JP2735797B2 - High temperature platinum resistance temperature detector - Google Patents

High temperature platinum resistance temperature detector

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JP2735797B2
JP2735797B2 JP6296201A JP29620194A JP2735797B2 JP 2735797 B2 JP2735797 B2 JP 2735797B2 JP 6296201 A JP6296201 A JP 6296201A JP 29620194 A JP29620194 A JP 29620194A JP 2735797 B2 JP2735797 B2 JP 2735797B2
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優 新井
友亮 今村
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は高温領域に至るまでの広
い範囲の温度(0℃〜1000℃)を測定することがで
きる、工業用の高温用白金測温抵抗素子に関するもので
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an industrial high-temperature platinum resistance thermometer capable of measuring a wide range of temperatures (0.degree. C. to 1000.degree. C.) up to a high temperature range.

【0002】[0002]

【従来の技術】白金測温抵抗体は、測温センサの中でも
代表的なものの一つである、JIS規格の中ではPt
00高温用測温抵抗体として、その使用温度を0℃〜6
50℃と規定している。
BACKGROUND ART platinum resistance is one of the typical among temperature measuring sensor, P t 1 is in the JIS standard
As a high temperature resistance thermometer, the operating temperature is from 0 ° C to 6 ° C.
It is specified as 50 ° C.

【0003】500℃以上で、使用される測温素子とし
ては、白金線の他にK熱電対が多く使用されているが、
K熱電対はコスト的に安価で使いやすい点がある反面、
互換性及び再現性に劣り、500℃〜1000℃の間の
測温精度も500℃で±3.75℃また1000℃では
±7.5℃(JISC−1602)と、白金測温抵抗体
より精度の低下する欠点があった。
As a temperature measuring element used at 500 ° C. or higher, a K thermocouple is often used in addition to a platinum wire.
K thermocouple is inexpensive and easy to use.
Inferior in compatibility and reproducibility. Temperature measurement accuracy between 500 ° C and 1000 ° C is ± 3.75 ° C at 500 ° C and ± 7.5 ° C at 1000 ° C (JISC-1602). There was a disadvantage that the accuracy was reduced.

【0004】白金測温抵抗体は、互換性、再現性におい
てK熱電対より優れているが、JIS℃1604−16
89より、650℃±3.55℃と定められており、こ
れほどの高精度の基準値を長期間にわたって維持するの
には困難があり、工業界から測温精度の向上と、その安
定性の維持が望まれていた。
[0004] Platinum resistance thermometers have better compatibility and reproducibility than K thermocouples,
From 89, it is set to 650 ° C ± 3.55 ° C, and it is difficult to maintain such a high-precision reference value for a long period of time. Maintenance was desired.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】測温素子により高温領
域までの温度(0℃〜1000℃)を精度よく測定する
には、絶縁抵抗による精度低下は防げない問題であっ
た。工程の不備もあって、絶縁性を安定して維持できる
製品は少なかった。また素子自体にしても、絶縁性を満
足させる構造に欠けていた。
In order to accurately measure the temperature (0.degree. C. to 1000.degree. C.) up to a high-temperature region by using a temperature measuring element, there is a problem that a decrease in accuracy due to insulation resistance cannot be prevented. There were few products that could stably maintain insulation due to inadequate processes. Also, the element itself lacks a structure that satisfies the insulating property.

【0006】従来の測温センサとしての白金線は、空気
中の不純物質による汚染を防ぐために、石英の保護体で
覆うタイプのものもあったが、これでは環境に応じて使
用するのが困難であった。また、高温領域での使用に際
し、素線の純度を維持するのが困難であった。更に、従
来の白金線のタイプでは、口出し線側の封止には高温用
セメントを使用することで、口出し線(白金線)を接着
させていることもあり、口出し線の線間の絶縁性が高温
用セメントの中の不純物質により低下してしまうという
問題もあって、規定された精度を、安定して維持できる
ものはなかった。
A conventional platinum wire as a temperature sensor has been of a type covered with a quartz protective body in order to prevent contamination by impurities in the air. However, it is difficult to use it according to the environment. Met. In addition, it has been difficult to maintain the purity of the strand when used in a high-temperature region. In addition, in the conventional platinum wire type, the lead wire (platinum wire) is sometimes bonded by using high-temperature cement for sealing the lead wire side, so that the insulation between the lead wire wires may be reduced. However, there is no problem that the specified accuracy can be stably maintained due to the problem that the temperature is reduced by impurities in the high-temperature cement.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、多孔管に白金
線を入れた白金センサをアルミナ保護管に封入したこと
を特徴とする。本発明では、封入方法は一度一般空気中
で組立てて製作したものを、約1100℃でアニールを
行い、アルミナ保護管の中の空気を充分に乾燥させる。
こうして、アニールしたものを完成品とする。また、本
発明では、封止材での口出し線の線間の絶縁性を低下さ
せないように、封止材に溝を入れる。
The present invention is characterized in that a platinum sensor in which a platinum wire is inserted in a perforated tube is sealed in an alumina protective tube. According to the present invention, the encapsulation method is to once assemble and assemble in general air, anneal at about 1100 ° C., and sufficiently dry the air in the alumina protective tube.
Thus, the annealed product is completed. Further, in the present invention, a groove is formed in the sealing material so as not to lower the insulation between the lead wires in the sealing material.

【0008】[0008]

【作用】本発明では、測温素子はアニールしたものなの
で、封入空気が十分に乾燥されて、絶縁性が向上すると
ともに、白金線自体の歪もなくなって、温度特性が安定
化し、更に口出し線と口出し線との間で線間の封止材表
面部に溝を形成したこともあって、絶縁抵抗が一層増加
し、高温領域まででの温度を精度よく測定できる。
According to the present invention, since the temperature measuring element is annealed, the enclosed air is sufficiently dried to improve the insulating property, and the platinum wire itself is not distorted, the temperature characteristic is stabilized, and the lead wire is further improved. Since a groove is formed in the surface of the sealing material between the lead wire and the lead wire, the insulation resistance further increases, and the temperature up to a high temperature region can be measured accurately.

【0009】[0009]

【実施例】本発明の高温用白金測温抵抗素子1の構造を
図1に示す。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows the structure of a high-temperature platinum resistance temperature measuring element 1 according to the present invention.

【0010】構造は、標準用と同じ99.9%の高純度
のアルミナ多孔管に白金素線を数回往復させた素造の素
子である白金センサ2を、一端が閉じた99.7%以上
の高純度のアルミナ保護管3に挿入させた構造を基本と
する。
[0010] The structure is a platinum sensor 2 which is a raw element in which a platinum wire is reciprocated several times in a 99.9% high-purity alumina porous tube which is the same as the standard one, and a 99.7% element having one end closed. Basically, the structure is inserted into the high-purity alumina protective tube 3 described above.

【0011】アルミナ保護管3は、アニールの最中で
は、通気性を持つようになる。
The alumina protective tube 3 has air permeability during annealing.

【0012】アルミナ保護管3内の雰囲気には、アニー
ルで充分に乾燥させた空気4を使用している。
As the atmosphere in the alumina protective tube 3, air 4 sufficiently dried by annealing is used.

【0013】封入方法は、図1に示した通りの構造で、
一般空気中で組立てて製作したものを電気炉に入れ、約
1100℃でアニールを行い、アルミナ保護管3内部の
空気をも充分に乾燥させる。
The enclosing method has a structure as shown in FIG.
The assembly assembled in ordinary air is placed in an electric furnace, annealed at about 1100 ° C., and the air inside the alumina protective tube 3 is sufficiently dried.

【0014】アニールを行う時間については、12時間
程度が望ましいが、この時間に限らず、この時間より少
なくても、又は大きくても、本発明の効果が期待できる
範囲内であればアニール時間は、自由に選択できる。
The time for performing the annealing is desirably about 12 hours, but is not limited to this time, and may be shorter or longer than this time as long as the effects of the present invention can be expected. , You can choose freely.

【0015】アニールにより、絶縁性を低下させる原因
となる不純物質は、アルミナ保護管3に吸着されたりし
て、絶縁性が向上する。
As a result of the annealing, impurities which cause a decrease in the insulating property are adsorbed on the alumina protective tube 3 and the insulating property is improved.

【0016】長期間にわたり未使用状態で、素子の絶縁
性が落ちた場合でも、再びアニールすれば絶縁性は回復
する。口出し線5には、断線を防止させるためPt −R
h 3.0%の白金線を使用している。
[0016] Even if the insulation of the element is deteriorated in the unused state for a long time, the insulation is restored by annealing again. The lead wire 5, P t -R order to prevent disconnection
h 3.0% platinum wire is used.

【0017】本発明の白金線は、抵抗値を基本的に3Ω
又は5Ωとし、その他の抵抗値でも製作できるように設
計されている。
The platinum wire of the present invention has a resistance value of basically 3Ω.
Or, it is set to 5Ω, and it is designed so that other resistance values can be manufactured.

【0018】また、本発明では高温用白金測温抵抗素子
1は、大きさが最小のものでアルミナ保護管3の外径φ
3.0、長さ40mm程度のものが製作でき、外径又は
長さが、これ以上大きいものであれば製作可能である。
Further, in the present invention, the high temperature platinum resistance temperature measuring element 1 has a minimum size and an outer diameter φ of the alumina protective tube 3.
3.0 and a length of about 40 mm can be manufactured, and if the outer diameter or the length is larger than this, it can be manufactured.

【0019】封止を要する部分では、高温用セメント6
で封止する。口出し線5の線間の封止材8の表面部には
溝7を形成させて、高温用セメント6の不純物混入によ
る絶縁抵抗の低下を補うようにしてある。
In the portion requiring sealing, high-temperature cement 6
Seal with. Grooves 7 are formed in the surface of the sealing material 8 between the lead wires 5 so as to compensate for the decrease in insulation resistance due to the contamination of the high-temperature cement 6 with impurities.

【0020】溝7を入れることによって、1000℃に
おける抵抗比(R1000/R0 )は、溝を入れないものと
大きな差のでることがわかった。
It has been found that the groove 7 has a large difference in resistance ratio (R 1000 / R 0 ) at 1000 ° C. from that without the groove.

【0021】溝7を入れたものは、R1000/R0 が4.
37872〜4.38653であったのに対し、溝を入
れないものは、、R1000/R0 が4.34846〜4.
36796であり、特に高温領域において、感度特性が
落ちる傾向にあった。
The one having the groove 7 has a ratio of R 1000 / R 0 of 4.
While the was the 37,872-4.38653, those that do not put the groove is ,, R 1000 / R 0 4.34846~4.
36796, and the sensitivity characteristics tended to decrease particularly in a high temperature region.

【0022】これを温度に換算すると約4℃〜8℃の誤
差が生じていることになり、溝7を入れたことによる効
果が確認できた。
When this is converted into a temperature, an error of about 4 ° C. to 8 ° C. has occurred, and the effect of inserting the groove 7 has been confirmed.

【0023】この結果から高温領域での温度測定に対し
て白金素線の純度を維持させ、絶縁抵抗による精度低下
の影響を防止させ、高精度で温度測定を行うのに高温セ
メント6で口出し線5を接着したところに溝7を入れる
ことは、効果的であることがわかる。
From these results, it is possible to maintain the purity of the platinum wire for temperature measurement in a high-temperature region, prevent the influence of accuracy deterioration due to insulation resistance, and perform high-precision temperature measurement by using a high-temperature cement 6 with a lead wire. It can be seen that it is effective to insert the groove 7 where 5 is bonded.

【0024】溝7の幅は、0.1mm〜0.2mm程
度、深さは1mm程度である。
The width of the groove 7 is about 0.1 mm to 0.2 mm, and the depth is about 1 mm.

【0025】幅及び深さは、この数値より大きければ問
題はない。
There is no problem if the width and depth are larger than these values.

【0026】図2は、図1におけるB,B´線における
断面図である。(a)は2線式、(b)は3線式、
(c)は4線式に対応する構造である。導電形式による
溝7の掘り方が、(a),(b),(c)に示されてい
る。
FIG. 2 is a sectional view taken along line B, B 'in FIG. (A) is a two-wire system, (b) is a three-wire system,
(C) is a structure corresponding to the 4-wire system. (A), (b), and (c) show how to dig the groove 7 according to the conductive type.

【0027】溝7を入れるということは、口出し線同士
の絶縁性低下を防止するために行うもので、わざわざ溝
を入れなくても、高温用セメント6がお互いの口出し線
5に付着しなければいいことである。口出し線5の線間
が、高温用セメント6で短絡した形になっていなけれ
ば、溝を省略することができる。したがって、口出し線
5を一本一本接続した場合でも、溝7を入れた場合と同
様に絶縁性低下の影響は防止できる。
Inserting the groove 7 is performed in order to prevent a decrease in insulation between the lead wires, and if the high-temperature cement 6 does not adhere to the lead wires 5 even if the groove is not provided. That is good. If the gap between the lead wires 5 is not short-circuited by the high-temperature cement 6, the groove can be omitted. Therefore, even when the lead wires 5 are connected one by one, the effect of the decrease in insulation can be prevented as in the case where the grooves 7 are formed.

【0028】また、一般の巻線方式の白金測温抵抗素子
でも、口出し線と口出し線との間に溝を入れれば、IE
C規格で規定している850℃まで対応できる。このよ
うに、溝7の効果は大きい。高温用白金測温抵抗素子の
温度特性及び安全度を確認するため、安定度試験及び温
度特性試験は組立て後、全くアニールしていない状態か
らはじめ、その後、1000℃でアニールを行った結果
を図4、図5に示す。
Further, even in a general winding type platinum resistance temperature measuring element, if a groove is formed between the lead wires, the IE can be obtained.
It can handle up to 850 ° C specified by the C standard. Thus, the effect of the groove 7 is great. In order to confirm the temperature characteristics and the safety of the platinum resistance temperature detector for high temperature, the stability test and the temperature characteristics test were performed after assembling, starting with no annealing at all, and then annealing at 1000 ° C. 4 and shown in FIG.

【0029】アニール時間は、最初12時間ずつ6回、
続いて24時間ずつ14回、最後に48時間で1回行
い、各アニール毎に水の三重点(0.01℃)における
抵抗値を測定した。試験は3本行った。
Initially, the annealing time is 6 times for 12 hours each,
Subsequently, the measurement was performed 14 times for 24 hours and finally once for 48 hours, and the resistance value at the triple point of water (0.01 ° C.) was measured for each annealing. Three tests were performed.

【0030】アニールしていない状態から1回目のアニ
ール後の測定において一番大きな変化量は50mK程度
であった。その後は、アニール効果によって測定するた
びに抵抗値は減少を示したが、一連のアニールの間の総
変化量は一番大きなところで67mKであった。また、
温度特性(R100 /R0 )も常に1.39260を越え
ていたため標準用に近いものであった。
In the measurement after the first annealing from the non-annealed state, the largest change was about 50 mK. After that, the resistance value showed a decrease each time it was measured by the annealing effect, but the total change amount during the series of annealing was 67 mK at the maximum. Also,
The temperature characteristic (R 100 / R 0 ) always exceeded 1.39260, so that it was close to the standard.

【0031】しかし、工業用においては、(R100 /R
0 )が1.39250を越えているものであれば問題な
い。
However, for industrial use, (R 100 / R
If 0 ) exceeds 1.39250, there is no problem.

【0032】したがって、本発明のものは、工業用とし
て1000℃で100mK内の高精度を実証し、温度特
性も充分満足のいく値が得られた。
Therefore, the present invention demonstrated high accuracy within 1000 mK at 1000 ° C. for industrial use, and sufficiently satisfactory temperature characteristics were obtained.

【0033】場合によっては、工業用の他に標準用とし
ても使用できる。
In some cases, it can be used as a standard as well as an industrial one.

【0034】図3は、外筒の保護管9を含めた高温用白
金測温抵抗素子の断面を示すものである。
FIG. 3 shows a cross section of a high-temperature platinum resistance temperature measuring element including the outer protective tube 9.

【0035】本発明のものは、形状も最小で外径φ3.
0、長さ40mmと小さいため、アルミナ保護管3の外
径より大きい外筒の保護管9φ4.0のなかに挿入する
ことができる。
The present invention has a minimum shape and an outer diameter of φ3.
0 and a length as small as 40 mm, it can be inserted into a protective tube 9φ4.0 of an outer cylinder larger than the outer diameter of the alumina protective tube 3.

【0036】外筒の保護管9は、金属、アルミナ、石英
ガラス等、何でも対応できる。
The outer protective tube 9 can be made of any material such as metal, alumina and quartz glass.

【0037】(a)に、アルミナ保護管3と外筒の保護
管9との間が空気10である例を示し、(b)に充填物
で充填した例を示す。
(A) shows an example in which the space between the alumina protective tube 3 and the outer protective tube 9 is air 10, and (b) shows an example in which the space is filled with a filler.

【0038】充填物としては、アルミナ粉とか、酸化マ
グネシア等がある。
Examples of the filler include alumina powder and magnesia oxide.

【0039】この場合の本発明の大きな特徴は、高温域
において外筒の保護管9に金属管を使用できるという利
点があることである。
A major feature of the present invention in this case is that a metal tube can be used as the outer protective tube 9 in a high temperature range.

【0040】従来の高温用白金測温抵抗体は、素子の部
分の白金線が露出していたため、高純度石英ガラス管の
中に挿入させるものしか製作されなかった。金属管は6
00℃を超すあたりで金属蒸気が発生し、白金線を汚染
することが精度低下の最大の原因であった。
Conventional platinum high temperature measuring resistors for high temperature use only a device inserted into a high-purity quartz glass tube because the platinum wire of the element was exposed. 6 metal tubes
Metal vapor was generated at a temperature exceeding 00 ° C., and contamination of the platinum wire was the largest cause of the decrease in accuracy.

【0041】これに対し、本発明では、高温用白金測温
抵抗素子が一度アルミナの管のなかに挿入させる二重構
造のものであるため、金属蒸気が直接白金線を汚染する
ことがなくなり、より一層高温領域での精度を維持でき
る。したがって、一般工業用の高温用白金測温抵抗素子
として使用でき、場合によっては外筒の保護管の曲げ加
工にも対応可能である。
On the other hand, in the present invention, since the platinum high-temperature resistance element for high temperature has a double structure that is inserted once into the alumina tube, the metal vapor does not directly contaminate the platinum wire. Accuracy in a higher temperature range can be maintained. Therefore, it can be used as a high temperature platinum temperature measuring resistance element for general industry, and in some cases, it can be applied to bending of a protective tube of an outer cylinder.

【0042】[0042]

【発明の効果】本発明によれば、製品として組立て完了
したものを、次の工程でアニールして完成させたので、
充填されたアルミナ保護管の中の空気は充分に乾燥した
ものとなり、高温領域での絶縁抵抗の低下の恐れはなく
なり、JISで規定される温度範囲の上限を拡大した。
また、JISで規定される精度以上を保障できる高温用
白金測温抵抗素子が実現できた。
According to the present invention, a product that has been assembled and completed is annealed in the next step to complete the product.
The air in the filled alumina protective tube was sufficiently dried, and there was no danger of a decrease in insulation resistance in a high-temperature region, and the upper limit of the temperature range specified by JIS was expanded.
Further, a platinum high-temperature resistance measuring element for high temperature which can guarantee the accuracy higher than that specified by JIS was realized.

【0043】本発明によれば、高温用白金測温抵抗素子
は、長期間未使用状態にあって絶縁性が低下したもので
も、再度アニールすれば精度は元に回復する。
According to the present invention, even if the high-temperature platinum resistance temperature measuring element has been in an unused state for a long period of time and the insulation property has been reduced, the accuracy is restored to the original by annealing again.

【0044】本発明によれば、高温用白金測温抵抗素子
は、口出し線の封止部分の封止材の外部表面部に、線間
に溝を形成したものなので、その分絶縁抵抗値が高ま
り、精度が更に向上する。
According to the present invention, the high-temperature platinum resistance temperature measuring element has a groove formed between the wires on the outer surface of the sealing material at the sealing portion of the lead wire, so that the insulation resistance value is accordingly reduced. And the accuracy is further improved.

【0045】本発明によれば、高温用白金測温抵抗素子
は、アルミナ保護管を外筒の保護管の中に挿入する二重
構造のため、濃度の高い汚染物質や金属蒸気が直接白金
線を汚染する度合いは極端に小さいものとなり、抵抗値
の安定が更に保障される。
According to the present invention, the platinum temperature measuring resistance element for high temperature has a double structure in which the alumina protective tube is inserted into the protective tube of the outer tube, so that highly concentrated contaminants and metal vapor are directly passed through the platinum wire. Is extremely small, and the stability of the resistance value is further ensured.

【0046】本発明によれば、高温用白金測温抵抗素子
は、外筒の保護管に金属管を使用することができるもの
なので、曲げ加工にも対応できる。
According to the present invention, the platinum high-temperature resistance measuring element for high temperature can use a metal tube as the protective tube of the outer cylinder, so that it can cope with bending.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1における、B,B´線における断面図であ
る。
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line B and B ′ in FIG.

【図3】外筒の保護管を示す図である。FIG. 3 is a view showing a protective tube of an outer cylinder.

【図4】本発明の高温用白金測温抵抗素子の抵抗値変化
を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a change in resistance value of a platinum high temperature resistance element for high temperature of the present invention.

【図5】本発明の高温用白金測温抵抗素子の比抵抗変化
を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a change in specific resistance of a platinum high-temperature resistance measuring element for high temperature according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 高温用白金測温抵抗素子 2 耐熱性多孔管に白金線を入れた白金センサ 3 アルミナ保護管 4 乾燥空気 5 口出し線 6 高温用セメント 7 溝 8 封止材 9 外筒の保護管 10 空気 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 High temperature platinum resistance measuring element 2 Platinum sensor which put platinum wire in heat resistant porous tube 3 Alumina protective tube 4 Dry air 5 Lead wire 6 High temperature cement 7 Groove 8 Sealing material 9 Protective tube of outer cylinder 10 Air

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−259833(JP,A) 特開 昭62−105404(JP,A) 実開 平7−16129(JP,U) 実開 平6−30739(JP,U) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-4-259833 (JP, A) JP-A-62-105404 (JP, A) JP-A 7-16129 (JP, U) JP-A-6-129 30739 (JP, U)

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 耐熱性多孔管に白金線を入れた白金セン
サと、それを封入するアルミナ保護管と、封止材と、封
止材に接する他の部材との間を封じる高温用セメント
と、口出し線とを含んでなる高温用白金測温抵抗素子で
あって、前記素子全体を組立てた後に、抵抗値が安定す
るように高温度でアニールを行い、内部の空気を乾燥状
態とするようにしたことを特徴とする高温用白金測温抵
抗素子。
1. A platinum sensor having a platinum wire inserted in a heat-resistant porous tube, an alumina protective tube enclosing the platinum sensor, a sealing material, and a high-temperature cement for sealing between another member in contact with the sealing material. And a lead-out wire, and after assembling the entire element, annealing is performed at a high temperature so that the resistance value is stabilized, and the air inside is dried. A platinum temperature measuring resistance element for high temperature, characterized in that:
【請求項2】 温度が約1100℃でアニールを行うこ
とを特徴とする請求項1記載の高温用白金測温抵抗素
子。
2. The high temperature platinum resistance temperature measuring element according to claim 1, wherein the annealing is performed at a temperature of about 1100 ° C.
【請求項3】 封止材の口出し線側の表面部又は表層部
において、複数本の口出し線の中の、一方の口出し線と
他方の口出し線との間に溝を形成させたことを特徴とす
る請求項1又は2記載の高温用白金測温抵抗素子。
3. A groove is formed between one of the plurality of lead lines and the other lead line on the surface or surface layer on the lead line side of the sealing material. 3. The high-temperature platinum resistance temperature measuring element according to claim 1, wherein:
【請求項4】 アルミナ保護菅の外側に外筒の保護管を
設けたことを特徴とする請求項1,2又は3記載の高温
用白金測温抵抗素子。
4. The high-temperature platinum resistance temperature measuring element according to claim 1, wherein an outer protective tube is provided outside the alumina protective tube.
【請求項5】 外筒の保護管が高融点金属であることを
特徴とする請求項4記載の高温用白金測温抵抗素子。
5. The high temperature platinum resistance temperature measuring element according to claim 4, wherein the protective tube of the outer cylinder is made of a high melting point metal.
【請求項6】 アルミナ保護菅と外筒の保護管との間を
充填物で充填したことを特徴とする請求項4記載の高温
用白金測温抵抗素子。
6. The platinum high temperature resistance element according to claim 4, wherein a space between the alumina protective tube and the protective tube of the outer cylinder is filled with a filler.
【請求項7】 アルミナ保護菅と外筒の保護管との間に
空気を介在させたことを特徴とする請求項4記載の高温
用白金測温抵抗素子。
7. The high-temperature platinum resistance temperature measuring element according to claim 4, wherein air is interposed between the alumina protective tube and the protective tube of the outer cylinder.
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