JP2668476B2 - Anti-vibration device - Google Patents
Anti-vibration deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、除振装置に係り、特に
振動を嫌う機械装置を搭載した除振台床板を浮上懸架し
て、除振台設置床からの振動を除去する除振装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an anti-vibration device, and in particular, an anti-vibration device for removing vibrations from a floor on which an anti-vibration table is installed by suspending an anti-vibration table floor plate equipped with a mechanical device that dislikes vibration About.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、振動を極度に嫌う、電子顕微
鏡、半導体製造装置等の機械装置は、除振装置に搭載さ
れて使用されてきた。従来の除振装置の一例として、空
気ばね方式がある。電子顕微鏡、半導体製造装置等の機
械装置は、空気ばねを具備する除振台床板に搭載され
て、設置床の振動が空気ばねにより吸収され、除振台床
板に搭載された機械装置に伝わらないようになってい
た。しかしながら、空気ばね方式の除振装置は、機械的
なものであり、振動を完全に取除くことはできず、特に
微少な振動を完全に除去するのには無理があった。更
に、空気ばねの限界を越える大きな振動に対して、振動
を吸収することができず、除振台床板に搭載した電子顕
微鏡等に衝撃を与えてしまうことがある。2. Description of the Related Art Conventionally, mechanical devices such as electron microscopes and semiconductor manufacturing devices, which are extremely reluctant to vibrate, have been used by being mounted on a vibration isolation device. An example of a conventional vibration isolator is an air spring system. Mechanical devices such as an electron microscope and a semiconductor manufacturing device are mounted on a vibration isolation table floor provided with an air spring, and the vibration of the installation floor is absorbed by the air spring and is not transmitted to the machinery mounted on the vibration isolation table floor. It was like. However, the air spring type vibration damping device is mechanical, and cannot completely remove the vibration. In particular, it was impossible to completely remove the minute vibration. Furthermore, vibration cannot be absorbed by a large vibration exceeding the limit of the air spring, and an impact may be given to an electron microscope or the like mounted on a vibration-isolation table floor plate.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、係る従来技
術の問題点に鑑み、除振台床板を設置床より浮上懸架す
ることにより、更に、除振台床板の加速度を検出し、床
板上の振動を打消す制御手段を具備することにより、設
置床の微少振幅の振動をも完全に除去することのできる
除振装置を提供する。In view of the problems of the prior art, the present invention further detects the acceleration of the vibration isolation base floor plate by suspending and suspending the vibration isolation base floor plate from the installation floor, and By providing a control means for canceling the vibration of the above, it is possible to provide a vibration isolator capable of completely eliminating even the vibration of a small amplitude of the installation floor.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明の除振装置は、除
振台床板に固定された磁性体と、該磁性体を磁気力によ
り非接触支持する設置床側に固定された浮上用電磁石と
からなり、前記除振台床板に固定された磁性体には、非
磁性体を介して薄い磁極部を四方に具備し、その磁極部
に磁気吸引力を作用させる制御用電磁石を備え、除振台
床板の加速度を検出することにより、除振台床板に加え
られる振動を打消すように制御用電磁石の励磁を制御す
る。A vibration isolator according to the present invention comprises a magnetic body fixed to a floor plate of a vibration isolation base, and a levitation electromagnet fixed to a floor for non-contact support of the magnetic body by magnetic force. The magnetic body fixed to the anti-vibration base floor plate is provided with thin magnetic pole portions in four directions via non-magnetic bodies, and a control electromagnet for exerting a magnetic attraction force on the magnetic pole portion is provided. By detecting the acceleration of the shaking table floor plate, the excitation of the control electromagnet is controlled so as to cancel the vibration applied to the vibration damping table floor plate.
【０００５】[0005]
【作用】設置床側に固定された浮上用電磁石は、励磁電
流が流れると、磁気吸引力により、除振台床板に固定さ
れた磁性体を吸引し浮上支持する。従って、磁性体に固
定された除振台床板は、設置床側に対して非接触で浮上
懸架された状態となる。更に、除振台床板に固定された
磁性体は、非磁性体を介して薄い磁極部を四方に備え、
その磁極部に近接して、ヨークを有する制御用電磁石を
具備する。従って、除振台床板の加速度を検出すること
により、振動を打消すような磁気吸引力を、磁性体の薄
板に対して、制御用電磁石のヨークより印加することに
より、除振台床板は、設置床の微少振幅の振動に対して
も除振される。When the exciting current flows, the levitation electromagnet fixed to the installation floor side attracts the magnetic material fixed to the anti-vibration table floor plate by magnetic attraction, and floats and supports it. Therefore, the vibration isolation base floor plate fixed to the magnetic body is in a state of being suspended and suspended without contact with the installation floor side. Further, the magnetic body fixed to the floor plate of the anti-vibration table has thin magnetic pole parts on all sides through a non-magnetic body,
A control electromagnet having a yoke is provided near the magnetic pole portion. Therefore, by detecting the acceleration of the vibration isolation base floor plate, a magnetic attraction force that cancels vibration is applied to the thin plate of magnetic material from the yoke of the control electromagnet, whereby the vibration isolation base floor plate is Vibration can be removed even with minute amplitude vibration of the installation floor.
【０００６】[0006]
【実施例】図５は、本発明の一実施例の除振装置の
（ａ）は、平面図であり、（ｂ）は側面図である。除振
台床板１は、電磁石からなるアクチュエータ２により浮
上懸架された状態となっている。アクチュエータ２は、
設置床３に設置され、除振台床板１を、図示するように
４点で支持する。除振台床板１の上には電子顕微鏡、半
導体製造装置等の振動を極度に嫌う機械装置が搭載され
る。FIG. 5A is a plan view and FIG. 5B is a side view of a vibration isolator according to an embodiment of the present invention. The anti-vibration base plate 1 is suspended and suspended by an actuator 2 made of an electromagnet. Actuator 2 is
It is installed on the installation floor 3 and supports the vibration isolation table floor plate 1 at four points as shown in the figure. On the vibration isolation base floor plate 1, a mechanical device such as an electron microscope and a semiconductor manufacturing device that is extremely reluctant to vibrate is mounted.
【０００７】図１は、本発明の一実施例の除振装置のア
クチュエータ部分の説明図である。除振台床板１は、支
持部材１２を介して、磁性体ディスク４に接続固定され
ている。磁性体ディスク４は、高透磁率の磁性材料であ
る。浮上用電磁石５は、設置床３に固定されており、電
磁石５は、環状のコイルがヨーク９に巻回されたもの
で、ヨーク９は、磁性体ディスク４に対向している。即
ち、ヨーク９と磁性体ディスク４とは、その間の空隙を
介して浮上用電磁石の磁気回路を形成する。変位センサ
８は、磁性体ディスク４に設けられたターゲットによ
り、磁性体ディスク４、即ち、除振台床板１と設置床と
の相対変位を検出する。FIG. 1 is an explanatory view of an actuator portion of a vibration isolator according to an embodiment of the present invention. The vibration isolation floor plate 1 is connected and fixed to the magnetic disk 4 via the support member 12. The magnetic disk 4 is a magnetic material having high magnetic permeability. The levitation electromagnet 5 is fixed to the installation floor 3. The electromagnet 5 is formed by winding an annular coil around a yoke 9, and the yoke 9 faces the magnetic disk 4. That is, the yoke 9 and the magnetic disk 4 form a magnetic circuit of the levitation electromagnet through the gap therebetween. The displacement sensor 8 detects the relative displacement between the magnetic disk 4, that is, the vibration isolation floor plate 1 and the installation floor, by the target provided on the magnetic disk 4.
【０００８】磁性体ディスク４の四方の端部には、非磁
性体１１を介して、薄い磁極部１４を備えている。薄い
磁極部１４の両端に微少にずれ近接して、ヨーク１０を
有する制御用電磁石７が配置されている。ヨーク１０
は、その先端がテーパ状をなしており、薄い磁極部１４
と空隙を介して、磁気回路を形成する。図２は、本発明
の一実施例の除振装置のアクチュエータ部分の平面図で
ある。磁性体ディスク４の四方に配置された制御用電磁
石７は、コイル１３によって励磁されると、テーパ状の
先端を有するヨーク１０から、空隙を介して、微少にず
れ近接した薄い磁極部１４を通って、再び空隙を介し
て、ヨーク１０に戻る磁気回路が形成され、磁束が形成
される。ヨーク１０の先端はテーパ状をなしており、磁
極部１４は薄いので、磁束は狭い範囲に集中し、微少振
幅にも強い磁気的せん断力を生じる。そして、薄い磁極
部１４は、四方の制御用電磁石７のテーパ状をなすヨー
ク１０の微少にずれ近接した内側に位置している。この
ため、制御用電磁石７が励磁されると、薄い磁極部１４
は、ヨーク１０の磁気的せん断力により水平方向の力を
受ける。即ち、図面の右側の制御用電磁石７が励磁され
ると、磁性体ディスク４は右向き（Ｘ方向）の水平方向
の力を受け、この力は、励磁電流の大きさに比例する。
このように磁性体ディスク４の四方の端部の薄い磁極部
に近接して設けられた、制御用電磁石によって、磁性体
ディスク４には、ＸＹ平面上で、任意の方向の力を作用
させることができる。Thin magnetic pole portions 14 are provided at four ends of the magnetic disk 4 with a non-magnetic material 11 interposed therebetween. A control electromagnet 7 having a yoke 10 is arranged at both ends of the thin magnetic pole portion 14 so as to be slightly shifted and close to each other. York 10
Has a tapered tip and a thin magnetic pole portion 14
A magnetic circuit is formed through the gap. FIG. 2 is a plan view of an actuator portion of the vibration isolation device according to the exemplary embodiment of the present invention. When energized by the coil 13, the control electromagnets 7 arranged on the four sides of the magnetic disk 4 pass through the thin magnetic pole portion 14 which is slightly shifted and close from the yoke 10 having a tapered tip through a gap. Then, a magnetic circuit returning to the yoke 10 via the air gap is formed again, and a magnetic flux is formed. Since the tip of the yoke 10 has a tapered shape and the magnetic pole portion 14 is thin, the magnetic flux is concentrated in a narrow range, and a strong magnetic shear force is generated even with a small amplitude. The thin magnetic pole portion 14 is located inside the taper-shaped yoke 10 of the control electromagnets 7 on the four sides, which is slightly deviated and close to the tapered yoke 10. Therefore, when the control electromagnet 7 is excited, the thin magnetic pole portion 14
Receives a horizontal force due to the magnetic shear force of the yoke 10. That is, when the control electromagnet 7 on the right side of the drawing is excited, the magnetic disk 4 receives a rightward (X direction) horizontal force, and this force is proportional to the magnitude of the exciting current.
In this way, the electromagnets for control, which are provided close to the thin magnetic poles at the four ends of the magnetic disk 4, apply a force to the magnetic disk 4 in any direction on the XY plane. Can be.
【０００９】次に、この除振装置の動作について説明す
る。図１において、浮上用電磁石５のコイルに励磁電流
が流れると、浮上用電磁石５のヨーク９と、磁性体ディ
スク４の間には空隙を介して磁気回路が形成され、磁束
が生じる。この磁束の磁気的吸引力により、磁性体ディ
スク４は非接触浮上する。除振台床板１に搭載された機
械装置を含めた重力と、電磁石５による磁気的な吸引力
がバランスした位置で、磁性体ディスク４即ち除振台床
板１は、設置床３より非接触で浮上保持される。即ち、
浮上用電磁石５は、設置床３に固定されているので、機
械装置を搭載した除振台床板１が、設置床３より浮上懸
架されている。従って、浮上用電磁石５は主として垂直
方向のみの力によって除振台床板１を支えている。水平
方向には、浮上用電磁石５のヨーク９の外周と磁性体デ
ィスク４に生じる磁気せん断力及び、制御用電磁石７と
薄い磁極部１４に生じる磁気せん断力によって、磁性体
ディスク４は支持されている。Next, the operation of the vibration isolator will be described. In FIG. 1, when an exciting current flows through the coil of the levitation electromagnet 5, a magnetic circuit is formed between the yoke 9 of the levitation electromagnet 5 and the magnetic disk 4 via a gap, and a magnetic flux is generated. Due to the magnetic attraction of this magnetic flux, the magnetic disk 4 floats in a non-contact manner. At the position where the gravity including the mechanical devices mounted on the vibration isolation base floor plate 1 and the magnetic attraction force by the electromagnet 5 are balanced, the magnetic disk 4 or the vibration isolation base floor plate 1 is in contact with the installation floor 3 in a non-contact manner. It is held floating. That is,
Since the floating electromagnet 5 is fixed to the installation floor 3, the anti-vibration table floor plate 1 on which the mechanical device is mounted is suspended above the installation floor 3. Therefore, the levitation electromagnet 5 supports the vibration isolation base plate 1 mainly by the force only in the vertical direction. In the horizontal direction, the magnetic disk 4 is supported by the magnetic shearing force generated on the outer circumference of the yoke 9 of the levitation electromagnet 5 and the magnetic disk 4, and the magnetic shearing force generated on the control electromagnet 7 and the thin magnetic pole portion 14. I have.
【００１０】除振台床板１には、加速度センサ６を具備
し、水平方向の加速度に応じた水平方向の制御を行う。
加速度センサ６は、除振台床板１のＸＹ方向の加速度を
検出し、床板上の振動を打消すようなＸＹ方向の磁気的
吸引力を制御用電磁石７を励磁することによって磁性体
ディスク４の薄い磁極部１４に与える。薄い磁極部１４
は、非磁性体１１を介して、磁性体ディスク４に接続さ
れており、制御用電磁石７のヨーク１０の先端は、テー
パ状をなしているため、微少振幅の振動に対して強い磁
気吸引力を作用させることが可能である。The anti-vibration base plate 1 is provided with an acceleration sensor 6 to perform horizontal control according to the horizontal acceleration.
The acceleration sensor 6 detects the XY-direction acceleration of the anti-vibration base floor plate 1 and excites the control electromagnet 7 with a magnetic attraction force in the XY directions that cancels the vibration on the floor plate. This is applied to the thin magnetic pole portion 14. Thin magnetic pole part 14
Is connected to the magnetic disk 4 via the non-magnetic material 11, and the tip of the yoke 10 of the control electromagnet 7 has a tapered shape, so that a strong magnetic attraction force against vibration of a minute amplitude. Can be applied.
【００１１】図３は、本発明の一実施例の除振装置の垂
直方向制御のブロック図である。浮上位置指令信号１５
により所望する磁性体ディスク４の垂直方向の浮上位置
を指定する。比較器１７によって、浮上位置指定信号１
５と、変位センサ８の信号を変位センサアンプ１６で増
幅した信号とを比較する。そして変位センサアンプ１６
の出力が浮上位置指令信号１５に達しない場合には、そ
の差分が位相補償回路１８によって、位相が調整され、
ドライブ回路１９によって電力増幅され、浮上用電磁石
５のコイルに励磁電流として印加される。浮上用電磁石
５に励磁電流が流れると、磁性材料である磁性体ディス
ク４に対して磁気吸引力が発生し、磁性体ディスク４は
浮上する。このようなフィードバック制御系によって、
磁性体ディスク４の位置は、浮上位置指令信号１５によ
って指定された位置まで浮上する。FIG. 3 is a block diagram of vertical control of the vibration isolator according to an embodiment of the present invention. Ascent position command signal 15
Specifies the desired floating position of the magnetic disk 4 in the vertical direction. The floating position designation signal 1 is output from the comparator 17.
5 is compared with the signal obtained by amplifying the signal of the displacement sensor 8 by the displacement sensor amplifier 16. And displacement sensor amplifier 16
If the output of 1 does not reach the flying position command signal 15, the phase is adjusted by the phase compensation circuit 18 by the difference,
The power is amplified by the drive circuit 19 and applied to the coil of the levitation electromagnet 5 as an exciting current. When an exciting current flows through the levitation electromagnet 5, a magnetic attraction force is generated with respect to the magnetic disk 4, which is a magnetic material, and the magnetic disk 4 floats. With such a feedback control system,
The position of the magnetic disk 4 flies to the position designated by the flying position command signal 15.
【００１２】図４は、本発明の一実施例の除振装置の水
平方向制御のブロック図である。除振台床板１上に設置
された加速度センサ６で、除振台に加えられる水平方向
の加速度を検出する。そして検出された加速度を、そ
のまま増幅回路２１に入力する、積分回路２０によっ
て、積分することにより、速度の情報に変換し増幅回路
２１に入力する、又、二回積分することにより、変位
の情報に変換し増幅回路２１に入力する。そして一定の
ゲインを有する増幅回路２１で増幅後、整流検波回路２
２で、＋側−側を振分け、ドライブ回路２３でそれぞれ
電力増幅し、右側左側の制御用電磁石７Ｒ，７Ｌのコイ
ル１３に印加する。FIG. 4 is a block diagram of horizontal control of the vibration isolator according to an embodiment of the present invention. An acceleration sensor 6 installed on the vibration isolation table floor plate 1 detects the horizontal acceleration applied to the vibration isolation table. Then, the detected acceleration is input to the amplifier circuit 21 as it is, converted to speed information by being integrated by the integrating circuit 20 and input to the amplifier circuit 21, or the displacement information is integrated twice. And input to the amplifier circuit 21. After being amplified by an amplifier circuit 21 having a constant gain, the rectification detection circuit 2
In 2, the + side and-side are distributed, the power is amplified by the drive circuit 23, and the amplified power is applied to the coils 13 of the control electromagnets 7R and 7L on the right side.
【００１３】加速度の情報で制御用電磁石７を励磁する
ことによって（）、みかけ上の除振台床板１のトータ
ルの重量が増加し、固有振動値が下がる。加速度信号を
積分回路に通し、速度の情報で制御用電磁石７を励磁す
ることによって（）、固有振動のピークをつぶすこと
ができる。更に、変位の情報で制御用電磁石７を励磁す
ることによって（）、仮想支持点からのバネ剛性を上
げることになり、固有振動系のレベルを下げることがで
きる。By exciting the control electromagnet 7 with the acceleration information (), the apparent total weight of the anti-vibration base plate 1 increases, and the natural vibration value decreases. By passing the acceleration signal through the integration circuit and exciting the control electromagnet 7 with the speed information (), the peak of the natural vibration can be suppressed. Further, by exciting the control electromagnet 7 with the displacement information (), the spring rigidity from the virtual support point is increased, and the level of the natural vibration system can be reduced.
【００１４】それ故、全体として、除振台床板１に搭載
された加速度センサ６の水平方向加速度に基づいて、制
御用電磁石７を励磁することにより、除振台床板１に加
えられる水平方向の振動を打消す、固有振動値のピーク
をつぶした除振制御を行うことができる。Therefore, as a whole, by exciting the control electromagnet 7 based on the horizontal acceleration of the acceleration sensor 6 mounted on the anti-vibration base plate 1, the horizontal direction applied to the anti-vibration base plate 1 can be increased. It is possible to perform vibration removal control that cancels the vibration and eliminates the peak of the natural vibration value.
【００１５】更に、除振台床板１に垂直方向の加速度セ
ンサを取付け、垂直方向の加速度を検出し、この信号を
もとに、垂直方向に浮上用電磁石の励磁電流をコントロ
ールすることが考えられる。このような制御によって、
水平方向、鉛直方向の絶対座標系での除振が可能とな
る。Further, it is conceivable to attach a vertical acceleration sensor to the vibration isolation base floor plate 1, detect the vertical acceleration, and control the exciting current of the levitation electromagnet in the vertical direction based on this signal. . With such control,
Vibration can be removed in the absolute coordinate system in the horizontal and vertical directions.
【００１６】[0016]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の除
振装置は、除振台床板に固定された磁性体を、設置床側
に固定された電磁石の磁気力により非接触浮上するもの
である。磁性体の四方の端部には、非磁性体を介して薄
い磁極部を備え、磁極部に近接したヨークを有する制御
用電磁石を具備している。従って、除振台床板の水平方
向の加速度を検出し、除振台床板に加えられる力を打消
すように、制御用電磁石を励磁することによって、小振
幅から大振幅に至るあらゆる設置床の振動を取り除く
（除振する）ことが可能となる。特に、磁性体の端部に
は、非磁性体を介して薄い磁極部を備え、制御用電磁石
のヨークは、先端がテーパ状をなしているので、微少振
幅の除振が可能となる。As described in detail above, the vibration isolator according to the present invention levitates the magnetic body fixed to the vibration isolation base floor plate in a non-contact manner by the magnetic force of the electromagnet fixed to the installation floor side. It is. The four ends of the magnetic body are provided with a thin magnetic pole portion via a non-magnetic material, and a control electromagnet having a yoke close to the magnetic pole portion. Therefore, by detecting the horizontal acceleration of the anti-vibration base plate and exciting the control electromagnet so as to cancel the force applied to the anti-vibration base plate, the vibration of all floors from small amplitude to large amplitude can be detected. Can be removed (vibrated). In particular, a thin magnetic pole portion is provided at the end of the magnetic material via a non-magnetic material, and the yoke of the control electromagnet has a tapered tip, so that it is possible to remove a minute amplitude vibration.
【図１】本発明の一実施例の除振装置のアクチュエータ
部分の説明図。FIG. 1 is an explanatory diagram of an actuator portion of a vibration isolation device according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施例の除振装置のアクチュエータ
部分の平面図。FIG. 2 is a plan view of an actuator portion of the vibration isolation device according to the exemplary embodiment of the present invention.
【図３】本発明の一実施例の除振装置の垂直方向制御の
ブロック図。FIG. 3 is a block diagram of vertical control of a vibration isolation device according to an embodiment of the present invention.
【図４】本発明の一実施例の除振装置の水平方向制御の
ブロック図。FIG. 4 is a block diagram of horizontal control of a vibration isolation device according to an exemplary embodiment of the present invention.
【図５】本発明の一実施例の除振装置の（ａ）平面図、
（ｂ）側面図。FIG. 5 (a) is a plan view of a vibration isolation device according to an embodiment of the present invention,
(B) Side view.
１ 除振台床板 ２ アクチュエータ ３ 設置床 ４ 磁性体ディスク ５ 浮上用電磁石 ６ 加速度センサ ７ 制御用電磁石 ８ 変位センサ ９ ヨーク １０ ヨーク １１ 非磁性体 １２ 支持部材 １３ コイル １４ 薄い磁極部 REFERENCE SIGNS LIST 1 Vibration isolation floor plate 2 Actuator 3 Installation floor 4 Magnetic disk 5 Levitation electromagnet 6 Acceleration sensor 7 Control electromagnet 8 Displacement sensor 9 Yoke 10 Yoke 11 Non-magnetic material 12 Support member 13 Coil 14 Thin magnetic pole
Claims (3)
支持部材の下端部に水平方向に固定された磁性体と、設A magnetic body fixed horizontally to the lower end of the support member;
置床側に固定されて該磁性体の上方に配置されたヨークA yoke fixed on the floor side and arranged above the magnetic body
を備え、磁気力により前記除振台床板を非接触で浮上支It is equipped with a magnetic force to support the vibration isolation table floor plate without contact.
持する浮上用電磁石とからなる除振装置において、In a vibration isolation device consisting of a levitation electromagnet to be carried, 前記磁性体は浮上用電磁石のヨークが対向する部分の外The magnetic material is located outside the portion where the yoke of the electromagnet for levitation faces.
周に配置された非磁性体と、更にその外周端部に鉛直方A non-magnetic material arranged around the circumference and a vertical direction on the outer peripheral edge
向に延在する前記非磁性体と比較して薄い磁極部とを備A thin magnetic pole portion as compared with the non-magnetic material extending in the direction
え、前記磁極部の上下端に対して水平方向に離隔して且The magnetic pole part is horizontally separated from the upper and lower ends of the magnetic pole part.
つ近接して配置されたヨークを有する制御用電磁石を備Equipped with a control electromagnet having yokes arranged close to each other
えたことを特徴とする除振装置。An anti-vibration device characterized by the following.
備し、前記除振台床板上で検出された振動を除振するよ
うに、前記制御用電磁石のヨーク先端部が前記磁性体の
外周端部に鉛直方向に延在する磁極部の上下端部に対し
て水平方向に磁気吸引力を作用させることを特徴とする
請求項１記載の除振装置。The method according to claim 2, wherein said anti-vibration table floor, comprising an acceleration sensor, to vibration damping was detected vibration on said anti-vibration table floor, yaw click tip of the control electromagnet and the magnetic body vibration damping apparatus according to claim 1, wherein the exerting magnetic attraction force in the horizontal direction to the upper and lower ends of the magnetic pole portion that Mashimasu extending vertically to the outer peripheral end portion of the.
ーパ状をなしていることを特徴とする請求項１又は２に3. The method according to claim 1 or 2, wherein
記載の除振装置。The vibration isolation device described.
Priority Applications (4)
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|---|---|---|---|
| JP35381391A JP2668476B2 (en) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | Anti-vibration device |
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Publications (2)
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| GB9414939D0 (en) † | 1994-07-25 | 1994-09-14 | Boc Group Plc | Air separation |
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-
1991
- 1991-12-18 JP JP35381391A patent/JP2668476B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0642583A (en) | 1994-02-15 |
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