JP2655478B2 - Laser sensor - Google Patents
Laser sensorInfo
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、プリズムミラーを用い
て間隔の狭い多数のポイントをセンシングするレーザセ
ンサに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser sensor for sensing a large number of points with a short interval using a prism mirror.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種のセンサは、図５に示すよ
うに、レーザ発振器１、２、３を並列に配置し、前記レ
ーザ発振器１、２、３から出射されるレーザ光５、６、
７を検知する検知器９、１０、１１も同様に並列に配置
していた。2. Description of the Related Art Conventionally, this type of sensor has laser oscillators 1, 2, and 3 arranged in parallel as shown in FIG. ,
Similarly, detectors 9, 10, and 11 for detecting 7 were arranged in parallel.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】この従来のセンサにお
いては、多数のポイントを検知するために設置される複
数のレーザ発振器を並列に配置するために、それぞれの
レーザ発振器から出射されるレーザ光の互いの光軸間隔
は、設置するレーザ発振器の装置の大きさにより限定さ
れてしまい、所望の光軸間隔が得られず、間隔の狭い多
数のポイントを検知することができなかった。In this conventional sensor, a plurality of laser oscillators installed for detecting a large number of points are arranged in parallel, so that the laser light emitted from each laser oscillator is The distance between the optical axes is limited by the size of the device of the laser oscillator to be installed, a desired distance between the optical axes cannot be obtained, and a large number of points with a small distance cannot be detected.
【０００４】例えば、図４に示すように、ＩＣの前記レ
ーザ光の光軸方向に対し回転方向のズレを検知する場
合、３本のレーザ光をそのＩＣの上面に等間隔で通過さ
せ、各レーザ光が遮断されるか否かでそのＩＣのズレを
検知する。つまり、ＩＣの幅Ａの間に３本のレーザ光を
通過させなければならない。しかしながら、この従来の
レーザセンサでは、レーザ発振器の大きさによる制限の
ためにこのような狭ピッチのセンシングはできなかっ
た。For example, as shown in FIG. 4, when detecting a shift in the rotation direction of the laser light of the IC with respect to the optical axis direction, three laser lights are passed through the upper surface of the IC at equal intervals. The deviation of the IC is detected based on whether or not the laser beam is cut off. That is, three laser beams must pass through the width A of the IC. However, this conventional laser sensor cannot perform such narrow pitch sensing because of the limitation due to the size of the laser oscillator.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明のレーザセンサは、複数のレーザ発振器
と、複数の設置角度の異なるミラーからなり、複数の前
記レーザ発振器から出射された複数のレーザ光をその光
軸を一平面上に並べかつ、互いの光軸の間隔を所定のピ
ッチにするように反射するプリズムミラーと、前記プリ
ズムミラーにより反射された複数の前記レーザ光を検知
する検知器とを有する。In order to solve the above-mentioned problems, a laser sensor according to the present invention comprises a plurality of laser oscillators and a plurality of mirrors having different installation angles, and emitted from the plurality of laser oscillators. A prism mirror that arranges a plurality of laser beams with their optical axes on one plane and reflects the optical axes so that the interval between the optical axes is a predetermined pitch, and detects the plurality of laser beams reflected by the prism mirror And a detector that performs
【０００６】[0006]
【実施例】次に、本発明のレーザセンサの一実施例につ
いて図面を参照して詳細に説明する。Next, an embodiment of the laser sensor according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
【０００７】図１は、本発明の一実施例を示す構成図で
あり、レーザ発振器１、２、３は、所定の場所に設置さ
れ、その光軸径が１ｍｍ程度であるレーザ光５、６、７
をプリズムミラー４に向けて出力する。前記プリズムミ
ラー４は、複数のミラーからなる多面体であり、前記レ
ーザ発振器１、２、３から出力されたレーザ光５、６、
７を測定対象物１２の方向に異なるミラーにおいて反射
し、そのレーザ光５、６、７の同一平面上における光軸
のピッチ１３が所定の間隔となるようにする。プリズム
ミラー８は、前記プリズム４と同様に複数のミラーから
なる多面体であり、前記プリズム４において反射され、
前記測定対象物１２の上面を通過したレーザ光５、６、
７を所定の方向に反射する。検出器９、１０、１１は、
前記プリズムミラー８において反射されたレーザ光５、
６、７を検出する。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. Laser oscillators 1, 2, and 3 are installed at predetermined locations and have laser beams 5, 6 having an optical axis diameter of about 1 mm. , 7
Is output to the prism mirror 4. The prism mirror 4 is a polyhedron made up of a plurality of mirrors, and the laser beams 5, 6, output from the laser oscillators 1, 2, and 3,
7 is reflected by a different mirror in the direction of the measuring object 12 so that the pitch 13 of the optical axes of the laser beams 5, 6, 7 on the same plane becomes a predetermined interval. The prism mirror 8 is a polyhedron composed of a plurality of mirrors like the prism 4, and is reflected by the prism 4,
The laser beams 5, 6, which have passed through the upper surface of the measurement object 12,
7 is reflected in a predetermined direction. The detectors 9, 10, 11 are:
The laser light 5 reflected by the prism mirror 8,
6 and 7 are detected.
【０００８】次に、本発明のレーザセンサの動作につい
て図１を用いて説明する。Next, the operation of the laser sensor of the present invention will be described with reference to FIG.
【０００９】レーザ発振器１、２、３から出射されたレ
ーザ光５、６、７がプリズムミラー４において同一平面
上におけるそれぞれの光軸のピッチが所定の間隔となる
ように反射される。そのレーザ光５、６、７はプリズム
ミラー８においてそれぞれ所定の方向に反射され、その
反射されたレーザ光の進行方向に配置された検知器９、
１０、１１において検知される。The laser beams 5, 6, and 7 emitted from the laser oscillators 1, 2, and 3 are reflected by the prism mirror 4 so that the pitch of each optical axis on the same plane is at a predetermined interval. The laser beams 5, 6, and 7 are reflected in predetermined directions by a prism mirror 8, respectively, and detectors 9, arranged in the traveling direction of the reflected laser beam,
Detected at 10 and 11.
【００１０】ここで、前記測定対象物１２が正常な位置
に配置されていれば、前記レーザ光５、６、７は全て前
記検知器９、１０、１１において検知される。ところ
が、前記測定対象物１２の位置が僅かにずれることによ
って、前記レーザ光５、６、７のうちのいずれかまたは
全てのレーザ光が遮断され、その結果、遮断されたレー
ザ光５または６または７は前記検知器９または１０また
は１１において検知されず、その結果から、前記測定対
象物１２の位置がずれていることが検知される。Here, if the measuring object 12 is located at a normal position, the laser beams 5, 6, 7 are all detected by the detectors 9, 10, 11. However, when the position of the measurement object 12 is slightly shifted, any or all of the laser beams 5, 6, and 7 are blocked, and as a result, the blocked laser beam 5 or 6 or 7 is not detected by the detector 9 or 10 or 11, and from the result, it is detected that the position of the measurement object 12 is shifted.
【００１１】上記実施例においては、３つのレーザ発振
器を用いた３つポイントの検知を行う場合について説明
したが、プリズムミラーを構成するミラーの設置角度お
よびその枚数を変えれば、レーザ発振器の大きさに左右
されず、任意の数のポイントの検知を行うことができ
る。In the above embodiment, the case where three points are detected using three laser oscillators has been described. However, if the installation angle and the number of mirrors constituting the prism mirror are changed, the size of the laser oscillator can be increased. Any number of points can be detected regardless of the number of points.
【００１２】次に、本発明のレーザセンサをＩＣ成形装
置に適用した一実施例について図１、図２を用いて説明
する。Next, an embodiment in which the laser sensor of the present invention is applied to an IC molding apparatus will be described with reference to FIGS.
【００１３】図２は、本発明のレーザセンサをＩＣ成形
装置に適用した場合の一実施例を示す構成図であり、レ
ーザ発振器１、２、３、プリズムミラー４、プリズムミ
ラー８および検知器９、１０、１１を有するレーザセン
サの構成は前述の通りであるので重複部分の説明は省略
する。FIG. 2 is a block diagram showing an embodiment in which the laser sensor of the present invention is applied to an IC molding apparatus. The laser oscillators 1, 2, 3, a prism mirror 4, a prism mirror 8, and a detector 9 are shown. Since the configuration of the laser sensor having 10, 11 is as described above, the description of the overlapping part will be omitted.
【００１４】吸着部１７は、図示しない収納機構に収納
されたＩＣ１８を吸着し取り出す。前記吸着部が設置さ
れた搬送ハンド１６は吸着された前記ＩＣ１８を下金型
１５上に載置する。上金型１４は、上下に駆動し、前記
ＩＣ１８を載置した前記下金型１５と接合することでそ
のＩＣを成形する。ここで、前記レーザセンサは、前記
下金型１５上に載置された前記ＩＣの位置のズレを検知
する。警報部１９は検知部９または１０または１１にお
ける検知に基づいて警報を発する。The suction unit 17 sucks and takes out the IC 18 stored in a storage mechanism (not shown). The transfer hand 16 on which the suction unit is installed places the suctioned IC 18 on the lower mold 15. The upper mold 14 is driven up and down to form an IC by bonding it to the lower mold 15 on which the IC 18 is mounted. Here, the laser sensor detects a displacement of the position of the IC mounted on the lower mold 15. The alarm unit 19 issues an alarm based on the detection by the detection unit 9 or 10 or 11.
【００１５】次に、本発明のレーザセンサをＩＣ成形装
置に適用した一実施例の動作について、図１、図２、図
３および図４を用いて説明する。Next, the operation of one embodiment in which the laser sensor of the present invention is applied to an IC molding apparatus will be described with reference to FIGS. 1, 2, 3 and 4.
【００１６】まず、図示しない収納機構に収納されるＩ
Ｃ１８を吸着部１７で吸着することにより取り出し、搬
送ハンド１６を駆動させて、この吸着されたＩＣ１８を
下金型１５上に載置する。First, I stored in a storage mechanism (not shown)
The C 18 is taken out by suction by the suction unit 17, and the transport hand 16 is driven to place the sucked IC 18 on the lower mold 15.
【００１７】次に、レーザ発振器１、２、３から出射さ
れたレーザ光５、６、７は、プリズムミラー４により反
射されて、前記下金型１５上に載置されたＩＣ１８の上
面を通過する。この際、前記ＩＣ１８の位置がずれてい
る場合は、このレーザ光５または６または７が遮断され
る。ここで、図３は、測定対象物である前記ＩＣ１８の
位置がずれる場合の状態を示し、図４は、前記ＩＣ１８
と前記レーザ光５、６、７との位置関係を示す。図３に
示すような３つのＩＣのズレの状態を検知するために
は、図４に示すようにＩＣ１８の幅Ａの中に３本のレー
ザ光を通過させなければならず、例えば、図３（ａ）に
示すようにずれている場合は、レーザ光５が遮断され、
検知器９においてこのレーザ光５は検知されない。同様
に図３（ｃ）の場合は、レーザ光７が遮断され、検知器
１１においてこのレーザ光７は検知されない。Next, the laser beams 5, 6, and 7 emitted from the laser oscillators 1, 2, and 3 are reflected by the prism mirror 4 and pass through the upper surface of the IC 18 mounted on the lower mold 15. I do. At this time, if the position of the IC 18 is shifted, the laser light 5 or 6 or 7 is cut off. Here, FIG. 3 shows a state in which the position of the IC 18 as a measurement target is shifted, and FIG.
And the positional relationship between the laser beams 5, 6, and 7 are shown. In order to detect the state of displacement of the three ICs as shown in FIG. 3, three laser beams must pass through the width A of the IC 18 as shown in FIG. When the laser beam 5 is shifted as shown in FIG.
The laser beam 5 is not detected by the detector 9. Similarly, in the case of FIG. 3C, the laser beam 7 is cut off, and the detector 11 does not detect the laser beam 7.
【００１８】次に、前記ＩＣ１８の位置がずれていない
場合は、上金型１４が下方に駆動し、前記下金型１５と
接合する。前記ＩＣ１８は、前記上金型１４と下金型１
５とが接合することにより成形される。Next, when the position of the IC 18 is not shifted, the upper mold 14 is driven downward to join the lower mold 15. The IC 18 includes the upper mold 14 and the lower mold 1.
5 is formed by bonding.
【００１９】また、前記ＩＣ１８の位置がずれており、
前記レーザ光５または６または７が遮断されたことによ
り、検知器９、１０、１１のいずれかがレーザ光を検知
できなかった場合、警報部１９は前記ＩＣ１８の位置が
ずれている旨の警報を発する。Also, the position of the IC 18 is shifted,
If any one of the detectors 9, 10, and 11 cannot detect the laser light due to the interruption of the laser light 5 or 6 or 7, the alarm unit 19 generates an alarm indicating that the position of the IC 18 is shifted. Emits.
【００２０】ここで、前記ＩＣ１８の位置がずれている
と検知された場合に、前記上金型の駆動を停止させても
よい。Here, when it is detected that the position of the IC 18 is shifted, the driving of the upper mold may be stopped.
【００２１】上記実施例においては、本発明のレーザセ
ンサをＩＣ成形装置に適用した場合について説明した
が、本発明のレーザセンサの適用例はこの限りではな
く、微少な測定対象物がレーザ光の光軸に対して回転方
向の位置ずれを検知する場合に適用すると効果的であ
る。In the above embodiment, the case where the laser sensor of the present invention is applied to an IC molding apparatus has been described. However, the application example of the laser sensor of the present invention is not limited to this. This is effective when applied to the case of detecting a displacement in the rotation direction with respect to the optical axis.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のレーザセ
ンサは、プリズムミラーを介した反射光を用いて測定対
象物を検知するために、そのレーザセンサの大きさと関
係なく間隔の狭い多数のポイントを検知することができ
る。As described above, since the laser sensor of the present invention detects an object to be measured by using the reflected light through the prism mirror, it has a large number of narrow spaces regardless of the size of the laser sensor. Points can be detected.
【図１】本発明の一実施例の構成を示す図。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an embodiment of the present invention.
【図２】本発明のレーザセンサを適用したＩＣ成形装置
の一実施例の構成をを示す図。FIG. 2 is a diagram showing a configuration of an embodiment of an IC molding apparatus to which the laser sensor of the present invention is applied.
【図３】測定対象物の一実施例を示す図。FIG. 3 is a diagram showing one embodiment of a measurement object.
【図４】ＩＣのズレの状態を示す図。FIG. 4 is a diagram showing a state of displacement of an IC.
【図５】従来の狭ピッチで多数の点をセンシングするセ
ンサの一実施例の構成を示す図。FIG. 5 is a diagram showing a configuration of an embodiment of a conventional sensor that senses many points at a narrow pitch.
１、２、３ レーザ発振器 ４、８ プリズムミラー ５、６、７ レーザ光 ９、１０、１１ 検出器 １２ 測定対象物 １３ ピッチ １４ 上金型 １５ 下金型 １６ 搬送ハンド １７ 吸着部 １８ ＩＣ １９ 警報部 1, 2, 3 Laser oscillator 4, 8 Prism mirror 5, 6, 7 Laser beam 9, 10, 11 Detector 12 Object to be measured 13 Pitch 14 Upper mold 15 Lower mold 16 Transport hand 17 Suction unit 18 IC 19 Alarm Department
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｓ 3/00 Ｇ０１Ｖ 9/04 Ｐ Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Reference number in the agency FI Technical display location H01S 3/00 G01V 9/04 P
Claims (6)
ーザ発振器から出射された複数のレーザ光をその光軸を
一平面上に並べかつ、互いの光軸の間隔を所定のピッチ
にするように反射する第１のプリズムミラーと、 前記第１のプリズムミラーにより反射された複数の前記
レーザ光を検知する検知器とを有することを特徴とする
レーザセンサ。1. A laser device comprising: a plurality of laser oscillators; and a plurality of mirrors having different installation angles. A plurality of laser beams emitted from the plurality of laser oscillators are arranged on one plane with their optical axes aligned with each other. A laser sensor, comprising: a first prism mirror that reflects light so that an interval between the laser beams becomes a predetermined pitch; and a detector that detects a plurality of the laser lights reflected by the first prism mirror.
り、前記第１のプリズムミラーにより反射された複数の
前記レーザ光を所定の方向に反射する第２のプリズムミ
ラーを有し、 前記検知部は、前記第２のプリズムミラーにより所定の
方向に反射された複数の前記レーザ光の進行方向にそれ
ぞれ設置され、それぞれのレーザ光を検知することを特
徴とする前記請求項１に記載のレーザセンサ。A second prism mirror configured to reflect a plurality of laser beams reflected by the first prism mirror in a predetermined direction, the second prism mirror comprising a plurality of mirrors having different installation angles; 2. The laser sensor according to claim 1, wherein each of the plurality of laser beams reflected in a predetermined direction by the second prism mirror is installed in a traveling direction, and each of the laser beams is detected.
ムミラーにより反射されてなる複数の前記レーザ光同士
の光軸の間隔ピッチよりも、充分に広い間隔で設置され
ることを特徴とする前記請求項１または２に記載のレー
ザセンサ。3. The laser oscillator according to claim 2, wherein the laser oscillators are provided at intervals sufficiently wider than an interval between optical axes of the plurality of laser beams reflected by the first prism mirror. The laser sensor according to claim 1.
光の光軸径は１ｍｍ以下であることを特徴とする前記請
求項１または２または３に記載のレーザセンサ。4. The laser sensor according to claim 1, wherein an optical axis diameter of the laser light emitted from the laser oscillator is 1 mm or less.
型および下金型と、 前記ＩＣを前記下金型上に載置する搬送手段と、 前記下金型上に載置されたＩＣのその光軸方向に対し回
転する方向へのズレを検知する前記請求項１または２ま
たは３または４に記載のレーザセンサと、 前記レーザセンサにより前記下金型上に載置されたＩＣ
がずれていると検知された場合に警報を発する警報手段
とを有することを特徴とするＩＣ成形装置。5. An upper mold and a lower mold for forming an IC by bonding, a transfer means for placing the IC on the lower mold, and a transfer means for placing the IC on the lower mold. 5. The laser sensor according to claim 1, wherein the displacement in the direction of rotation with respect to the optical axis direction is detected, and an IC mounted on the lower mold by the laser sensor.
And an alarming means for issuing an alarm when it is detected that there is a deviation.
り前記下金型上に載置されたＩＣがずれていると検知さ
れた場合に、前記上金型の駆動を停止することを特徴と
する前記請求項５に記載のＩＣ成形装置。6. The driving of the upper mold is stopped when the laser sensor according to claim 4 detects that the IC mounted on the lower mold is shifted. The IC molding apparatus according to claim 5, which performs the following.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33567893A JP2655478B2 (en) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Laser sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33567893A JP2655478B2 (en) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Laser sensor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07198477A JPH07198477A (en) | 1995-08-01 |
| JP2655478B2 true JP2655478B2 (en) | 1997-09-17 |
Family
ID=18291286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33567893A Expired - Lifetime JP2655478B2 (en) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Laser sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2655478B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT523280B1 (en) * | 2020-02-12 | 2021-07-15 | Knapp Ag | Photoelectric barrier system, comprising at least two reflective photoelectric barrier devices |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP33567893A patent/JP2655478B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07198477A (en) | 1995-08-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970422 |