JP2613119B2 - Method for producing rare earth element doped DSC type optical fiber preform - Google Patents

Method for producing rare earth element doped DSC type optical fiber preform

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JP2613119B2
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Description

【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本発明は、センタコアの外周にサイドコアを形成しサ
イドコアの外周にクラッドを形成してなるDSC型(Dual
Shape Core:コンベックス型ともいう)の光ファイバ母
材の製造方法に係り、特には、センタコアに増幅用のEr
(エルビウム)やNd(ネオジウム)などの希土類元素を
ドーピングする場合の製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial Application Field> The present invention relates to a DSC type (Dual type) comprising a side core formed on the outer periphery of a center core and a clad formed on the outer periphery of the side core.
Shape core: also referred to as a convex type) optical fiber preform manufacturing method, especially Er for amplification in the center core
The present invention relates to a manufacturing method when doping with a rare earth element such as (erbium) or Nd (neodymium).

<従来の技術> 従来の希土類元素ドープDSC型光ファイバ母材の製造
方法を第3図に基づいて説明する。
<Prior Art> A conventional method of manufacturing a rare earth element-doped DSC type optical fiber preform will be described with reference to FIG.

[i]センタコアの作製 第3図(a)に示すように、VAD法(Vaporphase Ax
ial Deposition:気相軸付け法)により、センタコアの
もとになる多孔質センタコアスート1を作製する。この
過程は、回転しながら微動する石英製の出発棒の先端
に、SiCl4,GeCl4,POCl3などの原料ガスを酸水素炎によ
る高温中で吹き付け、加水分解反応により生成したガラ
ス微粒子を出発材先端に付着堆積させることにより、Si
O2を主成分としGeO2,P2O5などのドーパント(添加剤)
が混入され空気を多量に含んだ丸棒状の多孔質センタコ
アスート1を軸方向に連続的に形成するものである。
[I] Production of center core As shown in FIG. 3 (a), VAD method (Vaporphase Ax
A porous center core soot 1 as a basis of the center core is manufactured by ial Deposition (gas phase shafting method). In this process, a raw material gas such as SiCl 4 , GeCl 4 , POCl 3 is sprayed at the high temperature of an oxyhydrogen flame on the tip of a quartz starting rod that moves slightly while rotating, and the glass fine particles generated by the hydrolysis reaction are started. By adhering and depositing on the tip of the material,
Dopants (additives) such as GeO 2 and P 2 O 5 with O 2 as the main component
Is continuously formed in the axial direction in the form of a round bar-shaped porous center core soot 1 containing a large amount of air.

GeO2,P2O5などのドーパントは、センタコアの屈折率
を制御するためのものである。生成中の多孔質センタコ
アスート1の先端の表面温度分布の制御により、半径方
向におけるドーパントの濃度分布を調整することをもっ
て所要の屈折率部分を得る。
Dopants such as GeO 2 and P 2 O 5 are for controlling the refractive index of the center core. By controlling the surface temperature distribution at the tip of the porous center core soot 1 being formed, a necessary refractive index portion is obtained by adjusting the dopant concentration distribution in the radial direction.

第3図(b)に示すように、ErやNdなどの希土類元
素を溶解したアルコール溶液2中に多孔質センタコアス
ート1の先端一部を浸漬する。アルコール溶液2は、多
孔質センタコアスート1中で網目構造をなす空隙に毛管
現象によって液面よりも上方に位置する部分まで徐々に
吸い上げられ、多孔質センタコアスート1の全体に含浸
される。この過程で、空隙内の空気が徐々に排除される
ので、アルコール溶液2に含まれている希土類元素が均
一にドーピングされる(分子スタッフィング法)。
As shown in FIG. 3B, a part of the tip of the porous center core soot 1 is immersed in an alcohol solution 2 in which a rare earth element such as Er or Nd is dissolved. The alcohol solution 2 is gradually sucked up to a portion located above the liquid surface by capillary action in the voids forming the network structure in the porous center core soot 1 and is impregnated in the entire porous center core soot 1. In this process, the air in the gap is gradually removed, so that the rare earth element contained in the alcohol solution 2 is uniformly doped (molecular stuffing method).

多孔質センタコアスート1をアルコール溶液2から
引き上げ、室温のもとで放置することにより、アルコー
ルを充分に蒸発させて乾燥する。これによって、多孔質
センタコアスート1の内部に希土類元素が沈着する。
By pulling the porous center core soot 1 out of the alcohol solution 2 and leaving it at room temperature, the alcohol is sufficiently evaporated and dried. As a result, the rare earth element is deposited inside the porous center core soot 1.

希土類元素がドーピングされた多孔質センタコアス
ート1を高温炉に通過させることにより溶融焼結する
と、体積収縮が生じて網目構造を構成していた空隙が消
滅し透明ガラス化が行われると同時に細径化が行われ
る。
When the porous center core soot 1 doped with a rare earth element is melt-sintered by passing it through a high-temperature furnace, volume shrinkage occurs, voids forming a network structure disappear, and transparent vitrification is performed. The diameter is reduced.

ところで、VAD法は加水分解反応を伴うものであるか
ら、前記の過程で多孔質センタコアスート1内にOH基
が混入することは避けられない。OH基は光ファイバの吸
収損失を招くため、これを排除しておく必要があるが、
その脱OH基処理は透明ガラス化の過程で同時に行われ
る。
By the way, since the VAD method involves a hydrolysis reaction, it is inevitable that OH groups are mixed into the porous center core soot 1 in the above process. OH groups cause absorption loss in optical fibers, so it is necessary to eliminate them,
The deOH-group treatment is performed simultaneously with the process of clear vitrification.

すなわち、HeガスおよびCl2やBr2などのハロゲンガス
の雰囲気中で焼結を行うことにより、OH基をハロゲン元
素と置換してOH基を除去する。
That is, by performing sintering in an atmosphere of a He gas and a halogen gas such as Cl 2 or Br 2 , the OH groups are replaced with halogen elements and the OH groups are removed.

以上によって、屈折率制御のためのドーパントと増幅
作用のための希土類元素とがドーピングされ、脱OH基処
理とともに透明ガラス化されたセンタコア3が作製され
る。
As described above, the center core 3 which is doped with the dopant for controlling the refractive index and the rare earth element for the amplifying action, and is made vitrified and devitrified, is produced.

[ii]サイドコアの作製 第3図(c)に示すように、センタコア3を回転さ
せながら、VAD法によりセンタコア3の外周面にサイド
コアのもとになる多孔質サイドコアスート4を堆積させ
る。この過程においても、SiCl4,GeCl4,POCl3などの原
料ガスを酸水素炎による高温中で吹き付け、加水分解反
応により生成したガラス微粒子をセンタコア3の外周面
において軸方向に付着堆積させる。
[Ii] Production of Side Core As shown in FIG. 3 (c), a porous side core soot 4 serving as a base of the side core is deposited on the outer peripheral surface of the center core 3 by the VAD method while rotating the center core 3. Also in this process, a raw material gas such as SiCl 4 , GeCl 4 , POCl 3 or the like is sprayed at a high temperature by an oxyhydrogen flame, and the glass fine particles generated by the hydrolysis reaction are deposited on the outer peripheral surface of the center core 3 in the axial direction.

ただし、サイドコアの屈折率をセンタコアの屈折率よ
り僅かに小さくする必要から、屈折率制御のためのGe
O2,P2O5などのドーパントの濃度は、多孔質センタコア
スート1の場合よりも若干低くする。なお、多孔質サイ
ドコアスート4をSiO2のみで構成する場合もある。
However, since it is necessary to make the refractive index of the side core slightly smaller than that of the center core, Ge for controlling the refractive index is required.
The concentration of dopants such as O 2 and P 2 O 5 is slightly lower than in the case of the porous center core soot 1. In some cases, the porous side core soot 4 may be composed of only SiO 2 .

なお、このときのVAD法においても、加水分解反応の
ために多孔質サイドコアスート4内にOH基が混入する。
In the VAD method at this time, OH groups are mixed in the porous side core soot 4 due to a hydrolysis reaction.

多孔質サイドコアスート4を乾燥した後、ハロゲン
ガス雰囲気中での加熱によって溶融焼結する。これによ
り、前記と同様に空隙が消滅し透明ガラス化および細径
化が行われると同時に、脱OH基処理が行われる。
After drying the porous side core soot 4, it is melted and sintered by heating in a halogen gas atmosphere. As a result, as in the case described above, the voids disappear, the glass is made transparent, and the diameter is reduced.

以上によって、センタコア3の外周面にサイドコア5
が形成される。
As described above, the side core 5 is provided on the outer peripheral surface of the center core 3.
Is formed.

[iii]クラッドの作製 第3図(d)に示すように、センタコア3およびサ
イドコア5を回転させながら、VAD法によりサイドコア
5の外周面にクラッドのもとになる多孔質クラッドスー
ト6を堆積させる。この過程においては、SiCl4のほ
か、屈折率を下げるためのSiF4を含む原料ガスのドーピ
ングが行われる。
[Iii] Manufacture of clad As shown in FIG. 3 (d), while rotating the center core 3 and the side core 5, a porous clad soot 6 as a base of the clad is deposited on the outer peripheral surface of the side core 5 by the VAD method. . In this process, in addition to SiCl 4 , doping of a source gas containing SiF 4 for lowering the refractive index is performed.

多孔質クラッドスート6を乾燥した後、ハロゲンガ
ス雰囲気中での加熱によって溶融焼結する。これによ
り、透明ガラス化と脱OH基処理が行われる。
After drying the porous clad soot 6, it is melted and sintered by heating in a halogen gas atmosphere. Thereby, the transparent vitrification and the deOH group treatment are performed.

以上のようにして、第3図(e)に示すように、セン
タコア3の外周面に形成されたサイドコア5のさらに外
周面にクラッド7が形成された希土類元素ドープDSC型
光ファイバ母材Aが作製される。
As described above, as shown in FIG. 3E, the rare-earth element-doped DSC type optical fiber preform A in which the cladding 7 is formed on the outer peripheral surface of the side core 5 formed on the outer peripheral surface of the center core 3 is used. It is made.

このDSC型光ファイバ母材Aの屈折率分布のプロファ
イルは、第4図に示すように、センタコア3において最
も高く、サイドコア5が次に高く、クラッド7が最も低
くなっている。
The profile of the refractive index distribution of the DSC type optical fiber preform A is the highest in the center core 3, the second highest in the side core 5, and the lowest in the clad 7, as shown in FIG.

<発明が解決しようとする課題> しかしながら、上記の従来の希土類元素ドープDSC型
光ファイバ母材の製造方法には、次のような問題点があ
る。
<Problems to be Solved by the Invention> However, the above-described conventional method for manufacturing a rare earth element-doped DSC type optical fiber preform has the following problems.

前記の焼結による多孔質センタコアスート1の透明
ガラス化および脱OH基処理の過程において、多孔質セン
タコアスート1が希土類元素を含んでいることに起因し
て、透明ガラス化されたセンタコア3の表面に微細な凹
凸が多数生じてしまう。希土類元素がErの場合は、特に
その凹凸の程度が激しい。
In the course of the vitrification of the porous center core soot 1 by the sintering and the treatment for removing the OH group, the transparent vitrified center core 3 is formed because the porous center core soot 1 contains a rare earth element. Many fine irregularities occur on the surface of the substrate. When the rare earth element is Er, the degree of the irregularities is particularly severe.

このような表面凹凸のあるセンタコア3に対して、前
記のごとく多孔質サイドコアスート4を堆積してそれ
を焼結してサイドコア5を作製すると、センタコア3の
表面凹凸の存在とセンタコア3からのガス発生のため
に、センタコア3とサイドコア5との界面に気泡が残り
やすい。
When the side core 5 is produced by depositing the porous side core soot 4 and sintering it on the center core 3 having such surface irregularities as described above, the existence of the surface irregularities of the center core 3 and the Due to gas generation, air bubbles are likely to remain at the interface between the center core 3 and the side cores 5.

これは、多孔質サイドコアスート4を堆積する際にセ
ンタコア3に伝わる熱量が少なく、センタコア3をその
表面凹凸を平滑化できる程度までは軟化できないためで
あるとともに、ガス発生の速度が遅く堆積する多孔質サ
イドコアスート4によって封じ込められてしまうためで
ある。そして、界面に気泡が残ると、伝搬する光が大き
く散乱されるため、実使用に耐えない。
This is because the amount of heat transmitted to the center core 3 when depositing the porous side core soot 4 is small and the center core 3 cannot be softened to such an extent that its surface irregularities can be smoothed, and the gas is deposited at a low gas generation rate. This is because they are sealed by the porous side core soot 4. When air bubbles remain at the interface, the propagating light is greatly scattered, and thus cannot be used practically.

なお、前記のセンタコア3上への多孔質サイドコア
スート4の堆積の際に加水分解反応によって生成された
OH基がセンタコア3の表面に結合しやすく、前記の多
孔質サイドコアスート4からの脱OH基処理によっても、
センタコア3の表面のOH基がそのまま残存する可能性が
ある。このようにセンタコア3とサイドコア5との界面
にOH基が残存すると、光ファイバの吸収損失を招くこと
になる。
The porous side core soot 4 was produced by a hydrolysis reaction during the deposition of the porous side core soot 4 on the center core 3.
The OH group is easily bonded to the surface of the center core 3, and the OH group can be removed from the porous side core soot 4 by the treatment.
There is a possibility that OH groups on the surface of the center core 3 remain. If the OH groups remain at the interface between the center core 3 and the side cores 5, absorption loss of the optical fiber is caused.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであ
って、センタコア外周面へのサイドコアの形成の際に気
泡が残存することを防止することを目的とする。
The present invention has been made in view of such circumstances, and has as its object to prevent bubbles from remaining when a side core is formed on the outer peripheral surface of a center core.

<課題を解決するための手段> 本発明は、このような目的を達成するために、次のよ
うな構成をとる。
<Means for Solving the Problems> The present invention has the following configuration to achieve such an object.

すなわち、本発明の希土類元素ドープDSC型光ファイ
バ母材の製造方法は、VAD法により屈折率制御用のドー
パントが混入された多孔質センタコアスートを作製した
後、希土類元素を含む溶液に前記多孔質センタコアスー
トを含浸させ、次いで前記多孔質センタコアスートを乾
燥して溶媒を蒸発させた後、この多孔質センタコアスー
トを焼結によって透明ガラス化してセンタコアを作製
し、その後前記センタコアの外周面にこれよりも屈折率
の低いサイドコアを作製し、さらに前記サイドコアの外
周面にクラッドを作製する希土類元素ドープDSC型光フ
ァイバ母材の製造方法において、前記センタコアの外周
面にサイドコアを作製するに際して、センタコアをサイ
ドコアのもとになる石英ガラス製チューブ内に挿通した
状態で、センタコアの表面が軟化してその表面凹凸が平
滑化される程度まで、サイドコアの外部を加熱して、コ
ラップスにより石英ガラス製チューブを軟化収縮させて
センタコアの外周面に石英ガラス製チューブによるサイ
ドコアを一体結合化するロッドインチューブ法を用いる
ことを特徴とするものである。
That is, the method for producing a rare earth element-doped DSC type optical fiber preform of the present invention comprises, after producing a porous center core soot mixed with a dopant for controlling the refractive index by a VAD method, and then adding the porous center core soot to a solution containing a rare earth element. After the porous center core soot is impregnated and then dried to evaporate the solvent, the porous center core soot is transparently vitrified by sintering to produce a center core, and then the outer periphery of the center core is produced. In the method for producing a rare earth element-doped DSC type optical fiber preform for producing a side core having a lower refractive index than the surface and a cladding on the outer peripheral surface of the side core, when producing a side core on the outer peripheral surface of the center core, When the center core is inserted into the quartz glass tube that forms the side core, The outside of the side core is heated to the extent that the surface unevenness is smoothed, the quartz glass tube is softened and shrunk by the collaps, and the side core made of the quartz glass tube is integrally joined to the outer peripheral surface of the center core. It is characterized by using a tube method.

<作用> 本発明の上記構成による作用は、次のとおりである。<Operation> The operation of the above configuration of the present invention is as follows.

ロッドインチューブ法の過程において、コラップスを
行うときに石英ガラス製チューブの外部から与える熱
が、石英ガラス製チューブのうち軟化収縮してセンタコ
アの外周面に一体化したチューブ部分を介した伝導によ
ってセンタコアに与えられるとともに、まだ収縮してい
ないチューブ部分の内周面からの輻射によってセンタコ
アに与えられることになり、センタコアに伝わる熱量が
多くなる。
In the process of the rod-in-tube method, heat applied from the outside of the quartz glass tube when performing collapsing is softened and shrunk of the quartz glass tube, and is conducted through the tube portion integrated with the outer peripheral surface of the center core. Is supplied to the center core by radiation from the inner peripheral surface of the tube portion that has not yet shrunk, and the amount of heat transmitted to the center core increases.

したがって、センタコアの表面が軟化し表面凹凸が平
滑化されるとともに、センタコアからのガス発生速度が
速くなり、石英ガラス製チューブすなわちサイドコアと
センタコアとが一体結合化する前に発生ガスが外部へ逃
げるのでガスの封じ込めが防止される。
Therefore, the surface of the center core is softened, the surface irregularities are smoothed, and the gas generation rate from the center core is increased, and the generated gas escapes to the outside before the quartz glass tube, that is, the side core and the center core are integrally combined. Gas containment is prevented.

このセンタコア表面平滑化とガス散逃とによりセンタ
コアとサイドコアとの界面には気泡が残存しなくなる。
Due to the smoothing of the surface of the center core and the escape of gas, no bubbles remain at the interface between the center core and the side core.

<実施例> 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
<Example> Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

従来例において説明した[i]のセンタコア3の作製
方法は、本実施例でも全く同様である。すなわち、 VAD法を用いて、屈折率制御のためのドーパントの
混入を行いながら、多孔質センタコアスート1を作製す
る(第3図(a)参照)。
The method of manufacturing the center core 3 of [i] described in the conventional example is completely the same in the present embodiment. That is, the porous center core soot 1 is manufactured by using the VAD method while mixing a dopant for controlling the refractive index (see FIG. 3A).

希土類元素を溶解したアルコール溶液2中に多孔質
センタコアスート1の先端を浸漬する分子スタッフィン
グ法により、Er等の希土類元素を多孔質センタコアスー
ト1の空隙全体に含浸させる(第3図(b)参照)。
The entire voids of the porous center core soot 1 are impregnated with a rare earth element such as Er by a molecular stuffing method in which the tip of the porous center core soot 1 is immersed in an alcohol solution 2 in which the rare earth element is dissolved (FIG. 3 (b) )reference).

多孔質センタコアスート1を乾燥して内部に希土類
元素を沈着する。
The porous center core soot 1 is dried to deposit rare earth elements therein.

希土類元素がドーピングされた多孔質センタコアス
ート1の透明ガラス化と細径化および脱OH基処理を行
う。
The transparent center core soot 1 doped with a rare earth element is made vitrified, reduced in diameter, and subjected to an OH-free treatment.

サイドコアの作製については、従来例と異なり、ロッ
ドインチューブ法(Rod in Tube:RT法)を使用して次の
ように作製する。
Unlike the conventional example, the side core is manufactured using a rod-in-tube (RT) method as follows.

′コラップスの前処理として、第1図に示すように、
サイドコアのもとになる石英ガラス製チューブ4aの内部
にセンタコア3を挿通し、石英ガラス製チューブ4aを酸
水素炎によって予備加熱する。この石英ガラス製チュー
ブ4aは、その屈折率がセンタコア3よりも僅かに小さい
もので、予め脱OH基処理が施されている。
′ As pre-processing of collapses, as shown in FIG.
The center core 3 is inserted into a quartz glass tube 4a serving as a base of the side core, and the quartz glass tube 4a is preheated by an oxyhydrogen flame. The quartz glass tube 4a has a refractive index slightly smaller than that of the center core 3, and has been subjected to a deOH-based treatment in advance.

石英ガラス製チューブ4aを回転させながらその内部に
Cl2などのハロゲンガスを50〜100cc/minの流量で供給
し、1000〜1500℃の酸水素炎を軸方向に沿って3〜5回
往復移動させることにより、石英ガラス製チューブ4aを
予備加熱する。
While rotating the quartz glass tube 4a,
Preheating the quartz glass tube 4a by supplying a halogen gas such as Cl 2 at a flow rate of 50 to 100 cc / min and reciprocating an oxyhydrogen flame at 1000 to 1500 ° C. three to five times along the axial direction I do.

これによって、透明ガラス化されたセンタコア3の表
面に残存しているOH基をハロゲンガスと置換してOH基を
除去する。
As a result, the OH groups remaining on the surface of the transparent vitrified center core 3 are replaced with halogen gas to remove the OH groups.

′第2図に示すように、コラップスを行う。石英ガラ
ス製チューブ4aの内部にハロゲンガスを引き続き供給
し、かつ、石英ガラス製チューブ4aを引き続き回転させ
ながら、酸水素炎の温度を2000〜2300℃に昇温した状態
で酸水素炎を軸方向に沿って往復移動させる。
'Collaps as shown in FIG. While the halogen gas is continuously supplied into the quartz glass tube 4a, and the quartz glass tube 4a is continuously rotated, the oxyhydrogen flame is heated in the axial direction while the temperature of the oxyhydrogen flame is raised to 2000 to 2300 ° C. And reciprocate along.

これにより、石英ガラス製チューブ4aを軟化収縮させ
てセンタコア3の外周面に石英ガラス製チューブ4aによ
るサイドコア5を一体結合化する。
As a result, the quartz glass tube 4a is softened and shrunk, and the side core 5 formed of the quartz glass tube 4a is integrally connected to the outer peripheral surface of the center core 3.

センタコア3は予備加熱されているとともに、コラッ
プスの際にも、酸水素炎が石英ガラス製チューブ4aから
これに一体化されているセンタコア3の部分を介して伝
導し、かつ、石英ガラス製チューブ4aの内周面からの輻
射によってセンタコア3が充分に高い温度まで昇温され
る。その結果、センタコア3の表面が軟化し、その表面
凹凸が平滑化される。
The center core 3 is preheated, and at the time of collapsing, the oxyhydrogen flame is conducted from the quartz glass tube 4a through the portion of the center core 3 integrated with the quartz glass tube 4a. The center core 3 is heated to a sufficiently high temperature by the radiation from the inner peripheral surface of the center core 3. As a result, the surface of the center core 3 is softened, and the surface irregularities are smoothed.

同時に、センタコア3からのガスの発生速度が充分に
速いものとなり、センタコア3が石英ガラス製チューブ
4aと一体結合化される前に外部に逃げるので、石英ガラ
ス製チューブ4aの収縮によるサイドコア5とセンタコア
3との界面には気泡が残留しない。
At the same time, the gas generation rate from the center core 3 becomes sufficiently high, and the center core 3 is made of a quartz glass tube.
Since it escapes to the outside before being integrated with the core 4a, no air bubbles remain at the interface between the side core 5 and the center core 3 due to the contraction of the quartz glass tube 4a.

また、コラップス中にハロゲンガスの供給を継続して
いるので、センタコア3の表面のOH基の置換除去が促進
される。
Further, since the supply of the halogen gas is continued during the collapse, replacement and removal of OH groups on the surface of the center core 3 are promoted.

以上のように界面に気泡が残存せずOH基が確実に除去
されるため、散乱損失が大幅に低減される。
As described above, since OH groups are reliably removed without bubbles remaining at the interface, scattering loss is significantly reduced.

以上によってセンタコア3の外周面にサイドコア5が
形成されるが、次の段階のクラッド7の作製について
は、従来例の[iii]と同様である。
The side core 5 is formed on the outer peripheral surface of the center core 3 as described above. The next stage of manufacturing the clad 7 is the same as [iii] of the conventional example.

屈折率を下げるSiF4を含んだ原料ガスを用いて、VA
D法によりサイドコア5の外周面に多孔質クラッドスー
ト6を形成する(第3図(d)参照)。
Using a source gas containing SiF 4 to lower the refractive index, VA
The porous clad soot 6 is formed on the outer peripheral surface of the side core 5 by the D method (see FIG. 3D).

多孔質クラッドスート6を乾燥した後、透明ガラス
化と脱OH基処理を行う(第3図(e)参照)。
After drying the porous clad soot 6, it is subjected to a transparent vitrification and a deOH-treatment (see FIG. 3 (e)).

なお、センタコア3の直径をa2、サイドコア5の直径
をa1として、0.3<a1/a2<0.5とすることにより、希土
類元素ドープDSC型光ファイバ母材Aの増幅率および分
散制御性を高いものにすることができる。
When the diameter of the center core 3 is a 2 and the diameter of the side cores 5 is a 1 and 0.3 <a 1 / a 2 <0.5, the amplification factor and dispersion controllability of the rare-earth element-doped DSC type optical fiber preform A are set. Can be higher.

<発明の効果> 本発明によれば、次の効果が発揮される。<Effects of the Invention> According to the present invention, the following effects are exhibited.

センタコアの外周面にサイドコアを作製するに際して
ロッドインチューブ法を採用し、コラップス時に、サイ
ドコアのもとになる石英ガラス製チューブに与える熱を
センタコアの未一体化部分に充分に与えるため、センタ
コアの表面を平滑化できるとともに、センタコアからの
ガス発生を促進してガスを早期に外部に逃散させること
ができるから、センタコアとサイドコアとの界面に気泡
が残存することを防止することができる。
The rod-in-tube method is used to produce the side core on the outer peripheral surface of the center core, and the heat applied to the quartz glass tube that forms the side core at the time of collapse is sufficiently given to the unintegrated part of the center core. Can be smoothed, and gas generation from the center core can be promoted and gas can escape to the outside at an early stage, so that bubbles can be prevented from remaining at the interface between the center core and the side core.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図および第2図は本発明の一実施例に係り、第1図
は希土類元素ドープDSC型光ファイバ母材の製造方法に
おけるロッドインチューブ法により予備加熱の状態を示
す断面図、第2図はコラップスの状態を示す断面図であ
る。第3図の(a)〜(e)は従来の製造方法の説明
図、第4図は屈折率分布図である。 1……多孔質センタコアスート 2……アルコール溶液 3……センタコア 4……多孔質サイドコアスート 4a……石英ガラス製チューブ 5……サイドコア 6……多孔質クラッドスート 7……クラッド
1 and 2 relate to one embodiment of the present invention, and FIG. 1 is a cross-sectional view showing a state of preheating by a rod-in-tube method in a method of manufacturing a rare earth element-doped DSC type optical fiber preform. The figure is a sectional view showing the state of the collapse. 3 (a) to 3 (e) are explanatory diagrams of a conventional manufacturing method, and FIG. 4 is a refractive index distribution diagram. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Porous center core soot 2 ... Alcohol solution 3 ... Center core 4 ... Porous side core soot 4a ... Quartz glass tube 5 ... Side core 6 ... Porous clad soot 7 ... Clad

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 紘幸 兵庫県伊丹市池尻4丁目3番地 三菱電 線工業株式会社伊丹製作所内 (72)発明者 御前 俊和 兵庫県伊丹市池尻4丁目3番地 三菱電 線工業株式会社伊丹製作所内 (56)参考文献 特開 平3−177328(JP,A) 特開 平3−247529(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hiroyuki Tanaka 4-3 Ikejiri, Itami-shi, Hyogo Mitsubishi Electric Wire & Cable Co., Ltd. Itami Works (72) Inventor Toshikazu Gozen 4-3-3 Ikejiri, Itami-shi, Hyogo Mitsubishi Electric (56) References JP-A-3-177328 (JP, A) JP-A-3-247529 (JP, A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】VAD法により屈折率制御用のドーパントが
混入された多孔質センタコアスートを作製した後、 希土類元素を含む溶液に前記多孔質センタコアスートを
含浸させ、 次いで前記多孔質センタコアスートを乾燥して溶媒を蒸
発させた後、 この多孔質センタコアスートを焼結によって透明ガラス
化してセンタコアを作製し、 その後前記センタコアの外周面にこれよりも屈折率の低
いサイドコアを作製し、 さらに前記サイドコアの外周面にクラッドをサイドコア
する希土類元素ドープDSC型光ファイバ母材の製造方法
において、 前記センタコアの外周面にサイドコアを作製するに際し
て、センタコアをサイドコアのもとになる石英ガラス製
チューブ内に挿通し、この状態で、センタコアの表面が
軟化してその表面凹凸が平滑化される程度まで、サイド
コアの外部を加熱して、コラップスにより石英ガラス製
チューブを軟化収縮させてセンタコアの外周面に石英ガ
ラス製チューブによるサイドコアを一体結合化するロッ
ドインチューブ法を用いることを特徴とする希土類元素
ドープDSC型光ファイバ母材の製造方法。
1. A porous center core soot mixed with a dopant for controlling a refractive index is produced by a VAD method, and the porous center core soot is impregnated with a solution containing a rare earth element. After drying the soot and evaporating the solvent, the porous center core soot is transparently vitrified by sintering to produce a center core, and thereafter, a side core having a lower refractive index than that of the center core is produced on the outer peripheral surface of the center core. Further, in the method for manufacturing a rare earth element-doped DSC type optical fiber preform in which a clad is side cored on an outer peripheral surface of the side core, when the side core is produced on the outer peripheral surface of the center core, the center core is formed in a quartz glass tube which is a source of the side core. To the extent that the surface of the center core is softened and the surface irregularities are smoothed. Using a rod-in-tube method of heating the outside of the side core, softening and shrinking the quartz glass tube with the collaps, and integrally integrating the side core with the quartz glass tube on the outer peripheral surface of the center core. Manufacturing method of DSC type optical fiber preform.
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