JP2668512B2 - 軟x線による物体表面の静電気除去装置 - Google Patents
軟x線による物体表面の静電気除去装置Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば電子材料及び
それに関連する産業における液晶、集積回路、プリント
基板の製造行程及び各種素材、又は印刷材料及び製紙、
高分子材料等の関連産業におけるシート材料、素材、更
に繊維関連産業等における製品の帯電を防止する、すな
わち静電気を除去する装置に関する。
それに関連する産業における液晶、集積回路、プリント
基板の製造行程及び各種素材、又は印刷材料及び製紙、
高分子材料等の関連産業におけるシート材料、素材、更
に繊維関連産業等における製品の帯電を防止する、すな
わち静電気を除去する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、電子材料及びそれに関連する産
業、又は印刷材料及び製紙、高分子材料等の関連産業、
更に繊維関連産業等の製品等においては、その性質上静
電気の発生が起こり易く、この製品等に発生した静電気
は、例えば液晶、電界効果トランジスタ、CMOS素子
等の電子部品では、静電気に対して非常に弱いことから
電子部品の破損につながり易く、また印刷や搬送行程に
おいて紙、プラスチックフィルム等のシート状或は板状
の製品において吸着力を発揮し、2枚重ね取り等の不具
合を生じさせ、更に高電圧静電気帯電時における放電に
より発生する閃光により、フィルム等のように感光剤を
塗布した材料に対して露光させてしまう等の重要な問題
の原因となるものであるから、各種産業においては製品
等に発生する静電気を除去する装置として次のような装
置を一般的に採用している。すなわち、タングステン或
はステンレス製の針状或は棒状の電極に対して高電圧を
印加することにより、上記針状或は棒状の電極の先端部
においてコロナ放電を発生させた上で、このコロナ放電
に伴って上記針状或は棒状の電極の先端部の周囲に生じ
る電離状態の空気を利用することにより静電気を除去し
てなる装置や、アース電位に接続し、導電性材料からな
る繊維により構成されるブラシを、帯電した物体の表面
に近接或は接触させることで、物体表面の電荷をブラシ
を介して放電させて静電気を除去してなる装置である。
業、又は印刷材料及び製紙、高分子材料等の関連産業、
更に繊維関連産業等の製品等においては、その性質上静
電気の発生が起こり易く、この製品等に発生した静電気
は、例えば液晶、電界効果トランジスタ、CMOS素子
等の電子部品では、静電気に対して非常に弱いことから
電子部品の破損につながり易く、また印刷や搬送行程に
おいて紙、プラスチックフィルム等のシート状或は板状
の製品において吸着力を発揮し、2枚重ね取り等の不具
合を生じさせ、更に高電圧静電気帯電時における放電に
より発生する閃光により、フィルム等のように感光剤を
塗布した材料に対して露光させてしまう等の重要な問題
の原因となるものであるから、各種産業においては製品
等に発生する静電気を除去する装置として次のような装
置を一般的に採用している。すなわち、タングステン或
はステンレス製の針状或は棒状の電極に対して高電圧を
印加することにより、上記針状或は棒状の電極の先端部
においてコロナ放電を発生させた上で、このコロナ放電
に伴って上記針状或は棒状の電極の先端部の周囲に生じ
る電離状態の空気を利用することにより静電気を除去し
てなる装置や、アース電位に接続し、導電性材料からな
る繊維により構成されるブラシを、帯電した物体の表面
に近接或は接触させることで、物体表面の電荷をブラシ
を介して放電させて静電気を除去してなる装置である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のものにおいて、タングステン或はステンレス製の針
状或は棒状の電極に対して高電圧を印加することによ
り、上記針状或は棒状の電極の先端部においてコロナ放
電を発生させた上で、このコロナ放電に伴って上記針状
或は棒状の電極の先端部の周囲に生じる電離状態の空気
を利用することにより静電気を除去してなる装置の場
合、電極の先端部において発生させるコロナ放電の際
に、電極に対して印加される高電圧は、電子部品にとっ
て有害なノイズの原因となるものであり、又、この電極
の先端部で発生するコロナ放電も狭小な範囲に留まり、
広範囲な静電気の除去を行うに当たっては膨大な設備が
必要となるものである。更に、電離した状態の空気を生
じさせるためにコロナ放電を発生させる場合に、電極と
除電対象物の表面との距離は通常10〜100mmで用
いられることから、上記除電対象物の位置決め操作を行
うに当たって感電の恐れがあり、更に電極のコロナ放電
自体が爆発等の原因となるため、それに対応する防爆対
策も必要となる欠点がある。
来のものにおいて、タングステン或はステンレス製の針
状或は棒状の電極に対して高電圧を印加することによ
り、上記針状或は棒状の電極の先端部においてコロナ放
電を発生させた上で、このコロナ放電に伴って上記針状
或は棒状の電極の先端部の周囲に生じる電離状態の空気
を利用することにより静電気を除去してなる装置の場
合、電極の先端部において発生させるコロナ放電の際
に、電極に対して印加される高電圧は、電子部品にとっ
て有害なノイズの原因となるものであり、又、この電極
の先端部で発生するコロナ放電も狭小な範囲に留まり、
広範囲な静電気の除去を行うに当たっては膨大な設備が
必要となるものである。更に、電離した状態の空気を生
じさせるためにコロナ放電を発生させる場合に、電極と
除電対象物の表面との距離は通常10〜100mmで用
いられることから、上記除電対象物の位置決め操作を行
うに当たって感電の恐れがあり、更に電極のコロナ放電
自体が爆発等の原因となるため、それに対応する防爆対
策も必要となる欠点がある。
【0004】一方、アース電位に接続し、導電性材料か
らなる繊維により構成されるブラシを、帯電した物体の
表面に近接或は接触させることで、物体表面の電荷をブ
ラシを介して放電させて静電気を除去してなる装置の場
合は、除電対象物の表面に接触させて放電させる時に、
ブラシを構成する導電性材料からなる繊維が除電対象物
の表面に傷をつける恐れがある上、ブラシ自体の表面に
付着したゴミが再び除電対象物の表面に再付着してしま
う不具合を起こす問題があり、更に、ブラシの除電対象
物への当接具合いによって除電効果が不均一になるとい
う欠点がある。
らなる繊維により構成されるブラシを、帯電した物体の
表面に近接或は接触させることで、物体表面の電荷をブ
ラシを介して放電させて静電気を除去してなる装置の場
合は、除電対象物の表面に接触させて放電させる時に、
ブラシを構成する導電性材料からなる繊維が除電対象物
の表面に傷をつける恐れがある上、ブラシ自体の表面に
付着したゴミが再び除電対象物の表面に再付着してしま
う不具合を起こす問題があり、更に、ブラシの除電対象
物への当接具合いによって除電効果が不均一になるとい
う欠点がある。
【0005】そこで、この発明は、上記従来のものの有
する欠点を改善するものであり、簡易且つ安価に製造し
うる構造により、作業者等の安全を確保しつつ、静電気
除去作業を迅速かつ確実に行えるようにしてなるもので
ある。
する欠点を改善するものであり、簡易且つ安価に製造し
うる構造により、作業者等の安全を確保しつつ、静電気
除去作業を迅速かつ確実に行えるようにしてなるもので
ある。
【0006】
【課題を解決するための手段】そのために、吸入用シロ
ッコファンによって外部より電離箱等の遮蔽空間内に吸
入される空気に対して、上記電離箱等の遮蔽空間内にお
いて、最大有効照射空間を確保できるように、単独或は
互いに対向するように壁面に配置される軟X線管より発
生する軟X線を照射することにより電離状態とし、この
電離した状態にある空気を排気用シロッコファンにより
物体表面に吹き付けることによって、電離した状態にあ
る空気を利用して物体表面に帯電する静電気を除去して
なるものである。
ッコファンによって外部より電離箱等の遮蔽空間内に吸
入される空気に対して、上記電離箱等の遮蔽空間内にお
いて、最大有効照射空間を確保できるように、単独或は
互いに対向するように壁面に配置される軟X線管より発
生する軟X線を照射することにより電離状態とし、この
電離した状態にある空気を排気用シロッコファンにより
物体表面に吹き付けることによって、電離した状態にあ
る空気を利用して物体表面に帯電する静電気を除去して
なるものである。
【0007】
【作用】上記構成を具えるので、電離箱等の遮蔽空間内
に吸入用シロッコファンによって吸入される空気に対し
て、軟X線発生管より発生する軟X線を照射することに
より、この電離箱等の遮蔽空間内に吸入される空気は、
正電荷と負電荷を有する電離した状態となり、この電離
した状態の空気を、排気用シロッコファンによって帯電
する物体の表面に吹き付けることにより、物体表面の正
又は負電荷は、電気的に中和されて静電気を除去するこ
とができると共に、空気の電離は正又は負同量の電荷を
発生させるため、除電対象物自体を帯電させる恐れがな
く、残留静電気量を少なくさせることが可能となる。
に吸入用シロッコファンによって吸入される空気に対し
て、軟X線発生管より発生する軟X線を照射することに
より、この電離箱等の遮蔽空間内に吸入される空気は、
正電荷と負電荷を有する電離した状態となり、この電離
した状態の空気を、排気用シロッコファンによって帯電
する物体の表面に吹き付けることにより、物体表面の正
又は負電荷は、電気的に中和されて静電気を除去するこ
とができると共に、空気の電離は正又は負同量の電荷を
発生させるため、除電対象物自体を帯電させる恐れがな
く、残留静電気量を少なくさせることが可能となる。
【0008】更に、この電離した空気は、軟X線発生管
により発生する軟X線によるものであるので、空気の主
成分である窒素及び酸素ばかりでなく、二酸化炭素や水
までも電離状態とすることができるほど強力であるの
で、電離した分子の寿命も長くなるため、静電気の帯電
しにくい空間を容易に作り出し、確実に静電気を防止す
ることができ、更に軟X線により電離した状態の空気を
排気用シロッコファンに よって除電対象物の表面に対し
て吹き付けてなるものであるので、作業者の安全を十分
に確保しつつ、広範囲かつ複雑な静電気除去範囲にも対
応することができ、また電離した気体を大量に使用する
ことができるので粉体における静電気除去等にも安全に
かつ確実に対応することができるものである。
により発生する軟X線によるものであるので、空気の主
成分である窒素及び酸素ばかりでなく、二酸化炭素や水
までも電離状態とすることができるほど強力であるの
で、電離した分子の寿命も長くなるため、静電気の帯電
しにくい空間を容易に作り出し、確実に静電気を防止す
ることができ、更に軟X線により電離した状態の空気を
排気用シロッコファンに よって除電対象物の表面に対し
て吹き付けてなるものであるので、作業者の安全を十分
に確保しつつ、広範囲かつ複雑な静電気除去範囲にも対
応することができ、また電離した気体を大量に使用する
ことができるので粉体における静電気除去等にも安全に
かつ確実に対応することができるものである。
【0009】
【実施例】この発明を図に示す実施例により更に説明す
る。(1)は、この発明の実施例である静電気除去装置
あり、この静電気除去装置(1)は、軟X線を発生させ
る軟X線発生管(3)を内装する電離箱(2)と、この
電離箱(2)内において外部の空気を吸入すると共に、
電離箱(2)内に内装される軟X線発生管(3)から発
生する軟X線の照射により生じた電離した状態の空気を
電離箱(2)外に排出してなる吸入用シロッコファン
(4)及び排気用シロッコファン(5)から構成される
ものである。
る。(1)は、この発明の実施例である静電気除去装置
あり、この静電気除去装置(1)は、軟X線を発生させ
る軟X線発生管(3)を内装する電離箱(2)と、この
電離箱(2)内において外部の空気を吸入すると共に、
電離箱(2)内に内装される軟X線発生管(3)から発
生する軟X線の照射により生じた電離した状態の空気を
電離箱(2)外に排出してなる吸入用シロッコファン
(4)及び排気用シロッコファン(5)から構成される
ものである。
【0010】すなわち、吸入用シロッコファン(4)に
よって外部より電離箱(2)内に吸入される空気に対し
て、上記電離箱(2)内において、最大有効照射空間を
確保できるように適当な放射角θを有すると共に、単独
或は互いに対向するように壁面に配置される軟X線管
(3)に対して、例えば10kvの電圧をかけることに
より発生する軟X線(最短波長λmin.≧12.39
5オングストローム/10kv=1.23オングストロ
ーム)を照射することにより電離状態とし、この電離し
た状態にある空気を物体表面に排気用シロッコファン
(5)により帯電する物体(6)の表面に吹き付けてな
るものである。
よって外部より電離箱(2)内に吸入される空気に対し
て、上記電離箱(2)内において、最大有効照射空間を
確保できるように適当な放射角θを有すると共に、単独
或は互いに対向するように壁面に配置される軟X線管
(3)に対して、例えば10kvの電圧をかけることに
より発生する軟X線(最短波長λmin.≧12.39
5オングストローム/10kv=1.23オングストロ
ーム)を照射することにより電離状態とし、この電離し
た状態にある空気を物体表面に排気用シロッコファン
(5)により帯電する物体(6)の表面に吹き付けてな
るものである。
【0011】なお、物質にX線を照射することにより生
じる蛍光X線、すなわち二次X線が問題となるが、電離
箱(2)内に内装される軟X線発生管(3)によって発
生する軟X線を、吸入用シロッコファン(4)により電
離箱(2)内に吸入する空気に対して照射することによ
り電離状態とするため、この場合の二次X線自体は極め
て強度が弱く、2mm程度の鉄板により遮蔽を行うこと
で電離箱(2)の外部に漏洩することを防止でき、また
軟X線の電離能力と空気の放射線吸収能力との均衡によ
り、電離状態となるのは長さ(L)400mm程の距離
の間でとなり、従ってその最大有効照射空間は、軟X線
発生管(3)から長さ(L)が400mm先で、その有
効円半径をL・tanθ/2で示される空間に限られる
ものとなる。
じる蛍光X線、すなわち二次X線が問題となるが、電離
箱(2)内に内装される軟X線発生管(3)によって発
生する軟X線を、吸入用シロッコファン(4)により電
離箱(2)内に吸入する空気に対して照射することによ
り電離状態とするため、この場合の二次X線自体は極め
て強度が弱く、2mm程度の鉄板により遮蔽を行うこと
で電離箱(2)の外部に漏洩することを防止でき、また
軟X線の電離能力と空気の放射線吸収能力との均衡によ
り、電離状態となるのは長さ(L)400mm程の距離
の間でとなり、従ってその最大有効照射空間は、軟X線
発生管(3)から長さ(L)が400mm先で、その有
効円半径をL・tanθ/2で示される空間に限られる
ものとなる。
【0012】この発明の実施例である静電気除去装置
(1)は以上の構成を具えるので、電離箱(2)内に吸
入用シロッコファン(4)によって吸入される空気に対
して、10kvの高電圧を印加することにより電離箱
(2)内に内装する軟X線発生管(3)より発生する軟
X線を照射することによって、この電離箱(2)内に吸
入される空気は、正電荷と負電荷を同量有する電離した
状態となり、この電離した状態の空気を、電離した空気
が再結合して電気的に中和してしまうことを防止するた
めに排気用シロッコファン(5)によって適度に攪拌し
つつ、帯電する物体(6)の表面に吹き付けることによ
って、この物体(6)の表面に帯電する正又は負電荷
は、電気的に中和されることとなるため静電気を除去す
ることができると共に、空気の電離は正又は負同量の電
荷を発生させるため、除電対象物たる物体(6)自体を
帯電させる恐れがなく、残留静電気量を少なくさせるこ
とが可能となるものである。
(1)は以上の構成を具えるので、電離箱(2)内に吸
入用シロッコファン(4)によって吸入される空気に対
して、10kvの高電圧を印加することにより電離箱
(2)内に内装する軟X線発生管(3)より発生する軟
X線を照射することによって、この電離箱(2)内に吸
入される空気は、正電荷と負電荷を同量有する電離した
状態となり、この電離した状態の空気を、電離した空気
が再結合して電気的に中和してしまうことを防止するた
めに排気用シロッコファン(5)によって適度に攪拌し
つつ、帯電する物体(6)の表面に吹き付けることによ
って、この物体(6)の表面に帯電する正又は負電荷
は、電気的に中和されることとなるため静電気を除去す
ることができると共に、空気の電離は正又は負同量の電
荷を発生させるため、除電対象物たる物体(6)自体を
帯電させる恐れがなく、残留静電気量を少なくさせるこ
とが可能となるものである。
【0013】更に、この電離した空気は、電離箱(2)
内に内装する軟X線発生管(3)により発生する軟X線
によるものであるので、空気の主成分である窒素及び酸
素ばかりでなく、二酸化炭素や水までも電離状態とする
ことができるほど強力であるので、電離した分子の寿命
も長くなるため、確実に物体(6)の表面に帯電する静
電気を除去することができ、更に軟X線により電離した
状態の空気を除電対象物の物体(6)の表面に対して吹
き付けてなるものであるので、感電等の事故から作業者
の安全を十分に確保し、広範囲かつ複雑な静電気除去範
囲にも安全にかつにも確実に対応することができるもの
である。
内に内装する軟X線発生管(3)により発生する軟X線
によるものであるので、空気の主成分である窒素及び酸
素ばかりでなく、二酸化炭素や水までも電離状態とする
ことができるほど強力であるので、電離した分子の寿命
も長くなるため、確実に物体(6)の表面に帯電する静
電気を除去することができ、更に軟X線により電離した
状態の空気を除電対象物の物体(6)の表面に対して吹
き付けてなるものであるので、感電等の事故から作業者
の安全を十分に確保し、広範囲かつ複雑な静電気除去範
囲にも安全にかつにも確実に対応することができるもの
である。
【0014】次に、図3に示すものは、この発明の応用
例であり、クリーンルーム或はクリーンブース(7)内
における静電気除去装置(1’)であり、このクリーン
ルーム或はクリーンブース(7)内における静電気除去
装置(1’)は、天井(8)内において外部から空気を
吸入すると共に、上記天井(8)方向に向けて送風を行
う送風ブロア(9)を配設すると共に、この送風ブロア
(9)によって天井(8)方向に送風されてきた空気
を、天井(8)に穿設する吸入孔(10)より、クリー
ンルーム或はクリーンブース(7)内に導入すると共
に、天井(8)の内方向に付設され、互いに対向する位
置に配置される軟X線発生管(3)により軟X線を照射
することにより電離した状態の空気とし、それに伴って
クリーンルーム或はクリーンブース(7)内の下部よ
り、クリーンルーム或はクリーンブース(7)内の空気
を排出するものとすることで、クリーンルーム或はクリ
ーンブース(7)内において上部から下部に向けての電
離した状態の空気の流れが発生するため、クリーンルー
ム或はクリーンブース(7)内における塵等の発生や付
着を抑制しつつ、クリーンルーム或はクリーンブース
(7)及び物体(6)の表面に帯電する静電気を除去す
ることができるものである。
例であり、クリーンルーム或はクリーンブース(7)内
における静電気除去装置(1’)であり、このクリーン
ルーム或はクリーンブース(7)内における静電気除去
装置(1’)は、天井(8)内において外部から空気を
吸入すると共に、上記天井(8)方向に向けて送風を行
う送風ブロア(9)を配設すると共に、この送風ブロア
(9)によって天井(8)方向に送風されてきた空気
を、天井(8)に穿設する吸入孔(10)より、クリー
ンルーム或はクリーンブース(7)内に導入すると共
に、天井(8)の内方向に付設され、互いに対向する位
置に配置される軟X線発生管(3)により軟X線を照射
することにより電離した状態の空気とし、それに伴って
クリーンルーム或はクリーンブース(7)内の下部よ
り、クリーンルーム或はクリーンブース(7)内の空気
を排出するものとすることで、クリーンルーム或はクリ
ーンブース(7)内において上部から下部に向けての電
離した状態の空気の流れが発生するため、クリーンルー
ム或はクリーンブース(7)内における塵等の発生や付
着を抑制しつつ、クリーンルーム或はクリーンブース
(7)及び物体(6)の表面に帯電する静電気を除去す
ることができるものである。
【0015】更に、図4に示すものは、この発明の他の
応用例であり、この高圧縮空気用の静電気除去装置
(1”)は、外部より導入する圧縮空気を外部と遮蔽さ
れる電離タンク(11)内に導入すると共に、この電離
タンク(11)内で軟X線発生管(3)により発生され
る軟X線をこの圧縮空気に照射することにより電離状態
とする空気とした上で、この電離タンク(11)に接続
されるエアガン等の圧縮空気排出機構(12)により、
物体(6)の帯電した表面に対して、電離タンク(1
1)内の高圧の電離した状態の空気を吹き付けてなるも
のであるから、電離した状態の空気を静電気除去に瞬間
的にしかも大量に使用することができることから、特に
粉塵爆発の恐れがある大量の粉体に対する静電気除去
や、液体及び液体容器または液体の流れるパイプ、更に
は局所的な静電気除去を確実に行うことができるもので
ある。
応用例であり、この高圧縮空気用の静電気除去装置
(1”)は、外部より導入する圧縮空気を外部と遮蔽さ
れる電離タンク(11)内に導入すると共に、この電離
タンク(11)内で軟X線発生管(3)により発生され
る軟X線をこの圧縮空気に照射することにより電離状態
とする空気とした上で、この電離タンク(11)に接続
されるエアガン等の圧縮空気排出機構(12)により、
物体(6)の帯電した表面に対して、電離タンク(1
1)内の高圧の電離した状態の空気を吹き付けてなるも
のであるから、電離した状態の空気を静電気除去に瞬間
的にしかも大量に使用することができることから、特に
粉塵爆発の恐れがある大量の粉体に対する静電気除去
や、液体及び液体容器または液体の流れるパイプ、更に
は局所的な静電気除去を確実に行うことができるもので
ある。
【0016】
【発明の効果】以上のとおり、吸入用シロッコファンに
よって吸入された空気に対し軟X線を照射することによ
って生じる電離した状態の空気を、排気用シロッコファ
ンによ って除電対象物の表面に吹き付けることにより静
電気を除去するものであり、簡単且つ安価な構造によ
り、広範囲或は複雑な除電対象物の表面の静電気除去に
対応することができる上、電離した空気を生じさせる軟
X線を発生させる軟X線発生管自体の寿命も長く、コス
トの低減が十分に実施し得るものであり、特に軟X線の
発生自体が軟X線発生管の放電現象を利用するものとな
るため、電子部品に対するノイズをも防止できるという
優れた効果を有するものである。
よって吸入された空気に対し軟X線を照射することによ
って生じる電離した状態の空気を、排気用シロッコファ
ンによ って除電対象物の表面に吹き付けることにより静
電気を除去するものであり、簡単且つ安価な構造によ
り、広範囲或は複雑な除電対象物の表面の静電気除去に
対応することができる上、電離した空気を生じさせる軟
X線を発生させる軟X線発生管自体の寿命も長く、コス
トの低減が十分に実施し得るものであり、特に軟X線の
発生自体が軟X線発生管の放電現象を利用するものとな
るため、電子部品に対するノイズをも防止できるという
優れた効果を有するものである。
【図1】この発明の実施例である静電気除去装置の全体
透視斜視図である。
透視斜視図である。
【図2】図1における全体側面図である。
【図3】この発明の応用例であるクリーンルーム又はク
リーンブース用の静電気除去装置の概要図である。
リーンブース用の静電気除去装置の概要図である。
【図4】この発明の他の応用例である高圧縮空気用の静
電気除去装置の静電気除去装置の概要図である。
電気除去装置の静電気除去装置の概要図である。
1、1’、1” 静電気除去装置 2 電離箱 3 軟X線発生管 4 吸入用シロッコファン 5 排気用シロッコファン 6 物体 7 クリーンルーム又はクリーンブース 8 天井 9 送風ブロア 10 吸入孔 11 電離タンク 12 エアガン等の圧縮空気排出機構
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平1−274396(JP,A) 特開 平7−6860(JP,A) 国際公開94/5138(WO,A)
Claims (1)
- 【請求項1】 吸入用シロッコファンによって外部より
電離箱等の遮蔽空間内に吸入される空気に対して、上記
電離箱等の遮蔽空間内において、最大有効照射空間を確
保できるように、単独或は互いに対向するように壁面に
配置される軟X線管より発生する軟X線を照射すること
により電離状態とし、この電離した状態にある空気を排
気用シロッコファンにより物体表面に吹き付けてなる軟
X線による物体表面の静電気除去装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6282482A JP2668512B2 (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | 軟x線による物体表面の静電気除去装置 |
TW84113301A TW289205B (ja) | 1994-10-24 | 1995-12-13 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6282482A JP2668512B2 (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | 軟x線による物体表面の静電気除去装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08124695A JPH08124695A (ja) | 1996-05-17 |
JP2668512B2 true JP2668512B2 (ja) | 1997-10-27 |
Family
ID=17653017
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6282482A Expired - Fee Related JP2668512B2 (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | 軟x線による物体表面の静電気除去装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2668512B2 (ja) |
TW (1) | TW289205B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002098188A1 (en) * | 2001-05-29 | 2002-12-05 | Techno Ryowa Ltd. | Ionized air flow discharge type non-dusting ionizer |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3223142B2 (ja) | 1997-08-22 | 2001-10-29 | チッソ株式会社 | 液晶表示素子の製造法 |
JP4751275B2 (ja) * | 2006-08-23 | 2011-08-17 | 近藤工業株式会社 | 軟x線式静電除去装置に使用する軟x線遮蔽シートおよびその製造方法 |
KR101471382B1 (ko) * | 2013-10-15 | 2014-12-10 | (주)선재하이테크 | 진공챔버용 연엑스선 제전장치 |
KR101439209B1 (ko) * | 2013-10-30 | 2014-09-12 | (주)선재하이테크 | 에어 분사 방식을 갖는 연엑스선 이오나이저 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4827371A (en) * | 1988-04-04 | 1989-05-02 | Ion Systems, Inc. | Method and apparatus for ionizing gas with point of use ion flow delivery |
JP2677945B2 (ja) * | 1993-06-18 | 1997-11-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | イオンガス発生装置 |
-
1994
- 1994-10-24 JP JP6282482A patent/JP2668512B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-12-13 TW TW84113301A patent/TW289205B/zh active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002098188A1 (en) * | 2001-05-29 | 2002-12-05 | Techno Ryowa Ltd. | Ionized air flow discharge type non-dusting ionizer |
US7126807B2 (en) | 2001-05-29 | 2006-10-24 | Techno Ryowa Ltd. | Ionized air flow discharge type non-dusting ionizer |
CN1301633C (zh) * | 2001-05-29 | 2007-02-21 | 菱和技术株式会社 | 离子化气流释出型无发尘静电消除机 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW289205B (ja) | 1996-10-21 |
JPH08124695A (ja) | 1996-05-17 |
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