JP2735448B2 - Idカード及びそれを用いた半導体製造システム - Google Patents
Idカード及びそれを用いた半導体製造システムInfo
- Publication number
- JP2735448B2 JP2735448B2 JP33429292A JP33429292A JP2735448B2 JP 2735448 B2 JP2735448 B2 JP 2735448B2 JP 33429292 A JP33429292 A JP 33429292A JP 33429292 A JP33429292 A JP 33429292A JP 2735448 B2 JP2735448 B2 JP 2735448B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- position code
- card
- information
- communication
- host computer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
報を保持してワークと共に搬送されるワーク識別用のI
Dカード、またこのIDカードを用いた半導体製造シス
テムに関するものである。
ステムの構成について図26及び図27を参照しながら
説明する。図26は、従来のIDカードを用いた半導体
製造システムを示す斜視図である。また、図27は、従
来のIDカードを用いた半導体製造システムを示すブロ
ック図である。
ドを示し、このIDカード1には、後述する通信変換ユ
ニットに対して光通信を行う非接触通信手段2と、この
非接触通信手段2によって授受された情報を記憶する記
憶手段3と、通信時にデータ処理を行う演算手段4と、
ワークの特有な情報(以下、「ID情報」という。)を
表示する液晶画面5から構成されている。また、6はワ
ークとしての半導体ウェハ(図示せず)を収納したカセ
ットで、このカセット6にIDカード1が取り付けられ
ている。
リガーとなる通信開始スイッチ8と、作業者に正常処理
であることを知らせる正常ランプ9と、エラーであるこ
とを知らせるエラーランプ10とを有し、IDカード1
の光非接触通信を有線通信に変換し、後述する上位計算
機と通信ケーブル11で接続された通信変換ユニットで
ある。
ユニット7と接続され、IDカード1の情報の読み取り
と書き込みを行うIDカード通信制御部13と、後述す
る半導体製造装置とワークとしての半導体ウェハの加工
データ等のデータの授受を行うデータウェイ14と、製
造ライン内の作業者に情報を表示したり、入力してもら
うための入出力装置15と、IDカード通信制御部1
3、データウェイ14及び入出力装置15を制御する主
制御部16とから構成され、製造ラインを統括・管理す
る上位計算機である。なお、この上位計算機12内に
は、ライン内の全てのIDカード1のID情報が保持さ
れている。
ット6に収納された半導体ウェハを上位計算機12から
データウェイ14を介して指示される加工条件で加工
し、再び投入・払い出し口のカセット6に収納する半導
体製造装置である。この半導体製造装置17は、カセッ
ト6に取り付けられているIDカード1と対向する位置
に通信変換ユニット7を備えている。なお、図27に
は、半導体製造装置17が2台図示されている。
造システムの動作について説明する。ある半導体ウェハ
からなるロットXにおいて、先ず、処理工程(A工程)
を担当する半導体製造装置17の投入・払い出し口にカ
セット6を載置させる。そして、カセット6に固定され
たIDカード1と対向する位置に設置された通信変換ユ
ニット7の通信開始スイッチ8をONにして、IDカー
ド1と上位計算機12との通信を行わせる。
う。処理前の通信では、上位計算機12の主制御部16
は、IDカード通信制御部13から通信ケーブル11を
介して通信変換ユニット7で、例えばRS−232C等
の有線通信から光通信等の非接触通信に変換して投入さ
れた半導体ウェハのロット情報読み取り信号をIDカー
ド1に送信する。
手段2から得られたロットのID情報読み取り信号を受
けて記憶手段3の所定のID情報を取り出し、ID情報
読み取り信号を受けた逆の手順で非接触通信手段2から
光通信で通信変換ユニット7に返信する。
に変換して通信ケーブル11を介して上位計算機12へ
ID情報を送り、上位計算機12の主制御部16はID
カード通信制御部13からID情報を受け取る。
報と上位計算機12内のロットXに関するID情報とを
照合し、ロットXのA工程処理を半導体製造装置17で
処理することが適当か否かを判断する。
は通信変換ユニット7の正常ランプ9を点灯させる。同
時に、半導体製造装置17用の加工条件を上位計算機1
2と半導体製造装置17が、図27に示すように、デー
タウェイ14で接続されている場合はデータウェイ14
を介して半導体製造装置17に加工指示する。
い場合は製造ライン内の所定の入出力装置15に加工条
件をライン内作業者に対して出力する。
は通信変換ユニット7のエラーランプ10を点灯させ、
ロットXに誤った処理が行われることを防止する。
位計算機12内のロットXに関するID情報に対して工
程Aが終了したことを書き込むと共に、通信変換ユニッ
ト7を介してIDカード1に工程が終了したことを書き
込む。すなわち、ロットXに関するIDカード1内の情
報と、上位計算機12内の情報とは常に等しくなる。工
程Aの終了を書き込まれたIDカード1は、液晶画面5
に工程Aの次工程名(工程B)を表示し、作業者はロッ
トXを前記液晶画面5に表示された工程Bへ搬送する。
いた半導体製造システムでは、以上のように構成されて
いるので、半導体製造装置17の投入・払い出し口毎に
IDカード1と、非接触通信するための通信変換ユニッ
ト7と、通信ケーブル11を設置しなければならず、製
造ライン内の何百台という半導体製造装置に設置するた
めには膨大な設置作業時間と費用が必要であるという問
題点があった。同時に、半導体製造装置17の投入・払
い出し口に設置する通信変換ユニット7は、必ずIDカ
ード1と対向した位置になければならず設置条件にかな
りの制約があるという問題点があった。
の半導体製造装置17の投入・払い出し口に載置されて
いるカセット6のIDカード1から通信されたか判断す
る必要があり、単にIDカード1と上位計算機12の通
信方式を通信ケーブル11を付設する必要がなく、広範
囲に通信出来る無線方式に変えただけでは半導体製造装
置17の投入・払い出し口が判別できないという問題点
があった。
めになされたもので、通信ケーブルの付設が不要な無線
通信方式で上位計算機と製造する製品に関する情報を授
受することができ、膨大な設置作業時間、費用等が不要
となるIDカード及びそれを用いた半導体製造システム
を得ることを目的とする。また、位置コード発信装置
は、短距離非接触通信が可能な範囲であれば任意の位置
に設置することができるIDカード及びそれを用いた半
導体製造システムを得ることを目的とする。
るIDカードは、ワークと共に搬送されるワーク識別用
のIDカードにおいて、次に掲げる手段を備えたもので
ある。 〔1〕 位置コード発信装置から送信されるあらかじめ
定められた位置コードを得る第1の通信手段。 〔2〕 製造する製品に関する情報を記憶する記憶手
段。 〔3〕 この記憶手段内の記憶情報に前記第1の通信手
段から得られる位置コードを付加して前記製造する製品
に関する情報の授受を製造ラインを統括・制御している
上位計算機と行う第2の通信手段。
いた半導体製造システムは、次に掲げる手段を備えたも
のである。 〔1〕 ワーク投入・払い出し口の近辺に付設され前記
ワーク投入・払い出し口対応にあらかじめ定められた位
置コードを発信する位置コード発信装置を有する半導体
製造装置。 〔2〕 位置コード発信装置から送信されるあらかじめ
定められた位置コードを得る第1の通信手段、製造する
製品に関する情報を記憶する記憶手段、及び前記記憶手
段内の記憶情報に前記第1の通信手段から得られる位置
コードを付加して前記製造する製品に関する情報の授受
を製造ラインを統括・制御している上位計算機と行う第
2の通信手段を有するIDカード。 〔3〕 前記IDカードと通信する通信手段、前記製造
手段のワーク投入・払い出し口と前記位置コード発信装
置が発信する位置コードの対応表、及び前記位置コード
発信装置から発信される位置コードを付加して製造する
製品に関する情報の授受を前記IDカードと行う主制御
手段を有する上位計算機。
いた半導体製造システムは、次に掲げる手段を備え、作
業者が通信開始用トリガスイッチをONさせることによ
って製造する製品に関する情報授受のための通信をID
カードと上位計算機との間で開始するものである。 〔1〕 ワーク投入・払い出し口の近辺に付設され前記
ワーク投入・払い出し口対応にあらかじめ定められた位
置コードを発信する位置コード発信装置を有する半導体
製造装置。 〔2〕 位置コード発信装置から送信されるあらかじめ
定められた位置コードを得る第1の通信手段、製造する
製品に関する情報を記憶する記憶手段、前記記憶手段内
の記憶情報に前記第1の通信手段から得られる位置コー
ドを付加して前記製造する製品に関する情報の授受を製
造ラインを統括・制御している上位計算機と行う第2の
通信手段、及び通信開始用トリガスイッチを有するID
カード。 〔3〕 前記IDカードと通信する通信手段、前記製造
手段のワーク投入・払い出し口と前記位置コード発信装
置が発信する位置コードの対応表、及び前記位置コード
発信装置から発信される位置コードを付加して製造する
製品に関する情報の授受を前記IDカードと行う主制御
手段を有する上位計算機。
いた半導体製造システムは、次に掲げる手段を備え、作
業者が通信開始用トリガスイッチをONさせることによ
って製造する製品に関する情報授受のための通信をID
カードと上位計算機との間で開始するものである。 〔1〕 ワーク投入・払い出し口の近辺に付設され前記
ワーク投入・払い出し口対応にあらかじめ定められた位
置コードを発信し、かつ通信開始用トリガスイッチを持
つ位置コード発信装置を有する半導体製造装置。 〔2〕 位置コード発信装置から送信されるあらかじめ
定められた位置コードを得る第1の通信手段、製造する
製品に関する情報を記憶する記憶手段、及び前記記憶手
段内の記憶情報に前記第1の通信手段から得られる位置
コードを付加して前記製造する製品に関する情報の授受
を製造ラインを統括・制御している上位計算機と行う第
2の通信手段を有するIDカード。 〔3〕 前記IDカードと通信する通信手段、前記製造
手段のワーク投入・払い出し口と前記位置コード発信装
置が発信する位置コードの対応表、及び前記位置コード
発信装置から発信される位置コードを付加して製造する
製品に関する情報の授受を前記IDカードと行う主制御
手段を有する上位計算機。
造する製品に関する情報の読み出し、書き込みにおい
て、製造手段の投入・払い出し口を識別するためにあら
かじめ定められた位置コードを付加して長距離の通信が
可能な第2の通信手段を用いて行う。第2の通信手段か
ら受信した位置コードと、製造手段の投入・払い出し口
毎に設置された位置コード発信装置から第1の通信手段
を介して得られる位置コードを比較することにより自分
宛の読み出し、書き込み信号かをチェックすることによ
り動作するようにしたので、通信ケーブルの付設が不要
な無線通信方式で上位計算機と製造する製品に関する情
報の授受ができる。
1、図2及び図3を参照しながら説明する。図1は、こ
の発明の実施例1を示す斜視図である。また、図2は、
この発明の実施例1のIDカードを示すブロック図であ
る。さらに、図3は、この発明の実施例1を示すブロッ
ク図である。
来例で説明したものと同一もしくは同等部材について
は、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
るIDカードを示し、このIDカード1Aは、後述する
上位計算機に対して通信有効範囲が数cm〜数十mと比較
的長距離の非接触通信を行うカード側長距離非接触通信
手段19と、このカード側長距離非接触通信手段19に
よって授受された情報を記憶する記憶手段3と、後述す
る位置コード発信装置に対して通信有効範囲が数mm〜数
十cmと比較的短距離の非接触通信を行うカード側短距離
非接触通信手段20と、ワークのID情報等を表示する
液晶画面5と、カード側長距離非接触通信手段19、記
憶手段3、カード側短距離非接触通信手段20、液晶画
面5を制御するIDカード制御手段21から構成されて
いる。
出し口ごとに設置され、投入・払い出し口を識別するた
めにあらかじめ定められた位置コードを記憶する位置コ
ード記憶手段23と、IDカード1Aのカード側短距離
非接触通信手段20に対して位置コード記憶手段23に
記憶している位置コードを送信する位置コード発信装置
側短距離非接触通信手段24からなる位置コード発信装
置である。
算機長距離非接触通信部26と、位置コード発信装置2
2が発信する位置コードと半導体製造装置17Aの投入
・払い出し口の対応表である投入・払い出し口対応表2
7と、データウェイ14と、入出力装置15と、主制御
部16とから構成され、製造ラインを統括・管理する上
位計算機である。
図4から図9までを参照しながら説明する。
て、先ず、処理工程(A工程)を担当する半導体製造装
置17Aの投入・払い出し口にカセット6を載置させ
る。ロットXが投入されると上位計算機12AはIDカ
ード1A内に記憶されているID情報の読み出しを行
う。
ャートを用いて説明する。図4、図5及び図6は、この
発明の実施例1の上位計算機12A、IDカード1A及
び位置コード発信装置22の処理を示すフローチャート
である。
・払い出し口対応表27から半導体製造装置17Aの投
入・払い出し口に対応する位置コードを検索し、半導体
製造装置17Aの投入・払い出し口の位置コードは「L
1」であることを得る(ステップ100)。
ードL1とID情報読み出し信号を上位計算機長距離非
接触通信部26から製造ライン全てのIDカード1Aに
対してマイクロ波または電磁誘導等の長距離非接触通信
方式を用いて送信する(ステップ101)。
通信手段19で位置コードL1が付加されたID情報読
み出し信号を受信すると、カード側短距離非接触通信手
段20から位置コード発信装置22に対して電磁結合等
の短距離非接触通信方式を用いて位置コードを要求する
(ステップ107、ステップ108)。また、他のID
カード1Aも同様に位置コードを要求する(ステップ1
07、ステップ108)。
信装置側短距離非接触通信手段24は、位置コードの発
信要求を受け取ると位置コード記憶手段23が記憶して
いる位置コードL1を位置コード発信装置側短距離非接
触通信手段24からIDカード1Aに返信する(ステッ
プ117,ステップ118)。
2内の位置コード発信装置側短距離非接触通信手段24
も、位置コードの発信要求を受け取ると位置コード記憶
手段23で記憶している位置コードL2を位置コード発
信装置側短距離非接触通信手段24から他のIDカード
1Aに返信する(ステップ117,ステップ118)。
なお、IDカード1A同士の位置コード発信要求信号は
電磁結合等の短距離非接触通信なのでお互いに干渉しな
い信号である。
返信された位置コードL1と上位計算機12Aから送信
されてきた位置コードL1とを比較し、比較結果が同じ
なので自分宛のID情報の読み出し信号と解釈し、自身
が記憶しているID情報を記憶手段3から取り出し、カ
ード側長距離非接触通信手段19を介して上位計算機1
2Aに送信する(ステップ109,ステップ110,ス
テップ111)。
は、返信された位置コードL2と上位計算機12Aから
送信されてきた位置コードL1とを比較し、比較結果が
異なるため自分宛のID情報の読み出し信号ではないと
判断して上位計算機12Aには何も送信せずに処理を終
わる(ステップ109,ステップ110,ステップ11
6)。
体製造装置17Aの投入・払い出し口に投入されたカセ
ット6内のロットXのID情報のみを読み出すことがで
きる。
れたロットXのID情報と上位計算機12A内のロット
Xに関するID情報とを照合し、ロットXのA工程処理
を半導体製造装置17Aで処理することが適当か否かを
判断する(ステップ102,ステップ103)。
Aは、上位計算機長距離非接触通信部26を介してID
カード1AにロットXのID情報を付加して処理が正常
であることを表示する信号を送る(ステップ104)。
件を上位計算機12Aと半導体製造装置17Aがデータ
ウェイ14で接続されている場合は、データウェイ14
を介して半導体製造装置17Aに加工指示する。
は、製造ライン内の所定の入出力装置15に加工条件を
ライン内作業者に対して出力する(ステップ105)。
情報と一致するので自分宛の信号と判断し処理が正常で
あることを液晶画面5に表示する(ステップ112,ス
テップ113,ステップ114)。
Aは、上位計算機長距離非接触通信部26を介してID
カード1AにロットXのID情報を付加して処理が異常
であることを表示する信号を送る(ステップ106)。
情報と一致するので自分宛の信号と判断し、処理が異常
であることを液晶画面5に表示し、ロットXに誤った処
理が行われることを防止する(ステップ112,ステッ
プ113,ステップ115)。
ト6内の全半導体ウェハの加工が終了すると、上位計算
機12Aは、半導体製造装置17Aとデータウェイ14
で接続されている場合はデータウェイ14を介して、デ
ータウェイ14で接続されていない場合は製造ライン内
の所定の入出力装置15からライン内作業者の入力によ
って加工終了報告を受ける。
は、上位計算機12Aは上位計算機12A内のロットX
に関するID情報に対して工程Aが終了したことを書き
込むと共に、半導体製造装置17Aの投入・払い出し口
に位置するカセット6に取り付けられたIDカード1A
に書き込み、ID情報を更新する。
ャートを用いて説明する。図7、図8及び図9は、この
発明の実施例1の上位計算機12A、IDカード1A及
び位置コード発信装置22の処理を示すフローチャート
である。
情報の読み出し手順と同様に投入・払い出し口対応表2
7から半導体製造装置17Aの投入・払い出し口に対応
する位置コードL1を検索する(ステップ150)。
と加工完了したロットXのID情報に処理終了したこと
を書き込む信号(以下、「ID情報更新信号」とい
う。)を上位計算機長距離非接触通信部26から製造ラ
イン全てのIDカード1Aに対して送信する(ステップ
151)。
は、カード側長距離非接触通信手段19で位置コードL
1が付加されたID情報更新信号を受信するとID情報
を記憶手段3から取り出し、自身が記憶しているID情
報と上位計算機12Aから送信されてきたID情報のロ
ット情報がXで同じであるか比較する(ステップ15
2,ステップ153)。
でIDカード制御手段21はさらに上位計算機12Aか
ら送信されてきた位置コードが同じであるか比較する。
このため、IDカード制御手段21は、カード側短距離
非接触通信手段20から位置コード発信装置22に対し
て位置コードを要求する(ステップ154,ステップ1
55)。
み出しと同様の手順で位置コードL1をIDカード制御
手段21に返信する(ステップ160,ステップ16
1)。
2Aから送信されてきた位置コードL1と返信されてき
た位置コードL1が同一か判断し(ステップ155,ス
テップ156)、同一である場合は自分宛のID情報更
新信号と解釈し、記憶手段3に記憶しているID情報に
上位計算機12Aから送信されてきたID情報を書き込
み、IDカード1AのID情報を更新する(ステップ1
57)。そして、工程Aの終了を書き込まれたIDカー
ド1Aは、液晶画面5に工程Aの次工程名(工程B)を
表示する(ステップ158)。作業者は、ロットXを液
晶画面5に表示された工程Bへ搬送する。
制御手段21も、カード側長距離非接触通信手段19で
位置コードL1が付加されたID情報更新信号を受信す
るが、ID情報を記憶手段3から取り出し、自身が記憶
しているID情報と上位計算機12Aから送信されてき
たID情報が異なるのでID情報更新信号を無視する
(ステップ152,ステップ153,ステップ15
9)。
装置17Aの投入・払い出し口に位置するロットXのみ
のID情報を書き換え、更新することができる。
置していても良いようなID情報を更新するような場合
は、上位計算機12Aは位置コードを付加しないID情
報更新信号を送信すれば、ロットXのIDカード1Aは
自身のID情報内のロット情報のみを比較して、ロット
情報が合致していれば記憶手段3に記憶しているID情
報に上位計算機12Aから送信されてきたID情報を書
き込み、IDカード1AのID情報を更新することがで
きる。
成について図10及び図11を参照しながら説明する。
図10は、この発明の実施例2を示す斜視図である。ま
た、図11は、この発明の実施例2を示すブロック図で
ある。
及び図3で説明したものと同一もしくは同等部材につい
ては、同一符号を付し詳細な説明は省略する。1Bは実
施例2に係るIDカードを示し、このIDカード1B
は、カード側通信開始用トリガスイッチ28を備えてい
る。
図12から図17までを参照しながら説明する。
るロットXにおいて、先ず、処理工程(A工程)を担当
する半導体製造装置17Aの投入・払い出し口にカセッ
ト6を載置させる。実施例1ではID情報の読み出しを
上位計算機12Aからのトリガーで行っていたが本実施
例2ではIDカード1Bのカード側通信開始用トリガス
イッチ28を作業者がONすることにより行う。
ローチャートを用いて説明する。図12、図13及び図
14は、それぞれ上位計算機12A、IDカード1B及
び位置コード発信装置22の処理を示すフローチャート
である。
リガスイッチ28をONされると位置コード発信装置2
2に対して位置コードを要求する(ステップ207,ス
テップ208)。
様に位置コードを返信する(ステップ216,ステップ
217)。
2から返信された位置コードと記憶手段3に記憶してい
るID情報を上位計算機12Aへ送信する(ステップ2
09,ステップ210)。
位置コード付きID情報を受信すると、投入・払い出し
口対応表27から受信した位置コードに対応する半導体
製造装置を検索する(ステップ200,ステップ20
1)。
導体製造装置17Aにステップ200で受信したID情
報からロットXが投入されたと判断する(ステップ20
2)。
のID情報を照合し、ロットXのA工程処理を半導体製
造装置17Aで処理することが適当か否かを判断する
(ステップ203)。そして、ステップ203以降の処
理は実施例1と同様である。
はIDカード1Bのカード側通信開始用トリガスイッチ
28を作業者がONすることにより行う。
7のフローチャートを用いて説明する。図15、図16
及び図17は、それぞれ上位計算機12A、IDカード
1B及び位置コード発信装置22の処理を示すフローチ
ャートである。
リガスイッチ28をONされると位置コード発信装置2
2に対して位置コードを要求する(ステップ254,ス
テップ255)。
様に位置コードを返信する(ステップ262,ステップ
263)。
2から返信された位置コードと記憶手段3に記憶してい
るID情報を上位計算機12Aへ送信する(ステップ2
56,ステップ257)。
位置コード付きID情報を受信すると、投入・払い出し
口対応表27から受信した位置コードに対応する半導体
製造装置を検索する(ステップ250,ステップ25
1)。
導体製造装置17Aにステップ250で受信したID情
報と上位計算機12A内ID情報を照合しロットXが処
理終了したと判断する(ステップ252)。
のロットXに関するID情報に対して工程Aが終了した
ことを書き込むと共に、半導体製造装置17Aの投入・
払い出し口に位置するカセット6に取り付けられたID
カード1BにID情報更新信号を送信する(ステップ2
53)。
は、カード側長距離非接触通信手段19で位置コードL
1が付加されたID情報更新信号を受信するとID情報
を記憶手段3から取り出し、自身が記憶しているID情
報と上位計算機12Aから送信されてきたID情報のロ
ット情報がXで同じであるか比較する(ステップ25
8,ステップ259)。
で、IDカード制御手段21は、記憶手段3に記憶して
いるID情報に上位計算機12Aから送信されてきたI
D情報を書き込み、IDカード1BのID情報を更新す
る(ステップ260)。
Bは、液晶画面5に工程Aの次工程名(工程B)を表示
する(ステップ261)。作業者は、ロットXを液晶画
面5に表示された工程Bへ搬送する。
成について図18及び図19を参照しながら説明する。
図18は、この発明の実施例3を示す斜視図である。ま
た、図19は、この発明の実施例3を示すブロック図で
ある。
及び図3で説明したものと同一もしくは同等部材につい
ては、同一符号を付し詳細な説明は省略する。22Aは
実施例3に係る位置コード発信装置を示し、この位置コ
ード発信装置22Aは、位置コード発信装置側通信開始
用トリガスイッチ29を備えている。
図20から図25までを参照しながら説明する。
なるロットXにおいて、先ず、処理工程(A工程)を担
当する半導体製造装置17Aの投入・払い出し口にカセ
ット6を載置させる。
ード1Bの通信開始用トリガスイッチ28を作業者がO
Nすることにより行っていたが本実施例3では位置コー
ド発信装置22Aの位置コード発信装置側通信開始用ト
リガスイッチ29を作業者がONすることにより行う。
ローチャートを用いて説明する。図20、図21及び図
22は、それぞれ上位計算機12A、IDカード1A及
び位置コード発信装置22Aの処理を示すフローチャー
トである。
発信装置側通信開始用トリガスイッチ29をONされる
とIDカード1Aに対してあらかじめ設定されている位
置コードL1を送信する(ステップ313,ステップ3
14)。
2Aから送信されてきた位置コードと記憶手段3に記憶
しているID情報を上位計算機12Aへ送信する(ステ
ップ307,ステップ308)。
位置コード付きID情報を受信すると、投入・払い出し
口対応表27から受信した位置コードに対応する半導体
製造装置を検索する(ステップ300,ステップ30
1)。そして、ステップ300以降の処理は実施例2と
同様である。
は位置コード発信装置22Aの位置コード発信装置側通
信開始用トリガスイッチ29を作業者がONすることに
より行う。
5のフローチャートを用いて説明する。図23、図24
及び図25は、それぞれこの発明の実施例3の上位計算
機12A、IDカード1A及び位置コード発信装置22
Aの処理を示すフローチャートである。
発信装置側通信開始用トリガスイッチ29をONされる
とIDカード1Aに対してあらかじめ設定されている位
置コードL1を送信する(ステップ360,ステップ3
61)。
2Aから送信されてきた位置コードと記憶手段3に記憶
しているID情報を上位計算機12Aへ送信する(ステ
ップ354,ステップ355)。
位置コード付きID情報を受信すると、投入・払い出し
口対応表27から受信した位置コードに対応する半導体
製造装置を検索する(ステップ350,ステップ35
1)。そして、ステップ350以降の処理は実施例1と
同様である。
1Bは、上位計算機12Aとの製造する製品に関する情
報の読み出し、書き込みにおいて、半導体製造装置17
Aの投入・払い出し口を識別するためにあらかじめ定め
られた位置コードを付加して長距離の通信が可能な長距
離非接触通信手段19を用いて行う。
した位置コードと半導体製造装置17Aの投入・払い出
し口毎に設置された位置コード発信装置22、22Aか
ら短距離非接触通信手段20を介して得られる位置コー
ドを比較することにより自分宛の読み出し、書き込み信
号かをチェックすることにより動作するようにしたの
で、通信ケーブルの付設が不要な無線通信方式で上位計
算機12Aと製造する製品に関する情報の授受ができ
る。このため、製造ライン内の何百台という半導体製造
装置17Aに通信ケーブルを付設する膨大な設置作業時
間と費用が不要となる。
とIDカード1A、1Bは対向して設置する必要がない
ので半導体製造装置17Aの投入・払い出し口に設置す
る位置コード発信装置22、22Aは短距離非接触通信
が可能な範囲であれば任意の位置に設置できる。
は、以上説明したとおり、ワークと共に搬送されるワー
ク識別用のIDカードにおいて、位置コード発信装置か
ら送信されるあらかじめ定められた位置コードを得る第
1の通信手段と、製造する製品に関する情報を記憶する
記憶手段と、この記憶手段内の記憶情報に前記第1の通
信手段から得られる位置コードを付加して前記製造する
製品に関する情報の授受を製造ラインを統括・制御して
いる上位計算機と行う第2の通信手段とを備えたので、
通信ケーブルの付設が不要な無線通信方式で上位計算機
と製造する製品に関する情報を授受することができ、膨
大な設置作業時間、費用等が不要となるという効果を奏
する。
いた半導体製造システムは、以上説明したとおり、ワー
ク投入・払い出し口の近辺に付設され前記ワーク投入・
払い出し口対応にあらかじめ定められた位置コードを発
信する位置コード発信装置を有する半導体製造装置と、
位置コード発信装置から送信されるあらかじめ定められ
た位置コードを得る第1の通信手段、製造する製品に関
する情報を記憶する記憶手段、及び前記記憶手段内の記
憶情報に前記第1の通信手段から得られる位置コードを
付加して前記製造する製品に関する情報の授受を製造ラ
インを統括・制御している上位計算機と行う第2の通信
手段を有するIDカードと、前記IDカードと通信する
通信手段、前記製造手段のワーク投入・払い出し口と前
記位置コード発信装置が発信する位置コードの対応表、
及び前記位置コード発信装置から発信される位置コード
を付加して製造する製品に関する情報の授受を前記ID
カードと行う主制御手段を有する上位計算機とを備えた
ので、通信ケーブルの付設が不要な無線通信方式で上位
計算機と製造する製品に関する情報を授受することがで
き、膨大な設置作業時間、費用等が不要となる。また、
位置コード発信装置は、短距離非接触通信が可能な範囲
であれば任意の位置に設置することができるという効果
を奏する。
いた半導体製造システムは、以上説明したとおり、ワー
ク投入・払い出し口の近辺に付設され前記ワーク投入・
払い出し口対応にあらかじめ定められた位置コードを発
信する位置コード発信装置を有する半導体製造装置と、
位置コード発信装置から送信されるあらかじめ定められ
た位置コードを得る第1の通信手段、製造する製品に関
する情報を記憶する記憶手段、前記記憶手段内の記憶情
報に前記第1の通信手段から得られる位置コードを付加
して前記製造する製品に関する情報の授受を製造ライン
を統括・制御している上位計算機と行う第2の通信手
段、及び通信開始用トリガスイッチを有するIDカード
と、前記IDカードと通信する通信手段、前記製造手段
のワーク投入・払い出し口と前記位置コード発信装置が
発信する位置コードの対応表、及び前記位置コード発信
装置から発信される位置コードを付加して製造する製品
に関する情報の授受を前記IDカードと行う主制御手段
を有する上位計算機とを備え、作業者が前記通信開始用
トリガスイッチをONさせることによって製造する製品
に関する情報授受のための通信を前記IDカードと前記
上位計算機との間で開始するので、通信ケーブルの付設
が不要な無線通信方式で上位計算機と製造する製品に関
する情報を授受することができ、膨大な設置作業時間、
費用等が不要となる。また、位置コード発信装置は、短
距離非接触通信が可能な範囲であれば任意の位置に設置
することができるという効果を奏する。
いた半導体製造システムは、以上説明したとおり、ワー
ク投入・払い出し口の近辺に付設され前記ワーク投入・
払い出し口対応にあらかじめ定められた位置コードを発
信し、かつ通信開始用トリガスイッチを持つ位置コード
発信装置を有する半導体製造装置と、位置コード発信装
置から送信されるあらかじめ定められた位置コードを得
る第1の通信手段、製造する製品に関する情報を記憶す
る記憶手段、及び前記記憶手段内の記憶情報に前記第1
の通信手段から得られる位置コードを付加して前記製造
する製品に関する情報の授受を製造ラインを統括・制御
している上位計算機と行う第2の通信手段を有するID
カードと、前記IDカードと通信する通信手段、前記製
造手段のワーク投入・払い出し口と前記位置コード発信
装置が発信する位置コードの対応表、及び前記位置コー
ド発信装置から発信される位置コードを付加して製造す
る製品に関する情報の授受を前記IDカードと行う主制
御手段を有する上位計算機とを備え、作業者が前記通信
開始用トリガスイッチをONさせることによって製造す
る製品に関する情報授受のための通信を前記IDカード
と前記上位計算機との間で開始するので、通信ケーブル
の付設が不要な無線通信方式で上位計算機と製造する製
品に関する情報を授受することができ、膨大な設置作業
時間、費用等が不要となる。また、位置コード発信装置
は、短距離非接触通信が可能な範囲であれば任意の位置
に設置することができるという効果を奏する。
ク図である。
フローチャートである。
フローチャートである。
理を示すフローチャートである。
フローチャートである。
フローチャートである。
理を示すフローチャートである。
る。
すフローチャートである。
すフローチャートである。
処理を示すフローチャートである。
すフローチャートである。
すフローチャートである。
処理を示すフローチャートである。
る。
すフローチャートである。
すフローチャートである。
処理を示すフローチャートである。
すフローチャートである。
すフローチャートである。
処理を示すフローチャートである。
ムを示す斜視図である。
ムを示すブロック図である。
チ
Claims (4)
- 【請求項1】 ワークと共に搬送されるワーク識別用の
IDカードにおいて、位置コード発信装置から送信され
るあらかじめ定められた位置コードを得る第1の通信手
段と、製造する製品に関する情報を記憶する記憶手段
と、この記憶手段内の記憶情報に前記第1の通信手段か
ら得られる位置コードを付加して前記製造する製品に関
する情報の授受を製造ラインを統括・制御している上位
計算機と行う第2の通信手段とを備えたことを特徴とす
るIDカード。 - 【請求項2】 ワーク投入・払い出し口の近辺に付設さ
れ前記ワーク投入・払い出し口対応にあらかじめ定めら
れた位置コードを発信する位置コード発信装置を有する
半導体製造装置と、 位置コード発信装置から送信されるあらかじめ定められ
た位置コードを得る第1の通信手段、製造する製品に関
する情報を記憶する記憶手段、及び前記記憶手段内の記
憶情報に前記第1の通信手段から得られる位置コードを
付加して前記製造する製品に関する情報の授受を製造ラ
インを統括・制御している上位計算機と行う第2の通信
手段を有するIDカードと、 前記IDカードと通信する通信手段、前記製造手段のワ
ーク投入・払い出し口と前記位置コード発信装置が発信
する位置コードの対応表、及び前記位置コード発信装置
から発信される位置コードを付加して製造する製品に関
する情報の授受を前記IDカードと行う主制御手段を有
する上位計算機とを備えたことを特徴とするIDカード
を用いた半導体製造システム。 - 【請求項3】 ワーク投入・払い出し口の近辺に付設さ
れ前記ワーク投入・払い出し口対応にあらかじめ定めら
れた位置コードを発信する位置コード発信装置を有する
半導体製造装置と、 位置コード発信装置から送信されるあらかじめ定められ
た位置コードを得る第1の通信手段、製造する製品に関
する情報を記憶する記憶手段、前記記憶手段内の記憶情
報に前記第1の通信手段から得られる位置コードを付加
して前記製造する製品に関する情報の授受を製造ライン
を統括・制御している上位計算機と行う第2の通信手
段、及び通信開始用トリガスイッチを有するIDカード
と、 前記IDカードと通信する通信手段、前記製造手段のワ
ーク投入・払い出し口と前記位置コード発信装置が発信
する位置コードの対応表、及び前記位置コード発信装置
から発信される位置コードを付加して製造する製品に関
する情報の授受を前記IDカードと行う主制御手段を有
する上位計算機とを備え、 作業者が前記通信開始用トリガスイッチをONさせるこ
とによって製造する製品に関する情報授受のための通信
を前記IDカードと前記上位計算機との間で開始するこ
とを特徴とするIDカードを用いた半導体製造システ
ム。 - 【請求項4】 ワーク投入・払い出し口の近辺に付設さ
れ前記ワーク投入・払い出し口対応にあらかじめ定めら
れた位置コードを発信し、かつ通信開始用トリガスイッ
チを持つ位置コード発信装置を有する半導体製造装置
と、 位置コード発信装置から送信されるあらかじめ定められ
た位置コードを得る第1の通信手段、製造する製品に関
する情報を記憶する記憶手段、及び前記記憶手段内の記
憶情報に前記第1の通信手段から得られる位置コードを
付加して前記製造する製品に関する情報の授受を製造ラ
インを統括・制御している上位計算機と行う第2の通信
手段を有するIDカードと、 前記IDカードと通信する通信手段、前記製造手段のワ
ーク投入・払い出し口と前記位置コード発信装置が発信
する位置コードの対応表、及び前記位置コード発信装置
から発信される位置コードを付加して製造する製品に関
する情報の授受を前記IDカードと行う主制御手段を有
する上位計算機とを備え、 作業者が前記通信開始用トリガスイッチをONさせるこ
とによって製造する製品に関する情報授受のための通信
を前記IDカードと前記上位計算機との間で開始するこ
とを特徴とするIDカードを用いた半導体製造システ
ム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33429292A JP2735448B2 (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | Idカード及びそれを用いた半導体製造システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33429292A JP2735448B2 (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | Idカード及びそれを用いた半導体製造システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06181151A JPH06181151A (ja) | 1994-06-28 |
JP2735448B2 true JP2735448B2 (ja) | 1998-04-02 |
Family
ID=18275712
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33429292A Expired - Fee Related JP2735448B2 (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | Idカード及びそれを用いた半導体製造システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2735448B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6934407B2 (ja) * | 2017-11-27 | 2021-09-15 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
-
1992
- 1992-12-15 JP JP33429292A patent/JP2735448B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06181151A (ja) | 1994-06-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6330482B1 (en) | Communications, information, maintenance diagnostic and training system | |
US5309351A (en) | Communications, information, maintenance diagnostic and training system | |
KR101527686B1 (ko) | 자동 반송 시스템용 데이터 전송 시스템 | |
US6473664B1 (en) | Manufacturing process automation system using a file server and its control method | |
EP0772180A2 (en) | Video display apparatus | |
US9202439B2 (en) | Display information collecting device and HMI system | |
US9019290B2 (en) | Information processing apparatus, information processing system, information processing method and program | |
JP2735448B2 (ja) | Idカード及びそれを用いた半導体製造システム | |
US6092001A (en) | Control method and apparatus of line and line system | |
JP2000103505A (ja) | パレット管理システム | |
US7409257B2 (en) | System and method for moving substrates in and out of a manufacturing process | |
JPS60117386A (ja) | 情報伝達カ−ド | |
JPS637256A (ja) | 作業指示方式 | |
JPH0572329A (ja) | 個体識別装置 | |
JP2544412B2 (ja) | デ―タ端末装置 | |
JPS62224532A (ja) | 製造ラインのピツキング作業指示装置 | |
JP2746324B2 (ja) | 物流設備 | |
JP2610897B2 (ja) | 物品認識装置 | |
JPH04216105A (ja) | プログラマブルコントローラ | |
CN112787991A (zh) | 通信装置、通信控制***及通信控制方法 | |
JPH0267662A (ja) | 世代管理装置 | |
JPH0430283A (ja) | 識別システム及び物品識別方法 | |
JP2002189599A (ja) | 遠隔保守システム | |
JPH07160722A (ja) | 施設管理検索システム | |
JPS61165173A (ja) | システム間の状態情報管理方式 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080109 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090109 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090109 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100109 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109 Year of fee payment: 13 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 13 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 13 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120109 Year of fee payment: 14 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |