JP2669003B2 - Magneto-optical disk - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は光磁気ディスクに係り、特に、記録特性の優
れた高品位な光磁気ディスクに関するものである。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical disk, and more particularly to a high-quality magneto-optical disk having excellent recording characteristics.
従来の技術 ディスク基板上に保護膜が形成されているとともに、
その保護膜上に磁気光学効果を有する光磁気記録媒体層
が設けられている光磁気ディスクが知られている。かか
る光磁気ディスクは、光の照射による局部加熱によって
上記光磁気記録媒体層を局部磁化して情報を記録し、ま
た、このようにして記録された情報を磁気光学効果を利
用して光学的に読み出すことができるものである。そし
て、前記ディスク基板には、一般に渦巻状若しくは同心
円状に凹凸が形成され、情報を記録するトラックが規定
されるようになっており、前記保護膜や光磁気記録媒体
層もその凹凸に倣った凹凸形状を成しているのが普通で
ある。Conventional technology While a protective film is formed on a disk substrate,
There is known a magneto-optical disk in which a magneto-optical recording medium layer having a magneto-optical effect is provided on the protective film. In such a magneto-optical disk, the magneto-optical recording medium layer is locally magnetized by local heating by irradiation of light to record information, and the information thus recorded is optically recorded by utilizing a magneto-optical effect. It can be read. The disk substrate is generally formed with concavities and convexities in a spiral shape or a concentric shape so that a track for recording information is defined, and the protective film and the magneto-optical recording medium layer also follow the concavities and convexities. It usually has an uneven shape.
発明が解決しようとする課題 しかしながら、光磁気記録媒体層が凹凸形状を成して
いると、その段差部分で膜厚が不均一になるとともに、
段差部分と平坦部分とで磁気特性の方向が異なるため、
均一な垂直磁気異方性が得られなくなって記録特性が損
なわれるという問題があった。However, when the magneto-optical recording medium layer has a concavo-convex shape, the film thickness becomes uneven at the step portion, and
Because the direction of the magnetic characteristics is different between the step portion and the flat portion,
There is a problem that uniform perpendicular magnetic anisotropy cannot be obtained and recording characteristics are impaired.
本発明は以上の事情を背景として為されたもので、そ
の目的とするところは、記録特性の優れた高品位な光磁
気ディスクを提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a high-quality magneto-optical disk having excellent recording characteristics.
課題を解決するための手段 かかる目的を達成するために、本発明は、ディスク基
板上に保護膜が形成されているとともに、その保護膜上
に磁気光学効果を有する光磁気記録媒体層が設けられて
おり、そのディスク基板側から光磁気記録媒体層に光が
照射される光磁気ディスクであって、（ａ）前記ディス
ク基板の前記保護膜側の面には、光を反射することによ
って情報を記録すべきトラックを規定する反射材が渦巻
状若しくは同心円状に設けられている一方、（ｂ）前記
保護膜は、その反射材の間の隙間を埋めるとともに前記
光磁気記録媒体層側の表面が平坦になるように形成さ
れ、その光磁気記録媒体層が略均一の厚さで平坦に設け
られていることを特徴とする。Means for Solving the Problems In order to achieve such an object, the present invention provides a method in which a protective film is formed on a disk substrate, and a magneto-optical recording medium layer having a magneto-optical effect is provided on the protective film. A magneto-optical disk in which light is irradiated from the disk substrate side to the magneto-optical recording medium layer, and (a) information is reflected on the surface of the disk substrate on the protective film side by reflecting light. While a reflecting material that defines a track to be recorded is provided in a spiral shape or a concentric shape, (b) the protective film fills a gap between the reflecting materials and has a surface on the side of the magneto-optical recording medium layer. The magneto-optical recording medium layer is formed so as to be flat, and the magneto-optical recording medium layer is provided flat with a substantially uniform thickness.
なお、上記保護膜の光磁気記録媒体層側の表面は必ず
しも厳密に平坦である必要はなく、急峻な凹凸がなくな
る程度であっても差支えない。また、かかる保護膜は、
例えば回転塗布法により液体ガラスをディスク基板上に
塗布して固化したものによって構成される。Note that the surface of the protective film on the side of the magneto-optical recording medium layer does not necessarily have to be strictly flat, and may be of such a degree that sharp irregularities are eliminated. Also, such a protective film is
For example, it is formed by applying liquid glass on a disk substrate by a spin coating method and solidifying the liquid glass.
作用および発明の効果 このような光磁気ディスクによれば、光磁気記録媒体
層が略均一の厚さで平坦であるため、安定な磁気特性を
有する均一な垂直磁気異方性が得られ、その記録特性が
大幅に向上する。According to such a magneto-optical disk, since the magneto-optical recording medium layer has a substantially uniform thickness and is flat, a uniform perpendicular magnetic anisotropy having stable magnetic properties can be obtained. Recording characteristics are greatly improved.
実施例 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明
する。Embodiment Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
第１図は、本発明の一実施例である光磁気ディスク10
の要部断面図であり、この光磁気ディスク10は、ディス
ク基板12上（図では下側）に干渉膜14,光磁気記録媒体
層16,および保護膜18を順次積層したものである。FIG. 1 shows a magneto-optical disk 10 according to an embodiment of the present invention.
The magneto-optical disk 10 has a structure in which an interference film 14, a magneto-optical recording medium layer 16, and a protective film 18 are sequentially laminated on a disk substrate 12 (the lower side in the figure).
ディスク基板12は、ガラス基板20に金属製反射材22を
渦巻状若しくは同心円状に固着したもので、例えば第２
図に示されているようにして作製される。すなわち、先
ず第２図の（ａ）に示されているように平坦なガラス基
板20を用意し、その一面に、（ｂ）に示されているよう
に上記反射材22を構成する金属膜24をスパッタリングや
蒸着等の手段で形成し、更にレジスト26をその金属膜24
上に塗布する。次に、レーザ露光法等により、（ｃ）に
示されているように上記レジスト26を渦巻状若しくは同
心円状に取り除いた後、エッチングによって（ｄ）に示
されているように金属膜24を除去することにより、その
金属膜24の一部が前記反射材22としてガラス基板20上に
残される。そして、その反射材22上に残されたレジスト
26を除去することにより、（ｅ）に示されているディス
ク基板12が作製される。上記反射材22は、ガラス基板20
側から照射されるレーザ光を反射して情報を記録すべき
トラックを規定するものである。The disk substrate 12 is a glass substrate 20 on which a metallic reflecting material 22 is fixed in a spiral or concentric shape.
It is produced as shown in the figure. That is, first, a flat glass substrate 20 is prepared as shown in FIG. 2 (a), and a metal film 24 constituting the reflecting material 22 as shown in FIG. 2 (b) is provided on one surface thereof. Is formed by means such as sputtering or vapor deposition, and a resist 26 is further formed on the metal film 24.
Apply on top. Next, the resist 26 is removed in a spiral or concentric manner as shown in FIG. 3C by a laser exposure method or the like, and then the metal film 24 is removed by etching as shown in FIG. By doing so, a part of the metal film 24 is left on the glass substrate 20 as the reflecting material 22. Then, the resist left on the reflective material 22
By removing 26, the disk substrate 12 shown in (e) is produced. The reflective material 22 is a glass substrate 20.
The laser beam emitted from the side is reflected to define a track on which information should be recorded.
また、上記ディスク基板12上に設けられる干渉膜14
は、特許請求の範囲における保護膜に相当するもので、
化学変化から光磁気記録媒体層16を保護するとともに、
光磁気記録媒体層16において反射される反射光のカー回
転角を増大させ、且つ光の干渉により干渉膜14の両面で
反射する反射光を打ち消す作用を為すものであり、SiO2
（二酸化珪素）等の化学的に安定な透明な酸化物にて構
成される。かかる干渉膜14は、本実施例ではその作製手
段により第１膜14aおよび第２膜14bから構成されてお
り、第１膜14aは、回転塗布法によりディスク基板12の
反射材22側を上向きにして回転させつつ液体ガラスを用
いた酸化物を供給して塗布し、これを400℃程度の高温
ベークを用いて固化させたものである。これにより、反
射材22間の隙間が埋められ、第１膜14aのディスク基板1
2と反対側の面は、ディスク基板12の凹凸に拘らず略平
坦となる。また、第２膜14bは、スパッタリング，真空
蒸着等の物理的薄膜作製法、或いはCVD（Chemical Vapo
r Deposition）法等の化学的薄膜作製法により、上記第
１膜14aと同じ物質をその第１膜14a上に形成したもの
で、干渉膜14が予め定められた所定の厚さとなるように
調整される。In addition, the interference film 14 provided on the disk substrate 12
Is equivalent to the protective film in the claims,
While protecting the magneto-optical recording medium layer 16 from chemical changes,
Increasing the Kerr rotation angle of the reflected light reflected at the magneto-optical recording medium layer 16, which and an action to cancel the reflected light reflected by both surfaces of the interference film 14 by the interference of light, SiO 2
(Silicon dioxide) or the like, which is composed of a chemically stable transparent oxide. In the present embodiment, the interference film 14 is composed of a first film 14a and a second film 14b by the manufacturing means, and the first film 14a is formed by the spin coating method so that the reflective material 22 side of the disk substrate 12 faces upward. It is a product obtained by supplying and applying an oxide using liquid glass while rotating by rotating, and then solidifying the oxide by using a high temperature bake at about 400 ° C. As a result, the gap between the reflective materials 22 is filled, and the disk substrate 1 of the first film 14a is formed.
The surface opposite to 2 is substantially flat regardless of the unevenness of the disk substrate 12. The second film 14b is formed by a physical thin film forming method such as sputtering or vacuum deposition, or a CVD (Chemical Vapo
The same material as that of the first film 14a is formed on the first film 14a by a chemical thin film forming method such as an r Deposition method, and the interference film 14 is adjusted to have a predetermined thickness. Is done.
光磁気記録媒体層16は、希土類と遷移金属とを主成分
とするアモルファス金属である光磁気材料、例えばテル
ビ鉄コバルト（TeFeCo）等を用いて、スパッタリングや
真空蒸着等により0.1μｍ以下の厚さで上記干渉膜14上
に形成されている。本実施例では、干渉膜14のディスク
基板12と反対側の表面が略平坦に形成されているところ
から、この光磁気記録媒体層16は、略均一な厚さで平坦
に設けられる。The magneto-optical recording medium layer 16 is made of a magneto-optical material which is an amorphous metal mainly composed of a rare earth and a transition metal, for example, terbiironcobalt (TeFeCo) or the like, and has a thickness of 0.1 μm or less by sputtering or vacuum deposition. Is formed on the interference film 14. In this embodiment, since the surface of the interference film 14 on the side opposite to the disk substrate 12 is formed substantially flat, the magneto-optical recording medium layer 16 is provided flat with a substantially uniform thickness.
保護膜18は、上記光磁気記録媒体層16を化学変化から
保護し且つカー回転角を増加させる反射効果を顕著とす
るためのもので、前記干渉膜14と同様にSiO2等の化学的
に安定な透明の酸化物にて構成される。かかる保護膜18
も、その作製手段により第１膜18aおよび第２膜18bから
構成されており、第１膜18aは、スパッタリング，真空
蒸着等の物理的薄膜作製法、或いはCVD法等の化学的薄
膜作製法によって作製されている。また、第２膜18b
は、回転塗布法によって上記第１膜18aと同じ物質をそ
の第１膜18a上に上乗せし、高温ベークを用いて固化さ
せたもので、保護膜18が予め定められた所定の厚さとな
るように調整される。この膜厚は、例えば１μｍ以下に
定められる。Protective film 18 serves to remarkable reflection effect of increasing the protected and Kerr rotation angle of the above magneto-optical recording medium layer 16 from chemical change, the interference film 14 similarly to chemically such as SiO 2 It is composed of a stable transparent oxide. Such a protective film 18
Also, the first film 18a is composed of a first film 18a and a second film 18b by the manufacturing means, and the first film 18a is formed by a physical thin film manufacturing method such as sputtering or vacuum deposition, or a chemical thin film manufacturing method such as a CVD method. Have been made. Also, the second film 18b
Is obtained by depositing the same substance as the first film 18a on the first film 18a by a spin coating method and solidifying by using a high temperature bake so that the protective film 18 has a predetermined thickness. It is adjusted to. This film thickness is set to, for example, 1 μm or less.
なお、前記干渉膜14の第２膜14b,光磁気記録媒体層1
6,および保護膜18の第１膜18aは、真空中から取り出す
ことなく連続して作製される。The second film 14b of the interference film 14 and the magneto-optical recording medium layer 1
6, and the first film 18a of the protective film 18 are continuously manufactured without being taken out from the vacuum.
そして、かかる光磁気ディスク10は、そのディスク基
板12を通してレーザ光が光磁気記録媒体層16に照射され
ると、磁気光学効果により光磁気記録媒体層16における
局部磁化方向に関連して反射光のカー回転角が変化させ
られ、この反射光のカー回転角に基づいて情報が読み出
される。また、情報の書込みに際しては、レーザ光の照
射に基づいてキュリー点まで局部加熱し、この局部の冷
却時に外部磁界の方向を所望する方向へ制御することに
より磁化方向に対応した情報を記録する。When a laser beam is applied to the magneto-optical recording medium layer 16 through the disk substrate 12, the magneto-optical disk 10 generates reflected light in relation to the local magnetization direction in the magneto-optical recording medium layer 16 by a magneto-optical effect. The car rotation angle is changed, and information is read based on the car rotation angle of the reflected light. Further, when writing information, the information corresponding to the magnetization direction is recorded by locally heating to the Curie point based on the irradiation of the laser beam and controlling the direction of the external magnetic field to a desired direction when cooling the local portion.
ここで、本実施例の光磁気ディスク10は、光磁気記録
媒体層16が略均一の厚さで平坦であるため、安定な磁気
特性を有する均一な垂直磁気異方性が得られ、その記録
特性が大幅に向上する。因に、従来の光磁気ディスクは
第３図に示されているように、光磁気記録媒体層16がデ
ィスク基板12′の凹凸に対応した凹凸形状を成していた
ため、均一な垂直磁気異方性が得られなくなって記録特
性が損なわれるという問題があったのである。なお、第
３図のディスク基板12′には一体に凹凸が設けられてい
る一方、干渉膜14′，保護膜18′は、それぞれスパッタ
リング，真空蒸着等の単一の薄膜作製法により作製され
ている。Here, in the magneto-optical disk 10 of the present embodiment, since the magneto-optical recording medium layer 16 is flat with a substantially uniform thickness, a uniform perpendicular magnetic anisotropy having stable magnetic properties is obtained. The characteristics are greatly improved. Incidentally, in the conventional magneto-optical disk, as shown in FIG. 3, since the magneto-optical recording medium layer 16 has an uneven shape corresponding to the unevenness of the disk substrate 12 ', a uniform perpendicular magnetic anisotropy is obtained. Thus, there is a problem that the recording characteristics cannot be obtained and the recording characteristics are impaired. The disc substrate 12 'of FIG. 3 is integrally provided with irregularities, while the interference film 14' and the protective film 18 'are formed by a single thin film forming method such as sputtering and vacuum deposition. I have.
また、本実施例の製造方法においては、光磁気記録媒
体層16,およびその両面に位置する干渉膜14の第２膜14
b,保護膜18の第１膜18aが、真空中から取り出すことな
く連続して作製されるため、光磁気記録媒体層16の化学
変化が良好に防止されるとともに、光磁気ディスク10を
能率的に製造できる利点がある。Further, in the manufacturing method of the present embodiment, the magneto-optical recording medium layer 16 and the second film 14 of the interference film 14 located on both surfaces thereof.
b, Since the first film 18a of the protective film 18 is continuously formed without taking it out from the vacuum, the chemical change of the magneto-optical recording medium layer 16 is favorably prevented and the magneto-optical disk 10 is efficiently manufactured. There is an advantage that can be manufactured.
以上、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明
したが、本発明は他の態様で実施することもできる。As mentioned above, although one Example of this invention was described in detail based on drawing, this invention can be implemented in another aspect.
例えば、前記実施例ではディスク基板12がガラス基板
20と反射材22とから構成されているが、ガラス基板20の
替わりにアクリル樹脂，ポリカーボネート樹脂，ポリオ
レフィン樹脂等の合成樹脂などを用いたりすることも可
能である。For example, in the above embodiment, the disk substrate 12 is a glass substrate.
Although it is composed of the reflective material 20 and the reflective material 22, it is also possible to use a synthetic resin such as an acrylic resin, a polycarbonate resin, or a polyolefin resin instead of the glass substrate 20.
また、上記反射材22は金属製であるが、窒化物等の金
属以外の物質を用いることもできる。The reflector 22 is made of a metal, but a substance other than a metal such as a nitride may be used.
また、前記干渉膜14,保護膜18は、その作製手段によ
りそれぞれ第１膜14a,18aおよび第２膜14b,18bから構成
されているが、それぞれ単一の薄膜作製法により１回で
干渉膜14,保護膜18を作製するようにしても、或いは複
数の薄膜作製法により３層以上に分けて作製するように
しても差支えない。Further, the interference film 14 and the protective film 18 are composed of the first films 14a and 18a and the second films 14b and 18b, respectively, according to their manufacturing means. 14, The protective film 18 may be formed, or may be divided into three or more layers by a plurality of thin film forming methods.
また、上記干渉膜14,保護膜18の材質は必要に応じて
適宜変更され得る。Further, the materials of the interference film 14 and the protective film 18 can be appropriately changed as necessary.
また、前述した光磁気ディスク10の製造方法はあくま
でも一例であり、他の種々の製造方法を採用することが
できる。要するに、干渉膜14の光磁気記録媒体層16側の
表面に急峻な凹凸がなく、光磁気記録媒体層16が略均一
の厚さで平坦に設けられれば良いのである。Further, the above-described manufacturing method of the magneto-optical disk 10 is merely an example, and various other manufacturing methods can be adopted. In short, it suffices that there is no sharp unevenness on the surface of the interference film 14 on the magneto-optical recording medium layer 16 side, and the magneto-optical recording medium layer 16 is provided with a substantially uniform thickness and flat.
なお、前記実施例における干渉膜14,保護膜18の作製
方法、すなわち干渉膜14,保護膜18のうち光磁気記録媒
体層16に接する部分は、物理的または化学的な薄膜作製
法によって作製し、磁気記録媒体層16から離間する部分
は回転塗布法によって作製する方法は、必ずしも光磁気
記録媒体層16が平坦となる本発明による光磁気ディスク
の製造に適用されるのみならず、光磁気記録媒体層がデ
ィスク基板12の凹凸に対応した凹凸形状を成す従来の光
磁気ディスクの製造にも同様に適用され得る。The method of manufacturing the interference film 14 and the protective film 18 in the above-described embodiment, that is, the portion of the interference film 14 and the protective film 18 that is in contact with the magneto-optical recording medium layer 16 was manufactured by a physical or chemical thin film manufacturing method. The method of producing the portion separated from the magnetic recording medium layer 16 by the spin coating method is not necessarily applied to the production of the magneto-optical disk according to the present invention in which the magneto-optical recording medium layer 16 is flat, and the magneto-optical recording is performed. It can be similarly applied to the manufacture of a conventional magneto-optical disk in which the medium layer has an uneven shape corresponding to the unevenness of the disk substrate 12.
その他一々例示はしないが、本発明は当業者の知識に
基づいて種々の変更、改良を加えた態様で実施すること
かできる。Although not individually exemplified, the present invention can be implemented in various modified and improved modes based on the knowledge of those skilled in the art.
第１図は本発明の一実施例である光磁気ディスクの要部
断面図である。第２図は第１図の光磁気ディスクにおけ
るディスク基板の作製方法の一例を説明する図である。
第３図は従来の光磁気ディスクの一例を示す要部断面図
である。 10:光磁気ディスク、12:ディスク基板 14:干渉膜（保護膜）、16:光磁気記録媒体層 22:反射材FIG. 1 is a sectional view of the essential parts of a magneto-optical disk according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a view for explaining an example of a method of manufacturing a disk substrate in the magneto-optical disk of FIG.
FIG. 3 is a sectional view of an essential part showing an example of a conventional magneto-optical disk. 10: Magneto-optical disk, 12: Disk substrate 14: Interference film (protective film), 16: Magneto-optical recording medium layer 22: Reflective material
Claims (1)
とともに、該保護膜上に磁気光学効果を有する光磁気記
録媒体層が設けられており、該ディスク基板側から該光
磁気記録媒体層に光が照射される光磁気ディスクであっ
て、 前記ディスク基板の前記保護膜側の面には、光を反射す
ることによって情報を記録すべきトラックを規定する反
射材が渦巻状若しくは同心円状に設けられている一方、 前記保護膜は、該反射材の間の隙間を埋めるとともに前
記光磁気記録媒体層側の表面が平坦になるように形成さ
れ、該光磁気記録媒体層が略均一の厚さで平坦に設けら
れている ことを特徴とする光磁気ディスク。A protective film formed on a disk substrate, a magneto-optical recording medium layer having a magneto-optical effect is provided on the protective film, and the magneto-optical recording medium layer is formed from the disk substrate side. In the magneto-optical disk which is irradiated with light, the surface of the disk substrate on the side of the protective film is provided with a reflecting material that defines a track for recording information by reflecting light in a spiral or concentric shape. On the other hand, the protective film is formed so as to fill the gap between the reflecting materials and to have a flat surface on the magneto-optical recording medium layer side, and the magneto-optical recording medium layer has a substantially uniform thickness. A magneto-optical disk characterized by being provided flat.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63279910A JP2669003B2 (en) | 1988-11-05 | 1988-11-05 | Magneto-optical disk |
| US07/432,457 US5089358A (en) | 1988-11-05 | 1989-11-06 | Optical recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63279910A JP2669003B2 (en) | 1988-11-05 | 1988-11-05 | Magneto-optical disk |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02126442A JPH02126442A (en) | 1990-05-15 |
| JP2669003B2 true JP2669003B2 (en) | 1997-10-27 |
Family
ID=17617620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63279910A Expired - Fee Related JP2669003B2 (en) | 1988-11-05 | 1988-11-05 | Magneto-optical disk |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2669003B2 (en) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61153133U (en) * | 1985-03-13 | 1986-09-22 |
-
1988
- 1988-11-05 JP JP63279910A patent/JP2669003B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02126442A (en) | 1990-05-15 |
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