JP2637566B2 - アライメント方法並びにその装置 - Google Patents
アライメント方法並びにその装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体ダイシングマシン等のワークテーブ
ルに適用されるアライメント方法並びに装置に係り、特
に複数の角度毎にパターンの位置をマシンの基準位置に
整合させるアライメント方法並びにその装置に関する。
ルに適用されるアライメント方法並びに装置に係り、特
に複数の角度毎にパターンの位置をマシンの基準位置に
整合させるアライメント方法並びにその装置に関する。
〔従来の技術〕 半導体ダイシングマシン等は、ウエハ表面の切断線と
回転切断刃との位置合わせを精密に行う必要がある。こ
の為にウエハが載置されるワークテーブルはウエハ毎に
しかも、切断方向毎にアライメント操作がなされる。
回転切断刃との位置合わせを精密に行う必要がある。こ
の為にウエハが載置されるワークテーブルはウエハ毎に
しかも、切断方向毎にアライメント操作がなされる。
アライメント操作は、リファレンスデータの登録から
始まる。従来、リファレンスデータの登録は、チャンネ
ル１でパターンの登録を行う。次にワークテーブルをチ
ャンネル１からθ゜回転させてチャンネル２にセット
し、チャンネル２でパターンを記憶する。
始まる。従来、リファレンスデータの登録は、チャンネ
ル１でパターンの登録を行う。次にワークテーブルをチ
ャンネル１からθ゜回転させてチャンネル２にセット
し、チャンネル２でパターンを記憶する。
アライメントを行う精度によっては、チャンネル１で
上記パターン記憶より低倍率でのパターンを更に追加記
憶することも有る。以下の説明では、低倍率のパターン
を含めた動作について表す。
上記パターン記憶より低倍率でのパターンを更に追加記
憶することも有る。以下の説明では、低倍率のパターン
を含めた動作について表す。
リファレンズデータの登録後のアライメントの実行
は、先ずチャンネル１で低倍率でラフアライメントを行
う。即ち、前記したチャンネル１で記憶した低倍率パタ
ーンとウエハ上の現画像パターンとを合致させるように
ワークテーブルを動かしラフアライメント操作を行う。
次に、チャンネル１で高倍率でファインアライメントを
行う。即ち、前記チャンネル１で記憶した高倍率パター
ンとウエハ上の現画像パターンとを合致させるようにワ
ークテーブルを動かしファインアライメント操作を行
う。次にワークテーブルをチャンネル１からθ゜回転さ
せてチャンネル２にセットし、高倍率でのファインアラ
イメントを行う。即ち、前記チャンネル２で記憶した高
倍率パターンとウエハ上のパターンとを合致させるよう
にワークテーブルを動かし、チャンネル２でのファイン
アライメントを行う。これによりアライメント操作が終
了する。
は、先ずチャンネル１で低倍率でラフアライメントを行
う。即ち、前記したチャンネル１で記憶した低倍率パタ
ーンとウエハ上の現画像パターンとを合致させるように
ワークテーブルを動かしラフアライメント操作を行う。
次に、チャンネル１で高倍率でファインアライメントを
行う。即ち、前記チャンネル１で記憶した高倍率パター
ンとウエハ上の現画像パターンとを合致させるようにワ
ークテーブルを動かしファインアライメント操作を行
う。次にワークテーブルをチャンネル１からθ゜回転さ
せてチャンネル２にセットし、高倍率でのファインアラ
イメントを行う。即ち、前記チャンネル２で記憶した高
倍率パターンとウエハ上のパターンとを合致させるよう
にワークテーブルを動かし、チャンネル２でのファイン
アライメントを行う。これによりアライメント操作が終
了する。
しかしながら、前記従来のアライメント方法は、チャ
ンネル１で低倍率と高倍率のリファレンスパターンを登
録し、チャンネル２で高倍率のリファレンスパターンを
登録するので、パターンの記憶操作の手間と大きなメモ
リ容量が必要とする欠点がある。また、チャンネル１と
チャンネル２とはθ゜回転されただけで相互の関連性が
ないので、別の位置で同様なパターンを見つけるなどの
ミスマッチングに対してもミスであるか否かの検出手段
が無い欠点がある。
ンネル１で低倍率と高倍率のリファレンスパターンを登
録し、チャンネル２で高倍率のリファレンスパターンを
登録するので、パターンの記憶操作の手間と大きなメモ
リ容量が必要とする欠点がある。また、チャンネル１と
チャンネル２とはθ゜回転されただけで相互の関連性が
ないので、別の位置で同様なパターンを見つけるなどの
ミスマッチングに対してもミスであるか否かの検出手段
が無い欠点がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、
記憶操作が簡単でメモリ容量が少なくて済み、確実性の
高いアライメント方法並びに装置を提案することを目的
としている。
記憶操作が簡単でメモリ容量が少なくて済み、確実性の
高いアライメント方法並びに装置を提案することを目的
としている。
本発明は、前記目的を達成する為に、表面にIC等のパ
ターンを有するワークを切断する際に前記パターンにお
ける切断線と切断刃とを位置合わせするアライメント方
法であって、該ワークを回転させることによって切断方
向の異なる複数のチャンネルで位置合わせするアライメ
ント方法に於いて、第１のチャンネルに対応する回転位
置にある前記ワークを該第１のチャンネルで位置合わせ
するための基準となる基準パターンを登録し、前記第１
のチャンネルに対応する回転位置にある前記ワーク上の
パターンを撮像し、該撮像した現画像パターンが前記基
準パターンと一致するように該ワークの第１のチャンネ
ルでの位置合わせを行い、前記ワークを第１のチャンネ
ルから所定角度θ゜回転させた他のチャンネルに対応す
る回転位置に回転させるとともに、前記登録した基準パ
ターンが前記所定角度θ゜だけ回転するように該基準パ
ターンを座標変換して他のチャンネル用の基準パターン
を作成し、前記他のチャンネルに対応する回転位置にあ
る前記ワーク上のパターンを撮像し、該撮影した現画像
パターンが前記作成した他のチャンネル用の基準パター
ンと一致するように該ワークの他のチャンネルでの位置
合わせを行うことを特徴としている。
ターンを有するワークを切断する際に前記パターンにお
ける切断線と切断刃とを位置合わせするアライメント方
法であって、該ワークを回転させることによって切断方
向の異なる複数のチャンネルで位置合わせするアライメ
ント方法に於いて、第１のチャンネルに対応する回転位
置にある前記ワークを該第１のチャンネルで位置合わせ
するための基準となる基準パターンを登録し、前記第１
のチャンネルに対応する回転位置にある前記ワーク上の
パターンを撮像し、該撮像した現画像パターンが前記基
準パターンと一致するように該ワークの第１のチャンネ
ルでの位置合わせを行い、前記ワークを第１のチャンネ
ルから所定角度θ゜回転させた他のチャンネルに対応す
る回転位置に回転させるとともに、前記登録した基準パ
ターンが前記所定角度θ゜だけ回転するように該基準パ
ターンを座標変換して他のチャンネル用の基準パターン
を作成し、前記他のチャンネルに対応する回転位置にあ
る前記ワーク上のパターンを撮像し、該撮影した現画像
パターンが前記作成した他のチャンネル用の基準パター
ンと一致するように該ワークの他のチャンネルでの位置
合わせを行うことを特徴としている。
また、本発明の他の態様によれば、ワークを前記第１
のチャンネルから所定角度θ゜回転させた他のチャンネ
ルに対応する回転位置に回転させる際に、撮像手段自体
も回転させ、又は撮影手段から得られる現画像パターン
を座標変換して現画像パターンを所定角度θ゜回転さ
せ、他のチャンネルに対応する回転位置にある前記ワー
ク上のパターンを前記撮像手段によって撮影するととも
に、前記所定角度θ゜だけ回転させた現画像パターンが
基準パターンと一致するように該ワークの他のチャンネ
ルでの位置合わせを行うことを特徴としている。
のチャンネルから所定角度θ゜回転させた他のチャンネ
ルに対応する回転位置に回転させる際に、撮像手段自体
も回転させ、又は撮影手段から得られる現画像パターン
を座標変換して現画像パターンを所定角度θ゜回転さ
せ、他のチャンネルに対応する回転位置にある前記ワー
ク上のパターンを前記撮像手段によって撮影するととも
に、前記所定角度θ゜だけ回転させた現画像パターンが
基準パターンと一致するように該ワークの他のチャンネ
ルでの位置合わせを行うことを特徴としている。
本発明によれば、ワークを回転させることによって切
断方向の異なる複数のチャンネルで位置合わせする際の
基準となる基準パターンは、チャンネル数にかかわらず
１つだけ登録すれば済む。即ち、ワークの位置合わせを
行うチャンネルを第１のチャンネルから所定角度θ゜切
断方向が異なる他のチャンネルに変える場合には、登録
した基準パターンが所定角度θ゜だけ回転するように該
基準パターンを座標変換して他のチャンネル用の基準パ
ターンを作成するようにしている。これにより、基準パ
ターンを登録するためのメモリ容量が減り、登録するた
めの手間も省ける。
断方向の異なる複数のチャンネルで位置合わせする際の
基準となる基準パターンは、チャンネル数にかかわらず
１つだけ登録すれば済む。即ち、ワークの位置合わせを
行うチャンネルを第１のチャンネルから所定角度θ゜切
断方向が異なる他のチャンネルに変える場合には、登録
した基準パターンが所定角度θ゜だけ回転するように該
基準パターンを座標変換して他のチャンネル用の基準パ
ターンを作成するようにしている。これにより、基準パ
ターンを登録するためのメモリ容量が減り、登録するた
めの手間も省ける。
また、登録した基準パターンを回転させる代わりに、
撮像手段から得られる現画像パターン側を回転させるよ
うにしてもよい。現画像パターン側を回転させる態様と
しては、撮像手段を所定角度θ゜だけ回転させる場合
と、撮像手段から得られる現画像パターンが所定角度θ
゜だけ回転するように該現画像パターンを座標変換する
場合とがある。
撮像手段から得られる現画像パターン側を回転させるよ
うにしてもよい。現画像パターン側を回転させる態様と
しては、撮像手段を所定角度θ゜だけ回転させる場合
と、撮像手段から得られる現画像パターンが所定角度θ
゜だけ回転するように該現画像パターンを座標変換する
場合とがある。
以下、添付図面に従って本発明に係るアライメント方
法並びにその装置の好ましい実施例を詳説する。本実施
例では、より高い精度を得るため、低倍、高倍の二つの
倍率をパターン画像を用いている。
法並びにその装置の好ましい実施例を詳説する。本実施
例では、より高い精度を得るため、低倍、高倍の二つの
倍率をパターン画像を用いている。
第１図では本発明に係るアライメント装置の構成が示
されており、ワークテーブル10上にはウエハ12が吸着載
置される。ワークテーブル10はＸ−Ｙ軸駆動機構14によ
りＸ−Ｙ方向に駆動され、また回転駆動機構16により所
定角度θ゜回転されるようになっている。ワークテーブ
ル10の上面は図示しないエア吸着機構が設けられ、これ
によりウエハ12はワークテーブル10上に吸着され、回転
砥石18によりウエハ12の切断線に沿って切断される。ワ
ークテーブル10上には顕微鏡20が設けられ、この顕微鏡
20は撮像部22と接続されている。撮像部22からの画像信
号はA/D変換された後、切換器24により低倍用フレーム
メモリ26、高倍用フレームメモリ28、現画像用フレーム
メモリ30に夫々送られるようになっている。また、低倍
用フレームメモリ26は切換器32を介して比較器34と接続
され、また、高倍用フレームメモリ28は切換器32を介し
て直接に比較器34と接続され、また角度変換回路36から
の画像信号が切換器32を介して比較器34に入力されるよ
うになっている。比較器34ではパターンマッチング処理
がなされ、パターンマッチング信号が出力される。比較
器34からの出力信号はコントローラ38に入力されるよう
になっている。またコントローラ38はキーボード等の入
力手段を備えている。コントローラ38はキーボード等の
入力手段に基づいて顕微鏡20の倍率切換えを行ったり、
また比較器34からの信号に基づいてＸ軸方向制御、Ｙ軸
方向制御、回転方向制御を行うことができる。
されており、ワークテーブル10上にはウエハ12が吸着載
置される。ワークテーブル10はＸ−Ｙ軸駆動機構14によ
りＸ−Ｙ方向に駆動され、また回転駆動機構16により所
定角度θ゜回転されるようになっている。ワークテーブ
ル10の上面は図示しないエア吸着機構が設けられ、これ
によりウエハ12はワークテーブル10上に吸着され、回転
砥石18によりウエハ12の切断線に沿って切断される。ワ
ークテーブル10上には顕微鏡20が設けられ、この顕微鏡
20は撮像部22と接続されている。撮像部22からの画像信
号はA/D変換された後、切換器24により低倍用フレーム
メモリ26、高倍用フレームメモリ28、現画像用フレーム
メモリ30に夫々送られるようになっている。また、低倍
用フレームメモリ26は切換器32を介して比較器34と接続
され、また、高倍用フレームメモリ28は切換器32を介し
て直接に比較器34と接続され、また角度変換回路36から
の画像信号が切換器32を介して比較器34に入力されるよ
うになっている。比較器34ではパターンマッチング処理
がなされ、パターンマッチング信号が出力される。比較
器34からの出力信号はコントローラ38に入力されるよう
になっている。またコントローラ38はキーボード等の入
力手段を備えている。コントローラ38はキーボード等の
入力手段に基づいて顕微鏡20の倍率切換えを行ったり、
また比較器34からの信号に基づいてＸ軸方向制御、Ｙ軸
方向制御、回転方向制御を行うことができる。
前記の如く構成された本発明に係るアライメント装置
を用いてアライメント操作は次の如く行われる。
を用いてアライメント操作は次の如く行われる。
第２図ではアライメント操作に先立って行われるリフ
ァレンスデータの登録手順を示している。先ず、ステッ
プ40に於いてウエハデータの入力が行われる。即ちウエ
ハの種類、径、厚さ、ピッチ等のウエハデータがキーボ
ード等を介してコントローラ38に入力される。次にステ
ップ42に於いて、マスタウエハ又は同種のウエハの第１
枚目のウエハをワークテーブル10上に載置し顕微鏡20の
下へ位置させる。次にワークテーブル10を移動し、チャ
ンネル１でのウエハのカットラインを顕微鏡20の下方に
合わせ、ステップ46に於いてチャンネル１でのカットラ
イン位置を記憶する。次にステップ48に於いてコントロ
ーラ38から低倍率への切換え指令が行われ、顕微鏡20は
高倍率から低倍率に切り替えられ、更にステップ50に於
いてワークテーブル10をチャンネル１の低倍パターン位
置に移動させる。更にステップ52に於いてチャンネル１
の低倍パターンがメモリ26に記憶される。この場合、そ
のパターンの位置とパターン形状が記憶される。次にス
テップ54に於いてコントローラ38からは高倍率への切換
え信号が顕微鏡20に送られ、更にステップ56に於いてワ
ークテーブル10をチャンネル１の高倍パターン位置に移
動させる。切換器24が高倍用フレームメモリ28に切換わ
り、ステップ58に於いてチャンネル１での高倍パターン
が記憶される。この場合、パターン位置とパターン形状
が記憶される。次にステップ60に於いてチャンネル１か
らチャンネル２に所定角度例えば90゜ワークテーブル10
は回転駆動機構16により回転させられる。この場合、あ
らかじめマシンのイニシャライズ動作で求められている
ワークテーブルの回転中心位置のデータとチャンネル１
のパターン位置データより同位置を座標変換で求める。
更にステップ62に於いてチャンネル１で記録した高倍率
パターンの角度変換が所定角度θ゜で行われる。次に、
ステップ64に於いて前記角度変換した高倍率パターンを
現画像パターンと比較しチャンネル２のアライメント操
作を行う。即ちチャンネル１での高倍率パターンデータ
の行と列のアドレス変換方式を変え、チャンネル２での
現画像パターンと比較する。次にステップ65に於いてワ
ークテーブル10をカットライン位置へ移動し、ステップ
66に於いてチャンネル２のカットライン位置を記録す
る。以上のようにしてリファレンスデータの記録が終了
する。
ァレンスデータの登録手順を示している。先ず、ステッ
プ40に於いてウエハデータの入力が行われる。即ちウエ
ハの種類、径、厚さ、ピッチ等のウエハデータがキーボ
ード等を介してコントローラ38に入力される。次にステ
ップ42に於いて、マスタウエハ又は同種のウエハの第１
枚目のウエハをワークテーブル10上に載置し顕微鏡20の
下へ位置させる。次にワークテーブル10を移動し、チャ
ンネル１でのウエハのカットラインを顕微鏡20の下方に
合わせ、ステップ46に於いてチャンネル１でのカットラ
イン位置を記憶する。次にステップ48に於いてコントロ
ーラ38から低倍率への切換え指令が行われ、顕微鏡20は
高倍率から低倍率に切り替えられ、更にステップ50に於
いてワークテーブル10をチャンネル１の低倍パターン位
置に移動させる。更にステップ52に於いてチャンネル１
の低倍パターンがメモリ26に記憶される。この場合、そ
のパターンの位置とパターン形状が記憶される。次にス
テップ54に於いてコントローラ38からは高倍率への切換
え信号が顕微鏡20に送られ、更にステップ56に於いてワ
ークテーブル10をチャンネル１の高倍パターン位置に移
動させる。切換器24が高倍用フレームメモリ28に切換わ
り、ステップ58に於いてチャンネル１での高倍パターン
が記憶される。この場合、パターン位置とパターン形状
が記憶される。次にステップ60に於いてチャンネル１か
らチャンネル２に所定角度例えば90゜ワークテーブル10
は回転駆動機構16により回転させられる。この場合、あ
らかじめマシンのイニシャライズ動作で求められている
ワークテーブルの回転中心位置のデータとチャンネル１
のパターン位置データより同位置を座標変換で求める。
更にステップ62に於いてチャンネル１で記録した高倍率
パターンの角度変換が所定角度θ゜で行われる。次に、
ステップ64に於いて前記角度変換した高倍率パターンを
現画像パターンと比較しチャンネル２のアライメント操
作を行う。即ちチャンネル１での高倍率パターンデータ
の行と列のアドレス変換方式を変え、チャンネル２での
現画像パターンと比較する。次にステップ65に於いてワ
ークテーブル10をカットライン位置へ移動し、ステップ
66に於いてチャンネル２のカットライン位置を記録す
る。以上のようにしてリファレンスデータの記録が終了
する。
このチャンネル２でのアライメント動作により、ワー
クテーブル10の中心位置を正確に把握させることができ
る。
クテーブル10の中心位置を正確に把握させることができ
る。
次に前記記録したリファレンスデータに基づいて行う
アライメント方法を第３図に従って説明する。先ずステ
ップ70に於いてウエハを図示しない機構によりワークテ
ーブル10上の顕微鏡20の下方に位置させる。次にステッ
プ72に於いてチャンネル１での低倍率パターンに基づく
ラフアライメントを行う。即ちメモリ26からの低倍パタ
ーンが比較器34に送られると共に現画像メモリ30から現
画像パターンが比較器34に送られ、比較器34でパターン
マッチング処理が行われ、その結果がコントローラ38に
送られ、コントローラ38から駆動信号が駆動機構14に送
られラフアライメントが行われる。対にステップ76に於
いてチャンネル１での高倍パターンに基づくファインア
ライメントが行われる。即ち切換器32が高倍用フレーム
メモリ28側に切換わって、比較器34に高倍用パターンが
入力されると共に、現画像メモリ30から現画像パターン
が入力され、比較器34でパターンマッチング処理がさ
れ、コントローラ38はワークテーブル10を高倍パターン
でのマッチング信号に基づいて駆動する。次にステップ
78に於いて、カッティング位置を記録する。次にステッ
プ80に於いてチャンネル１からチャンネル２にテーブル
をθ゜回転する。ステップ82に於いてチャンネル２に於
いてチャンネル１での高倍パターンによりアライメント
を行う。即ちチャンネル１での高倍率パターンデータの
行と列のアドレス変換方式を変え、チャンネル２での現
画像パターンと比較する。即ち切換器32は角度変換回路
36側に切換わり、高倍パターンは角度変換回路36により
テーブル回転角に応じて回転され、この変換した高倍パ
ターンと現画像パターンとが比較器34でマッチング処理
され、コントローラ38からの駆動信号でワークテーブル
40を駆動する。ステップ84に於いてチャンネル２での高
倍率でのカッティング位置、角度を記憶し、ワークテー
ブルをチャンネル２でのカッティング位置へ移動する。
以上のようにしてアライメント操作が終了する。
アライメント方法を第３図に従って説明する。先ずステ
ップ70に於いてウエハを図示しない機構によりワークテ
ーブル10上の顕微鏡20の下方に位置させる。次にステッ
プ72に於いてチャンネル１での低倍率パターンに基づく
ラフアライメントを行う。即ちメモリ26からの低倍パタ
ーンが比較器34に送られると共に現画像メモリ30から現
画像パターンが比較器34に送られ、比較器34でパターン
マッチング処理が行われ、その結果がコントローラ38に
送られ、コントローラ38から駆動信号が駆動機構14に送
られラフアライメントが行われる。対にステップ76に於
いてチャンネル１での高倍パターンに基づくファインア
ライメントが行われる。即ち切換器32が高倍用フレーム
メモリ28側に切換わって、比較器34に高倍用パターンが
入力されると共に、現画像メモリ30から現画像パターン
が入力され、比較器34でパターンマッチング処理がさ
れ、コントローラ38はワークテーブル10を高倍パターン
でのマッチング信号に基づいて駆動する。次にステップ
78に於いて、カッティング位置を記録する。次にステッ
プ80に於いてチャンネル１からチャンネル２にテーブル
をθ゜回転する。ステップ82に於いてチャンネル２に於
いてチャンネル１での高倍パターンによりアライメント
を行う。即ちチャンネル１での高倍率パターンデータの
行と列のアドレス変換方式を変え、チャンネル２での現
画像パターンと比較する。即ち切換器32は角度変換回路
36側に切換わり、高倍パターンは角度変換回路36により
テーブル回転角に応じて回転され、この変換した高倍パ
ターンと現画像パターンとが比較器34でマッチング処理
され、コントローラ38からの駆動信号でワークテーブル
40を駆動する。ステップ84に於いてチャンネル２での高
倍率でのカッティング位置、角度を記憶し、ワークテー
ブルをチャンネル２でのカッティング位置へ移動する。
以上のようにしてアライメント操作が終了する。
第２図並びに第３図ではチャンネル１から２へのアラ
イメントデータ登録並びにアライメント操作を示したの
であるが、これに限定されるものではなく、第４図では
３チャンネルの場合のリファレンスデータの登録手順を
示しており、また第５図は３チャンネルでのアライメン
ト動作を示している。従来、３チャンネルの場合はチャ
ンネル３のリファレンスパターンを登録していたが本発
明により次の利点がある。
イメントデータ登録並びにアライメント操作を示したの
であるが、これに限定されるものではなく、第４図では
３チャンネルの場合のリファレンスデータの登録手順を
示しており、また第５図は３チャンネルでのアライメン
ト動作を示している。従来、３チャンネルの場合はチャ
ンネル３のリファレンスパターンを登録していたが本発
明により次の利点がある。
従来、３チャンネル分のリファレンスデータが必要で
あったものが１チャンネル分のリファレンスデータの記
憶ですんでしまう。これはリファレンスパターンの記憶
に係る操作を簡便にすることができることと、記憶エリ
アを少なくすることができる。
あったものが１チャンネル分のリファレンスデータの記
憶ですんでしまう。これはリファレンスパターンの記憶
に係る操作を簡便にすることができることと、記憶エリ
アを少なくすることができる。
また、チャンネル３がチャンネル１に対して180゜の
角度の場合は、チャンネル１とチャンネル２とのアライ
メント実行によりテーブルの正確な回転中心の位置がわ
かる。チャンネル３に回転させた時、予めチャンネル１
のリファレンスデータの位置と、チャンネル３のカット
ラインの指示位置とが登録されていればチャンネル３の
カットラインの位置が計算上分かる。これによりチャン
ネル３のアライメント実行をしなくてもチャンネル３の
カットラインをブレードと正確に合わすことが出来、そ
の分動作が簡便になり、アライメントの実行が短時間に
終了する。
角度の場合は、チャンネル１とチャンネル２とのアライ
メント実行によりテーブルの正確な回転中心の位置がわ
かる。チャンネル３に回転させた時、予めチャンネル１
のリファレンスデータの位置と、チャンネル３のカット
ラインの指示位置とが登録されていればチャンネル３の
カットラインの位置が計算上分かる。これによりチャン
ネル３のアライメント実行をしなくてもチャンネル３の
カットラインをブレードと正確に合わすことが出来、そ
の分動作が簡便になり、アライメントの実行が短時間に
終了する。
第６図では本発明に係る第２実施例が示され、切換器
90は連動切換スイッチとして構成され、切換器90は順に
切換わることによりメモリ26から低倍パターンと現画像
メモリ30から現画像パターンが入力され、更に、メモリ
28から高倍パターンが比較器34に入力されると共に現画
像メモリ30から現画像パターンが入力される。更にチャ
ンネル１の高倍パターンがメモリ28から入力されると共
に角度変換回路36により所定角度回転された画像パター
ンが比較器34に入力されるようになっている。その他の
動作は前記第１実施例と同様である。
90は連動切換スイッチとして構成され、切換器90は順に
切換わることによりメモリ26から低倍パターンと現画像
メモリ30から現画像パターンが入力され、更に、メモリ
28から高倍パターンが比較器34に入力されると共に現画
像メモリ30から現画像パターンが入力される。更にチャ
ンネル１の高倍パターンがメモリ28から入力されると共
に角度変換回路36により所定角度回転された画像パター
ンが比較器34に入力されるようになっている。その他の
動作は前記第１実施例と同様である。
前記第１、第２実施例に於いては高信パターンを角度
変換回路36を用いて角度変換し、チャンネル２での高倍
パターンとして利用したのであるが、これに限定される
ものでなく、取込み画像を回転、即ち撮像部側を所定角
度回転してもよい。即ち第１実施例と同様にしてチャン
ネル１で低倍パターンを記録し、更にチャンネル１で高
倍パターンを記録し、テーブル10をθ゜回転し、メモリ
28から高倍パターンが比較器34に入力されると共に、モ
ータ92により所定角度回転撮像部22が回転され、その取
込み信号が現画像メモリ32に入力され、比較器34でマッ
チング処理され、コントローラ38に送られる。その他の
処理は同じである。
変換回路36を用いて角度変換し、チャンネル２での高倍
パターンとして利用したのであるが、これに限定される
ものでなく、取込み画像を回転、即ち撮像部側を所定角
度回転してもよい。即ち第１実施例と同様にしてチャン
ネル１で低倍パターンを記録し、更にチャンネル１で高
倍パターンを記録し、テーブル10をθ゜回転し、メモリ
28から高倍パターンが比較器34に入力されると共に、モ
ータ92により所定角度回転撮像部22が回転され、その取
込み信号が現画像メモリ32に入力され、比較器34でマッ
チング処理され、コントローラ38に送られる。その他の
処理は同じである。
以上説明したように本発明に係るアライメント方法並
びにその装置によれば、第１のチャンネルで低倍パター
ンを記録すると共に高倍パターンを記録し、その他のチ
ャンネルに於いては高倍パターンを角度変換又は撮像部
を回転して画像パターンを取込むので従来に比較してメ
モリ容量が減る。またリファレンスデータの登録操作も
簡単になる。またメモリ容量並びにメモリ手順が少なく
て済むので、例えばパターンを圧縮して記憶してる場合
にはその復元時間が少なくて済み、またメモリを外部記
憶に頼っている場合にはデータの転送時間が少なくて済
み、更に、メモリ容量が減った分、外部記憶装置を品種
データの記憶に用いることが出来る。
びにその装置によれば、第１のチャンネルで低倍パター
ンを記録すると共に高倍パターンを記録し、その他のチ
ャンネルに於いては高倍パターンを角度変換又は撮像部
を回転して画像パターンを取込むので従来に比較してメ
モリ容量が減る。またリファレンスデータの登録操作も
簡単になる。またメモリ容量並びにメモリ手順が少なく
て済むので、例えばパターンを圧縮して記憶してる場合
にはその復元時間が少なくて済み、またメモリを外部記
憶に頼っている場合にはデータの転送時間が少なくて済
み、更に、メモリ容量が減った分、外部記憶装置を品種
データの記憶に用いることが出来る。
第１図は本発明に係るアライメント装置の概略構造を示
すブロック図、第２図は本発明に係るアライメント方法
のリファレンス登録手順を示すフローチャート、第３図
は本発明に係るアライメント動作の実行順を示すフロー
チャート、第４図並びに第５図は３チャンネルの場合の
実施例を示す、第４図はリファレンスデータの登録手順
を示すフォローチャート、第５図はアライメント動作の
実行順を示すフローチャート、第６図は現画像を角度変
換し、チャンネル２のパターンマッチングを用いた本発
明に係る他の実施例、第７図は第６図と同様の操作を撮
像部を回転することにより実現した本発明に係る他の実
施例を示すブロック図である。 10……ワークテーブル、14……Ｘ−Ｙ駆動機構、16……
回転駆動機構、20……顕微鏡、22……撮像部、26……低
倍用フレームメモリ、28……高倍用フレームメモリ、34
……比較器、36……角度変換回路、38……コントロー
ラ。
すブロック図、第２図は本発明に係るアライメント方法
のリファレンス登録手順を示すフローチャート、第３図
は本発明に係るアライメント動作の実行順を示すフロー
チャート、第４図並びに第５図は３チャンネルの場合の
実施例を示す、第４図はリファレンスデータの登録手順
を示すフォローチャート、第５図はアライメント動作の
実行順を示すフローチャート、第６図は現画像を角度変
換し、チャンネル２のパターンマッチングを用いた本発
明に係る他の実施例、第７図は第６図と同様の操作を撮
像部を回転することにより実現した本発明に係る他の実
施例を示すブロック図である。 10……ワークテーブル、14……Ｘ−Ｙ駆動機構、16……
回転駆動機構、20……顕微鏡、22……撮像部、26……低
倍用フレームメモリ、28……高倍用フレームメモリ、34
……比較器、36……角度変換回路、38……コントロー
ラ。
Claims (3)
- 【請求項１】表面にIC等のパターンを有するワークを切
断する際に前記パターンにおける切断線と切断刃とを位
置合わせするアライメント方法であって、該ワークを回
転させることによって切断方向の異なる複数のチャンネ
ルで位置合わせするアライメント方法に於いて、 第１のチャンネルに対応する回転位置にある前記ワーク
を該第１のチャンネルで位置合わせするための基準とな
る基準パターンを登録し、 前記第１のチャンネルに対応する回転位置にある前記ワ
ーク上のパターンを撮像し、該撮影した現画像パターン
が前記基準パターンと一致するように該ワークの第１の
チャンネルでの位置合わせを行い、 前記ワークを第１のチャンネルから所定角度θ゜回転さ
せた他のチャンネルに対応する回転位置に回転させると
ともに、前記登録した基準パターンが前記所定角度θ゜
だけ回転するように該基準パターンを座標変換して他の
チャンネル用の基準パターンを作成し、 前記他のチャンネルに対応する回転位置にある前記ワー
ク上のパターンを撮像し、該撮影した現画像パターンが
前記作成した他のチャンネル用の基準パターンと一致す
るように該ワークの他のチャンネルでの位置合わせを行
うことを特徴とするアライメント方法。 - 【請求項２】表面にIC等のパターンを有するワークを切
断する際に前記パターンにおける切断線と切断刃とを位
置合わせするアライメント方法であって、該ワークを回
転させることによって切断方向の異なる複数のチャンネ
ルで位置合わせするアライメント方法に於いて、 第１のチャンネルに対応する回転位置にある前記ワーク
を該第１のチャンネルで位置合わせするための基準とな
る基準パターンを登録し、 前記第１のチャンネルに対応する回転位置にある前記ワ
ーク上のパターンを撮像し、該撮影した現画像パターン
が前記基準パターンと一致するように該ワークの第１の
チャンネルでの位置合わせを行い、 前記ワークを第１のチャンネルから所定角度θ゜回転さ
せた他のチャンネルに対応する回転位置に回転させると
ともに、撮像手段自体を前記所定角度θ゜回転させ、又
は撮影手段から得られる現画像パターンが前記所定角度
θ゜だけ回転するように該現画像パターンを座標変換
し、 前記他のチャンネルに対応する回転位置にある前記ワー
ク上のパターンを前記撮像手段によって撮影するととも
に、前記所定角度θ゜だけ回転させた現画像パターンが
前記基準パターンと一致するように該ワークの他のチャ
ンネルでの位置合わせを行うことを特徴とするアライメ
ント方法。 - 【請求項３】表面にIC等のパターンを有するワークを切
断する際に前記パターンにおける切断線と切断刃とを位
置合わせするアライメント装置であって、該ワークを回
転させることによって切断方向の異なる複数のチャンネ
ルで位置合わせするアライメント装置に於いて、 Ｘ−Ｙ方向駆動機構並びに回転方向駆動機構を有するワ
ーク載置手段と、 ワーク載置手段上のワークのパターンを撮像する撮像手
段と、 第１のチャンネルに対応する回転位置にある前記ワーク
を予め位置合わせしたときに前記撮像手段から得られる
現画像パターンを第１のチャンネルでの位置合わせ用の
基準パターンとして登録する記憶手段と、 前記登録した基準パターンを所定角度だけ座標変換して
他のチャンネル用の基準パターンを作成する手段、若し
くは前記撮像手段を介して得られる現画像パターンを、
前記撮像手段自体を回転させ又は撮影手段から得られる
現画像パターンを座標変換することによって前記所定角
度θ゜だけ回転させる手段と、 前記撮像手段からの現画像パターンと前記基準パターン
とを比較し、パターンマッチング信号を出力するパター
ンマッチング手段と、 パターンマッチング手段の出力に基づき、載置手段を駆
動し、ワークを所望位置に位置合わせする駆動信号を出
力する制御手段と、 から成るアライメント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22264989A JP2637566B2 (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | アライメント方法並びにその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22264989A JP2637566B2 (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | アライメント方法並びにその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0384948A JPH0384948A (ja) | 1991-04-10 |
| JP2637566B2 true JP2637566B2 (ja) | 1997-08-06 |
Family
ID=16785762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22264989A Expired - Fee Related JP2637566B2 (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | アライメント方法並びにその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2637566B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60214909A (ja) * | 1985-03-11 | 1985-10-28 | 株式会社日立製作所 | ダイシング装置 |
| JPH0713997B2 (ja) * | 1985-09-11 | 1995-02-15 | 富士電機株式会社 | ウエハの要位置合せ角検出装置 |
| JP2530827B2 (ja) * | 1986-11-19 | 1996-09-04 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置の溝切制御方法 |
| JPH01205960A (ja) * | 1988-02-12 | 1989-08-18 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハの位置合わせ装置 |
-
1989
- 1989-08-29 JP JP22264989A patent/JP2637566B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0384948A (ja) | 1991-04-10 |
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