JP2725502B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JP2725502B2 JP2725502B2 JP29189391A JP29189391A JP2725502B2 JP 2725502 B2 JP2725502 B2 JP 2725502B2 JP 29189391 A JP29189391 A JP 29189391A JP 29189391 A JP29189391 A JP 29189391A JP 2725502 B2 JP2725502 B2 JP 2725502B2
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- Japan
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- magnetic
- magnetic recording
- film
- medium
- coercive force
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Description
の磁気記録媒体に関する。
ている長手磁気記録方式よりもさらに高密度化が可能な
高密度記録技術として垂直磁気記録方式が提案され、盛
んに研究開発が進められている。この記録方式の媒体に
は、膜面に対して垂直方向に磁気異方性を有するCoC
rおよびCoCrTa合金等の磁性膜が用いられ、スパ
ッタあるいは蒸着などにより形成されている(日本応用
磁気学会誌、Vol.8 ,No.1,1984,17p )。ここで、高
出力および高記録密度の特性を得るためには、媒体の磁
気特性で高い垂直磁気異方性を有すると共に、できるだ
け垂直方向の保磁力を高める必要がある。
磁気記録媒体のように垂直方向の保磁力が膜厚方向にほ
ぼ一様な場合、磁気記録媒体の下層部ではヘッドの記録
磁界が低くなるため十分記録できない。従って、再生出
力および記録密度などを改善するために磁気記録媒体の
下層部を低保磁力にする必要がある。本発明の目的は、
磁気記録媒体の下層部分を低保磁力とすることにより再
生出力および記録密度の改善された磁気記録媒体を提供
することにある。
された記録層が低保磁力の磁性層と高保磁力の垂直磁化
膜とからなる磁気記録媒体において、低保磁力の磁性層
がCoCrTa合金膜に第4元素としてMoを含むこと
を特徴とする磁気記録媒体である。
面に対して垂直方向にc軸が良好に配向されるので、垂
直異方性磁界および垂直保磁力が高いが、第4元素とし
てMoを含有させることにより、低保磁力層を得ること
ができる。
図1は本発明による磁気記録媒体の一例の断面図で、基
板1上に、CoCrTa+Mo合金膜2およびCoCr
Ta合金膜3が順次形成されている。本実施例ではRF
マグネトロン方式のスパッタ装置を用いて上記の磁気記
録媒体を作製した。タ―ゲットは低保磁力層用として8
0Co−17Cr−3Ta(at%)合金とMoチップ
を組み合わせた複合タ―ゲット、高保磁力の垂直磁化膜
用として80Co−17Cr−3Ta(at%)合金タ
―ゲット、および保護膜用としてカ―ボンタ―ゲットを
それぞれ用いた。また、基板はNiP/Al基板を用い
た。表1に成膜条件の詳細を示す。
くMoチップの個数によりMoの添加量を変化させ、種
々のCoCrTa+Mo膜(500オングストローム)
を形成し、VSMを用いて磁気特性を測定した。図2
に、Moの添加量に対する保磁力の変化を示す。なお、
組成分析はEPMAを用いて行った。図2より、Mo添
加量が3.5at%以上で低保磁力となることがわか
る。
述べる。ここで、低保磁力層(500オングストロ―
ム)としてMo4at%添加のCoCrTaMo膜を用
い、この低保磁力層上にCoCrTa(1500オング
ストロ―ム)を形成し、最後にC保護膜(300オング
ストロ―ム)を形成し、本発明の媒体を作製した。さら
に、比較のため同じ基板で低保磁力層なしのCoCrT
a合金膜(2000オングストロ―ム)のみの従来媒体
も作製した。このようにして形成した媒体の磁気特性を
調べた結果を表2に示す。
て、薄膜磁気ヘッドにより、R/W特性を比較した結果
を図3に示す。これから本発明の媒体は従来媒体に比べ
て再生出力、記録密度が改善されることがわかった。な
お、本実施例では高保磁力層としてCoCrTaを用い
たが、これにさらに別の元素を添加したものであっても
よく、また、CoNi、CoCrW等であってもよい。
なり、再生出力、記録密度等が改善された。
rTa膜へのMo添加量依存性を示した図である。
比較した図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 基板上に形成された記録層が低保磁力の
磁性層と高保磁力の垂直磁化膜とからなる磁気記録媒体
において、低保磁力の磁性層がCoCrTa合金膜に第
4元素としてMoを含むことを特徴とする磁気記録媒
体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29189391A JP2725502B2 (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29189391A JP2725502B2 (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05109041A JPH05109041A (ja) | 1993-04-30 |
JP2725502B2 true JP2725502B2 (ja) | 1998-03-11 |
Family
ID=17774820
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29189391A Expired - Lifetime JP2725502B2 (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2725502B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5763071A (en) * | 1996-03-11 | 1998-06-09 | Seagate Technology, Inc. | High areal density magnetic recording medium with dual magnetic layers |
-
1991
- 1991-10-14 JP JP29189391A patent/JP2725502B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05109041A (ja) | 1993-04-30 |
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