JP2732021B2 - 電子部品用接着テープおよび液状接着剤 - Google Patents

電子部品用接着テープおよび液状接着剤

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置を構成する
リードフレーム周辺の部材間、例えば、リードピン、半
導体チップ搭載用基板、放熱板、半導体チップ自身等の
接着に使用するための電子部品用接着テープおよび液状
接着剤に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、樹脂封止型半導体装置内において
使用される接着テープ等には、リードフレーム固定用接
着テープ、TABテープなどがあり、例えば、リードフ
レーム固定用接着テープの場合には、リードフレームの
リードピンを固定し、リードフレーム自体および半導体
アセンブリ工程全体の生産歩留まりおよび生産性の向上
を目的として使用されており、一般にリードフレームメ
ーカーでリードフレーム上にテーピングされ、半導体メ
ーカーに持ち込まれ、IC搭載後、樹脂封止される。そ
のためリードフレーム固定用接着テープには、半導体レ
ベルでの一般的な信頼性およびテーピング時の作業性等
は勿論のこと、テーピング直後の十分な室温接着力、半
導体装置組立て工程での加熱に耐える十分な耐熱性など
が要求される。従来、この様な用途に使用される接着テ
ープとしては、例えば、ポリイミドフィルムなどの支持
体フィルム上に、ポリアクリロニトリル、ポリアクリル
酸エステル或いはアクリロニトリル−ブタジエン共重合
体等の合成ゴム系樹脂等を単独、または他の樹脂で変性
したもの、或いは他の樹脂と混合した接着剤を塗布し、
Bステージ状態としたものが使用されている。
【0003】近年、図1〜図3に示されるような構造の
樹脂封止型半導体装置(半導体パッケージ)が開発また
は製造されている。図1においては、リードピン3とプ
レーン2とが、接着層6によって接続され、半導体チッ
プ1がプレーン2上に搭載されており、半導体チップ1
とリードピン3との間のボンディングワイヤー4と共
に、樹脂5によって封止された構造を有している。図2
においては、リードフレームのリードピン3が半導体チ
ップ1と接着層6によって固定されており、ボンディン
グワイヤー4と共に、樹脂5によって封止された構造を
有している。また、図3においては、ダイパッド7の上
に半導体チップ1が搭載され、また、電極8が接着層6
によって固定されており、そして、半導体チップ1と電
極8との間および電極8とリードピン3との間が、それ
ぞれボンディングワイヤー4によって連結され、それら
が樹脂5によって封止された構造を有している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】これら図1〜図3に示
される構造の樹脂封止型半導体装置における接着層にお
いて、従来の接着剤を塗布した接着テープを使用した場
合には、耐熱性等が充分でないなどの問題があった。ま
た、ポリイミド樹脂等を適用した場合には、そのテーピ
ング温度や圧力、ポリイミド樹脂の硬化条件等が厳し
く、リードフレーム等の金属材料を損傷する恐れがあっ
た。したがって、比較的低温で接着、硬化でき、十分な
耐熱性および信頼性等を有する接着剤の開発が望まれて
いる。したがって、本発明の目的は、比較的低温で接
着、硬化ができ、十分な耐熱性、信頼性等を有する電子
部品用接着剤およびそれを用いた電子部品用接着テープ
を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の第1の電子部品
用接着テープは、耐熱性フィルムの少なくとも一面に、
(a)重量平均分子量1,000〜50,000で、ア
クリロニトリル含有率5〜50重量%の下記一般式
(I)で示される両末端にピペラジニルエチルアミノカ
ルボニル基を有するブタジエン−アクリロニトリル共重
合体と、
【化5】 (式中、m=50〜95、n=5〜50)(b)下記式
(II−1)ないし式(II−6)で示される化合物から選
択された2個以上のマレイミド基を含有する化合物とを
含有し、
【0006】
【化6】
【化7】 成分(a)100重量部に対して、成分(b)が10〜
900重量部である接着層を積層してなることを特徴と
する。
【0007】本発明の第2の電子部品用接着テープは、
耐熱性フィルムの少なくとも一面に、上記成分(a)の
ピペラジニルエチルアミノカルボニル基含有ブタジエン
−アクリロニトリル共重合体、成分(b)の2個以上の
マレイミド基を含有する化合物、および(c)一般式
(III )で示されるジアミン化合物 H2 N−R1 −NH2 (III ) (式中、R1 は二価の脂肪族基、芳香族基または脂環式
基を表わす。)または重量平均分子量200〜7,00
0の一般式(IV)で示されるアミノ基含有ポリシロキサ
ン化合物を含有し、
【化8】 (式中、R2 は二価の脂肪族基、芳香族基または脂環式
基を表わし、sは0ないし7の整数を意味する。)成分
(a)100重量部に対して、成分(b)と成分(c)
の総和が10〜900重量部であり、成分(c)のアミ
ノ基1モル当量に対する成分(b)のマレイミド基が1
〜100モル当量である接着層を積層してなることを特
徴とする。
【0008】本発明の第3の電子部品用接着テープは、
剥離性フィルムの一面に、上記成分(a)のピペラジニ
ルエチルアミノカルボニル基含有ブタジエン−アクリロ
ニトリル共重合体と、成分(b)の2個以上のマレイミ
ド基を含有する化合物を含有し、成分(a)100重量
部に対して、成分(b)が10〜900重量部である接
着層を積層してなることを特徴とする。
【0009】本発明の第4の電子部品用接着テープは、
剥離性フィルムの一面に、上記成分(a)のピペラジニ
ルエチルアミノカルボニル基含有ブタジエン−アクリロ
ニトリル共重合体、成分(b)の2個以上のマレイミド
基を含有する化合物、および成分(c)のジアミン化合
物またはアミノ基含有ポリシロキサン化合物を含み、成
分(a)100重量部に対して、成分(b)と成分
(c)の総和が10〜900重量部であり、成分(c)
のアミノ基の1モル当量に対する成分(b)のマレイミ
ド基が1〜100モル当量である接着層を積層してなる
ことを特徴とする。
【0010】本発明の上記各電子部品用接着テープに使
用する第1の液状接着剤は、有機溶剤中に、上記成分
(a)のピペラジニルエチルアミノカルボニル基含有ブ
タジエン−アクリロニトリル共重合体と、成分(b)の
2個以上のマレイミド基を含有する化合物とを溶解して
なり、成分(a)100重量部に対して、成分(b)が
10〜900重量部であることを特徴とする。また、第
2の液状接着剤は、有機溶剤中に、上記成分(a)のピ
ペラジニルエチルアミノカルボニル基含有ブタジエン−
アクリロニトリル共重合体、成分(b)の2個以上のマ
レイミド基を含有する化合物、および成分(c)のジア
ミン化合物またはアミノ基含有ポリシロキサン化合物を
溶解してなり、成分(a)100重量部に対して、成分
(b)と成分(c)の総和が10〜900重量部であ
り、成分(c)のアミの基の1モル当量に対する成分
(b)のマレイミド基が1〜100モル当量であること
を特徴とする。
【0011】以下、本発明について詳細に説明する。ま
ず、電子部品用接着テープに使用する第1の液状接着剤
について説明する。成分(a)として使用される重量平
均分子量1,000〜50,000、好ましくは3,0
00〜30,000で、アクリロニトリル含有率5〜5
0重量%、好ましくは10〜40重量%の上記一般式
(I)で示される両末端にピペラジニルエチルアミノカ
ルボニル基を有するブタジエン−アクリロニトリル共重
合体は、両末端にカルボキシル基を有するブタジエン−
アクリロニトリル共重合体をN−アミノエチルピペラジ
ンでアミド化することによって合成することができ、ま
た、市販のものを適宜選択して使用することができる。
この場合、重量平均分子量が1,000より低くなる
と、熱安定性が不良になり、耐熱性が低下する。また、
50,000より高くなると、溶剤溶解性が不良にな
り、また、溶融粘度が増大して、接着剤として使用した
場合の作業性が不良になり、接着性が不良となる。ま
た、アクリロニトリル含有量が5重量%よりも低くなる
と溶媒溶解性が低下し、50重量%よりも高くなると絶
縁性が不安定になる。
【0012】第1の液状接着剤において、上記成分
(a)と成分(b)との配合割合は、成分(a)100
重量部に対して、成分(b)が10〜900重量部、好
ましくは20〜800の範囲に設定される。成分(b)
の量が10重量部より少なくなると、塗布して硬化した
後、接着層の耐熱性、特にTg、ヤング率の低下が著し
くなり、目的の用途に適さなくなり、また、900重量
部より多くなると、接着層をBステージまで硬化した際
に、接着層自体が脆くなり、作業性が悪くなったり、支
持体である耐熱性フィルムとの密着性が悪くなったりす
る。上記成分(a)と成分(b)との混合は、両者を溶
解する溶媒中で行う。溶媒としては、例えば、N−ジメ
チルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N
−メチルピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾ
リジノン、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルホスホ
リックトリアミド、ヘキサン、ベンゼン、トルエン、キ
シレン、メタノール、エタノール、プロパノール、イソ
プロパノール、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラ
ン、酢酸メチル、酢酸エチル、アセトニトリル、ジクロ
ロメタン、クロロホルム、四塩化炭素、クロロベンゼ
ン、ジクロロベンゼン、ジクロロエタン、トリクロロエ
タン等があげられ、これらの中から、成分(a)と成分
(b)が溶解するように種類と量を適宜選択して使用す
る。
【0013】次に、第2の液状接着剤について説明す
る。第2の液状接着剤は、上記第1の液状接着剤におけ
る成分(a)および成分(b)の外に、さらに成分
(c)として、上記一般式(III )で示されるジアミン
化合物、または重量平均分子量200〜7,000の上
記一般式(IV)で示されるアミノ基含有ポリシロキサン
化合物を含有することを特徴としている。この場合、成
分(a)、成分(b)および成分(c)の配合割合は、
成分(a)100重量部に対して、成分(b)と成分
(c)の総和が10〜900重量部、好ましくは20〜
800の範囲に設定される。成分(b)と成分(c)の
総和が10重量部より少なくなると、塗布して硬化した
後、接着層の耐熱性、特にTg、ヤング率の低下が著し
くなり、目的の用途に適さなくなり、また、900重量
部より多くなると、接着層をBステージまで硬化した際
に、接着層自体が脆くなり、作業性が悪くなったり、支
持体である耐熱性フィルムとの密着性が悪くなったりす
る。
【0014】また、成分(b)と成分(c)の配合割合
は、成分(c)のアミノ基1モル当量に対する成分
(b)のマレイミド基が1〜100モル当量になるよう
にする必要があり、好ましくは1〜80の範囲に設定す
る。成分(b)のマレイミド当量が1モル当量よりも低
くなると、混合に際して、ゲル化するため、接着剤を調
製することができなくなる。また、100モル当量より
も多くなると、接着層をBステージまで硬化した際に、
接着層自体が脆くなり、作業性が悪くなったり、支持体
である耐熱性フィルムとの接着性が悪くなったりする。
【0015】成分(c)として使用される上記一般式
(III )で示されるジアミン化合物としては、例えば次
のものがあげられる。N,N′−ビス(2−アミノフェ
ニル)イソフタルアミド、N,N′−ビス(3−アミノ
フェニル)イソフタルアミド、N,N′−ビス(4−ア
ミノフェニル)イソフタルアミド、N,N′−ビス(2
−アミノフェニル)テレフタルアミド、N,N′−ビス
(3−アミノフェニル)テレフタルアミド、N,N′−
ビス(4−アミノフェニル)テレフタルアミド、N,
N′−ビス(2−アミノフェニル)フタルアミド、N,
N′−ビス(3−アミノフェニル)フタルアミド、N,
N′−ビス(4−アミノフェニル)フタルアミド、N,
N′−ビス(2−アミノフェニル)フタルアミド、N,
N′−ビス(4−アミノ−3,5−ジメチルフェニル)
イソフタルアミド、N,N′−ビス(4−アミノ−3,
5−ジメチルフェニル)テレフタルアミド、N,N′−
ビス(4−アミノ−3,5−ジメチルフェニル)フタル
アミド、N,N′−ビス(4−アミノ−n−ブチル)イ
ソフタルアミド、N,N′−ビス(4−アミノ−n−ヘ
キシル)イソフタルアミド、N,N′−ビス(4−アミ
ノ−n−ドデシル)イソフタルアミド、m−フェニレン
ジアミン、p−フェニレンジアミン、m−トリレンジア
ミン、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル、3,
3′−ジメチル−4,4′−ジアミノジフェニルエーテ
ル、3,3′−ジアミノジフェニルエーテル、3,4′
−ジアミノジフェニルエーテル、4,4′−ジアミノジ
フェニルチオエーテル、3,3′−ジメチル−4,4′
−ジアミノジフェニルチオエーテル、3,3′−ジエト
キシ−4,4′−ジアミノジフェニルチオエーテル、
3,3′−ジアミノジフェニルチオエーテル、4,4′
−ジアミノベンゾフェノン、3,3′−ジメチル−4,
4′−ジアミノベンゾフェノン、3,3′−ジアミノジ
フェニルメタン、4,4′−ジアミノジフェニルメタ
ン、3,3′−ジメトキシ−4,4′−ジアミノジフェ
ニルメタン、2,2′−ビス(4−アミノフェニル)プ
ロパン、2,2′−ビス(3−アミノフェニル)プロパ
ン、4,4′−ジアミノジフェニルスルホキシド、4,
4′−ジアミノジフェニルスルホン、3,3′−ジアミ
ノジフェニルスルホン、ベンチジン、3,3′−ジメチ
ルベンチジン、3,3′−ジメトキシベンチジン、3,
3′−ジアミノビフェニル、2,2−ビス[4−(4−
アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス
[3−メチル−4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパン、2,2−ビス[3−クロロ−4−(4−
アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス
[3,5−ジメチル−4−(4−アミノフェノキシ)フ
ェニル]プロパン、1,1−ビス[4−(4−アミノフ
ェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[3−クロ
ロ−4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、
ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]メタ
ン、ビス[3−メチル−4−(4−アミノフェノキシ)
フェニル]メタン、ピペラジン、ヘキサメチレンジアミ
ン、ヘプタメチレンジアミン、テトラメチレンジアミ
ン、p−キシレンジアミン、m−キシレンジアミン、3
−メチルヘプタメチレンジアミン、13−ビス(4−
アミノフェノキシ)ベンゼン、2,2−ビス(4−アミ
ノフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオ
ロプロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキ
シ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフル
オロプロパン、4,4′−[1,4−フェニレンビス
(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン、4,4′−
[1,3−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]
ビスアニリン、4,4′−[1,4−フェニレンビス
(1−メチルエチリデン)]ビス(2,6−ジメチリル
ビスアニリン)等。
【0016】重量平均分子量200〜7,000の上記
一般式(IV)で示されるアミノ基含有ポリシロキサン化
合物としては、1,3−ビス(3−アミノプロピル)−
1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、α,ω−
ビス(3−アミノプロピル)ポリジメチルシロキサン、
1,3−ビス(3−アミノフェノキシメチル)−1,
1,3,3−テトラメチルジシロキサン、α,ω−ビス
(3−アミノフェノキシメチル)ポリジメチルシロキサ
ン、1,3−ビス[2−(3−アミノフェノキシ)エチ
ル]−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、
α,ω−ビス[2−(3−アミノフェノキシ)エチル]
ポリジメチルシロキサン、1,3−ビス[3−(3−ア
ミノフェノキシ)プロピル]−1,1,3,3−テトラ
メチルジシロキサン、α,ω−ビス[3−(3−アミノ
フェノキシ)プロピル]ポリジメチルシロキサン等があ
げられる。
【0017】上記成分(a)、成分(b)および成分
(c)の混合は、それらを溶解する溶媒中で行う。溶媒
としては、上記第1の液状接着剤において例示したもの
が使用できる。本発明の第1の液状接着剤および第2の
液状接着剤においては、必要に応じて、上記成分(a)
と成分(b)との付加反応、および成分(b)同士の付
加反応を促進させるために、ジアザビシクロオクタン、
または、メチルエチルケトンパーオキサイド、シクロヘ
キサンパーオキサイド、3,3,5−トリメチルシクロ
ヘキサノンパーオキサイド、メチルシクロヘキサノンパ
ーオキサイド、メチルアセトアセテートパーオキサイ
、アセチルアセトンパーオキサイド、1,1−ビス
(t−ブチルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシ
クロヘキサン、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)
シクロヘキサン、2,2−ビス(t−ブチルパーオキ
シ)オクタン、n−ブチル−4,4−ビス(t−ブチル
パーオキシ)バレート、2,2−ビス(t−ブチルパー
オキシブタン)、t−ブチルハイドロパーオキサイド、
クメンハイドロパーオキサイド、ジ−イソプロピルベン
ゼンハイドロパーオキサイド、P−メンタンハイドロパ
ーオキサイド、2,5−ジメチルヘキサン−2,5−ジ
ハイドロパーオキサイド、1,1,3,3−テトラメチ
ルブチルハイドロパーオキサイド、ジ−t−ブチルパー
オキサイド、t−ブチルクミルパーオキサイド、ジ−ク
ミルパーオキサイド、α,α′−ビス(t−ブチルパー
オキシ−m−イソプロピル)ベンゼン、2,5−ジメチ
ル−2,5−ジ(t−ブチルパーオキシ)ヘキサン、
2,5−ジメチル−2,5−ジ(t−ブチルパーオキ
シ)ヘキシン、アセチルパーオキサイド、イソブチル
ーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、デカノイ
ルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、ラウロ
イルパーオキサイド、3,5,5−トリメチルヘキサノ
イルパーオキサイド、スクシニックアシッドパーオキサ
イド、2,4−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、m
−トルオイルパーオキサイド、ジ−イソプロピルパーオ
キシジカーボネート、ジ−2−エチルヘキシルパーオキ
シジカーボネート、ジ−n−プロピルパーオキシジカー
ボネート、ビスー(4−t−ブチルシクロヘキシル)パ
ーオキシジカーボネート、ジ−ミリスティルパーオキシ
ジカーボネート、ジ−2−エトキシエチルパーオキシジ
カーボネート、ジ−メトキシイソプロピルパーオキシジ
カーボネート、ジ(3−メチル−3−メトキシブチル)
パーオキシジカーボネート、ジ−アリルパーオキシジカ
ーボネート、t−ブチルパーオキシアセテート、t−ブ
チルパーオキシイソブチレート、t−ブチルパーオキシ
ピバレート、t−ブチルパーオキシネオデカネート、ク
ミルパーオキシネオドデカネート、t−ブチルパーオキ
シ−2−エチルヘキサネート、t−ブチルパーオキシ−
3,5,5−トリメチルヘキサネート、t−ブチルパー
オキシラウレート、t−ブチルパーオキシベンゾエー
ト、ジ−t−ブチルパーオキシイソフタレート、2,5
−ジメチル−2,5−ジ(ベンゾイルパーオキシ)ヘキ
サン、t−ブチルパーオキシマレイン酸、t−ブチルパ
ーオキシイソプロピルカーボネート、クミルパーオキシ
オクテート、t−ヘキシルパーオキシネオデカネート、
t−ヘキシルパーオキシピバレート、t−ブチルパーオ
キシネオヘキサネート、t−ヘキシルパーオキシネオヘ
キサネート、クミルパーオキシネオヘキサネート、アセ
チルシクロヘキシルスルフォニルパーオキサイド、t−
ブチルパーオキシアリルカーボネート等の有機過酸化物
類、1,2−ジメチルイミダゾール、1−メチル−2−
エチルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エ
チル−4−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダ
ゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−フェニル
イミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾー
ル、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1−ベ
ンジル−2−フェニルイミダゾール・トリメリット酸
塩、1−ベンジル−2−エチルイミダゾール、1−ベン
ジル−2−エチル−5−メチルイミダゾール、2−エチ
ルイミダゾ−ル、2−イソプロピルイミダゾール、2−
フェニル−4−ベンジルイミダゾール、1−シアノエチ
ル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−
エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−
2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−
イソプロピルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フ
ェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイ
ミダゾリウムトリメリテート、1−シアノエチル−2−
エチル−4−メチルイミダゾリウムトリメリテート、1
−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリ
テート、2,4−ジアミノ−6−[2′−メチルイミダ
ゾリル−(1)′]−エチル−S−トリアジン、2,4
−ジアミノ−6−[2′−エチル−4−メチルイミダゾ
リル−(1)′]−エチル−S−トリアジン、2,4−
ジアミノ−6−[2′−ウンデシルイミダゾリル−
(1)′]−エチル−S−トリアジン、2−メチルイミ
ダゾリウムイソシアヌール酸付加物、2−フェニルイミ
ダゾリウムイソシアヌール酸付加物、2,4−ジアミノ
−6−[2′−メチルイミダゾール−(1)′]−エチ
ル−S−トリアジン−イソシアヌール酸付加物、2−フ
ェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2
−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダ
ゾール、2−フェニル−4−ベンジル−5−ヒドロキシ
メチルイミダゾール、4,4′−メチレン−ビス−(2
−エチル−5−メチル−イミダゾール)、1−アミノエ
チル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2
−フェニル−4,5−ジ(シアノエトキシメチル)イミ
ダゾール、1−ドデシル−2−メチル−3−ベンジルイ
ミダゾリウムクロライド、4,4′−メチレン−ビス−
(2−エチル−5−メチルイミダゾール)、2−メチル
イミダゾール・ベンゾトリアゾール付加物、1,2−ジ
メチルイミダゾール・ベンゾトリアゾール付加物、1−
アミノエチル−2−エチルイミダゾール、1−(シアノ
エチルアミノエチル)−2−メチルイミダゾール、N,
N′−[2−メチルイミダゾリル−(1)−エチル]−
アジポイルジアミド、N,N′−ビス−(2−メチルイ
ミダゾリル−1−エチル)尿素、N−[2−メチルイミ
ダゾリル−1−エチル]−尿素、N,N′−[2−メチ
ルイミダゾリル−(1)−エチル]ドデカンジオイルジ
アミド、N,N′−[2−メチルイミダゾリル−(1)
−エチル]エイコサンジオイルジアミド、1−ベンジル
−2−フェニルイミダゾール・塩化水素酸塩、1−シア
ノエチル−2−フェニル−4,5−ジ(シアノエトキシ
メチル)イミダゾール等のイミダゾール類、トリフェニ
ルホスフィン類等の反応促進剤を添加することもでき
る。
【0018】また、第1の液状接着剤および第2の液状
接着剤には、接着剤のテーピング特性を安定化させるた
めに、粒径1μm以下のフィラーを含ませることができ
る。フィラーの含有量は、全固形分の4〜40重量%、
好ましくは9〜24重量%の範囲に設定される。含有量
が4重量%よりも低くなると、接着テープのテーピング
特性の安定化効果が小さくなり、また、40重量%より
も多くなると、接着テープの接着強度が低下し、かつラ
ミネート等の加工性が悪くなる。フィラーとしては、例
えば、シリカ、石英粉、アルミナ、炭酸カルシウム、酸
化マグネシウム、ダイヤモンド粉、マイカ、フッ素樹脂
粉、ジルコン粉等が使用される。
【0019】また、上記第1および第2の液状接着剤に
は、必要に応じて、反応終了後に単離し、その後、有機
溶剤、水、または有機溶剤と水との混合物で洗浄し、再
度上記有機溶剤に溶解してもよい。洗浄に用いることが
できる有機溶剤としては、アセトン、メチルエチルケト
ン、ヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、メタノ
ール、エタノール、プロパノール、ジエチルエーテル、
テトラヒドロフラン、酢酸メチル、酢酸エチル、アセト
ニトリル、ジクロロメタン、クロロホルム、四塩化炭
素、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、ジクロロエタ
ン、トリクロロエタン等があげられる。
【0020】次に、上記の液状接着剤を使用した本発明
の電子部品用接着テープについて説明する。本発明の電
子部品用接着テープを作製するには、上記第1または第
2の液状接着剤を、耐熱性フィルムの片面または両面
に、或いは剥離性フィルムの片面に塗布し、乾燥すれば
よい。その際、塗布厚さが5〜100μm、好ましくは
10〜50μmの範囲になるように塗布すればよい。耐
熱性フィルムとしては、例えば、ポリイミド、ポリフェ
ニレンサルファイド、ポリエーテル、ポリパラバン酸、
および場合によってはポリエチレンテレフタレート等の
耐熱性樹脂のフィルム、エポキシ樹脂−ガラスクロス、
エポキシ樹脂−ポリイミド−ガラスクロス等の複合耐熱
フィルム等が使用されるが、特にポリイミド樹脂のフィ
ルムが好ましい。
【0021】耐熱性フィルムの厚さは、7.5〜130
μm、好ましくは、12.5〜75μmの範囲に設定す
るのが好ましい。厚さが薄すぎる場合には、接着テープ
の腰が不十分になり、また、厚すぎる場合には、接着テ
ープの打ち抜き作業が困難になるので、上記の範囲が好
ましい。剥離性フィルムとしては、厚さ1〜200μ
m、好ましくは10〜100μmのものが使用され、仮
の支持体として作用する。使用可能な剥離性フィルムと
しては、ポリプロピレンフィルム、フッ素樹脂系フィル
ム、ポリエチレンフィルム、ポリエチレンテレフタレー
トフィルム、紙および場合によってはそれらにシリコー
ン樹脂で剥離性を付与したもの等があげられる。これら
の剥離性フィルムは、90°ピール剥離強度が0.01
〜7.0gの範囲にあることが望ましい。剥離強度が上
記の範囲よりも低い場合には、接着テープ搬送時に、剥
離性フィルムが簡単に剥離するなどの問題があり、ま
た、上記の範囲よりも高い場合には、剥離性フィルムが
接着剤層から綺麗に剥がれず、作業性が悪くなる。
【0022】なお、耐熱性フィルムの片面または両面
に、上記液状接着剤を塗布して接着層を形成した場合に
は、接着層の上には、さらに剥離性の保護フィルムを設
けてもよい。剥離性の保護フィルムとしては、上記剥離
性フィルムと同様のものが使用できる。
【0023】
【実施例】(液状接着剤作製例) 実施例1 両末端にピペラジニルエチルアミノカルボニル基を有す
るブタジエン−アクリロニトリル共重合体(ハイカーA
TBN、宇部興産(株)製)(m=83.5、n=1
6.5、重量平均分子量3,600、アクリロニトリル
含有率16.5重量%)70重量部、前記式(II−1)
示される化合物30重量部、および過酸化ベンゾイル1
重量部を、テトラヒドロフラン中に添加、混合して、充
分に溶解し、固形分率40重量%の液状接着剤を得た。
【0024】実施例2 実施例1において、両末端にピペラジニルエチルアミノ
カルボニル基を有するブタジエン−アクリロニトリル共
重合体70重量部を50重量部に、また式(II−1)で
示される化合物30重量部を50重量部に代えた以外
は、実施例1と同様に操作して液状接着剤を得た。 実施例3 実施例1において、両末端にピペラジニルエチルアミノ
カルボニル基を有するブタジエン−アクリロニトリル共
重合体70重量部を30重量部に、また式(II−1)で
示される化合物30重量部を70重量部に代えた以外
は、実施例1と同様に操作して液状接着剤を得た。
【0025】実施例4 実施例1において、両末端にピペラジニルエチルアミノ
カルボニル基を有するブタジエン−アクリロニトリル共
重合体70重量部を10重量部に、また式(II−1)で
示される化合物30重量部を90重量部に代えた以外
は、実施例1と同様に操作して液状接着剤を得た。 実施例5 実施例1において、式(II−1)で示される化合物を式
(II−2)で示される化合物に代えた以外は、実施例1
と同様に操作して、液状接着剤を得た。 実施例6 実施例1において、式(II−1)で示される化合物を式
(II−3)で示される化合物に代えた以外は、実施例1
と同様に操作して液状接着剤を得た。
【0026】実施例7 実施例1において、式(II−1)で示される化合物を、
下記式で示される化合物に代えた以外は、実施例1と同
様に操作して液状接着剤を得た。
【化9】 実施例8 実施例1において、式(II−1)で示される化合物を式
(II−6)で示される化合物の一つである(MP200
0X、三菱油化(株)製)に代えた以外は、実施例1と
同様に操作して液状接着剤を得た。
【0027】実施例9 両末端にピペラジニルエチルアミノカルボニル基を有す
るブタジエン−アクリロニトリル共重合体(ハイカーA
TBN、宇部興産(株)製)(m=83.5、n=1
6.5、重量平均分子量3,600、アクリロニトリル
含有率16.5重量%)30重量部、前記式(II−1)
示される化合物61重量部、1,3−ビス(3−アミノ
プロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサ
ン9重量部(そのアミノ基1モル当量に対する上記化合
物のマレイミド基のモル当量は1.4)および過酸化ベ
ンゾイル1重量部を、テトラヒドロフラン中に添加、混
合して、充分に溶解し、固形分率40重量%の液状接着
剤を得た。
【0028】実施例10 実施例9において、式(II−1)示される化合物61重
量部を63重量部に、1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン9重
量部を7重量部(そのアミノ基1モル当量に対する上記
化合物のマレイミド基のモル当量は1.97)に代えた
以外は、実施例9と同様に操作して液状接着剤を得た。 実施例11 実施例9において、式(II−1)示される化合物61重
量部を66重量部に、1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン9重
量部を4重量部(そのアミノ基1モル当量に対する上記
化合物のマレイミド基のモル当量は3.60)に代えた
以外は、実施例9と同様に操作して液状接着剤を得た。 実施例12 実施例9において、式(II−1)示される化合物61重
量部を68重量部に、1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン9重
量部を2重量部(そのアミノ基1モル当量に対する上記
化合物のマレイミド基のモル当量は7.50)に代えた
以外は、実施例9と同様に操作して液状接着剤を得た。 実施例13 実施例9において、両末端にピペラジニルエチルアミノ
カルボニル基を有するブタジエン−アクリロニトリル共
重合体30重量部を70重量部に、式(II−1)で示さ
れる化合物61重量部を28重量部に、また1,3−ビ
ス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメ
チルジシロキサン9重量部を2重量部(そのアミノ基1
モル当量に対する上記化合物のマレイミド基のモル当量
は3.13)に代えた以外は、実施例1と同様に操作し
て液状接着剤を得た。
【0029】実施例14 実施例9において、両末端にピペラジニルエチルアミノ
カルボニル基を有するブタジエン−アクリロニトリル共
重合体30重量部を50重量部に、式(II−1)で示さ
れる化合物61重量部を47重量部に、また1,3−ビ
ス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメ
チルジシロキサン9重量部を3重量部(そのアミノ基1
モル当量に対する上記化合物のマレイミド基のモル当量
は3.44)に代えた以外は、実施例1と同様に操作し
て液状接着剤を得た。 実施例15 実施例9において、両末端にピペラジニルエチルアミノ
カルボニル基を有するブタジエン−アクリロニトリル共
重合体30重量部を10重量部に、式(II−1)で示さ
れる化合物61重量部を85重量部に、また1,3−ビ
ス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメ
チルジシロキサン9重量部を5重量部(そのアミノ基1
モル当量に対する上記化合物のマレイミド基のモル当量
は3.75)に代えた以外は、実施例1と同様に操作し
て液状接着剤を得た。 実施例16 実施例9において、式(II−1)示される化合物61重
量部を62重量部に、1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン9重
量部をα,ω−ビス(3−アミノプロピル)ポリジメチ
ルシロキサン(重合度:4)8重量部(そのアミノ基1
モル当量に対する上記化合物のマレイミド基のモル当量
は3.50)に代えた以外は、実施例9と同様に操作し
て液状接着剤を得た。 実施例17 実施例9において、式(II−1)示される化合物61重
量部を58重量部に、1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン9重
量部をα,ω−ビス(3−アミノプロピル)ポリジメチ
ルシロキサン(重合度:8)12重量部(そのアミノ基
1モル当量に対する上記化合物のマレイミド基のモル当
量は3.50)に代えた以外は、実施例9と同様に操作
して液状接着剤を得た。
【0030】実施例18 実施例9において、式(II−1)示される化合物61重
量部を64重量部に、1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン9重
量部を1,3−ビス(3−アミノフェノキシメチル)−
1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン6重量部
(そのアミノ基1モル当量に対する上記化合物のマレイ
ミド基のモル当量は3.50)に代えた以外は、実施例
9と同様に操作して液状接着剤を得た。 実施例19 実施例9において、式(II−1)示される化合物61重
量部を69重量部に、1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン9重
量部をエチレンジアミン1重量部(そのアミノ基1モル
当量に対する上記化合物のマレイミド基のモル当量は
4.00)に代えた以外は、実施例9と同様に操作して
液状接着剤を得た。 実施例20 実施例9において、式(II−1)示される化合物61重
量部を68重量部に、1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン9重
量部をヘキサメチレンジアミン2重量部(そのアミノ基
1モル当量に対する上記化合物のマレイミド基のモル当
量は4.00)に代えた以外は、実施例9と同様に操作
して液状接着剤を得た。
【0031】実施例21 実施例9において、式(II−1)示される化合物61重
量部を67重量部に、1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン9重
量部を1,8−ジアミノオクタン3重量部(そのアミノ
基1モル当量に対する上記化合物のマレイミド基のモル
当量は4.00)に代えた以外は、実施例9と同様に操
作して液状接着剤を得た。 実施例22 実施例9において、式(II−1)示される化合物61重
量部を66重量部に、1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン9重
量部を3,4−ジアミノジフェニルエーテル(そのアミ
ノ基1モル当量に対する上記化合物のマレイミド基のモ
ル当量は2.88)4重量部に代えた以外は、実施例9
と同様に操作して液状接着剤を得た。 実施例23 実施例9において、式(II−1)示される化合物61重
量部を63重量部に、1,3−ビス(3−アミノプロピ
ル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン9重
量部を2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フ
ェニル]プロパン(そのアミノ基1モル当量に対する上
記化合物のマレイミド基のモル当量は3.65)7重量
部に代えた以外は、実施例9と同様に操作して液状接着
剤を得た。
【0032】実施例24 実施例9において、式(II−1)示される化合物を式
(II−2)示される化合物に代えた以外は、実施例9と
同様に操作して液状接着剤を得た。なお、テトラメチル
ジシロキサン化合物のアミノ基1モル当量に対する式
(II−2)示される化合物のマレイミド基のモル当量は
2.33であった。 実施例25 実施例9において、式(II−1)示される化合物を式
(II−3)示される化合物に代えた以外は、実施例9と
同様に操作して液状接着剤を得た。なお、テトラメチル
ジシロキサン化合物のアミノ基1モル当量に対する式
(II−3)示される化合物のマレイミド基のモル当量は
1.93であった。 実施例26 実施例9において、式(II−1)示される化合物を式
(II−5)示される化合物に代えた以外は、実施例9と
同様に操作して液状接着剤を得た。なお、テトラメチル
ジシロキサン化合物のアミノ基1モル当量に対する式
(II−5)示される化合物のマレイミド基のモル当量は
8.35であった。 実施例27 実施例9において、式(II−1)示される化合物を式
(II−6)示される化合物に代えた以外は、実施例9と
同様に操作して液状接着剤を得た。なお、テトラメチル
ジシロキサン化合物のアミノ基1モル当量に対する式
(II−6)示される化合物のマレイミド基のモル当量は
8.35であった。
【0033】実施例28 実施例1において得られた液状接着剤100重量部と、
アルミナフィラー(昭和電工社製)10重量部を分散混
合することにより液状接着剤を得た。 実施例29 実施例12において得られた液状接着剤100重量部
と、アルミナフィラー(昭和電工社製)10重量部を分
散混合することにより液状接着剤を得た。 実施例30 両末端にピペラジニルエチルアミノカルボニル基を有す
るブタジエン−アクリロニトリル共重合体(m=80、
n=20、重量平均分子量10,000、アクリロニト
リル含有量20重量%)70重量部、前記式(II−1)
示される化合物30重量部、および過酸化ベンゾイル1
重量部をテトラヒドロフラン中に添加、混合して十分に
溶解し、固形分率40重量%の液状接着剤を得た。 実施例31 両末端にピペラジニルエチルアミノカルボニル基を有す
るブタジエン−アクリロニトリル共重合体(m=70、
n=30、重量平均分子量10,000、アクリロニト
リル含有量30重量%)70重量部、前記式(II−1)
示される化合物30重量部、および過酸化ベンゾイル1
重量部をテトラヒドロフラン中に添加、混合して十分に
溶解し、固形分率40重量%の液状接着剤を得た。 実施例32 両末端にピペラジニルエチルアミノカルボニル基を有す
るブタジエン−アクリロニトリル共重合体(m=80、
n=20、重量平均分子量30,000、アクリロニト
リル含有量20重量%)70重量部、前記式(II−1)
示される化合物30重量部、および過酸化ベンゾイル1
重量部をテトラヒドロフラン中に添加、混合して十分に
溶解し、固形分率40重量%の液状接着剤を得た。
【0034】比較例1 ナイロンエポキシ系接着剤(トレジンFS−410、帝
国化学産業(株)製)(固形分率20%、溶剤:イソプ
ロピルアルコール:メチルエチルケトン=2:1)を用
意した。 比較例2 ポリイミド系ワニス(ラークTPI、三井東圧化学
(株)製)のN−メチルピロリドン20重量%溶液を用
意した。
【0035】(接着テープ作製例)実施例1〜32の液
状接着剤を、乾燥後の接着層の厚さが20μmになるよ
うにポリイミドフィルムの両面に塗布し、熱風循環型乾
燥機中にて120℃で5分間乾燥して、接着テープを作
製した。
【0036】比較テープ作製例1 比較例1の接着剤を、乾燥後の接着層の厚さが20μm
になるようにポリイミドフィルムの両面に塗布し、熱風
循環型乾燥機中にて150℃で15分間乾燥して、接着
テープを作製した。 比較テープ作製例2 比較例2の接着剤を、乾燥後の接着層の厚さが20μm
になるようにポリイミドフィルムの両面に塗布し、熱風
循環型乾燥機中にて150℃で120分間、次いで25
0℃で60分間乾燥して、接着テープを作製した。
【0037】(リードフレームの組立て)図1に示す半
導体パッケージに用いられるリードフレームを、次に示
す手順で表1に示す作業条件の下で組み立てた。(a)
接着テープの打ち抜き金型による接着テープのリング状
打ち抜きを行った。(b)接着テープの仮接着ホットプ
レート上にプレーンを置き、リング状に打ち抜いたテー
プをプレーンに金属ロッドで押し付け仮接着した。
(c)リードフレーム組立て上記工程で接着テープを仮
接着したプレーンとリードフレーム本体を位置合わせ
し、120℃に加熱したホットプレート上で加熱加圧
し、リードフレームとプレーンを接着テープを介して貼
り合わせた。(d)接着テープキュアー熱風循環型オー
ブン内を窒素置換し、3つの工程で組み立てたリードフ
レーム上で表1に記載の条件で硬化させた。
【0038】
【表1】
【0039】(半導体パッケージの組立て)その後、作
成したリードフレームを使用し、以下の手順で半導体パ
ッケージを組み立てた。リードフレーム組立て時に接着
条件および硬化条件が異なるのは、各接着テープの特性
が異なるためである。ここでは、各接着テープに最適の
接着条件を選定し、それに基づいて接着硬化させた。 (a)ダイボンディング 半導体チップをダイボンディング用銀ペーストを用い
て、プレーン部に接着し、150℃で2時間硬化させ
た。 (b)ワイヤーボンディング ワイヤーボンダーにより、金線で半導体チップ上のワイ
ヤーパッドとインナーリード線端部の銀メッキ部分とを
配線する。 (c)モールディング エポキシ系モールド材でトランスファーモールドする。 (d)仕上げ工程 ホーミング、ダイカット、アウターリード部のメッキ等
の工程を含め、パッケージに仕上げる。
【0040】(接着テープおよび半導体パッケージの評
価結果)リードフレーム組立てに際して、次の評価を行
った。 (a)テーピング可能温度 接着テープを容易かつ迅速に被着体、すなわち、プレー
ンもしくはリードピンに接着できるか否かの評価を行っ
た。具体的には、テーピングマシンで各接着テープをリ
ードフレームに接着することができる温度域を測定し
た。その結果、本発明の接着テープおよび比較例1の接
着テープは90〜180℃の温度域で接着できたが、比
較例2の場合は400℃以上の温度を要した。 (b)リードフレームの酸化 接着剤硬化中に、リードフレーム表面の酸化が起こって
いるか否かの評価を、リードフレーム表面の変色に対す
る視覚判定により行った。その結果、本発明の接着テー
プは、低温でテーピングができるので、酸化は生じなか
ったが、比較例2の場合は、接着温度が高すぎるために
変色が認められ、リードフレームの酸化が生じていた。 (c)接着力 銅板に140℃で接着テープを貼着(テーピング)した
後の、10mm幅のテープの室温での90°ピール強度
を測定した。その結果、本発明の接着テープは、30〜
50g/10mmであるのに対して、比較例1の場合は
2〜4g/10mmであり、また、比較例2の場合は1
0〜40g/10mmで変動幅が大きかった。 (d)ボイド 接着剤を硬化させる際に、接着剤内に発生するボイドが
実用上問題になるレベルにあるか否かを顕微鏡による視
覚判定にて評価した。その結果、本発明の接着テープ
は、ボイドの発生は全くなかったが、比較例1の場合は
ボイドの発生が認められた。 (e)作業性 リードフレームの組立ての際の接着テープのテーピング
等、使用時のハンドリング性(カール、走行性)および
接着テープの接着剤表面のタックについて評価を行っ
た。その結果、本発明の接着テープは、全てハンドリン
グ性が良好であり、表面のタックを生じなかったが、比
較例2の場合は、ハンドリング性に問題を生じた。
【0041】(f)ワイヤーボンダビリティー パッケージ組立てに際して、金線のワイヤーボンディン
グ時のリードフレーム上へのワイヤーボンダビリティー
を確認した。その結果、本発明の接着テープを使用した
場合、832ピンの試験において、ボンディング不良は
ゼロであった。一方、比較例1の場合は、832ピン中
125ピンのボンディング不良が確認され、金ワイヤー
のボンディングを十分な強度にすることができなかっ
た。 (g)半導体パッケージの評価 前述のようにして得られたパッケージに対して、PCB
T試験(Pressure Cooker Biase
d Test)を行った。条件は5ボルト印加、121
℃、2atm、100%RHで実施し、電気的信頼性テ
ストを行った。その結果、本発明の場合は、1000時
間でショートが生じなかった。
【0042】以上の結果から明らかなように、本発明の
液状接着剤を使用した接着テープの場合は、半導体パッ
ケージを良好に作製することができる。これに対して、
比較例の接着テープの場合には、リードフレームの酸化
が生じる、接着条件がリードフレームの組立てに適さな
い、金線のワイヤーボンディングを行うことができな
い、等の問題があり、電子部品作製の用途に適していな
い。
【0043】
【発明の効果】本発明の液状接着剤は、上記の構成を有
するから、比較的低温で接着、硬化ができ、十分な耐熱
性、信頼性等を有しており、それを用いた本発明の電子
部品用接着テープは、例えば、リードフレーム固定用接
着テープ、TABテープ等として、半導体装置を構成す
るリードフレーム周辺の部材間、例えば、リードピン、
半導体チップ搭載用基板、放熱板、半導体チップ自身等
の接着に好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明または従来の接着テープを使用した樹
脂封止型半導体装置の一例の断面図である。
【図2】 本発明または従来の接着テープを使用した樹
脂封止型半導体装置の他の一例の断面図である。
【図3】 本発明または従来の接着テープを使用した樹
脂封止型半導体装置のさらに他の一例の断面図である。
【符号の説明】
1…半導体チップ、2…プレーン、3…リードピン、4
…ボンディングワイヤー、5…樹脂、6…接着層、7…
ダイパッド、8…電極。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/52 H05K 13/00 23/29 C08G 73/12 23/31 C09J 4/00 H05K 13/00 H01L 21/78 M // C08G 73/12 23/30 R C09J 4/00 (72)発明者 中場 勝治 静岡県静岡市用宗巴町3番1号 株式会 社巴川製紙所電子・ディスプレイ材料研 究所内 (72)発明者 小林 正治 静岡県静岡市用宗巴町3番1号 株式会 社巴川製紙所電子・ディスプレイ材料研 究所内 (72)発明者 西ヶ谷 剛 静岡県静岡市用宗巴町3番1号 株式会 社巴川製紙所電子・ディスプレイ材料研 究所内 (72)発明者 山梨 史義 静岡県静岡市用宗巴町3番1号 株式会 社巴川製紙所電子・ディスプレイ材料研 究所内

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 耐熱性フィルムの少なくとも一面に、
    (a)重量平均分子量1,000〜50,000で、ア
    クリロニトリル含有率5〜50重量%の下記一般式
    (I)で示される両末端にピペラジニルエチルアミノカ
    ルボニル基を有するブタジエン−アクリロニトリル共重
    合体と、 【化1】 (式中、m=50〜95、n=5〜50) (b)下記式(II−1)ないし式(II−6)で示される
    化合物から選択された2個以上のマレイミド基を含有す
    る化合物とを含有し、 【化2】 【化3】 成分(a)100重量部に対して、成分(b)が10〜
    900重量部である接着層を積層してなることを特徴と
    する電子部品用接着テープ。
  2. 【請求項2】 耐熱性フィルムの少なくとも一面に、
    (a)重量平均分子量1,000〜50,000で、ア
    クリロニトリル含有率5〜50重量%の上記一般式
    (I)で示される両末端にピペラジニルエチルアミノカ
    ルボニル基を有するブタジエン−アクリロニトリル共重
    合体、(b)上記式(II−1)ないし式(II−6)で示
    される化合物から選択された2個以上のマレイミド基を
    含有する化合物、および(c)下記一般式(III )で示
    されるジアミン化合物 H2 N−R1 −NH2 (III ) (式中、R1 は二価の脂肪族基、芳香族基または脂環式
    基を表わす。)または重量平均分子量200〜7,00
    0の下記一般式(IV)で示されるアミノ基含有ポリシロ
    キサン化合物を含有し、 【化4】 (式中、R2 は二価の脂肪族基、芳香族基または脂環式
    基を表わし、sは0ないし7の整数を意味する。)成分
    (a)100重量部に対して、成分(b)と成分(c)
    の総和が10〜900重量部であり、成分(c)のアミ
    ノ基1モル当量に対する成分(b)のマレイミド基が1
    〜100モル当量である接着層を積層してなることを特
    徴とする電子部品用接着テープ。
  3. 【請求項3】 耐熱性フィルムが、ポリイミド樹脂フィ
    ルムである請求項1または2に記載の電子部品用接着テ
    ープ。
  4. 【請求項4】 接着層に粒径1μm以下のフィラーが4
    〜40重量%含まれていることを特徴とする請求項1ま
    たは2に記載の電子部品用接着テープ。
  5. 【請求項5】 剥離性フィルムの一面に、(a)重量平
    均分子量1,000〜50,000で、アクリロニトリ
    ル含有率5〜50重量%の上記一般式(I)で示される
    両末端にピペラジニルエチルアミノカルボニル基を有す
    るブタジエン−アクリロニトリル共重合体と、(b)上
    記式(II−1)ないし式(II−6)で示される化合物か
    ら選択された2個以上のマレイミド基を含有する化合物
    とを含有し、成分(a)100重量部に対して、成分
    (b)が10〜900重量部である接着層を積層してな
    ることを特徴とする電子部品用接着テープ。
  6. 【請求項6】 剥離性フィルムの一面に、(a)重量平
    均分子量1,000〜50,000で、アクリロニトリ
    ル含有率5〜50重量%の上記一般式(I)で示される
    両末端にピペラジニルエチルアミノカルボニル基を有す
    るブタジエン−アクリロニトリル共重合体、(b)上記
    式(II−1)ないし式(II−6)で示される化合物から
    選択された2個以上のマレイミド基を含有する化合物、
    および(c)上記一般式(III )で示されるジアミン化
    合物または重量平均分子量200〜7,000の上記一
    般式(IV)で示されるアミノ基含有ポリシロキサン化合
    物を含有し、成分(a)100重量部に対して、成分
    (b)と成分(c)の総和が10〜900重量部であ
    り、成分(c)のアミの基1モル当量に対する成分
    (b)のマレイミド基が1〜100モル当量である接着
    層を積層してなることを特徴とする電子部品用接着テー
    プ。
  7. 【請求項7】 接着層に粒径1μm以下のフィラーが4
    〜40重量%含まれていることを特徴とする請求項5ま
    たは6に記載の電子部品用接着テープ。
  8. 【請求項8】 有機溶剤中に、(a)重量平均分子量
    1,000〜50,000で、アクリロニトリル含有率
    5〜50重量%の上記一般式(I)で示される両末端に
    ピペラジニルエチルアミノカルボニル基を有するブタジ
    エン−アクリロニトリル共重合体と、(b)上記式(II
    −1)ないし式(II−6)で示される化合物から選択さ
    れた2個以上のマレイミド基を含有する化合物とを溶解
    してなり、成分(a)100重量部に対して、成分
    (b)が10〜900重量部である電子部品用液状接着
    剤。
  9. 【請求項9】 有機溶剤中に、(a)重量平均分子量
    1,000〜50,000で、アクリロニトリル含有率
    5〜50重量%の上記一般式(I)で示される両末端に
    ピペラジニルエチルアミノカルボニル基を有するブタジ
    エン−アクリロニトリル共重合体、(b)上記式(II−
    1)ないし式(II−6)で示される化合物から選択され
    た2個以上のマレイミド基を含有する化合物、および
    (c)上記一般式(III )で示されるジアミン化合物ま
    たは重量平均分子量200〜7,000の上記一般式
    (IV)で示されるアミノ基含有ポリシロキサン化合物を
    溶解してなり、成分(a)100重量部に対して、成分
    (b)と成分(c)の総和が10〜900重量部であ
    り、成分(c)のアミの基1モル当量に対する成分
    (b)のマレイミド基が1〜100モル当量であること
    を特徴とする電子部品用液状接着剤。
  10. 【請求項10】 粒径1μm以下のフィラーが全固形分
    の4〜40重量%含まれていることを特徴とする請求項
    8または請求項9に記載の電子部品用液状接着剤。
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