JP2701819B2 - Wafer transfer device and transfer control method - Google Patents
Wafer transfer device and transfer control methodInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板（以下
「ウエハ」という）を次工程に搬送する搬送装置と搬送
制御方式に関し、特に半導体ウエハを効率的に搬送する
装置及び方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer apparatus and a transfer control method for transferring a semiconductor substrate (hereinafter, referred to as "wafer") to the next step, and more particularly to an apparatus and a method for efficiently transferring a semiconductor wafer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ウエハ上に集積回路素子を形成するにあ
たっては一連の製造工程が適用される。これらの工程と
工程の間ではウエハを移動させる必要があり、これを機
械的に自動で行うのが搬送装置である。2. Description of the Related Art A series of manufacturing steps are applied in forming integrated circuit elements on a wafer. It is necessary to move the wafer between these steps, and the transfer device automatically and mechanically performs the movement.
【０００３】図６は半導体製造工場の代表的なクリーン
ルーム及び搬送装置を示す。図６のクリーンルームはい
くつもの小部屋が設けられている。このように小部屋を
いくつも設ける構造を一般的にベイ構造という。各小部
屋（以下「ベイ」と呼ぶ）には、各工程が割り振られ、
したがって各工程を実行するための処理装置が設置され
ている。処理装置はクリーンルームの専有面積を最小限
にするためオペレーション部のみクリーンルームに面す
るように壁に埋め込まれている。このようなクリーンル
ームにおいては、一連の製造工程に沿って製品をベイ１
９間で移動させる必要がある。FIG. 6 shows a typical clean room and a transfer device in a semiconductor manufacturing plant. The clean room in FIG. 6 includes a number of small rooms. Such a structure in which a number of small rooms are provided is generally called a bay structure. Each process is allocated to each small room (hereinafter referred to as “bay”),
Therefore, a processing device for performing each step is provided. The processing unit is embedded in the wall so that only the operation unit faces the clean room to minimize the area occupied by the clean room. In such a clean room, products are placed in bay 1 along a series of manufacturing processes.
Need to move between 9
【０００４】ベイ１９の入り口には自動棚２０が設置さ
れている。自動棚２０は、ベイ１９において処理される
ウエハを収納した箱（以下「キャリア」と呼ぶ）２１を
自動で管理しかつ保管するものである。An automatic shelf 20 is installed at the entrance of the bay 19. The automatic shelf 20 automatically manages and stores a box (hereinafter, referred to as a “carrier”) 21 containing wafers to be processed in the bay 19.
【０００５】また、自動棚２０に沿って天井を周回する
搬送軌道６が設置されている。搬送軌道６上にはキャリ
ア２１を積載し走行する台車２がある。台車２は自動棚
２０間でキャリア２１を搬送するためのものである。[0005] Further, a transport track 6 is provided to go around the ceiling along the automatic shelf 20. The carriage 2 on which the carrier 21 is loaded and travels is provided on the transport track 6. The cart 2 is for transporting the carrier 21 between the automatic shelves 20.
【０００６】図７は自動棚を表している。自動棚２０に
は、棚に保管されたキャリア２１を搬送軌道６上を走行
する台車２へ積み卸しするための回転移載機２２が設置
されている。回転移載機２２は通路側および自動棚側の
両方に移載フォークをもっており動作は両フォークとも
に同じ動きを行う。従って台車２から自動棚２０への移
載と、自動棚２０から台車２への移載とを同時に行うこ
とができる。FIG. 7 shows an automatic shelf. The automatic shelf 20 is provided with a rotary transfer machine 22 for loading and unloading the carrier 21 stored on the shelf to and from the carriage 2 traveling on the transport track 6. The transfer machine 22 has transfer forks on both the passage side and the automatic shelf side, and the operation of both forks is the same. Therefore, the transfer from the cart 2 to the automatic shelf 20 and the transfer from the automatic shelf 20 to the cart 2 can be performed simultaneously.
【０００７】回転移載機２２によって取り込まれたキャ
リア２１は移載ロボット２３により自動棚２０内に保管
される。また、自動棚２０には作業者がキャリア２１を
入庫または出庫するための入出庫口２４が設けられてい
る。[0007] The carrier 21 taken in by the rotary transfer machine 22 is stored in the automatic shelf 20 by the transfer robot 23. The automatic shelf 20 is provided with a loading / unloading port 24 for a worker to enter or leave the carrier 21.
【０００８】一般的に搬送台車数を増やすと搬送できる
ロット数が向上するが、ある台数以上を越えると搬送能
力の向上を横這いとなることが知られている。また、軌
道上での搬送台車の入離線はシステムを停止させる必要
があることと、離線させた搬送台車の保管場所や入線時
の作業の大変さから、搬送台車数の設定は前述の臨界点
以内で必要とされる最大搬送流量をまかなう台数を設定
する。In general, it is known that the number of lots that can be transported increases as the number of transport vehicles increases, but it is known that when the number of transport vehicles exceeds a certain number, the improvement in transport capacity is leveled off. Also, because the system needs to be stopped when the carriages enter and leave the track, and the storage location of the detached carriages and the difficulty of the work at the time of entry, the number of carriages should be set to the critical point described above. Set the number of units that meet the required maximum transfer flow rate within the range.
【０００９】図８は軌道上の台車を表したものである。
軌道上に自動棚２０への移載のための停止ポイント２５
（以下「ステーション」という）を設け、このステーシ
ョンとステーションの間２７（以下「ゾーン」という）
に存在または、走行できる台車を一台とすることにより
台車と台車が衝突することなく走行できるよう制御して
いる。FIG. 8 shows a truck on a track.
Stop point 25 for transfer to automatic shelf 20 on track
(Hereinafter referred to as “station”), and between the stations 27 (hereinafter referred to as “zone”).
The vehicle is controlled so that the vehicle can travel without collision with the vehicle by using only one vehicle that can exist or travel.
【００１０】台車を２０台以上も投入する大規模な装置
や自動棚の数よりも台車数が多くなる場合はさらに図６
のように自動棚２０と自動棚の間にダミーのステーショ
ン２６を設ける必要がある。FIG. 6 shows a case where the number of trolleys is larger than that of a large-scale apparatus for inserting 20 or more trolleys or the number of automatic shelves.
It is necessary to provide a dummy station 26 between the automatic shelves 20 as described above.
【００１１】各台車は搭載したキャリア２１の次工程に
該当する自動棚が割り付けられる。搬送先が割り付いた
台車２は搬送先に向かって走行を行うが、図８のように
先行の台車２が前のゾーン２７に存在する場合、先行の
台車２がゾーン２７から移動するまで後続の台車４は進
入することができないため、先頭の台車２から順々に台
車が縦列状態となる。An automatic shelf corresponding to the next process of the mounted carrier 21 is assigned to each carriage. The trolley 2 to which the transfer destination is assigned travels toward the transfer destination. However, when the preceding trolley 2 exists in the preceding zone 27 as shown in FIG. Since the truck 4 cannot enter, the trucks are sequentially arranged in a line from the leading truck 2.
【００１２】[0012]
【発明が解決しようとする課題】この従来の搬送装置で
は、搬送軌道が１本であり、また分岐していないため、
搬送ロットの数が低下し空台車が増えると、ウエハを搬
送している搬送台車即ち実車の前に空台車が存在するこ
とになる。したがって先行の空台車がゾーンを脱出する
までの間、後続の実搬送台車は余儀なく待機しなければ
ならないため、搬送待ち時間が発生していた。In this conventional transfer apparatus, the transfer path is one and the path is not branched.
When the number of transfer lots decreases and the number of empty trucks increases, the empty trucks exist in front of the transport truck that transports wafers, that is, the actual vehicle. Therefore, until the preceding empty truck escapes from the zone, the succeeding actual transport truck must necessarily wait, so that a transport waiting time occurs.
【００１３】また、搬送ロット数が増加すると、搬送台
車の実車率が高くなり、空台車の率が減少するため搬送
を待たされるロットが発生し、搬送待ち時間が発生して
いた。Further, when the number of transported lots increases, the actual rate of transported vehicles increases, and the rate of empty vehicles decreases, so that some lots are waiting to be transported, resulting in a transport waiting time.
【００１４】それ故に本発明の課題は、後続の搬送台車
の待ち時間の削減と、搬送ロット流量が増加したときに
空搬送台車の減少により発生する搬送ロットの待ち時間
を削減することにある。SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to reduce the waiting time of a succeeding carrier and to reduce the waiting time of a carrier lot caused by a decrease in the number of empty carriers when the carrying lot flow rate increases.
【００１５】[0015]
【課題を解決するための手段】本発明によれば、半導体
基板を次工程へ搬送するウエハ搬送装置において、搬送
軌道上の個別台車の実車状態を監視する監視手段と、実
車率が低下したときには前記個別台車を複数台互いに連
結して１台の連結台車を作る連結手段と、実車率が高く
なったときには前記連結台車を複数台の個別台車に分離
させる分離手段と、前記連結台車及び前記個別台車をい
ずれも１台の台車としてその搬送を制御する制御手段と
を備えたことを特徴とするウエハ搬送装置が得られる。According to the present invention, in a wafer transfer apparatus for transferring a semiconductor substrate to a next step, a monitoring means for monitoring an actual vehicle state of an individual carriage on a transfer track is provided. Connecting means for connecting the plurality of individual trolleys to each other to form one connecting trolley; separating means for separating the connecting trolley into a plurality of individual trolleys when the actual vehicle rate increases; There is provided a wafer transfer apparatus characterized in that each of the carts is provided as a single cart and includes control means for controlling the transfer thereof.
【００１６】また本発明によれば、半導体基板の次工程
への搬送を制御する搬送制御方式において、搬送軌道上
の個別台車の実車状態を監視し、実車率が低下したとき
には前記個別台車を複数台互いに連結して１台の連結台
車となして搬送を制御し、実車率が高くなったときには
前記連結台車を分離して複数台の個別台車として搬送を
制御することを特徴とする搬送制御方式が得られる。Further, according to the present invention, in a transfer control system for controlling transfer of a semiconductor substrate to a next step, the actual vehicle state of an individual truck on a transport track is monitored, and when the actual vehicle rate decreases, the individual trucks are used in plurality. A transfer control system wherein the transfer is controlled by connecting the tables to each other to form a single connection truck, and when the actual vehicle rate increases, the connection truck is separated and the transfer is controlled as a plurality of individual vehicles. Is obtained.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の第１の形態
によるウエハ搬送装置の要部を示している。このウエハ
搬送装置において、搬送軌道６上には複数台の個別台車
即ち搬送台車２，４が備えられている。各搬送台車２，
４はその先端部および後端部に連結手段としての電磁石
１が設置されている。前後に互いに隣接した搬送台車
２，４は電磁石１の磁気吸着力により互いに連結され得
る。電磁石１への通電は、図２に示すように搬送台車
２，４に搭載したバッテリー３によって行われる。連結
の際には衝突が発生するが、電磁石１をショックアブソ
ーバー５の先端即ち可動端に取り付けることにより、衝
突時の衝撃は吸収される。さらに搬送軌道６には、搬送
台車２，４を連結できる位置に停止させることができる
よう、リニアモーター７と電磁ブレーキ８が設置されて
いる。FIG. 1 shows a main part of a wafer transfer apparatus according to a first embodiment of the present invention. In this wafer transfer apparatus, a plurality of individual trucks, that is, transfer trucks 2 and 4 are provided on the transfer track 6. Each carriage 2,
Reference numeral 4 denotes an electromagnet 1 as a connecting means provided at a front end and a rear end. The transport carriages 2 and 4 adjacent to each other before and after can be connected to each other by the magnetic attraction force of the electromagnet 1. The energization of the electromagnet 1 is performed by a battery 3 mounted on the carriages 2 and 4 as shown in FIG. A collision occurs at the time of connection, but the impact at the time of collision is absorbed by attaching the electromagnet 1 to the tip of the shock absorber 5, that is, the movable end. Further, a linear motor 7 and an electromagnetic brake 8 are installed on the transport track 6 so that the transport vehicles 2 and 4 can be stopped at a position where they can be connected.
【００１８】まず搬送台車２，４を互いに連結する場合
を例にとって説明する。先行する搬送台車２は、実車状
態を監視している制御装置９より連結指示をうけると、
図２に表わすように、搬送台車２に取り付けられている
２次導体１２にリニアモーター７により逆推力を作用さ
せ、搬送台車２を減速する。その上で、連結ポイントに
設けられている電磁ブレーキ８による制動力が、搬送台
車２に取り付けられている鉄板１０に作用し、搬送台車
２をリニアモーター７上に停止させる。First, a description will be given of an example in which the carriages 2 and 4 are connected to each other. When receiving the connection instruction from the control device 9 monitoring the actual vehicle state,
As shown in FIG. 2, the linear motor 7 applies a reverse thrust to the secondary conductor 12 attached to the carrier 2 to decelerate the carrier 2. Then, the braking force of the electromagnetic brake 8 provided at the connection point acts on the iron plate 10 attached to the carrier 2 to stop the carrier 2 on the linear motor 7.
【００１９】次に後続の搬送台車４は、連結指示をうけ
るとリニアモーター７により逆推力が作用し、後続の搬
送台車４が減速し、連結ポイント上で搬送軌道６に設け
られている電磁ブレーキ８により搬送台車４が停止す
る。両搬送台車２，４が連結可能であることを制御装置
９が認識すると、両搬送台車２，４に設けられた電磁石
１を励磁することにより連結が完了する。Next, upon receiving a connection instruction, a reverse thrust acts on the subsequent carriage 4 by the linear motor 7 to decelerate the subsequent carriage 4, and the electromagnetic brake provided on the transfer track 6 on the connection point. The carriage 4 is stopped by 8. When the control device 9 recognizes that the two carriages 2 and 4 can be connected, the connection is completed by exciting the electromagnet 1 provided on the two carriages 2 and 4.
【００２０】次に搬送台車２，４を互いに分離する場合
について説明する。制御装置９からの指示により、電磁
石１により連結されている先頭の搬送台車２を連結ポイ
ントへ移動させる。搬送軌道９に設けられたリニアモー
ター７と電磁ブレーキ８により、連結した搬送台車２と
搬送台車４を停止させる。両搬送台車２，４の電磁石１
への給電を切る。先行の搬送台車２が走り出すことによ
り分離が完了する。制御装置９はこれ以降、搬送台車
２，４をそれぞれ別の搬送台車としてその走行を制御す
る。Next, a case where the transport vehicles 2 and 4 are separated from each other will be described. In accordance with an instruction from the control device 9, the leading carriage 2 connected by the electromagnet 1 is moved to the connection point. The connected transport vehicle 2 and transport vehicle 4 are stopped by the linear motor 7 and the electromagnetic brake 8 provided on the transport track 9. Electromagnets 1 of both carriages 2 and 4
Turn off the power to the. The separation is completed when the preceding carrier 2 starts running. Thereafter, the control device 9 controls the traveling of the transport vehicles 2 and 4 as separate transport vehicles.
【００２１】図３は本発明の実施の第２の形態によるウ
エハ搬送装置において使用される搬送台車２を示してい
る。この搬送台車２で代表するように、各搬送台車は、
後端部に後続車を連結するための後続車連結機１７が、
また前端部に先行車に連結するための先行車連結機１８
が設けられている。FIG. 3 shows a carrier 2 used in a wafer carrier according to a second embodiment of the present invention. As represented by the transport vehicle 2, each transport vehicle is
The following vehicle connecting machine 17 for connecting the following vehicle to the rear end is
Also, a preceding vehicle connecting machine 18 for connecting to a preceding vehicle at the front end.
Is provided.
【００２２】後続車連結機１７は図４に示すように、モ
ーター１３を有している。モーター１３の回転軸は第１
ステー１４と第２ステー１５に連結している。第１ステ
ー１４はモーター１３の回転軸に固定されており、第２
ステー１５は第１ステー１４と連結ピン１１の両方に接
続されている。As shown in FIG. 4, the succeeding vehicle coupler 17 has a motor 13. The rotation axis of the motor 13 is the first
The stay 14 is connected to the second stay 15. The first stay 14 is fixed to the rotation shaft of the motor 13,
The stay 15 is connected to both the first stay 14 and the connecting pin 11.
【００２３】連結機１７のモーター１３が回転すると、
連結ピン１１に連結している第１ステー１４と第２ステ
ー１５がクランク動作し、連結ピン１１を上下に動作さ
せる。連結するときはピン１１を上昇させ、最高部にて
停止する。また、分離するときはピンを下降させ最下部
にて停止させる。When the motor 13 of the coupling machine 17 rotates,
The first stay 14 and the second stay 15 connected to the connecting pin 11 perform a crank operation to move the connecting pin 11 up and down. When connecting, the pin 11 is raised and stopped at the highest point. When separating, the pin is lowered and stopped at the lowermost position.
【００２４】一方、先行車連結機１８は図５に示すよう
に上下に貫通した穴１６を有している。先行する搬送台
車の後続車連結機１７を駆動してその連結ピン１１を上
昇したとき、この連結ピン１１が後続車の先端部連結機
１８の穴１６に挿通され、これにより先行する搬送台車
と後続の搬送台車とを連結する。連結の際には衝突が発
生するが、後続車連結機１７及びび先行車連結機１８を
夫々ショックアブソーバー５を介して取り付けることに
より、衝突時の衝撃は吸収される。On the other hand, as shown in FIG. 5, the preceding vehicle coupling device 18 has a hole 16 penetrating vertically. When the connecting pin 11 is lifted by driving the succeeding vehicle connecting machine 17 of the preceding transport vehicle, the connecting pin 11 is inserted into the hole 16 of the leading end connecting machine 18 of the following vehicle, whereby the preceding transport vehicle and the preceding transport vehicle are connected. Connects to the subsequent carrier. A collision occurs at the time of connection, but the impact at the time of the collision is absorbed by attaching the succeeding vehicle connecting machine 17 and the preceding vehicle connecting machine 18 via the shock absorbers 5, respectively.
【００２５】次に制御装置９の動作を説明する。Next, the operation of the control device 9 will be described.
【００２６】制御装置９は常時に入線されている搬送台
車の実車状態を監視しており、搬送要求が発生したとき
に空き台車を検索し割り当てる。実車台車がなければ、
連結・分離ゾーンにおいて停止している台車に上述した
連結指示を与える。また、搬送要求が発生したときに空
き台車を検索し、空き台車がなければ連結・分離ゾーン
において停止している台車に上述した分離指示を与え
る。即ち、搬送軌道上の個別台車の実車状態を監視し、
実車率が低下したときには個別台車を複数台互いに連結
して１台の連結台車となして搬送を制御し、実車率が高
くなったときには連結台車を分離して複数台の個別台車
として搬送を制御する。The control device 9 constantly monitors the actual state of the incoming carriages, and searches for and allocates empty carriages when a carriage request is issued. If there is no actual bogie,
The above-described connection instruction is given to the truck stopped in the connection / separation zone. Further, when a transport request is generated, an empty truck is searched, and if there is no empty truck, the above-described separation instruction is given to the truck stopped in the connection / separation zone. That is, the actual state of the individual truck on the transport track is monitored,
When the actual vehicle rate decreases, a plurality of individual trolleys are connected to each other to form a single connected trolley, and transport is controlled. When the actual vehicle rate increases, the connected trolleys are separated to control transport as multiple individual trolleys. I do.
【００２７】上述では搬送台車を２台連結する場合を例
にとって説明したが、３台以上の連結も勿論可能であ
る。In the above description, a case has been described as an example where two transport vehicles are connected, but three or more transport vehicles can of course be connected.
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
後続の搬送台車の待ち時間の削減と、搬送ロット流量が
増加したときに空搬送台車の減少により発生する搬送ロ
ットの待ち時間を削減することが可能になる。As described above, according to the present invention,
This makes it possible to reduce the waiting time of the succeeding transport vehicle and reduce the wait time of the transport lot caused by the decrease of the empty transport vehicle when the transport lot flow rate increases.
【図１】本発明の実施の第１の形態によるウエハ搬送装
置の一部を示す説明図。FIG. 1 is an explanatory view showing a part of a wafer transfer device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】図１のウエハ搬送装置の要部の拡大側面概略
図。FIG. 2 is an enlarged schematic side view of a main part of the wafer transfer device of FIG. 1;
【図３】本発明の実施の第２の形態によるウエハ搬送装
置に使用された搬送台車の側面図。FIG. 3 is a side view of a transfer cart used in a wafer transfer apparatus according to a second embodiment of the present invention.
【図４】図３の搬送台車に備えた後続車連結機部分の斜
視図。FIG. 4 is a perspective view of a following-vehicle coupling device provided in the transport vehicle shown in FIG. 3;
【図５】図３の搬送台車に備えた先行車連結機部分の斜
視図。FIG. 5 is a perspective view of a preceding-vehicle coupling device part provided in the transport vehicle of FIG. 3;
【図６】半導体工場の代表的なクリーンルームを搬送装
置と共に示した説明用斜視図。FIG. 6 is an explanatory perspective view showing a typical clean room of a semiconductor factory together with a transfer device.
【図７】従来の搬送装置の自動棚。FIG. 7 is an automatic shelf of a conventional transport device.
【図８】従来の搬送装置の説明図。FIG. 8 is an explanatory view of a conventional transport device.
１ 電磁石 ２ 搬送台車 ３ バッテリー ４ 搬送台車 ５ ショックアブソーバー ６ 搬送軌道 ７ リニアモーター ８ 電磁ブレーキ ９ 制御装置 １０ 鉄板 １１ ピン １２ ２次導体 １３ モーター １４ 第１ステー １５ 第２ステー １６ 穴 １７ 後続車連結機 １８ 先行車連結機 １９ ベイ ２０ 自動棚 ２１ キャリア ２２ 回転移載機 ２３ 移載ロボット ２４ 入出庫口 ２５ 停止ポイント ２６ ステーション ２７ ゾーン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electromagnet 2 Carriage cart 3 Battery 4 Carriage cart 5 Shock absorber 6 Transportation track 7 Linear motor 8 Electromagnetic brake 9 Control device 10 Iron plate 11 Pin 12 Secondary conductor 13 Motor 14 1st stay 15 2nd stay 16 Hole 17 Subsequent vehicle coupling machine Reference Signs List 18 preceding vehicle coupling machine 19 bay 20 automatic shelf 21 carrier 22 transfer machine 23 transfer robot 24 entrance / exit port 25 stop point 26 station 27 zone
Claims (5)
送装置において、搬送軌道上の個別台車の実車状態を監
視する監視手段と、実車率が低下したときには前記個別
台車を複数台互いに連結して１台の連結台車を作る連結
手段と、実車率が高くなったときには前記連結台車を複
数台の個別台車に分離させる分離手段と、前記連結台車
及び前記個別台車をいずれも１台の台車としてその搬送
を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするウエハ
搬送装置。In a wafer transfer apparatus for transferring a semiconductor substrate to a next step, a monitoring means for monitoring an actual vehicle state of an individual truck on a transport track, and a plurality of said individual trucks are connected to each other when an actual vehicle ratio decreases. Connecting means for forming one connecting truck, separating means for separating the connecting truck into a plurality of individual bogies when the actual vehicle ratio is high, and connecting the connecting bogie and the individual bogie as one bogie. A wafer transfer device, comprising: control means for controlling transfer.
た電磁石を有し、前記電磁石による磁気的吸着力により
前記個別台車を複数台互いに連結するものである請求項
１記載のウエハ搬送装置。2. The wafer transfer apparatus according to claim 1, wherein said connecting means has an electromagnet attached to said individual carriage, and connects said plurality of individual carriages to each other by a magnetic attraction force of said electromagnet.
た係合機構を有し、前記係合機構による係合により前記
個別台車を複数台互いに連結するものである請求項１記
載のウエハ搬送装置。3. The wafer transfer according to claim 1, wherein said connecting means has an engagement mechanism added to said individual carriage, and connects said plurality of individual carriages to each other by engagement by said engagement mechanism. apparatus.
突時の衝撃を吸収するショックアブソーバーを備えてい
る請求項１〜３にいずれかに記載のウエハ搬送装置。4. The wafer transfer apparatus according to claim 1, wherein said individual carriage has a shock absorber for absorbing an impact at the time of collision with an adjacent individual carriage.
搬送制御方式において、搬送軌道上の個別台車の実車状
態を監視し、実車率が低下したときには前記個別台車を
複数台互いに連結して１台の連結台車となして搬送を制
御し、実車率が高くなったときには前記連結台車を分離
して複数台の個別台車として搬送を制御することを特徴
とする搬送制御方式。5. A transfer control method for controlling transfer of a semiconductor substrate to a next step, wherein the actual state of individual vehicles on a transfer track is monitored, and when the actual vehicle rate decreases, the plurality of individual vehicles are connected to each other. A transport control method, wherein the transport is controlled as a single connected truck, and when the actual vehicle rate is increased, the connected truck is separated to control the transport as a plurality of individual trucks.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP7321481A JP2701819B2 (en) | 1995-12-11 | 1995-12-11 | Wafer transfer device and transfer control method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7321481A JP2701819B2 (en) | 1995-12-11 | 1995-12-11 | Wafer transfer device and transfer control method |
Publications (2)
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|---|---|
| JPH09162260A JPH09162260A (en) | 1997-06-20 |
| JP2701819B2 true JP2701819B2 (en) | 1998-01-21 |
Family
ID=18133051
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7321481A Expired - Lifetime JP2701819B2 (en) | 1995-12-11 | 1995-12-11 | Wafer transfer device and transfer control method |
Country Status (1)
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-
1995
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Also Published As
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| JPH09162260A (en) | 1997-06-20 |
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