JP2654217B2 - ウェーハ移載方法 - Google Patents
ウェーハ移載方法Info
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- JP2654217B2 JP2654217B2 JP2023524A JP2352490A JP2654217B2 JP 2654217 B2 JP2654217 B2 JP 2654217B2 JP 2023524 A JP2023524 A JP 2023524A JP 2352490 A JP2352490 A JP 2352490A JP 2654217 B2 JP2654217 B2 JP 2654217B2
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- Japan
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- wafer
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はウェーハを半導体製造用縦型高温加熱装置に
出し入れする際のウェーハ移載方法に関する。
出し入れする際のウェーハ移載方法に関する。
〔従来の技術〕 従来この種のウェーハ移載方法は、第２図（ａ）の外
観図に示すように、ウェーハカセット４とボート１との
間で１枚のみ移載用フォーク８を用いて移載ウェーハ５
を１枚ずつ移し替える方法か、あるいは、第２図（ｂ）
の外観図に示すように、多数枚のウェーハを多数枚同時
移載用フォーク６により一括して移し替える方法かのい
ずれかであった。また、それぞれフォークの動作は、フ
ォーク駆動機構９により、X,Y,Z,θ方向に移動可能とな
っている。
観図に示すように、ウェーハカセット４とボート１との
間で１枚のみ移載用フォーク８を用いて移載ウェーハ５
を１枚ずつ移し替える方法か、あるいは、第２図（ｂ）
の外観図に示すように、多数枚のウェーハを多数枚同時
移載用フォーク６により一括して移し替える方法かのい
ずれかであった。また、それぞれフォークの動作は、フ
ォーク駆動機構９により、X,Y,Z,θ方向に移動可能とな
っている。
上述した従来のウェーハ移載方法は、ウェーハ１枚の
み移載用のフォークを使用する場合には、百数十枚のウ
ェーハを移載しようとすると、長時間を要するという欠
点がある。
み移載用のフォークを使用する場合には、百数十枚のウ
ェーハを移載しようとすると、長時間を要するという欠
点がある。
又、ウェーハ多数枚同時移載用のフォークを使用する
場合には、移載に要する時間は短時間であるが、ウェー
ハ１枚のみの移載やウェーハとウェーハの間に歯抜けが
有る場合、そこを補うための移載が不可能であるという
欠点がある。
場合には、移載に要する時間は短時間であるが、ウェー
ハ１枚のみの移載やウェーハとウェーハの間に歯抜けが
有る場合、そこを補うための移載が不可能であるという
欠点がある。
上述した従来のウェーハ移載方法に対し、本発明はウ
ェーハ１枚のみ移載用フォークとウェーハ多数枚を同時
に移載する為のフォークの両方の動作を組み合わせて使
用するという相違点を有する。
ェーハ１枚のみ移載用フォークとウェーハ多数枚を同時
に移載する為のフォークの両方の動作を組み合わせて使
用するという相違点を有する。
本発明のウェーハ移載方法は、ウェーハ１枚のみ移載
用フォークとウェーハ多数枚同時移載用フォークの両方
を有する移載装置を使用し、ウェーハの同時移載枚数が
多数枚有る場合は、多数枚同時移載用フォークを用い、
又、ウェーハの移載枚数が多数枚同時移載用フォークの
１回当りの移載枚数に満たない場合は、ウェーハ１枚の
み移載用フォークを用いるようにしたものである。
用フォークとウェーハ多数枚同時移載用フォークの両方
を有する移載装置を使用し、ウェーハの同時移載枚数が
多数枚有る場合は、多数枚同時移載用フォークを用い、
又、ウェーハの移載枚数が多数枚同時移載用フォークの
１回当りの移載枚数に満たない場合は、ウェーハ１枚の
み移載用フォークを用いるようにしたものである。
次に本発明について図面を参照して説明する。第１図
は本発明の一実施例を説明するためのウェーハ移載装置
の外観図である。移載ウェーハ５は、ボート１とウェー
ハカセット４との間を移載され、相手方にウェーハ２と
して搭載される。本実施例では、多数枚移載用フォーク
として５枚同時移載用フォークを例にとり説明する。本
実施例に使用する装置は、移載用フォークして５枚移載
用フォーク６と１枚のみ移載用フォーク８との両方を備
え、フォーク駆動用機構９により、ボート１とウェーハ
カセット４との間で、X,Y,Z,θ方向の動作が可能であ
る。
は本発明の一実施例を説明するためのウェーハ移載装置
の外観図である。移載ウェーハ５は、ボート１とウェー
ハカセット４との間を移載され、相手方にウェーハ２と
して搭載される。本実施例では、多数枚移載用フォーク
として５枚同時移載用フォークを例にとり説明する。本
実施例に使用する装置は、移載用フォークして５枚移載
用フォーク６と１枚のみ移載用フォーク８との両方を備
え、フォーク駆動用機構９により、ボート１とウェーハ
カセット４との間で、X,Y,Z,θ方向の動作が可能であ
る。
５枚同時移載用フォーク６は、同時移載ウェーハが５
枚以上有る場合前後に動作し、ウェーハカセット４から
移載ウェーハを抜き取り、５枚一括してボート１に移す
移載動作を行なう。１枚のみ移載用フォーク８は、同時
移載ウェーハが５枚未満の場合前後に動作しウェーハカ
セット４から移載ウェーハを抜き取り１枚ずつボート１
に移す移載動作を行なう。
枚以上有る場合前後に動作し、ウェーハカセット４から
移載ウェーハを抜き取り、５枚一括してボート１に移す
移載動作を行なう。１枚のみ移載用フォーク８は、同時
移載ウェーハが５枚未満の場合前後に動作しウェーハカ
セット４から移載ウェーハを抜き取り１枚ずつボート１
に移す移載動作を行なう。
以上説明したように本発明は、ウェーハ多数枚同時移
載用フォークと１枚のみ移載用フォークとの両方を有す
る装置を使用する事により、ウェーハの同時移載枚数が
多数枚同時移載用フォークの１回当りの移載枚数以上で
ある場合は多数枚同時移載用フォークを用いる事ができ
る。その為、従来は１枚のみ移載用フォークした使えな
かった場合でも多数枚同時移載用フォークが使えるよう
になり、ウェーハ移載時の工程を従来の1/4〜1/5に短縮
でき、移載時間も1/4〜1/5に短縮できる効果がある。
載用フォークと１枚のみ移載用フォークとの両方を有す
る装置を使用する事により、ウェーハの同時移載枚数が
多数枚同時移載用フォークの１回当りの移載枚数以上で
ある場合は多数枚同時移載用フォークを用いる事ができ
る。その為、従来は１枚のみ移載用フォークした使えな
かった場合でも多数枚同時移載用フォークが使えるよう
になり、ウェーハ移載時の工程を従来の1/4〜1/5に短縮
でき、移載時間も1/4〜1/5に短縮できる効果がある。
又、ウェーハ移載枚数が多数枚同時移載用フォーク１
回当りの移載枚数未満である場合や、歯ぬけの部分にウ
ェーハを移載する場合は、１枚のみ移載用フォークを用
いる事ができる為、多数枚同時移載用フォークの欠点を
補う事ができるという効果がある。
回当りの移載枚数未満である場合や、歯ぬけの部分にウ
ェーハを移載する場合は、１枚のみ移載用フォークを用
いる事ができる為、多数枚同時移載用フォークの欠点を
補う事ができるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を説明するためのウェーハ移
載装置の外観図、第２図（ａ），（ｂ）は、従来の方法
を説明するためのウェーハ移載装置の外観図である。 １……ボート、２……ウェーハ、４……ウェーハカセッ
ト、５……移載ウェーハ、６……５枚同時移載用フォー
ク、８……１枚のみ移載用フォーク、９……フォーク駆
動機構。
載装置の外観図、第２図（ａ），（ｂ）は、従来の方法
を説明するためのウェーハ移載装置の外観図である。 １……ボート、２……ウェーハ、４……ウェーハカセッ
ト、５……移載ウェーハ、６……５枚同時移載用フォー
ク、８……１枚のみ移載用フォーク、９……フォーク駆
動機構。
Claims (1)
- 【請求項１】ウェーハ１枚のみ移載用フォークと多数枚
同時移載用フォークの両方を備えたウェーハ移載装置を
使用し、ウェーハカセットとボートとの間にウェーハ同
時移載枚数が多数枚同時移載用フォークの移載枚数より
多い場合は多数枚同時移載用フォークを使用するウェハ
ー移載方法において、同時移載枚数に歯抜けがあった場
合、全移載作業終了後、後から歯抜けの部分に１枚のみ
移載フォークでウェーハを補充することを特徴とするウ
ェーハ移載方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2023524A JP2654217B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | ウェーハ移載方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2023524A JP2654217B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | ウェーハ移載方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03227036A JPH03227036A (ja) | 1991-10-08 |
| JP2654217B2 true JP2654217B2 (ja) | 1997-09-17 |
Family
ID=12112835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023524A Expired - Fee Related JP2654217B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | ウェーハ移載方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2654217B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6481956B1 (en) * | 1995-10-27 | 2002-11-19 | Brooks Automation Inc. | Method of transferring substrates with two different substrate holding end effectors |
| US6450755B1 (en) * | 1998-07-10 | 2002-09-17 | Equipe Technologies | Dual arm substrate handling robot with a batch loader |
| JP2007005582A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Asm Japan Kk | 基板搬送装置及びそれを搭載した半導体基板製造装置 |
| JP2007150369A (ja) * | 2007-03-14 | 2007-06-14 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
| US8277165B2 (en) * | 2007-09-22 | 2012-10-02 | Dynamic Micro System Semiconductor Equipment GmbH | Transfer mechanism with multiple wafer handling capability |
| KR101917335B1 (ko) | 2010-10-08 | 2018-11-09 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 동일축 구동 진공 로봇 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3006714B2 (ja) * | 1988-12-02 | 2000-02-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 縦型基板移載装置及び縦型熱処理装置並びに縦型熱処理装置における基板移載方法 |
| JP2748155B2 (ja) * | 1989-07-17 | 1998-05-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置 |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP2023524A patent/JP2654217B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03227036A (ja) | 1991-10-08 |
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Legal Events
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