JP2694294B2 - Mass flow meter and mass flow controller - Google Patents
Mass flow meter and mass flow controllerInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、マスフローメータおよびマスフローコント
ローラに関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a mass flow meter and a mass flow controller.
例えば半導体の製造に用いられる各種のガスを半導体
製造装置に供給する場合、それらの供給流路にマスフロ
ーコントローラをそれぞれ設け、これによってガス流量
をそれぞれ調節している。For example, when supplying various gases used for semiconductor manufacturing to a semiconductor manufacturing apparatus, a mass flow controller is provided in each of the supply channels, and the gas flow rate is adjusted by each.
第５図は一般的なマスフローコントローラ50の制御系
統の構成を概略的に示し、この図において、51は流路52
を流れるガスＧの流量を測定する流量測定部で、測定流
路53に設けられた熱式流量センサ54とブリッジ回路55と
増幅回路56とからなり、前記ガスＧの流量に対応した流
量信号ｘを出力する。そして、57は前記測定流路53をバ
イパスするように設けられたバイパス流路で、定流量比
特性を示すバイパス部58を備えている。また、59は測定
流路53とバイパス流路57との合流点より下流側に設けら
れた制御弁である。60は流量測定部51から出力される流
量信号ｘと図外の流量設定部からの流量設定信号ｙとを
比較する比較回路、61は制御回路、62は制御弁駆動回路
である。FIG. 5 schematically shows a configuration of a control system of a general mass flow controller 50, in which 51 is a flow path 52.
A flow rate measuring unit for measuring the flow rate of the gas G flowing through the flow path. The flow rate measuring unit 54 includes a thermal flow rate sensor 54, a bridge circuit 55, and an amplifier circuit 56 provided in the measurement flow path 53. Is output. Reference numeral 57 is a bypass flow passage provided so as to bypass the measurement flow passage 53, and includes a bypass section 58 exhibiting a constant flow rate characteristic. Reference numeral 59 is a control valve provided on the downstream side of the confluence of the measurement flow path 53 and the bypass flow path 57. Reference numeral 60 is a comparison circuit for comparing the flow rate signal x output from the flow rate measuring section 51 with the flow rate setting signal y from the flow rate setting section (not shown), 61 is a control circuit, and 62 is a control valve drive circuit.
而して、上記構成のマスフローコントローラ50におい
ては、前記流量信号ｘが流量設定信号ｙよりも大きいと
きは、制御回路61から制御弁59の開度を小さくするため
の指令が出力され、また、流量信号ｘが流量設定信号ｙ
よりも小さいときは、制御回路61から制御弁59の開度を
大きくするための指令が出力され、マスフローコントロ
ーラ50の下流側に設けられた装置（図外）に対して所定
流量のガスＧが供給されるのである。Thus, in the mass flow controller 50 having the above configuration, when the flow rate signal x is larger than the flow rate setting signal y, the control circuit 61 outputs a command for reducing the opening degree of the control valve 59, and Flow rate signal x is flow rate setting signal y
When it is smaller than the above, a command for increasing the opening degree of the control valve 59 is output from the control circuit 61, and the gas G having a predetermined flow rate is supplied to the device (not shown) provided on the downstream side of the mass flow controller 50. It will be supplied.
ところで、従来のマスフローコントローラ50において
は、測定流路53に過大なガスＧが流れないようにするた
め、制御弁59としては小流量のものを組み込んでいた。
例えばフルスケール流量が5ml/minのマスフローコント
ローラにおける制御弁59の開度は、その差圧が0.5kg/cm
2Gのとき、約７〜8ml/minしか流れないように設定して
いた。そして、その差圧が3.0kg/cm2Gのときでも、約50
ml/min程度しか流すことができなかった。By the way, in the conventional mass flow controller 50, in order to prevent an excessive amount of gas G from flowing into the measurement flow path 53, a control valve 59 having a small flow rate is incorporated.
For example, the opening of the control valve 59 in a mass flow controller with a full-scale flow rate of 5 ml / min has a differential pressure of 0.5 kg / cm.
At 2 G, the flow rate was set to about 7-8 ml / min. And even when the differential pressure is 3.0 kg / cm 2 G, it is about 50
Only about ml / min could be flowed.
このため、上述のように、小流量の制御弁59を組み込
んだマスフローコントローラ50においては、ガスライン
の真空引きや不活性ガスによるガスラインの置換などを
行うのに多大の時間を要していた。Therefore, as described above, in the mass flow controller 50 incorporating the small flow rate control valve 59, it took a lot of time to perform evacuation of the gas line or replacement of the gas line with an inert gas. .
これに対して、例えば第５図において仮想線で示すよ
うに、マスフローコントローラ50に対して並列にバイパ
スライン63を設けることが行われているが、このように
すると、全体の構成が複雑かつ大掛かりとなる欠点があ
る。On the other hand, for example, as shown by a phantom line in FIG. 5, a bypass line 63 is provided in parallel with the mass flow controller 50. However, if this is done, the overall configuration is complicated and large-scale. There is a drawback that becomes.
そこで、小流量のマスフローコントローラに、十分大
きな流量のガスを流すことができる制御弁を組み込むよ
うにすれば上述の問題は解決される。Therefore, the above problem can be solved by incorporating a control valve capable of flowing a gas having a sufficiently large flow rate into a mass flow controller having a small flow rate.
しかしながら、従来の技術状態においてこのように構
成した場合、次のような問題が新たに生ずる。However, in the case of such a configuration in the conventional technical state, the following problems newly arise.
すなわち、上記第５図に示すような一般的な流量測定
部51の流量−出力特性は、第６図に示すように、流量が
一定の限界を超えると現象の逆転が生ずる。この図にお
いて、横軸はマスフローコントローラ50内を流れるガス
（流体）の流量を示し、また、縦軸は流量測定部51から
の出力を示す。That is, in the flow rate-output characteristic of the general flow rate measuring unit 51 as shown in FIG. 5, the phenomenon is reversed when the flow rate exceeds a certain limit, as shown in FIG. In this figure, the horizontal axis represents the flow rate of gas (fluid) flowing in the mass flow controller 50, and the vertical axis represents the output from the flow rate measurement unit 51.
そして、このような特性を有するマスフローコントロ
ーラ50は、通常、第６図において仮想線で囲んだ正常動
作範囲Ｎ内で使用されるが、このマスフローコントロー
ラ50に、前記正常動作範囲Ｎを超えた過大なガスＧを急
激に流すと、熱式流量センサ54から制御弁59までのガス
流路52の内容積が大きかったり、あるいは、制御弁59の
応答速度が遅いような場合などにおいては、ガスＧが過
大に流れているにも拘わらず前記出力が下がってくる。
従って、例えば流量が第６図におけるQxを超えたとき、
制御回路61からは本来、制御弁59を閉じるための信号が
出力されなければならないのに、逆に、制御弁59をさら
に開かせる信号が出力され、マスフローコントローラ50
は動作異常状態に陥ってしまうのである。The mass flow controller 50 having such characteristics is normally used within the normal operating range N surrounded by the phantom line in FIG. 6, but the mass flow controller 50 has an excessive value exceeding the normal operating range N. If a large amount of gas G is suddenly flowed, the gas G in the case where the internal volume of the gas flow passage 52 from the thermal flow sensor 54 to the control valve 59 is large, or the response speed of the control valve 59 is slow, etc. The output drops even though is flowing excessively.
Therefore, for example, when the flow rate exceeds Q x in FIG.
Although the control circuit 61 should originally output a signal for closing the control valve 59, on the contrary, a signal for further opening the control valve 59 is output, and the mass flow controller 50
Will fall into an abnormal operation state.
このような問題は、上記マスフローコントローラ50の
構成から、制御弁59およびこれを開閉動作させるための
部材を取り除いたものとほぼ同じ構成であるマスフロー
メータにおいても生じ、このマスフローメータにおいて
は、ガスＧが過大に流れているにも拘わらず表示される
流量値が下がってしまい、実際の流量に対応した表示が
なされないことがあった。Such a problem also occurs in a mass flow meter having substantially the same structure as that of the mass flow controller 50 except that the control valve 59 and members for opening and closing the control valve 59 are removed. In this mass flow meter, the gas G Although the flow rate was displayed excessively, the displayed flow rate value dropped, and the display corresponding to the actual flow rate was not displayed in some cases.
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、そ
の目的とするところは、上述の不都合を一掃したマスフ
ローメータおよびマスフローコントローラを提供するこ
とにある。The present invention has been made in view of the above matters, and an object of the present invention is to provide a mass flow meter and a mass flow controller that eliminate the above disadvantages.
上述の目的を達成するため、本発明に係るマスフロー
メータは、導管内を流れる流体の流量を検出するセンサ
の出力と、しきい値とを比較するように構成し、前記セ
ンサ出力が前記しきい値よりも大きいとき、所定の補正
信号を前記センサ出力に加算し、この加算結果に基づい
て得られる信号をそのときの流量値として一時的に表示
するようにしてある。In order to achieve the above-mentioned object, the mass flow meter according to the present invention is configured to compare the output of a sensor that detects the flow rate of fluid flowing in a conduit with a threshold value, and the sensor output is the threshold value. When it is larger than the value, a predetermined correction signal is added to the sensor output, and the signal obtained based on the addition result is temporarily displayed as the flow rate value at that time.
そして、本発明に係るマスフローコントローラは、導
管内を流れる流体の流量を検出するセンサの出力と、し
きい値とを比較するように構成し、前記センサ出力が前
記しきい値よりも大きいとき、所定の補正信号を前記セ
ンサ出力に加算し、この加算結果に基づいて得られる信
号に基づいて制御弁の開度を小さくするようにしてあ
る。Then, the mass flow controller according to the present invention is configured to compare the output of the sensor that detects the flow rate of the fluid flowing in the conduit with a threshold value, and when the sensor output is greater than the threshold value, A predetermined correction signal is added to the sensor output, and the opening of the control valve is reduced based on the signal obtained based on the addition result.
マスフローメータを流れる流体の流量が正常動作範囲
を超えて過大になった場合は、センサ出力に補正信号が
加算されることにより、表示される流量値としては前記
正常動作範囲における最大値、つまり、フルスケール値
を超えることになり、マスフローメータを流れる流量に
対応した表示が行われる。When the flow rate of the fluid flowing through the mass flow meter exceeds the normal operating range and becomes excessive, the correction signal is added to the sensor output, so that the displayed flow rate value is the maximum value in the normal operating range, that is, Since the full scale value is exceeded, a display corresponding to the flow rate of the mass flow meter is displayed.
そして、マスフローコントローラを流れる流量正常動
作範囲を超えて過大になった場合は、センサ出力に補正
信号が加算され、この加算結果に基づいて得られる信号
に基づいて制御弁の開度を小さくするのである。When the flow rate flowing through the mass flow controller exceeds the normal operating range and becomes excessive, a correction signal is added to the sensor output, and the opening of the control valve is reduced based on the signal obtained based on the addition result. is there.
以下、本発明の実施例を図面を参照しながら説明す
る。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図は本発明に係るマスフローコントローラの制御
系統の構成例を示し、この図において、１は測定流路と
しての導管で、この内部を流体Ｆが矢印方向に流れる。
2u,2dは導管１に互いに独立して巻設された熱式流量セ
ンサ（以下、センサと云う）で、これらのセンサ2u,2d
は、抵抗3,4および可変抵抗５などとともにブリッジ回
路６を形成している。なお、７はブリッジ回路６に流れ
る電流を検出する抵抗である。FIG. 1 shows a configuration example of a control system of a mass flow controller according to the present invention. In this figure, reference numeral 1 is a conduit as a measurement flow path, in which a fluid F flows in a direction of an arrow.
2u and 2d are thermal type flow rate sensors (hereinafter referred to as sensors) wound around the conduit 1 independently of each other.
Form a bridge circuit 6 together with the resistors 3 and 4 and the variable resistor 5. Reference numeral 7 is a resistor that detects a current flowing through the bridge circuit 6.
８は誤差増幅器で、基準電圧源９からの基準電圧と電
流検出抵抗７によって変換された電圧とが常に等しくな
るように動作する。10はスイッチング素子としてのトラ
ンジスタ、11はブリッジ回路６に所定の電力を供給する
電源である。An error amplifier 8 operates so that the reference voltage from the reference voltage source 9 and the voltage converted by the current detection resistor 7 are always equal to each other. Reference numeral 10 is a transistor as a switching element, and 11 is a power supply for supplying a predetermined power to the bridge circuit 6.
12,13はブリッジ回路６の出力側に設けられる差動増
幅器で、ここまでの構成は従来のマスフローコントロー
ラのそれと変わるところはない。そして、前記差動増幅
器13の出力ａは導管１における流体流量を表し、以下、
これをセンサ出力ａと云う。Reference numerals 12 and 13 are differential amplifiers provided on the output side of the bridge circuit 6, and the configuration so far is no different from that of the conventional mass flow controller. The output a of the differential amplifier 13 represents the fluid flow rate in the conduit 1, and
This is called sensor output a.
14はセンサ出力ａがマスフローコントローラの正常動
作範囲を超えているか否かを検知し、センサ出力ａが前
記正常動作範囲を超えている場合のみ所定の補正信号ｈ
を出力する異常出力検知並びに補正信号出力回路（以
下、補正信号出力回路と云う）で、比較器15の一方の−
側入力端子には前記センサ出力ａが入力され、そして、
他方の＋側入力端子には例えば前記正常動作範囲におけ
る流量最大値（フルスケール値）よりやや大きいしきい
値Verrが入力されるようにしてある。なお、16は逆流防
止用ダイオード、17は抵抗である。14 detects whether or not the sensor output a exceeds the normal operation range of the mass flow controller, and only when the sensor output a exceeds the normal operation range, a predetermined correction signal h
An abnormal output detection and correction signal output circuit (hereinafter referred to as a correction signal output circuit) that outputs
The sensor output a is input to the side input terminal, and
A threshold value V err slightly larger than the maximum flow rate value (full scale value) in the normal operation range is input to the other + input terminal. Reference numeral 16 is a backflow prevention diode, and 17 is a resistor.
18は前記センサ出力ａと補正信号ｈとを加算する加算
回路で、その出力は反転増幅器19を経てリニアライザ20
に入力される。21は増幅器、22は流量値を表示する表示
部の出力端子、23はマスフローコントローラの流体流路
に設けられる制御弁24を制御駆動するための制御回路、
25は設定入力端子26からの設定値を制御回路24に入力す
るためのバッファである。Reference numeral 18 is an adder circuit for adding the sensor output a and the correction signal h, the output of which passes through an inverting amplifier 19 and a linearizer 20.
Is input to 21 is an amplifier, 22 is an output terminal of a display unit for displaying a flow rate value, 23 is a control circuit for controlling and driving a control valve 24 provided in a fluid flow path of a mass flow controller,
Reference numeral 25 is a buffer for inputting the set value from the setting input terminal 26 to the control circuit 24.
次に、上記構成のマスフローコントローラの動作につ
いて、第２図をも参照しながら説明する。Next, the operation of the mass flow controller having the above configuration will be described with reference to FIG.
先ず、導管１内を流れる流体Ｆが少なく、センサ出力
ａが第２図に示す正常動作範囲Ｎ内にあるときは、差動
増幅器13からのセンサ出力ａがしきい値Verrよりも小さ
いから、補正信号出力回路14からは補正信号ｈが出力さ
れることがない。従って、加算回路18から出力される信
号はセンサ出力ａと等しく、これが反転増幅器19および
リニアライザ20を介して、制御回路23およびに表示部の
出力端子22にそれぞれ送られる。そして、制御回路23に
おいては設定入力端子26からの設定値と比較されて、そ
の結果に基づいて制御弁24に対して所定の制御が行われ
る。また、表示部においては前記信号に基づいて流量値
が表示される。First, when the fluid F flowing in the conduit 1 is small and the sensor output a is within the normal operating range N shown in FIG. 2, the sensor output a from the differential amplifier 13 is smaller than the threshold value V err. The correction signal h is not output from the correction signal output circuit 14. Therefore, the signal output from the adder circuit 18 is equal to the sensor output a, which is sent to the control circuit 23 and the output terminal 22 of the display unit via the inverting amplifier 19 and the linearizer 20, respectively. Then, in the control circuit 23, the value is compared with the set value from the set input terminal 26, and the control valve 24 is subjected to predetermined control based on the result. Further, the flow rate value is displayed on the display unit based on the signal.
そして、導管１にしきい値Verrを超える過大の流量の
流体Ｆが流れるときは、前記センサ出力ａがしきい値V
errよりも大きくなるため、補正信号出力回路14からは
補正信号ｈが出力され、これが加算回路18に入力される
ことにより、加算回路18からはしきい値Verrよりも大き
い信号（第２図において符号Ｈで示す）が出力される。
従って、この信号Ｈが反転増幅器19およびリニアライザ
20を介して制御回路23に入力されることにより、制御弁
24はその開度を小さくする方向に制御され、その結果、
マスフローコントローラは正常動作状態に復帰すること
ができる。また、この場合、表示部においては一時的に
前記信号Ｈに基づき、フルスケール値を超えた流量値が
表示されることになるが、前記マスフローコントローラ
が正常動作状態に復帰するに伴って正常の表示が行われ
るようになる。Then, when the fluid F having an excessive flow rate exceeding the threshold value V err flows in the conduit 1, the sensor output a is equal to the threshold value V err.
Since it becomes larger than err , the correction signal output circuit 14 outputs the correction signal h, which is input to the addition circuit 18, whereby the addition circuit 18 outputs a signal larger than the threshold value V err (see FIG. 2). In FIG. 3) is output.
Therefore, this signal H becomes the inverting amplifier 19 and the linearizer.
By inputting to the control circuit 23 via 20, the control valve
24 is controlled to decrease its opening, and as a result,
The mass flow controller can return to the normal operating state. Further, in this case, the flow rate value exceeding the full scale value is temporarily displayed on the display unit based on the signal H, but the normal flow rate value is returned as the mass flow controller returns to the normal operation state. The display will start.
なお、第２図においては、流量がQ1からQ2の間におい
てのみ補正信号ｈが出力されるようになっており、流量
がQ2を超えた状態においては前記補正信号ｈが出力され
ないようになっているが、通常、Q2を超える流量になる
までに制御弁24が動作するので、問題はない。In FIG. 2, the correction signal h is output only when the flow rate is between Q 1 and Q 2 , and the correction signal h is not output when the flow rate exceeds Q 2. However, since the control valve 24 normally operates until the flow rate exceeds Q 2 , there is no problem.
上述の実施例は、ブリッジ回路６をいわゆる定電流型
に構成してあったが、本発明はこれに限られるものでは
なく、第３図に示すいわゆる定温度型のブリッジを用い
たマスフローコントローラに適用してもよい。In the above-described embodiment, the bridge circuit 6 is configured as a so-called constant current type, but the present invention is not limited to this, and a mass flow controller using a so-called constant temperature type bridge shown in FIG. 3 is used. You may apply.
第３図において、T1,T2はセンサ2u,2dを後述するブリ
ッジ回路35,40のそれぞれの構成要素として含む定温度
制御回路で、これらの定温度制御回路T1,T2は互いに同
一部品より構成されており、前記センサ2u,2dのそれぞ
れの温度が常に一定になるように制御するものである。
すなわち、一方の定温度制御回路T1は、センサ2uとこの
センサ2uの温度設定用抵抗31とブリッジ抵抗32,33と可
変抵抗34とからなるブリッジ回路35と、制御回路36とか
ら構成されている。そして、他方の定温度制御回路T
2は、センサ2dとこのセンサ2dの温度設定用抵抗37とブ
リッジ抵抗38,39とからなるブリッジ回路40と、制御回
路41とから構成されている。In FIG. 3, T 1 and T 2 are constant temperature control circuits including sensors 2u and 2d as respective constituent elements of bridge circuits 35 and 40 described later, and these constant temperature control circuits T 1 and T 2 are the same as each other. It is composed of parts and controls so that the temperature of each of the sensors 2u and 2d is always constant.
That is, one constant temperature control circuit T 1 is composed of a sensor 2u, a bridge circuit 35 including a temperature setting resistor 31 of the sensor 2u, bridge resistors 32 and 33, and a variable resistor 34, and a control circuit 36. There is. Then, the other constant temperature control circuit T
The reference numeral 2 includes a sensor 2d, a bridge circuit 40 including a temperature setting resistor 37 of the sensor 2d and bridge resistors 38 and 39, and a control circuit 41.
42,43は減算回路，加算回路であり、前記各定温度制
御回路T1,T2のそれぞれの出力V1,V2を減算，加算して、
それぞれ減算出力（V1−V2），加算出力（V1＋V2）を出
力する。また、44は割算回路で、減算出力（V1−V2）を
加算出力（V1＋V2）で割算して、（V1−V2）／（V1＋
V2）なる割算出力を出力する。45は増幅器である。42 and 43 are subtraction circuits and addition circuits, which subtract and add the outputs V 1 and V 2 of the constant temperature control circuits T 1 and T 2 , respectively,
The subtraction output (V 1 −V 2 ) and the addition output (V 1 + V 2 ) are output respectively. Further, 44 is a division circuit, which divides the subtraction output (V 1 −V 2 ) by the addition output (V 1 + V 2 ) and calculates (V 1 −V 2 ) / (V 1 +
V 2 ). 45 is an amplifier.
そして、この実施例においては、補正信号出力回路14
の比較器15には、導管１において上流側のセンサ2uから
の出力Vuに基づく信号が入力されてしきい値Verrと比較
するようにしてあるとともに、比較器15の出力ｈは減算
回路42に加えられるようにしてある。In this embodiment, the correction signal output circuit 14
A signal based on the output V u from the upstream sensor 2 u in the conduit 1 is input to the comparator 15 and is compared with the threshold value V err, and the output h of the comparator 15 is a subtraction circuit. It is designed to be added to 42.
この第３図に示すマスフローコントローラの動作は、
上記第１図に示すマスフローコントローラのそれとほぼ
同じであるので、その説明は省略する。The operation of the mass flow controller shown in FIG.
Since it is almost the same as that of the mass flow controller shown in FIG. 1, the description thereof will be omitted.
なお、第３図に示す実施例においては、導管１におい
て上流側に位置するセンサ2uの出力Vuに基づく信号をし
きい値Verrと比較するようにしているが、これに代え
て、下流側のセンサ2dの出力Vdをしきい値Verrと比較す
るようにしてもよいが、第４図（Ａ）および（Ｂ）に示
すように、上流側のセンサ2uの出力Vuに基づく信号をし
きい値Verrと比較する方が応答が早くなるといった利点
がある。なお、第４図（Ｃ）は、上流側のセンサ2uの出
力Vuに基づく信号をしきい値Verrと比較したときの流量
−出力特性を示し、Ｖ′は補正信号出力回路14からの補
正信号ｈを加算した後の出力を示す。In the embodiment shown in FIG. 3, the signal based on the output V u of the sensor 2u located on the upstream side in the conduit 1 is compared with the threshold value V err. The output V d of the sensor 2d on the side may be compared with the threshold value V err , but as shown in FIGS. 4A and 4B, it is based on the output V u of the sensor 2u on the upstream side. Comparing the signal to the threshold value V err has the advantage of faster response. It should be noted that FIG. 4C shows the flow rate-output characteristic when the signal based on the output V u of the upstream sensor 2u is compared with the threshold value V err, and V'is from the correction signal output circuit 14. The output after adding the correction signal h is shown.
以上説明したように、本発明においては、導管内を流
れる流体の流量を検出するセンサの出力と、しきい値と
を比較するように構成し、前記センサ出力が前記しきい
値よりも大きいとき、所定の補正信号を前記センサ出力
に加算し、この加算結果に基づいて得られる信号を利用
して、これを流量値と表示したり、あるいは、前記信号
に基づいて制御弁の開度を小さくするようにしているの
で、マスフローメータにおいては、過大流量時における
表示が的確になり、また、マスフローコントローラにお
いては、過大な流量が流れて異常動作状態に陥っても、
これを正常動作状態に素早く復帰させることができる。As described above, in the present invention, the output of the sensor that detects the flow rate of the fluid flowing in the conduit is configured to be compared with the threshold value, and when the sensor output is larger than the threshold value. , A predetermined correction signal is added to the sensor output, and the signal obtained based on the addition result is used to display this as a flow rate value, or the control valve opening is reduced based on the signal. Therefore, in the mass flow meter, the display at the time of the excessive flow rate is accurate, and in the mass flow controller, even if the excessive flow rate flows into the abnormal operation state,
This can be quickly returned to the normal operating state.
そして、本発明によれば、小流量のマスフローコント
ローラに十分大きな流量のガスを流すことができる制御
弁を組み込むことができるので、ガスラインの真空引き
や不活性ガスによるガスラインの置換などを短時間で行
うことができる。Further, according to the present invention, since a control valve capable of flowing a gas having a sufficiently large flow rate can be incorporated in a mass flow controller having a small flow rate, evacuation of the gas line or replacement of the gas line with an inert gas can be shortened. Can be done in time.
第１図は本発明の一実施例に係るマスフローコントロー
ラの制御系統の構成を示す図である。 第２図はその動作を説明するための流量−出力特性図で
ある。 第３図は本発明の他の実施例に係るマスフローコントロ
ーラの制御系統の構成を示す図である。 第４図はその動作説明図である。 第５図は一般的なマスフローコントローラの制御系統の
構成を示す図である。 第６図は第５図に示すマスフローコントローラの流量−
出力特性図である。 １……導管、Ｆ……流体、a,Vu,Vd……センサ出力、V
err……しきい値、ｈ……補正信号、Ｈ……加算によっ
て得られる信号、24……制御弁。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a control system of a mass flow controller according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a flow rate-output characteristic diagram for explaining the operation. FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a control system of a mass flow controller according to another embodiment of the present invention. FIG. 4 is an explanatory diagram of the operation. FIG. 5 is a diagram showing a configuration of a control system of a general mass flow controller. FIG. 6 shows the flow rate of the mass flow controller shown in FIG.
FIG. 1 ... Conduit, F ... Fluid, a, V u , V d ...... Sensor output, V
err: threshold value, h: correction signal, H: signal obtained by addition, 24: control valve.
Claims (2)
サの出力と、しきい値とを比較するように構成し、前記
センサ出力が前記しきい値よりも大きいとき、所定の補
正信号を前記センサ出力に加算し、この加算結果に基づ
いて得られる信号をそのときの流量値として一時的に表
示するようにしたことを特徴とするマスフローメータ。1. An output of a sensor for detecting a flow rate of a fluid flowing in a conduit is configured to be compared with a threshold value, and when the sensor output is larger than the threshold value, a predetermined correction signal is generated. A mass flow meter characterized in that it is added to the sensor output, and a signal obtained based on the addition result is temporarily displayed as a flow rate value at that time.
サの出力と、しきい値とを比較するように構成し、前記
センサ出力が前記しきい値よりも大きいとき、所定の補
正信号を前記センサ出力に加算し、この加算結果に基づ
いて得られる信号に基づいて制御弁の開度を小さくする
ようにしたことを特徴とするマスフローコントローラ。2. An output of a sensor for detecting the flow rate of fluid flowing in the conduit is configured to be compared with a threshold value, and when the sensor output is larger than the threshold value, a predetermined correction signal is generated. A mass flow controller characterized in that the opening of a control valve is reduced based on a signal obtained based on the addition result of the sensor output.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11077889A JP2694294B2 (en) | 1989-04-30 | 1989-04-30 | Mass flow meter and mass flow controller |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11077889A JP2694294B2 (en) | 1989-04-30 | 1989-04-30 | Mass flow meter and mass flow controller |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02291004A JPH02291004A (en) | 1990-11-30 |
| JP2694294B2 true JP2694294B2 (en) | 1997-12-24 |
Family
ID=14544368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11077889A Expired - Lifetime JP2694294B2 (en) | 1989-04-30 | 1989-04-30 | Mass flow meter and mass flow controller |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2694294B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003074468A (en) * | 2001-08-31 | 2003-03-12 | Toshiba Corp | Evacuation system and monitoring and control method for it |
| CN107779846A (en) * | 2017-10-27 | 2018-03-09 | 君泰创新（北京）科技有限公司 | A kind of method of adjustment and system of the process gas flow of PECVD device |
-
1989
- 1989-04-30 JP JP11077889A patent/JP2694294B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02291004A (en) | 1990-11-30 |
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