JP2651453B2 - Cleaning composition - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION 【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本発明は、フロン系等の有機溶剤系洗浄剤を用いた洗
浄プロセスに代る洗浄方法に関する。The present invention relates to a cleaning method replacing a cleaning process using an organic solvent-based cleaning agent such as a CFC-based cleaning agent.

【従来の技術】[Prior art]

金属部品、メッキ部品、塗装部品、電子部品、半導体
部品等の各種工業部品の製造工程においては、フロン11
3に代表されるフロン系溶剤や、トリクロロエタン、ト
リクロロエチレン、テトラクロロエチレン、四塩化炭素
等の有機溶剤が油汚れ等を除去するための洗浄剤として
幅広く使用されている。 また、上記したような有機溶剤系洗浄剤は、各種部品
の水洗後の水切り洗浄剤としても用いられている。これ
は、被洗浄物に付着した水分を直接乾燥しようとした場
合に生じる、高温（100℃以上）にしなければならない
（エネルギーロス大）、乾燥に時間がかかることによっ
て生産効率が低下する、高温にすることによって被洗浄
物が変形するおそれがある（許容値以上の熱膨張）、冷
却や熱遮蔽のスペースを必要とし洗浄装置の設置面積が
増大する等の問題を回避することができるためである。 なお、ここで言う水切り洗浄剤とは、水洗した後の被
洗浄物を浸漬ないしはシャワーリンスすることによっ
て、被洗浄物に付着した水分と置換（水置換）した後、
室温ないしは60℃以下の温風で揮散させることで、被洗
浄物を乾燥させ得る洗浄剤のことである。 しかし、最近、フロンの放出がオゾン層の破壊に繋が
り、人体や生物系に深刻な影響を与えることが明らかと
なってきたことから、オゾン破壊係数の高いフロン12や
フロン113は世界的な規模で段階的に使用を削減し、将
来的には全廃の方向に進んでいる。また、トリクロロエ
チレンやテトラクロロエチレン等の塩素系有機溶剤も、
土壌や地下水等の汚染を引起こす等の環境問題にからん
で、使用規制が強化される方向に進んでいる。 このような状況下にあって、現状のフロン系溶剤より
オゾン破壊係数の低いフロン系物質が開発されつつあ
り、既に工業的生産が一部で進められているが、これら
とてもオゾン層の破壊が皆無ではないことから、好まし
い代替洗浄剤とは目されていない。In the manufacturing process of various industrial parts such as metal parts, plated parts, painted parts, electronic parts, semiconductor parts, etc.
CFC-based solvents represented by 3 and organic solvents such as trichloroethane, trichloroethylene, tetrachloroethylene and carbon tetrachloride are widely used as cleaning agents for removing oil stains and the like. Further, the organic solvent-based detergent as described above is also used as a draining detergent after washing various parts with water. This is necessary when the water adhering to the object to be cleaned is directly dried. The temperature must be high (100 ° C or higher) (energy loss is large). By doing so, the object to be cleaned may be deformed (thermal expansion of an allowable value or more), and it is possible to avoid problems such as requiring a space for cooling and heat shielding and increasing the installation area of the cleaning device. is there. In addition, the draining detergent mentioned here means that the object to be cleaned after rinsing is replaced with water adhering to the object to be cleaned by immersion or shower rinsing (water replacement),
A cleaning agent that can dry an object to be cleaned by being volatilized with warm air at room temperature or 60 ° C or lower. However, recently it has been revealed that the release of chlorofluorocarbons leads to the depletion of the ozone layer and seriously affects humans and biological systems. In the future, the use has been gradually reduced, and in the future it is going to be totally abolished. Also, chlorinated organic solvents such as trichloroethylene and tetrachloroethylene,
Due to environmental problems such as pollution of soil and groundwater, use regulations are being strengthened. Under such circumstances, CFC-based substances with a lower ozone depletion coefficient than current CFC-based solvents are being developed, and industrial production has already been partially advanced. It is not considered a preferred alternative cleaning agent because it is not none.

【発明が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the invention]

そこで、上述したような有機溶剤系による洗浄剤の代
替品として、環境破壊や環境汚染を引起こすことがな
い、界面活性剤を用いた水系の洗浄剤が見直されはじめ
ている。しかし、単に界面活性剤だけによる洗浄剤では
浸透力が弱く、例えば部品細部へ侵入した汚れや中粘度
から高粘度のこびりついた油汚れに対しては充分な洗浄
力を発揮することができないという問題がある。 また、シリコーン系化合物を織織物の汚れ除去に使用
することが特公昭63−50463号公報に記載されている。
これによれば、Si数が４〜６の環状シロキサンを洗浄用
溶剤中に有効な量含有する液状洗浄組成物を用いて、編
織物のクリーニングを行う方法が開示されている。しか
し、上述したシリコーン系化合物を含む液状洗浄組成物
は、編織物を洗浄対象としているため、一般的な工業製
品の洗浄はまるで考慮されていない。 また、特開昭53−56203号公報には、エアゾール型水
性クリーニング組成物として、水溶性洗浄組成物に分子
当り２〜３個のケイ素原子を有する鎖状ポリジメチルシ
ロキサンを配合することが記載されているが、その配合
量はあくまでも0.02〜0.1重量％程度と限定されている
ため、洗浄組成物の洗浄力を充分に高めるような効果は
示していない。 このようなことから、環境問題を引起すことがなく、
かつ十分な洗浄能力を有する洗浄剤が強く望まれてい
る。 一方、上述したような有機溶剤の水切り洗浄剤として
の代替品としては、イソプロピルアルコールなような低
級アルコールの使用が検討されている。しかし、上記イ
ソプロピルアルコールは、引火点が11.7℃と室温より低
く、通常の使用条件下では常に火災の危険が伴うという
欠点がある。さらに、イソプロピルアルコールは水との
相溶性が高く、初期の水切り性能は保持されても、連続
して使用する場合には溶解した水の再付着が起こるた
め、経時的な水切り性能の低下は免れない。このような
水を含んだイソプロピルアルコールから水を除去して再
使用するための精製には、多大な設備の投資を必要とす
る。さらに、イソプロピルアルコールは人体に対する毒
性も高く、この面での使用規制が進行しているのが現状
である。 また、室温を超えるような引火点を持つ炭化水素、高
級アルコールを使用する場合は、水の除去は幾分容易で
はあるが、これら自身の揮発性が低く、例えば60℃以下
といった定温での乾燥が困難であるため、水切り洗浄剤
として使用し得るものではない。 本発明の目的は、有機溶剤系洗浄剤を用いた洗浄に匹
敵する液置換性と乾燥性とが得られると共に、発火等の
危険性がほとんどなく、かつ環境破壊を引き起こすこと
がない洗浄方法を提供することにある。Therefore, as an alternative to the above-mentioned organic solvent-based cleaning agent, a water-based cleaning agent using a surfactant, which does not cause environmental destruction or environmental pollution, is beginning to be reviewed. However, there is a problem that a detergent containing only a surfactant only has a low penetrating power, and cannot exert sufficient detergency on, for example, stains penetrating into the details of parts or oily stains having a medium to high viscosity. There is. The use of silicone compounds for removing stains on woven fabrics is described in JP-B-63-50463.
According to this, a method for cleaning a knitted fabric using a liquid cleaning composition containing an effective amount of a cyclic siloxane having a Si number of 4 to 6 in a cleaning solvent is disclosed. However, the above-mentioned liquid cleaning composition containing a silicone-based compound is intended for cleaning a knitted fabric, and therefore cleaning of general industrial products is not considered at all. JP-A-53-56203 describes that as a water-based aqueous cleaning composition, a water-soluble cleaning composition is blended with a linear polydimethylsiloxane having 2 to 3 silicon atoms per molecule. However, since the amount is limited to about 0.02 to 0.1% by weight, the effect of sufficiently increasing the detergency of the cleaning composition is not shown. Because of this, without causing environmental problems,
There is a strong demand for a cleaning agent having sufficient cleaning ability. On the other hand, use of a lower alcohol such as isopropyl alcohol as an alternative to the above-mentioned organic solvent as a draining cleaner is being studied. However, the above-mentioned isopropyl alcohol has a drawback that the flash point is 11.7 ° C. lower than room temperature and there is always a risk of fire under normal use conditions. In addition, isopropyl alcohol has high compatibility with water, and even if the initial drainage performance is maintained, when used continuously, re-adhesion of dissolved water occurs. Absent. Purification for removing and reusing water from such water-containing isopropyl alcohol requires a large investment in equipment. Furthermore, isopropyl alcohol is highly toxic to the human body, and the use of isopropyl alcohol in this area is currently being regulated. When hydrocarbons or higher alcohols having a flash point exceeding room temperature are used, the removal of water is somewhat easier, but their volatility is low, and drying at a constant temperature of, for example, 60 ° C. or less is performed. However, it cannot be used as a drain cleaner. An object of the present invention is to provide a cleaning method that can obtain liquid replacement property and drying property comparable to cleaning using an organic solvent-based cleaning agent, has little risk of ignition and the like, and does not cause environmental destruction. To provide.

【課題を解決するための手段と作用】 すなわち、本発明の洗浄方法は、洗浄対象物を 一般式： （式中、R¹は同一または相異なる置換または非置換の１
価のアルキル基、フェニル基、ｌは０〜５の整数を示
す） で表されせる直鎖状ポリジオルガノシロキサンからなる
低分子量ポリオルガノシロキサンと、液切り性および／
または洗浄性向上剤とを含む第１の洗浄剤で洗浄する第
１の工程と、前記洗浄対象物の表面に存在する前記第１
の洗浄剤成分を、前記低分子量ポリオルガノシロキサン
単独の第２の洗浄剤で置換する第２の工程とを具備する
ことを特徴としている。 上述した（Ｉ）式で表される直鎖状の低分子量ポリオ
ルガノシロキサンは、汚れに対して強力な浸透力を発揮
すると共に、それ単独で水を含む各種液体と良好な置換
性を示し、かつ高安定性、低蒸発熱、低表面張力を有す
るものであり、本発明の洗浄方法における特徴的な成分
である。このような直鎖状の低分子量ポリオルガノシロ
キサンを用いることで、例えば60℃以下の温風で揮散、
乾燥を容易に行うことができ、さらに水垢によるしみ等
のない清浄な洗浄表面を得ることができる。また、直鎖
状の低分子量ポリオルガノシロキサンは浸蝕性が極めて
低く、各種基材（洗浄対象物）に対してより安定な洗浄
を行うことができる。 上記（Ｉ）式中のR¹は、置換または非置換の１価の有
機基であり、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、
ブチル基等のアルキル基やフェニル基のような１価の非
置換炭化水素基、トリフロロメチル基のような１価の置
換炭化水素基等が例示され、また上記（Ｉ）式における
末端のR¹としては、系の安定性、揮発性の維持等からメ
チル基が最も好ましい。また、具体的な直鎖状の低分子
量ポリオルガノシロキサンとしては、オクタメチルトリ
シロキサン、デカメチルテトラシロキサンおよびそれら
の混合物等が例示される。このような直鎖状の低分子量
ポリオルガノシロキサンは、例えばアルカリ性が強い領
域においても優れた安定性を有するものである。 本発明の洗浄方法における第１の工程は、上述した
（Ｉ）式で表される直鎖状の低分子量ポリオルガノシロ
キサンに、界面活性剤や親水性溶剤等の液切り性および
／または洗浄性向上剤を配合した第１の洗浄剤を用い
て、洗浄対象物を洗浄する工程であり、上記界面活性剤
や親水性溶剤等を直鎖状の低分子量ポリオルガノシロキ
サンに配合することにより、優れた洗浄性、液切り性等
を付与することができる。 上記した界面活性剤は、特に液切り性の向上および洗
浄性の向上に寄与するものである。界面活性剤には、活
性を発揮する化学構造により、カチオン系、アニオン
系、ノニオン系、両性系およびこれらの複合系に分類さ
れるが、本発明においてはそれらのいずれをも使用する
ことが可能である。ただし、本発明においては、カチオ
ン系、アニオン系、ノニオン系のいずれかの界面活性剤
の使用が好ましく、特にアニオン系／ノニオン系の組合
せあるいは両性系／ノニオン系の組合せによる界面活性
剤を使用することにより、これらによる洗浄性と上記し
た直鎖状の低分子量ポリオルガノシロキサンによる浸透
性とに顕著な相乗効果が得られる。 本発明において好ましく用いられる界面活性剤として
は、ポリオキシアルキレンアルキルエーテルスルホン酸
塩、リン酸エステル等のアニオン系界面活性剤、多価ア
ルコール脂肪酸エステル、ポリオキシアルキレン脂肪酸
エステル、ポリオキシアルキレンアルキルエーテル等の
ノニオン系界面活性剤、イミダゾリン誘導体等の両性界
面活性剤、アルキルアミン塩、アルキル第４級アンモニ
ウム塩等のカチオン系界面活性剤等が例示され、その他
には単一物質で存在することは少ないが、天然物から抽
出されるテルペン系化合物や高級脂肪酸エステル等が挙
げられる。また、上述したような各種化合物の化学構造
の一部をフッ素原子やケイ素原子で置き換えた合成化合
物を用いることも可能である。また特に、直鎖状の低分
子量ポリオルガノシロキサンとの組合せによる液切り洗
浄剤としての効果を考えた場合、ノニオン系の界面活性
剤の使用が好ましい。 第１の洗浄剤における界面活性剤の組成比は、特に限
定されるものではないが、直鎖状の低分子量ポリオルガ
ノシロキサン100重量部に対して20重量部以下、さらに
３重量部以下であることが好ましい。 また、上記した親水性溶剤としては、直鎖状の低分子
量ポリオルガノシロキサンに対して相溶性を有するもの
が用いられ、特に引火点が40℃以上のものが実用上好適
である。この親水性溶剤も液置換性等の向上に寄与する
ものである。 このような親水性溶剤としては、エチレングリコール
モノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエ
ーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エ
チレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコ
ールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコ
ールモノブチルエーテル等の多価アルコールとその誘導
体等が例示され、直鎖状の低分子量ポリオルガノシロキ
サンとの相溶性、人体への安全性等の点からジエチレン
グリコールモノブチルエーテルが特に好ましい。これら
化合物は、直鎖状の低分子量ポリオルガノシロキサンと
の共存下で揮発性が向上するために、この配合品のみで
の液置換、乾燥も可能である。 第１の洗浄剤における親水性溶剤の組成比は、特に限
定されるものではないが、直鎖状の低分子量ポリオルガ
ノシロキサン100重量部に対して100重量部以下、さらに
50重量部以下であることが好ましい。 第１の工程は、上述したような第１の洗浄剤を用い
て、洗浄対象物表面の汚れ成分を洗浄する工程であり、
具体的には洗浄対象物の表面に存在する水等の液体を洗
浄および置換する工程、もしくは洗浄対象物の表面に存
在する油脂系汚れやフラックス等の固形汚れ等を洗浄す
る工程である。 洗浄対象物の表面に存在する汚れ成分が液体である場
合には、第１の洗浄剤は液切り洗浄剤として機能するも
のである。ここで、液切り洗浄剤は、前述した直鎖状の
低分子量ポリオルガノシロキサンによる水等の液体との
置換性を利用したものである。例えば、直鎖状の低分子
量ポリオルガノシロキサンによって置換が可能な代表的
な液体である水を例とすれば、水切り洗浄剤と呼べるも
のであるが、第１の洗浄剤な他の液体を置換・洗浄する
際の液切り洗浄剤としても用いることができる。その対
象となる液体としては、上記低分子量ポリオルガノシロ
キサンに対して不溶性もしくは難溶性で、かつ表面張力
が低分子量ポリオルカノシロキサンより大きいものであ
ればよく、水、汚れ成分を含む水、本発明の前工程で使
用された水系洗浄組成物や非水系洗浄組成物等が挙げら
れる。また、洗浄対象となる水としては、水を分散媒と
して使用している各種の液体、例えばアルコールとの混
合液や各種物質が溶解しているような液体を含むものと
する。 第１の工程は、単独の洗浄槽による洗浄工程としても
よいが、複数の洗浄槽を用いた複数の洗浄工程により構
成してもよい。その場合、用いる第１の洗浄剤は同一の
ものでもよいし、また界面活性剤や親水性溶剤等の種類
や組成比を変えたものでもよい。 なお、上述した第１の洗浄剤には、適用される汚れ成
分の性質、量、付着状態、洗浄条件等に応じて、通常の
洗浄剤に添加される吸着剤、固形粒状物、合成ビルダ、
防錆剤、帯電防止剤等を洗浄の助剤や洗浄後の付加価値
向上剤等として配合してもよいし、使用用途によっては
重要な位置付けを示す。 本発明の洗浄方法における第２の工程は、洗浄対象物
を乾燥させるために、洗浄対象物の表面に存在する第１
の洗浄剤成分を、前述した直鎖状の低分子量ポリオルガ
ノシロキサン単独による第２の洗浄剤で置換する工程で
あり、直鎖状の低分子量ポリオルガノシロキサンによる
液置換性および乾燥性、さらには乾燥時における揮散性
等を利用した工程である。このような第２の工程を実施
することによって、前述したように、例えば60℃以下の
温風で揮散、乾燥を容易に行うことができ、さらに水垢
によるしみ等のない清浄な洗浄表面を得ることが可能と
なる。 第２の工程は、単独の洗浄槽による置換工程としても
よいが、複数の洗浄槽を用いた複数の置換工程により構
成してもよい。この際、シャワー洗浄等を併用すること
も可能である。 本発明の洗浄方法の対象となる洗浄対象物としては、
金属、セラミックス、プラスチック等からなる硬質表面
を有する工業部品が挙げられ、さらに具体的には金属部
品、表面処理部品、電子部品、半導体部品、電気部品、
精密機械部品、光学部品、ガラス部品、セラミックス部
品等である。また第１および第２の工程は、上述したよ
うな洗浄対象物を第１の洗浄剤や第２の洗浄剤中に浸漬
したり、あるいは洗浄対象物に第１の洗浄剤や第２の洗
浄剤を吹付けることにより実施し、また第２の工程の後
に、温風等による乾燥を行うのが一般的である。また、
上記浸漬や吹付け時に超音波、機械的撹拌等を併用する
ことも可能である。 本発明の洗浄方法で用いる第１の洗浄剤は、強力な液
切り性を有することから従来から使用されているフロン
系等に匹敵する洗浄および液置換効果が得られ、あるい
は従来から使用されているフロン系に匹敵する洗浄効果
が得られる。また、浸蝕性が極めて低く、各種基材に対
してより安定な洗浄を行うことができる。第２の洗浄剤
も同様に、強力な液切り性を有することから、従来から
使用されているフロン系等に匹敵する液置換効果が得ら
れ、また浸蝕性が極めて低く、各種基材に対してより安
定な置換・洗浄を行うことができる。 また、第１および第２の洗浄材は、フロン系等の有機
溶剤系洗浄剤のように環境破壊や環境汚染を及ぼすおそ
れがほとんどない。このようなことから、本発明の洗浄
方法は、環境問題を抱えるフロン系等の有機溶剤系洗浄
剤を用いた洗浄プロセスの有効な代替洗浄方法と言え
る。[Means and Actions for Solving the Problems] That is, in the cleaning method of the present invention, the object to be cleaned is represented by a general formula: (Wherein R ¹ is the same or different, substituted or unsubstituted 1
A low-molecular-weight polyorganosiloxane comprising a linear polydiorganosiloxane represented by the following formula:
Or a first step of cleaning with a first cleaning agent containing a cleaning property improving agent, and the first step of cleaning the surface of the object to be cleaned.
A second step of replacing the detergent component with the second detergent composed of the low-molecular-weight polyorganosiloxane alone. The linear low-molecular-weight polyorganosiloxane represented by the above formula (I) exhibits a strong penetrating power to dirt, and shows good substitution with various liquids including water by itself, It has high stability, low heat of evaporation, and low surface tension, and is a characteristic component in the cleaning method of the present invention. By using such a linear low molecular weight polyorganosiloxane, for example, volatilized by hot air at 60 ° C or less,
Drying can be easily performed, and a clean cleaning surface free from stains due to water scale can be obtained. In addition, linear low molecular weight polyorganosiloxane has extremely low erodibility, and can perform more stable cleaning on various substrates (objects to be cleaned). R ¹ in the above formula (I) is a substituted or unsubstituted monovalent organic group, for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group,
Examples thereof include a monovalent unsubstituted hydrocarbon group such as an alkyl group such as a butyl group and the like and a phenyl group, a monovalent substituted hydrocarbon group such as a trifluoromethyl group, and the like. ^{As 1} , a methyl group is most preferred from the viewpoint of stability of the system, maintenance of volatility and the like. Examples of specific linear low molecular weight polyorganosiloxanes include octamethyltrisiloxane, decamethyltetrasiloxane, and mixtures thereof. Such a linear low molecular weight polyorganosiloxane has excellent stability, for example, even in a highly alkaline region. In the first step of the cleaning method of the present invention, the linear low-molecular-weight polyorganosiloxane represented by the above-mentioned formula (I) is added to a liquid removing property such as a surfactant or a hydrophilic solvent and / or a cleaning property. This is a step of cleaning the object to be cleaned using a first cleaning agent containing an improver, and is excellent by mixing the above-mentioned surfactant and hydrophilic solvent into a linear low-molecular-weight polyorganosiloxane. In addition, it is possible to impart cleaning properties, drainage properties, and the like. The above-mentioned surfactant contributes particularly to improvement of drainage and cleaning. Surfactants are classified into cationic, anionic, nonionic, amphoteric and composites thereof according to the chemical structure that exerts the activity, and any of them can be used in the present invention. It is. However, in the present invention, it is preferable to use any one of a cationic, anionic, and nonionic surfactant, and particularly to use an anionic / nonionic surfactant or an amphoteric / nonionic surfactant. As a result, a remarkable synergistic effect can be obtained between the detergency by these and the permeability by the linear low molecular weight polyorganosiloxane described above. Surfactants preferably used in the present invention include polyoxyalkylene alkyl ether sulfonates, anionic surfactants such as phosphate esters, polyhydric alcohol fatty acid esters, polyoxyalkylene fatty acid esters, polyoxyalkylene alkyl ethers and the like. Nonionic surfactants, amphoteric surfactants such as imidazoline derivatives, and cationic surfactants such as alkylamine salts and alkyl quaternary ammonium salts are exemplified, and others are rarely present as a single substance. But terpene compounds and higher fatty acid esters extracted from natural products. Further, it is also possible to use a synthetic compound in which a part of the chemical structure of each compound described above is replaced with a fluorine atom or a silicon atom. In particular, in view of the effect as a draining detergent by a combination with a linear low molecular weight polyorganosiloxane, it is preferable to use a nonionic surfactant. The composition ratio of the surfactant in the first cleaning agent is not particularly limited, but is 20 parts by weight or less, more preferably 3 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the linear low molecular weight polyorganosiloxane. Is preferred. As the above-mentioned hydrophilic solvent, those having compatibility with linear low-molecular-weight polyorganosiloxane are used, and those having a flash point of 40 ° C. or higher are practically suitable. This hydrophilic solvent also contributes to the improvement of the liquid substitution property and the like. Examples of such a hydrophilic solvent include polyhydric alcohols such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, and diethylene glycol monobutyl ether, and derivatives thereof. For example, diethylene glycol monobutyl ether is particularly preferable from the viewpoints of compatibility with a linear low-molecular-weight polyorganosiloxane and safety to the human body. Since the volatility of these compounds is improved in the presence of a linear low-molecular-weight polyorganosiloxane, liquid replacement and drying using only this compound can be performed. The composition ratio of the hydrophilic solvent in the first cleaning agent is not particularly limited, but is not more than 100 parts by weight based on 100 parts by weight of the linear low molecular weight polyorganosiloxane, and
It is preferably 50 parts by weight or less. The first step is a step of cleaning dirt components on the surface of the object to be cleaned using the first cleaning agent as described above,
Specifically, this is a step of cleaning and replacing liquid such as water present on the surface of the object to be cleaned, or a step of cleaning solid dirt such as oil-based dirt or flux present on the surface of the object to be cleaned. When the dirt component present on the surface of the object to be cleaned is a liquid, the first cleaning agent functions as a draining cleaning agent. Here, the liquid-removing cleaning agent utilizes the above-mentioned substitution of a linear low-molecular-weight polyorganosiloxane with a liquid such as water. For example, water, which is a typical liquid that can be replaced by a linear low-molecular-weight polyorganosiloxane, can be referred to as a draining detergent. -It can also be used as a draining detergent for washing. The liquid to be treated may be any liquid that is insoluble or hardly soluble in the low-molecular-weight polyorganosiloxane and has a surface tension higher than that of the low-molecular-weight polyorganosiloxane. Examples include the aqueous cleaning composition and the non-aqueous cleaning composition used in the previous step of the invention. The water to be washed includes various liquids using water as a dispersion medium, for example, a mixed liquid with alcohol or a liquid in which various substances are dissolved. The first step may be a washing step using a single washing tank, or may be constituted by a plurality of washing steps using a plurality of washing tanks. In that case, the first cleaning agent used may be the same, or may be a type in which the type of surfactant or hydrophilic solvent or the composition ratio is changed. In addition, the above-mentioned first cleaning agent includes an adsorbent, a solid particulate matter, a synthetic builder, which is added to a normal cleaning agent, depending on the properties, amount, adhesion state, cleaning conditions, and the like of the applied dirt component.
Rust inhibitors, antistatic agents, etc. may be added as cleaning aids or added value enhancers after cleaning, etc., and they are important depending on the intended use. In the second step of the cleaning method of the present invention, the first object existing on the surface of the object to be cleaned is dried in order to dry the object to be cleaned.
Is a step of replacing the above-mentioned detergent component with the above-mentioned second detergent composed of the linear low-molecular-weight polyorganosiloxane alone. The liquid-replacement and drying properties of the linear low-molecular-weight polyorganosiloxane are further improved. This is a process utilizing volatility during drying. By performing such a second step, as described above, for example, volatilization and drying can be easily performed with warm air at a temperature of 60 ° C. or less, and a clean cleaning surface free from stains due to water scale can be obtained. It becomes possible. The second step may be a replacement step using a single cleaning tank, or may be configured by a plurality of replacement steps using a plurality of cleaning tanks. At this time, shower cleaning or the like can be used together. The cleaning target object of the cleaning method of the present invention,
Industrial parts having a hard surface made of metals, ceramics, plastics, etc., are mentioned. More specifically, metal parts, surface-treated parts, electronic parts, semiconductor parts, electric parts,
Precision machine parts, optical parts, glass parts, ceramic parts, etc. In the first and second steps, the object to be cleaned as described above is immersed in the first cleaning agent or the second cleaning agent, or the first cleaning agent or the second cleaning agent is applied to the object to be cleaned. In general, it is carried out by spraying an agent, and after the second step, drying is performed by warm air or the like. Also,
It is also possible to use ultrasonic waves, mechanical stirring and the like at the time of immersion and spraying. Since the first cleaning agent used in the cleaning method of the present invention has a strong draining property, a cleaning and liquid replacement effect comparable to that of a conventionally used fluorocarbon type is obtained, or the first cleaning agent is used. The cleaning effect is comparable to that of CFCs. Further, the erosion is extremely low, and more stable cleaning can be performed on various substrates. Similarly, the second cleaning agent has a strong liquid draining property, so that a liquid replacement effect comparable to that of a conventionally used fluorocarbon or the like is obtained, and the erosion is extremely low. More stable replacement and washing can be performed. Further, the first and second cleaning materials are unlikely to cause environmental destruction or environmental pollution unlike the organic solvent-based cleaning agents such as fluorocarbons. From the above, the cleaning method of the present invention can be said to be an effective alternative cleaning method to a cleaning process using an organic solvent-based cleaning agent such as a fluorocarbon, which has environmental problems.

【実施例】【Example】

以下、本発明を実施例によって詳細に説明する。 実施例１ 直鎖状の低分子量ポリオルガノシロキサンとして、オ
クタメチルトリシロキサンを用意し、このオクタメチル
トリシロキサン100重量部に、界面活性剤としてポリオ
キシエチレンオレイルエーテル（P.O.E＝6mol）を0.3重
量部添加して、第１の洗浄剤（水切り洗浄剤）を調整し
た。また、上記オクタメチルトリシロキサン単独の第２
の洗浄剤を用意した。 上記第１および第２の洗浄剤を用いて、以下のように
して各種基材の水切り洗浄を行い、その特性を評価し
た。その結果を第１表に示す。 （ａ） 水切り性 各種基材（ステンレス板、セラミックス、ポリカーボ
ネート、Niメッキ鋼板）を水洗した後、第１の洗浄剤中
に浸漬し、次いで第２の洗浄剤ですすぎを行った。その
後、50℃でオーブン乾燥を行った。そして、乾燥後のウ
ォーターマーク（水垢によるしみ）を目視および走査型
電子顕微鏡により観察し、以下の記準にしたがって評価
した。 ××：水切り工程で基材が浸蝕され、評価に至らなかっ
た場合。 ×：目視でウォーターマークが観察された場合。 ○：目視でウォーターマークが観察されなかった場合。 ◎：走査型電子顕微鏡により50μｍ以上のウォーターマ
ークが観察されなかった場合。 （ｂ） 連続水切り性 ステンレス板を基材として、50回の水切り性テストを
行った後の外観を上記（ａ）と同様に評価した。 （ｃ） 乾燥性 ステンレス板を第１および第２の洗浄剤に浸漬後、50
℃でオーブン乾燥し、５分毎に指触にて乾燥しているか
どうかを試み、その時間を５分単位で記録した。 また、直鎖状の低分子量ポリオルガノシロキサンの水
切り性能を確認するために、オクタメチルトリシロキサ
ン単独の洗浄剤を用いた一工程により水切り洗浄も実施
した。 比較例１〜５ 従来の水切り洗浄剤として、フロン113、塩化メチレ
ン、イソプロピルアルコールおよびエタノールを用意
し、第１表にその組成比を示す５種類の水切り洗浄剤を
調整した。これら各水切り洗浄剤を用いて、一工程によ
る水切り洗浄とする以外は、上記実施例と同様に水切り
洗浄を実施し、同様に諸特性をそれぞれ評価した。その
結果を併せて第１表に示す。 第１表に示した評価結果から明らかなように、本発明
の洗浄方法は水切り性に優れ、従来、フロン系等の有機
溶剤系洗浄剤を用いていた洗浄用途に充分に使用しうる
ことが分る。 また、比較例１、２、５の塩化メチレン、イソプロピ
ルアルコールを用いた水切り洗浄剤は、金属膜やプラス
チックに対する発錆性や浸蝕性を有していた。これに対
して、本発明による洗浄方法は金属膜やプラスチックに
対して安定で、しかも表面粗度の大きいセラミックスに
対しても十分な水切り性を有し、金属部品、メッキ部
品、電子部品、半導体部品、プラスチック部品、セラミ
ックス部品等に対して十分な信頼性をもって使用し得る
ことが分る。なお、イソプロピルアルコールは水が相溶
してしまい、これにより基材への水の再付着が発生し
た。 次に、本発明の洗浄方法を適用した洗浄装置の一例に
ついて、第１図を参照して説明する。 第１図に示す洗浄装置は、大別して洗浄および／また
は水置換工程（第１の工程）Ａと清浄化工程（第２の工
程）Ｂとから構成されている。 第１の工程となる洗浄および／または水置換工程Ａに
は、沈降分離機能とオーバーフロー分離機能とを併せ持
つ第１の洗浄槽１および第２の洗浄槽２と液切り槽３と
が設けられている。上記第１の洗浄槽１および第２の洗
浄槽２間は、ドレン配管2aとオーバーフロー管2bとによ
り連結されている。これら第１の洗浄槽１および第２の
洗浄槽には、必要に応じて超音波、揺動、機械的撹拌、
洗浄剤加温、ブラッシング等が併用される。 上記第１および第２の洗浄槽１、２には、直鎖状の低
分子量ポリオルガノシロキサンに界面活性剤等を添加し
た第１の洗浄剤D1がそれぞれ収容されている。この界面
活性剤を含む第１の洗浄剤D1は、その比重を水より小さ
く、かつ油脂系の汚れより大きく設定することができ
る。したがって、被洗浄物Ｘにより持ち込まれた水Ｙ
は、第１および第２の洗浄槽１、２に収容された界面活
性剤を含む第１の洗浄剤D1の下方にそれぞれ沈降分離さ
れる。また、被洗浄物Ｘに油脂系の汚れＺが付着してい
る場合には、油脂系の汚れＺは第１および第２の洗浄槽
１、２に収容された界面活性剤を含む第１の洗浄剤D1の
上方にそれぞれ浮上分離される。 第２の洗浄槽２で沈降分離されたＹは、ドレン配管2a
によって間欠的に第１の洗浄槽１側に排出される。ま
た、第１の洗浄槽１で沈降分離された水Ｙは、ドレン配
管４によって間欠的に後述する洗浄剤再生機構Ｃへと排
出される。また、液切り槽３に設けられたドレン配管3a
も洗浄剤再生機構Ｃと接続されている。 また、第１の洗浄槽１および２の洗浄槽２で浮上分離
された油脂系の汚れＺは、順次オーバーフローし、第１
の洗浄槽１に設けられたオーバーフロー管５から系外に
排出される。 第１の洗浄槽１および第２の洗浄槽２内に収容された
界面活性剤を含む第１の洗浄剤D1は、常時フィルタ６を
介して循環されており、このフィルタ６により洗浄剤D1
中の固体物（固形汚れを含む）、水粒子、未溶解物質が
除去される。 また、第２の工程となる清浄化工程Ｂには、第３の洗
浄槽７とシャワーリンス槽８とが設けられている。シャ
ワーリンス槽８の下方には、バッファタンク９が設けら
れており、このバッファタンク９および第３の洗浄槽７
間は、ドレン配管9aとオーバーフロー管9aとにより連結
されている。この第３の洗浄槽７にも、必要に応じて超
音波、揺動、機械的撹拌、洗浄剤加温、ブラッシング等
が併用される。 上記第３の洗浄槽には、上記第１の工程Ａで使用した
直鎖状の低分子量ポリオルガノシロキサンと同一のシリ
コーン組成物のみの第２の洗浄剤D2が収容されている。
この第２の洗浄剤D2は、その比重を水より小さく、かつ
油脂系の汚れより大きく設定することができる。したが
って、第１の工程Ａにおける洗浄槽と同様に、水Ｙは第
２の洗浄剤D2の下方に沈降分離され、また油脂系の汚れ
Ｚは洗浄剤D2の上方に浮上分離される。 第３の洗浄槽７で沈降分離された水Ｙは、ドレン配管
10によって間欠的に洗浄剤再生機構Ｃへと排出される。
また、第３の洗浄槽７で浮上分離された油脂系の汚れＺ
は、オーバーフロー管11から系外に排出される。 また、第３の洗浄槽７内に収容された第２の洗浄剤D2
は、常時フィルタ12を介して循環されており、このフィ
ルタ12によって第２の洗浄剤D2中の固体物、水粒子、未
溶解物質等が除去される。 そして、被洗浄物Ｘは第１の工程Ａから第２の工程Ｂ
へと順次送られて、洗浄および／または水切りが施され
た後、図示を省略した温風乾燥器等により乾燥処理が施
されて洗浄工程が終了する。 上記洗浄装置における洗浄剤の回収・再使用について
は、以下の通りである。 上述したように、第１、第２、第３の洗浄槽１、２、
７および液切り槽３に設けられた各ドレン配管４、3a、
10は、洗浄剤再生機構Ｃに接続されている。各洗浄槽に
収容された第１の洗浄剤D1または第２の洗浄剤D2は、フ
ィルタ６、12によって常時浄化されているが、洗浄剤の
汚れがひどくなった際には、各ドレン配管４、10によっ
て洗浄剤再生機構Ｃに送水ポンプ13によって送られて分
溜精製される。また、液切り槽３に溜まった第１の洗浄
剤D1も間欠的に洗浄剤再生機構Ｃに送られる。 洗浄剤再生機構Ｃでは、まず濾過器14により液体と固
体との分離が行われ、固体分は廃棄され、液体のみ蒸溜
器15へ送られる。この蒸溜器15では洗浄剤中の各成分、
水、油脂系汚れ等の沸点の差を利用して分離が行われ
る。なお、蒸留器15にて残留した水分等は、デカンタ16
によってさらに分離される。 ここで、上記洗浄装置において使用している洗浄剤に
おいて、第１の洗浄剤D1は、直鎖状の低分子量ポリオル
ガノシロキサンのみの第２の洗浄剤D2に界面活性剤を添
加したものであるため、第１の洗浄剤D1および第２の洗
浄剤D2それぞれから直鎖状の低分子量ポリオルガノシロ
キサン、すなわち第２の洗浄剤D2を分離抽出することが
でき、第２の洗浄剤D2が再生される。また、この再生さ
れた第２の洗浄剤D2以外の成分、すなわち界面活性剤や
水分等は廃棄される。 この再生された第２の洗浄剤D2は、配管17によりシャ
ワーリンス槽８、第３の洗浄槽７、もしくは第２の洗浄
槽２に第１の洗浄剤D1を供給する配合器18へと送られ
る。 シャワーリンス槽８では、上記再生洗浄剤D2もしくは
洗浄剤供給配管19から送られてきた新規な第２の洗浄剤
D2によって、不純物を含まない第２の洗浄剤D2のみでシ
ャワー洗浄が行われる。 また、配合器18では、再生もしくは新規の第２の洗浄
剤D2と、界面活性剤供給配管20から送られてきた新規な
界面活性剤とが混合され、新たに第１の洗浄剤D1が調合
される。この第１の洗浄剤D1は、必要に応じて第２の洗
浄槽２に供給される。 上述したような構成を有する洗浄装置を用いることに
より、本発明の洗浄方法を効率よく、かつ有効に利用す
ることができると共に、本発明に用いる洗浄剤の特性を
十分に発揮することが可能となる。Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples. Example 1 Octamethyltrisiloxane was prepared as a linear low molecular weight polyorganosiloxane, and 0.3 parts by weight of a polyoxyethylene oleyl ether (POE = 6 mol) as a surfactant was added to 100 parts by weight of the octamethyltrisiloxane. In addition, a first cleaning agent (water drainage cleaning agent) was prepared. In addition, the second octamethyltrisiloxane alone
Was prepared. Using the first and second cleaning agents, various substrates were drained and cleaned as described below, and their characteristics were evaluated. Table 1 shows the results. (A) Drainability Various substrates (stainless steel plate, ceramics, polycarbonate, Ni-plated steel plate) were washed with water, immersed in a first cleaning agent, and then rinsed with a second cleaning agent. Thereafter, oven drying was performed at 50 ° C. The dried watermark (stain due to water stain) was visually observed and observed with a scanning electron microscope, and evaluated according to the following criteria. XX: When the base material was eroded in the draining step and the evaluation was not completed. X: When a watermark is visually observed. ：: when no watermark was visually observed. A: When a watermark of 50 μm or more was not observed by a scanning electron microscope. (B) Continuous Drainability Using a stainless steel plate as a substrate, the appearance after 50 times of the drainage test was evaluated in the same manner as in (a) above. (C) Drying After immersing the stainless steel plate in the first and second cleaning agents,
Oven dried at <RTIgt; 0 C </ RTI> and tried every 5 minutes to determine if it was dry to the touch, and the time was recorded in 5 minute increments. In addition, in order to confirm the drainage performance of the linear low-molecular-weight polyorganosiloxane, drainage cleaning was also performed in one step using a cleaning agent of octamethyltrisiloxane alone. Comparative Examples 1 to 5 Freon 113, methylene chloride, isopropyl alcohol and ethanol were prepared as conventional draining detergents, and five types of draining detergents whose composition ratios are shown in Table 1 were prepared. Draining cleaning was performed in the same manner as in the above example, except that each of the cleaning agents was used to perform one-step water cleaning, and various properties were similarly evaluated. Table 1 also shows the results. As is evident from the evaluation results shown in Table 1, the cleaning method of the present invention has excellent drainage properties, and can be sufficiently used for cleaning applications where organic solvent-based cleaning agents such as CFCs have been used. I understand. Further, the draining detergents using methylene chloride and isopropyl alcohol of Comparative Examples 1, 2, and 5 had rusting and erosion properties on metal films and plastics. On the other hand, the cleaning method according to the present invention is stable for metal films and plastics, and has sufficient drainage properties even for ceramics having a large surface roughness, and is suitable for metal parts, plated parts, electronic parts, and semiconductors. It can be seen that it can be used with sufficient reliability for parts, plastic parts, ceramic parts and the like. In addition, water was compatible with isopropyl alcohol, which caused re-adhesion of water to the substrate. Next, an example of a cleaning apparatus to which the cleaning method of the present invention is applied will be described with reference to FIG. The cleaning apparatus shown in FIG. 1 is roughly composed of a cleaning and / or water replacement step (first step) A and a cleaning step (second step) B. In the washing and / or water replacement step A, which is the first step, a first washing tank 1 and a second washing tank 2 having both a sedimentation separation function and an overflow separation function, and a drain tank 3 are provided. I have. The first cleaning tank 1 and the second cleaning tank 2 are connected by a drain pipe 2a and an overflow pipe 2b. The first cleaning tank 1 and the second cleaning tank are provided with ultrasonic waves, rocking, mechanical stirring,
Cleaning agent heating, brushing, etc. are used in combination. The first and second cleaning tanks 1 and 2 contain a first cleaning agent D1 obtained by adding a surfactant or the like to a linear low molecular weight polyorganosiloxane. The specific gravity of the first detergent D1 containing the surfactant can be set smaller than that of water and larger than that of oil-based dirt. Therefore, the water Y brought in by the cleaning object X
Is settled and separated below the first cleaning agent D1 containing a surfactant contained in the first and second cleaning tanks 1 and 2, respectively. When the oil-based dirt Z is attached to the cleaning object X, the oil-based dirt Z contains the first surfactant containing the surfactant contained in the first and second cleaning tanks 1 and 2. Each of them is floated and separated above the cleaning agent D1. Y sedimented and separated in the second washing tank 2 is drain pipe 2a
As a result, it is intermittently discharged to the first cleaning tank 1 side. The water Y settled and separated in the first cleaning tank 1 is intermittently discharged to a cleaning agent regenerating mechanism C to be described later by a drain pipe 4. Also, a drain pipe 3a provided in the drain tank 3
Is also connected to the cleaning agent regeneration mechanism C. The oil-based dirt Z floated and separated in the cleaning tanks 2 of the first cleaning tanks 1 and 2 sequentially overflows,
Is discharged out of the system from an overflow pipe 5 provided in the washing tank 1. The first cleaning agent D1 containing the surfactant contained in the first cleaning tank 1 and the second cleaning tank 2 is constantly circulated through the filter 6, and the cleaning agent D1 is filtered by the filter 6.
Solid matter (including solid dirt), water particles, and undissolved substances therein are removed. In the cleaning step B, which is the second step, a third cleaning tank 7 and a shower rinsing tank 8 are provided. A buffer tank 9 is provided below the shower rinsing tank 8, and the buffer tank 9 and the third cleaning tank 7 are provided.
The space is connected by a drain pipe 9a and an overflow pipe 9a. Ultrasonic waves, rocking, mechanical agitation, cleaning agent heating, brushing, and the like are also used in the third cleaning tank 7 as needed. The third cleaning tank contains a second cleaning agent D2 made of only the same silicone composition as the linear low-molecular-weight polyorganosiloxane used in the first step A.
The specific gravity of the second cleaning agent D2 can be set smaller than that of water and larger than that of oil-based dirt. Therefore, similarly to the cleaning tank in the first step A, the water Y is settled and separated below the second cleaning agent D2, and the grease Z is floated and separated above the cleaning agent D2. The water Y settled and separated in the third washing tank 7 is drained from the drain pipe.
By 10, it is intermittently discharged to the cleaning agent regeneration mechanism C.
The oil-based dirt Z floated and separated in the third washing tank 7
Is discharged from the overflow pipe 11 to the outside of the system. Also, the second cleaning agent D2 stored in the third cleaning tank 7
Is constantly circulated through a filter 12, and the filter 12 removes solids, water particles, undissolved substances, and the like in the second cleaning agent D2. The object to be cleaned X is converted from the first step A to the second step B.
And then subjected to washing and / or draining, and then subjected to a drying process by a hot air dryer or the like (not shown) to complete the washing process. The collection and reuse of the cleaning agent in the cleaning device is as follows. As described above, the first, second, and third cleaning tanks 1, 2,.
7 and each drain pipe 4, 3a provided in the drain tank 3
Reference numeral 10 is connected to the cleaning agent regeneration mechanism C. The first cleaning agent D1 or the second cleaning agent D2 stored in each cleaning tank is constantly purified by the filters 6 and 12, but when the cleaning agent becomes very dirty, each drain pipe 4 , 10 to the cleaning agent regenerating mechanism C by means of a water pump 13 for fractionation and purification. Further, the first cleaning agent D1 stored in the liquid draining tank 3 is also intermittently sent to the cleaning agent regeneration mechanism C. In the cleaning agent regeneration mechanism C, first, the liquid and the solid are separated by the filter 14, the solid is discarded, and only the liquid is sent to the distiller 15. In this distiller 15, each component in the cleaning agent,
Separation is performed by utilizing the difference in boiling point between water and oil-based dirt. In addition, water and the like remaining in the still 15
Are further separated by Here, in the cleaning agent used in the above-mentioned cleaning apparatus, the first cleaning agent D1 is obtained by adding a surfactant to the second cleaning agent D2 composed of only a linear low-molecular-weight polyorganosiloxane. Therefore, the linear low molecular weight polyorganosiloxane, that is, the second detergent D2, can be separated and extracted from each of the first detergent D1 and the second detergent D2, and the second detergent D2 is regenerated. Is done. In addition, components other than the regenerated second cleaning agent D2, that is, surfactants, moisture, and the like are discarded. The regenerated second cleaning agent D2 is sent by a pipe 17 to a shower rinsing tank 8, a third cleaning tank 7, or a blender 18 that supplies the first cleaning agent D1 to the second cleaning tank 2. Can be In the shower rinsing tank 8, the regenerated cleaning agent D 2 or the new second cleaning agent sent from the cleaning agent supply pipe 19 is used.
By D2, shower cleaning is performed only with the second cleaning agent D2 containing no impurities. Further, in the blender 18, the regenerated or new second detergent D2 and the new surfactant sent from the surfactant supply pipe 20 are mixed to newly prepare the first detergent D1. Is done. The first cleaning agent D1 is supplied to the second cleaning tank 2 as needed. By using the cleaning apparatus having the above-described configuration, the cleaning method of the present invention can be used efficiently and effectively, and the properties of the cleaning agent used in the present invention can be sufficiently exhibited. Become.

【発明の効果】【The invention's effect】

以上説明したように、本発明の洗浄方法によれば、従
来から使用されているフロン系洗浄に匹敵する洗浄効果
や液切り効果が得られ、かつ環境破壊や環境汚染の心配
もないことから、環境問題を抱えるフロン系等の有機溶
剤系洗浄剤を用いた洗浄システムの代替洗浄方法として
有用である。 図面の簡単な説明 第１図は本発明の洗浄方法を適用した洗浄装置の一構成
例を示す図である。 Ａ……洗浄および／または水置換工程（第１の工程） Ｂ……清浄化工程（第２の工程） Ｃ……洗浄剤再生機構 D1……第１の洗浄剤 D2……第２の洗浄剤 １……第１の洗浄槽 ２……第２の洗浄槽 ３……液切り槽 ７……第３の洗浄槽 ８……シャワーリンス槽As described above, according to the cleaning method of the present invention, a cleaning effect and a draining effect comparable to those of a conventionally used CFC-based cleaning can be obtained, and there is no concern about environmental destruction or environmental pollution. It is useful as an alternative cleaning method for a cleaning system using an organic solvent-based cleaning agent such as a chlorofluorocarbon which has environmental problems. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a view showing an example of the configuration of a cleaning apparatus to which the cleaning method of the present invention is applied. A: Cleaning and / or water replacement step (first step) B: Cleaning step (second step) C: Cleaning agent regeneration mechanism D1: First cleaning agent D2: Second cleaning Agent 1 First cleaning tank 2 Second cleaning tank 3 Drain tank 7 Third cleaning tank 8 Shower rinsing tank

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２３Ｇ 1/24 Ｃ２３Ｇ 1/24 審判番号 平6−13658 (72)発明者 小国 尚之 神奈川県横浜市港北区日吉本町２―55― 33 (72)発明者 八木 典章 神奈川県横浜市戸塚区戸塚町2121―Ｄ 103 (72)発明者 斎藤 信宏 群馬県太田市烏山908―10 (72)発明者 栗田 明嗣 群馬県太田市内ケ島1322―24 (72)発明者 竹澤 好昭 群馬県太田市泉町1418―９ (56)参考文献 特開 昭53−56203（ＪＰ，Ａ) 米国特許3498922（ＵＳ，Ａ) 米国特許3498923（ＵＳ，Ａ) 英国特許2173508（ＧＢ，Ｂ) ***公開3739711（ＤＥ，Ａ１) Ｓｏａｐ／Ｃｏｓｍｅｔｉｃｓ／Ｃｈ ｅｍｉｃａｌ Ｓｐｅｃｉａｌｉｔｉｅ ｓ Ｖｏｌ．62，Ｎｏ．12，Ｐａｇｅ 40，42−43（1986)──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (51) Int.Cl. ⁶ Identification number Office reference number FI Technical display location C23G 1/24 C23G 1/24 Referee number Hei 6-13658 (72) Inventor Naoyuki Oguni Yokohama-shi, Kanagawa 2-55-33, Hiyoshihoncho, Kohoku-ku (72) Noriaki Yagi, Inventor 2121-D103, Totsukacho, Totsuka-ku, Yokohama, Kanagawa, Japan (72) Inventor, Nobuhiro Saito 908-10, Karasuyama, Ota, Gunma, Japan 1322-24 Kashima, Ota City, Gunma Prefecture (72) Inventor Yoshiaki Takezawa 1418-9, Izumicho, Ota City, Gunma Prefecture (56) References JP-A-53-56203 (JP, A) US Patent 3,892,922 (US, A) US Patent 3498923 (US, A) British Patent 2173508 (GB, B) Published by West Germany 3739711 (DE, A1) Soap / Cosmetics / Chemical Specialties Vol. 62, No. 12, Page 40, 42-43 (1986)

Claims (19)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】洗浄対象物を 一般式： 一般式： （式中、R¹は同一または異なる置換または非置換の１価
のアルキル基、フェニル基、ｌは０〜５の整数を示す） で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサンからなる低
分子量ポリオルガノシロキサンと、界面活性剤および／
または親水性溶剤から実質的になる第１の洗浄剤で洗浄
する第１の工程と、 前記洗浄対象物の表面に存在する前記第１の洗浄剤成分
を、実質的に前記低分子量ポリオルガノシロキサン単独
の第２の洗浄剤で置換する第２の工程と を具備することを特徴とする洗浄方法。An object to be cleaned is represented by the following general formula: (Wherein, R ¹ is the same or different, substituted or unsubstituted monovalent alkyl group, phenyl group, and l is an integer of 0 to 5). A low molecular weight polyorganosiloxane comprising a linear polydiorganosiloxane represented by the following formula: A siloxane, a surfactant and / or
Or a first step of washing with a first detergent substantially consisting of a hydrophilic solvent; and removing the first detergent component present on the surface of the object to be cleaned substantially by the low molecular weight polyorganosiloxane. A second step of substituting with a single second cleaning agent. 【請求項２】請求項１記載の洗浄方法において、 前記洗浄対象物は、硬質表面を有する工業部品であるこ
とを特徴とする洗浄方法。2. The cleaning method according to claim 1, wherein the object to be cleaned is an industrial part having a hard surface. 【請求項３】請求項２記載の洗浄方法において、 前記工業部品は、金属、セラミックスおよびプラスチッ
クから選ばれた少なくとも１種からなることを特徴とす
る洗浄方法。3. The cleaning method according to claim 2, wherein said industrial part is made of at least one selected from metals, ceramics and plastics. 【請求項４】請求項２記載の洗浄方法において、 前記工業部品は、金属部品、ガラス部品、セラミックス
部品、表面処理部品、電子部品、半導体部品、電気部
品、精密機械部品および光学部品から選ばれた少なくと
も１種であることを特徴とする洗浄方法。4. The cleaning method according to claim 2, wherein the industrial part is selected from a metal part, a glass part, a ceramic part, a surface treatment part, an electronic part, a semiconductor part, an electric part, a precision machine part and an optical part. And at least one cleaning method. 【請求項５】請求項１記載の洗浄方法において、 前記第１の工程にて、予備洗浄の際の残留物または汚れ
成分などの洗浄対象物の表面に存在する液体を、前記第
１の洗浄剤で洗浄および置換することを特徴とする洗浄
方法。5. The cleaning method according to claim 1, wherein in the first step, a liquid existing on the surface of the object to be cleaned, such as a residue or a dirt component at the time of preliminary cleaning, is removed by the first cleaning. A washing method characterized by washing and replacing with an agent. 【請求項６】請求項５記載の洗浄方法において、 前記洗浄対象物の表面に存在する液体は、前記低分子量
ポリオルガノシロキサンに対して不溶性もしくは難溶性
で、かつ表面張力が前記低分子量ポリオルガノシロキサ
ンより大きいことを特徴とする洗浄方法。6. The cleaning method according to claim 5, wherein the liquid existing on the surface of the object to be cleaned is insoluble or hardly soluble in the low molecular weight polyorganosiloxane and has a surface tension of the low molecular weight polyorganosiloxane. A cleaning method characterized by being larger than siloxane. 【請求項７】請求項５記載の洗浄方法において、 前記洗浄対象物の表面に存在する液体は、水を含むこと
を特徴とする洗浄方法。7. The cleaning method according to claim 5, wherein the liquid existing on the surface of the object to be cleaned includes water. 【請求項８】請求項５記載の洗浄方法において、 前記洗浄対象物の表面に存在する液体は、汚れ成分を含
むことを特徴とする洗浄方法。8. The cleaning method according to claim 5, wherein the liquid present on the surface of the object to be cleaned contains a dirt component. 【請求項９】請求項５記載の洗浄方法において、 前記洗浄対象物の表面に存在する液体は、予備洗浄の水
系洗浄組成物を含むことを特徴とする洗浄方法。9. The cleaning method according to claim 5, wherein the liquid present on the surface of the object to be cleaned includes a water-based cleaning composition for preliminary cleaning. 【請求項１０】請求項５記載の洗浄方法において、 前記洗浄対象物の表面に存在する液体は、予備洗浄の非
水系洗浄組成物を含むことを特徴とする洗浄方法。10. The cleaning method according to claim 5, wherein the liquid existing on the surface of the object to be cleaned includes a non-aqueous cleaning composition for preliminary cleaning. 【請求項１１】請求項１記載の洗浄方法において、 前記第１の工程にて、洗浄対象物の表面に存在する油脂
系汚れを、前記第１の洗浄剤で洗浄することを特徴とす
る洗浄方法。11. The cleaning method according to claim 1, wherein in the first step, the oil-based dirt present on the surface of the object to be cleaned is cleaned with the first cleaning agent. Method. 【請求項１２】請求項１記載の洗浄方法において、 前記第１の工程は、複数の洗浄工程を有することを特徴
とする洗浄方法。12. The cleaning method according to claim 1, wherein said first step includes a plurality of cleaning steps. 【請求項１３】請求項１または請求項12記載の洗浄方法
において、 前記第２の工程は、複数の置換工程を有することを特徴
とする洗浄方法。13. The cleaning method according to claim 1, wherein said second step includes a plurality of replacement steps. 【請求項１４】請求項13記載の洗浄方法において、 前記複数の置換工程は、前記第２の洗浄剤で前記洗浄対
象物を仕上げ洗浄する工程を有することを特徴とする洗
浄方法。14. The cleaning method according to claim 13, wherein the plurality of replacement steps include a step of finishing cleaning the object to be cleaned with the second cleaning agent. 【請求項１５】請求項５記載の洗浄方法において、 前記第１の工程は複数の洗浄工程からなり、前記複数の
洗浄工程は、前記液体を前記第１の洗浄工程で洗浄およ
び置換する工程と、前記洗浄対象物を前記第１の洗浄剤
ですすぎ洗浄する工程とを有することを特徴とする洗浄
方法。15. The cleaning method according to claim 5, wherein the first step includes a plurality of cleaning steps, wherein the plurality of cleaning steps include a step of cleaning and replacing the liquid in the first cleaning step. Rinsing the object to be cleaned with the first cleaning agent. 【請求項１６】請求項11記載の洗浄方法において、 前記第１の工程は複数の洗浄工程からなり、前記複数の
洗浄工程は、前記洗浄対象物の表面に存在する油脂系汚
れを前記第１の洗浄剤で洗浄する工程と、前記洗浄対象
物を前記第１の洗浄剤ですすぎ洗浄する工程とを有する
ことを特徴とする洗浄方法。16. The cleaning method according to claim 11, wherein the first step includes a plurality of cleaning steps, wherein the plurality of cleaning steps removes oil-based dirt present on the surface of the object to be cleaned. And a step of rinsing the object to be cleaned with the first cleaning agent. 【請求項１７】請求項１記載の洗浄方法において、 前記第２の工程の後に、前記洗浄対象物を乾燥する工程
を有することを特徴とする洗浄方法。17. The cleaning method according to claim 1, further comprising a step of drying the object to be cleaned after the second step. 【請求項１８】請求項１記載の洗浄方法において、 前記第１の洗浄剤は、前記低分子量ポリオルガノシロキ
サン100重量部に対して、20重量部以下の界面活性剤お
よび／または100重量部以下の親水性溶剤を含有するこ
とを特徴とする洗浄方法。18. The cleaning method according to claim 1, wherein the first cleaning agent is not more than 20 parts by weight of a surfactant and / or not more than 100 parts by weight based on 100 parts by weight of the low molecular weight polyorganosiloxane. A cleaning method characterized by containing a hydrophilic solvent. 【請求項１９】請求項１記載の洗浄方法において、 前記親水性溶剤の引火点が40℃以上であることを特徴と
する洗浄方法。19. The cleaning method according to claim 1, wherein the flash point of the hydrophilic solvent is 40 ° C. or higher.