JP2619807B2 - Electromagnetic drive pump - Google Patents
Electromagnetic drive pumpInfo
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- JP2619807B2 JP2619807B2 JP6099347A JP9934794A JP2619807B2 JP 2619807 B2 JP2619807 B2 JP 2619807B2 JP 6099347 A JP6099347 A JP 6099347A JP 9934794 A JP9934794 A JP 9934794A JP 2619807 B2 JP2619807 B2 JP 2619807B2
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、腐蝕性
流体を取り扱う化学工業あるいは半導体産業等におい
て、薬液処理を必要とする分野に用いられる電磁駆動式
ポンプに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electromagnetically driven pump used in a field requiring chemical treatment, for example, in the chemical industry or the semiconductor industry which handles corrosive fluids.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、上述のような分野に用いられる電
磁駆動式ポンプとしては、例えば、ポンプケースとキャ
ンケースとを嵌合してこれら両ケース内に形成されたポ
ンプ室内にインナロータを軸受し、回転用モータの駆動
力によりポンプ室外に配して軸支したアウタロータを回
転して、このアウタロータに固定したアウタマグネット
と、インナロータに固定したインナマグネットとの磁力
により、ポンプ室内に軸受したインナロータを移送方向
に従動回転すると共に、インナロータに形成した複数の
インペラの移送作用により、ポンプ室に形成した吸入口
側から薬液を吸込み、ポンプ室の吐出口側から薬液を吐
出する電磁駆動式ポンプ(特開昭63−280888
号)がある。2. Description of the Related Art Conventionally, as an electromagnetically driven pump used in the above fields, for example, a pump chamber formed by fitting a pump case and a can case in both cases is provided. The inner rotor is mounted on the outer rotor, and the outer rotor, which is disposed outside the pump chamber and supported by the rotation motor, is rotated by the driving force of the rotation motor. The inner rotor that is driven in the transfer direction is driven to rotate, and the transfer action of the plurality of impellers formed in the inner rotor sucks the chemical from the suction port side formed in the pump chamber and discharges the chemical from the discharge port side of the pump chamber. Driving pump (JP-A-63-280888)
No.).
【0003】しかし、この従来構造の電磁駆動式ポンプ
は、流体と接触する部分を金属材料により構成している
ので、半導体産業等において取り扱われる腐蝕性流体を
輸送する場合、腐蝕性流体と接触する金属部分が腐蝕さ
れ、ポンプ機能が損なわれるため、腐蝕性流体の輸送に
は適用することができない。However, in the electromagnetically driven pump having the conventional structure, a portion which is in contact with the fluid is made of a metal material. Therefore, when the corrosive fluid handled in the semiconductor industry or the like is transported, it comes into contact with the corrosive fluid. It is not applicable to the transport of corrosive fluids because the metal parts are corroded and the pump function is impaired.
【0004】また特開昭59−180099号公報に開
示された従来の電磁駆動式ポンプは、セラミックス製の
キャンケースに形成した軸受孔に、インナロータに挿通
した固定シャフトの一端側軸部を直接差込んで軸受して
いるため、インナロータの回転時に生じる振動がキャン
ケースに対して直接伝達され、その時に生じる衝撃によ
りキャンケースが破損または損傷するという問題点を有
している。加えて、キャンケースの軸受孔と固定シャフ
トとの対向周面に介在したフッ素樹脂製のスリーブが厚
肉であるため、スリーブが摩耗すると、キャンケースの
軸受孔と固定シャフトとの対向周面に生じるクリアラン
スが大きくなり、回転時に生じる振動が増大するだけで
なく、固定シャフトの回転に支障を来すという問題点を
有している。In the conventional electromagnetically driven pump disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 59-188009, one end of a fixed shaft inserted through an inner rotor is directly inserted into a bearing hole formed in a ceramic can case. Since the bearing is inserted into the bearing, vibration generated when the inner rotor rotates is directly transmitted to the can case, and there is a problem in that the can case is damaged or damaged by an impact generated at that time. In addition, the fluoroplastic sleeve interposed between the bearing hole of the can case and the fixed shaft is thick, so if the sleeve is worn, the sleeve will wear on the facing surface between the bearing hole of the can case and the fixed shaft. There is a problem that not only the generated clearance becomes large and the vibration generated during rotation increases, but also the rotation of the fixed shaft is hindered.
【0005】さらに実公昭54−44112号公報に開
示された従来の電磁駆動式ポンプは、ハウジングに形成
した孔部に軸受を差込んで回転不可に嵌合固定するが、
孔部と軸受との嵌合形状が複雑であるため、軸受に形成
した各リブの根元部分に対して応力集中が生じ、径方向
および軸方向に生じる負荷により、軸受の各リブが破損
または損傷しやすいという問題点を有している。Further, in the conventional electromagnetically driven pump disclosed in Japanese Utility Model Publication No. 54-44112, a bearing is inserted into a hole formed in a housing and fixed so as not to rotate.
Due to the complicated shape of the fitting between the hole and the bearing, stress concentration occurs at the root of each rib formed on the bearing, and the ribs in the bearing are damaged or damaged due to the radial and axial loads. There is a problem that it is easy to do.
【0006】一方、従来のベローズ型ポンプは、ケミカ
ル分野に適用されるためフッ素樹脂のみで構成している
が、ポンプ室内に収納されたベローズを加圧エアにより
伸縮して薬液を輸送するので、薬液の流速および流量に
脈動が生じ、輸送量を一定に保つことができず、加え
て、ベローズの耐圧強度が低く、大きな輸送容量が確保
できないという問題点を有している。On the other hand, the conventional bellows type pump is composed of only a fluororesin because it is applied to the chemical field, but the bellows housed in the pump chamber is expanded and contracted by pressurized air to transport the chemical solution. Pulsation occurs in the flow velocity and the flow rate of the chemical solution, so that the transport amount cannot be kept constant. In addition, there is a problem that the pressure resistance of the bellows is low and a large transport capacity cannot be secured.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】この発明の請求項1記
載の発明は、特にセラミック製のキャンケースに形成さ
れた軸受孔に対して、インナロータに挿通した固定シャ
フトの軸端側を直接差し込んで軸受する場合、インナロ
ータの回転時に生じる振動がキャンケースに直接伝達さ
れて生ずる衝撃によりキャンケースが破損もしくは損傷
するという問題点を解決するために、スラストリングの
軸受孔と固定シャフトの軸端側との対向周面にフッ素樹
脂製の軸受フィルムを介在させることで、この軸受フィ
ルムにて相互の接触による衝撃を緩和して、キャンケー
スの破損もしくは損傷を防止し、しかもフッ素樹脂スリ
ーブに対して極薄の軸受フィルムを用いることで、スラ
ストリングと固定シャフトとの対向面間に生じるクリア
ランスを狭くして、高い軸受精度を確保することができ
る電磁駆動式ポンプの提供を目的とする。According to the first aspect of the present invention, the shaft end of a fixed shaft inserted through an inner rotor is directly inserted into a bearing hole formed in a ceramic can case. In the case of bearings, in order to solve the problem that the vibration generated during rotation of the inner rotor is directly transmitted to the can case and the can case is broken or damaged, the thrust ring bearing hole and the shaft end side of the fixed shaft are fixed. By interposing a fluororesin bearing film on the opposing peripheral surface of the bearing, the impact due to mutual contact is reduced by this bearing film, and damage or damage to the can case is prevented. By using a thin bearing film, the clearance between the opposing surfaces of the thrust ring and the fixed shaft can be reduced. And to provide the electromagnetically driven pump which can ensure high bearing accuracy.
【0008】この発明の請求項2記載の発明は、上記請
求項1記載の発明の目的と併せて、上述のキャンケース
とスラストリングとの対向面間にフッ素樹脂製の支持部
材を介設することで、インナロータの回転時に発生する
固定シャフトの振動、衝撃を支持部材により緩和して、
キャンケースの破損、損傷を確実に防止することができ
る電磁駆動式ポンプの提供を目的とする。According to a second aspect of the present invention, in addition to the object of the first aspect, a supporting member made of fluororesin is interposed between the opposing surfaces of the can case and the thrust ring. In this way, the vibration and impact of the fixed shaft generated when the inner rotor rotates are reduced by the support member,
It is an object of the present invention to provide an electromagnetically driven pump capable of reliably preventing a can case from being damaged or damaged.
【0009】この発明の請求項3記載の発明は、上記請
求項1記載の発明の目的と併せて、上述のインナロータ
の挿通孔と固定シャフトの外周に配置した軸受リングと
の対向面に形成された各回止め面を互いに合致させて嵌
合固定することで、回止めに必要な機械的強度を確保し
て、相互を確実に回止めすることができる電磁駆動式ポ
ンプの提供を目的とする。According to a third aspect of the present invention, in addition to the object of the first aspect, the invention is formed on a surface of the inner rotor opposite to the bearing ring disposed on the outer periphery of the fixed shaft. It is another object of the present invention to provide an electromagnetically driven pump that can secure the mechanical strength required for the rotation stop by fitting and locking the respective rotation stop surfaces to each other and securely stop the mutual rotation.
【0010】この発明の請求項4記載の発明は、上記請
求項1記載の発明の目的と併せて、支持部材に形成した
嵌込み凹部と、スラストリングとの対向面に形成した回
止め面を互いに合致させて嵌合固定することで、回止め
に必要な機械的強度を確保して、相互を確実に回止めす
ることができる電磁駆動式ポンプの提供を目的とする。According to a fourth aspect of the present invention, in addition to the object of the first aspect, a fitting recess formed in the support member and a detent surface formed on a surface facing the thrust ring are provided. It is an object of the present invention to provide an electromagnetically driven pump that can secure the mechanical strength required for rotation stop by fitting and fixing them together so that they can be reliably stopped.
【0011】この発明の請求項5記載の発明は、上記請
求項1記載の発明の目的と併せて、キャンケースのフラ
ンジ部に対する均一な締付け力を確保して、キャンケー
スの破損、損傷を防止することができる電磁駆動式ポン
プの提供を目的とする。According to a fifth aspect of the present invention, in addition to the object of the first aspect, a uniform tightening force is secured to a flange portion of the can case to prevent breakage and damage of the can case. It is an object of the present invention to provide an electromagnetically driven pump that can be used.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】この発明の請求項1記載
の発明は、フッ素樹脂製のポンプケースとセラミック製
のキャンケースとを密封状態に嵌合してこれら両ケース
内にポンプ室を形成し、該ポンプ室内にフッ素樹脂製の
インナロータを軸受し、原動機の駆動力により上記ポン
プ室外に配して軸支されたアウタロータを回転して、ア
ウタロータに固定したアウタマグネットと、インナロー
タに固定したインナマグネットとの磁力により、ポンプ
室内に軸受したインナロータを移送方向に従動回転さ
せ、インナロータに形成した各インペラの移送作用によ
り、ポンプ室に形成した吸入口側から流体を吸入し、ポ
ンプ室の吐出口側から流体を吐出する電磁駆動式ポンプ
であって、上記ポンプケースおよびキャンケースのポン
プ室の内側中央部に炭化珪素製の各スラストリングを固
定し、上記スラストリングの軸受孔と上記インナロータ
を可回動に支持する固定シャフトの軸端側との対向周面
にフッ素樹脂製の軸受フィルムを介在した電磁駆動式ポ
ンプであることを特徴とする。According to the first aspect of the present invention, a pump case made of a fluororesin and a can case made of a ceramic are fitted in a hermetically sealed state, and these two cases are sealed.
The pump chamber is formed within, and bearing the inner rotor made of fluororesin to the pump chamber, the Pont by the driving force of the prime mover
The outer rotor, which is disposed outside the pump chamber and supported by rotation, is rotated, and the inner rotor fixed in the pump chamber is driven to rotate in the transfer direction by the magnetic force of the outer magnet fixed to the outer rotor and the inner magnet fixed to the inner rotor. An electromagnetically driven pump that sucks fluid from a suction port side formed in a pump chamber and discharges fluid from a discharge port side of a pump chamber by a transfer action of each impeller formed in the pump case and the can case. Each thrust ring made of silicon carbide is fixed to the center of the inside of the pump chamber, and a fluororesin is formed on the peripheral surface of the bearing hole of the thrust ring and the shaft end side of the fixed shaft that rotatably supports the inner rotor. It is an electromagnetically driven pump with a bearing film interposed.
【0013】 この発明の請求項2記載の発明は、上記請
求項1記載の発明の構成と併せて、上記キャンケースと
上記スラストリングとの対向面間にフッ素樹脂製の支持
部材を介在した電磁駆動式ポンプであることを特徴とす
る。[0013] The invention of claim 2 of the present invention
In addition to the configuration of the invention described in claim 1,
Support made of fluororesin between the surface facing the thrust ring
It is characterized by being an electromagnetically driven pump with interposed members
You.
【0014】この発明の請求項3記載の発明は、上記請
求項1記載の発明の構成と併せて、上記インナロータの
挿通孔と上記固定シャフトの外周に配置した軸受リング
との対向面に形成された各回止め面を互いに合致させて
嵌合固定した電磁駆動式ポンプであることを特徴とす
る。According to a third aspect of the present invention, in addition to the configuration of the first aspect, the invention is formed on a surface of the inner rotor facing an insertion hole and a bearing ring disposed on the outer periphery of the fixed shaft. Further, the pump is characterized in that it is an electromagnetically driven pump in which the respective locking surfaces are fitted to each other and fitted and fixed.
【0015】この発明の請求項4記載の発明は、上記請
求項1記載の発明の構成と併せて、、上記支持部材に形
成した嵌込み凹部と、上記スラストリングとの対向面に
形成した各回止め面を互いに合致させて嵌合固定した電
磁駆動式ポンプであることを特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, in addition to the configuration of the first aspect of the present invention, each of the recesses formed in the support member and the thrust ring formed on the surface facing the thrust ring is provided. It is an electromagnetically driven pump in which the stop surfaces are matched with each other and fitted and fixed.
【0016】この発明の請求項5記載の発明は、上記請
求項1記載の発明の構成と併せて、上記ポンプケースと
キャンケースとの嵌合側周縁部をフッ素樹脂製のシール
リングを介して密封状態に嵌合し、上記キャンケースの
外周部に形成したフランジ部にフッ素樹脂製の固定リン
グを嵌合し、上記ポンプケース側に嵌合した金属製の固
定部材と、上記固定リング側に嵌合した金属製の固定部
材とを適宜固定手段で締付け固定した電磁駆動式ポンプ
であることを特徴とする。According to a fifth aspect of the present invention, in addition to the structure of the first aspect of the present invention, a peripheral edge of the fitting side between the pump case and the can case is interposed via a seal ring made of fluororesin. Fitted in a sealed state, fitted with a fluororesin fixing ring on the flange formed on the outer periphery of the can case, and a metal fixing member fitted on the pump case side, and on the fixing ring side It is an electromagnetically driven pump in which the fitted metal fixing member is appropriately fixed by a fixing means.
【0017】[0017]
【作用】この発明の請求項1記載の電磁駆動式ポンプ
は、フッ素樹脂製のポンプケースとセラミック製のキャ
ンケースとを密封状態に嵌合して両ケース内に形成され
るポンプ室内にフッ素樹脂製のインナロータを収納し、
各ケースに固定した炭化珪素製の各スラストリングで、
固定シャフトを軸受しているので、軸受に必要な機械的
強度が得られると共に、腐蝕性流体によりポンプ内部が
腐蝕されるのを防止しつつ、スラストリングの軸受孔と
固定シャフトの軸端側との対向周面にフッ素樹脂製の軸
受フィルムを介在したので、スラストリングと固定シャ
フトとの接触による衝撃が軸受フィルムにより緩和され
る。The electromagnetically driven pump according to the first aspect of the present invention is formed in both cases by fitting a pump case made of fluororesin and a can case made of ceramic in a sealed state.
A fluorine resin of the inner rotor housed in the pump chamber that,
With each thrust ring made of silicon carbide fixed to each case,
Since the fixed shaft is bearing, the mechanical strength required for the bearing is obtained, and the inside of the pump is prevented from being corroded by corrosive fluid, while the thrust ring bearing hole and the shaft end side of the fixed shaft are Since the bearing film made of fluororesin is interposed on the opposing peripheral surface of the bearing, the impact caused by the contact between the thrust ring and the fixed shaft is reduced by the bearing film.
【0018】この発明の請求項2記載の電磁駆動式ポン
プは、キャンケースの室内側中央面とスラストリングと
の対向面間にフッ素樹脂製の支持部材を介在したので、
インナロータの回転時に生じる固定シャフトの振動およ
び衝撃が支持部材により緩和される。In the electromagnetically driven pump according to a second aspect of the present invention, since the support member made of fluororesin is interposed between the center surface of the can case on the indoor side and the surface facing the thrust ring,
Vibration and impact of the fixed shaft generated when the inner rotor rotates are reduced by the support member.
【0019】この発明の請求項3記載の電磁駆動式ポン
プは、インナロータの挿通孔と軸受リングとに形成した
各回止め面を互いに合致させて嵌合固定することで、回
止めに必要な機械的強度が得られ、相互を確実に回止め
することができる。According to a third aspect of the present invention, there is provided an electromagnetically driven pump, wherein the respective detent surfaces formed in the insertion hole of the inner rotor and the bearing ring are fitted to each other so as to be fitted to each other, so that the mechanical necessary for the detent is achieved. Strength can be obtained and the mutual can be reliably stopped.
【0020】この発明の請求項4記載の電磁駆動式ポン
プは、支持部材の嵌込み凹部とスラストリングとに形成
した各回止め面を互いに合致させて嵌合固定すること
で、回止めに必要な機械的強度が得られ、相互を確実に
回止めすることができる。In the electromagnetically driven pump according to a fourth aspect of the present invention, the detents formed in the fitting recess of the support member and the thrust ring are fitted and fixed to each other so as to be fitted to each other, so that the detent is necessary for the detent. The mechanical strength is obtained, and the two can be reliably stopped.
【0021】この発明の請求項5記載の電磁駆動式ポン
プは、ポンプケースとキャンケースとをフッ素樹脂製の
シールリングを介して嵌合した後、キャンケースのフラ
ンジ部に嵌合したフッ素樹脂製の固定リングを介して、
ポンプケース側に嵌合した金属製の固定部材と、固定リ
ング側に嵌合した金属製の固定部材とをボルト、ナット
等の適宜固定手段により締付け固定するので、キャンケ
ースのフランジ部に対して締付け力が均一に付与され、
キャンケースの破損および損傷を防止する。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided an electromagnetically driven pump, wherein the pump case and the can case are fitted via a fluorine resin seal ring and then fitted to the flange portion of the can case. Through the fixing ring of
The metal fixing member fitted to the pump case side and the metal fixing member fitted to the fixing ring side are tightened and fixed by appropriate fixing means such as bolts and nuts. Tightening force is evenly applied,
Prevent breakage and damage of the can case.
【0022】[0022]
【発明の効果】このように、本発明の請求項1記載の発
明によれば、ポンプ内部の輸送流体と接触する部分をフ
ッ素樹脂、セラミック、炭化珪素により構成しているの
で、例えば、化学工業あるいは半導体産業等において取
り扱われる腐蝕性流体によりポンプ内部が腐蝕されるの
防止することができ、構成部分の耐圧強度が高いため、
大きな輸送容量が得られ、一定量の輸送流体を連続して
供給することができ、かつ、固定シャフトを軸受する軸
受部分を炭化珪素により構成しているため、軸受に必要
な機械的強度が得られ、耐摩耗性が向上することは勿論
である。As described above, according to the first aspect of the present invention, the portion of the pump that comes into contact with the transport fluid is made of fluororesin, ceramic, or silicon carbide. Alternatively, the inside of the pump can be prevented from being corroded by a corrosive fluid handled in the semiconductor industry, etc., and the pressure resistance of the component parts is high,
A large transport capacity can be obtained, a constant amount of transport fluid can be supplied continuously, and the bearing part for bearing the fixed shaft is made of silicon carbide, so that the mechanical strength required for the bearing is obtained. Of course, the wear resistance is improved.
【0023】しかも、スラストリングの軸受孔と固定シ
ャフトとの対向周面にフッ素樹脂製の軸受フィルムを介
在したので、スラストリングと固定シャフトとの接触が
阻止され、相互の接触による衝撃を軸受フィルムにより
緩和することができる。この結果、キャンケースに、破
損または損傷が生じるのを防止できる効果がある。In addition, since the bearing film made of fluororesin is interposed between the bearing hole of the thrust ring and the fixed shaft, the contact between the thrust ring and the fixed shaft is prevented, and the impact due to mutual contact is prevented. Can be alleviated. As a result, it is possible to prevent the can case from being damaged or damaged.
【0024】また、従来の電磁式ポンプ(特開昭59−
180099号)に用いられるフッ素樹脂製のスリーブ
よりも軸受フィルムが極薄であるため、フッ素樹脂製の
軸受フィルムが摩耗しても、スラストリングと固定シャ
フトとの対向面間に生じるクリアランスが狭く、高い軸
受精度が得られる効果がある。A conventional electromagnetic pump (JP-A-59-1984)
Since the bearing film is extremely thinner than the fluororesin sleeve used in Japanese Patent No. 1800099), even if the fluororesin bearing film is worn, the clearance generated between the opposed surfaces of the thrust ring and the fixed shaft is narrow, There is an effect that high bearing accuracy can be obtained.
【0025】この発明の請求項2記載の発明によれば、
上記請求項1記載の発明の効果と併せて、キャンケース
とスラストリングとの対向面間に支持部材を介在したの
で、インナロータの回転時に生じる固定シャフトの振動
および衝撃がフッ素樹脂製の支持部材により緩和され、
キャンケースが破損もしくは損傷するのを確実に防止す
ることができる効果がある。According to the invention described in claim 2 of the present invention,
In addition to the effect of the first aspect of the present invention, since the supporting member is interposed between the opposing surfaces of the can case and the thrust ring, the vibration and the shock of the fixed shaft generated when the inner rotor rotates can be reduced by the supporting member made of fluororesin. Relaxed,
There is an effect that the can case can be reliably prevented from being damaged or damaged.
【0026】この発明の請求項3記載の発明によれば、
上記請求項1記載の発明の効果と併せて、上述のインナ
ロータの挿通孔と固定シャフトの外周に配置した軸受リ
ングとの対向面に形成された各回止め面を互いに合致さ
せて嵌合固定したので、各構成部品の対向面を面待遇で
回止め固定することができて、各構成部品の回止部分に
対して回転応力が集中しない。このため回止めに必要な
機械的強度を確保することができて、相互を確実に回止
めすることができる効果がある。According to the third aspect of the present invention,
In addition to the effect of the first aspect of the present invention, the detent surfaces formed on the facing surface of the above-described inner rotor insertion hole and the bearing ring disposed on the outer periphery of the fixed shaft are fitted and fixed so as to match each other. In addition, the opposing surfaces of the respective components can be stopped and fixed in the face treatment, and the rotational stress does not concentrate on the detent portions of the respective components. For this reason, it is possible to secure the mechanical strength necessary for the rotation stop, and it is possible to reliably stop the mutual rotation.
【0027】この発明の請求項4記載の発明によれば、
上記請求項1記載の発明の効果と併せて、支持部材に形
成した嵌込み凹部と、スラストリングとの対向面に形成
した回止め面を互いに合致させて嵌合固定したので、上
述同様の原理により、回止めに必要な機械的強度を確保
することができて、相互を確実に回止めすることができ
る効果がある。According to the invention described in claim 4 of the present invention,
In addition to the effect of the first aspect of the present invention, the fitting concave portion formed on the support member and the detent surface formed on the surface facing the thrust ring are fitted to each other and fitted and fixed. Thereby, it is possible to secure the mechanical strength necessary for stopping the rotation, and to effectively stop the mutual rotation.
【0028】この発明の請求項5記載の発明によれば、
上記請求項1記載の発明の効果と併せて、キャンケース
のフランジ部に嵌合したフッ素樹脂製の固定リングを介
して、フッ素樹脂製のポンプケースとセラミック製のキ
ャンケースとを相互に締付け固定するので、キャンケー
スのフランジ部に対して締付け力が均一に付与され、締
付け時に生じる応力によりキャンケースが破損もしくは
損傷するのを防止することができる効果がある。According to the invention described in claim 5 of the present invention,
In addition to the effect of the first aspect of the present invention, the fluorine resin pump case and the ceramic can case are mutually tightened and fixed via the fluorine resin fixing ring fitted to the flange portion of the can case. Therefore, the clamping force is uniformly applied to the flange portion of the can case, and there is an effect that it is possible to prevent the can case from being damaged or damaged by the stress generated at the time of the fastening.
【0029】[0029]
【実施例】この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳
述する。図面は半導体産業において取り扱われる腐蝕性
流体を輸送するための電磁駆動式ポンプを示し、図1に
おいて、この電磁駆動式ポンプ1は、フッ素樹脂製のポ
ンプケース2と炭化珪素(SiO)製のキャンケース3
とを密封状態に嵌合固定してポンプ室4を形成し、この
ポンプ室4内に軸受したフッ素樹脂製のインナロータ5
をインナマグネット13とアウタマグネット14との磁
力により回転して、同インナロータ5に形成した多数枚
の各インペラ5e…の移送作用により、ポンプケース2
に形成した吸入口2b側から吐出口2c側に向けて薬液
を連続輸送する構造である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. The drawings show an electromagnetically driven pump for transporting corrosive fluids handled in the semiconductor industry. In FIG. 1, this electromagnetically driven pump 1 has a pump case 2 made of fluororesin and a canister made of silicon carbide (SiO). Case 3
Are fitted and fixed in a sealed state to form a pump chamber 4, and a fluororesin inner rotor 5 bearing in the pump chamber 4.
Are rotated by the magnetic force of the inner magnet 13 and the outer magnet 14, and the pump case 2 is moved by the transfer action of the plurality of impellers 5e formed on the inner rotor 5.
The structure is such that the liquid medicine is continuously transported from the suction port 2b side formed in the above to the discharge port 2c side.
【0030】上述のポンプケース2は、PTFE、PF
A等のフッ素樹脂でケース本体2aを形成し、このケー
ス本体2aの一側面中央部に上述したポンプ室4を構成
する一方の分割室4aを形成し、このケース本体2aの
他側面下部に分割室4aと連通して吸入口2bと吐出口
2cとを形成し、分割室4aの内側中央面に炭化珪素製
のスラストリング6を嵌込み固定するための嵌込み凹部
2dを形成すると共に、この嵌込み凹部2dの中心部に
固定シャフト11の一端側軸部11aを差込むための軸
受孔2eを形成している。つまり、図2に示すように、
ケース本体2aに形成した嵌込み凹部2dにスラストリ
ング6を嵌込み、嵌込み凹部2dの内周面に形成した2
箇所または複数箇所の各回止め面2f,2fと、スラス
トリング6の外周面に形成した2箇所または複数箇所の
各回止め面6a,6aとを互いに合致させて回転不可に
嵌込み固定している。The above-mentioned pump case 2 is made of PTFE, PF
A case body 2a is formed of a fluororesin such as A, and one of the divided chambers 4a constituting the pump chamber 4 is formed in the center of one side surface of the case body 2a. A suction port 2b and a discharge port 2c are formed in communication with the chamber 4a, and a fitting recess 2d for fitting and fixing a thrust ring 6 made of silicon carbide is formed in the inner central surface of the divided chamber 4a. A bearing hole 2e for inserting the one end side shaft portion 11a of the fixed shaft 11 is formed in the center of the fitting concave portion 2d. That is, as shown in FIG.
The thrust ring 6 is fitted into the fitting recess 2d formed in the case body 2a, and the thrust ring 6 is formed on the inner peripheral surface of the fitting recess 2d.
Each or a plurality of detent surfaces 2f, 2f and two or a plurality of detent surfaces 6a, 6a formed on the outer peripheral surface of the thrust ring 6 are mutually fitted and fixed so that they cannot rotate.
【0031】また、スラストリング6の中心部に固定シ
ャフト11の一端側軸部11aを軸受するための軸受孔
6bを形成し、この軸受孔6bに対して固定シャフト1
1の一端側軸部11aを差込むと共に、スラストリング
6に形成した軸受孔6bと、固定シャフト11の一端側
軸部11aとの対向周面にフッ素樹脂製の軸受フィルム
7を介在して、軸受孔6bの内周面に形成した2箇所ま
たは複数箇所の各回止め面6c,6cと、一端側軸部1
1aの外周面に形成した2箇所または複数箇所の各回止
め面11b,11bとを互いに合致させることで、固定
シャフト11の一端側軸部11aを回転不可に軸受して
いる。A bearing hole 6b for bearing the shaft portion 11a on one end side of the fixed shaft 11 is formed at the center of the thrust ring 6, and the fixed shaft 1 is inserted into the bearing hole 6b.
1 and a bearing film 6 made of fluororesin is interposed between a bearing hole 6b formed in the thrust ring 6 and a peripheral surface of the fixed shaft 11 facing the one end shaft 11a. Two or more detent surfaces 6c, 6c formed on the inner peripheral surface of the bearing hole 6b;
The one end side shaft portion 11a of the fixed shaft 11 is non-rotatably supported by matching two or a plurality of detent surfaces 11b, 11b formed on the outer peripheral surface of 1a with each other.
【0032】前述のキャンケース3は、炭化珪素(Si
C)等のセラミックスでキャン本体3aを形成し、この
キャン本体3aの開放側に上述したポンプ室4を構成す
る他方の分割室4bを形成し、この分割室4bの内側中
央面にフッ素樹脂製の支持部材8を固定し、この支持部
材8の中央面に炭化珪素製のスラストリング9を嵌込み
固定するための嵌込み凹部8aを形成すると共に、この
嵌込み凹部8aの中心部に固定シャフト11の他端側軸
部11cを差込むための軸受孔8bを形成している。つ
まり、支持部材8に形成した嵌込み凹部8aにスラスト
リング9を嵌込み、嵌込み凹部8aの内周面に形成した
1箇所または2箇所以上の各回止め面8c,8cと、ス
ラストリング9の外周面に形成した1箇所または2箇所
以上の各回止め面9a,9aとを互いに合致させて回転
不可に嵌込み固定している。The above-mentioned can case 3 is made of silicon carbide (Si)
C), etc., the can body 3a is formed, and the other divided chamber 4b constituting the pump chamber 4 is formed on the open side of the can body 3a. The support member 8 is fixed, and a fitting recess 8a for fitting and fixing the thrust ring 9 made of silicon carbide is formed in the center surface of the support member 8, and a fixed shaft is formed at the center of the fitting recess 8a. A bearing hole 8b for inserting the other end side shaft portion 11c of the bearing 11 is formed. That is, the thrust ring 9 is fitted into the fitting concave portion 8a formed in the support member 8, and one or two or more detent surfaces 8c, 8c formed on the inner peripheral surface of the fitting concave portion 8a and the thrust ring 9 One or two or more detent surfaces 9a, 9a formed on the outer peripheral surface are fitted and fixed so that they cannot rotate and match each other.
【0033】さらに、スラストリング9の中心部に固定
シャフト11の他端側軸部11cを軸受するための軸受
孔9bを形成し、スラストリング9の軸受孔9bに対し
て固定シャフト11の他端側軸部11cを差込むと共
に、スラストリング9に形成した軸受孔9bと、固定シ
ャフト11の他端側軸部11cとの対向周面にフッ素樹
脂製の軸受フィルム10を介在して、軸受孔9bの内周
面に形成した各回止め面9c,9cと、他端側軸部11
cの外周面に形成した各回止め面11d,11dとを互
いに合致させることで、固定シャフト11の他端側軸部
11cを回転不可に軸受している。Further, a bearing hole 9b for bearing the other end side shaft portion 11c of the fixed shaft 11 is formed in the center portion of the thrust ring 9, and the other end of the fixed shaft 11 is opposed to the bearing hole 9b of the thrust ring 9. The bearing hole 9b formed in the thrust ring 9 and the bearing film 10 made of fluororesin are interposed on the peripheral surface of the fixed shaft 11 facing the other end shaft portion 11c. Each detent surface 9c, 9c formed on the inner peripheral surface of 9b, and the other end side shaft portion 11
The other end side shaft portion 11c of the fixed shaft 11 is non-rotatably supported by matching the respective rotation stop surfaces 11d, 11d formed on the outer circumferential surface of the fixed shaft 11 with each other.
【0034】なお、上述したスラストリング9は、図2
に示すスラストリング6の回止め構造と同一であるた
め、その図示を省略する。It should be noted that the thrust ring 9 described above corresponds to FIG.
Since the structure is the same as that of the thrust ring 6 shown in FIG.
【0035】前述のインナロータ5は、例えば、PTF
E、PFA等のフッ素樹脂でロータ本体5aを形成し、
このロータ本体5aの回転中心に炭化珪素製の固定シャ
フト11を挿通するための挿通孔5bを形成し、この挿
通孔5bの両端側内周面に炭化珪素製の軸受リング12
を嵌込み固定するための各嵌込み凹部5c,5cを形成
している。つまり、図3に示すように、挿通孔5bに形
成した各嵌込み凹部5c,5cに各軸受リング12,1
2を嵌込み、これら各嵌込み凹部5c,5cの内周面に
形成した1箇所または2箇所以上の各回止め面5d,5
dと、軸受リング12の外周面に形成した1箇所または
2箇所以上の各回止め面12a,12aとを互いに合致
させて回転不可に嵌込み固定すると共に、各軸受リング
12,12の中心部に形成した各軸受孔12b,12b
に対して固定シャフト11の中央軸部11eを挿入して
いる。The inner rotor 5 is, for example, a PTF
E, the rotor body 5a is formed of a fluororesin such as PFA,
An insertion hole 5b for inserting a fixed shaft 11 made of silicon carbide is formed at the center of rotation of the rotor main body 5a, and a bearing ring 12 made of silicon carbide is formed on an inner peripheral surface on both ends of the insertion hole 5b.
Are formed in each of the fitting recesses 5c, 5c for fitting. In other words, as shown in FIG. 3, each of the bearing rings 12, 1 is inserted into each of the fitting recesses 5c, 5c formed in the insertion hole 5b.
2 and one or two or more detent surfaces 5d, 5 formed on the inner peripheral surface of each of these fitting recesses 5c, 5c.
d and one or two or more detent surfaces 12a, 12a formed on the outer peripheral surface of the bearing ring 12 are fitted to each other so as to be non-rotatable, and are fixed to the center of each of the bearing rings 12, 12. Each formed bearing hole 12b, 12b
, The central shaft 11e of the fixed shaft 11 is inserted.
【0036】一方、ポンプ室4の分割室4a側に収納さ
れるロータ本体5aの外周部分に、多数枚の各インペラ
5e…を円周方向に対して所定等間隔を隔てて形成し、
ポンプ室4の分割室4b側に収納されるロータ本体5a
の外周部分に予め励磁したインナマグネット13を埋設
し、同ロータ本体5aに埋設したインナマグネット13
と対向して、ケーシング16内部に軸支したアウタロー
タ15の内周部分に予め励磁したアウタマグネット14
を固定している。つまり、ケーシング16に固定した減
速機能付き回転用モータ17の回転軸18をアウタロー
タ15の回転中心に直結して、回転用モータ17の駆動
力によりアウタロータ15を回転させ、インナマグネッ
ト13とアウタマグネット14との間に生じる磁力によ
り、インナロータ5を移送方向に従動回転させる。On the other hand, a large number of impellers 5e are formed on the outer peripheral portion of the rotor body 5a housed on the side of the divided chamber 4a of the pump chamber 4 at predetermined regular intervals in the circumferential direction.
Rotor main body 5a housed in divided chamber 4b side of pump chamber 4
The inner magnet 13 embedded in the rotor body 5a is buried in the outer peripheral portion of the rotor.
And an outer magnet 14 previously excited in an inner peripheral portion of an outer rotor 15 pivotally supported inside a casing 16.
Is fixed. That is, the rotation shaft 18 of the rotation motor 17 with the deceleration function fixed to the casing 16 is directly connected to the rotation center of the outer rotor 15, and the outer rotor 15 is rotated by the driving force of the rotation motor 17, and the inner magnet 13 and the outer magnet 14 are rotated. And the inner rotor 5 is driven to rotate in the transfer direction.
【0037】前述のポンプケース2とキャンケース3と
を嵌合固定する場合、ポンプケース2に形成した分割室
4aの開放側周縁部と、キャンケース3に形成した分割
室4bの開放側周縁部との対向端面にフッ素樹脂製のO
リング19を嵌込み、キャンケース3の開放側周縁部に
形成したフランジ部3bにフッ素樹脂製の固定リング2
0を介して金属製の締付けリング21を嵌合し、この締
付けリング21の外周縁部に金属製のケーシング16を
嵌合した後、ポンプケース2の閉塞側平面部に嵌合した
金属製の基台22と金属製のケーシング16とを適宜本
数のボルト23…およびナット24…により締付け固定
して、ポンプケース2とキャンケース3とを密封状態に
嵌合固定している。When the pump case 2 and the can case 3 are fitted and fixed, the open side peripheral portion of the divided chamber 4a formed in the pump case 2 and the open side peripheral portion of the divided room 4b formed in the can case 3 are formed. Fluoroplastic O
The fixing ring 2 made of fluororesin is fitted into the flange 3b formed on the open side peripheral portion of the can case 3.
0, a metal-made tightening ring 21 is fitted thereto, a metal casing 16 is fitted to the outer peripheral edge of the tightening ring 21, and then a metal-made fitment is fitted to the closed side flat portion of the pump case 2. The base 22 and the metal casing 16 are tightened and fixed by an appropriate number of bolts 23 and nuts 24 so that the pump case 2 and the can case 3 are fitted and fixed in a sealed state.
【0038】図示実施例は上記の如く構成するものにし
て、以下、電磁駆動式ポンプ1による薬液の輸送動作を
説明する。まず、減速機能付き回転用モータ17の駆動
力によりアウタロータ15を回転して、アウタロータ1
5に固定したアウタマグネット14と、インナロータ5
に固定したインナマグネット13との磁力により、ポン
プ室4内に軸受したインナロータ5を移送方向に従動回
転する。同時に、インナロータ5に形成した各インペラ
5e…の移送作用により、ポンプケース2の吸入口2b
側から薬液を吸込み、同ポンプケース2の吐出口2c側
から薬液を吐出するので、薬液を連続輸送することがで
き、輸送速度および輸送圧力が一定し、薬液の輸送量が
安定し、大容量の輸送が可能である。The illustrated embodiment is configured as described above, and the operation of transporting a chemical solution by the electromagnetically driven pump 1 will be described below. First, the outer rotor 15 is rotated by the driving force of the rotation motor 17 having a deceleration function.
Outer magnet 14 fixed to inner rotor 5 and inner rotor 5
The inner rotor 5 bearing in the pump chamber 4 is driven to rotate by the magnetic force with the inner magnet 13 fixed to the pump chamber 4 in the transfer direction. At the same time, the transfer action of each impeller 5e formed in the inner rotor 5 causes the suction port 2b of the pump case 2 to move.
The chemical solution is sucked in from the side, and the chemical solution is discharged from the discharge port 2c side of the pump case 2, so that the chemical solution can be continuously transported, the transport speed and the transport pressure are constant, the transport amount of the chemical solution is stable, and the large capacity Transport is possible.
【0039】このように、電磁駆動式ポンプ1を構成す
るポンプケース2と、インナロータ5と、軸受フィルム
7,10と、支持部材8と、Oリング19とをフッ素樹
脂により形成し、かつ、キャンケース3と、固定シャフ
ト11と、スラストリング6,9と、軸受リング12と
を炭化珪素により形成しているので、例えば、化学工業
あるいは半導体産業等において取り扱われる腐蝕性流体
によりポンプ内部が腐蝕されるのを防止することがで
き、構成部分の耐圧強度が高いため、大きな輸送容量が
得られ、一定量の輸送流体を連続供給することができ
る。また、固定シャフト11を軸受する軸受部分を炭化
珪素により構成しているため、軸受に必要な機械的強度
が得られ、耐摩耗性が向上する効果がある。As described above, the pump case 2, the inner rotor 5, the bearing films 7 and 10, the support member 8, and the O-ring 19, which constitute the electromagnetically driven pump 1, are formed of a fluororesin, and Since the case 3, the fixed shaft 11, the thrust rings 6, 9 and the bearing ring 12 are formed of silicon carbide, for example, the inside of the pump is corroded by a corrosive fluid handled in the chemical industry or the semiconductor industry. Since the pressure resistance of the components is high, a large transport capacity can be obtained, and a constant amount of transport fluid can be continuously supplied. Further, since the bearing portion for bearing the fixed shaft 11 is made of silicon carbide, the mechanical strength required for the bearing is obtained, and the wear resistance is improved.
【0040】しかも、スラストリング6,9と固定シャ
フト11との対向周面にフッ素樹脂製の軸受フィルム
7,10を介在することで、スラストリング6,9と固
定シャフト11との接触が阻止され、相互の接触による
衝撃を軸受フィルム7,10により緩和するため、キャ
ンケース3に破損または損傷が生じるのを防止できる効
果がある。また、従来の電磁式ポンプ(特開昭59−1
80099号)に用いられるフッ素樹脂製のスリーブよ
りも軸受フィルム7,10が極薄であるため、軸受フィ
ルム7,10が摩耗しても、スラストリング6,9と固
定シャフト11との対向面間に生じるクリアランスが狭
く、高い軸受精度が得られる効果がある。Moreover, the contact between the thrust rings 6, 9 and the fixed shaft 11 is prevented by interposing the fluororesin bearing films 7, 10 on the opposing peripheral surfaces of the thrust rings 6, 9 and the fixed shaft 11. Further, since the impact due to mutual contact is reduced by the bearing films 7 and 10, there is an effect that breakage or damage of the can case 3 can be prevented. Further, a conventional electromagnetic pump (Japanese Unexamined Patent Publication No.
No. 80099), since the bearing films 7, 10 are extremely thinner than the fluororesin sleeve used in the present invention, even if the bearing films 7, 10 are worn, the distance between the opposing surfaces of the thrust rings 6, 9 and the fixed shaft 11 is reduced. The resulting clearance is narrow, and high bearing accuracy can be obtained.
【0041】さらに、スラストリング6,9と、固定シ
ャフト11と、軸受リング12とに形成した各回止め面
6a,6c,9a,9c,11b,11d,12aと、
ポンプケース2と、インナロータ5と、支持部材8とに
形成した各回止め面2f,5d,8cとを互いに合致さ
せて、各構成部品の対向面を面待遇で回止め固定するの
で、各構成部品の回止め部分に対して回転応力が集中せ
ず、相互を回止め固定するのに必要な機械的強度が得ら
れる効果がある。Further, each detent surface 6a, 6c, 9a, 9c, 11b, 11d, 12a formed on the thrust rings 6, 9, the fixed shaft 11, and the bearing ring 12,
The respective detent surfaces 2f, 5d, 8c formed on the pump case 2, the inner rotor 5, and the support member 8 are aligned with each other, and the opposing surfaces of the respective components are detent-fixed in a face treatment. There is an effect that the rotational stress is not concentrated on the non-rotating portions, and the mechanical strength necessary for fixing and fixing each other is obtained.
【0042】加えて、キャンケース3とスラストリング
9との対向面間にフッ素樹脂製の支持部材8を介在する
ことで、固定シャフト11の回転時に生じる振動および
衝撃が支持部材8により緩和され、キャンケース3が破
損または損傷するのを確実に防止することができる効果
がある。In addition, by interposing the supporting member 8 made of fluororesin between the opposing surfaces of the can case 3 and the thrust ring 9, vibrations and impacts generated when the fixed shaft 11 rotates are reduced by the supporting member 8, This has the effect of reliably preventing the can case 3 from being damaged or damaged.
【0043】また、キャンケース3のフランジ部3bに
嵌合したフッ素樹脂製の固定リング20を介して、ポン
プケース2とキャンケース3とを相互に締付け固定する
ので、キャンケース3のフランジ部3bに対して締付け
力が均一に付与され、締付け時に生じる応力によりキャ
ンケース3が破損または損傷するのを防止することがで
きる効果がある。Further, since the pump case 2 and the can case 3 are mutually fastened and fixed via the fluorine resin fixing ring 20 fitted to the flange portion 3b of the can case 3, the flange portion 3b of the can case 3 is fixed. Has an effect of being able to prevent the can case 3 from being damaged or damaged by the stress generated at the time of tightening.
【0044】図4はスラストリング6,9の他の回止め
構造を示し、ポンプケース2の嵌込み凹部2dとスラス
トリング6との対向周面に2箇所形成したV字形の各回
止め面2f,6aを互いに合致させて回転不可に嵌込み
固定し、スラストリング6の軸受孔6bと固定シャフト
11の一端側軸部11aとの対向周面に2箇所形成した
V字形の各回止め面6c,11bを互いに合致させて回
転不可に軸受する。FIG. 4 shows another detent structure of the thrust rings 6 and 9. V-shaped detent surfaces 2 f and 2 f formed at two locations on the peripheral surface of the thrust ring 6 opposite to the fitting recess 2 d of the pump case 2. The V-shaped detent surfaces 6c and 11b are formed at two locations on the peripheral surface of the thrust ring 6 opposite to the bearing hole 6b and the one end side shaft portion 11a. Are matched with each other and are non-rotatable.
【0045】上述と同様にして、キャンケース3に固定
した支持部材8の嵌込み凹部8aとスラストリング9と
の対向周面に2箇所形成したV字形の各回止め面8c,
9aを互いに合致させて回転不可に嵌込み固定し、スラ
ストリング9の軸受孔9bと固定シャフト11の他端側
軸部11cとの対向周面に2箇所形成したV字形の各回
止め面9c,11dを互いに合致させて回転不可に軸受
することで、上述と同様に、固定シャフト6の各軸部1
1a,11cを回転不可に軸受することができ、相互を
回止め固定するのに必要な機械的強度が得られる。In the same manner as described above, two V-shaped detent surfaces 8c formed at two locations on the peripheral surface of the thrust ring 9 opposite to the fitting recess 8a of the support member 8 fixed to the can case 3.
The V-shaped detent surfaces 9c, which are formed at two places on the opposing peripheral surface of the bearing hole 9b of the thrust ring 9 and the other end side shaft portion 11c of the fixed shaft 11, are fixed to each other. 11d are aligned with each other and non-rotatable, so that each shaft 1
The bearings 1a and 11c can be non-rotatably supported, and the mechanical strength necessary to stop and fix the members to each other can be obtained.
【0046】図5は軸受リング12の他の回止め構造を
示し、インナロータ5の嵌込み凹部5cと軸受リング1
2との対向周面に2箇所形成したV字形の各回止め面5
d,12aを互いに合致させて嵌込み固定するので、上
述の実施例と同様に、相互を回止め固定するのに必要な
機械的強度が得られる。FIG. 5 shows another rotation stopping structure of the bearing ring 12, in which the fitting recess 5 c of the inner rotor 5 and the bearing ring 1 are formed.
V-shaped detent surfaces 5 formed at two places on the peripheral surface opposite to 2
Since d and 12a are fitted with each other and fixed, the mechanical strength necessary to stop and fix each other is obtained as in the above-described embodiment.
【0047】この発明の構成と、上述の実施例との対応
において、この発明の原動機は、実施例の回転用モータ
17に対応し、以下同様に、固定部材は、固定リング2
0と、締付けリング21とに対応し、シールリングは、
Oリング19に対応し、固定手段は、ケーシング16
と、基台22と、ボルト23と、ナット24とに対応す
るも、この発明は、上述の実施例の構成のみに限定され
るものではない。In correspondence between the configuration of the present invention and the above-described embodiment, the prime mover of the present invention corresponds to the rotation motor 17 of the embodiment, and similarly, the fixing member is the fixing ring 2.
0 and the tightening ring 21, and the seal ring
The fixing means corresponds to the O-ring 19 and the casing 16
, The base 22, the bolts 23, and the nuts 24, but the present invention is not limited to the configuration of the above-described embodiment.
【0048】上述の実施例では、スラストリング6,9
と、固定シャフト11と、軸受リング12とに形成した
各回止め面6a,6c,9a,9c,11b,11d,
12aと、ポンプケース2と、インナロータ5と、支持
部材8とに形成した各回止め面2f,5d,8cとを2
箇所の合致させて回止め固定しているが、例えば、1箇
所または3箇所以上の適宜位置で合致させて回止め固定
するもよい。In the above embodiment, the thrust rings 6, 9
, The fixed shaft 11 and the bearing ring 12 formed on each of the detent surfaces 6a, 6c, 9a, 9c, 11b, 11d,
12a, the pump case 2, the inner rotor 5, and the support member 8, each of which has a detent surface 2 f, 5 d, 8 c.
Although the rotation is stopped and fixed in accordance with the locations, for example, the rotation may be stopped and fixed in one or three or more appropriate positions.
【図1】 本発明の電磁駆動式ポンプの内部構造を示す
縦断側面図。FIG. 1 is a longitudinal sectional side view showing an internal structure of an electromagnetically driven pump of the present invention.
【図2】 スラストリングの回止め構造を示すA−A矢
視断面図。FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of FIG.
【図3】 軸受リングの回止め構造を示すB−B矢視断
面図。FIG. 3 is a cross-sectional view of the bearing ring when viewed from the direction indicated by arrows BB in FIG.
【図4】 スラストリングの他の回止め構造を示す断面
図。FIG. 4 is a cross-sectional view showing another stop structure of the thrust ring.
【図5】 軸受リングの他の回止め構造を示す断面図。FIG. 5 is a sectional view showing another rotation stopping structure of the bearing ring.
2…ポンプケース 3…キャンケース 3b…フランジ部 4…ポンプ室 5…インナロータ 5b…挿通孔 5c…嵌込み凹部 5d…回止め面 6,9…スラストリング 9a,9c…回止め面 9b…軸受孔 7,10…軸受フィルム 8…支持部材 8a…嵌込み凹部 8c…回止め面 11…固定シャフト 11b,11d…回止め面 12…軸受リング 12a…回止め面 12b…軸受孔 13…インナマグネット 14…アウタマグネット 15…アウタロータ 16…ケーシング 17…回転用モータ 19…Oリング 20…固定リング 21…締付けリング 22…基台 23…ボルト 24…ナット 2 Pump case 3 Can case 3b Flange 4 Pump chamber 5 Inner rotor 5b Insertion hole 5c Fitting recess 5d Detent surface 6,9 Thrust ring 9a, 9c Detent surface 9b Bearing hole 7, 10 ... bearing film 8 ... support member 8a ... fitting concave part 8c ... detent surface 11 ... fixed shaft 11b, 11d ... detent surface 12 ... bearing ring 12a ... detent surface 12b ... bearing hole 13 ... inner magnet 14 ... Outer magnet 15 ... Outer rotor 16 ... Casing 17 ... Rotating motor 19 ... O-ring 20 ... Fixing ring 21 ... Tightening ring 22 ... Base 23 ... Bolt 24 ... Nut
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 酒造 豊 京都府福知山市長田野2丁目66番地の3 日本ピラー工業株式会社 福知山工場 内 (56)参考文献 特開 昭59−180099(JP,A) 特開 平3−70897(JP,A) 特開 昭63−280888(JP,A) ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Yutaka Shuzo 2-66-3, Nagatano, Fukuchiyama-shi, Kyoto Nippon Pillar Industry Co., Ltd. Fukuchiyama Plant (56) References JP-A-59-1880099 JP-A-3-70897 (JP, A) JP-A-63-280888 (JP, A)
Claims (5)
製のキャンケースとを密封状態に嵌合してこれら両ケー
ス内にポンプ室を形成し、該ポンプ室内にフッ素樹脂製
のインナロータを軸受し、原動機の駆動力により上記ポ
ンプ室外に配して軸支されたアウタロータを回転して、
アウタロータに固定したアウタマグネットと、インナロ
ータに固定したインナマグネットとの磁力により、ポン
プ室内に軸受したインナロータを移送方向に従動回転さ
せ、インナロータに形成した各インペラの移送作用によ
り、ポンプ室に形成した吸入口側から流体を吸入し、ポ
ンプ室の吐出口側から流体を吐出する電磁駆動式ポンプ
であって、 上記ポンプケースおよびキャンケースのポンプ室内側の
中央部に炭化珪素製の各スラストリングを固定し、 上記スラストリングの軸受孔と上記インナロータを可回
動に支持する固定シャフトの軸端側との対向周面にフッ
素樹脂製の軸受フィルムを介在した電磁駆動式ポンプ。A pump case made of fluororesin and a can case made of ceramic are fitted in a hermetically sealed state, and both casings are fitted together.
The pump chamber is formed in the scan, the fluororesin of the inner rotor and bearing to the pump chamber, the port by the driving force of the prime mover
The outer rotor, which is arranged outside the pump chamber and supported
Due to the magnetic force of the outer magnet fixed to the outer rotor and the inner magnet fixed to the inner rotor, the inner rotor bearing in the pump chamber is driven to rotate in the transfer direction, and the suction action formed in the pump chamber by the transfer action of each impeller formed in the inner rotor. An electromagnetically driven pump that sucks fluid from the mouth side and discharges fluid from the discharge port side of the pump chamber, wherein each thrust ring made of silicon carbide is fixed to the center of the pump case and the can case in the pump chamber side. An electromagnetically driven pump in which a fluororesin bearing film is interposed between a bearing hole of the thrust ring and a shaft end side of a fixed shaft rotatably supporting the inner rotor.
の対向面間にフッ素樹脂製の支持部材を介在した請求項
1記載の電磁駆動式ポンプ。2. The electromagnetically driven pump according to claim 1, wherein a supporting member made of a fluororesin is interposed between the opposing surfaces of said can case and said thrust ring.
フトの外周の外周に配置した軸受リングとの対向面に形
成された各回止め面を互いに合致させて嵌合固定した請
求項1記載の電磁駆動式ポンプ。3. The electromagnetic drive according to claim 1, wherein the respective detent surfaces formed on opposing surfaces of the insertion hole of the inner rotor and the bearing ring disposed on the outer periphery of the outer periphery of the fixed shaft are fitted and fixed to each other. Type pump.
記スラストリングとの対向面に形成した各回止め面を互
いに合致させて嵌合固定した請求項1記載の電磁駆動式
ポンプ。4. The electromagnetically driven pump according to claim 1, wherein the fitting recess formed in the support member and the respective detent surfaces formed on the surface facing the thrust ring are fitted and fixed to each other.
側周縁部をフッ素樹脂製のシールリングを介して密封状
態に嵌合し、 上記キャンケースの外周部に形成したフランジ部にフッ
素樹脂製の固定リングを嵌合し、 上記ポンプケース側に嵌合した金属製の固定部材と、上
記固定リング側に嵌合した金属製の固定部材とを適宜固
定手段で締付け固定した請求項1記載の電磁駆動式ポン
プ。5. A perimeter edge of the pump case and the can case on the fitting side is hermetically fitted via a seal ring made of a fluororesin, and a fluororesin is formed on a flange formed on an outer periphery of the can case. 2. The fixing ring according to claim 1, wherein the metal fixing member fitted to the pump case side and the metal fixing member fitted to the fixing ring side are tightened and fixed by an appropriate fixing means. Electromagnetic drive pump.
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