JP2648230B2 - manipulator - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、マニピュレータに関するものである。さ
らに詳しくは、この発明は、面内回転、傾斜回転および
自転の三つの回転運動を行うことができ、しかもこれら
の回転運動の自由度を向上させることのできる、超高真
空中でも使用可能なマニピュレータに関するものであ
る。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a manipulator. More specifically, the present invention relates to a manipulator that can perform three rotational movements of in-plane rotation, tilt rotation, and rotation, and that can improve the degree of freedom of these rotational movements and that can be used even in an ultra-high vacuum. It is about.
（従来の技術） 従来より、分子線結晶成長装置等に用いられてきてい
るマニピュレータについては、一般的に、たとえば第６
図および第７図に例示したような面内回転機構を採用し
ている。(Prior Art) Conventionally, manipulators that have been used in molecular beam crystal growth apparatuses and the like are generally described in, for example, US Pat.
An in-plane rotation mechanism as illustrated in FIG. 7 and FIG. 7 is employed.
第６図に示した面内回転機構においては、ｙ軸の回り
を回転する回転軸（ア）を歯車（イ）（ウ）を介して試
料ホルダ（エ）に接続し、歯車（イ）（ウ）でｙ軸回り
の回転（ｙ回転）をｚ軸回りの回転（ｚ回転）に変換
（yz変換）して、試料ホルダ（エ）を面内回転させる。In the in-plane rotation mechanism shown in FIG. 6, a rotation shaft (a) rotating around the y-axis is connected to the sample holder (d) via gears (b) and (c), and the gear (a) ( In c), the rotation around the y-axis (y rotation) is converted into the rotation around the z-axis (z rotation) (yz conversion), and the sample holder (d) is rotated in the plane.
一方、第７図に示した回転機構においては、ｙ回転す
る回転軸（ア）を歯車（イ）（ウ）を介してｚ回転する
歯車またはプーリ（オ）に接続し、この歯車またはプー
リ（オ）と試料ホルダ（エ）の下部に設けた別の歯車ま
たはプーリ（カ）とをワイヤまたはチェーン（キ）で連
結している。このようにして、ｙ回転をｚ回転に変換
し、これをワイヤまたはチェーン（キ）によって試料ホ
ルダ（エ）に伝達（yzz変換）して面内回転させる。On the other hand, in the rotating mechanism shown in FIG. 7, a rotating shaft (a) that rotates y is connected to a gear or pulley (z) that rotates z via gears (b) and (c), and this gear or pulley ( E) and another gear or pulley (f) provided below the sample holder (d) are connected by a wire or a chain (g). In this way, the y rotation is converted into the z rotation, which is transmitted (yzz converted) to the sample holder (d) by a wire or a chain (g) and rotated in the plane.
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、これらの第６図および第７図に例示し
た従来のマニピュレータにおいては、第６図に示したよ
うなyz変換方式の面内回転機構の場合には、確実に試料
ホルダ（エ）をｚ軸回りに面内回転させることはできる
ものの、歯車（イ）（ウ）の結合によりｘ軸回りの傾斜
回転を行うことは不可能であるという問題があった。(Problems to be Solved by the Invention) However, in the conventional manipulators illustrated in FIGS. 6 and 7, in the case of a yz conversion type in-plane rotation mechanism as shown in FIG. Although the sample holder (d) can be surely rotated in the plane about the z-axis, there is a problem that it is impossible to perform tilt rotation about the x-axis by coupling the gears (a) and (c). .
また、第７図に示したようなyzz変換方式の場合に
は、ワイヤまたはチェーン（キ）を介して試料ホルダ
（エ）にｚ回転を伝達させるために、多少の傾斜回転を
行うことは可能であるが、実質的には±10°以上の傾斜
を与えることは困難であった。In the case of the yzz conversion method as shown in FIG. 7, it is possible to perform a slight tilt rotation in order to transmit the z rotation to the sample holder (d) via a wire or a chain (g). However, it was practically difficult to give an inclination of ± 10 ° or more.
この発明は、以上の通りの事情に鑑みてなされたもの
であり、従来のマニピュレータの欠点を解消し、面内回
転、傾斜回転および自転の三つの回転運動を行うことが
でき、しかもそれらの回転運動の自由度を向上させるこ
とのできるマニピュレータを提供することを目的として
いる。The present invention has been made in view of the above circumstances, and solves the drawbacks of the conventional manipulator, and can perform three rotational movements of in-plane rotation, tilt rotation, and self-rotation, and furthermore, can perform those rotations. It is an object of the present invention to provide a manipulator capable of improving the degree of freedom of movement.
（課題を解決するための手段） この発明は、上記の課題を解決するものとして、面内
回転導入軸からのｙ軸回りの回転運動をｘ軸回りの回転
運動に変換するyx変換機構と、このｘ軸回りの回転運動
を試料ホルダの下部に伝達する伝達機構と、試料ホルダ
下部においてｘ軸回りの回転運動をｚ軸回りの回転運動
に変換するxz変換機構とを順次接続した面内回転機構
と、傾斜回転導入軸に接続した円弧形または円形の傾斜
回転ガイドを試料ホルダ下部に配備し、試料ホルダ上の
中心点を軸として傾斜回転する傾斜回転機構とを有し、
先端部を自転導入軸に接続してなることを特徴とするマ
ニピュレータを提供する。(Means for Solving the Problems) According to the present invention, as a means for solving the above-mentioned problems, a yx conversion mechanism for converting a rotational motion about a y-axis from an in-plane rotation introduction axis into a rotational motion about an x-axis, In-plane rotation in which a transmission mechanism for transmitting the rotation about the x-axis to the lower part of the sample holder and an xz conversion mechanism for converting the rotation about the x-axis to a rotation about the z-axis below the sample holder are sequentially connected. A mechanism and an arc-shaped or circular inclined rotation guide connected to the inclined rotation introduction shaft are provided at the lower part of the sample holder, and have an inclined rotation mechanism that inclines and rotates about a center point on the sample holder as an axis,
Provided is a manipulator having a distal end connected to a rotation introduction shaft.
（作用） この発明のマニピュレータにおいては、面内回転機構
を面内回転導入軸からのｙ軸回りの回転運動をｘ軸回り
の回転運動に変換するyx変換機構と、このｘ軸回りの回
転運動を試料ホルダの下部に伝達する伝達機構と、試料
ホルダ下部においてｘ軸回りの回転運動をｚ軸回りの回
転運動に変換するxz変換機構とを順次接続した構成と
し、また、傾斜回転導入軸に接続した円弧形または円形
の傾斜回転ガイドを試料ホルダ下部に配備した傾斜回転
機構を採用するため、試料ホルダの円滑な面内回転を行
うことができ、しかも360°までの傾斜回転が可能とな
る。(Operation) In the manipulator according to the present invention, the in-plane rotation mechanism converts a rotational movement about the y-axis from the in-plane rotation introduction axis into a rotational movement about the x-axis, and a rotational movement about the x-axis. To the lower part of the sample holder, and a xz conversion mechanism for converting the rotational movement around the x-axis into a rotational movement around the z-axis at the lower part of the sample holder. The adoption of a tilting rotation mechanism in which a connected arc-shaped or circular tilting rotation guide is provided below the sample holder enables smooth in-plane rotation of the sample holder and tilt rotation up to 360 °. Become.
（実施例） 以下、図面に沿って実施例を示し、この発明のマニピ
ュレータについてさらに詳しく説明する。(Example) Hereinafter, an example is shown along with a drawing and the manipulator of the present invention is explained in more detail.
第１図は、この発明のマニピュレータの面内回転機構
を模式的に示した斜視図である。FIG. 1 is a perspective view schematically showing an in-plane rotation mechanism of a manipulator according to the present invention.
この第１図に示したように、この発明のマニピュレー
タの面内回転機構においては、ｙ回転する回転軸（１）
をたとえば傘歯車（２）（３）からなるyx変換機構
（４）を介してｘ回転する歯車またはプーリ（５）に接
続する。また、この歯車またはプーリ（５）を試料ホル
ダ（６）の下部に設けたｘ回転する別の歯車またはプー
リ（７）とワイヤまたはチェーン（８）を介して接続す
る。この歯車またはプーリ（７）に、たとえばウォーム
（９）およびこれと歯合する試料ホルダ（６）の下部に
設けたウォームホイール（10）からなるxz変換機構（1
1）を接続する。As shown in FIG. 1, in the in-plane rotation mechanism of the manipulator of the present invention, the rotation axis (1) that rotates y.
Is connected to a gear or pulley (5) that rotates x through a yx conversion mechanism (4) composed of, for example, bevel gears (2) and (3). This gear or pulley (5) is connected to another x-rotating gear or pulley (7) provided below the sample holder (6) via a wire or chain (8). This gear or pulley (7) has an xz conversion mechanism (1) comprising, for example, a worm (9) and a worm wheel (10) provided below the sample holder (6) meshing with the worm (9).
1) Connect.
回転軸（１）のｙ回転は、yx変換機構（４）により、
一旦、ｘ回転に変換（yx変換）され、次いで、このｘ回
転が試料ホルダ（５）の下部に伝達する。この後に、試
料ホルダ（６）下部のxz変換機構（11）によって、ｘ回
転がｚ回転に変換（xz変換）される。このようにして、
全体としてyxxz変換し、試料ホルダ（５）をｚ軸回りに
面内回転させることができる。The y rotation of the rotation axis (1) is performed by the yx conversion mechanism (4).
Once converted to x rotation (yx conversion), then this x rotation is transmitted to the lower part of the sample holder (5). Thereafter, the x rotation is converted into the z rotation (xz conversion) by the xz conversion mechanism (11) below the sample holder (6). In this way,
As a whole, yxxz conversion is performed, and the sample holder (5) can be rotated in-plane around the z-axis.
また、以上のような構成とすることにより、面内回転
とともに、後述するような試料ホルダ（５）のｘ軸回り
の傾斜回転が可能となる。Further, with the above-described configuration, the sample holder (5) can be tilted and rotated around the x-axis as described later, together with the in-plane rotation.
第２図は、この発明のマニピュレータの一実施例を示
した断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing an embodiment of the manipulator of the present invention.
この例においては、マニピュレータ先端部（12）に配
備した上記したような面内回転機構および傾斜回転機構
に、回転を伝達する面内回転導入軸（13）および傾斜回
転導入軸（14）と、先端部（12）に接続した自転導入軸
（15）とを同軸状に配設している。これらの面内回転導
入軸（13）、傾斜回転導入軸（14）および自転導入軸
（15）は、回転変換部（16）（17）（18）を介してモー
タ等を配備した回転導入部（19）（20）（21）に接続し
ている。In this example, an in-plane rotation introducing shaft (13) and an inclined rotation introducing shaft (14) for transmitting rotation to the in-plane rotation mechanism and the inclined rotation mechanism as described above provided at the manipulator tip (12), The rotation introduction shaft (15) connected to the tip (12) is arranged coaxially. The in-plane rotation introducing shaft (13), the inclined rotation introducing shaft (14), and the rotation introducing shaft (15) are connected to a rotation introducing unit provided with a motor or the like via rotation converting units (16), (17), (18). (19) Connected to (20) and (21).
第３図は、試料ホルダ（６）を傾斜回転させる傾斜回
転機構を模式的に示した構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram schematically showing a tilt rotation mechanism for tilting and rotating the sample holder (6).
この第３図に示したように、傾斜回転導入軸（14）の
一端部には歯車またはプーリ（22）を配設し、ワイヤま
たはチェーン（23）を介して試料ホルダ（６）下部の回
転軸（24）の一端部に設けた歯車またはプーリ（25）に
接続する。回転軸（24）にはウォーム（26）を配設し、
このウォーム（26）と歯合する円弧形または円形の傾斜
回転ガイド（27）を設ける。As shown in FIG. 3, a gear or pulley (22) is provided at one end of the inclined rotation introducing shaft (14), and the lower part of the sample holder (6) is rotated via a wire or chain (23). Connect to a gear or pulley (25) provided at one end of the shaft (24). A worm (26) is arranged on the rotating shaft (24),
An arcuate or circular inclined rotation guide (27) meshing with the worm (26) is provided.
このようにして、第２図に示したような回転導入部
（20）からの回転が、たとえば傘歯車等の回転変換部
（17）を介して傾斜回転導入軸（14）に伝達し、この傾
斜回転導入軸（14）の回転が、歯車またはプーリ（2
2）、ワイヤまたはチェーン（23）および歯車またはプ
ーリ（25）を経て、回転軸（24）に伝達する。そして、
ウォーム（26）の回転により傾斜回転ガイド（27）が図
中に示した矢印（Ｒ）方向に傾動し、試料ホルダ（６）
が傾斜回転する。傾斜回転ガイド（27）は、この第３図
に示したような円弧形または円形とするため、試料ホル
ダ（６）を傾斜回転させても試料中心（28）が移動する
ことはない。安定な傾斜回転を行うことができる。ま
た、傾斜回転ガイド（27）を円形とした場合には、360
°までの傾斜回転が可能となる。このような傾斜回転機
構を採用することによって、たとえば面内回転により方
位を決定した試料に対して様々な傾斜角度からの評価や
加工などを精度よく行うことが可能となる。In this way, the rotation from the rotation introducing section (20) as shown in FIG. 2 is transmitted to the inclined rotation introducing shaft (14) via the rotation converting section (17) such as a bevel gear, for example. The rotation of the inclined rotation introducing shaft (14) is
2), via a wire or chain (23) and a gear or pulley (25), to the rotating shaft (24). And
The rotation of the worm (26) causes the tilt rotation guide (27) to tilt in the direction of the arrow (R) shown in FIG.
Rotates inclining. Since the inclined rotation guide (27) has an arc shape or a circular shape as shown in FIG. 3, the sample center (28) does not move even when the sample holder (6) is inclined and rotated. Stable tilt rotation can be performed. If the inclined rotation guide (27) is circular, 360
° tilt rotation is possible. By employing such a tilt rotation mechanism, for example, it is possible to accurately evaluate or process a sample whose orientation has been determined by in-plane rotation from various tilt angles.
第４図は、第２図に示したマニピュレータ先端部（1
2）を示した側面図である。FIG. 4 is a sectional view of the manipulator tip (1) shown in FIG.
It is the side view which showed 2).
この第４図に示したように、試料ホルダ（６）が図中
に示した矢印（Ｒ）方向に傾斜回転する場合には、前述
したようなxz変換に係る歯車またはプーリ（７）を配設
した回転軸（29）の位置が大きく変化することとなる。
そこで、この発明のマニピュレータにおいては、歯車ま
たはプーリ（５）を設けたもう一つの回転軸（30）を回
転軸（29）に追随して矢印（Ａ）で示した前後方向に移
動させることができるようにしている。また、第５図に
示したように、スプリング（31）を配設し、歯車または
プーリ（５）（７）に巻架したワイヤまたはチェーン
（８）に回転軸（29）（30）の移動にともなって適正な
張力を付与するようにしてもいる。さらには、試料ホル
ダの（６）の傾斜回転による回転軸（30）およびその周
辺部の移動にともなう面内回転導入軸（13）に加わるせ
ん断力を吸収するためのオルダムカップリング（32）を
回転軸（１）に設けてもいる。As shown in FIG. 4, when the sample holder (6) is tilted and rotated in the direction of the arrow (R) shown in the figure, a gear or pulley (7) for xz conversion as described above is provided. The position of the provided rotating shaft (29) will change greatly.
Therefore, in the manipulator of the present invention, another rotating shaft (30) provided with a gear or pulley (5) can be moved in the front-rear direction indicated by an arrow (A) following the rotating shaft (29). I can do it. In addition, as shown in FIG. 5, a spring (31) is provided, and a wire or chain (8) wound around a gear or pulley (5) (7) moves a rotation shaft (29) (30). Accordingly, an appropriate tension is applied. Further, an Oldham coupling (32) for absorbing a shearing force applied to the rotation axis (30) due to the tilt rotation of the sample holder (6) and the in-plane rotation introduction axis (13) due to the movement of the periphery thereof is provided. It is also provided on the rotating shaft (1).
一方、第２図に示したように、この発明のマニピュレ
ータにおいては、試料ホルダ（６）の面内回転と傾斜回
転との相互干渉を防止するために、面内回転導入軸（1
3）と回転軸（１）との間にクラッチ機構（33）を介在
させている。On the other hand, as shown in FIG. 2, in the manipulator of the present invention, in order to prevent mutual interference between the in-plane rotation and the tilt rotation of the sample holder (6), the in-plane rotation introducing shaft (1) is used.
A clutch mechanism (33) is interposed between 3) and the rotating shaft (1).
この第２図に示した状態においては、クラッチ機構
（33）により面内回転導入軸（13）と回転軸（１）とが
離れており、面内回転導入軸（13）の回転は回転軸
（１）に伝達せず、試料ホルダ（６）は面内回転するこ
とはない。この状態において傾斜回転導入軸（14）から
傾斜回転を導入すると、第４図に示した回転軸（30）が
自由に回転することができるため、試料ホルダ（６）の
円滑な傾斜回転が実現される。なお、回転軸（30）の回
転力は回転軸（29）の回転力よりも小さくしているため
に、試料ホルダ（６）の傾斜回転に際して回転軸（29）
は回転しない。In the state shown in FIG. 2, the in-plane rotation introduction shaft (13) and the rotation shaft (1) are separated by the clutch mechanism (33), and the rotation of the in-plane rotation introduction shaft (13) is changed by the rotation shaft. It does not transmit to (1), and the sample holder (6) does not rotate in the plane. In this state, when the tilt rotation is introduced from the tilt rotation introducing shaft (14), the rotation shaft (30) shown in FIG. 4 can freely rotate, thereby realizing a smooth tilt rotation of the sample holder (6). Is done. Since the rotating force of the rotating shaft (30) is smaller than the rotating force of the rotating shaft (29), the rotating shaft (29) is rotated when the sample holder (6) is tilted and rotated.
Does not rotate.
以上のようにして、面内回転とともに傾斜回転を円滑
に行うことができ、各々の回転の自由度を向上させるこ
とができる。As described above, the tilt rotation can be smoothly performed together with the in-plane rotation, and the degree of freedom of each rotation can be improved.
またこの発明のマニピュレータにおいては、自転導入
軸（15）によるマニピュレータ先端部（12）の自転時の
面内回転および傾斜回転の干渉を防止するために、上記
とは別のクラッチ機構（34）を設けてもいる。このクラ
ッチ機構（34）により試料ホルダ（６）の自転とともに
面内回転導入軸（13）および傾斜回転導入軸（14）を自
転させ、相互干渉を防止する。Further, in the manipulator of the present invention, a clutch mechanism (34) different from the above is provided in order to prevent interference between in-plane rotation and tilt rotation of the manipulator tip (12) due to the rotation introducing shaft (15) during rotation. It is also provided. The clutch mechanism (34) rotates the in-plane rotation introducing shaft (13) and the inclined rotation introducing shaft (14) together with the rotation of the sample holder (6) to prevent mutual interference.
たとえば以上の構成を有するマニピュレータの回転導
入部（19）（20）（21）にベローズを使用し、また材質
として、絶縁部にはアルミナ等を、それ以外の部分には
SUS304およびMo等を用い、さらに歯車の噛み合わせ部分
にたとえばMoS2コーティングを施すことによって、超高
真空中での使用が可能となる。また、この発明のマニピ
ュレータにおいては、いかなる回転運動を導入しても、
たとえば1000℃までの試料加熱を行うことができる。For example, a bellows is used for the rotation introduction parts (19), (20), and (21) of the manipulator having the above configuration, and the material is made of alumina or the like for the insulating part, and the other parts for the other parts.
Using SUS304, Mo and the like, further by applying, for example, MoS 2 coating portions meshing of gears, it is possible to use in ultra-high vacuum. In the manipulator of the present invention, no matter what rotational motion is introduced,
For example, the sample can be heated up to 1000 ° C.
もちろんこの発明は、以上の例によって限定されるも
のではない。面内回転機構、傾斜回転機構およびクラッ
チ機構の構造や配置関係等の細部については様々な態様
が可能であることはいうまでもない。Of course, the present invention is not limited by the above examples. It goes without saying that various aspects are possible for details such as the structure and arrangement relationship of the in-plane rotation mechanism, the tilt rotation mechanism, and the clutch mechanism.
（発明の効果） 以上詳しく説明した通り、この発明によって、面内回
転、傾斜回転および自転の三つの回転を自在に行うこと
のできる新規なマニピュレータが提供される。試料の解
析評価および加工の精度を向上させることが可能とな
る。(Effects of the Invention) As described above in detail, the present invention provides a novel manipulator that can freely perform three rotations of in-plane rotation, tilt rotation, and rotation. It is possible to improve the accuracy of analysis evaluation and processing of the sample.
第１図は、この発明のマニピュレータの面内回転機構を
模式的に示した斜視図である。 第２図は、この発明のマニピュレータの一実施例を示し
た断面図である。第３図は、傾斜回転機構を模式的に示
した構成図である。第４図および第５図は、各々、第２
図に例示したマニピュレータ先端部を示した側面図であ
る。 第６図および第７図は、各々、従来のマニピュレータの
面内回転機構を模式的に示した斜視図である。 1,24,29,30……回転軸 2,3……傘歯車 ４……yx変換機構 5,7,22,25……歯車またはプーリ ６……試料ホルダ 8,23……ワイヤまたはチェーン 9,26……ウォーム 10……ウォームホイール 11……xz変換機構 12……先端部 13……面内回転導入軸 14……傾斜回転導入軸 15……自転導入軸 16,17,18……回転変換部 19,20,21……回転導入部 27……傾斜回転ガイド 28……試料中心 31……スプリング 32……オルダムカップリング 33,34……クラッチ機構FIG. 1 is a perspective view schematically showing an in-plane rotation mechanism of a manipulator according to the present invention. FIG. 2 is a sectional view showing an embodiment of the manipulator of the present invention. FIG. 3 is a configuration diagram schematically showing the tilt rotation mechanism. FIG. 4 and FIG.
It is the side view which showed the manipulator front-end | tip part illustrated in the figure. 6 and 7 are perspective views schematically showing a conventional in-plane rotation mechanism of a manipulator. 1,24,29,30 ... Rotating shaft 2,3 ... Bevel gear 4 ... yx conversion mechanism 5,7,22,25 ... Gear or pulley 6 ... Sample holder 8,23 ... Wire or chain 9 , 26… worm 10 …… worm wheel 11 …… xz conversion mechanism 12 …… tip 13 …… in-plane rotation introduction axis 14 …… tilted rotation introduction axis 15 …… rotation introduction axis 16,17,18 …… rotation Conversion unit 19, 20, 21 ... Rotation introduction unit 27 ... Tilt rotation guide 28 ... Sample center 31 ... Spring 32 ... Oldham coupling 33, 34 ... Clutch mechanism
Claims (3)
をｘ軸回りの回転運動に変換するyx変換機構と、このｘ
軸回りの回転運動を試料ホルダの下部に伝達する伝達機
構と、試料ホルダ下部においてｘ軸回りの回転運動をｚ
軸回りの回転運動に変換するxz変換機構とを順次接続し
た面内回転機構と、傾斜回転導入軸に接続した円弧形ま
たは円形の傾斜回転ガイドを試料ホルダ下部に配備し、
試料ホルダ上の中心点を軸として傾斜回転する傾斜回転
機構とを有し、先端部を自転導入軸に接続してなること
を特徴とするマニピュレータ。1. A yx conversion mechanism for converting a rotational movement about a y-axis from an in-plane rotation introduction axis into a rotational movement about an x-axis,
A transmission mechanism for transmitting rotational motion about the axis to the lower part of the sample holder, and
An in-plane rotation mechanism sequentially connected to an xz conversion mechanism for converting the rotation into an axial rotation, and an arc-shaped or circular inclined rotation guide connected to the inclined rotation introducing shaft are provided at the lower part of the sample holder,
A manipulator comprising: a tilt rotation mechanism that tilts and rotates about a center point on a sample holder as an axis; and a tip connected to a rotation introducing shaft.
ラッチ機構を介在させてなる請求項１記載のマニピュレ
ータ。2. The manipulator according to claim 1, wherein a clutch mechanism is interposed between the in-plane rotation introducing shaft and the in-plane rotation mechanism.
入軸および傾斜回転導入軸を自転させるクラッチ機構を
配備してなる請求項１記載のマニピュレータ。3. The manipulator according to claim 1, further comprising a clutch mechanism for rotating the in-plane rotation introducing shaft and the inclined rotation introducing shaft together with the rotation by the rotation introducing shaft.
Priority Applications (1)
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| JP2251410A JP2648230B2 (en) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | manipulator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2251410A JP2648230B2 (en) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | manipulator |
Publications (2)
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|---|---|
| JPH04129693A JPH04129693A (en) | 1992-04-30 |
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Families Citing this family (2)
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|---|---|---|---|---|
| JPS58186592A (en) * | 1982-04-26 | 1983-10-31 | 株式会社小松製作所 | Wrist device for robot |
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1990
- 1990-09-20 JP JP2251410A patent/JP2648230B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04129693A (en) | 1992-04-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970408 |