JP2647947B2 - 感光性グリーンシート - Google Patents
感光性グリーンシートInfo
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- JP2647947B2 JP2647947B2 JP1020620A JP2062089A JP2647947B2 JP 2647947 B2 JP2647947 B2 JP 2647947B2 JP 1020620 A JP1020620 A JP 1020620A JP 2062089 A JP2062089 A JP 2062089A JP 2647947 B2 JP2647947 B2 JP 2647947B2
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- JP
- Japan
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- green sheet
- powder
- polyvinyl butyral
- photosensitive green
- photosensitive
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はガラスセラミックグリーンシートに関し、特
に感光性を有するガラスセラミックグリーンシートに関
する。
に感光性を有するガラスセラミックグリーンシートに関
する。
従来、セラミックグリーンシートは感光性を有してい
なかった。この理由はいくつか考えられるが、大きな理
由として、従来のグリーンシートの脱気，焼成が水素雰
囲気中で行われており、感光基があった場合に、この雰
囲気では完全に燃焼できないという点があげられる。
なかった。この理由はいくつか考えられるが、大きな理
由として、従来のグリーンシートの脱気，焼成が水素雰
囲気中で行われており、感光基があった場合に、この雰
囲気では完全に燃焼できないという点があげられる。
上述した従来のガラスセラミックグリーンシートで、
スルーホールを形成するには、金属金型を用い、機械的
に打ちぬくしか方法がなかった。この従来の方法では、
グリーンシートが大型化し、多数のスルーホールを形成
する場合、スルーホールを打ちぬきに長い時間がかか
り、また、スルーホールを形成する位置又は形成するス
ルーホールの大きさを変更する場合は金属金型を変更し
なければならないという欠点がある。
スルーホールを形成するには、金属金型を用い、機械的
に打ちぬくしか方法がなかった。この従来の方法では、
グリーンシートが大型化し、多数のスルーホールを形成
する場合、スルーホールを打ちぬきに長い時間がかか
り、また、スルーホールを形成する位置又は形成するス
ルーホールの大きさを変更する場合は金属金型を変更し
なければならないという欠点がある。
本発明の目的は前記課題を解決した感光性グリーンシ
ートを提供することにある。
ートを提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明の感光性グリーン
シートは、ガラス粉末とセラミック粉末とが混合された
ポリビニルブチラールに、光架橋性を有するビスアジド
化合物を混合・乾燥したことを特徴とする。
シートは、ガラス粉末とセラミック粉末とが混合された
ポリビニルブチラールに、光架橋性を有するビスアジド
化合物を混合・乾燥したことを特徴とする。
次に、本発明の実施例について説明する。
第１図は本発明の光反応機構を示す図、第２図は感光
剤及びバインダーの分子式を示す図である。
剤及びバインダーの分子式を示す図である。
本発明の感光性グリーンシートは、ガラス粉末及びセ
ラミック粉末と混合する有機高分子化合物のバインダー
に光架橋剤を添加することにより、光硬化型の感光性を
有している。
ラミック粉末と混合する有機高分子化合物のバインダー
に光架橋剤を添加することにより、光硬化型の感光性を
有している。
ガラス粉末及びセラミック粉末は一般的な低温焼成ガ
ラスセラミックス基板の材料と同じものを使用し、本実
施例では比表面積5.00M2/g,粒度分布値1.34μm,結晶化
温度1040℃のものを用いた。ガラス粉末及びセラミック
粉末のバインダーには、ガラス粉末やセラミック粉末を
良好に分散させ、シート状のグリーンシートを形成する
ときに延ばしやすく、グリーンシートを焼成するときに
分解してガス化しやすいポリビニルブチラールを使用
した。感光剤には光架橋剤であるビスアジド化合物の4,
4′−ジアジドカルコンを使用した。
ラスセラミックス基板の材料と同じものを使用し、本実
施例では比表面積5.00M2/g,粒度分布値1.34μm,結晶化
温度1040℃のものを用いた。ガラス粉末及びセラミック
粉末のバインダーには、ガラス粉末やセラミック粉末を
良好に分散させ、シート状のグリーンシートを形成する
ときに延ばしやすく、グリーンシートを焼成するときに
分解してガス化しやすいポリビニルブチラールを使用
した。感光剤には光架橋剤であるビスアジド化合物の4,
4′−ジアジドカルコンを使用した。
上記粉末，バインダー及び感光剤を溶かす溶剤には２
−エトキシエタノール及び2,2−ブトキシエトキシエタ
ノールを使用した。各材料の混合比は重量比で、ガラス
粉末及びセラミック粉末：ポリビニルブチラール:2−エ
トキシエタノール:2,2−ブトキシエトキシエタノール:
4,4′−ジアジドカルコン＝40.3:36.3:16.1:2.8:4.4で
ある。この混合比で各材料をホモジナイザーで混合し、
脱泡処理を行った後、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルム上に塗布し、110℃の温風乾燥炉で乾燥し、膜厚110
μｍのグリーンシートを形成する。このグリーンシート
に露光装置の光源である超高圧水銀灯（300〜480nm）で
光を照射すると、第１図に示すようにビスアジドが分解
してN2ガスを放出し、ナイトレンラジカルが生じる。
この活性基であるナイトレンラジカルがポリビニルブチ
ラールの二重結合と反応、水素引き抜き反応により
溶剤に不溶化となる。露光にはフィルムマスクを使用
し、超高圧水銀灯を光源にしたコンタクト露光を行う。
現像液にはメタノールとN,N−ジメチルアセトアミドの
混合液を用い、スプレー現像により未露光部分を溶解さ
せることによりグリーンシートにスルーホールを形成す
る。この方法によりシート膜厚：スルーホール径＝1:1
までのスルーホールが形成できる。
−エトキシエタノール及び2,2−ブトキシエトキシエタ
ノールを使用した。各材料の混合比は重量比で、ガラス
粉末及びセラミック粉末：ポリビニルブチラール:2−エ
トキシエタノール:2,2−ブトキシエトキシエタノール:
4,4′−ジアジドカルコン＝40.3:36.3:16.1:2.8:4.4で
ある。この混合比で各材料をホモジナイザーで混合し、
脱泡処理を行った後、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルム上に塗布し、110℃の温風乾燥炉で乾燥し、膜厚110
μｍのグリーンシートを形成する。このグリーンシート
に露光装置の光源である超高圧水銀灯（300〜480nm）で
光を照射すると、第１図に示すようにビスアジドが分解
してN2ガスを放出し、ナイトレンラジカルが生じる。
この活性基であるナイトレンラジカルがポリビニルブチ
ラールの二重結合と反応、水素引き抜き反応により
溶剤に不溶化となる。露光にはフィルムマスクを使用
し、超高圧水銀灯を光源にしたコンタクト露光を行う。
現像液にはメタノールとN,N−ジメチルアセトアミドの
混合液を用い、スプレー現像により未露光部分を溶解さ
せることによりグリーンシートにスルーホールを形成す
る。この方法によりシート膜厚：スルーホール径＝1:1
までのスルーホールが形成できる。
なお、感光剤には4,4′−ジアジドカルコンの他に2,6
−ジ−（４′−アジドベンザル）シクロヘキサノン、
2,6−ジ−（４′−アジドベンザル）４−メチルシクロ
ヘキサノン、2,6−ジ−（４′−アジドシンナミリデ
ン）４−ハイドロオキシシクロヘキサノンなどが使用
できる。
−ジ−（４′−アジドベンザル）シクロヘキサノン、
2,6−ジ−（４′−アジドベンザル）４−メチルシクロ
ヘキサノン、2,6−ジ−（４′−アジドシンナミリデ
ン）４−ハイドロオキシシクロヘキサノンなどが使用
できる。
本実施例のガラスセラミックグリーンシートは導体金
属として金，銀，銀パラジウム合金を用いているため空
気中での脱バインダー、焼成が可能であり、上述の感光
剤を用いても脱バインダー工程で完全に燃焼させること
ができ、ガラスセラミックの焼結に悪影響を与えること
はない。
属として金，銀，銀パラジウム合金を用いているため空
気中での脱バインダー、焼成が可能であり、上述の感光
剤を用いても脱バインダー工程で完全に燃焼させること
ができ、ガラスセラミックの焼結に悪影響を与えること
はない。
以上説明したように本発明は、ガラスセラミックグリ
ーンシートに感光性を持たせることにより、高密度で多
数のスルーホールを金型なしで形成することができる。
また、位置精度，寸法精度の良いスルーホールを有する
グリーンシートを形成することができる効果を有する。
ーンシートに感光性を持たせることにより、高密度で多
数のスルーホールを金型なしで形成することができる。
また、位置精度，寸法精度の良いスルーホールを有する
グリーンシートを形成することができる効果を有する。
第１図は本発明の光反射機構を示す図、第２図は感光剤
及びバインダーの分子式を示す図である。 ……ナイトレンラジカルの生成反応 ……ポリビニルブチラールの二重結合とナイトレンラ
ジカルとの反応 ……ポリビニルブチラールとナイトレンラジカルの水
素引き抜き反応 ……4,4′−ジアジドカルコン ……2,6−ジ−（４′−アジドベンザル）シクロヘキ
サノン ……2,6−ジ−（４′−アジドベンザル）４−メチル
シクロヘキサノン ……2,6−ジ−（４′−アジドシンナミリデン）４−
ハイドロオキシシクロヘキサノン ……ポリビニルブチラール
及びバインダーの分子式を示す図である。 ……ナイトレンラジカルの生成反応 ……ポリビニルブチラールの二重結合とナイトレンラ
ジカルとの反応 ……ポリビニルブチラールとナイトレンラジカルの水
素引き抜き反応 ……4,4′−ジアジドカルコン ……2,6−ジ−（４′−アジドベンザル）シクロヘキ
サノン ……2,6−ジ−（４′−アジドベンザル）４−メチル
シクロヘキサノン ……2,6−ジ−（４′−アジドシンナミリデン）４−
ハイドロオキシシクロヘキサノン ……ポリビニルブチラール
Claims (1)
- 【請求項１】ガラス粉末とセラミック粉末とが混合され
たポリビニルブチラールに、光架橋性を有するビスアジ
ド化合物を混合・乾燥したことを特徴とする感光性グリ
ーンシート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1020620A JP2647947B2 (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | 感光性グリーンシート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1020620A JP2647947B2 (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | 感光性グリーンシート |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02204356A JPH02204356A (ja) | 1990-08-14 |
| JP2647947B2 true JP2647947B2 (ja) | 1997-08-27 |
Family
ID=12032289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1020620A Expired - Fee Related JP2647947B2 (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | 感光性グリーンシート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2647947B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0845445B1 (en) * | 1996-06-17 | 2004-10-27 | Toray Industries, Inc. | Photosensitive ceramic green sheet, ceramic package,process for producing the same and its use in preparing a ceramic package with a fired board |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63248011A (ja) * | 1987-04-01 | 1988-10-14 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 超伝導材料 |
-
1989
- 1989-01-30 JP JP1020620A patent/JP2647947B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02204356A (ja) | 1990-08-14 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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