JP2725648B2 - 固体レーザ励起方法及び固体レーザ装置 - Google Patents
固体レーザ励起方法及び固体レーザ装置Info
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- JP2725648B2 JP2725648B2 JP20135995A JP20135995A JP2725648B2 JP 2725648 B2 JP2725648 B2 JP 2725648B2 JP 20135995 A JP20135995 A JP 20135995A JP 20135995 A JP20135995 A JP 20135995A JP 2725648 B2 JP2725648 B2 JP 2725648B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザ加工、計測、
波長変換等に利用される高出力、高効率レーザ光を生成
可能な固体レーザ励起方法及び固体レーザ装置に関す
る。
波長変換等に利用される高出力、高効率レーザ光を生成
可能な固体レーザ励起方法及び固体レーザ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】高品質で高効率かつ高出力の固体レーザ
を実現する方法として、半導体レーザを励起光源とする
固体レーザが提案されているが、特にビーム品質を落と
すことなくレーザ出力を増大させ得る励起方式が望まれ
ている。このための励起方式として、励起光をレーザ発
振光路に一致させて入射させる端面励起方式、レーザ発
振光路と直交する方向から励起光を入射させる側面励起
方式に大きく分けることができる。
を実現する方法として、半導体レーザを励起光源とする
固体レーザが提案されているが、特にビーム品質を落と
すことなくレーザ出力を増大させ得る励起方式が望まれ
ている。このための励起方式として、励起光をレーザ発
振光路に一致させて入射させる端面励起方式、レーザ発
振光路と直交する方向から励起光を入射させる側面励起
方式に大きく分けることができる。
【０００３】側面励起方式では、ロッド状の固体レーザ
を用い、ロッドの長さ方向に励起光を分散させること
で、発熱を分散させ高出力を得ることが可能である。し
かしながら、励起領域と発振モード領域の重なりが十分
とれないために高効率な発振ができないこと、高次モー
ドの発振が起き易くビーム品質が低下するという問題が
ある。これに対し、端面励起方式では、励起領域と低次
発振モードの重なりを高くとることが可能で高効率かつ
高ビーム品質のレーザ光を発振できる利点がある。
を用い、ロッドの長さ方向に励起光を分散させること
で、発熱を分散させ高出力を得ることが可能である。し
かしながら、励起領域と発振モード領域の重なりが十分
とれないために高効率な発振ができないこと、高次モー
ドの発振が起き易くビーム品質が低下するという問題が
ある。これに対し、端面励起方式では、励起領域と低次
発振モードの重なりを高くとることが可能で高効率かつ
高ビーム品質のレーザ光を発振できる利点がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
端面励起方式では、レーザ出力を５０Ｗ以上の高出力を
得ようとする場合、レーザ光の吸収長と、励起ビームの
広がり角で決まる有効励起長が側面励起方式に比べて短
いために、補正の困難な大きな熱レンズ効果が起こるほ
か、過大な励起密度のためにロッドが応力破壊を引き起
こす等の問題が生じている。このため、励起に対するレ
ーザ出力の効率を高め、かつ低次モードの高品質なレー
ザ出力を得ることが難しいという問題がある。本発明
は、レーザ出力の効率を高め、かつ高品質なレーザ出力
を得ることを可能とした固体レーザ励起方法及び固体レ
ーザ装置を提供することを目的としている。
端面励起方式では、レーザ出力を５０Ｗ以上の高出力を
得ようとする場合、レーザ光の吸収長と、励起ビームの
広がり角で決まる有効励起長が側面励起方式に比べて短
いために、補正の困難な大きな熱レンズ効果が起こるほ
か、過大な励起密度のためにロッドが応力破壊を引き起
こす等の問題が生じている。このため、励起に対するレ
ーザ出力の効率を高め、かつ低次モードの高品質なレー
ザ出力を得ることが難しいという問題がある。本発明
は、レーザ出力の効率を高め、かつ高品質なレーザ出力
を得ることを可能とした固体レーザ励起方法及び固体レ
ーザ装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の固体レーザ励起
方法は、固体レーザの端面励起方法において、励起光を
ベッセルビームとし、このベッセルビームの焦点深度及
びビーム径から決まる励起領域内に固体レーザ媒質の発
振モード領域が含まれるようにする。
方法は、固体レーザの端面励起方法において、励起光を
ベッセルビームとし、このベッセルビームの焦点深度及
びビーム径から決まる励起領域内に固体レーザ媒質の発
振モード領域が含まれるようにする。
【０００６】また、本発明の固体レーザ装置は、固体レ
ーザ媒質の端面に励起光源からの励起光を集光して入射
させる固体レーザ装置において、励起光を集光するため
の集光光学系にベッセルビーム光学系を用いている。こ
こで、固体レーザ媒質は、母材中にレーザ活性イオンを
含む固体レーザ材料の周囲に、レーザ活性イオンを含ま
ない母材のみの層を接合させた複合材料で構成されるこ
とが好ましい。
ーザ媒質の端面に励起光源からの励起光を集光して入射
させる固体レーザ装置において、励起光を集光するため
の集光光学系にベッセルビーム光学系を用いている。こ
こで、固体レーザ媒質は、母材中にレーザ活性イオンを
含む固体レーザ材料の周囲に、レーザ活性イオンを含ま
ない母材のみの層を接合させた複合材料で構成されるこ
とが好ましい。
【０００７】また、本発明の固体レーザ装置の構成とし
ては、固体レーザ媒質の一方の端面をレーザ共振器の高
反射鏡とする構成、あるいは高反射鏡と固体レーザ媒質
の間にベッセルビーム光学系を配置し、ベッセルビーム
光学系の中心部にレーザ光を低損失に透過する光路を設
け、励起光源とベッセルビーム光学系の間に励起光とレ
ーザ発振光とを合成するダイクロイックミラーを配置す
る構成が好ましい。
ては、固体レーザ媒質の一方の端面をレーザ共振器の高
反射鏡とする構成、あるいは高反射鏡と固体レーザ媒質
の間にベッセルビーム光学系を配置し、ベッセルビーム
光学系の中心部にレーザ光を低損失に透過する光路を設
け、励起光源とベッセルビーム光学系の間に励起光とレ
ーザ発振光とを合成するダイクロイックミラーを配置す
る構成が好ましい。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施形態の第１例
の構成を示す模式構成図である。半導体レーザ光源等の
励起光源３から出射される平行光１は、ベッセルビーム
光学系である円錐レンズ１０によりベッセルビーム２０
に変換され、Ｎｄ：ＹＡＧからなるＮｄイオンを含有す
る部分４１を中心部に有し、その回りをＹＡＧ結晶４２
で囲んで形成した複合材料で構成される固体レーザ媒質
４０に端面４６より集光照射される。
の構成を示す模式構成図である。半導体レーザ光源等の
励起光源３から出射される平行光１は、ベッセルビーム
光学系である円錐レンズ１０によりベッセルビーム２０
に変換され、Ｎｄ：ＹＡＧからなるＮｄイオンを含有す
る部分４１を中心部に有し、その回りをＹＡＧ結晶４２
で囲んで形成した複合材料で構成される固体レーザ媒質
４０に端面４６より集光照射される。
【０００９】ここで、前記ベッセルビーム光学系として
の円錐レンズ１０においては、図２に示すように、入射
平行励起光１は円錐レンズ１０でベッセルビーム２０に
変換される。このとき、入射ビーム径Ｒ、円錐レンズの
傾斜角をα、円錐レンズの先端から光路方向の距離を
Ｌ、ρを円錐レンズからの出射角とするとき、最大の焦
点深度は、 Ｌｍａｘ＝Ｒ〔ｔａｎ（π／２−ρ＋α）−ｔａｎα〕 で表される。
の円錐レンズ１０においては、図２に示すように、入射
平行励起光１は円錐レンズ１０でベッセルビーム２０に
変換される。このとき、入射ビーム径Ｒ、円錐レンズの
傾斜角をα、円錐レンズの先端から光路方向の距離を
Ｌ、ρを円錐レンズからの出射角とするとき、最大の焦
点深度は、 Ｌｍａｘ＝Ｒ〔ｔａｎ（π／２−ρ＋α）−ｔａｎα〕 で表される。
【００１０】このように、ベッセルビームでは、通常の
レンズで集光されるガウシャンビーム等に比べておおよ
そ３０倍程度の深い焦点深度を得ることができる。ま
た、図３（ａ），（ｂ）にベッセルビームの光軸方向と
半径方向の各代表的な強度分布を示すように、ベッセル
ビームでは光軸の進行方向には距離に比例して中心深度
は強まり、半径方向には中心部で強いビーム状の強度分
布が得られる。以上はベッセルビームの伝搬する空間が
吸収のない自由空間の場合であるが、励起光の吸収があ
る固体レーザ媒質の励起に用いる場合には、励起光の吸
収に伴う強度の減衰が起こるので、図３（ａ）に示す勾
配よりも緩い勾配で光軸方向の強度が変化する。しかし
ながら、ベッセルビームの長い焦点深度特性は維持され
るので、端面励起の構成においても、長い吸収長にわた
って固体レーザ媒質を励起することが可能となり、その
結果固体レーザ媒質にかかる単位長さ当たりの熱負荷を
低減し、熱レンズ効果等を小さい値に抑制することがで
きる。
レンズで集光されるガウシャンビーム等に比べておおよ
そ３０倍程度の深い焦点深度を得ることができる。ま
た、図３（ａ），（ｂ）にベッセルビームの光軸方向と
半径方向の各代表的な強度分布を示すように、ベッセル
ビームでは光軸の進行方向には距離に比例して中心深度
は強まり、半径方向には中心部で強いビーム状の強度分
布が得られる。以上はベッセルビームの伝搬する空間が
吸収のない自由空間の場合であるが、励起光の吸収があ
る固体レーザ媒質の励起に用いる場合には、励起光の吸
収に伴う強度の減衰が起こるので、図３（ａ）に示す勾
配よりも緩い勾配で光軸方向の強度が変化する。しかし
ながら、ベッセルビームの長い焦点深度特性は維持され
るので、端面励起の構成においても、長い吸収長にわた
って固体レーザ媒質を励起することが可能となり、その
結果固体レーザ媒質にかかる単位長さ当たりの熱負荷を
低減し、熱レンズ効果等を小さい値に抑制することがで
きる。
【００１１】前記固体レーザ媒質４０の端面４６には高
反射コート８０が形成されており、この高反射コート８
０により励起光を高透過、レーザ光を高反射することが
可能となる。また、固体レーザ媒質４０の他の一方の端
面はロッドの軸に対して４５度の角度でカットされ、こ
のカット面４５にレーザ光の高反射コートを施し、さら
にこの面はヒートシンク３２に接着されている。固体レ
ーザ媒質４０の側面にも第２のヒートシンク３０が接着
され、両方向からの放熱により冷却効率を高めることの
できる構成となっている。
反射コート８０が形成されており、この高反射コート８
０により励起光を高透過、レーザ光を高反射することが
可能となる。また、固体レーザ媒質４０の他の一方の端
面はロッドの軸に対して４５度の角度でカットされ、こ
のカット面４５にレーザ光の高反射コートを施し、さら
にこの面はヒートシンク３２に接着されている。固体レ
ーザ媒質４０の側面にも第２のヒートシンク３０が接着
され、両方向からの放熱により冷却効率を高めることの
できる構成となっている。
【００１２】カット面４５で反射されたレーザ光は、無
反射コートを施した固体レーザ媒質４０の平坦部から出
て出力鏡７０に向けられる。そして、前記コート８０と
出力鏡７０の間にレーザ共振器が構成され、その結果、
出力鏡７０から出力されるレーザ発振光６０を得ること
が可能となる。
反射コートを施した固体レーザ媒質４０の平坦部から出
て出力鏡７０に向けられる。そして、前記コート８０と
出力鏡７０の間にレーザ共振器が構成され、その結果、
出力鏡７０から出力されるレーザ発振光６０を得ること
が可能となる。
【００１３】ここで、入射ビーム径５ｍｍ、カット角４
１度の合成石英製の円錐レンズ１０からのベッセルビー
ムの焦点深度は自由空間で８ｍｍに相当するので、固体
レーザ媒質４０の長さは、屈折率を考慮して２０ｍｍと
した。また、固体レーザ媒質４０の内部でのレーザ発振
モード径は６００μｍに設計し、Ｎｄイオンを含有する
部分４１の直径は９００μｍとして、ベッセルビーム光
がレーザ発振モード領域内でのみ効率よく吸収される構
成をとっている。固体レーザ媒質４０の直径は１．５ｍ
ｍである。
１度の合成石英製の円錐レンズ１０からのベッセルビー
ムの焦点深度は自由空間で８ｍｍに相当するので、固体
レーザ媒質４０の長さは、屈折率を考慮して２０ｍｍと
した。また、固体レーザ媒質４０の内部でのレーザ発振
モード径は６００μｍに設計し、Ｎｄイオンを含有する
部分４１の直径は９００μｍとして、ベッセルビーム光
がレーザ発振モード領域内でのみ効率よく吸収される構
成をとっている。固体レーザ媒質４０の直径は１．５ｍ
ｍである。
【００１４】この構成を用い、励起入力を５０Ｗ程度と
した場合、出力鏡透過率を最適化することで、出力とし
て出力２０Ｗ程度を得ることが可能である。この構成で
は、固体レーザ媒質４０への熱負荷が長さ方向に分散さ
れるので、破壊のおそれがなく、またヒートシンク３２
の付近で励起光強度が極大化するので、通常のガウシャ
ンビームによる端面励起に比べ、強い発熱領域とヒート
シンクの距離を短縮することができて冷却能率を高める
ことができた。
した場合、出力鏡透過率を最適化することで、出力とし
て出力２０Ｗ程度を得ることが可能である。この構成で
は、固体レーザ媒質４０への熱負荷が長さ方向に分散さ
れるので、破壊のおそれがなく、またヒートシンク３２
の付近で励起光強度が極大化するので、通常のガウシャ
ンビームによる端面励起に比べ、強い発熱領域とヒート
シンクの距離を短縮することができて冷却能率を高める
ことができた。
【００１５】図４は本発明の第２の実施態様の模式構成
図であり、ここでは反射鏡７１をベッセルビーム光学系
の外側に配置している。固体レーザ媒質４０の端面４６
には励起光及びレーザ光に対して無反射コートを施し、
円錐レンズ１０の光軸中心部にレーザ光を低損失に透過
できる穴１００を設け、励起光１を透過しレーザ発振光
を反射するダイクロイックミラー９０でレーザ光路と励
起光光路を分離し、高反射鏡７１をレーザ共振器の一方
の反射鏡とする。この構成を用いれば、固体レーザ媒質
４０の端面４６を一方の反射鏡とする場合に比べ発熱に
よる熱レンズ効果が共振器モードに与える影響が小さ
く、レーザ発振特性の安定製が良くなる利点がある。ま
た、高反射鏡７１、及び出力鏡６０の曲率及び固体レー
ザ媒質４０との距離を励起ビームとのモードマッチが最
適となるよう選択する自由度が高い利点がある。
図であり、ここでは反射鏡７１をベッセルビーム光学系
の外側に配置している。固体レーザ媒質４０の端面４６
には励起光及びレーザ光に対して無反射コートを施し、
円錐レンズ１０の光軸中心部にレーザ光を低損失に透過
できる穴１００を設け、励起光１を透過しレーザ発振光
を反射するダイクロイックミラー９０でレーザ光路と励
起光光路を分離し、高反射鏡７１をレーザ共振器の一方
の反射鏡とする。この構成を用いれば、固体レーザ媒質
４０の端面４６を一方の反射鏡とする場合に比べ発熱に
よる熱レンズ効果が共振器モードに与える影響が小さ
く、レーザ発振特性の安定製が良くなる利点がある。ま
た、高反射鏡７１、及び出力鏡６０の曲率及び固体レー
ザ媒質４０との距離を励起ビームとのモードマッチが最
適となるよう選択する自由度が高い利点がある。
【００１６】図５は本発明の第３の実施態様の模式構成
図である。ここでは、固体レーザ媒質４０の両側から励
起ビームを導入できる構成としている。第１の励起光１
及び第２の励起光２はそれぞれベッセルビーム光学系を
構成する第１の円錐レンズ１０及び第２の円錐レンズ１
１を通り、固体レーザ媒質４０の各端面より入射する。
レーザ共振器の高反射鏡７１及び出力鏡７０は、第１の
ダイクロイックミラー９０及び第２のダイクロイックミ
ラー９１により励起光光路と分離されてレーザ共振器を
構成する。この構成によれば、固体レーザ媒質４０の長
さ方向の励起強度分布が一方向からのみの励起に比べ更
に均一化でき、単位体積当たりの励起密度を高めること
ができる利点がある。
図である。ここでは、固体レーザ媒質４０の両側から励
起ビームを導入できる構成としている。第１の励起光１
及び第２の励起光２はそれぞれベッセルビーム光学系を
構成する第１の円錐レンズ１０及び第２の円錐レンズ１
１を通り、固体レーザ媒質４０の各端面より入射する。
レーザ共振器の高反射鏡７１及び出力鏡７０は、第１の
ダイクロイックミラー９０及び第２のダイクロイックミ
ラー９１により励起光光路と分離されてレーザ共振器を
構成する。この構成によれば、固体レーザ媒質４０の長
さ方向の励起強度分布が一方向からのみの励起に比べ更
に均一化でき、単位体積当たりの励起密度を高めること
ができる利点がある。
【００１７】図６は本発明の第４の実施態様の模式構成
図であり、ここでは図１に示した発振器の共振器を取り
除いた増幅ユニットを複数個シリーズに結合して高出力
化を図ったものである。第１増幅ユニット１５０、第２
増幅ユニット１５１、第３増幅ユニット１５２はそれぞ
れ第１及び第２のカップリングレンズ２００，２０１で
結合され、高反射鏡７０と、出力鏡７１の間でレーザ共
振器を形成している。第１及び第２のカップリングレン
ズ２００，２０１は、レーザ共振モードの熱レンズ効果
の影響を補償するために用いる。この構成により、各増
幅ユニットに５０Ｗで、計１５０Ｗの励起入力を行い、
出力として６０Ｗを得ることが可能である。
図であり、ここでは図１に示した発振器の共振器を取り
除いた増幅ユニットを複数個シリーズに結合して高出力
化を図ったものである。第１増幅ユニット１５０、第２
増幅ユニット１５１、第３増幅ユニット１５２はそれぞ
れ第１及び第２のカップリングレンズ２００，２０１で
結合され、高反射鏡７０と、出力鏡７１の間でレーザ共
振器を形成している。第１及び第２のカップリングレン
ズ２００，２０１は、レーザ共振モードの熱レンズ効果
の影響を補償するために用いる。この構成により、各増
幅ユニットに５０Ｗで、計１５０Ｗの励起入力を行い、
出力として６０Ｗを得ることが可能である。
【００１８】なお、前記各実施態様では、ベッセルビー
ム光学系として円錐レンズを用いた例を示したが、円錐
レンズの代わりに２つの逆向き円錐レンズや、同心円ゾ
ーンプレート、同心円マスクと集光レンズの組み合わせ
たものを用いても本発明の効果を得ることができる。ま
た、励起光源には半導体レーザの他、半導体レーザアレ
イ、面発光半導体レーザ、ファイバ出力半導体レーザを
用いてもよいことは言うまでもない。
ム光学系として円錐レンズを用いた例を示したが、円錐
レンズの代わりに２つの逆向き円錐レンズや、同心円ゾ
ーンプレート、同心円マスクと集光レンズの組み合わせ
たものを用いても本発明の効果を得ることができる。ま
た、励起光源には半導体レーザの他、半導体レーザアレ
イ、面発光半導体レーザ、ファイバ出力半導体レーザを
用いてもよいことは言うまでもない。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、端面励起
型の固体レーザ装置の集光光学系としてベッセルビーム
を利用しているので、励起光の焦点深度が長くかつレー
ザ発振モードと励起モードのモードマッチングのよい固
体レーザ装置を実現することができる。これにより、励
起に対するレーザ出力の効率が高く、かつ低次モードの
高品質なレーザ出力の固体レーザ装置を得ることができ
る。
型の固体レーザ装置の集光光学系としてベッセルビーム
を利用しているので、励起光の焦点深度が長くかつレー
ザ発振モードと励起モードのモードマッチングのよい固
体レーザ装置を実現することができる。これにより、励
起に対するレーザ出力の効率が高く、かつ低次モードの
高品質なレーザ出力の固体レーザ装置を得ることができ
る。
【図１】本発明の第１の実施態様の模式構成図である。
【図２】ベッセルビームの発生方法を説明するための模
式構成図である。
式構成図である。
【図３】ベッセルビームの光軸方向と半径方向の各強度
分布を示す図である。
分布を示す図である。
【図４】本発明の第２の実施態様の模式構成図である。
【図５】本発明の第３の実施態様の模式構成図である。
【図６】本発明の第４の実施態様の模式構成図である。
３ 励起光光源 １０ 円錐レンズ ２０ ベッセルビーム ３０ 第２のヒートシンク ３２ ヒートシンク ４０ 固体レーザ媒質 ４１ レーザイオンを含有する部分 ４２ ＹＡＧ結晶 ４５ カット面 ４６ 端面（入射面） ７０ 出力鏡 ８０ 高反射コート ９０ ダイクロイックミラー
Claims (7)
- 【請求項１】 固体レーザの端面励起方法において、励
起光をベッセルビームとし、このベッセルビームの焦点
深度及びビーム径から決まる励起領域内に固体レーザ媒
質の発振モード領域が含まれることを特徴とする固体レ
ーザ励起方法。 - 【請求項２】 固体レーザ媒質と、その両側に配置され
る高反射鏡と出力鏡でレーザ共振器を構成し、前記固体
レーザ媒質の端面に励起光源からの励起光を集光して入
射させる固体レーザ装置において、前記励起光を集光す
るための集光光学系にベッセルビーム光学系を用いたこ
とを特徴とする固体レーザ装置。 - 【請求項３】 固体レーザ媒質は、母材中にレーザ活性
イオンを含む固体レーザ材料の周囲に、レーザ活性イオ
ンを含まない母材のみの層を接合させた複合材料で構成
される請求項２の固体レーザ装置。 - 【請求項４】 固体レーザ媒質の一方の端面をレーザ共
振器の高反射鏡とする請求項３の固体レーザ装置。 - 【請求項５】 高反射鏡と固体レーザ媒質の間にベッセ
ルビーム光学系を配置し、ベッセルビーム光学系の中心
部にレーザ光を低損失に透過する光路を設け、励起光源
とベッセルビーム光学系の間に励起光とレーザ発振光と
を合成するダイクロイックミラーを配置してなる請求項
３の固体レーザ装置。 - 【請求項６】 固体レーザ媒質のベッセルビーム光学系
と反対側の端面を中心軸に対して斜めに形成し、この端
面に高反射コートを施すとともに、ヒートシンクを接着
させてなる請求項４または５の固体レーザ装置。 - 【請求項７】 ベッセルビーム光学系は、円錐レンズ、
２つの逆向き円錐レンズ、同心円ゾーンプレート、同心
円マスクと集光レンズのいずれかで構成される請求項２
ないし６のいずれかの固体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20135995A JP2725648B2 (ja) | 1995-07-15 | 1995-07-15 | 固体レーザ励起方法及び固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20135995A JP2725648B2 (ja) | 1995-07-15 | 1995-07-15 | 固体レーザ励起方法及び固体レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0936462A JPH0936462A (ja) | 1997-02-07 |
| JP2725648B2 true JP2725648B2 (ja) | 1998-03-11 |
Family
ID=16439749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20135995A Expired - Fee Related JP2725648B2 (ja) | 1995-07-15 | 1995-07-15 | 固体レーザ励起方法及び固体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2725648B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5019931B2 (ja) * | 2007-04-05 | 2012-09-05 | 川崎重工業株式会社 | 多点出力レーザ装置 |
| JP2008277705A (ja) * | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Megaopto Co Ltd | 再生増幅器及び超短パルスレーザ |
| JP2010034345A (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-12 | Omron Corp | 固体レーザ装置 |
| JP5170439B2 (ja) * | 2008-12-02 | 2013-03-27 | オムロン株式会社 | 固体レーザ発振器 |
| DE102010042453A1 (de) * | 2010-10-14 | 2012-04-19 | Robert Bosch Gmbh | Laserzündeinrichtung für eine Brennkraftmaschine und Betriebsverfahren hierfür |
| CN105824164B (zh) * | 2016-04-18 | 2018-08-14 | 华北电力大学（保定） | 一种基于贝塞尔啁啾光栅结构的全光波长转换器的设计方法 |
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1995
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