JP2680883B2 - Magnetic bearing turbo molecular pump - Google Patents
Magnetic bearing turbo molecular pumpInfo
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、超高真空を利用する各種の分野に広く適用
可能な磁気軸受ターボ分子ポンプ（以下、TMPと略称す
る）に関するものである。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a magnetic bearing turbo-molecular pump (hereinafter abbreviated as TMP) which is widely applicable to various fields utilizing ultra-high vacuum.
［従来の技術］ 第６図は、従来のTMP本体100を示している。101、102
は能動形のラジアル磁気軸受、103は能動形のスラスト
磁気軸受である。これらの軸受101〜103を制御するため
に、各々の軸受近傍に変位センサ101a、102a、103aを配
置して軸受間の微少隙間を検出し、その検出値を第７図
に示すような軸受制御部104に入力するようにしてい
る。軸受制御部104では、変位センサ101a〜103aから入
力された検出値をアンプ104aで増幅し、コントローラ10
4bで差動的な修正信号にして、ドライバ104cを介し各磁
気軸受101〜103の電磁石に駆動電圧を印加できるように
なっている。[Prior Art] FIG. 6 shows a conventional TMP main body 100. 101, 102
Is an active radial magnetic bearing, and 103 is an active thrust magnetic bearing. In order to control these bearings 101 to 103, displacement sensors 101a, 102a, 103a are arranged in the vicinity of each bearing to detect a minute gap between the bearings, and the detected value is used for bearing control as shown in FIG. The input is made in the section 104. In the bearing control unit 104, the detection values input from the displacement sensors 101a to 103a are amplified by the amplifier 104a, and the controller 10
It is possible to apply a drive voltage to the electromagnets of the magnetic bearings 101 to 103 via the driver 104c using a differential correction signal at 4b.
また、高周波モータ111を駆動するために、発振周波
数と出力電圧とを可変し得るインバータ105を備えてお
り、OR回路106とともにシーケンス制御系を構成してい
る。そして、このインバータ105に起動指令が入力され
ることによってTMP100を立上げ、OR回路106に停止指令
が入力されることによってTMP100に制動を加えることが
できるようになっている。Further, in order to drive the high frequency motor 111, an inverter 105 capable of varying the oscillation frequency and the output voltage is provided, and together with the OR circuit 106 constitutes a sequence control system. Then, when the start command is input to the inverter 105, the TMP 100 is started up, and when the stop command is input to the OR circuit 106, the TMP 100 can be braked.
ところで、従来のTMPでは、完全に調整されたもので
あっても、実使用においては予期せぬ外力によるタッチ
ダウンや、取付装置からくる継続的振動、材料ストレス
等によって、回転体が劣化し、回転の安定性が遅速阻害
されることは免れ得ない。このため、タッチダウン破壊
からTMPを保護するために、変位センサ101a〜103aの検
出値をコンパレータ107で設定値と比較し、検出信号レ
ベルが一定値を越えて高速回転体の磁気浮上が困難にな
ったときに、異常処理回路108を停止モードに切換える
ようにしている。異常処理回路108は、停止モードで異
常表示灯109を点灯させるとともに、前記OR回路106に停
止指令を入力するようになっている。By the way, in the conventional TMP, even if it is completely adjusted, the rotating body deteriorates due to touchdown due to unexpected external force in actual use, continuous vibration from the mounting device, material stress, etc. It is unavoidable that the stability of rotation is hindered. Therefore, in order to protect the TMP from touchdown destruction, the detection values of the displacement sensors 101a to 103a are compared with the set value by the comparator 107, and the detection signal level exceeds a certain value, making it difficult to magnetically levitate the high-speed rotating body. When this happens, the abnormality processing circuit 108 is switched to the stop mode. The abnormality processing circuit 108 lights up the abnormality indicator lamp 109 in the stop mode, and inputs a stop command to the OR circuit 106.
［発明が解決しようとする課題］ ところが、従来のTMPでは、上述した保護機能が作動
するような重大な異常が生じない限り、性能低下などが
あってもTMPは継続して運転され、その兆候も伺い知れ
ないのが通例である。このため、運転中に突如としてタ
ッチダウン破壊などが起こることがあり、TMP本体と真
空装置などの使用目的とに多大な損失を被るケースが少
なくない。これに対して、保護機能を強化することも考
えられるが、このようにすると一時的かつ偶発的な変位
異常に対しても即ぐにTMPが停止されてしまい、円滑な
運転が阻害される危険性がある。[Problems to be Solved by the Invention] However, in the conventional TMP, the TMP is continuously operated even if the performance is deteriorated unless a serious abnormality occurs such that the protection function described above is activated. It is customary not to ask. As a result, touchdown breakdown may occur suddenly during operation, and there are many cases in which a large loss is incurred for the purpose of use of the TMP body and the vacuum device. On the other hand, it is possible to strengthen the protection function, but if this is done, the TMP will be stopped immediately even for temporary and accidental displacement abnormalities, and there is a risk that smooth driving will be hindered. There is.
本発明は、このような問題点に着目してなされたもの
であって、徐々に進行している性能低下を単なる一過性
の異常と明確に区別して感知することにより、事故に至
る前に適切な警告を発し得るようなTMPを実現すること
を目的としている。The present invention has been made in view of such a problem, and by detecting the gradually decreasing performance by clearly distinguishing it from a mere transient abnormality, it is possible to detect before an accident. The purpose is to realize TMP that can issue appropriate warnings.
［課題を解決するための手段］ 本発明は、かかる目的を達成するために、次のような
構成を採用したものである。[Means for Solving the Problems] The present invention employs the following configuration in order to achieve the object.
すなわち、本発明のTMP装置は、第１図に示すよう
に、磁気軸受の微少隙間を検出する変位センサ１と、こ
の変位センサ１から取出される検出信号を逐次入力し予
め設定した複数の基準変位レベルに分類してレベル毎の
発生度数を割出す演算手段２と、割出される頻度データ
を各々の変位レベルでの許容値と比較して許容値を越え
るものを異常データと見なす判断手段３と、異常データ
の発生状況に応じて作動する警告手段４とを具備してな
ることを特徴としている。That is, as shown in FIG. 1, the TMP device of the present invention includes a displacement sensor 1 for detecting a minute gap in a magnetic bearing, and a plurality of reference signals preset by sequentially inputting detection signals extracted from the displacement sensor 1. A calculation means 2 for classifying the occurrence frequency for each level by classifying it into a displacement level, and a judging means 3 for comparing the indexed frequency data with an allowable value at each displacement level and considering that data exceeding the allowable value is abnormal data. And a warning means 4 that operates according to the occurrence status of abnormal data.
［作用］ 高速回転体は、概して、小レベルの変位ほど発生し易
く、大レベルの変位ほど発生しにくい。しかし、小レベ
ルの変位が繰返して起これば何等かの異常が予想され放
置しておけば異常箇所が悪化する可能性がある。また、
大レベルの変位は発生回数が少なくとも突如として大事
故につながる危険性がある。[Operation] In general, a high-speed rotating body is likely to occur at a small level of displacement, and is less likely to occur at a large level of displacement. However, if a small level of displacement repeatedly occurs, some abnormality is expected, and if left unattended, the abnormal portion may worsen. Also,
Large-scale displacement may cause a major accident at least suddenly.
したがって、変位レベル毎に発生頻度の許容値を定め
ておき、それを上回る異常データがどの程度出てくるか
によって警告を発するようにすれば、性能低下を単なる
一過性の変位異常と識別して明確に感知することができ
るので、警告の信憑性と有用性が確保される。Therefore, if a permissible value of the occurrence frequency is set for each displacement level and a warning is issued depending on how much abnormal data exceeds it, performance degradation can be identified as a mere transient displacement abnormality. The credibility and usefulness of the warning are ensured, since it can be clearly sensed.
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
第２図は、本実施例に係るTMPの回路図を示してい
る。同図において、軸受制御部２がアンプ21、コントロ
ーラ22及びドライバ23によって構成されている点は第７
図に示した従来のものと同様であり、変位センサから取
出される検出信号をアンプ21で増幅し、これをコントロ
ーラ22で差動的な修正信号にして、ドライバ23を介して
電磁石に適宜の駆動電圧を印加できるようになってい
る。そして、アンプ21の出力端にデータ処理部４を接続
している。FIG. 2 shows a circuit diagram of the TMP according to this embodiment. In the figure, the bearing control unit 2 is composed of an amplifier 21, a controller 22 and a driver 23.
Similar to the conventional one shown in the figure, the detection signal taken out from the displacement sensor is amplified by the amplifier 21, and this is converted into a differential correction signal by the controller 22, and an appropriate signal is supplied to the electromagnet via the driver 23. A drive voltage can be applied. The data processing unit 4 is connected to the output terminal of the amplifier 21.
データ処理部４は、前処理回路41と、A/D変換器42
と、マイコン43と、出力ボート44と、警告表示器45と、
異常表示器46と、インターフェース47とからなってい
る。前処理回路は、変位センサから取出される第４図
（ａ）のようなアナログ変位信号を絶対値処理して同図
（ｂ）に示すようにし、これを一定のサンプリング周期
TSでピークホールドする機能を有している。A/D変換器4
2は、前記処理回路41から出力されるピーク値VP（VP1、
VP2、…、VPN）を２値化する。マイコン43は、本発明の
演算手段と判断手段とを兼ねたものとして、少なくとも
CPU、ROM、RAMを備え、ROM内にはCPUを制御するプログ
ラムが書込まれている。CPUは、そのプログラムに沿っ
て演算を行い、出力ポート44とインターフェース47とに
適宜制御信号を出力することができるようになってい
る。また、ROM内の他の領域には、第５図に示すよう
に、変位センサからの検出信号を３つの変位レベルに分
類するために予め設定した基準変位レベルVA、VB、V
C（VA＜VB＜VC）と、頻度データに対する許容値NA、
NB、NC(1)（NA＞NB＞NC）とが格納してあり、その他
に、異常データの発生回数によって警告判定を下すため
の警告判定基準値Ｍと、緊急停止を判断するための停止
判定基準値NC(2)とが記憶してある。さらに、RAM内には
異常データを格納する異常データエリアが少なくとも確
保されている。なお、マイコン43には出力ポート44を介
して本発明の警告手段である警告表示器45と異常表示器
46とが接続されており、CPUはこれらを適宜点灯し得る
ようになっている。The data processing unit 4 includes a preprocessing circuit 41 and an A / D converter 42.
, Microcomputer 43, output boat 44, warning indicator 45,
It is composed of an anomaly indicator 46 and an interface 47. The pre-processing circuit absolute-value-processes the analog displacement signal as shown in FIG. 4 (a) extracted from the displacement sensor to obtain it as shown in FIG. 4 (b).
It has a peak hold function at T S. A / D converter 4
2 is a peak value V P (V P1 ,
V P2 , ..., V PN ) are binarized. The microcomputer 43 has at least a function as a calculation unit and a determination unit of the present invention.
It has a CPU, ROM, and RAM, and a program for controlling the CPU is written in the ROM. The CPU can perform an arithmetic operation according to the program and can appropriately output a control signal to the output port 44 and the interface 47. Further, as shown in FIG. 5, in other areas of the ROM, reference displacement levels V A , V B , V which are preset for classifying the detection signal from the displacement sensor into three displacement levels are provided.
C (V A <V B <V C ) and the allowable value N A for frequency data,
N B, N C (1) (N A> N B> N C) and is Yes stored, in addition, the number of occurrences of abnormal data and alert determination reference value M for making a warning determination, the emergency stop The stop determination reference value N C (2) for determination is stored. Further, at least an abnormal data area for storing abnormal data is secured in the RAM. It should be noted that the microcomputer 43 is provided with an alarm indicator 45, which is a warning means of the present invention, and an abnormality indicator via the output port 44.
46 and 46 are connected so that the CPU can light them up as appropriate.
さらに、前記データ処理部４には、モータ制御部３と
外部デバイス５とが接続してある。モータ制御部３は、
発振周波数と出力電圧とを可変し得るインバータ31と、
OR回路32とから構成されており、OR回路32の２つの入力
端子のうち一方を前記出力ポート44に接続するととも
に、他方の入力端子を図外の操作端に接続している。そ
して、OR回路32の出力端子と、図外に設けた起動指令用
の操作端とをインバータ31の入力端子に接続し、該イン
バータ31の出力端子を前記TMP本体１の高周波モータに
接続している。Further, the motor controller 3 and the external device 5 are connected to the data processor 4. The motor controller 3
An inverter 31 capable of varying the oscillation frequency and the output voltage,
An OR circuit 32 is provided, and one of the two input terminals of the OR circuit 32 is connected to the output port 44, and the other input terminal is connected to an operating end (not shown). Then, the output terminal of the OR circuit 32 and the operating end for starting command provided outside the drawing are connected to the input terminal of the inverter 31, and the output terminal of the inverter 31 is connected to the high frequency motor of the TMP main body 1. There is.
また、外部デバイス５は、コンピュータ51と、このコ
ンピュータ51に並列に接続されたディスプレー52及びプ
リンタ53とからなり、この外部デバイス５によってRAM
内に格納されている異常データのモニタやハードコピー
ができるようになっている。The external device 5 is composed of a computer 51, a display 52 and a printer 53 which are connected in parallel to the computer 51, and the external device 5 allows the RAM to operate.
It is possible to monitor and hard copy abnormal data stored inside.
ROM内に書込まれたプログラムをフローチャートで示
すと、第３図のようになる。以下、同図に沿って本実施
例の作動を説明する。The program written in the ROM is shown in the flowchart of FIG. The operation of this embodiment will be described below with reference to FIG.
プログラムがスタートすると、先ず、ステップS1で絶
対値処理とピークホールドとが行われ、ステップS2でA/
D変換された後、ステップS3でそれらの変位信号VPが時
系列でCPU内に取込まれる。そして、それらをステップS
4〜S6で基準変位レベルVA、VB、VCと順次比較させ、VA
以上VB以下であれば小レベルの変位としてステップS7で
頻度データnAを歩進させ、VB以上VC以下であれば中レベ
ルの変位としてステップS8で頻度データnBを歩進させ、
VC以上のものであれば大レベルの変位としてステップS9
で頻度データnCを歩進させる。そして、ステップS10で
変位センサからの検出信号をＮ回取込んだかどうかを判
断し、取込んでなければスタートに戻り、Ｎ回に達する
まで以上の操作を繰返す。また、取込んでいれば、この
ときの各頻度データnA〜nCを維持してステップS11に移
る。When the program starts, first, the absolute value processing and the peak hold is made in step S 1, in step S 2 A /
After being D-converted, those displacement signals V P are captured in time series in the CPU in step S 3 . And step them
4 to S 6 in reference displacement level V A, V B, sequentially compared with V C, V A
If it is V B or more and less than V B , the frequency data n A is advanced in step S 7 as a small level displacement, and if V B or more and V C or less, it is an intermediate level displacement and frequency data n B is advanced in step S 8. Let
If it is V C or more, it is regarded as a large level displacement and step S 9
To step the frequency data n C. Then, the detection signal from the displacement sensor to determine whether it crowded N kite in step S 10, returns to the start if not ipecac, repeating the above operations until it reaches the N times. If it has, the frequency data n A to n C at this time are maintained and the process proceeds to step S 11 .
ステップS11〜S13では、頻度データnA〜nCを第５図に
示すようにそれぞれの許容値NA〜NCと比較する。比較結
果が同図のように全て許容値NA〜NCに満たなければ、ス
テップS14に移ってこれらの頻度データnA〜nCをクリア
し、スタートに戻る。また、１つでも許容値に達するも
のがあれば、ステップS15に移ってその時の異常データ
とともに各頻度データnA〜nCを異常データエリアに格納
し、ステップS16で警告判定の基礎となるカウンタｍを
歩進させる。そして、ステップS17でカウント値ｍを警
告判定基準値Ｍと比較し、それを越えていればステップ
S18で警告表示器45を作動させてステップS19に移り、越
えていなければ直接ステップS19に飛ぶ。最後に、この
ステップS19で、大レベルの頻度データnCを停止判定基
準値NC(2)と比較し、それに達していなければステップS
14で頻度データnA〜nCをクリアしてスタートに戻る。ま
た、それに達した場合は、ステップS20で異常表示器46
に出力するとともに、ステップS21でOR回路32にモータ
停止指令を入力してプログラムを終える。In step S 11 to S 13, compared with the frequency data n A ~n C of each as shown in FIG. 5 permissible value N A to N C. If less than all the comparison results are as shown in the figure tolerance N A to N C, to clear these frequency data n A ~n C proceeds to step S 14, the flow returns to the start. Further, if there is to reach the allowable value even one proceeds to step S 15 stores each frequency data n A ~n C together with abnormal data when the abnormal data area, and Foundation warning determination in step S 16 The counter m is incremented. Then, the count value m is compared with the warning criterion value M in Step S 17, if beyond that step
Proceeds to step S 19 by operating a warning indicator 45 in S 18, jumps directly to step S 19 if not exceeded. Finally, in this step S 19 , the high level frequency data n C is compared with the stop judgment reference value N C (2), and if not reached, step S
Back to the start to clear the frequency data n A ~n C at 14. Also, when it reaches it, the abnormality indicator 46 in Step S 20
And outputs to and ends the program by entering the motor stop command to the OR circuit 32 in step S 21.
しかして、このようなものであれば、異常データエリ
ア内には運転開始から徐々に異常データnA〜nCが蓄積さ
れてゆき、その取込回数がカウンタｍによって加算され
るので、小レベルの変位異常が続発したときや、中レベ
ルの変位異常がある程度重なった時、あるいは、大レベ
ルの変位異常が数回でも起こった時、さらにこれらの状
態が複合して生じたとき等は、警告表示器45が点灯し、
TMPが正常に運転されていないことが知られることにな
る。逆に、何らかの突発的な外因などで一瞬大レベルの
変位が生じても、軽微なタッチダウンですぐに復旧する
ような場合は、異常データエリアにデータが記憶される
だけで安直に警告はされない。さらに、大レベルの変位
が少しでも継続しそうであれば、激しいタッチダウンで
あり危険と判断されて、異常表示器46と点灯し、TMP本
体は停止される。Thus, In accordance with this arrangement, the abnormal data area Yuki with gradually abnormal data n A ~n C accumulated from the start of operation, since the capture count is incremented by the counter m, the small level Warnings when there are a number of displacement abnormalities that occur continuously, when some medium-level displacement abnormalities overlap to some extent, when several large-level displacement abnormalities occur, and when these conditions occur in combination, etc. The indicator 45 lights up,
It will be known that the TMP is not operating normally. On the other hand, even if a large level of displacement occurs for a moment due to some unexpected external cause, if a slight touchdown causes immediate recovery, the data will be stored in the abnormal data area and no warning will be issued. . Furthermore, if a large level displacement is likely to continue for a while, it is determined that the touchdown is intense and dangerous, the abnormality indicator 46 lights up, and the TMP body is stopped.
したがって、本実施例のTMPによれば、性能低下など
に起因する重要な異常時にだけ警告がなされるため、警
告表示器45の点灯を見て事前に対策を施すことができ
る。また、一過性の変位異常の場合は安直に警告表示さ
れないので、ポンプを使用する設備やプラント等に与え
る損害は最少限で済む。勿論、極めて危険な状態ではTM
Pは緊急停止されるので、事故発生時の速やかな対策を
施し得る。Therefore, according to the TMP of the present embodiment, a warning is issued only in the case of an important abnormality due to performance deterioration or the like, so that it is possible to take a countermeasure in advance by observing the lighting of the warning indicator 45. Further, in the case of a temporary displacement abnormality, the warning is not displayed in a straightforward manner, so that the damage to the equipment or plant that uses the pump can be minimized. Of course, TM is very dangerous
Since P is stopped urgently, prompt measures can be taken when an accident occurs.
また、従来では運転状態を計測するようなことが行わ
れていなかったため、異常停止発生後の原因究明が極め
て困難で、故障修理に手間取ることが多く、装置停止期
間が長びくという不都合を来していたが、本実施例で
は、異常データがRAM内の保存されているので、設備メ
ンテナンス時や警告表示器45の点灯時、或いは異常表示
器46が点灯する緊急停止時などにこれを取出して、ディ
スプレー52でのモニタやプリンタ53でのハードコピー等
によって適宜TMPの状態を定量的に把握することができ
る。これにより、異常原因も推察し易くなる。さらに、
このような構成であれば、従来のTMP本体に簡単に適用
することができるので、使用上有益なものとなる。In addition, since operation conditions have not been measured in the past, it is extremely difficult to find out the cause after the occurrence of an abnormal stop, and it often takes time to repair the failure, resulting in the inconvenience that the equipment stoppage period becomes long. However, in the present embodiment, since the abnormal data is stored in the RAM, it is taken out at the time of facility maintenance or when the warning indicator 45 is turned on, or during an emergency stop when the abnormality indicator 46 is turned on. The state of the TMP can be appropriately grasped quantitatively by a monitor on the display 52, a hard copy on the printer 53, or the like. This makes it easier to infer the cause of the abnormality. further,
With such a configuration, it can be easily applied to the conventional TMP main body, which is useful in use.
なお、以上の機能は好適には能動５軸についてそれぞ
れ設けるのがよい。また、外部デバイスは電源部と一体
化して設けるようにしてもよく、さらに、TMP本体を複
数台使用する必要がある場合には、共通のコンピュータ
にそれらを接続してネットワークを組み、それぞれのTM
Pの運転状況を集中管理することもできる。The above functions are preferably provided for each of the five active axes. In addition, external devices may be integrated with the power supply unit.In addition, if multiple TMP units need to be used, they should be connected to a common computer to form a network,
It is also possible to centrally manage the driving status of P.
その他、各部の構成なども図示実施例に限定されず、
本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能であ
る。In addition, the configuration of each unit is not limited to the illustrated embodiment,
Various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
［発明の効果］ 本発明のTMPによれば、円滑な運転を阻害することな
く性能低下が的確に警告されるので、事故に至る前に事
前に修理などの処置を講じることが可能となる。[Advantages of the Invention] According to the TMP of the present invention, since performance deterioration is accurately warned without hindering smooth operation, it is possible to take measures such as repair in advance before an accident.
第１図は本発明のTMPを示す構成説明図である。また、
第２〜第５図は本発明の一実施例を示し、第２図は回路
図、第３図はフローチャート図、第４図及び第５図は作
用説明図である。さらに、第６図及び第７図は従来例を
示し、第６図はTMPの縦断面図、第７図は第２図に対応
する回路図である。 １…変位センサ ２…演算手段 ３…判断手段 ４…警告手段FIG. 1 is a configuration explanatory view showing a TMP of the present invention. Also,
2 to 5 show an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a circuit diagram, FIG. 3 is a flow chart, and FIGS. 4 and 5 are operation explanatory diagrams. Further, FIGS. 6 and 7 show a conventional example, FIG. 6 is a longitudinal sectional view of a TMP, and FIG. 7 is a circuit diagram corresponding to FIG. 1 ... Displacement sensor 2 ... Calculation means 3 ... Judgment means 4 ... Warning means
Claims (1)
と、この変位センサから取出される検出信号を逐次入力
し予め設定した複数の基準変位レベルに分類してレベル
毎の発生度数を割出す演算手段と、割出された頻度デー
タを各々の変位レベルでの許容値と比較して許容値を越
えるものを異常データと見なす判断手段と、異常データ
の発生状況に応じて作動する警告手段とを具備してなる
ことを特徴とする磁気軸受ターボ分子ポンプ。1. A displacement sensor for detecting a minute gap of a magnetic bearing, and a detection signal taken out from the displacement sensor are sequentially inputted to be classified into a plurality of preset reference displacement levels and the occurrence frequency for each level is calculated. A calculating means, a judging means for comparing the indexed frequency data with the allowable value at each displacement level, and judging that exceeding the allowable value as abnormal data, and a warning means for operating depending on the occurrence state of the abnormal data. A magnetic bearing turbo-molecular pump comprising:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1042524A JP2680883B2 (en) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | Magnetic bearing turbo molecular pump |
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| JP1042524A JP2680883B2 (en) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | Magnetic bearing turbo molecular pump |
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| JPH02221697A JPH02221697A (en) | 1990-09-04 |
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| JP1042524A Expired - Fee Related JP2680883B2 (en) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | Magnetic bearing turbo molecular pump |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP2680883B2 (en) |
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