Kansai Paint Co., Ltd.) was applied by brush coating, and was cured by heating at 210 ° C. for 30 minutes. Next, the resin layer on the surface was removed with a knife, and the surface was polished with abrasive paper to form a dielectric recording member for carrying an electrostatic latent image. The specific dielectric constant was 6.7, and the charging potential (surface potential) when a surface charge of 46 nC / cm 2 was given as a charge density was 140 V. Further, the decay of the charging potential with the lapse of time after charging was 5% / 5 sec. Further, at a temperature of 20 ° C., a relative humidity of 15%, and a temperature of 2
When the chargeability was measured at 0 ° C. in an environment with a relative humidity of 75%, the chargeability was found to be dependent on humidity, and the charge potential was reduced by 9% in a high humidity environment. The Vickers hardness was 530 when the surface hardness of the electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was measured. The electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was put into an image forming apparatus using pressure-transfer ionography, and the image was evaluated. As a result, it was found that some damage was caused by the pressure-transfer drum or metal cleaning blade. Was.
【0050】比較例6 実施例6におけると同様にして多孔質陽極酸化アルミニ
ウム皮膜を形成した後、形成された多孔質陽極酸化アル
ミニウム皮膜に、シランカップリング剤処理及びエポキ
シ樹脂含浸処理を施した。即ち、シランカップリング剤
として、γ−グリシドキシプロピル・トリメトキシシラ
ンを使用し、浴温20℃で1重量%水溶液に、上記陽極
酸化アルミニウム皮膜が形成されたアルミニムパイプを
2分間浸漬し、引き上げた後、100℃で15分加熱し
た。次いで、エポキシ樹脂塗料(KANCOAT 51
−L105B、関西ペイント社製)を刷毛塗り塗布によ
って塗布し、210℃で30分間加熱硬化させた。次い
で、表面の樹脂層をナイフによって取り除き、研磨紙に
より表面研磨して、静電潜像担持用誘電記録体を形成し
た。このものの比誘電率は7.5であり、電荷密度とし
て、46nC/cm2 の表面電荷を与えた時の帯電電位
(表面電位)は152Vであった。また、帯電後の時間
経過に伴う帯電電位の減衰は、9%/5secであっ
た。さらに、温度20℃で相対湿度15%、及び温度2
0℃で相対湿度75%の環境下で帯電性を測定したとこ
ろ、帯電性に湿度依存性が認められ、高湿環境下で帯電
電位が15%低下した。この静電潜像担持用誘電記録体
の表面硬度を測定したところ、ビッカース硬度は180
であった。この静電潜像担持用誘電記録体を圧力転写方
式のイオノグラフィーによる画像形成装置に入れて、画
像を評価したところ、一部に圧力転写ドラムや金属製の
クリーニングブレードによる傷の発生が認められた。Comparative Example 6 After forming a porous anodized aluminum oxide film in the same manner as in Example 6, the formed porous anodized aluminum oxide film was subjected to a silane coupling agent treatment and an epoxy resin impregnation treatment. That is, using γ-glycidoxypropyl trimethoxysilane as a silane coupling agent , an aluminum pipe having the above-described anodized aluminum oxide film formed on a 1% by weight aqueous solution at a bath temperature of 20 ° C. After immersion for 2 minutes and lifting, it was heated at 100 ° C. for 15 minutes. Next, an epoxy resin paint (KANCOAT 51)
-L105B, manufactured by Kansai Paint Co., Ltd.) was applied by brush coating, and was cured by heating at 210 ° C. for 30 minutes. Next, the resin layer on the surface was removed with a knife, and the surface was polished with abrasive paper to form a dielectric recording member for carrying an electrostatic latent image. The specific dielectric constant was 7.5, and the charging potential (surface potential) when a surface charge of 46 nC / cm 2 was given as a charge density was 152 V. Further, the decay of the charging potential with the passage of time after charging was 9% / 5 sec. Further, at a temperature of 20 ° C., a relative humidity of 15%, and a temperature of 2
When the chargeability was measured in an environment of 0 ° C. and a relative humidity of 75%, the chargeability was found to be dependent on humidity, and the charge potential was reduced by 15% in a high humidity environment. When the surface hardness of the electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was measured, the Vickers hardness was 180.
Met. The electrostatic latent image-carrying dielectric recording medium was put into an image forming apparatus using pressure-transfer ionography, and the image was evaluated. As a result, it was found that some damage was caused by the pressure-transfer drum or metal cleaning blade. Was.
【0051】[0051]
【発明の効果】本発明の静電潜像担持用誘電記録体は、
上記のように多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜の表面に
プラズマCVD法によって窒化ケイ素膜、炭化ケイ素
膜、酸化ケイ素膜、ダイヤモンド状炭素膜および非晶質
炭素膜の中から選択された少なくとも1種よりなる無機
質皮膜を設け、孔を真空又は空気が入った状態に保持し
ているから、従来のものに比して、比誘電率が低く、し
たがって、帯電性が良好で、また帯電後の時間経過に伴
う電位減衰が少なく、高い帯電電位を保つことができ
る。さらにまた、プラズマCVD法によって形成された
上記の無機質皮膜は、緻密で、表面硬度が著しく高く、
かつ耐湿性が良好である。また、帯電性等の電気特性の
安定性、再現性に優れ、構造の信頼性が高く、特に、熱
ストレスに対する安定性が良好である。The dielectric recording medium for carrying an electrostatic latent image according to the present invention comprises:
As described above, a silicon nitride film and a silicon carbide film are formed on the surface of the porous anodized aluminum film by the plasma CVD method.
Film, silicon oxide film, diamond-like carbon film and amorphous
Since an inorganic film made of at least one selected from carbon films is provided and the holes are kept in a state of vacuum or air, the dielectric constant is higher than that of a conventional one. Therefore, the chargeability is good, the potential decay with time after charging is small, and a high charge potential can be maintained. Furthermore, the above-mentioned inorganic film formed by the plasma CVD method is dense and has extremely high surface hardness.
And good moisture resistance. In addition, it is excellent in stability and reproducibility of electric characteristics such as chargeability, and has high structure reliability, and particularly has good stability against thermal stress.
【図1】 本発明の静電潜像担持用誘電記録体の模式的
断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view of a dielectric recording medium for carrying an electrostatic latent image of the present invention.
【図2】 本発明の作用を説明するためのコンデンサ回
路図である。FIG. 2 is a capacitor circuit diagram for explaining the operation of the present invention.
1…支持体、2…多孔質陽極酸化アルミニウム皮膜、3
…無機質皮膜、4…バリヤー層部分、5…多孔質層部
分、6…孔。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Support, 2 ... Porous anodized aluminum film, 3
... inorganic film, 4 ... barrier layer portion, 5 ... porous layer portion, 6 ... pores.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−111259(JP,A) 特開 昭57−130038(JP,A) 特開 平1−243066(JP,A) 特開 昭61−200547(JP,A) 特開 昭61−262744(JP,A) 特開 昭63−272756(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-62-111259 (JP, A) JP-A-57-130038 (JP, A) JP-A-1-243066 (JP, A) JP-A 61-111 200547 (JP, A) JP-A-61-262744 (JP, A) JP-A-63-272756 (JP, A)
Claims (3)
質陽極酸化アルミニウム皮膜と、該多孔質陽極酸化アル
ミニウム皮膜の上に設けられた、窒化ケイ素膜、炭化ケ
イ素膜、酸化ケイ素膜、ダイヤモンド状炭素膜および非
晶質炭素膜の中から選択された少なくとも1種よりなる
無機質皮膜とからなり、該多孔質陽極酸化アルミニウム
皮膜の孔の中に空気または真空を閉じ込めたまま前記孔
の開口端が、無機質皮膜によって塞がれていることを特
徴とする静電荷像担持用誘電記録体。1. A support, a porous anodized aluminum oxide film provided on the support, and a silicon nitride film, a silicon carbide film, and a silicon oxide film provided on the porous anodized aluminum film And an inorganic film made of at least one selected from a diamond-like carbon film and an amorphous carbon film, wherein the pores of the porous anodized aluminum oxide film have air or vacuum confined therein . A dielectric recording member for carrying an electrostatic image, wherein an open end is closed by an inorganic film.
ゅう酸、酒石酸、硫酸及びリン酸の中から選択された少
なくとも1種からなる電解質溶液を用いて形成された皮
膜であることを特徴とする請求項1に記載の静電荷像担
持用誘電記録体。2. The method according to claim 1, wherein the porous anodized aluminum film is a film formed using an electrolyte solution comprising at least one selected from oxalic acid, tartaric acid, sulfuric acid and phosphoric acid. Item 2. The dielectric recording material for carrying an electrostatic image according to Item 1 .
て形成されたものである請求項1に記載の静電荷像担持
用誘電記録体。3. The dielectric recording medium for carrying an electrostatic image according to claim 1 , wherein the inorganic film is formed by using a plasma CVD method.
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