JP2677894B2 - Multi-type sealing device - Google Patents
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Description
本発明は、例えばICチップを載せたリードフレームを
樹脂封止するための封止プレス用プランジャ機構を複数
備えたマルチ式封止装置に関する。The present invention relates to a multi-type sealing device including a plurality of sealing press plunger mechanisms for resin-sealing a lead frame on which an IC chip is mounted, for example.
一般に、ICチップを載せたリードフレームは、外周の
雰囲気からの汚染や破損を防止するために封止されてい
る。この封止には、例えばセラミックや金属の蓋を用い
てICチップを気密封止する方法と、樹脂によってICチッ
プを取り囲む方法とがある。前者は高信頼性が要求され
るものに対して、後者は低コトス性が要求されるものに
対してそれぞれ従来広く用いられている。 第２図に従来の樹脂封止プレス用プランジャ機構を示
す。 図において２は上金型、４が下金型、６が樹脂封止す
るICチップを収容するキャビティ、８が樹脂封止のため
の樹脂10を先端に載置すると共に、油圧で駆動されて該
樹脂10をキャビティ６内に押圧・封入するためのプラン
ジャをそれぞれ示している。 ICチップは、予め前記キャビティ６内に載置され、上
金型２と下金型４とが強く接触された状態でプランジャ
８によって樹脂の封入を受け、樹脂封止される。 なお、図において符号12は固定クラウン、14は可動プ
ラテンである。 一般に、マルチ式封止装置はこのような封止プレス用
プランジャ機構を複数備え、各封止プレス用プランジャ
機構のプランジャを一度に駆動制御することによって多
数のICチップの封止を同時に行うような構成とされてい
る。Generally, a lead frame on which an IC chip is mounted is sealed in order to prevent contamination or damage from the atmosphere around the periphery. This sealing includes a method of hermetically sealing the IC chip using a ceramic or metal lid, for example, and a method of surrounding the IC chip with a resin. The former is widely used for those requiring high reliability, and the latter is widely used for those requiring low cost. FIG. 2 shows a conventional plunger mechanism for a resin sealing press. In the figure, 2 is an upper die, 4 is a lower die, 6 is a cavity for accommodating an IC chip to be resin-sealed, 8 is a resin-sealing resin 10 placed at the tip, and is driven by hydraulic pressure. Plungers for pressing and sealing the resin 10 in the cavity 6 are shown. The IC chip is placed in the cavity 6 in advance, and is sealed with resin by the plunger 8 while the upper mold 2 and the lower mold 4 are in strong contact with each other. In the figure, reference numeral 12 is a fixed crown, and 14 is a movable platen. Generally, a multi-type encapsulation device is provided with a plurality of such encapsulation press plunger mechanisms, and by simultaneously driving and controlling the plungers of each encapsulation press plunger mechanism, encapsulation of a large number of IC chips is performed at the same time. It is configured.
しかしながら、従来のマルチ式封止装置にあっては、
限られたスペースに複数のプランジャ機構を組入れなけ
ればならないという制約条件があるため、個々のプラン
ジャに対して制御性のよい電動式駆動機構を組込めない
という問題があった。 そのため、従来は、ばね力を利用した方式や、大
掛りな油圧ユニットにより発生した油圧で複数のシリン
ダを駆動する方式等に頼らざるを得ないというのが実情
であった。 この場合、のばね力を利用した方式では、プランジ
ャの均一加圧制御を得るのが困難であり、又、の大掛
りな油圧ユニットにより発生した油圧で複数のシリンダ
を駆動する方式にあってはコストの面で不利であり、特
に制御性が要求される場合のコストの増大が著しいとい
う問題があった。 本第１発明は、このような従来の問題に鑑みてなされ
たものであって、大掛りな油圧ユニットを持たずに複数
あるプランジャを均一に加圧できるマルチ式封止装置を
提供することを目的とする。 又、本第２発明は、第１発明に係るマルチ式封止装置
にサーボ機構（フィードバック機構）を組込むことによ
り、均一で且つ装置各部位の製造上のばらつきや経時的
なばらつき、あるいは操作時の油温のばらつき等に拘わ
らず加圧力の制御性を高く維持できるマルチ式封止装置
を提供することを目的とする。However, in the conventional multi-type sealing device,
Since there is a constraint that a plurality of plunger mechanisms must be installed in a limited space, there is a problem that an electric drive mechanism with good controllability cannot be installed in each plunger. Therefore, conventionally, it has been necessary to rely on a method using spring force, a method of driving a plurality of cylinders by hydraulic pressure generated by a large hydraulic unit, or the like. In this case, it is difficult to obtain uniform pressurization control of the plunger by the method utilizing the spring force of, and in the method of driving a plurality of cylinders by the hydraulic pressure generated by the large hydraulic unit of It is disadvantageous in terms of cost, and there is a problem that the cost increases remarkably when controllability is required. The first invention is made in view of such a conventional problem, and provides a multi-type sealing device capable of uniformly pressing a plurality of plungers without having a large hydraulic unit. To aim. Further, the second invention is uniform by incorporating a servo mechanism (feedback mechanism) in the multi-sealing device according to the first invention, and is uniform in manufacturing variation of each part of the device, variation over time, or during operation. It is an object of the present invention to provide a multi-type sealing device capable of maintaining high controllability of pressing force regardless of variations in oil temperature and the like.
本第１発明は、封止プレス用のプランジャを油圧によ
って金型内に押圧する構成とされた封止プレス用プラン
ジャ機構を、複数備えたマルチ式封止装置において、コ
ントローラからの電気的信号によって駆動される電動機
と、該電動機の回転運動を往復運動に変換する伝動手段
と、該伝動手段の出力である往復運動によってシリンダ
内のピストンの位置決めを行い、該ピストンの位置決め
によって液圧を発生する液圧発生手段と、該液圧発生手
段によって発生された液圧を前記複数の封止プレス用プ
ランジャ機構のそれぞれの前記プランジャに対して均等
に供給するための分岐油路と、を備えたことにより、上
記目的を達成したものである。 本第２発明は、第１発明に係るマルチ式封止装置にお
いて、更に液圧発生手段によって発生される液圧の値
（液圧力）を検出するセンサを備え、この検出された液
圧値に基づいて、該液圧値を、前記コントローラからの
電気信号を介してフィードバック制御することにより、
上記目的を達成したものである。The first aspect of the present invention is a multi-type sealing device including a plurality of sealing press plunger mechanisms configured to press a sealing press plunger into a mold by hydraulic pressure, in response to an electrical signal from a controller. The driven electric motor, the transmission means for converting the rotational movement of the electric motor into the reciprocating movement, and the reciprocating movement which is the output of the transmitting means positions the piston in the cylinder, and the positioning of the piston generates hydraulic pressure. A hydraulic pressure generating means; and a branch oil passage for evenly supplying the hydraulic pressure generated by the hydraulic pressure generating means to each of the plurality of plunger mechanisms for the sealing press. Thus, the above object is achieved. A second aspect of the present invention is the multi-type sealing device according to the first aspect, further comprising a sensor for detecting the value of the hydraulic pressure (fluid pressure) generated by the hydraulic pressure generating means, and the detected hydraulic pressure value. Based on this, by performing feedback control of the hydraulic pressure value via an electric signal from the controller,
The above object has been achieved.
本第１発明においては、コントローラからの電気的信
号によって、まず電動機を駆動する。この電動機の回転
運動は伝動手段によって往復運動に変換され、この伝動
手段の出力である往復運動によって液圧発生手段のシリ
ンダ内のピストンが位置決めされ、該ピストンの位置決
めによって所定の液圧が発生される。 即ちこの液圧発生手段によって発生される液圧の値
（液圧力）は、制御性の良好な電動機がコントローラか
らの電気的な信号によって駆動されることにより制御さ
れることになる。その結果得られる液圧値の精度は極め
て高いものとなる。 このようにして液圧発生手段によって発生された液圧
は、分岐油路を介して複数の封止プレス用プランジャ機
構のそれぞれのプランジャに対して均等に供給される。
そのため、結果としてコントローラからの電気信号のみ
によって複数のプランジャを同時に且つ均等に加圧する
ことができるようになる。又、基本的な駆動を電動機に
よっているため、加圧力の再現性も高く維持できる。 本第２発明においては、このような第１発明に係る封
止装置において、更に液圧発生手段によって発生される
液圧の値（液圧力）を実際に検出し、この検出された液
圧値に基づいて該液圧値をコントローラからの電気信号
を介してフィードバック制御するようにしているため、
装置の各部分のばらつき（製造ばらつき、経時的に発生
したばらつき、あるいは操作時の油温のばらつき等）の
如何に拘わらず常に所定の液圧が発生されるように該液
圧発生手段のピストンを位置決めできるようになる。In the first aspect of the present invention, the electric motor is first driven by the electric signal from the controller. The rotational movement of the electric motor is converted into reciprocating movement by the transmission means, the reciprocating movement which is the output of the transmission means positions the piston in the cylinder of the hydraulic pressure generating means, and the predetermined hydraulic pressure is generated by the positioning of the piston. It That is, the value of the hydraulic pressure (fluid pressure) generated by the hydraulic pressure generating means is controlled by driving an electric motor having good controllability with an electric signal from the controller. As a result, the accuracy of the hydraulic pressure value obtained is extremely high. The hydraulic pressure generated by the hydraulic pressure generating means in this manner is evenly supplied to the respective plungers of the plurality of sealing press plunger mechanisms via the branch oil passages.
Therefore, as a result, it becomes possible to pressurize the plurality of plungers simultaneously and evenly only by the electric signal from the controller. Moreover, since the basic drive is performed by the electric motor, the reproducibility of the pressing force can be maintained high. In the second aspect of the invention, in the sealing device according to the first aspect of the invention, the value of the hydraulic pressure (fluid pressure) generated by the hydraulic pressure generating means is actually detected, and the detected hydraulic pressure value is obtained. Since the hydraulic pressure value is feedback-controlled through the electric signal from the controller based on
The piston of the fluid pressure generating means is configured so that a predetermined fluid pressure is always generated regardless of variations in each part of the apparatus (variation in manufacturing, variation generated over time, variation in oil temperature during operation, etc.). Can be positioned.
以下図面に基づいて本発明の実施例を詳細に説明す
る。 第１図は、本第１発明（及び第２発明）に係るマルチ
式封止装置の実施例の構成を示すスケルトン図である。 この封止装置は、符号Ａで図示する液圧発生部（本発
明の実施例部分）と符号Ｂで図示するマルチトランスフ
ァ機構部、更には符号Ｃで図示する封止プレス用プラン
ジャ機構部とから構成されている。 前記マルチトランスファ機構部Ｂ及び封止プレス用プ
ランジャ機構部Ｃは、基本的に従来の構造と同様であ
る。即ちこの実施例では、封止プレス用プランジャ機構
部Ｃに３つの封止プレス用プランジャ機構が備えられて
いる。各々の封止プレス用プランジャ機構は、第２図を
用いて既に詳述したような構成とされている。 なお、第１図において符号22A〜22Cはピストンであ
り、プランジャ8A〜8Cを下金型４（第２図）内に押圧す
るためのものである。 前記液圧発生部Ａは、コントローラ30、電動機32、伝
動装置34、液圧発生装置36、及び分岐油路38によって主
に構成される。 前記電動機32は、コントローラ30からの電気信号によ
って駆動される。 前記伝動装置34は、電動機32の出力軸40に嵌入され該
出力軸40と一体的に回転する第１歯車42、この第１歯車
42と噛合して回転する第２歯車44、該第２歯車44と一体
的に回転すると共に図中矢視Ｘ方向の移動が阻止された
ナット46、及び該ナット46と噛合し該ナット46の回転に
伴って矢視Ｘ方向の往復動を行うねじ棒48とから主に構
成されている。 前記液圧発生装置36は、前記ねじ棒48と一体的に取付
けられ矢視Ｘ方向に往復動するピストン50及びシリンダ
52とから構成されている。 液圧発生装置36によって加圧された液体Ｌは、分岐油
路38を介してマルチトランスファ機構部Ｂの各ピストン
22A〜22Cの下面に供給されるようになっている。このピ
ストン22A〜22Cの下面の面積は各ピストンとも同一とさ
れている。 液圧発生装置36によって発生された液圧値は、圧力セ
ンサ54によって検出され、この検出値は電動機32のコン
トローラ30に取込まれている。コントローラ30は、この
検出値が設定値となるように電動機32をフィードバック
制御する。 次にこの実施例の作用を説明する。 圧力センサ54によって検出された液圧値に基づいて、
この液圧値が設定値となるようにコントローラ30から電
動機32へ向けて（フィードバックされた）電気信号が送
られる。電動機32はこの電気信号によって所定の速度で
所定の回転数だけ回転する。この回転は、伝動装置34の
第１歯車42、第２歯車44を介してナット46に伝達され、
該ナット46が所定の量だけ回転する。 ナット46は矢視Ｘ方向の移動が阻止されているため、
この回転によってねじ棒48が回転しながら矢視Ｘ方向に
移動することになる。この結果ねじ棒48に一体的に取付
けられた液圧発生装置36のピストン50がシリンダ52内の
所定の位置に位置決めされ、この位置に応じた液圧が分
岐油路38内に発生される。 マルチトランスファ機構部Ｂの各ピストン22A〜22Cの
下面はそれぞれ同一面積とされているため、分岐油路38
内に発生された液圧は各ピストン22A〜22Cの下面に均等
に加えられる。そのためそれぞれのピストンは全て同一
の押圧力にて押圧制御（加圧制御）されることになる。 この分岐油路38内の現実の液圧は圧力センサ54によっ
て検出され、コントローラ30によってフィードバック制
御される。これは既に説明した通りである。 この実施例によれば、マルチトランスファ機構部Ｂの
各ピストン22A〜22Cの押圧力を電動機32への電気信号に
よって制御することができる。電動機32の制御精度は極
めて高いため、この電動機32の出力によって液圧発生装
置36のピストン50を高い精度で位置決めでき、この位置
決めによって所定の液圧を精度良く発生することができ
る。そのため、大掛りな油圧ユニットを設けることな
く、低コストでしかも高い精度で複数あるプランジャの
均一加圧を行うことができるようになる。 又、電動機32が電気信号によって制御可能なことを利
用し、液圧発生装置36によって発生される液圧値に基づ
いて該油圧値をコントローラ30からの電気信号を介して
フィードバック制御するようにしたため、封止装置の各
部分の各種ばらつき等の如何に拘わらず常に液圧値を設
定値に正確に維持することができるようになっている。 なお、この実施例では伝動装置を第１、第２歯車42、
44、ナット46、及びねじ棒48によって構成していたが、
本発明に係る伝動装置（伝動手段）はこれに限定される
ものではなく、要は電動機の回転運動を精度良く往復運
動に変換できればよく、例えば歯車の代りにベルトある
いはチェーン機構を用いるものであってもよい。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a skeleton diagram showing a configuration of an embodiment of a multi-type sealing device according to the first invention (and the second invention). This sealing device is composed of a hydraulic pressure generating portion (part of the present invention) shown by reference numeral A, a multi-transfer mechanism portion shown by reference numeral B, and a plunger mechanism portion for sealing press shown by reference numeral C. It is configured. The multi-transfer mechanism B and the sealing press plunger mechanism C are basically the same as the conventional structure. That is, in this embodiment, the sealing press plunger mechanism portion C is provided with three sealing press plunger mechanisms. Each of the plunger mechanisms for the sealing press has the structure described in detail with reference to FIG. In FIG. 1, reference numerals 22A to 22C are pistons for pressing the plungers 8A to 8C into the lower mold 4 (FIG. 2). The hydraulic pressure generator A is mainly composed of a controller 30, an electric motor 32, a transmission device 34, a hydraulic pressure generator 36, and a branch oil passage 38. The electric motor 32 is driven by an electric signal from the controller 30. The transmission device 34 includes a first gear 42 that is fitted into the output shaft 40 of the electric motor 32 and rotates integrally with the output shaft 40.
A second gear 44 that rotates in mesh with 42, a nut 46 that rotates integrally with the second gear 44 and is prevented from moving in the X direction in the drawing, and a rotation of the nut 46 that meshes with the nut 46. Accordingly, the screw rod 48 reciprocates in the X direction as viewed from the arrow. The hydraulic pressure generator 36 is mounted integrally with the screw rod 48 and reciprocates in the X direction as viewed from the arrow.
52. The liquid L pressurized by the hydraulic pressure generator 36 is passed through the branch oil passage 38 to the pistons of the multi-transfer mechanism B.
It is designed to be supplied to the lower surface of 22A to 22C. The area of the lower surface of each of the pistons 22A to 22C is the same for each piston. The hydraulic pressure value generated by the hydraulic pressure generator 36 is detected by the pressure sensor 54, and the detected value is taken into the controller 30 of the electric motor 32. The controller 30 feedback-controls the electric motor 32 so that the detected value becomes the set value. Next, the operation of this embodiment will be described. Based on the hydraulic pressure value detected by the pressure sensor 54,
An electric signal (feedback) is sent from the controller 30 to the electric motor 32 so that the hydraulic pressure value becomes a set value. The electric motor 32 is rotated at a predetermined speed by a predetermined rotation speed by the electric signal. This rotation is transmitted to the nut 46 via the first gear 42 and the second gear 44 of the transmission 34,
The nut 46 rotates a predetermined amount. Since the nut 46 is blocked from moving in the X direction of the arrow,
This rotation causes the screw rod 48 to move in the X direction as viewed from the arrow while rotating. As a result, the piston 50 of the hydraulic pressure generator 36 integrally attached to the screw rod 48 is positioned at a predetermined position in the cylinder 52, and the hydraulic pressure corresponding to this position is generated in the branch oil passage 38. Since the lower surfaces of the pistons 22A to 22C of the multi-transfer mechanism B have the same area, the branch oil passage 38
The hydraulic pressure generated therein is evenly applied to the lower surface of each piston 22A to 22C. Therefore, the respective pistons are controlled to be pressed (pressurized) with the same pressing force. The actual hydraulic pressure in the branched oil passage 38 is detected by the pressure sensor 54 and feedback-controlled by the controller 30. This is as already explained. According to this embodiment, the pressing force of each piston 22A to 22C of the multi-transfer mechanism B can be controlled by an electric signal to the electric motor 32. Since the control accuracy of the electric motor 32 is extremely high, the piston 50 of the hydraulic pressure generating device 36 can be positioned with high accuracy by the output of the electric motor 32, and a predetermined hydraulic pressure can be accurately generated by this positioning. Therefore, it is possible to uniformly pressurize a plurality of plungers at low cost and with high accuracy without providing a large hydraulic unit. Further, by utilizing that the electric motor 32 can be controlled by an electric signal, the hydraulic pressure value is feedback-controlled based on the hydraulic pressure value generated by the hydraulic pressure generator 36 via an electric signal from the controller 30. The hydraulic pressure value can always be accurately maintained at the set value regardless of various variations in each part of the sealing device. In this embodiment, the transmission is composed of the first and second gears 42,
It consisted of 44, nut 46, and threaded rod 48,
The transmission device (transmission means) according to the present invention is not limited to this. The point is that the rotation motion of the electric motor can be accurately converted into a reciprocating motion. For example, a belt or chain mechanism is used instead of the gear. May be.
以上説明した通り、本発明によれば、複数ある封止プ
レス用のプランジャを、大掛りな油圧ユニットを設ける
ことなく均一に加圧制御することができるようになると
いう優れた効果が得られる。 又、液圧発生手段にサーボ機構（フィードバック制御
機構）を組込むことにより、プランジャの押圧力を各種
ばらつきの如何に拘わらず常に設定値に維持することが
できるようになるという効果が得られる。As described above, according to the present invention, it is possible to obtain the excellent effect that the plurality of plungers for the sealing press can be uniformly pressurized and controlled without providing a large hydraulic unit. Further, by incorporating a servo mechanism (feedback control mechanism) in the hydraulic pressure generation means, it is possible to obtain an effect that the pressing force of the plunger can always be maintained at a set value regardless of various variations.
第１図は、本発明の実施例に係るマルチ式封止装置の全
体概略構成を示すスケルトン図、 第２図は、前記実施例装置の封止プレス用プランジャ機
構部の一部を示す断面図である。 8A〜8C……（封止プレス用の）プランジャ、 Ａ……液圧発生部、 Ｂ……マルチトランスファ機構部、 Ｃ……封止プレス用プランジャ機構部、 30……コントローラ、 32……電動機、 34……伝動装置、 36……液圧発生装置、 38……分岐油路、 50……（液圧発生装置の）ピストン、 52……（液圧発生装置の）シリンダ、 54……圧力センサ、 Ｌ……液体。FIG. 1 is a skeleton diagram showing an overall schematic configuration of a multi-sealing device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view showing a part of a plunger mechanism portion for a sealing press of the device of the embodiment. Is. 8A-8C …… Plunger (for sealing press), A …… Liquid pressure generator, B …… Multi transfer mechanism, C …… Plunger mechanism for sealing press, 30 …… Controller, 32 …… Motor , 34 …… transmission device, 36 …… hydraulic pressure generator, 38 …… branched oil passage, 50 …… (hydraulic pressure generator) piston, 52 …… (hydraulic pressure generator) cylinder, 54 …… pressure Sensor, L ... Liquid.
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ２９Ｌ 31:34 Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Agency reference number FI Technical indication // B29L 31:34
Claims (2)
金型内に押圧する構成とされた封止プレス用プランジャ
機構を、複数備えたマルチ式封止装置において、 コントローラからの電気的信号によって駆動される電動
機と、 該電動機の回転運動を往復運動に変換する伝動手段と、 該伝動手段の出力である往復運動によってシリンダ内の
ピストンの位置決めを行い、該ピストンの位置決めによ
って液圧を発生する液圧発生手段と、 該液圧発生手段によって発生された液圧を前記複数の封
止プレス用プランジャ機構のそれぞれの前記プランジャ
に対して均等に供給するための分岐油路と、 を備えたことを特徴とするマルチ式封止装置。1. A multi-type sealing device having a plurality of sealing press plunger mechanisms configured to press a plunger for a sealing press into a mold by hydraulic pressure, driven by an electric signal from a controller. An electric motor, a transmission means for converting a rotational movement of the electric motor into a reciprocating movement, and a reciprocating movement which is an output of the transmitting means to position a piston in a cylinder, and a liquid for generating hydraulic pressure by the positioning of the piston. Pressure generating means, and a branch oil passage for evenly supplying the hydraulic pressure generated by the hydraulic pressure generating means to each of the plungers of the plurality of plunger mechanisms for the sealing press. Characteristic multi-type sealing device.
て、更に前記液圧発生手段によって発生される液圧の値
を検出するセンサを備え、この検出された液圧値に基づ
いて、該液圧値を前記コントローラからの電気信号を介
してフィードバック制御することを特徴とするマルチ式
封止装置。2. The multi-type sealing device according to claim 1, further comprising a sensor for detecting a value of hydraulic pressure generated by the hydraulic pressure generating means, and based on the detected hydraulic pressure value, A multi-type sealing device, wherein the hydraulic pressure value is feedback-controlled via an electric signal from the controller.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9423290A JP2677894B2 (en) | 1990-04-10 | 1990-04-10 | Multi-type sealing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9423290A JP2677894B2 (en) | 1990-04-10 | 1990-04-10 | Multi-type sealing device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03292117A JPH03292117A (en) | 1991-12-24 |
| JP2677894B2 true JP2677894B2 (en) | 1997-11-17 |
Family
ID=14104564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9423290A Expired - Fee Related JP2677894B2 (en) | 1990-04-10 | 1990-04-10 | Multi-type sealing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2677894B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100515717C (en) | 1999-12-16 | 2009-07-22 | 第一精工株式会社 | Resin packaging method |
| CN102909825A (en) * | 2012-10-25 | 2013-02-06 | 成都中科精密模具有限公司 | Independent multi-cylinder, isobaric and synchronous hydraulic injection molding system for semiconductor plastic packaged mould |
-
1990
- 1990-04-10 JP JP9423290A patent/JP2677894B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03292117A (en) | 1991-12-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080725 Year of fee payment: 11 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080725 Year of fee payment: 11 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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