JP2617578B2 - Reciprocating oscillating pressure type gas separator - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、医療・スポーツ等用酸素供給装置、養殖・
鮮魚運搬等用酸素供給装置、酸素富化燃焼用給気装置等
に用いられる往復動式揺動圧力型ガス分離装置（揺動圧
力型ガス分離装置を以下PSAと略称する）に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to an oxygen supply device for medical / sports, aquaculture /
The present invention relates to a reciprocating oscillating pressure gas separator (hereinafter, abbreviated as PSA) used for an oxygen supply device for transporting fresh fish, an air supply device for oxygen-enriched combustion, and the like.

〔状来の技術〕[Conventional technology]

第３図は、空気を原料として酸素と窒素を分離する、
往復動式PSAに関する設計例の一つを示す。Figure 3 separates oxygen and nitrogen using air as raw material,
An example of a design for a reciprocating PSA is shown.

モータ（あるいはエンジン）011とPSA本体は駆動軸01
3で結合されている。駆動軸013の回転力はクランク機構
02を介してピストン03に伝えられ、往復運動に変換され
る。Motor (or engine) 011 and PSA main unit are drive shaft 01
Combined with three. The rotational force of drive shaft 013 is a crank mechanism
It is transmitted to piston 03 via 02 and converted to reciprocating motion.

ピストン03が上昇すると、シリンダ04内にトラップさ
れた空気の圧力が上がり、吸着槽05に送り込まれる。そ
こには、吸着剤050が充填されており、易吸着ガスであ
る窒素が吸着され、残りの酸素に富んだ空気がポート07
aとバルブ07bよりなる吐出弁07より製品ガスとして外部
に送り出される。When the piston 03 rises, the pressure of the air trapped in the cylinder 04 increases and is sent to the adsorption tank 05. It is filled with adsorbent 050, and nitrogen, which is easily adsorbed gas, is adsorbed, and the remaining oxygen-enriched air is supplied to port 07.
The product gas is sent to the outside from a discharge valve 07 composed of a and a valve 07b.

一方、クランク室01は負圧となり、したがって、クラ
ンク室側壁に設けたポート06aとバルブ06bより成る吸気
弁06を通り、空気が外気よりクランク室01内へ取り込ま
れる。On the other hand, the crank chamber 01 has a negative pressure, and therefore, air passes through the intake valve 06 including the port 06a and the valve 06b provided on the side wall of the crank chamber, and air is taken into the crank chamber 01 from outside air.

ピストン03が下降工程に入ると、吐出弁07が閉じ、シ
リンダ室012内のガス圧力は低下し始める。その結果、
吸着剤050に吸着されていた窒素ガスが離脱し、吸着槽0
5からシリンダ室012へ膨張・吸引される。When the piston 03 enters the descending process, the discharge valve 07 closes, and the gas pressure in the cylinder chamber 012 starts to decrease. as a result,
The nitrogen gas adsorbed by the adsorbent 050 is released and the adsorption tank 0
5 is expanded and sucked into the cylinder chamber 012.

他方、アンダピストン部のクランク室01内の空気は、
ピストン03が下降工程に入るとともに、吸気弁06が閉じ
圧力上昇が始まり、ピストン03の上方のシリンダ室012
内の膨張ガス圧力とクランク室01内の圧縮空気の圧力が
等しい条件となるクランク角で、ピストンヘッドに設け
られたポート08aとバルブ08bよりなる吸掃気弁08が開
き、クランク室01からシリンダ室012へ空気が流入し、
引き続き、掃気ポート010を経て、シリンダ内の濃窒素
ガスは外部へ掃き出される。同時に、シリンダ室012内
は新しく吸入した空気によって置換される。On the other hand, the air in the crank chamber 01 of the under piston part is
As the piston 03 enters the descending process, the intake valve 06 closes and the pressure starts to rise, and the cylinder chamber 012 above the piston 03
At a crank angle at which the pressure of the expanded gas in the chamber and the pressure of the compressed air in the crank chamber 01 are equal, the scavenging air valve 08 comprising the port 08a and the valve 08b provided in the piston head opens, and the cylinder chamber is moved from the crank chamber 01 to the cylinder chamber. Air flows into 012,
Subsequently, through the scavenging port 010, the concentrated nitrogen gas in the cylinder is swept out. At the same time, the inside of the cylinder chamber 012 is replaced by newly sucked air.

このようなサイクルに従って、往復運動式PSAによ
り、空気から酸素ガスを製造することが可能となる。According to such a cycle, it is possible to produce oxygen gas from air by the reciprocating PSA.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

空気分離装置を使用する上で、小型・軽量化は多くの
利点をもたらす。工業的には、占有スペースの減少等に
よる建設費の低減、車載した場合には、積載有効スペー
スの増大、特に、医療やスポーツレジャーの分野では、
ポータブルあるいはポケッタブルにすることにより使用
し易くなり、その需要は大巾に広がるものと予想され
る。In using an air separation device, miniaturization and weight reduction provide many advantages. Industrially, the construction cost is reduced by reducing the occupied space, etc., when the vehicle is mounted, the effective loading space is increased, especially in the medical and sports leisure fields,
By making it portable or pocketable, it will be easier to use and its demand is expected to widen significantly.

上記第３図に示す装置は、モータ及びPSA本体の２組
の主要パーツから構成され、その上、PSA本体は回転運
動を往復運動に変換するためのクランク機構を有してい
る。それ故、部品点数の多さ、機構上の複雑さから上の
ような要求を満足し難い欠点をもっていた。The apparatus shown in FIG. 3 is composed of two main parts, a motor and a PSA main body. In addition, the PSA main body has a crank mechanism for converting a rotary motion into a reciprocating motion. Therefore, it has a drawback that it is difficult to satisfy the above requirements due to the large number of parts and the complexity of the mechanism.

そこで、本発明では、リニアモータをPSA本体に組み
入れることにより一体化、コンパクト化が可能な往復動
式PSA装置を提供しようとするものである。In view of the above, an object of the present invention is to provide a reciprocating PSA device that can be integrated and made compact by incorporating a linear motor into a PSA body.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明の往復動式揺動圧力型ガス分離装置は、密閉型
のシリンダと、上記シリンダ内を摺動するピストンと、
上記シリンダの底側に設けられたスプリングと、シリン
ダヘッド内に設けられ圧力によるガス吸着能力に差があ
る吸着剤が収容された吸着槽と、上記ピストン側に設け
られた永久磁石と、シリンダ側に設けられた電磁コイル
と、上記シリンダの底側に設けられた吸気弁と、上記ピ
ストンに設けられた吸掃気弁と、上記吸着槽の吐出側に
設けられた吐出弁と、上記シリンダと側面に設けられた
掃気ポートと、を備えたことを特徴とする。The reciprocating oscillating pressure type gas separation device of the present invention is a closed cylinder, a piston sliding in the cylinder,
A spring provided on the bottom side of the cylinder, an adsorption tank provided in the cylinder head and containing an adsorbent having a difference in gas adsorption capacity due to pressure, a permanent magnet provided on the piston side, and a cylinder side , An intake valve provided on the bottom side of the cylinder, a scavenging air valve provided on the piston, a discharge valve provided on the discharge side of the adsorption tank, the cylinder and a side surface. And a scavenging port provided at

〔作用〕[Action]

シリンダ側に設けられた電磁コイルに通電すると、ピ
ストンはスプリングに抗して下方へ駆動されて下降す
る。When the electromagnetic coil provided on the cylinder side is energized, the piston is driven downward against the spring and descends.

次に、電流を遮断すると、今迄圧縮されていたピスト
ン下側のスプリングの復元力が働き、ピストンは上昇す
る。Next, when the electric current is cut off, the restoring force of the spring below the piston, which has been compressed, acts to raise the piston.

ピストンが上記のように上昇するときには、シリンダ
内のピストンの下側の部分内は減圧されて吸気弁が開
き、この部分に新しい気体が流入する。一方ピストンヘ
ッドの上方にある気体は圧縮されて、吸着槽内へ流入
し、吸着剤によって易吸着成分が吸着される。更にピス
トンが上昇すると、吸着槽内の圧力が上昇して吐出弁が
開いて、易吸着成分が吸着された気体は製品ガスとして
吸着槽外に取出される。When the piston is raised as described above, the pressure in the lower portion of the piston in the cylinder is reduced, the intake valve is opened, and new gas flows into this portion. On the other hand, the gas above the piston head is compressed and flows into the adsorption tank, where the easily adsorbed component is adsorbed by the adsorbent. When the piston further rises, the pressure in the adsorption tank rises, the discharge valve opens, and the gas on which the easily adsorbed component has been adsorbed is taken out of the adsorption tank as product gas.

ピストンが下降に転ずると、吸着槽内の圧力が下降し
て吸着剤に吸着された易吸着成分は吸着剤から脱着され
る。一方シリンダ内のピストン下側の部分内の気体は圧
縮されて吸掃気弁を開いてピストンヘッドの上方に入
り、上記吸着された易吸着成分を掃気ポートから排出
し、ピストンヘッドの上方は分離処理すべき気体で充た
される。When the piston starts to descend, the pressure in the adsorption tank decreases, and the easily adsorbed components adsorbed by the adsorbent are desorbed from the adsorbent. On the other hand, the gas in the lower part of the piston in the cylinder is compressed, opens the scavenging and scavenging valve and enters above the piston head, discharges the adsorbed easily adsorbed components from the scavenging port, and separates the upper part of the piston head from the scavenging port Filled with the gas to be prepared.

このようにして、ピストンの往復に伴って、気体を吸
着槽に導入することによって易吸着成分を吸着剤に吸着
して製品ガスが得られ、また吸着された易吸着成分を吸
着剤から離脱させて排出することが繰返され、連続的に
製品ガスを得ることができる。In this way, with the reciprocation of the piston, the gas is introduced into the adsorption tank so that the easily adsorbed component is adsorbed by the adsorbent to obtain a product gas, and the adsorbed easily adsorbed component is released from the adsorbent. Is repeated, and product gas can be obtained continuously.

〔実施例〕〔Example〕

本発明に係る往復動式揺動圧力型混合ガス分離装置の
一実施例を第１図に示す。FIG. 1 shows an embodiment of a reciprocating oscillating pressure type mixed gas separator according to the present invention.

４はリニアモータハウジングを兼ねたシリンダで、そ
の中にガスシールリングを有するピストン３が摺動でき
るように収容されている。ピストン３の上方のシリンダ
４（シリンダヘッド）内には窒素ガスの吸着剤50が収容
された吸着槽５が設けられている。吸着槽５の上部には
ポート7aとバルブ7bからなる吐出弁７が設けられ、、同
吸着槽５の下部はピストン３の上方のシリンダ室12に開
口している。ピストン３の上部のピストンヘッド3aには
ポート8aとバルブ8bからなる吸掃気弁８が設けられ、ま
たシリンダ４の底面にはポート6aとバルブ6bからなる吸
気弁６が設けられている。また、シリンダ４の側面には
掃気ポート10が設けられ、上記ピストン３の下部には、
円筒部20が設けられている。Reference numeral 4 denotes a cylinder also serving as a linear motor housing, in which a piston 3 having a gas seal ring is slidably accommodated. In a cylinder 4 (cylinder head) above the piston 3, an adsorption tank 5 containing an adsorbent 50 for nitrogen gas is provided. A discharge valve 7 including a port 7a and a valve 7b is provided at an upper part of the adsorption tank 5, and a lower part of the adsorption tank 5 is opened to a cylinder chamber 12 above the piston 3. A suction and scavenging valve 8 including a port 8a and a valve 8b is provided on a piston head 3a above the piston 3, and an intake valve 6 including a port 6a and a valve 6b is provided on a bottom surface of the cylinder 4. Further, a scavenging port 10 is provided on a side surface of the cylinder 4, and a lower portion of the piston 3
A cylindrical portion 20 is provided.

一方、シリンダ４の底部には、上記円筒部20内を上方
へ延びるスライドベアリング25の案内軸22が取り付けら
れている。したがって、ピストン３は円筒部20を介して
スライドベアリング25により、案内軸22に沿って滑らか
な直線運動を行なうことができるようになっている。On the other hand, a guide shaft 22 of a slide bearing 25 extending upward in the cylindrical portion 20 is attached to the bottom of the cylinder 4. Therefore, the piston 3 can perform a smooth linear motion along the guide shaft 22 by the slide bearing 25 via the cylindrical portion 20.

上記円筒部20の外周には永久磁石24が貼り付け固定さ
れ、それに対応してシリンダ４の内周には、電磁コイル
23が取り付けられていて、両者によってリニアモータが
形成される。さらに、円筒部20の内部には、案内軸22と
の間にピストン３を下方から支持するスプリング21が収
納され、ピストン３のバネ系を形成している。また30は
シリンダ４の吐出弁７の上方の部分に接続された通路に
設けられた調圧弁、27はシリンダ４内のピストン３の下
方のアンダピストン部に形成され上記電磁コイル23と永
久磁石24を収容しているリニアモータ室（アンダーピス
トン部）である。A permanent magnet 24 is adhered and fixed to the outer periphery of the cylindrical portion 20. Correspondingly, an electromagnetic coil is attached to the inner periphery of the cylinder 4.
23 are mounted and together form a linear motor. Further, inside the cylindrical portion 20, a spring 21 for supporting the piston 3 from below with the guide shaft 22 is accommodated, and forms a spring system of the piston 3. Reference numeral 30 denotes a pressure regulating valve provided in a passage connected to the upper portion of the discharge valve 7 of the cylinder 4, and reference numeral 27 denotes an electromagnetic coil 23 and a permanent magnet 24 which are formed in an under piston portion below the piston 3 in the cylinder 4. Is a linear motor chamber (under-piston portion) that houses therein.

以上のように構成された本実施例では、リニアモータ
の固定子である電磁コイル23が通電されると可動子であ
る永久磁石24が引き寄せられ、その結果、ピストン３は
下降する。次に、電磁コイル23の通電が切られると、永
久磁石24の吸引力が消えるため、ピストン３は、スプリ
ング21の復元力によって押し戻され、上昇する。このよ
うにして、ピストン３はシリンダ４内を往復運動する。In the present embodiment configured as described above, when the electromagnetic coil 23, which is the stator of the linear motor, is energized, the permanent magnet 24, which is the mover, is attracted, and as a result, the piston 3 descends. Next, when the energization of the electromagnetic coil 23 is cut off, the attractive force of the permanent magnet 24 disappears, and the piston 3 is pushed back by the restoring force of the spring 21 and rises. Thus, the piston 3 reciprocates in the cylinder 4.

本実施例におけるPSAの作動行程を第２図に示す。同
図において、ON、OFFはそれぞれ電磁コイル23の通電、
通電断を示し、同図下部に示される本実施例に係る装置
の作動位置は、それぞれ同図上部の行程に対応するもの
である。FIG. 2 shows the operation stroke of the PSA in this embodiment. In the figure, ON and OFF indicate the energization of the electromagnetic coil 23, respectively.
The operating positions of the device according to the present embodiment shown in the lower part of FIG. 3 correspond to the strokes in the upper part of FIG.

電磁コイル23の通電を切って下死点BDCにあるピスト
ン３が上昇行程に入ると、ピストン３の下方のリニアモ
ータ室27は負圧となる。したがって、シリンダ４の底面
に設けられたポート6aとバルブ6bからなる吸気弁６が開
き、大気中より空気がポート6aを経て、リニアモータ室
27内へ流入する。When the energization of the electromagnetic coil 23 is cut off and the piston 3 at the bottom dead center BDC enters the upward stroke, the linear motor chamber 27 below the piston 3 becomes negative pressure. Therefore, the intake valve 6 including the port 6a and the valve 6b provided on the bottom surface of the cylinder 4 is opened, and the air from the atmosphere passes through the port 6a, and the linear motor chamber is opened.
It flows into 27.

一方、ピストン３の上方のシリンダ室12内の空気は加
圧され、吸気槽５内へ流入する。ここで、空気中の窒素
ガスは吸着剤50によって吸着される。空気圧が吐出圧Po
に達すると、ポート7aとバルブ7bとからなる吐出弁７が
開き、難吸着ガスである酸素に富む空気が製品タンク
（図示せず）へ調圧弁30を通って送り出される。これ
は、ピストン３が上死点（TDC）へ達するまで続く。On the other hand, the air in the cylinder chamber 12 above the piston 3 is pressurized and flows into the intake tank 5. Here, the nitrogen gas in the air is adsorbed by the adsorbent 50. Air pressure is the discharge pressure Po
Is reached, the discharge valve 7 composed of the port 7a and the valve 7b is opened, and oxygen-rich air, which is a hardly adsorbed gas, is sent out to the product tank (not shown) through the pressure regulating valve 30. This continues until the piston 3 reaches the top dead center (TDC).

電磁コイル23に通電することによって、ピストン３が
下降行程に入ると、シリンダ室12内に存在する空気圧の
減圧が始まり、一方向弁である吐出弁７が閉じる。シリ
ンダ室12内の空気圧の減少に従って、吸着槽５内のガス
圧力も低下し、それに伴ない吸着剤50に吸着されていた
易吸着ガスである窒素が離脱し始め、吸着槽５からシリ
ンダ室12内へ逆流する。When the electromagnetic coil 23 is energized, when the piston 3 enters the downward stroke, the air pressure existing in the cylinder chamber 12 starts to decrease, and the discharge valve 7 which is a one-way valve closes. As the air pressure in the cylinder chamber 12 decreases, the gas pressure in the adsorption tank 5 also decreases, and accompanying this, nitrogen, which is the easily adsorbed gas adsorbed by the adsorbent 50, begins to desorb. Backflow into the inside.

他方、リニアモータ室27内に吸い込まれた空気は、ピ
ストン３の下降と同時に圧縮され、したがって、逆止弁
である吸気弁６が閉じ、それに応じて圧力が上昇する。On the other hand, the air sucked into the linear motor chamber 27 is compressed simultaneously with the lowering of the piston 3, so that the intake valve 6, which is a check valve, closes and the pressure increases accordingly.

シリンダ室12の容積に対し、リニアモータ室27の容積
を適当な値（10〜100倍）に設定することにより、ピス
トン３の側面が掃気ポート10を開とする直前に、ピスト
ンヘッドに設けたポート8aとバルブ8bからなる吸掃気弁
８が開き始める条件、即ち、シリンダ室12とリニアモー
タ室27内のガス圧力を等しくすることができる。By setting the volume of the linear motor chamber 27 to an appropriate value (10 to 100 times) with respect to the volume of the cylinder chamber 12, the linear motor chamber 27 is provided on the piston head immediately before the side surface of the piston 3 opens the scavenging port 10. The condition under which the scavenging air valve 8 including the port 8a and the valve 8b starts to open, that is, the gas pressure in the cylinder chamber 12 and the gas pressure in the linear motor chamber 27 can be equalized.

このクランク角でリニアモータ室27内から空気がポー
ト8aを経てシリンダ室12へ流入する。さらに掃気ポート
10が開くと、シリンダ室12内の窒素に富むガスは外部へ
流出し始め、されはアンダピストン部（シリンダの底部
即ちリニアモータ室27）から吸排気弁８を経てシリンダ
室12へ流入した空気により、より効果的に掃気される。
同時に、シリンダ室12内のガスは新しい空気によって置
き換えられる。At this crank angle, air flows from the linear motor chamber 27 into the cylinder chamber 12 via the port 8a. Further scavenging port
When the cylinder 10 is opened, the nitrogen-rich gas in the cylinder chamber 12 starts to flow to the outside, and the air that has flowed into the cylinder chamber 12 through the intake / exhaust valve 8 from the under piston portion (the bottom of the cylinder, ie, the linear motor chamber 27). Thereby, scavenging is more effectively performed.
At the same time, the gas in the cylinder chamber 12 is replaced by fresh air.

このように、本実施例に係るリニアモータ駆動とスプ
リングの共振系から成る往復動型PSAは、このようにし
て圧縮・膨張及び吸・掃気行程を含む１サイクルを形成
することにより、原料空気から酸素を製造することがで
きる。As described above, the reciprocating PSA including the linear motor drive and the spring resonance system according to the present embodiment forms one cycle including the compression / expansion and the suction / scavenging strokes in this manner. Oxygen can be produced.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明は、次の効果を奏することができる。 The present invention has the following effects.

（１）往復動式PSAにおいて、ピストン側に設けられた
永久磁石とシリンダ側に設けられた電磁コイルによるピ
ストンの駆動とスプリングの共振系を採用し、かつピス
トンにより掃気方式としたことによって、装置のインテ
グレート化が可能である。その結果、駆動部とPSA本体
が分離していた従来型PSAに較べ、軽量・コンパクト化
を図ることができる。(1) The reciprocating PSA adopts a system of driving the piston by a permanent magnet provided on the piston side and an electromagnetic coil provided on the cylinder side and a resonance system of the spring, and adopts a scavenging method using the piston, which results in a device. Can be integrated. As a result, the weight and size can be reduced as compared with the conventional PSA in which the drive unit and the PSA main body are separated.

（２）ハンデイタイプ又はポケッタブルとすることがで
き、医療・スポーツ等の分野において、使い易さの点で
抜群の貢献が期待される。(2) It can be a handy type or a pocketable type, and is expected to make an outstanding contribution in terms of ease of use in the fields of medical care and sports.

（３）また、部品点数が少く、製品価格を低価させるこ
とができる。(3) Also, the number of parts is small, and the product price can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第１図は本発明の一実施例に係る往復動式PSAの縦断面
図、第２図は同実施例の作動行程図、第３図は従来の往
復動式PSAの縦断面図である。 ３……ピストン,3a……ピストンヘッド,4……シリン
ダ， ５……吸着槽,6……吸気弁,7……吐出弁， ８……吸掃気弁,10……掃気ポート,12……シリンダ室， 20……円筒部,21……スプリング,22……案内軸， 23……電磁コイル,24……永久磁石,25……スライドベア
リング， 27……リニアモータ室（アンダーピストン部）,30……
調圧弁， 50……吸着剤。FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a reciprocating PSA according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is an operation stroke diagram of the embodiment, and FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a conventional reciprocating PSA. 3 ... Piston, 3a ... Piston head, 4 ... Cylinder, 5 ... Adsorption tank, 6 ... Intake valve, 7 ... Discharge valve, 8 ... Suction and scavenging valve, 10 ... Scavenging port, 12 ... Cylinder chamber, 20 Cylindrical part, 21 Spring, 22 Guide shaft, 23 Electromagnetic coil, 24 Permanent magnet, 25 Slide bearing, 27 Linear motor chamber (under piston part), 30 ……
Pressure regulating valve, 50 ... Adsorbent.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大島 一晃 東京都千代田区丸の内２丁目５番１号 三菱重工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−59013（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−143921（ＪＰ，Ａ) ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Kazuaki Oshima 2-5-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Inside Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. (56) References JP-A-2-59013 (JP, A) JP-A-63 −143921 (JP, A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】密閉型のシリンダと、上記シリンダ内を摺
動するピストンと、上記シリンダの底側に設けられたス
プリングと、シリンダヘッド内に設けられ圧力によるガ
ス吸着能力に差がある吸着剤が収容された吸着槽と、上
記ピストン側に設けられた永久磁石と、シリンダ側に設
けられた電磁コイルと、上記シリンダの底側に設けられ
た吸気弁と、上記ピストンに設けられた吸掃気弁と、上
記吸着槽の吐出側に設けられた吐出弁と、上記シリンダ
の側面に設けられた掃気ポートと、を備えたことを特徴
とする往復動式揺動圧力型ガス分離装置。1. A closed type cylinder, a piston sliding in the cylinder, a spring provided on a bottom side of the cylinder, and an adsorbent provided in a cylinder head and having a difference in gas adsorption capacity by pressure. , A permanent magnet provided on the piston side, an electromagnetic coil provided on the cylinder side, an intake valve provided on the bottom side of the cylinder, and a scavenging air provided on the piston A reciprocating oscillating pressure type gas separation device, comprising: a valve; a discharge valve provided on a discharge side of the adsorption tank; and a scavenging port provided on a side surface of the cylinder.