JP2668271B2 - Light source unit for exposure printing equipment - Google Patents
Light source unit for exposure printing equipmentInfo
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、プリント配線板のパターン形成用、印刷製
版用、精密ホトエッチング用等極めて清浄且つ温度及び
湿度等を一定状態に管理した雰囲気内で行われる精密露
光作業に供される露光焼付装置用光源ユニット、特に汎
用性に富み、且つ露光作業の運転経費を大幅に削減し得
る経済的な露光焼付装置用光源ユニットに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for forming a pattern of a printed wiring board, for printing plate making, for precision photo etching, etc. More particularly, the present invention relates to an economical light source unit for an exposure printing apparatus which is rich in versatility and which can greatly reduce the operation cost of the exposure operation.
プリント配線板のパターン形成用、その他に使用され
る従来の露光焼付装置として、例えば第４図及び第５図
に示される装置がある。As a conventional exposure printing apparatus used for forming a pattern of a printed wiring board and for others, there is an apparatus shown in FIGS. 4 and 5, for example.
第４図に示されている装置は、水冷ジャケット１を施
した毛細管型の水銀ランプ2,2と、放物面状の反射鏡3,3
と、露光対象物である銅張り積層板5aを冷却する送風器
4,4と、冷却水循環ポンプ６、冷却水タンク７、ラジエ
ータ８、ラジエータ送風器９を有する空気冷却装置と、
これらを包囲するケーシング10等によって構成されてお
り、前記の各光学部品は、銅張り積層板5aに対して上下
対称に配置されている。The apparatus shown in FIG. 4 is composed of a capillary type mercury lamp 2, 2 provided with a water cooling jacket 1 and parabolic reflectors 3, 3.
And a blower for cooling the copper clad laminate 5a to be exposed
4, 4 and an air cooling device having a cooling water circulation pump 6, a cooling water tank 7, a radiator 8, and a radiator blower 9;
Each of the optical components is arranged vertically symmetrically with respect to the copper-clad laminate 5a.
また第５図に示されている装置は、光源としてショー
トアーク型と呼ばれる水銀ランプ2aを１個使用して、両
面焼付を可能にしたもので、11はコールドミラー、12は
フライアイレンズ、13はハーフミラー、14,15,16,17,18
は平面鏡、20はコールドミラー11を通過した紫外光以外
の光を吸収する光吸収板、19は反射鏡３を空冷する送風
器を示しており、更に瞬時点灯できないというショート
アーク型ランプの欠点を取り除くため、光源装置の出口
側に図示されないシャッター機構を設け露光の開始と停
止を制御できるようにしている。この装置によると、光
源に電極間の距離が短いショートアーク型の水銀ランプ
2a及びフライアイレンズ12を使うので鮮明な画像がえら
れ、また紫外光以外の光を銅張り積層板5aに当てないの
で板材の熱膨張による画像の歪みをかなり小さくでき、
更に光源の冷却に空冷装置を使用できるので、第４図に
示した水冷装置の場合よりも設備費が安価になるという
利点があった。The apparatus shown in FIG. 5 uses one mercury lamp 2a called a short arc type as a light source and enables both-side printing. 11 is a cold mirror, 12 is a fly-eye lens, and 13 is a fly-eye lens. Is a half mirror, 14,15,16,17,18
Is a plane mirror, 20 is a light absorbing plate that absorbs light other than the ultraviolet light that has passed through the cold mirror 11, and 19 is a blower that cools the reflecting mirror 3 by air. In order to remove the light, a shutter mechanism (not shown) is provided on the exit side of the light source device so that the start and stop of the exposure can be controlled. According to this device, the light source is a short arc type mercury lamp with a short distance between the electrodes.
2a and the fly-eye lens 12 are used to obtain a clear image, and since light other than ultraviolet light is not applied to the copper-clad laminate 5a, distortion of the image due to thermal expansion of the plate material can be considerably reduced.
Furthermore, since an air cooling device can be used for cooling the light source, there is an advantage that the equipment cost is lower than in the case of the water cooling device shown in FIG.
しかし、上記の従来例には次のような問題点があっ
た。However, the above conventional example has the following problems.
（１） 光源または焼付対象物を冷却する際に、冷却風
による粉塵の舞い上がりによるマスクフィルムへのゴミ
の付着や、熱風の偏在による焼付対象物の膨張による誤
差の発生があり、精密且つ安定した露光焼付作業を行う
のに難点がある。(1) When the light source or the object to be baked is cooled, dust adheres to the mask film due to dust rising due to the cooling air, and error occurs due to expansion of the object to be baked due to uneven distribution of hot air. There are difficulties in performing the exposure printing operation.
（２） 冷却媒体として、洗浄且つ湿度及び温度を安定
に管理された露光室Ａの空気を使用するので、不経済で
ある。(2) As the cooling medium, the air in the exposure chamber A which is cleaned and the humidity and the temperature of which are stably controlled is used, which is uneconomical.
（３） ショートアーク型の水銀ランプを使用する場
合、シャッター装置が複雑である。尚、近年使用されは
じめたコンパクトアークランプと呼ばれる水銀ランプを
使用する場合も同様にシャッターを設ける必要がある。(3) When using a short arc type mercury lamp, the shutter device is complicated. When a mercury lamp called a compact arc lamp, which has recently been used, must be provided with a shutter.
本発明は上記の難点に鑑み、クリーンな映像が得ら
れ、しかも運転経費が安価な露光用光源ユニットを提供
することを課題とする。An object of the present invention is to provide an exposure light source unit that can obtain a clean image and has a low operating cost in view of the above-mentioned difficulties.
前記の課題を達成するため、本発明では、次の手段を
構成した。In order to achieve the above object, the present invention has the following means.
（１）露光部ユニットに隣接した状態で前記ユニットに
着脱自在に取り付けられ、且つ前記ユニットと共に空気
の温度及び湿度を一定に調節した露光室内に配置される
露光焼付装置用光源ユニットであって、放電灯と、前記
放電灯が照射した光を露光部ユニットに導く光学系と、
前記放電灯を冷却する冷却装置と、前記放電灯、光学系
及び冷却装置を内蔵した密閉構造のケーシングと、前記
ケーシングの内部を露光室外の外気に連通する吸気用ダ
クトおよび排気用ダクトとを備え、前記吸気用ダクトを
介して露光室外の空気をケーシングの内部に吸入すると
共に、前記排気用ダクトを介してケーシング内の空気を
露光室外に排出することを特徴とする露光焼付装置用光
源ユニット。(1) A light source unit for an exposure printing apparatus, which is removably attached to the unit adjacent to the exposure unit and is disposed in an exposure chamber in which the temperature and humidity of air are constantly adjusted together with the unit. A discharge lamp, and an optical system that guides light emitted by the discharge lamp to the exposure unit,
A cooling device for cooling the discharge lamp, a casing having a sealed structure incorporating the discharge lamp, the optical system and the cooling device, and an intake duct and an exhaust duct communicating the inside of the casing with outside air outside the exposure chamber. A light source unit for an exposure printing apparatus, wherein air outside the exposure chamber is sucked into the casing through the intake duct and air inside the casing is discharged outside the exposure chamber through the exhaust duct.
（２）放電灯がショートアーク型またはコンパクトアー
ク型の水銀ランプであり、光学系が前記放電灯の背面側
に配置した反射鏡と、前記反射鏡から送られた光を受光
し且つ露光時と非露光時の各位置の間を回動する平面鏡
と、光源ユニット及び露光部ユニットの仕切壁に設けた
透明板とを有しており、前記平面鏡が非露光位置にある
ときに平面鏡から反射した光を受光する光吸収板を前記
ケーシングの内部に設けてある請求項１に記載の露光焼
付装置用光源ユニット。(2) The discharge lamp is a mercury lamp of a short arc type or a compact arc type, and an optical system is provided with a reflecting mirror arranged on the back side of the discharge lamp, and a light receiving from the reflecting mirror and at the time of exposure. It has a plane mirror that rotates between each position at the time of non-exposure, and a transparent plate provided on a partition wall of the light source unit and the exposure unit, and reflected from the plane mirror when the plane mirror is at the non-exposure position. The light source unit for an exposure printing apparatus according to claim 1, wherein a light absorbing plate for receiving light is provided inside the casing.
（ｉ）本発明の光源ユニットと露光部ユニットを組み合
わせて露光装置を構成した際、光源ユニットと露光部ユ
ニットは、光源ユニットのケーシングによって仕切られ
ているので、水銀ランプを空冷する際に舞い上がるほこ
りが露光部ユニット内に侵入することがなく、クリーン
な画像が得られる。(I) When an exposure apparatus is configured by combining the light source unit and the exposure unit of the present invention, the light source unit and the exposure unit are separated by the casing of the light source unit. Does not enter the exposure unit, and a clean image can be obtained.
（ii）露光室外の空気を冷却媒体として使用するので、
従来のように露光室内の高価な冷却用空気を使用するこ
とがなく、運転経費が節約できる。(Ii) Since air outside the exposure chamber is used as a cooling medium,
The operation cost can be saved because expensive cooling air in the exposure chamber is not used unlike the related art.
（iii）光源ユニットを各種の露光部ユニットに組み合
わせて汎用的に利用できるので設備費が省かれ経済的で
ある。(Iii) Since the light source unit can be combined with various types of exposure unit and used for general purposes, equipment costs are reduced and economical.
（iv）ショートアーク型またはコンパクトアーク型の水
銀ランプを使用する場合、非露光時は紫外光を別の方向
に反射させて光吸収板に吸収させるようにしたので、水
銀ランプを常時、点灯状態に保持することが可能にな
り、瞬間点灯ができないというショートアーク型または
コンパクトアーク型の水銀ランプの問題点を克服するこ
とができる。(Iv) When a short-arc or compact-arc mercury lamp is used, the UV light is reflected in another direction and absorbed by the light absorbing plate during non-exposure. , It is possible to overcome the problem of the short arc type or compact arc type mercury lamp that cannot be turned on instantaneously.
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
尚、図中の符号及び記号については、従来技術を説明し
た際の露光装置各部と同じ機能を果す部分に同じ符号及
び記号を付して示す。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
It should be noted that the same reference numerals and symbols in the figures denote the parts that perform the same functions as those of the respective portions of the exposure apparatus when the conventional technology is described.
第１図は本発明の第一実施例を示す。この実施例の光
源ユニットはほぼ直方体状に形成した箱状のケーシング
10と、このケーシング10の内部に配置した上下一対のシ
ョートアーク型またはコンパクトアーク型の水銀ランプ
2a,2aと、この水銀ランプ2a,2aの背面側に配置した上下
一対の放物面状の反射鏡3,3と、この反射鏡3,3の光軸2
2,22に対し45度の角度で各反射鏡3,3と相対する上下一
対のコールドミラー11,11と、水銀ランプ2a,2aに例風を
吹き付ける送風器19,19と、ケーシング内に冷却用空気
を供給及び排出するための吸気用ダクト25,25排気用ダ
クト24,24等からなり、前述の各水銀ランプ2a,2a、反射
鏡3,3、コールドミラー11,11、送風器19,19等はケーシ
ング10を上下方向にほぼ２等分する隔壁23に対し、上下
対称に配置されている。各コールドミラー11,11は従来
例と同様、紫外光のみを反射し、それ以外の光を透過さ
せるようにつくられており、また鏡面を２分する水平な
軸線の周りに90度の角度範囲で回動するようにケーシン
グ10に支持されている。FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention. The light source unit of this embodiment is a box-shaped casing formed in a substantially rectangular parallelepiped shape.
10 and a pair of upper and lower short arc or compact arc mercury lamps arranged inside the casing 10
2a, 2a, a pair of upper and lower parabolic reflectors 3, 3 arranged on the back side of the mercury lamps 2a, 2a, and an optical axis 2 of the reflectors 3, 3
A pair of upper and lower cold mirrors 11,11 facing each reflector 3,3 at an angle of 45 degrees with respect to 2,22, blowers 19,19 that blow the wind to the mercury lamps 2a, 2a, and cooling inside the casing Consists of intake ducts 25, 25 exhaust ducts 24, 24, etc. for supplying and discharging air for use, each of the aforementioned mercury lamps 2a, 2a, reflecting mirrors 3, 3, cold mirrors 11, 11, blowers 19, 19 and the like are arranged vertically symmetrically with respect to a partition wall 23 that divides the casing 10 into approximately two equal parts in the vertical direction. Each of the cold mirrors 11 and 11 is made to reflect only the ultraviolet light and transmit the other light, as in the conventional example, and has a 90-degree angle range around a horizontal axis that divides the mirror surface into two. And is supported by the casing 10 so as to rotate.
尚、第１図中の30,30はコールドミラー11,11の回動範
囲を90度に規制するストッパーである。Incidentally, reference numerals 30, 30 in FIG. 1 denote stoppers for restricting the rotation range of the cold mirrors 11, 11 to 90 degrees.
送風機19,19の吐出側には送風ノズル36,36が設けてあ
り、この送風ノズル36,36の先端部は反射鏡3,3を貫通し
て水銀ランプ2,2の発光部の近傍に開口している。Blowing nozzles 36, 36 are provided on the discharge side of the blowers 19, 19, and the tips of the blowing nozzles 36, 36 pass through the reflecting mirrors 3, 3 and open near the light emitting portions of the mercury lamps 2, 2. doing.
ケーシング10の一方の側壁31には、第１図に示すよう
に各コールドミラー11,11で反射した紫外光をケーシン
グ10の外部に導くための窓32,32が設けられ、各窓には
紫外光を透過させる透明板（例えばアクリル板）33,33
が装着されている。As shown in FIG. 1, one side wall 31 of the casing 10 is provided with windows 32, 32 for guiding the ultraviolet light reflected by the cold mirrors 11, 11 to the outside of the casing 10, and each window has an ultraviolet light. Transparent plate that transmits light (eg acrylic plate) 33,33
Is installed.
尚、側壁31の周縁部には、本光源ユニットを後述する
露光部ユニットに連結するためのフランジ34が設けられ
ている。また前記側壁31に相対する反対側の側壁35に
は、前記透明板33,33に対応する位置に光吸収板21,21が
取り付けられている。また更に、上下部の壁37,37には
各コールドミラー11,11を透過した光が当る部分に光吸
収板20,20が取り付けられている。In addition, a flange 34 for connecting the present light source unit to an exposure unit described later is provided on a peripheral portion of the side wall 31. On the side wall 35 opposite to the side wall 31, light absorbing plates 21, 21 are attached at positions corresponding to the transparent plates 33, 33. Further, light absorbing plates 20, 20 are attached to the upper and lower walls 37, 37 at portions where the light transmitted through the cold mirrors 11, 11 hits.
露光部ユニットは前記透明板33,33を透過した紫外光
を銅張り積層板5aの上下面に導くための装置であって、
一方が開口した箱状のケーシング39と、上下一対の平面
鏡16,16と、銅張り積層板5aの上面側及び下面側に近接
配置された上下部の焼枠等からなり、この露光部ユニッ
トは、ケーシング39の開口端に設けたフランジ41を光源
ユニットのフランジ34に当接させ、ボルト42を介して取
り外し自在に結合されるようになっている。The exposure unit is an apparatus for guiding the ultraviolet light transmitted through the transparent plates 33, 33 to the upper and lower surfaces of the copper-clad laminate 5a,
A box-shaped casing 39 having one opening, a pair of upper and lower plane mirrors 16 and 16, and upper and lower baking frames and the like arranged close to the upper surface side and the lower surface side of the copper-clad laminate 5a. The flange 41 provided at the open end of the casing 39 is brought into contact with the flange 34 of the light source unit, and is detachably connected via a bolt 42.
次に、本光願ユニットの取扱要領及び作動について説
明する。本ユニットを用いて露光を行う際は、第１図に
示すように光源ユニットと露光部ユニットをフランジ3
4,41及びボルト42を介して一体に連結する。Next, the handling procedure and operation of the light application unit will be described. When performing exposure using this unit, as shown in FIG.
4, 41 and bolts 42 are integrally connected.
次に送風器19,19を運転すると、ダクト25,25、24,24
を介して露光室Ａ外の空気からケーシング10内を循環
し、ノズル36,36から吸き付けた冷却用空気（矢印ｆ）
により水銀ランプ2aを効果的に冷却できる状態となる。Next, when the blowers 19, 19 are operated, the ducts 25, 25, 24, 24
The cooling air circulated through the casing 10 from the air outside the exposure chamber A through the nozzle and sucked from the nozzles 36, 36 (arrow f)
As a result, the mercury lamp 2a can be effectively cooled.
ここで、コールドミラー11,11を仮想線の位置を回動
し（矢印ｅ）、電源電圧（図示せず）を印加して水銀ラ
ンプ2a,2aを点灯する。Here, the cold mirrors 11 and 11 are rotated about the position of the virtual line (arrow e), and the power supply voltage (not shown) is applied to turn on the mercury lamps 2a and 2a.
次に露光部ユニット内に銅張り積層板5a及びフィルム
（図示せず）を配置し、コールドミラー11,11を実線の
位置に回動させると露光が行われる。所定の露光時間が
経過したのちコールドミラー11,11を再び仮想線の位置
に回動すると（矢印ｅ）露光が終了する。Next, the copper-clad laminate 5a and a film (not shown) are arranged in the exposure unit, and the cold mirrors 11, 11 are rotated to the positions indicated by the solid lines to perform exposure. After the predetermined exposure time has elapsed, the cold mirrors 11, 11 are turned to the position of the imaginary line again (arrow e), and the exposure ends.
ここで、台車5cを利用して銅張り積層板5aを待避位置
に移動し、上部焼枠5bを持ち上げて銅張り積層板5aを交
換する。非露光時、各水銀ランプ2a,2aから照射された
光はコールドミラー11,11を介して矢印g,h方向に進み、
光吸収板21,21;20,20によって吸収されるので、ケーシ
ング10内部の温度上昇が抑制される。Here, the copper-clad laminate 5a is moved to the retreat position using the trolley 5c, the upper grill 5b is lifted, and the copper-clad laminate 5a is replaced. At the time of non-exposure, light emitted from each mercury lamp 2a, 2a travels in the direction of arrows g, h via cold mirrors 11, 11,
Since the light is absorbed by the light absorbing plates 21, 21; 20, 20, the temperature rise inside the casing 10 is suppressed.
以上述べたように、光源ユニットと露光部ユニットは
光源ユニットのケーシング10によって仕切られているの
で、冷却用空気によって舞い上るほこり等が露光部ユニ
ット内に侵入することがなく、クリーンな画像が得られ
る。As described above, since the light source unit and the exposure unit are partitioned by the casing 10 of the light source unit, dust and the like flying up by the cooling air does not enter the exposure unit and a clean image is obtained. Can be
また、従来のように露光室Ａ内の高価な冷却用空気を
使用しないので運転経費を節約できる。In addition, since expensive cooling air in the exposure chamber A is not used unlike the related art, operation costs can be reduced.
また光源ユニットを各種の露光部ユニットに組み合わ
せて汎用的に利用できるので設備費が省かれ経済的であ
る。Further, since the light source unit can be combined with various types of exposure unit and used for general purposes, the equipment cost is reduced and the cost is reduced.
更にショートアーク型またはコンパクトアーク型と呼
ばれる水銀ランプは瞬時点灯ができない欠点があるが、
前述のようにコールドミラー11,11を90度回動すること
によって露光の開始と停止を制御することができるの
で、水銀ランプ2a,2aを点灯したまま、露光操作を反覆
して行うことができる。Further, mercury lamps called short arc type or compact arc type have the disadvantage that they cannot be turned on instantaneously,
Since the start and stop of the exposure can be controlled by rotating the cold mirrors 11 and 90 by 90 degrees as described above, the exposure operation can be repeated while the mercury lamps 2a and 2a are turned on. .
次に本発明の第二実施例を第２図に示す。第二実施例
の光源ユニットはほぼ直方体状に形成した箱状のケーシ
ング10と、ショートアーク型またはコンパクトアーク型
の水銀ランプ2aと、この水銀ランプ2aの背面に配置した
放物面状の反射鏡３、この反射鏡３からの反射光に対し
ほぼ45度の角度で反射鏡３と相対するコールドミラー1
1、フライアイレンズ12、２枚の半透明の鏡を組み合わ
せた反射装置13、この反射装置13からの反射光に対しほ
ぼ45度の角度で配置した平面鏡15,15等を有する光学系
と、冷風供給装置19等からなり、この装置19の吐出側に
設けたノズル44,44は反射鏡３の開口端の近傍に開口し
ている。Next, a second embodiment of the present invention is shown in FIG. The light source unit of the second embodiment has a box-shaped casing 10 formed in a substantially rectangular parallelepiped shape, a short arc type or compact arc type mercury lamp 2a, and a parabolic reflector disposed on the back of the mercury lamp 2a. 3. A cold mirror 1 facing the reflecting mirror 3 at an angle of approximately 45 degrees with respect to the reflected light from the reflecting mirror 3.
1, an optical system having a fly-eye lens 12, a reflecting device 13 in which two translucent mirrors are combined, and plane mirrors 15, 15 and the like arranged at an angle of approximately 45 degrees with respect to the reflected light from the reflecting device 13, It comprises a cool air supply device 19 and the like. The nozzles 44 provided on the discharge side of the device 19 are open near the opening end of the reflecting mirror 3.
尚、露光時には光吸収板20を使用し、非露光時には光
吸収板20及び21を使用するが、これらの光吸収板20,21
は、ケーシング内側のコーナー部にＬ字型に配置した排
出ダクト45の表面に設置されており、この排出ダクト45
は排気用ダクト24を介して露光室Ａ外に連通している。
従って露光中に、吸収板20,21の熱が露光室Ａ内に放散
されることがなく露光室Ａ内の温度を高める怖れがな
い。また、この実施例の装置によると水銀ランプ１個を
使用して両面焼付を行い得る利点がある。Incidentally, the light absorbing plate 20 is used at the time of exposure, and the light absorbing plates 20 and 21 are used at the time of non-exposure.
Is installed on the surface of a discharge duct 45 arranged in an L-shape at the corner inside the casing.
Communicates with the outside of the exposure chamber A via an exhaust duct 24.
Therefore, the heat of the absorbing plates 20 and 21 is not dissipated into the exposure chamber A during exposure, and there is no fear that the temperature in the exposure chamber A may be increased. Further, according to the apparatus of this embodiment, there is an advantage that double-sided printing can be performed using one mercury lamp.
また上記第一及び第二実施例では、コールドミラー11
を水平の軸線の周りに90度回動するようにしたが、同じ
効果を得るために、コールドミラー11を垂直の軸線の周
りに90度回動させてもよい。In the first and second embodiments, the cold mirror 11
Is rotated 90 degrees around the horizontal axis, but the cold mirror 11 may be rotated 90 degrees around the vertical axis to obtain the same effect.
本発明の第三実施例を第３図に示す。この実施例の水
銀ランプ２には従来例第４図のように、水冷ジャケット
１を施した毛細管型を使用しており、ジャケット冷却水
は冷却区画Ｂ内に設けた空冷装置によって冷却され、前
記冷却区画Ｂはダクト24,25を介して露光室Ａ外の外気
と連通している。尚、空冷装置の構成は従来と同様であ
る。水冷の水銀ランプは瞬時点灯が可能であるため、露
光の開始と停止を電源スイッチ（図示せず）によって制
御することができ、コールドミラーを回動させる必要が
ない。FIG. 3 shows a third embodiment of the present invention. As shown in FIG. 4 of the conventional example, the mercury lamp 2 of this embodiment uses a capillary type with a water cooling jacket 1, and the jacket cooling water is cooled by an air cooling device provided in the cooling section B. The cooling section B communicates with outside air outside the exposure chamber A via ducts 24 and 25. The structure of the air cooling device is the same as the conventional one. Since the water-cooled mercury lamp can be turned on instantaneously, the start and stop of exposure can be controlled by a power switch (not shown), and there is no need to rotate the cold mirror.
そして第三実施例の光源ユニットは、吸気用及び排気
用のダクトを介して露光室Ａ外と冷却区画Ｂ内とを連通
し、この中で冷却用空気を循環させて水銀ランプを冷却
するようにしたので、露光室Ａ内の清浄な空気を使用す
ることなく装置を運転できる。The light source unit according to the third embodiment communicates with the outside of the exposure chamber A and the inside of the cooling compartment B through intake and exhaust ducts, and circulates cooling air in the interior to cool the mercury lamp. Therefore, the apparatus can be operated without using the clean air in the exposure chamber A.
尚、本発明は前述の実施例にのみ限定されるものでは
なく、紫外光だけを照射する水銀ランプを使用する場合
は、コールドミラーの代わりに通常の平面鏡を使用して
もよいこと、、その他本発明の要旨を逸脱しない範囲内
で種々の変更を加え得ることは勿論である。Incidentally, the present invention is not limited only to the above embodiment, when using a mercury lamp that irradiates only ultraviolet light, that a normal plane mirror may be used instead of a cold mirror, It goes without saying that various changes can be made without departing from the spirit of the present invention.
以上に述べたごとく、本発明は次の優れた効果を発揮
する。As described above, the present invention exhibits the following excellent effects.
（ｉ）清浄且つ温度及び湿度等が一定状態に管理された
露光室内の高価な冷却用空気を使用することがなく、露
光室外の空気を冷却媒体として使用するので運転経費が
安価で済み経済的である。(I) No expensive cooling air in the exposure chamber in which the temperature, humidity, etc. are controlled in a fixed state is used, and air outside the exposure chamber is used as a cooling medium. It is.
（ii）本発明の光源ユニットを露光部ユニットと組み合
わせて露光装置を構成した際、光源ユニットと露光部ユ
ニットは光源ユニットのケーシングによって仕切られて
いるので、水銀ランプを空冷する際に発生するほこり等
が露光器内に侵入することがなく、クリーンな画像が得
られる。(Ii) When an exposure apparatus is configured by combining the light source unit of the present invention with an exposure unit, since the light source unit and the exposure unit are separated by a casing of the light source unit, dust generated when the mercury lamp is air-cooled. Does not enter the exposure device, and a clean image can be obtained.
（iii）露光部ユニットと別体に光源ユニットを構成し
たので、自動式、又は手動式等種々の型式の露光器と組
合わせて使用することが可能になり、、汎用性に富んだ
利用度の高い光源ユニットとして使用することができ
る。(Iii) Since the light source unit is configured separately from the exposure unit, the light source unit can be used in combination with various types of exposure units such as an automatic type or a manual type, and the versatility is high. It can be used as a light source unit with a high level.
（iv）水銀ランプとしてショートアーク型又はコンパク
トアーク型を使用する場合に、非露光時は照射光を別の
方向に反射させ紫外光を吸収させるようにしたので、水
銀ランプを常時、点灯状態に保持することが可能にな
り、瞬時点灯ができないという問題点を克服することが
できる。(Iv) When a short arc type or compact arc type is used as the mercury lamp, the irradiation light is reflected in another direction and ultraviolet light is absorbed during non-exposure, so that the mercury lamp is always turned on. This makes it possible to maintain the state, and can overcome the problem that instantaneous lighting cannot be performed.
（ｖ）上記の結果、第１〜第３の実施例を適宜利用する
ことによって、ショート，ロング，コンパクトなどのす
べての水銀ランプの使用が可能になる。(V) As a result, all mercury lamps such as short, long, and compact can be used by appropriately using the first to third embodiments.
第１図は本発明の第一実施例を示す切断側面図、第２図
及び第３図は同じく第二実施例及び第三実施例を示す切
断側面図、第４図，第５図は従来の露光装置の切断側面
図である。 ２……毛細管型の水銀ランプ 2a……ショートアーク型またはコンパクトアーク型の水
銀ランプ ３……反射鏡、4,19……送風器 10……ケーシング、11……コールドミラー 20,21……光吸収板、24……排出用ダクト 25……吸気用ダクト、31……側壁 33……透明板1 is a cutaway side view showing a first embodiment of the present invention, FIGS. 2 and 3 are cutaway side views showing a second embodiment and a third embodiment, and FIGS. 4 and 5 are conventional. 3 is a cut side view of the exposure apparatus of FIG. 2 Capillary-type mercury lamp 2a Short-arc or compact-arc mercury lamp 3 Reflector, 4, 19 Blower 10 Casing, 11 Cold mirror 20, 21 Light Absorbent plate, 24 ... Drain for exhaust 25 ... Duct for intake, 31 ... Side wall 33 ... Transparent plate
Claims (2)
ットに着脱自在に取り付けられ、且つ前記ユニットと共
に空気の温度及び湿度を一定に調節した露光室内に配置
される露光焼付装置用光源ユニットであって、 放電灯と、前記放電灯が照射した光を露光部ユニットに
導く光学系と、前記放電灯を冷却する冷却装置と、前記
放電灯、光学系及び冷却装置を内蔵した密閉構造のケー
シングと、前記ケーシングの内部を露光室外の外気に連
通する吸気用ダクト及び排気用ダクトとを備え、 前記吸気用ダクトを介して露光室外の空気をケーシング
の内部に吸入すると共に、前記排気用ダクトを介してケ
ーシング内の空気を露光室外に排出することを特徴とす
る露光焼付装置用光源ユニット。1. A light source unit for an exposure printing apparatus, which is removably attached to an exposure unit adjacent to the exposure unit and is disposed together with the unit in an exposure chamber in which the temperature and humidity of air are controlled to be constant. A discharge lamp, an optical system that guides the light emitted by the discharge lamp to an exposure unit, a cooling device that cools the discharge lamp, and a casing having a hermetically sealed structure that includes the discharge lamp, the optical system, and the cooling device. An intake duct and an exhaust duct communicating the inside of the casing with the outside air outside the exposure chamber, and sucking air outside the exposure chamber into the casing through the intake duct, and through the exhaust duct. A light source unit for an exposure printing apparatus, wherein the air in the casing is discharged outside the exposure chamber.
トアート型の水銀ランプであり、光学系が前記放電灯の
背面側に配置した反射鏡と、前記反射鏡から送られた光
を受光し且つ露光時と非露光時の各位置の間を回動する
平面鏡と、光源ユニット及び露光部ユニットの仕切壁に
設けた透明板とを有しており、前記平面鏡が非露光位置
にあるときに平面鏡から反射した光を受光する光吸収板
を前記ケーシングの内部に設けてある請求項１に記載の
露光焼付装置用光源ユニット。2. A discharge lamp is a mercury lamp of a short arc type or a compact art type, wherein an optical system is provided with a reflecting mirror disposed on the back side of the discharging lamp, and receives light transmitted from the reflecting mirror and exposes the light. And a transparent plate provided on a partition wall of the light source unit and the exposure unit, and a transparent plate provided on a partition wall of the light source unit and the exposure unit. The light source unit for an exposure printing apparatus according to claim 1, wherein a light absorbing plate for receiving the reflected light is provided inside the casing.
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|---|---|---|---|---|
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-
1989
- 1989-11-08 JP JP1290317A patent/JP2668271B2/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
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| KR102440917B1 (en) * | 2012-10-23 | 2022-09-06 | 오를리콘 서피스 솔루션스 아크티엔게젤샤프트, 페피콘 | UV-irradiation apparatus for clocked operation and a method for irradiating substrates by UV-radiation |
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|---|---|
| JPH03150549A (en) | 1991-06-26 |
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