JP2619807B2 - Electromagnetic drive pump - Google Patents
Electromagnetic drive pumpInfo
- Publication number
- JP2619807B2 JP2619807B2 JP6099347A JP9934794A JP2619807B2 JP 2619807 B2 JP2619807 B2 JP 2619807B2 JP 6099347 A JP6099347 A JP 6099347A JP 9934794 A JP9934794 A JP 9934794A JP 2619807 B2 JP2619807 B2 JP 2619807B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- case
- bearing
- fixed
- fitted
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、腐蝕性
流体を取り扱う化学工業あるいは半導体産業等におい
て、薬液処理を必要とする分野に用いられる電磁駆動式
ポンプに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electromagnetically driven pump used in a field requiring chemical treatment, for example, in the chemical industry or the semiconductor industry which handles corrosive fluids.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、上述のような分野に用いられる電
磁駆動式ポンプとしては、例えば、ポンプケースとキャ
ンケースとを嵌合してこれら両ケース内に形成されたポ
ンプ室内にインナロータを軸受し、回転用モータの駆動
力によりポンプ室外に配して軸支したアウタロータを回
転して、このアウタロータに固定したアウタマグネット
と、インナロータに固定したインナマグネットとの磁力
により、ポンプ室内に軸受したインナロータを移送方向
に従動回転すると共に、インナロータに形成した複数の
インペラの移送作用により、ポンプ室に形成した吸入口
側から薬液を吸込み、ポンプ室の吐出口側から薬液を吐
出する電磁駆動式ポンプ（特開昭６３−２８０８８８
号）がある。2. Description of the Related Art Conventionally, as an electromagnetically driven pump used in the above fields, for example, a pump chamber formed by fitting a pump case and a can case in both cases is provided. The inner rotor is mounted on the outer rotor, and the outer rotor, which is disposed outside the pump chamber and supported by the rotation motor, is rotated by the driving force of the rotation motor. The inner rotor that is driven in the transfer direction is driven to rotate, and the transfer action of the plurality of impellers formed in the inner rotor sucks the chemical from the suction port side formed in the pump chamber and discharges the chemical from the discharge port side of the pump chamber. Driving pump (JP-A-63-280888)
No.).
【０００３】しかし、この従来構造の電磁駆動式ポンプ
は、流体と接触する部分を金属材料により構成している
ので、半導体産業等において取り扱われる腐蝕性流体を
輸送する場合、腐蝕性流体と接触する金属部分が腐蝕さ
れ、ポンプ機能が損なわれるため、腐蝕性流体の輸送に
は適用することができない。However, in the electromagnetically driven pump having the conventional structure, a portion which is in contact with the fluid is made of a metal material. Therefore, when the corrosive fluid handled in the semiconductor industry or the like is transported, it comes into contact with the corrosive fluid. It is not applicable to the transport of corrosive fluids because the metal parts are corroded and the pump function is impaired.
【０００４】また特開昭５９−１８００９９号公報に開
示された従来の電磁駆動式ポンプは、セラミックス製の
キャンケースに形成した軸受孔に、インナロータに挿通
した固定シャフトの一端側軸部を直接差込んで軸受して
いるため、インナロータの回転時に生じる振動がキャン
ケースに対して直接伝達され、その時に生じる衝撃によ
りキャンケースが破損または損傷するという問題点を有
している。加えて、キャンケースの軸受孔と固定シャフ
トとの対向周面に介在したフッ素樹脂製のスリーブが厚
肉であるため、スリーブが摩耗すると、キャンケースの
軸受孔と固定シャフトとの対向周面に生じるクリアラン
スが大きくなり、回転時に生じる振動が増大するだけで
なく、固定シャフトの回転に支障を来すという問題点を
有している。In the conventional electromagnetically driven pump disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 59-188009, one end of a fixed shaft inserted through an inner rotor is directly inserted into a bearing hole formed in a ceramic can case. Since the bearing is inserted into the bearing, vibration generated when the inner rotor rotates is directly transmitted to the can case, and there is a problem in that the can case is damaged or damaged by an impact generated at that time. In addition, the fluoroplastic sleeve interposed between the bearing hole of the can case and the fixed shaft is thick, so if the sleeve is worn, the sleeve will wear on the facing surface between the bearing hole of the can case and the fixed shaft. There is a problem that not only the generated clearance becomes large and the vibration generated during rotation increases, but also the rotation of the fixed shaft is hindered.
【０００５】さらに実公昭５４−４４１１２号公報に開
示された従来の電磁駆動式ポンプは、ハウジングに形成
した孔部に軸受を差込んで回転不可に嵌合固定するが、
孔部と軸受との嵌合形状が複雑であるため、軸受に形成
した各リブの根元部分に対して応力集中が生じ、径方向
および軸方向に生じる負荷により、軸受の各リブが破損
または損傷しやすいという問題点を有している。Further, in the conventional electromagnetically driven pump disclosed in Japanese Utility Model Publication No. 54-44112, a bearing is inserted into a hole formed in a housing and fixed so as not to rotate.
Due to the complicated shape of the fitting between the hole and the bearing, stress concentration occurs at the root of each rib formed on the bearing, and the ribs in the bearing are damaged or damaged due to the radial and axial loads. There is a problem that it is easy to do.
【０００６】一方、従来のベローズ型ポンプは、ケミカ
ル分野に適用されるためフッ素樹脂のみで構成している
が、ポンプ室内に収納されたベローズを加圧エアにより
伸縮して薬液を輸送するので、薬液の流速および流量に
脈動が生じ、輸送量を一定に保つことができず、加え
て、ベローズの耐圧強度が低く、大きな輸送容量が確保
できないという問題点を有している。On the other hand, the conventional bellows type pump is composed of only a fluororesin because it is applied to the chemical field, but the bellows housed in the pump chamber is expanded and contracted by pressurized air to transport the chemical solution. Pulsation occurs in the flow velocity and the flow rate of the chemical solution, so that the transport amount cannot be kept constant. In addition, there is a problem that the pressure resistance of the bellows is low and a large transport capacity cannot be secured.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】この発明の請求項１記
載の発明は、特にセラミック製のキャンケースに形成さ
れた軸受孔に対して、インナロータに挿通した固定シャ
フトの軸端側を直接差し込んで軸受する場合、インナロ
ータの回転時に生じる振動がキャンケースに直接伝達さ
れて生ずる衝撃によりキャンケースが破損もしくは損傷
するという問題点を解決するために、スラストリングの
軸受孔と固定シャフトの軸端側との対向周面にフッ素樹
脂製の軸受フィルムを介在させることで、この軸受フィ
ルムにて相互の接触による衝撃を緩和して、キャンケー
スの破損もしくは損傷を防止し、しかもフッ素樹脂スリ
ーブに対して極薄の軸受フィルムを用いることで、スラ
ストリングと固定シャフトとの対向面間に生じるクリア
ランスを狭くして、高い軸受精度を確保することができ
る電磁駆動式ポンプの提供を目的とする。According to the first aspect of the present invention, the shaft end of a fixed shaft inserted through an inner rotor is directly inserted into a bearing hole formed in a ceramic can case. In the case of bearings, in order to solve the problem that the vibration generated during rotation of the inner rotor is directly transmitted to the can case and the can case is broken or damaged, the thrust ring bearing hole and the shaft end side of the fixed shaft are fixed. By interposing a fluororesin bearing film on the opposing peripheral surface of the bearing, the impact due to mutual contact is reduced by this bearing film, and damage or damage to the can case is prevented. By using a thin bearing film, the clearance between the opposing surfaces of the thrust ring and the fixed shaft can be reduced. And to provide the electromagnetically driven pump which can ensure high bearing accuracy.
【０００８】この発明の請求項２記載の発明は、上記請
求項１記載の発明の目的と併せて、上述のキャンケース
とスラストリングとの対向面間にフッ素樹脂製の支持部
材を介設することで、インナロータの回転時に発生する
固定シャフトの振動、衝撃を支持部材により緩和して、
キャンケースの破損、損傷を確実に防止することができ
る電磁駆動式ポンプの提供を目的とする。According to a second aspect of the present invention, in addition to the object of the first aspect, a supporting member made of fluororesin is interposed between the opposing surfaces of the can case and the thrust ring. In this way, the vibration and impact of the fixed shaft generated when the inner rotor rotates are reduced by the support member,
It is an object of the present invention to provide an electromagnetically driven pump capable of reliably preventing a can case from being damaged or damaged.
【０００９】この発明の請求項３記載の発明は、上記請
求項１記載の発明の目的と併せて、上述のインナロータ
の挿通孔と固定シャフトの外周に配置した軸受リングと
の対向面に形成された各回止め面を互いに合致させて嵌
合固定することで、回止めに必要な機械的強度を確保し
て、相互を確実に回止めすることができる電磁駆動式ポ
ンプの提供を目的とする。According to a third aspect of the present invention, in addition to the object of the first aspect, the invention is formed on a surface of the inner rotor opposite to the bearing ring disposed on the outer periphery of the fixed shaft. It is another object of the present invention to provide an electromagnetically driven pump that can secure the mechanical strength required for the rotation stop by fitting and locking the respective rotation stop surfaces to each other and securely stop the mutual rotation.
【００１０】この発明の請求項４記載の発明は、上記請
求項１記載の発明の目的と併せて、支持部材に形成した
嵌込み凹部と、スラストリングとの対向面に形成した回
止め面を互いに合致させて嵌合固定することで、回止め
に必要な機械的強度を確保して、相互を確実に回止めす
ることができる電磁駆動式ポンプの提供を目的とする。According to a fourth aspect of the present invention, in addition to the object of the first aspect, a fitting recess formed in the support member and a detent surface formed on a surface facing the thrust ring are provided. It is an object of the present invention to provide an electromagnetically driven pump that can secure the mechanical strength required for rotation stop by fitting and fixing them together so that they can be reliably stopped.
【００１１】この発明の請求項５記載の発明は、上記請
求項１記載の発明の目的と併せて、キャンケースのフラ
ンジ部に対する均一な締付け力を確保して、キャンケー
スの破損、損傷を防止することができる電磁駆動式ポン
プの提供を目的とする。According to a fifth aspect of the present invention, in addition to the object of the first aspect, a uniform tightening force is secured to a flange portion of the can case to prevent breakage and damage of the can case. It is an object of the present invention to provide an electromagnetically driven pump that can be used.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１記載
の発明は、フッ素樹脂製のポンプケースとセラミック製
のキャンケースとを密封状態に嵌合してこれら両ケース
内にポンプ室を形成し、該ポンプ室内にフッ素樹脂製の
インナロータを軸受し、原動機の駆動力により上記ポン
プ室外に配して軸支されたアウタロータを回転して、ア
ウタロータに固定したアウタマグネットと、インナロー
タに固定したインナマグネットとの磁力により、ポンプ
室内に軸受したインナロータを移送方向に従動回転さ
せ、インナロータに形成した各インペラの移送作用によ
り、ポンプ室に形成した吸入口側から流体を吸入し、ポ
ンプ室の吐出口側から流体を吐出する電磁駆動式ポンプ
であって、上記ポンプケースおよびキャンケースのポン
プ室の内側中央部に炭化珪素製の各スラストリングを固
定し、上記スラストリングの軸受孔と上記インナロータ
を可回動に支持する固定シャフトの軸端側との対向周面
にフッ素樹脂製の軸受フィルムを介在した電磁駆動式ポ
ンプであることを特徴とする。According to the first aspect of the present invention, a pump case made of a fluororesin and a can case made of a ceramic are fitted in a hermetically sealed state, and these two cases are sealed.
The pump chamber is formed within, and bearing the inner rotor made of fluororesin to the pump chamber, the Pont by the driving force of the prime mover
The outer rotor, which is disposed outside the pump chamber and supported by rotation, is rotated, and the inner rotor fixed in the pump chamber is driven to rotate in the transfer direction by the magnetic force of the outer magnet fixed to the outer rotor and the inner magnet fixed to the inner rotor. An electromagnetically driven pump that sucks fluid from a suction port side formed in a pump chamber and discharges fluid from a discharge port side of a pump chamber by a transfer action of each impeller formed in the pump case and the can case. Each thrust ring made of silicon carbide is fixed to the center of the inside of the pump chamber, and a fluororesin is formed on the peripheral surface of the bearing hole of the thrust ring and the shaft end side of the fixed shaft that rotatably supports the inner rotor. It is an electromagnetically driven pump with a bearing film interposed.
【００１３】 この発明の請求項２記載の発明は、上記請
求項１記載の発明の構成と併せて、上記キャンケースと
上記スラストリングとの対向面間にフッ素樹脂製の支持
部材を介在した電磁駆動式ポンプであることを特徴とす
る。[0013] The invention of claim 2 of the present invention
In addition to the configuration of the invention described in claim 1,
Support made of fluororesin between the surface facing the thrust ring
It is characterized by being an electromagnetically driven pump with interposed members
You.
【００１４】この発明の請求項３記載の発明は、上記請
求項１記載の発明の構成と併せて、上記インナロータの
挿通孔と上記固定シャフトの外周に配置した軸受リング
との対向面に形成された各回止め面を互いに合致させて
嵌合固定した電磁駆動式ポンプであることを特徴とす
る。According to a third aspect of the present invention, in addition to the configuration of the first aspect, the invention is formed on a surface of the inner rotor facing an insertion hole and a bearing ring disposed on the outer periphery of the fixed shaft. Further, the pump is characterized in that it is an electromagnetically driven pump in which the respective locking surfaces are fitted to each other and fitted and fixed.
【００１５】この発明の請求項４記載の発明は、上記請
求項１記載の発明の構成と併せて、、上記支持部材に形
成した嵌込み凹部と、上記スラストリングとの対向面に
形成した各回止め面を互いに合致させて嵌合固定した電
磁駆動式ポンプであることを特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, in addition to the configuration of the first aspect of the present invention, each of the recesses formed in the support member and the thrust ring formed on the surface facing the thrust ring is provided. It is an electromagnetically driven pump in which the stop surfaces are matched with each other and fitted and fixed.
【００１６】この発明の請求項５記載の発明は、上記請
求項１記載の発明の構成と併せて、上記ポンプケースと
キャンケースとの嵌合側周縁部をフッ素樹脂製のシール
リングを介して密封状態に嵌合し、上記キャンケースの
外周部に形成したフランジ部にフッ素樹脂製の固定リン
グを嵌合し、上記ポンプケース側に嵌合した金属製の固
定部材と、上記固定リング側に嵌合した金属製の固定部
材とを適宜固定手段で締付け固定した電磁駆動式ポンプ
であることを特徴とする。According to a fifth aspect of the present invention, in addition to the structure of the first aspect of the present invention, a peripheral edge of the fitting side between the pump case and the can case is interposed via a seal ring made of fluororesin. Fitted in a sealed state, fitted with a fluororesin fixing ring on the flange formed on the outer periphery of the can case, and a metal fixing member fitted on the pump case side, and on the fixing ring side It is an electromagnetically driven pump in which the fitted metal fixing member is appropriately fixed by a fixing means.
【００１７】[0017]
【作用】この発明の請求項１記載の電磁駆動式ポンプ
は、フッ素樹脂製のポンプケースとセラミック製のキャ
ンケースとを密封状態に嵌合して両ケース内に形成され
るポンプ室内にフッ素樹脂製のインナロータを収納し、
各ケースに固定した炭化珪素製の各スラストリングで、
固定シャフトを軸受しているので、軸受に必要な機械的
強度が得られると共に、腐蝕性流体によりポンプ内部が
腐蝕されるのを防止しつつ、スラストリングの軸受孔と
固定シャフトの軸端側との対向周面にフッ素樹脂製の軸
受フィルムを介在したので、スラストリングと固定シャ
フトとの接触による衝撃が軸受フィルムにより緩和され
る。The electromagnetically driven pump according to the first aspect of the present invention is formed in both cases by fitting a pump case made of fluororesin and a can case made of ceramic in a sealed state.
A fluorine resin of the inner rotor housed in the pump chamber that,
With each thrust ring made of silicon carbide fixed to each case,
Since the fixed shaft is bearing, the mechanical strength required for the bearing is obtained, and the inside of the pump is prevented from being corroded by corrosive fluid, while the thrust ring bearing hole and the shaft end side of the fixed shaft are Since the bearing film made of fluororesin is interposed on the opposing peripheral surface of the bearing, the impact caused by the contact between the thrust ring and the fixed shaft is reduced by the bearing film.
【００１８】この発明の請求項２記載の電磁駆動式ポン
プは、キャンケースの室内側中央面とスラストリングと
の対向面間にフッ素樹脂製の支持部材を介在したので、
インナロータの回転時に生じる固定シャフトの振動およ
び衝撃が支持部材により緩和される。In the electromagnetically driven pump according to a second aspect of the present invention, since the support member made of fluororesin is interposed between the center surface of the can case on the indoor side and the surface facing the thrust ring,
Vibration and impact of the fixed shaft generated when the inner rotor rotates are reduced by the support member.
【００１９】この発明の請求項３記載の電磁駆動式ポン
プは、インナロータの挿通孔と軸受リングとに形成した
各回止め面を互いに合致させて嵌合固定することで、回
止めに必要な機械的強度が得られ、相互を確実に回止め
することができる。According to a third aspect of the present invention, there is provided an electromagnetically driven pump, wherein the respective detent surfaces formed in the insertion hole of the inner rotor and the bearing ring are fitted to each other so as to be fitted to each other, so that the mechanical necessary for the detent is achieved. Strength can be obtained and the mutual can be reliably stopped.
【００２０】この発明の請求項４記載の電磁駆動式ポン
プは、支持部材の嵌込み凹部とスラストリングとに形成
した各回止め面を互いに合致させて嵌合固定すること
で、回止めに必要な機械的強度が得られ、相互を確実に
回止めすることができる。In the electromagnetically driven pump according to a fourth aspect of the present invention, the detents formed in the fitting recess of the support member and the thrust ring are fitted and fixed to each other so as to be fitted to each other, so that the detent is necessary for the detent. The mechanical strength is obtained, and the two can be reliably stopped.
【００２１】この発明の請求項５記載の電磁駆動式ポン
プは、ポンプケースとキャンケースとをフッ素樹脂製の
シールリングを介して嵌合した後、キャンケースのフラ
ンジ部に嵌合したフッ素樹脂製の固定リングを介して、
ポンプケース側に嵌合した金属製の固定部材と、固定リ
ング側に嵌合した金属製の固定部材とをボルト、ナット
等の適宜固定手段により締付け固定するので、キャンケ
ースのフランジ部に対して締付け力が均一に付与され、
キャンケースの破損および損傷を防止する。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided an electromagnetically driven pump, wherein the pump case and the can case are fitted via a fluorine resin seal ring and then fitted to the flange portion of the can case. Through the fixing ring of
The metal fixing member fitted to the pump case side and the metal fixing member fitted to the fixing ring side are tightened and fixed by appropriate fixing means such as bolts and nuts. Tightening force is evenly applied,
Prevent breakage and damage of the can case.
【００２２】[0022]
【発明の効果】このように、本発明の請求項１記載の発
明によれば、ポンプ内部の輸送流体と接触する部分をフ
ッ素樹脂、セラミック、炭化珪素により構成しているの
で、例えば、化学工業あるいは半導体産業等において取
り扱われる腐蝕性流体によりポンプ内部が腐蝕されるの
防止することができ、構成部分の耐圧強度が高いため、
大きな輸送容量が得られ、一定量の輸送流体を連続して
供給することができ、かつ、固定シャフトを軸受する軸
受部分を炭化珪素により構成しているため、軸受に必要
な機械的強度が得られ、耐摩耗性が向上することは勿論
である。As described above, according to the first aspect of the present invention, the portion of the pump that comes into contact with the transport fluid is made of fluororesin, ceramic, or silicon carbide. Alternatively, the inside of the pump can be prevented from being corroded by a corrosive fluid handled in the semiconductor industry, etc., and the pressure resistance of the component parts is high,
A large transport capacity can be obtained, a constant amount of transport fluid can be supplied continuously, and the bearing part for bearing the fixed shaft is made of silicon carbide, so that the mechanical strength required for the bearing is obtained. Of course, the wear resistance is improved.
【００２３】しかも、スラストリングの軸受孔と固定シ
ャフトとの対向周面にフッ素樹脂製の軸受フィルムを介
在したので、スラストリングと固定シャフトとの接触が
阻止され、相互の接触による衝撃を軸受フィルムにより
緩和することができる。この結果、キャンケースに、破
損または損傷が生じるのを防止できる効果がある。In addition, since the bearing film made of fluororesin is interposed between the bearing hole of the thrust ring and the fixed shaft, the contact between the thrust ring and the fixed shaft is prevented, and the impact due to mutual contact is prevented. Can be alleviated. As a result, it is possible to prevent the can case from being damaged or damaged.
【００２４】また、従来の電磁式ポンプ（特開昭５９−
１８００９９号）に用いられるフッ素樹脂製のスリーブ
よりも軸受フィルムが極薄であるため、フッ素樹脂製の
軸受フィルムが摩耗しても、スラストリングと固定シャ
フトとの対向面間に生じるクリアランスが狭く、高い軸
受精度が得られる効果がある。A conventional electromagnetic pump (JP-A-59-1984)
Since the bearing film is extremely thinner than the fluororesin sleeve used in Japanese Patent No. 1800099), even if the fluororesin bearing film is worn, the clearance generated between the opposed surfaces of the thrust ring and the fixed shaft is narrow, There is an effect that high bearing accuracy can be obtained.
【００２５】この発明の請求項２記載の発明によれば、
上記請求項１記載の発明の効果と併せて、キャンケース
とスラストリングとの対向面間に支持部材を介在したの
で、インナロータの回転時に生じる固定シャフトの振動
および衝撃がフッ素樹脂製の支持部材により緩和され、
キャンケースが破損もしくは損傷するのを確実に防止す
ることができる効果がある。According to the invention described in claim 2 of the present invention,
In addition to the effect of the first aspect of the present invention, since the supporting member is interposed between the opposing surfaces of the can case and the thrust ring, the vibration and the shock of the fixed shaft generated when the inner rotor rotates can be reduced by the supporting member made of fluororesin. Relaxed,
There is an effect that the can case can be reliably prevented from being damaged or damaged.
【００２６】この発明の請求項３記載の発明によれば、
上記請求項１記載の発明の効果と併せて、上述のインナ
ロータの挿通孔と固定シャフトの外周に配置した軸受リ
ングとの対向面に形成された各回止め面を互いに合致さ
せて嵌合固定したので、各構成部品の対向面を面待遇で
回止め固定することができて、各構成部品の回止部分に
対して回転応力が集中しない。このため回止めに必要な
機械的強度を確保することができて、相互を確実に回止
めすることができる効果がある。According to the third aspect of the present invention,
In addition to the effect of the first aspect of the present invention, the detent surfaces formed on the facing surface of the above-described inner rotor insertion hole and the bearing ring disposed on the outer periphery of the fixed shaft are fitted and fixed so as to match each other. In addition, the opposing surfaces of the respective components can be stopped and fixed in the face treatment, and the rotational stress does not concentrate on the detent portions of the respective components. For this reason, it is possible to secure the mechanical strength necessary for the rotation stop, and it is possible to reliably stop the mutual rotation.
【００２７】この発明の請求項４記載の発明によれば、
上記請求項１記載の発明の効果と併せて、支持部材に形
成した嵌込み凹部と、スラストリングとの対向面に形成
した回止め面を互いに合致させて嵌合固定したので、上
述同様の原理により、回止めに必要な機械的強度を確保
することができて、相互を確実に回止めすることができ
る効果がある。According to the invention described in claim 4 of the present invention,
In addition to the effect of the first aspect of the present invention, the fitting concave portion formed on the support member and the detent surface formed on the surface facing the thrust ring are fitted to each other and fitted and fixed. Thereby, it is possible to secure the mechanical strength necessary for stopping the rotation, and to effectively stop the mutual rotation.
【００２８】この発明の請求項５記載の発明によれば、
上記請求項１記載の発明の効果と併せて、キャンケース
のフランジ部に嵌合したフッ素樹脂製の固定リングを介
して、フッ素樹脂製のポンプケースとセラミック製のキ
ャンケースとを相互に締付け固定するので、キャンケー
スのフランジ部に対して締付け力が均一に付与され、締
付け時に生じる応力によりキャンケースが破損もしくは
損傷するのを防止することができる効果がある。According to the invention described in claim 5 of the present invention,
In addition to the effect of the first aspect of the present invention, the fluorine resin pump case and the ceramic can case are mutually tightened and fixed via the fluorine resin fixing ring fitted to the flange portion of the can case. Therefore, the clamping force is uniformly applied to the flange portion of the can case, and there is an effect that it is possible to prevent the can case from being damaged or damaged by the stress generated at the time of the fastening.
【００２９】[0029]
【実施例】この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳
述する。図面は半導体産業において取り扱われる腐蝕性
流体を輸送するための電磁駆動式ポンプを示し、図１に
おいて、この電磁駆動式ポンプ１は、フッ素樹脂製のポ
ンプケース２と炭化珪素（ＳｉＯ）製のキャンケース３
とを密封状態に嵌合固定してポンプ室４を形成し、この
ポンプ室４内に軸受したフッ素樹脂製のインナロータ５
をインナマグネット１３とアウタマグネット１４との磁
力により回転して、同インナロータ５に形成した多数枚
の各インペラ５ｅ…の移送作用により、ポンプケース２
に形成した吸入口２ｂ側から吐出口２ｃ側に向けて薬液
を連続輸送する構造である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. The drawings show an electromagnetically driven pump for transporting corrosive fluids handled in the semiconductor industry. In FIG. 1, this electromagnetically driven pump 1 has a pump case 2 made of fluororesin and a canister made of silicon carbide (SiO). Case 3
Are fitted and fixed in a sealed state to form a pump chamber 4, and a fluororesin inner rotor 5 bearing in the pump chamber 4.
Are rotated by the magnetic force of the inner magnet 13 and the outer magnet 14, and the pump case 2 is moved by the transfer action of the plurality of impellers 5e formed on the inner rotor 5.
The structure is such that the liquid medicine is continuously transported from the suction port 2b side formed in the above to the discharge port 2c side.
【００３０】上述のポンプケース２は、ＰＴＦＥ、ＰＦ
Ａ等のフッ素樹脂でケース本体２ａを形成し、このケー
ス本体２ａの一側面中央部に上述したポンプ室４を構成
する一方の分割室４ａを形成し、このケース本体２ａの
他側面下部に分割室４ａと連通して吸入口２ｂと吐出口
２ｃとを形成し、分割室４ａの内側中央面に炭化珪素製
のスラストリング６を嵌込み固定するための嵌込み凹部
２ｄを形成すると共に、この嵌込み凹部２ｄの中心部に
固定シャフト１１の一端側軸部１１ａを差込むための軸
受孔２ｅを形成している。つまり、図２に示すように、
ケース本体２ａに形成した嵌込み凹部２ｄにスラストリ
ング６を嵌込み、嵌込み凹部２ｄの内周面に形成した２
箇所または複数箇所の各回止め面２ｆ，２ｆと、スラス
トリング６の外周面に形成した２箇所または複数箇所の
各回止め面６ａ，６ａとを互いに合致させて回転不可に
嵌込み固定している。The above-mentioned pump case 2 is made of PTFE, PF
A case body 2a is formed of a fluororesin such as A, and one of the divided chambers 4a constituting the pump chamber 4 is formed in the center of one side surface of the case body 2a. A suction port 2b and a discharge port 2c are formed in communication with the chamber 4a, and a fitting recess 2d for fitting and fixing a thrust ring 6 made of silicon carbide is formed in the inner central surface of the divided chamber 4a. A bearing hole 2e for inserting the one end side shaft portion 11a of the fixed shaft 11 is formed in the center of the fitting concave portion 2d. That is, as shown in FIG.
The thrust ring 6 is fitted into the fitting recess 2d formed in the case body 2a, and the thrust ring 6 is formed on the inner peripheral surface of the fitting recess 2d.
Each or a plurality of detent surfaces 2f, 2f and two or a plurality of detent surfaces 6a, 6a formed on the outer peripheral surface of the thrust ring 6 are mutually fitted and fixed so that they cannot rotate.
【００３１】また、スラストリング６の中心部に固定シ
ャフト１１の一端側軸部１１ａを軸受するための軸受孔
６ｂを形成し、この軸受孔６ｂに対して固定シャフト１
１の一端側軸部１１ａを差込むと共に、スラストリング
６に形成した軸受孔６ｂと、固定シャフト１１の一端側
軸部１１ａとの対向周面にフッ素樹脂製の軸受フィルム
７を介在して、軸受孔６ｂの内周面に形成した２箇所ま
たは複数箇所の各回止め面６ｃ，６ｃと、一端側軸部１
１ａの外周面に形成した２箇所または複数箇所の各回止
め面１１ｂ，１１ｂとを互いに合致させることで、固定
シャフト１１の一端側軸部１１ａを回転不可に軸受して
いる。A bearing hole 6b for bearing the shaft portion 11a on one end side of the fixed shaft 11 is formed at the center of the thrust ring 6, and the fixed shaft 1 is inserted into the bearing hole 6b.
1 and a bearing film 6 made of fluororesin is interposed between a bearing hole 6b formed in the thrust ring 6 and a peripheral surface of the fixed shaft 11 facing the one end shaft 11a. Two or more detent surfaces 6c, 6c formed on the inner peripheral surface of the bearing hole 6b;
The one end side shaft portion 11a of the fixed shaft 11 is non-rotatably supported by matching two or a plurality of detent surfaces 11b, 11b formed on the outer peripheral surface of 1a with each other.
【００３２】前述のキャンケース３は、炭化珪素（Ｓｉ
Ｃ）等のセラミックスでキャン本体３ａを形成し、この
キャン本体３ａの開放側に上述したポンプ室４を構成す
る他方の分割室４ｂを形成し、この分割室４ｂの内側中
央面にフッ素樹脂製の支持部材８を固定し、この支持部
材８の中央面に炭化珪素製のスラストリング９を嵌込み
固定するための嵌込み凹部８ａを形成すると共に、この
嵌込み凹部８ａの中心部に固定シャフト１１の他端側軸
部１１ｃを差込むための軸受孔８ｂを形成している。つ
まり、支持部材８に形成した嵌込み凹部８ａにスラスト
リング９を嵌込み、嵌込み凹部８ａの内周面に形成した
１箇所または２箇所以上の各回止め面８ｃ，８ｃと、ス
ラストリング９の外周面に形成した１箇所または２箇所
以上の各回止め面９ａ，９ａとを互いに合致させて回転
不可に嵌込み固定している。The above-mentioned can case 3 is made of silicon carbide (Si)
C), etc., the can body 3a is formed, and the other divided chamber 4b constituting the pump chamber 4 is formed on the open side of the can body 3a. The support member 8 is fixed, and a fitting recess 8a for fitting and fixing the thrust ring 9 made of silicon carbide is formed in the center surface of the support member 8, and a fixed shaft is formed at the center of the fitting recess 8a. A bearing hole 8b for inserting the other end side shaft portion 11c of the bearing 11 is formed. That is, the thrust ring 9 is fitted into the fitting concave portion 8a formed in the support member 8, and one or two or more detent surfaces 8c, 8c formed on the inner peripheral surface of the fitting concave portion 8a and the thrust ring 9 One or two or more detent surfaces 9a, 9a formed on the outer peripheral surface are fitted and fixed so that they cannot rotate and match each other.
【００３３】さらに、スラストリング９の中心部に固定
シャフト１１の他端側軸部１１ｃを軸受するための軸受
孔９ｂを形成し、スラストリング９の軸受孔９ｂに対し
て固定シャフト１１の他端側軸部１１ｃを差込むと共
に、スラストリング９に形成した軸受孔９ｂと、固定シ
ャフト１１の他端側軸部１１ｃとの対向周面にフッ素樹
脂製の軸受フィルム１０を介在して、軸受孔９ｂの内周
面に形成した各回止め面９ｃ，９ｃと、他端側軸部１１
ｃの外周面に形成した各回止め面１１ｄ，１１ｄとを互
いに合致させることで、固定シャフト１１の他端側軸部
１１ｃを回転不可に軸受している。Further, a bearing hole 9b for bearing the other end side shaft portion 11c of the fixed shaft 11 is formed in the center portion of the thrust ring 9, and the other end of the fixed shaft 11 is opposed to the bearing hole 9b of the thrust ring 9. The bearing hole 9b formed in the thrust ring 9 and the bearing film 10 made of fluororesin are interposed on the peripheral surface of the fixed shaft 11 facing the other end shaft portion 11c. Each detent surface 9c, 9c formed on the inner peripheral surface of 9b, and the other end side shaft portion 11
The other end side shaft portion 11c of the fixed shaft 11 is non-rotatably supported by matching the respective rotation stop surfaces 11d, 11d formed on the outer circumferential surface of the fixed shaft 11 with each other.
【００３４】なお、上述したスラストリング９は、図２
に示すスラストリング６の回止め構造と同一であるた
め、その図示を省略する。It should be noted that the thrust ring 9 described above corresponds to FIG.
Since the structure is the same as that of the thrust ring 6 shown in FIG.
【００３５】前述のインナロータ５は、例えば、ＰＴＦ
Ｅ、ＰＦＡ等のフッ素樹脂でロータ本体５ａを形成し、
このロータ本体５ａの回転中心に炭化珪素製の固定シャ
フト１１を挿通するための挿通孔５ｂを形成し、この挿
通孔５ｂの両端側内周面に炭化珪素製の軸受リング１２
を嵌込み固定するための各嵌込み凹部５ｃ，５ｃを形成
している。つまり、図３に示すように、挿通孔５ｂに形
成した各嵌込み凹部５ｃ，５ｃに各軸受リング１２，１
２を嵌込み、これら各嵌込み凹部５ｃ，５ｃの内周面に
形成した１箇所または２箇所以上の各回止め面５ｄ，５
ｄと、軸受リング１２の外周面に形成した１箇所または
２箇所以上の各回止め面１２ａ，１２ａとを互いに合致
させて回転不可に嵌込み固定すると共に、各軸受リング
１２，１２の中心部に形成した各軸受孔１２ｂ，１２ｂ
に対して固定シャフト１１の中央軸部１１ｅを挿入して
いる。The inner rotor 5 is, for example, a PTF
E, the rotor body 5a is formed of a fluororesin such as PFA,
An insertion hole 5b for inserting a fixed shaft 11 made of silicon carbide is formed at the center of rotation of the rotor main body 5a, and a bearing ring 12 made of silicon carbide is formed on an inner peripheral surface on both ends of the insertion hole 5b.
Are formed in each of the fitting recesses 5c, 5c for fitting. In other words, as shown in FIG. 3, each of the bearing rings 12, 1 is inserted into each of the fitting recesses 5c, 5c formed in the insertion hole 5b.
2 and one or two or more detent surfaces 5d, 5 formed on the inner peripheral surface of each of these fitting recesses 5c, 5c.
d and one or two or more detent surfaces 12a, 12a formed on the outer peripheral surface of the bearing ring 12 are fitted to each other so as to be non-rotatable, and are fixed to the center of each of the bearing rings 12, 12. Each formed bearing hole 12b, 12b
, The central shaft 11e of the fixed shaft 11 is inserted.
【００３６】一方、ポンプ室４の分割室４ａ側に収納さ
れるロータ本体５ａの外周部分に、多数枚の各インペラ
５ｅ…を円周方向に対して所定等間隔を隔てて形成し、
ポンプ室４の分割室４ｂ側に収納されるロータ本体５ａ
の外周部分に予め励磁したインナマグネット１３を埋設
し、同ロータ本体５ａに埋設したインナマグネット１３
と対向して、ケーシング１６内部に軸支したアウタロー
タ１５の内周部分に予め励磁したアウタマグネット１４
を固定している。つまり、ケーシング１６に固定した減
速機能付き回転用モータ１７の回転軸１８をアウタロー
タ１５の回転中心に直結して、回転用モータ１７の駆動
力によりアウタロータ１５を回転させ、インナマグネッ
ト１３とアウタマグネット１４との間に生じる磁力によ
り、インナロータ５を移送方向に従動回転させる。On the other hand, a large number of impellers 5e are formed on the outer peripheral portion of the rotor body 5a housed on the side of the divided chamber 4a of the pump chamber 4 at predetermined regular intervals in the circumferential direction.
Rotor main body 5a housed in divided chamber 4b side of pump chamber 4
The inner magnet 13 embedded in the rotor body 5a is buried in the outer peripheral portion of the rotor.
And an outer magnet 14 previously excited in an inner peripheral portion of an outer rotor 15 pivotally supported inside a casing 16.
Is fixed. That is, the rotation shaft 18 of the rotation motor 17 with the deceleration function fixed to the casing 16 is directly connected to the rotation center of the outer rotor 15, and the outer rotor 15 is rotated by the driving force of the rotation motor 17, and the inner magnet 13 and the outer magnet 14 are rotated. And the inner rotor 5 is driven to rotate in the transfer direction.
【００３７】前述のポンプケース２とキャンケース３と
を嵌合固定する場合、ポンプケース２に形成した分割室
４ａの開放側周縁部と、キャンケース３に形成した分割
室４ｂの開放側周縁部との対向端面にフッ素樹脂製のＯ
リング１９を嵌込み、キャンケース３の開放側周縁部に
形成したフランジ部３ｂにフッ素樹脂製の固定リング２
０を介して金属製の締付けリング２１を嵌合し、この締
付けリング２１の外周縁部に金属製のケーシング１６を
嵌合した後、ポンプケース２の閉塞側平面部に嵌合した
金属製の基台２２と金属製のケーシング１６とを適宜本
数のボルト２３…およびナット２４…により締付け固定
して、ポンプケース２とキャンケース３とを密封状態に
嵌合固定している。When the pump case 2 and the can case 3 are fitted and fixed, the open side peripheral portion of the divided chamber 4a formed in the pump case 2 and the open side peripheral portion of the divided room 4b formed in the can case 3 are formed. Fluoroplastic O
The fixing ring 2 made of fluororesin is fitted into the flange 3b formed on the open side peripheral portion of the can case 3.
0, a metal-made tightening ring 21 is fitted thereto, a metal casing 16 is fitted to the outer peripheral edge of the tightening ring 21, and then a metal-made fitment is fitted to the closed side flat portion of the pump case 2. The base 22 and the metal casing 16 are tightened and fixed by an appropriate number of bolts 23 and nuts 24 so that the pump case 2 and the can case 3 are fitted and fixed in a sealed state.
【００３８】図示実施例は上記の如く構成するものにし
て、以下、電磁駆動式ポンプ１による薬液の輸送動作を
説明する。まず、減速機能付き回転用モータ１７の駆動
力によりアウタロータ１５を回転して、アウタロータ１
５に固定したアウタマグネット１４と、インナロータ５
に固定したインナマグネット１３との磁力により、ポン
プ室４内に軸受したインナロータ５を移送方向に従動回
転する。同時に、インナロータ５に形成した各インペラ
５ｅ…の移送作用により、ポンプケース２の吸入口２ｂ
側から薬液を吸込み、同ポンプケース２の吐出口２ｃ側
から薬液を吐出するので、薬液を連続輸送することがで
き、輸送速度および輸送圧力が一定し、薬液の輸送量が
安定し、大容量の輸送が可能である。The illustrated embodiment is configured as described above, and the operation of transporting a chemical solution by the electromagnetically driven pump 1 will be described below. First, the outer rotor 15 is rotated by the driving force of the rotation motor 17 having a deceleration function.
Outer magnet 14 fixed to inner rotor 5 and inner rotor 5
The inner rotor 5 bearing in the pump chamber 4 is driven to rotate by the magnetic force with the inner magnet 13 fixed to the pump chamber 4 in the transfer direction. At the same time, the transfer action of each impeller 5e formed in the inner rotor 5 causes the suction port 2b of the pump case 2 to move.
The chemical solution is sucked in from the side, and the chemical solution is discharged from the discharge port 2c side of the pump case 2, so that the chemical solution can be continuously transported, the transport speed and the transport pressure are constant, the transport amount of the chemical solution is stable, and the large capacity Transport is possible.
【００３９】このように、電磁駆動式ポンプ１を構成す
るポンプケース２と、インナロータ５と、軸受フィルム
７，１０と、支持部材８と、Ｏリング１９とをフッ素樹
脂により形成し、かつ、キャンケース３と、固定シャフ
ト１１と、スラストリング６，９と、軸受リング１２と
を炭化珪素により形成しているので、例えば、化学工業
あるいは半導体産業等において取り扱われる腐蝕性流体
によりポンプ内部が腐蝕されるのを防止することがで
き、構成部分の耐圧強度が高いため、大きな輸送容量が
得られ、一定量の輸送流体を連続供給することができ
る。また、固定シャフト１１を軸受する軸受部分を炭化
珪素により構成しているため、軸受に必要な機械的強度
が得られ、耐摩耗性が向上する効果がある。As described above, the pump case 2, the inner rotor 5, the bearing films 7 and 10, the support member 8, and the O-ring 19, which constitute the electromagnetically driven pump 1, are formed of a fluororesin, and Since the case 3, the fixed shaft 11, the thrust rings 6, 9 and the bearing ring 12 are formed of silicon carbide, for example, the inside of the pump is corroded by a corrosive fluid handled in the chemical industry or the semiconductor industry. Since the pressure resistance of the components is high, a large transport capacity can be obtained, and a constant amount of transport fluid can be continuously supplied. Further, since the bearing portion for bearing the fixed shaft 11 is made of silicon carbide, the mechanical strength required for the bearing is obtained, and the wear resistance is improved.
【００４０】しかも、スラストリング６，９と固定シャ
フト１１との対向周面にフッ素樹脂製の軸受フィルム
７，１０を介在することで、スラストリング６，９と固
定シャフト１１との接触が阻止され、相互の接触による
衝撃を軸受フィルム７，１０により緩和するため、キャ
ンケース３に破損または損傷が生じるのを防止できる効
果がある。また、従来の電磁式ポンプ（特開昭５９−１
８００９９号）に用いられるフッ素樹脂製のスリーブよ
りも軸受フィルム７，１０が極薄であるため、軸受フィ
ルム７，１０が摩耗しても、スラストリング６，９と固
定シャフト１１との対向面間に生じるクリアランスが狭
く、高い軸受精度が得られる効果がある。Moreover, the contact between the thrust rings 6, 9 and the fixed shaft 11 is prevented by interposing the fluororesin bearing films 7, 10 on the opposing peripheral surfaces of the thrust rings 6, 9 and the fixed shaft 11. Further, since the impact due to mutual contact is reduced by the bearing films 7 and 10, there is an effect that breakage or damage of the can case 3 can be prevented. Further, a conventional electromagnetic pump (Japanese Unexamined Patent Publication No.
No. 80099), since the bearing films 7, 10 are extremely thinner than the fluororesin sleeve used in the present invention, even if the bearing films 7, 10 are worn, the distance between the opposing surfaces of the thrust rings 6, 9 and the fixed shaft 11 is reduced. The resulting clearance is narrow, and high bearing accuracy can be obtained.
【００４１】さらに、スラストリング６，９と、固定シ
ャフト１１と、軸受リング１２とに形成した各回止め面
６ａ，６ｃ，９ａ，９ｃ，１１ｂ，１１ｄ，１２ａと、
ポンプケース２と、インナロータ５と、支持部材８とに
形成した各回止め面２ｆ，５ｄ，８ｃとを互いに合致さ
せて、各構成部品の対向面を面待遇で回止め固定するの
で、各構成部品の回止め部分に対して回転応力が集中せ
ず、相互を回止め固定するのに必要な機械的強度が得ら
れる効果がある。Further, each detent surface 6a, 6c, 9a, 9c, 11b, 11d, 12a formed on the thrust rings 6, 9, the fixed shaft 11, and the bearing ring 12,
The respective detent surfaces 2f, 5d, 8c formed on the pump case 2, the inner rotor 5, and the support member 8 are aligned with each other, and the opposing surfaces of the respective components are detent-fixed in a face treatment. There is an effect that the rotational stress is not concentrated on the non-rotating portions, and the mechanical strength necessary for fixing and fixing each other is obtained.
【００４２】加えて、キャンケース３とスラストリング
９との対向面間にフッ素樹脂製の支持部材８を介在する
ことで、固定シャフト１１の回転時に生じる振動および
衝撃が支持部材８により緩和され、キャンケース３が破
損または損傷するのを確実に防止することができる効果
がある。In addition, by interposing the supporting member 8 made of fluororesin between the opposing surfaces of the can case 3 and the thrust ring 9, vibrations and impacts generated when the fixed shaft 11 rotates are reduced by the supporting member 8, This has the effect of reliably preventing the can case 3 from being damaged or damaged.
【００４３】また、キャンケース３のフランジ部３ｂに
嵌合したフッ素樹脂製の固定リング２０を介して、ポン
プケース２とキャンケース３とを相互に締付け固定する
ので、キャンケース３のフランジ部３ｂに対して締付け
力が均一に付与され、締付け時に生じる応力によりキャ
ンケース３が破損または損傷するのを防止することがで
きる効果がある。Further, since the pump case 2 and the can case 3 are mutually fastened and fixed via the fluorine resin fixing ring 20 fitted to the flange portion 3b of the can case 3, the flange portion 3b of the can case 3 is fixed. Has an effect of being able to prevent the can case 3 from being damaged or damaged by the stress generated at the time of tightening.
【００４４】図４はスラストリング６，９の他の回止め
構造を示し、ポンプケース２の嵌込み凹部２ｄとスラス
トリング６との対向周面に２箇所形成したＶ字形の各回
止め面２ｆ，６ａを互いに合致させて回転不可に嵌込み
固定し、スラストリング６の軸受孔６ｂと固定シャフト
１１の一端側軸部１１ａとの対向周面に２箇所形成した
Ｖ字形の各回止め面６ｃ，１１ｂを互いに合致させて回
転不可に軸受する。FIG. 4 shows another detent structure of the thrust rings 6 and 9. V-shaped detent surfaces 2 f and 2 f formed at two locations on the peripheral surface of the thrust ring 6 opposite to the fitting recess 2 d of the pump case 2. The V-shaped detent surfaces 6c and 11b are formed at two locations on the peripheral surface of the thrust ring 6 opposite to the bearing hole 6b and the one end side shaft portion 11a. Are matched with each other and are non-rotatable.
【００４５】上述と同様にして、キャンケース３に固定
した支持部材８の嵌込み凹部８ａとスラストリング９と
の対向周面に２箇所形成したＶ字形の各回止め面８ｃ，
９ａを互いに合致させて回転不可に嵌込み固定し、スラ
ストリング９の軸受孔９ｂと固定シャフト１１の他端側
軸部１１ｃとの対向周面に２箇所形成したＶ字形の各回
止め面９ｃ，１１ｄを互いに合致させて回転不可に軸受
することで、上述と同様に、固定シャフト６の各軸部１
１ａ，１１ｃを回転不可に軸受することができ、相互を
回止め固定するのに必要な機械的強度が得られる。In the same manner as described above, two V-shaped detent surfaces 8c formed at two locations on the peripheral surface of the thrust ring 9 opposite to the fitting recess 8a of the support member 8 fixed to the can case 3.
The V-shaped detent surfaces 9c, which are formed at two places on the opposing peripheral surface of the bearing hole 9b of the thrust ring 9 and the other end side shaft portion 11c of the fixed shaft 11, are fixed to each other. 11d are aligned with each other and non-rotatable, so that each shaft 1
The bearings 1a and 11c can be non-rotatably supported, and the mechanical strength necessary to stop and fix the members to each other can be obtained.
【００４６】図５は軸受リング１２の他の回止め構造を
示し、インナロータ５の嵌込み凹部５ｃと軸受リング１
２との対向周面に２箇所形成したＶ字形の各回止め面５
ｄ，１２ａを互いに合致させて嵌込み固定するので、上
述の実施例と同様に、相互を回止め固定するのに必要な
機械的強度が得られる。FIG. 5 shows another rotation stopping structure of the bearing ring 12, in which the fitting recess 5 c of the inner rotor 5 and the bearing ring 1 are formed.
V-shaped detent surfaces 5 formed at two places on the peripheral surface opposite to 2
Since d and 12a are fitted with each other and fixed, the mechanical strength necessary to stop and fix each other is obtained as in the above-described embodiment.
【００４７】この発明の構成と、上述の実施例との対応
において、この発明の原動機は、実施例の回転用モータ
１７に対応し、以下同様に、固定部材は、固定リング２
０と、締付けリング２１とに対応し、シールリングは、
Ｏリング１９に対応し、固定手段は、ケーシング１６
と、基台２２と、ボルト２３と、ナット２４とに対応す
るも、この発明は、上述の実施例の構成のみに限定され
るものではない。In correspondence between the configuration of the present invention and the above-described embodiment, the prime mover of the present invention corresponds to the rotation motor 17 of the embodiment, and similarly, the fixing member is the fixing ring 2.
0 and the tightening ring 21, and the seal ring
The fixing means corresponds to the O-ring 19 and the casing 16
, The base 22, the bolts 23, and the nuts 24, but the present invention is not limited to the configuration of the above-described embodiment.
【００４８】上述の実施例では、スラストリング６，９
と、固定シャフト１１と、軸受リング１２とに形成した
各回止め面６ａ，６ｃ，９ａ，９ｃ，１１ｂ，１１ｄ，
１２ａと、ポンプケース２と、インナロータ５と、支持
部材８とに形成した各回止め面２ｆ，５ｄ，８ｃとを２
箇所の合致させて回止め固定しているが、例えば、１箇
所または３箇所以上の適宜位置で合致させて回止め固定
するもよい。In the above embodiment, the thrust rings 6, 9
, The fixed shaft 11 and the bearing ring 12 formed on each of the detent surfaces 6a, 6c, 9a, 9c, 11b, 11d,
12a, the pump case 2, the inner rotor 5, and the support member 8, each of which has a detent surface 2 f, 5 d, 8 c.
Although the rotation is stopped and fixed in accordance with the locations, for example, the rotation may be stopped and fixed in one or three or more appropriate positions.
【図１】 本発明の電磁駆動式ポンプの内部構造を示す
縦断側面図。FIG. 1 is a longitudinal sectional side view showing an internal structure of an electromagnetically driven pump of the present invention.
【図２】 スラストリングの回止め構造を示すＡ−Ａ矢
視断面図。FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of FIG.
【図３】 軸受リングの回止め構造を示すＢ−Ｂ矢視断
面図。FIG. 3 is a cross-sectional view of the bearing ring when viewed from the direction indicated by arrows BB in FIG.
【図４】 スラストリングの他の回止め構造を示す断面
図。FIG. 4 is a cross-sectional view showing another stop structure of the thrust ring.
【図５】 軸受リングの他の回止め構造を示す断面図。FIG. 5 is a sectional view showing another rotation stopping structure of the bearing ring.
２…ポンプケース ３…キャンケース ３ｂ…フランジ部 ４…ポンプ室 ５…インナロータ ５ｂ…挿通孔 ５ｃ…嵌込み凹部 ５ｄ…回止め面 ６，９…スラストリング ９ａ，９ｃ…回止め面 ９ｂ…軸受孔 ７，１０…軸受フィルム ８…支持部材 ８ａ…嵌込み凹部 ８ｃ…回止め面 １１…固定シャフト １１ｂ，１１ｄ…回止め面 １２…軸受リング １２ａ…回止め面 １２ｂ…軸受孔 １３…インナマグネット １４…アウタマグネット １５…アウタロータ １６…ケーシング １７…回転用モータ １９…Ｏリング ２０…固定リング ２１…締付けリング ２２…基台 ２３…ボルト ２４…ナット 2 Pump case 3 Can case 3b Flange 4 Pump chamber 5 Inner rotor 5b Insertion hole 5c Fitting recess 5d Detent surface 6,9 Thrust ring 9a, 9c Detent surface 9b Bearing hole 7, 10 ... bearing film 8 ... support member 8a ... fitting concave part 8c ... detent surface 11 ... fixed shaft 11b, 11d ... detent surface 12 ... bearing ring 12a ... detent surface 12b ... bearing hole 13 ... inner magnet 14 ... Outer magnet 15 ... Outer rotor 16 ... Casing 17 ... Rotating motor 19 ... O-ring 20 ... Fixing ring 21 ... Tightening ring 22 ... Base 23 ... Bolt 24 ... Nut
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 酒造 豊 京都府福知山市長田野２丁目66番地の３ 日本ピラー工業株式会社 福知山工場 内 (56)参考文献 特開 昭59−180099（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−70897（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−280888（ＪＰ，Ａ) ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Yutaka Shuzo 2-66-3, Nagatano, Fukuchiyama-shi, Kyoto Nippon Pillar Industry Co., Ltd. Fukuchiyama Plant (56) References JP-A-59-1880099 JP-A-3-70897 (JP, A) JP-A-63-280888 (JP, A)
Claims (5)
製のキャンケースとを密封状態に嵌合してこれら両ケー
ス内にポンプ室を形成し、該ポンプ室内にフッ素樹脂製
のインナロータを軸受し、原動機の駆動力により上記ポ
ンプ室外に配して軸支されたアウタロータを回転して、
アウタロータに固定したアウタマグネットと、インナロ
ータに固定したインナマグネットとの磁力により、ポン
プ室内に軸受したインナロータを移送方向に従動回転さ
せ、インナロータに形成した各インペラの移送作用によ
り、ポンプ室に形成した吸入口側から流体を吸入し、ポ
ンプ室の吐出口側から流体を吐出する電磁駆動式ポンプ
であって、 上記ポンプケースおよびキャンケースのポンプ室内側の
中央部に炭化珪素製の各スラストリングを固定し、 上記スラストリングの軸受孔と上記インナロータを可回
動に支持する固定シャフトの軸端側との対向周面にフッ
素樹脂製の軸受フィルムを介在した電磁駆動式ポンプ。A pump case made of fluororesin and a can case made of ceramic are fitted in a hermetically sealed state, and both casings are fitted together.
The pump chamber is formed in the scan, the fluororesin of the inner rotor and bearing to the pump chamber, the port by the driving force of the prime mover
The outer rotor, which is arranged outside the pump chamber and supported
Due to the magnetic force of the outer magnet fixed to the outer rotor and the inner magnet fixed to the inner rotor, the inner rotor bearing in the pump chamber is driven to rotate in the transfer direction, and the suction action formed in the pump chamber by the transfer action of each impeller formed in the inner rotor. An electromagnetically driven pump that sucks fluid from the mouth side and discharges fluid from the discharge port side of the pump chamber, wherein each thrust ring made of silicon carbide is fixed to the center of the pump case and the can case in the pump chamber side. An electromagnetically driven pump in which a fluororesin bearing film is interposed between a bearing hole of the thrust ring and a shaft end side of a fixed shaft rotatably supporting the inner rotor.
の対向面間にフッ素樹脂製の支持部材を介在した請求項
１記載の電磁駆動式ポンプ。2. The electromagnetically driven pump according to claim 1, wherein a supporting member made of a fluororesin is interposed between the opposing surfaces of said can case and said thrust ring.
フトの外周の外周に配置した軸受リングとの対向面に形
成された各回止め面を互いに合致させて嵌合固定した請
求項１記載の電磁駆動式ポンプ。3. The electromagnetic drive according to claim 1, wherein the respective detent surfaces formed on opposing surfaces of the insertion hole of the inner rotor and the bearing ring disposed on the outer periphery of the outer periphery of the fixed shaft are fitted and fixed to each other. Type pump.
記スラストリングとの対向面に形成した各回止め面を互
いに合致させて嵌合固定した請求項１記載の電磁駆動式
ポンプ。4. The electromagnetically driven pump according to claim 1, wherein the fitting recess formed in the support member and the respective detent surfaces formed on the surface facing the thrust ring are fitted and fixed to each other.
側周縁部をフッ素樹脂製のシールリングを介して密封状
態に嵌合し、 上記キャンケースの外周部に形成したフランジ部にフッ
素樹脂製の固定リングを嵌合し、 上記ポンプケース側に嵌合した金属製の固定部材と、上
記固定リング側に嵌合した金属製の固定部材とを適宜固
定手段で締付け固定した請求項１記載の電磁駆動式ポン
プ。5. A perimeter edge of the pump case and the can case on the fitting side is hermetically fitted via a seal ring made of a fluororesin, and a fluororesin is formed on a flange formed on an outer periphery of the can case. 2. The fixing ring according to claim 1, wherein the metal fixing member fitted to the pump case side and the metal fixing member fitted to the fixing ring side are tightened and fixed by an appropriate fixing means. Electromagnetic drive pump.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6099347A JP2619807B2 (en) | 1994-04-12 | 1994-04-12 | Electromagnetic drive pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6099347A JP2619807B2 (en) | 1994-04-12 | 1994-04-12 | Electromagnetic drive pump |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07279884A JPH07279884A (en) | 1995-10-27 |
| JP2619807B2 true JP2619807B2 (en) | 1997-06-11 |
Family
ID=14245090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6099347A Expired - Lifetime JP2619807B2 (en) | 1994-04-12 | 1994-04-12 | Electromagnetic drive pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2619807B2 (en) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4716505B2 (en) * | 2006-04-10 | 2011-07-06 | 日本電産サンキョー株式会社 | Motor and electric device using the same |
| JP5030468B2 (en) * | 2006-04-28 | 2012-09-19 | 東芝キヤリア株式会社 | pump |
| JP6456024B2 (en) * | 2014-01-31 | 2019-01-23 | キヤノン株式会社 | Roller, cartridge, image forming apparatus, and cylindrical shaft manufacturing method |
| CN103775374A (en) * | 2014-02-19 | 2014-05-07 | 安徽卧龙泵阀有限责任公司 | Nonmetallic magnetic driving pump having idle running function |
| JP6474586B2 (en) * | 2014-11-04 | 2019-02-27 | 日本ピラー工業株式会社 | Magnetic levitation pump |
| JP2020122397A (en) * | 2019-01-29 | 2020-08-13 | 日本電産サンキョー株式会社 | Pump device |
| CN110219823B (en) * | 2019-06-28 | 2020-06-16 | 汉江弘源襄阳碳化硅特种陶瓷有限责任公司 | Slurry pump for resisting acidic and high-temperature environments and preparation method thereof |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59180099A (en) * | 1983-03-30 | 1984-10-12 | Ngk Insulators Ltd | No-leakage pump |
| JPS63280888A (en) * | 1987-05-11 | 1988-11-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Refrigerant pump |
| JP2795689B2 (en) * | 1989-08-10 | 1998-09-10 | 朝日興業株式会社 | Magnet pump |
-
1994
- 1994-04-12 JP JP6099347A patent/JP2619807B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07279884A (en) | 1995-10-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0401761B1 (en) | Magnet pump | |
| US5580216A (en) | Magnetic pump | |
| US5160246A (en) | Magnetically driven cyntrifical pump | |
| KR100836698B1 (en) | Magnetically driven gear pump | |
| JPH07224785A (en) | Magnetic driving centrifugal pump | |
| KR900006403B1 (en) | Seal-less pump | |
| JP2619807B2 (en) | Electromagnetic drive pump | |
| JP2544825B2 (en) | Magnet pump | |
| KR20020084411A (en) | Vacuum pump | |
| JPH10205482A (en) | Magneto drive pump | |
| JP2840190B2 (en) | Magnet driven pump | |
| JP2654910B2 (en) | Magnet driven pump | |
| JP2001254693A (en) | Magnetic levitation type seal-less pump | |
| US4708586A (en) | Thread groove type vacuum pump | |
| JP2004197848A (en) | Shaft seal device and turbo compressor | |
| JP2000337289A (en) | Thread groove type vacuum pump, composite vacuum pump and vacuum pump system | |
| KR0181398B1 (en) | Sealing unit of pump | |
| JPH10231797A (en) | Magnet driving pump | |
| JP2555533Y2 (en) | Cascade pump | |
| KR100273379B1 (en) | Shaft supporting structure for turbo compressor | |
| JP2000034995A (en) | Bearing washer of pump | |
| KR920003635Y1 (en) | Grinding liquid transporting pump | |
| JP3295360B2 (en) | Electromagnetically driven liquid pump | |
| KR200218430Y1 (en) | Impeller Assembly for Magnet Pump | |
| JPH0988875A (en) | Turbo molecular pump |